JP2006083060A - Coating for green sheet, its manufacturing method, green sheet, its manufacturing method and method for manufacturing electronic component - Google Patents

Coating for green sheet, its manufacturing method, green sheet, its manufacturing method and method for manufacturing electronic component Download PDF

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Shigeki Sato
佐藤  茂樹
Toru Sotomi
透 外海
Toshio Sakurai
俊雄 櫻井
Hisashi Kobayashi
央始 小林
Tomoko Nakamura
知子 中村
Takeshi Nomura
武史 野村
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating for a green sheet with which the green sheet having strength durable to exfoliation from a support and having superior adhesiveness and handleability can be manufactured even when the green sheet is very thin, the green sheet and their manufacturing methods and to provide a method for manufacturing an electronic component suitable for its thinning and multilayering. <P>SOLUTION: The coating for the green sheet has a ceramic powder, a binder resin, a plasticizer, a solvent and an electrification removing agent. The binder resin contains a polyvinyl butyral resin whose polymerization degree is 1,000 or more and 1,700 or less, whose nominal value of a butyralizing degree is 65% or more and 78% or less and where a residual acetyl radical is less than 6%. The electrification removing agent contains an imidazoline-based electrification removing agent by 0.1 pt. mass or more and 0.75 pt. mass or less to the ceramic powder of 100 pts. mass. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、グリーンシート用塗料、グリーンシート、グリーンシート用塗料の製造方法、グリーンシートの製造方法および電子部品の製造方法に係り、さらに詳しくは、極めて薄いシートであってもハンドリング性および接着性に優れるグリーンシートを製造することが可能であり、電子部品の薄層化および多層化に適した塗料、グリーンシートおよび方法に関する。   The present invention relates to a green sheet coating, a green sheet, a method for manufacturing a green sheet coating, a method for manufacturing a green sheet, and a method for manufacturing an electronic component, and more particularly, handling and adhesion even for extremely thin sheets. The present invention relates to a coating material, a green sheet, and a method suitable for thinning and multilayering of electronic components.

近年、各種電子機器の小型化により、電子機器の内部に装着される電子部品の小型化および高性能化が進んでいる。電子部品の一つとして、CR内臓型基板、積層セラミックコンデンサ等のセラミック電子部品があり、このセラミック電子部品も小型化および高性能化が求められている。   In recent years, with the miniaturization of various electronic devices, miniaturization and high performance of electronic components mounted inside the electronic devices have been advanced. As one of the electronic components, there are ceramic electronic components such as a CR-embedded substrate and a multilayer ceramic capacitor, and the ceramic electronic components are also required to be downsized and high performance.

このセラミック電子部品の小型化および高容量化を進めるために、誘電体層の薄層化が強く求められている。最近では、誘電体層を構成する誘電体グリーンシートの厚みが数μm以下になってきた。   In order to reduce the size and increase the capacity of the ceramic electronic component, there is a strong demand for a thinner dielectric layer. Recently, the thickness of the dielectric green sheet constituting the dielectric layer has become several μm or less.

セラミックグリーンシートを製造するには、通常、まずセラミック粉体、バインダ(アクリル系樹脂、ブチラール系樹脂など)、可塑剤(フタル酸エステル類、グリコール類、アジピン酸、燐酸エステル類)および有機溶剤(トルエン、MEK、アセトンなど)からなるセラミック塗料を準備する。次に、このセラミック塗料を、ドクターブレード法などを用いてキャリアシート(PET、PP製の支持体)上に塗布し、加熱乾燥させて製造する。   In order to produce a ceramic green sheet, usually, ceramic powder, binder (acrylic resin, butyral resin, etc.), plasticizer (phthalates, glycols, adipic acid, phosphates) and organic solvent ( A ceramic paint made of toluene, MEK, acetone, etc.) is prepared. Next, this ceramic paint is applied onto a carrier sheet (PET, PP support) using a doctor blade method or the like, and dried by heating.

また、近年、セラミック粉体とバインダが溶媒に混合されたセラミック懸濁液を準備し、この懸濁液を押出成形して得られるフィルム状成形体を二軸延伸して製造することも検討されている。   In recent years, it has also been studied to prepare a ceramic suspension in which ceramic powder and binder are mixed in a solvent, and to produce a film-like molded body obtained by extrusion molding this suspension by biaxial stretching. ing.

前述のセラミックグリーンシートを用いて、積層セラミックコンデンサを製造する方法を、具体的に説明する。セラミックグリーンシート上に、金属粉体とバインダを含む内部電極用導電性ペーストを所定パターンで印刷し、乾燥させて内部電極パターンを形成する。その後、キャリアシートからグリーンシートを剥離しこれを所望の層数まで積層する。ここで、積層前にグリーンシートをキャリアシートから剥離する方法と、積層圧着後にキャリアシートを剥離する2種類の方法が考案されているが大きな違いはない。最後にこの積層体をチップ状に切断してグリーンチップが作成される。これらのグリーンチップを焼成後、外部電極を形成し積層セラミックコンデンサなどの電子部品を製造する。   A method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the above-described ceramic green sheet will be specifically described. On the ceramic green sheet, an internal electrode conductive paste containing metal powder and a binder is printed in a predetermined pattern and dried to form an internal electrode pattern. Thereafter, the green sheet is peeled off from the carrier sheet and laminated to a desired number of layers. Here, a method of peeling the green sheet from the carrier sheet before lamination and a method of peeling the carrier sheet after lamination pressure bonding have been devised, but there is no significant difference. Finally, this laminate is cut into chips to produce green chips. After firing these green chips, external electrodes are formed to manufacture electronic components such as multilayer ceramic capacitors.

積層セラミックコンデンサを製造する場合には、コンデンサとして必要とされる所望の静電容量に基づき、内部電極が形成されるシートの層間厚みは、約3μm〜100μm程度の範囲にある。また、積層セラミックコンデンサでは、コンデンサチップの積層方向における外側部分には内部電極が形成されていない部分が形成されている。   When manufacturing a multilayer ceramic capacitor, the interlayer thickness of the sheet on which the internal electrodes are formed is in the range of about 3 μm to 100 μm based on the desired capacitance required for the capacitor. In the multilayer ceramic capacitor, a portion where no internal electrode is formed is formed on the outer portion of the capacitor chip in the stacking direction.

このような積層セラミックコンデンサにおいて、使用されているバインダは重合度が1000以下(Mw=50,000)のポリビニルブチラール樹脂が使用されることが一般的であった(下記の特許文献1;特開平10−67567号公報参照)。この理由として、積層時におけるセラミックグリーンシートの接着性を十分に確保することと、グリーンシートの表面粗さを低減することと、グリーンシートの可撓性を確保することと、スラリーの粘度を低くすることとが挙げられる。また、可塑剤としては、一般にフタル酸、アジピン酸、セバシン酸、燐酸エステル類が使用可能とされているが、可塑性を付与するという目的から、沸点および有害性等の観点から選択されてきた。   In such a multilayer ceramic capacitor, a polyvinyl butyral resin having a polymerization degree of 1000 or less (Mw = 50,000) is generally used as the binder used (Patent Document 1 below; 10-67567). The reason for this is to ensure sufficient adhesion of the ceramic green sheet during lamination, to reduce the surface roughness of the green sheet, to ensure the flexibility of the green sheet, and to lower the viscosity of the slurry. To do. As the plasticizer, phthalic acid, adipic acid, sebacic acid, and phosphoric acid esters are generally usable. However, for the purpose of imparting plasticity, the plasticizer has been selected from the viewpoints of boiling point and harmfulness.

近年、電子機器の小型化に伴い、その中に使用される電子部品の小型化が急激に進行している。積層セラミックコンデンサに代表されるような積層電子部品においては、積層数の増加、層間厚みの薄層化が急激に進んでいる。このような技術動向に対応するために、層間厚みを決定するグリーンシート厚みは、3μm以下から2μm以下になりつつある。このため、積層セラミックコンデンサの製造工程では、極めて薄いグリーンシート取り扱う必要があり、非常に高度なグリーンシート物性の設計が必要となる。   In recent years, with the miniaturization of electronic devices, the miniaturization of electronic components used therein has rapidly progressed. In a multilayer electronic component typified by a multilayer ceramic capacitor, an increase in the number of layers and a reduction in the thickness of an interlayer are rapidly progressing. In order to respond to such technical trends, the thickness of the green sheet that determines the interlayer thickness is becoming from 3 μm or less to 2 μm or less. For this reason, in the manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor, it is necessary to handle an extremely thin green sheet, and it is necessary to design a very advanced green sheet physical property.

このような極めて薄いグリーンシートの物性として求められる特性として、シート強度、可撓性、平滑性、積層時の接着性、ハンドリング性(帯電性)等が挙げられ、また、高次元でのバランスが要求される。   Properties required as physical properties of such an extremely thin green sheet include sheet strength, flexibility, smoothness, adhesion at the time of lamination, handling properties (chargeability), etc., and high-dimensional balance. Required.

なお、特許文献2;特開平6−206756号公報に示すように、水系溶剤を含むグリーンシート用スラリーにおいて、ショート欠陥を無くす目的で、重合度1000以上のポリビニルブチラール樹脂をバインダとして用いる技術は知られている。   In addition, as shown in Patent Document 2; JP-A-6-206756, a technique for using a polyvinyl butyral resin having a polymerization degree of 1000 or more as a binder in a slurry for a green sheet containing an aqueous solvent for the purpose of eliminating short-circuit defects is known. It has been.

しかしながら、特許文献2では、特に有機溶剤系グリーンシートの薄層化を図るものではないと共に、ポリビニルブチラール樹脂の重合度の範囲を特定範囲に限定しているわけでもない。しかも、その樹脂のブチラール化度および残留アセチル基量に関しては何ら着目していない。   However, Patent Document 2 does not particularly reduce the thickness of the organic solvent-based green sheet, and does not limit the polymerization degree range of the polyvinyl butyral resin to a specific range. Moreover, no attention is paid to the degree of butyralization and the amount of residual acetyl groups of the resin.

本発明の目的は、極めて薄いグリーンシートであっても、支持体からの剥離に耐えうる強度を有し、かつ良好な接着性およびハンドリング性を有するグリーンシートを製造することが可能なグリーンシート用塗料、グリーンシート、グリーンシート用塗料の製造方法、グリーンシートの製造方法を提供することである。また、本発明の他の目的は、電子部品の薄層化および多層化に適した電子部品の製造方法を提供することである。   An object of the present invention is for a green sheet capable of producing a green sheet having a strength capable of withstanding peeling from a support, and having good adhesiveness and handling property, even if it is a very thin green sheet. It is providing the manufacturing method of a coating material, a green sheet, the coating material for green sheets, and the manufacturing method of a green sheet. Another object of the present invention is to provide an electronic component manufacturing method suitable for thinning and multilayering of electronic components.

本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討の結果、特定範囲の重合度、特定範囲のブチラール化度、しかも残留アセチル基量が所定値以下のポリビニルアセタール樹脂をバインダとして用いることで、極めて薄いグリーンシートであっても、支持体からの剥離に耐えうる強度を有し、かつ良好な接着性およびハンドリング性を有するグリーンシートを製造することが可能になることを見出し、本発明を完成させるに至った。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventor uses a polyvinyl acetal resin having a specific range of polymerization degree, a specific range of butyralization degree, and a residual acetyl group amount of a predetermined value or less as a binder. The present invention is completed by finding that even a thin green sheet can produce a green sheet having a strength that can withstand peeling from a support and having good adhesion and handling properties. It came to.

すなわち、本発明の第1の観点に係るグリーンシート用塗料は、セラミック粉体と、バインダ樹脂と、可塑剤と、溶剤とを有するグリーンシート用塗料であって、
前記バインダ樹脂が、ポリビニルブチラール樹脂を含み、そのポリブチラール樹脂の重合度が1000以上1700以下であり、樹脂のブチラール化度の公称値が65%以上で78%より小さく、残留アセチル基量が6%未満であることを特徴とする。溶剤としては、特に限定されないが、好ましくは有機溶剤が用いられる。なお、ブチラール化度の公称値は、±3%の範囲でばらつく。すなわち、ブチラール化度の公称値が65%とは、65±3%の意味である。以下の説明において、単に「ブチラール化度」という場合には、「ブチラール化度の公称値」を意味するものとする。
That is, the green sheet paint according to the first aspect of the present invention is a green sheet paint having ceramic powder, a binder resin, a plasticizer, and a solvent,
The binder resin contains a polyvinyl butyral resin, the degree of polymerization of the polybutyral resin is 1000 or more and 1700 or less, the nominal value of the degree of butyralization of the resin is 65% or more and less than 78%, and the residual acetyl group amount is 6 It is characterized by being less than%. Although it does not specifically limit as a solvent, Preferably an organic solvent is used. The nominal value of the degree of butyral varies in the range of ± 3%. That is, the nominal value of the degree of butyralization of 65% means 65 ± 3%. In the following description, the term “degree of butyralization” simply means “nominal value of the degree of butyralization”.

本発明の第1の観点において、ポリブチラール樹脂の重合度が小さすぎると、たとえば5μm以下、好ましくは3μm以下程度に薄層化した場合に、十分な機械的強度が得られにくい傾向にある。また、重合度が大きすぎると、シート化した場合における表面粗さが劣化する傾向にある。また、ポリブチラール樹脂のブチラール化度が低すぎると、塗料への溶解性が劣化する傾向にあり、高すぎると、シート表面粗さが劣化する傾向にある。さらに、残留アセチル基量が多すぎると、シート表面粗さが劣化する傾向にある。   In the first aspect of the present invention, when the degree of polymerization of the polybutyral resin is too small, sufficient mechanical strength tends to be hardly obtained when the layer is thinned to about 5 μm or less, preferably about 3 μm or less. On the other hand, when the degree of polymerization is too large, the surface roughness tends to deteriorate when the sheet is formed. If the degree of butyralization of the polybutyral resin is too low, the solubility in the paint tends to deteriorate, and if too high, the sheet surface roughness tends to deteriorate. Furthermore, if the amount of residual acetyl groups is too large, the sheet surface roughness tends to deteriorate.

本発明の第1の観点に係るグリーンシート用塗料によれば、極めて薄いグリーンシートであっても、支持体からの剥離に耐えうる強度を有し、かつ良好な接着性およびハンドリング性を有するグリーンシートを製造することができる。   According to the green sheet paint according to the first aspect of the present invention, even a very thin green sheet has a strength capable of withstanding peeling from the support, and has good adhesion and handling properties. Sheets can be manufactured.

本発明の第2の観点に係るグリーンシート用塗料は、
セラミック粉体と、バインダ樹脂と、可塑剤と、有機溶剤とを有するグリーンシート用塗料であって、
前記セラミック粉体100質量部に対して、水を1質量部以上6質量部以下含有する。
The green sheet paint according to the second aspect of the present invention,
A green sheet paint having ceramic powder, a binder resin, a plasticizer, and an organic solvent,
1 to 6 parts by mass of water is contained with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder.

従来では、有機溶剤を用いるグリーンシート用塗料にあっては、湿気を吸収して特性が変化することを避けるために水分が混入しないように厳密に管理する必要があった。本発明の第2の観点では、塗料作製当初より所定範囲の含有量で水分を積極的に混入させる。このため、本発明では、湿気による水分吸収の管理を厳密にする必要が無くなる。   Conventionally, in a green sheet paint using an organic solvent, it has been necessary to strictly manage so that moisture does not enter in order to absorb moisture and change characteristics. In the 2nd viewpoint of this invention, a water | moisture content is positively mixed with content of a predetermined range from the beginning of coating material preparation. For this reason, in the present invention, it is not necessary to strictly manage moisture absorption by moisture.

水の含有量が少なすぎると、吸湿による塗料特性の経時変化が大きくなり好ましくないと共に、塗料粘度が増大する傾向にあり、塗料の濾過特性が劣化する傾向にある。また、水の含有量が多すぎると、塗料の分離や沈降が生じ、分散性が悪くなり、シートの表面粗さが劣化する傾向にある。   If the water content is too small, the change with time in the paint properties due to moisture absorption is unfavorable, and the viscosity of the paint tends to increase, and the filtration characteristics of the paint tend to deteriorate. Moreover, when there is too much content of water, separation | separation and sedimentation of a coating material will arise, dispersibility will worsen, and it exists in the tendency for the surface roughness of a sheet to deteriorate.

本発明の第3の観点に係るグリーンシート用塗料は、
セラミック粉体と、バインダ樹脂と、可塑剤と、溶剤と、分散剤とを有するグリーンシート用塗料であって、
前記分散剤が、ポリエチレングリコール系のノニオン性分散剤を含み、親水性・親油性バランス(HLB(Hydrophilic Lipophilic Balance の略))値が5〜6であり、
前記分散剤がセラミック粉体100質量部に対して0.5質量部以上1.5質量部以下添加されていることを特徴とする。
分散剤がポリエチレングリコール系のノニオン性分散剤以外の分散剤である場合には、塗料粘度が増大し、シート密度が低下し、シート表面粗さが増大したり、シート伸度が低下したりする傾向にある。また、分散剤のHLBが上記範囲以外である場合には、シート密度が低下し、シート表面粗さが増大する傾向にある。
本発明の第3の観点に係るグリーンシート用塗料によれば、極めて薄いグリーンシートであっても、支持体からの剥離に耐えうる強度を有し、かつ良好な接着性およびハンドリング性を有するグリーンシートを製造することができる。
また、本発明の第3の観点において、分散剤の添加量が少なすぎると、塗料粘度が増大すると共に、シート密度が低下し、シート表面粗さが増大する傾向にある。また、添加量が多すぎると、シートの引っ張り強度が低下すると共に接着性が低下する傾向にある。
The green sheet paint according to the third aspect of the present invention is:
A green sheet paint having a ceramic powder, a binder resin, a plasticizer, a solvent, and a dispersant,
The dispersant contains a polyethylene glycol-based nonionic dispersant, and has a hydrophilic / lipophilic balance (HLB (abbreviation of Hydrophilic Lipophilic Balance)) value of 5-6,
The dispersant is added in an amount of 0.5 to 1.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder.
When the dispersant is a dispersant other than the polyethylene glycol-based nonionic dispersant, the coating viscosity increases, the sheet density decreases, the sheet surface roughness increases, or the sheet elongation decreases. There is a tendency. Further, when the HLB of the dispersant is outside the above range, the sheet density tends to decrease and the sheet surface roughness tends to increase.
According to the green sheet paint according to the third aspect of the present invention, even a very thin green sheet has a strength capable of withstanding peeling from the support, and has a good adhesion and handling property. Sheets can be manufactured.
In addition, in the third aspect of the present invention, when the amount of the dispersant added is too small, the viscosity of the paint increases, the sheet density decreases, and the sheet surface roughness tends to increase. Moreover, when there is too much addition amount, it exists in the tendency for adhesive strength to fall while the tensile strength of a sheet | seat falls.

本発明の第4の観点に係るグリーンシート用塗料は、
セラミック粉体と、バインダ樹脂と、可塑剤と、溶剤と、帯電助剤とを有するグリーンシート用塗料であって、
前記帯電除剤が、イミダゾリン系帯電除剤を含み、前記帯電助剤が、前記セラミック粉体100質量部に対して0.1質量部以上0.75質量部以下含まれることを特徴とする。
本発明の第4の観点において、帯電除剤がイミダゾリン系帯電除剤以外の場合には、帯電除去効果が小さいと共に、シート強度、シート伸度あるいは接着性が劣化する傾向にある。本発明の第4の観点に係るグリーンシート用塗料によれば、極めて薄いグリーンシートであっても、支持体からの剥離に耐えうる強度を有し、支持体からの剥離時などに発生する静電気を抑制し、かつ良好な接着性およびハンドリング性を有するグリーンシートを製造することができる。
本発明の第4の観点において、帯電除剤の添加量が少なすぎると、帯電除去の効果が小さくなり、多すぎると、シートの表面粗さが劣化すると共に、シート強度が劣化する傾向にある。
本発明の第5の観点に係るグリーンシート用塗料は、
セラミック粉体と、バインダ樹脂と、溶剤と、必要に応じて可塑剤と、分散剤とを有するグリーンシート用塗料であって、
前記溶剤が、アルコール系溶剤と芳香族系溶剤とを含み、アルコール系溶剤と芳香族系溶剤との合計質量を100質量部として、芳香族系溶剤が、10質量部以上20質量部以下含まれる。芳香族系溶剤の含有量が少なすぎると、シート表面粗さが増大する傾向にあり、多すぎると、塗料濾過特性が悪化し、シート表面粗さも増大して悪化する。
The green sheet paint according to the fourth aspect of the present invention is:
A green sheet paint having a ceramic powder, a binder resin, a plasticizer, a solvent, and a charging aid,
The charge remover includes an imidazoline-based charge remover, and the charge assistant is contained in an amount of 0.1 parts by mass or more and 0.75 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder.
In the fourth aspect of the present invention, when the charge remover is other than an imidazoline-based charge remover, the charge removal effect is small and the sheet strength, sheet elongation, or adhesiveness tends to deteriorate. According to the coating material for a green sheet according to the fourth aspect of the present invention, even if it is a very thin green sheet, it has a strength capable of withstanding peeling from the support, and static electricity generated at the time of peeling from the support. And a green sheet having good adhesion and handling properties can be produced.
In the fourth aspect of the present invention, if the addition amount of the antistatic agent is too small, the effect of removing the charge is reduced, and if it is too much, the surface roughness of the sheet deteriorates and the sheet strength tends to deteriorate. .
The green sheet paint according to the fifth aspect of the present invention is:
A green sheet paint having a ceramic powder, a binder resin, a solvent, and optionally a plasticizer and a dispersant,
The solvent includes an alcohol solvent and an aromatic solvent, and the total mass of the alcohol solvent and the aromatic solvent is 100 parts by mass, and the aromatic solvent is included in an amount of 10 parts by mass to 20 parts by mass. . When the content of the aromatic solvent is too small, the sheet surface roughness tends to increase. When the content is too large, the paint filtration characteristics deteriorate, and the sheet surface roughness also increases and deteriorates.

好ましくは、前記バインダ樹脂が前記セラミックス粉体100質量部に対して5質量部以上6.5質量部以下で含まれる。バインダ樹脂の含有量が少なすぎると、シート強度が低下すると共にスタック性(積層時の接着性)が劣化する傾向にある。また、バインダ樹脂の含有量が多すぎると、バインダ樹脂の偏析が発生して分散性が悪くなる傾向にあり、シート表面粗さが劣化する傾向にある。   Preferably, the binder resin is included in an amount of 5 parts by mass to 6.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. When the content of the binder resin is too small, the sheet strength tends to decrease and the stackability (adhesiveness at the time of lamination) tends to deteriorate. Moreover, when there is too much content of binder resin, segregation of binder resin will generate | occur | produce and there exists a tendency for a dispersibility to worsen, and it exists in the tendency for sheet surface roughness to deteriorate.

好ましくは、前記可塑剤として、フタル酸ジオクチル(DOP)を前記バインダ樹脂100質量部に対して、40質量部以上70質量部以下で含有する。他の可塑剤に比較して、フタル酸ジオクチルは、シート強度およびシート伸びの双方の点で好ましく、支持体からの剥離強度が小さく剥がれやすいので特に好ましい。なお、この可塑剤の含有量が少なすぎると、シート延びが小さく、可撓性が小さくなる傾向にある。また、含有量が多すぎると、シートから可塑剤がブリードアウトして、シートに対する可塑剤の偏析が発生しやすく、シートの分散性が低下する傾向にある。   Preferably, the plasticizer contains dioctyl phthalate (DOP) in an amount of 40 parts by weight to 70 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the binder resin. Compared to other plasticizers, dioctyl phthalate is preferable in terms of both sheet strength and sheet elongation, and is particularly preferable because it has a small peel strength from the support and is easily peeled off. In addition, when there is too little content of this plasticizer, there exists a tendency for sheet | seat elongation to be small and for flexibility to become small. Moreover, when there is too much content, a plasticizer will bleed out from a sheet | seat, the segregation of the plasticizer with respect to a sheet | seat tends to generate | occur | produce, and it exists in the tendency for the dispersibility of a sheet | seat to fall.

好ましくは、前記セラミックス粉体とバインダ樹脂と可塑剤との合計の体積を100体積%とした場合に、前記セラミックス粉体が占める体積割合が64.3%以上72%以下である。この体積割合が小さすぎると、バインダの偏析が発生し易くなり分散性が悪くなる傾向にあり、表面粗さが劣化する傾向にある。また、体積割合が大きすぎると、シート強度が低下すると共に、スタック性が悪くなる傾向にある。   Preferably, when the total volume of the ceramic powder, the binder resin and the plasticizer is 100% by volume, the volume ratio occupied by the ceramic powder is 64.3% or more and 72% or less. If this volume ratio is too small, binder segregation tends to occur and the dispersibility tends to deteriorate, and the surface roughness tends to deteriorate. On the other hand, if the volume ratio is too large, the sheet strength tends to decrease and the stackability tends to deteriorate.

好ましくは、前記セラミックス粉体100質量部に対して、炭化水素系溶剤、工業用ガソリン、ケロシン、ソルベントナフサの内の少なくとも何れか1つを、3質量部以上15質量部以下添加されている。これらの添加物を添加することで、シート強度およびシート表面粗さを向上させることができる。これらの添加物の添加量が少なすぎると、添加の効果が少なく、添加量が多すぎると、逆に、シート強度およびシート表面粗さを劣化させる傾向にある。   Preferably, 3 parts by mass or more and 15 parts by mass or less of at least one of a hydrocarbon solvent, industrial gasoline, kerosene, and solvent naphtha is added to 100 parts by mass of the ceramic powder. By adding these additives, the sheet strength and the sheet surface roughness can be improved. If the addition amount of these additives is too small, the effect of the addition is small, and if the addition amount is too large, the sheet strength and the sheet surface roughness tend to be deteriorated.

本発明に係るグリーンシート用塗料の製造方法は、
前記バインダ樹脂を、予め、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールの内の少なくとも一種類以上のアルコール系溶剤に溶解濾過させて溶液にしておき、その溶液に、前記セラミック粉体およびその他の成分を添加することを特徴とする。
The method for producing a coating material for a green sheet according to the present invention includes:
The binder resin is dissolved and filtered in advance in at least one alcohol solvent of methanol, ethanol, propanol, or butanol to obtain a solution, and the ceramic powder and other components are added to the solution. It is characterized by that.

高重合度のバインダ樹脂は溶剤に溶け難く、通常の方法では、塗料の分散性が悪化する傾向にある。本発明の方法では、高重合度のバインダ樹脂を上述の良溶媒に溶解してから、その溶液にセラミック粉体およびその他の成分を添加するために、塗料分散性を改善することができ、未溶解樹脂の発生を抑制することができる。なお、上述の溶剤以外の溶剤では、固形分濃度を上げられないと共に、ラッカー粘度の経時変化が増大する傾向にある。   A binder resin having a high degree of polymerization is difficult to dissolve in a solvent, and the dispersibility of the paint tends to be deteriorated by an ordinary method. In the method of the present invention, since the binder resin having a high degree of polymerization is dissolved in the above-mentioned good solvent and the ceramic powder and other components are added to the solution, the paint dispersibility can be improved. Generation | occurence | production of melt | dissolving resin can be suppressed. In addition, in solvents other than the above-mentioned solvents, the solid content concentration cannot be increased, and the change in lacquer viscosity with time tends to increase.

本発明に係るグリーンシートの製造方法は、
前記グリーンシート用塗料を準備する工程と、
前記グリーンシート用塗料を用いてセラミックグリーンシートを成形する工程と、
を有する。
The method for producing a green sheet according to the present invention includes:
Preparing the green sheet paint;
Forming a ceramic green sheet using the green sheet paint;
Have

本発明に係るセラミック電子部品の製造方法は、
前記グリーンシート用塗料を準備する工程と、
前記グリーンシート用塗料を用いてセラミックグリーンシートを成形する工程と、
前記グリーンシートを乾燥させる工程と、
乾燥後のグリーンシートを、内部電極層を介して積層し、グリーンチップを得る工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、
を有する。
A method for producing a ceramic electronic component according to the present invention includes:
Preparing the green sheet paint;
Forming a ceramic green sheet using the green sheet paint;
Drying the green sheet;
Laminating the green sheet after drying through an internal electrode layer to obtain a green chip;
Firing the green chip;
Have

本発明に係るグリーンシートは、前記グリーンシート用塗料を用いて製造される。   The green sheet which concerns on this invention is manufactured using the said coating material for green sheets.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの概略断面図、
図2A〜図2Cは電極層の転写方法を示す要部断面図、
図3A〜図3Cは図2の続きの工程を示す要部断面図、
図4A〜図4Cは電極層が接着されたグリーンシートの積層方法を示す要部断面図、
図5A〜図5Cは図4の続きの工程を示す電極層が接着されたグリーンシートの積層方法を示す要部断面図、
図6A〜図6Cは図5の続きの工程を示す要部断面図、
図7は図6の続きの工程を示す要部断面図、
図8は図7の続きの工程を示す要部断面図である。
発明を実施するための最良の態様
Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.
2A to 2C are main part cross-sectional views showing a method for transferring an electrode layer,
3A to 3C are main part sectional views showing a continuation process of FIG.
4A to 4C are main part cross-sectional views showing a method for laminating green sheets to which electrode layers are bonded,
FIG. 5A to FIG. 5C are cross-sectional views of main parts showing a method for laminating green sheets to which electrode layers are bonded, showing the subsequent steps of FIG.
6A to 6C are main part cross-sectional views showing a continuation process of FIG.
FIG. 7 is a cross-sectional view of an essential part showing a step subsequent to FIG.
FIG. 8 is a fragmentary cross-sectional view showing a step continued from FIG. 7.
Best Mode for Carrying Out the Invention

まず、本発明に係るグリーンシート用塗料(誘電体ペースト)およびグリーンシートを用いて製造される電子部品の一実施形態として、積層セラミックコンデンサの全体構成について説明する。   First, an overall configuration of a multilayer ceramic capacitor will be described as an embodiment of an electronic component manufactured using a green sheet paint (dielectric paste) and a green sheet according to the present invention.

図1に示すように、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ2は、コンデンサ素体4と、第1端子電極6と第2端子電極8とを有する。コンデンサ素体4は、誘電体層10と、内部電極層12とを有し、誘電体層10の間に、これらの内部電極層12が交互に積層してある。交互に積層される一方の内部電極層12は、コンデンサ素体4の一方の端部の外側に形成してある第1端子電極6の内側に対して電気的に接続してある。また、交互に積層される他方の内部電極層12は、コンデンサ素体4の他方の端部の外側に形成してある第2端子電極8の内側に対して電気的に接続してある。   As shown in FIG. 1, the multilayer ceramic capacitor 2 according to this embodiment includes a capacitor body 4, a first terminal electrode 6, and a second terminal electrode 8. The capacitor body 4 includes dielectric layers 10 and internal electrode layers 12, and the internal electrode layers 12 are alternately stacked between the dielectric layers 10. One internal electrode layer 12 that is alternately stacked is electrically connected to the inside of the first terminal electrode 6 that is formed outside one end of the capacitor body 4. The other internal electrode layers 12 stacked alternately are electrically connected to the inside of the second terminal electrode 8 formed outside the other end of the capacitor body 4.

本実施形態では、内部電極層12は、後で詳細に説明するように、図2〜図6に示すように、電極層12aをセラミックグリーンシート10aに転写して形成される。   In the present embodiment, as will be described in detail later, the internal electrode layer 12 is formed by transferring the electrode layer 12a to the ceramic green sheet 10a as shown in FIGS.

誘電体層10の材質は、特に限定されず、たとえばチタン酸カルシウム、チタン酸ストロンチウムおよび/またはチタン酸バリウムなどの誘電体材料で構成される。各誘電体層10の厚みは、特に限定されないが、数μm〜数百μmのものが一般的である。特に本実施形態では、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下に薄層化されている。   The material of the dielectric layer 10 is not particularly limited, and is made of a dielectric material such as calcium titanate, strontium titanate and / or barium titanate. The thickness of each dielectric layer 10 is not particularly limited, but is generally several μm to several hundred μm. In particular, in this embodiment, the thickness is preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less.

端子電極6および8の材質も特に限定されないが、通常、銅や銅合金、ニッケルやニッケル合金などが用いられるが、銀や銀とパラジウムの合金なども使用することができる。端子電極6および8の厚みも特に限定されないが、通常10〜50μm程度である。   Although the material of the terminal electrodes 6 and 8 is not particularly limited, copper, a copper alloy, nickel, a nickel alloy, or the like is usually used, but silver, an alloy of silver and palladium, or the like can also be used. The thickness of the terminal electrodes 6 and 8 is not particularly limited, but is usually about 10 to 50 μm.

積層セラミックコンデンサ2の形状やサイズは、目的や用途に応じて適宜決定すればよい。積層セラミックコンデンサ2が直方体形状の場合は、通常、縦(0.6〜5.6mm、好ましくは0.6〜3.2mm)×横(0.3〜5.0mm、好ましくは0.3〜1.6mm)×厚み(0.1〜1.9mm、好ましくは0.3〜1.6mm)程度である。   The shape and size of the multilayer ceramic capacitor 2 may be appropriately determined according to the purpose and application. When the multilayer ceramic capacitor 2 has a rectangular parallelepiped shape, it is usually vertical (0.6 to 5.6 mm, preferably 0.6 to 3.2 mm) × horizontal (0.3 to 5.0 mm, preferably 0.3 to 1.6 mm) × thickness (0.1 to 1.9 mm, preferably 0.3 to 1.6 mm).

次に、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ2の製造方法の一例を説明する。   Next, an example of a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 2 according to the present embodiment will be described.

(1)まず、焼成後に図1に示す誘電体層10を構成することになるセラミックグリーンシートを製造するために、誘電体塗料(グリーンシート用塗料)を準備する。
誘電体塗料は、誘電体原料(セラミック粉体)と有機ビヒクルとを混練して得られる有機溶剤系塗料で構成される。
(1) First, in order to manufacture a ceramic green sheet that will form the dielectric layer 10 shown in FIG. 1 after firing, a dielectric paint (green sheet paint) is prepared.
The dielectric paint is composed of an organic solvent-based paint obtained by kneading a dielectric material (ceramic powder) and an organic vehicle.

誘電体原料としては、複合酸化物や酸化物となる各種化合物、たとえば炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物などから適宜選択され、混合して用いることができる。誘電体原料は、通常、平均粒子径が0.4μm以下、好ましくは0.1〜3.0μm程度の粉体として用いられる。なお、きわめて薄いグリーンシートを形成するためには、グリーンシート厚みよりも細かい粉体を使用することが望ましい。   As the dielectric material, various compounds to be complex oxides and oxides, for example, carbonates, nitrates, hydroxides, organometallic compounds, and the like are appropriately selected and used by mixing. The dielectric material is usually used as a powder having an average particle size of 0.4 μm or less, preferably about 0.1 to 3.0 μm. In order to form a very thin green sheet, it is desirable to use a powder finer than the thickness of the green sheet.

有機ビヒクルとは、バインダ樹脂を有機溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いられるバインダ樹脂としては、本実施形態では、ポリビニルブチラール樹脂が用いられる。そのポリブチラール樹脂の重合度は、1000以上1700以下であり、好ましくは1400〜1700である。また、樹脂のブチラール化度が65%以上78%より小さく、好ましくは65%以上70%以下であり、その残留アセチル基量が6%未満、好ましくは3%以下である。   An organic vehicle is obtained by dissolving a binder resin in an organic solvent. In this embodiment, polyvinyl butyral resin is used as the binder resin used in the organic vehicle. The degree of polymerization of the polybutyral resin is 1000 to 1700, preferably 1400 to 1700. The degree of butyralization of the resin is 65% or more and less than 78%, preferably 65% or more and 70% or less, and the amount of residual acetyl groups is less than 6%, preferably 3% or less.

ポリブチラール樹脂の重合度は、たとえば原料であるポリビニルアセタール樹脂の重合度で測定されることができる。また、ブチラール化度は、たとえばJISK6728に準拠して測定されることができる。さらに、残留アセチル基量は、JISK6728に準拠して測定されることができる。   The degree of polymerization of the polybutyral resin can be measured by, for example, the degree of polymerization of a polyvinyl acetal resin that is a raw material. Further, the degree of butyralization can be measured in accordance with, for example, JISK6728. Furthermore, the amount of residual acetyl groups can be measured according to JISK6728.

ポリブチラール樹脂の重合度が小さすぎると、たとえば5μm以下、好ましくは3μm以下程度に薄層化した場合に、十分な機械的強度が得られにくい傾向にある。また、重合度が大きすぎると、シート化した場合における表面粗さが劣化する傾向にある。また、ポリブチラール樹脂のブチラール化度が低すぎると、塗料への溶解性が劣化する傾向にあり、高すぎると、シート表面粗さが劣化する傾向にある。さらに、残留アセチル基量が多すぎると、シート表面粗さが劣化する傾向にある。   When the degree of polymerization of the polybutyral resin is too small, sufficient mechanical strength tends to be hardly obtained when the layer is thinned to, for example, 5 μm or less, preferably about 3 μm or less. On the other hand, when the degree of polymerization is too large, the surface roughness tends to deteriorate when the sheet is formed. If the degree of butyralization of the polybutyral resin is too low, the solubility in the paint tends to deteriorate, and if too high, the sheet surface roughness tends to deteriorate. Furthermore, if the amount of residual acetyl groups is too large, the sheet surface roughness tends to deteriorate.

有機ビヒクルに用いられる有機溶剤は、特に限定されず、たとえばテルピネオール、アルコール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエンなどの有機溶剤が用いられる。本実施形態では、有機溶剤としては、好ましくは、アルコール系溶剤と芳香族系溶剤とを含み、アルコール系溶剤と芳香族系溶剤との合計質量を100質量部として、芳香族系溶剤が、10質量部以上20質量部以下含まれる。芳香族系溶剤の含有量が少なすぎると、シート表面粗さが増大する傾向にあり、多すぎると、塗料濾過特性が悪化し、シート表面粗さも増大して悪化する。   The organic solvent used for the organic vehicle is not particularly limited, and for example, organic solvents such as terpineol, alcohol, butyl carbitol, acetone, and toluene are used. In the present embodiment, the organic solvent preferably includes an alcohol solvent and an aromatic solvent, and the total mass of the alcohol solvent and the aromatic solvent is 100 parts by mass. More than 20 parts by mass. When the content of the aromatic solvent is too small, the sheet surface roughness tends to increase. When the content is too large, the paint filtration characteristics deteriorate, and the sheet surface roughness also increases and deteriorates.

アルコール系溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどが例示される。芳香族系溶剤としては、トルエン、キシレン、酢酸ベンジルなどが例示される。   Examples of alcohol solvents include methanol, ethanol, propanol, butanol and the like. Examples of the aromatic solvent include toluene, xylene, benzyl acetate and the like.

バインダ樹脂は、予め、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールの内の少なくとも一種類以上のアルコール系溶剤に溶解濾過させて溶液にしておき、その溶液に、誘電体粉体およびその他の成分を添加することが好ましい。高重合度のバインダ樹脂は溶剤に溶け難く、通常の方法では、塗料の分散性が悪化する傾向にある。本実施形態の方法では、高重合度のバインダ樹脂を上述の良溶媒に溶解してから、その溶液にセラミック粉体およびその他の成分を添加するために、塗料分散性を改善することができ、未溶解樹脂の発生を抑制することができる。なお、上述の溶剤以外の溶剤では、固形分濃度を上げられないと共に、ラッカー粘度の経時変化が増大する傾向にある。   Binder resin should be dissolved and filtered in advance in at least one alcohol solvent of methanol, ethanol, propanol, or butanol, and a dielectric powder and other components should be added to the solution. Is preferred. A binder resin having a high degree of polymerization is difficult to dissolve in a solvent, and the dispersibility of the paint tends to be deteriorated by an ordinary method. In the method of the present embodiment, since the binder resin having a high degree of polymerization is dissolved in the above-described good solvent, and the ceramic powder and other components are added to the solution, the paint dispersibility can be improved. Generation | occurrence | production of undissolved resin can be suppressed. In addition, in solvents other than the above-mentioned solvents, the solid content concentration cannot be increased, and the change in lacquer viscosity with time tends to increase.

誘電体塗料中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、帯電除剤、誘電体、ガラスフリット、絶縁体などから選択される添加物が含有されても良い。   The dielectric coating material may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, antistatic agents, dielectrics, glass frit, insulators, and the like as necessary.

本実施形態では、分散剤としては、特に限定されないが、好ましくはポリエチレングリコール系のノニオン性分散剤が用いられ、その親水性・親油性バランス(HLB)値が5〜6である。分散剤は、セラミック粉体100質量部に対して、好ましくは0.5質量部以上1.5質量部以下、さらに好ましくは0.5質量部以上1.0質量部以下添加されている。
HLBが上記の範囲を外れると、塗料粘度が増大すると共にシート表面粗さが増大する傾向にある。また、ポリエチレングリコール系のノニオン性分散剤ではない分散剤では、塗料粘度が増大すると共に、シート表面粗さが増大したり、シート伸度が低下することから好ましくない。
分散剤の添加量が少なすぎると、シート表面粗さが増大する傾向にあり、多すぎると、シート引張強度およびスタック性が低下する傾向にある。
本実施形態では、可塑剤としては、好ましくはフタル酸ジオクチルが用いられ、バインダ樹脂100質量部に対して、好ましくは40質量部以上70質量部以下、さらに好ましくは40〜60質量部で含有してある。他の可塑剤に比較して、フタル酸ジオクチルは、シート強度およびシート伸びの双方の点で好ましく、支持体からの剥離強度が小さく剥がれやすいので特に好ましい。なお、この可塑剤の含有量が少なすぎると、シート延びが小さく、可撓性が小さくなる傾向にある。また、含有量が多すぎると、シートから可塑剤がブリードアウトして、シートに対する可塑剤の偏析が発生しやすく、シートの分散性が低下する傾向にある。
In the present embodiment, the dispersant is not particularly limited, but a polyethylene glycol nonionic dispersant is preferably used, and the hydrophilic / lipophilic balance (HLB) value thereof is 5 to 6. The dispersant is preferably added in an amount of 0.5 to 1.5 parts by mass, and more preferably 0.5 to 1.0 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder.
When the HLB is out of the above range, the viscosity of the paint increases and the sheet surface roughness tends to increase. In addition, a dispersant that is not a polyethylene glycol-based nonionic dispersant is not preferable because the viscosity of the paint increases, the surface roughness of the sheet increases, and the sheet elongation decreases.
When the amount of the dispersant added is too small, the sheet surface roughness tends to increase, and when too large, the sheet tensile strength and stackability tend to decrease.
In the present embodiment, dioctyl phthalate is preferably used as the plasticizer, and is preferably contained in an amount of 40 to 70 parts by mass, more preferably 40 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the binder resin. It is. Compared to other plasticizers, dioctyl phthalate is preferable in terms of both sheet strength and sheet elongation, and is particularly preferable because it has a small peel strength from the support and is easily peeled off. In addition, when there is too little content of this plasticizer, there exists a tendency for sheet | seat elongation to be small and for flexibility to become small. Moreover, when there is too much content, a plasticizer will bleed out from a sheet | seat, the segregation of the plasticizer with respect to a sheet | seat tends to generate | occur | produce, and it exists in the tendency for the dispersibility of a sheet | seat to fall.

また、本実施形態では、誘電体塗料には、誘電体粉体100質量部に対して、水を1質量部以上6質量部以下、好ましくは1〜3質量部で含有してある。水の含有量が少なすぎると、吸湿による塗料特性の経時変化が大きくなり好ましくなると共に、塗料粘度が増大する傾向にあり、塗料の濾過特性が劣化する傾向にある。また、水の含有量が多すぎると、塗料の分離や沈降が生じ、分散性が悪くなり、シートの表面粗さが劣化する傾向にある。   In this embodiment, the dielectric coating material contains water in an amount of 1 part by mass to 6 parts by mass, and preferably 1 to 3 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the dielectric powder. If the water content is too small, the change with time in the paint characteristics due to moisture absorption becomes large and preferable, and the viscosity of the paint tends to increase, and the filtration characteristics of the paint tend to deteriorate. Moreover, when there is too much content of water, separation | separation and sedimentation of a coating material will arise, dispersibility will worsen, and it exists in the tendency for the surface roughness of a sheet to deteriorate.

さらに、本実施形態では、誘電体粉体100質量部に対して、炭化水素系溶剤、工業用ガソリン、ケロシン、ソルベントナフサの内の少なくとも何れか1つを、好ましくは3質量部以上15質量部以下、さらに好ましくは5〜10質量部で添加してある。これらの添加物を添加することで、シート強度およびシート表面粗さを向上させることができる。これらの添加物の添加量が少なすぎると、添加の効果が少なく、添加量が多すぎると、逆に、シート強度およびシート表面粗さを劣化させる傾向にある。   Furthermore, in this embodiment, at least one of a hydrocarbon solvent, industrial gasoline, kerosene, and solvent naphtha, preferably 3 parts by mass or more and 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the dielectric powder. Hereinafter, more preferably 5 to 10 parts by mass are added. By adding these additives, the sheet strength and the sheet surface roughness can be improved. If the addition amount of these additives is too small, the effect of the addition is small, and if the addition amount is too large, the sheet strength and the sheet surface roughness tend to be deteriorated.

バインダ樹脂は、誘電体粉体100質量部に対して、好ましくは5質量部以上6.5質量部以下で含まれる。バインダ樹脂の含有量が少なすぎると、シート強度が低下すると共にスタック性(積層時の接着性)が劣化する傾向にある。また、バインダ樹脂の含有量が多すぎると、バインダ樹脂の偏析が発生して分散性が悪くなる傾向にあり、シート表面粗さが劣化する傾向にある。   The binder resin is preferably contained in an amount of 5 parts by mass to 6.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the dielectric powder. When the content of the binder resin is too small, the sheet strength tends to decrease and the stackability (adhesiveness at the time of lamination) tends to deteriorate. Moreover, when there is too much content of binder resin, segregation of binder resin will generate | occur | produce and there exists a tendency for a dispersibility to worsen, and it exists in the tendency for sheet surface roughness to deteriorate.

また、セラミックス粉体とバインダ樹脂と可塑剤との合計の体積を100体積%とした場合に、誘電体粉体が占める体積割合は、好ましくは62.42%以上72.69%以下、さらに好ましくは63.93%以上72.69%以下である。この体積割合が小さすぎると、バインダの偏析が発生し易くなり分散性が悪くなる傾向にあり、表面粗さが劣化する傾向にある。また、体積割合が大きすぎると、シート強度が低下すると共に、スタック性が悪くなる傾向にある。
特に本実施形態では、誘電体塗料には、好ましくは帯電除剤が含まれ、その帯電助剤が、イミダゾリン系帯電除剤であることが好ましい。帯電除剤がイミダゾリン系帯電除剤以外の場合には、帯電除去効果が小さいと共に、シート強度、シート伸度あるいは接着性が劣化する傾向にある。
帯電助剤は、セラミック粉体100質量部に対して0.1質量部以上0.75質量部以下、さらに好ましくは、0.25〜0.5質量部で含まれる。帯電除剤の添加量が少なすぎると、帯電除去の効果が小さくなり、多すぎると、シートの表面粗さが劣化すると共に、シート強度が劣化する傾向にある。帯電除去の効果が小さいと、セラミックグリーンシート10aから支持体としてのキャリアシート30を剥がす際などに静電気が発生しやすく、グリーンシートにしわが発生する等の不都合が発生しやすい。
Further, when the total volume of the ceramic powder, the binder resin, and the plasticizer is 100% by volume, the volume ratio occupied by the dielectric powder is preferably 62.42% or more and 72.69% or less, and more preferably Is 63.93% or more and 72.69% or less. If this volume ratio is too small, binder segregation tends to occur and the dispersibility tends to deteriorate, and the surface roughness tends to deteriorate. On the other hand, if the volume ratio is too large, the sheet strength tends to decrease and the stackability tends to deteriorate.
In particular, in the present embodiment, the dielectric paint preferably contains an antistatic agent, and the charging aid is preferably an imidazoline-based antistatic agent. When the charge remover is other than an imidazoline-based charge remover, the charge removal effect is small and the sheet strength, sheet elongation, or adhesiveness tends to deteriorate.
The charging aid is contained in an amount of 0.1 to 0.75 parts by mass, more preferably 0.25 to 0.5 parts by mass, with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. If the addition amount of the antistatic agent is too small, the effect of removing the charge becomes small, and if it is too large, the surface roughness of the sheet deteriorates and the sheet strength tends to deteriorate. If the effect of removing the charge is small, static electricity is likely to occur when the carrier sheet 30 as the support is peeled off from the ceramic green sheet 10a, and inconveniences such as wrinkling of the green sheet are likely to occur.

この誘電体塗料を用いて、ドクターブレード法などにより、たとえば図3Aに示すように、第2支持シートとしてのキャリアシート30上に、好ましくは0.5〜30μm、より好ましくは0.5〜10μm程度の厚みで、グリーンシート10aを形成する。グリーンシート10aは、キャリアシート30に形成された後に乾燥される。グリーンシート10aの乾燥温度は、好ましくは50〜100°Cであり、乾燥時間は、好ましくは1〜20分である。乾燥後のグリーンシート10aの厚みは、乾燥前に比較して、5〜25%の厚みに収縮する。乾燥後のグリーンシートの厚みは、3μm以下が好ましい。   Using this dielectric paint, by a doctor blade method or the like, for example, as shown in FIG. 3A, on the carrier sheet 30 as the second support sheet, preferably 0.5-30 μm, more preferably 0.5-10 μm. The green sheet 10a is formed with a certain thickness. The green sheet 10 a is dried after being formed on the carrier sheet 30. The drying temperature of the green sheet 10a is preferably 50 to 100 ° C., and the drying time is preferably 1 to 20 minutes. The thickness of the green sheet 10a after drying shrinks to a thickness of 5 to 25% as compared with that before drying. The thickness of the green sheet after drying is preferably 3 μm or less.

(2)上記のキャリアシート30とは別に、図2Aに示すように、第1支持シートとしてのキャリアシート20を準備し、その上に、剥離層22を形成する。更にその上に、所定パターンの電極層12aを形成し、その前後に、その電極層12aが形成されていない剥離層22の表面に、電極層12aと実質的に同じ厚みの余白パターン層24を形成する。   (2) Apart from the carrier sheet 30, as shown in FIG. 2A, a carrier sheet 20 as a first support sheet is prepared, and a release layer 22 is formed thereon. Further, an electrode layer 12a having a predetermined pattern is formed thereon, and before and after that, a blank pattern layer 24 having substantially the same thickness as the electrode layer 12a is formed on the surface of the peeling layer 22 where the electrode layer 12a is not formed. Form.

キャリアシート20および30としては、たとえばPETフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、シリコンなどがコーティングしてあるものが好ましい。これらのキャリアシート20および30の厚みは、特に限定されないが、好ましくは、5〜100μmである。これらのキャリアシート20および30の厚みは、同じでも異なっていても良い。   As the carrier sheets 20 and 30, for example, a PET film or the like is used, and those coated with silicon or the like are preferable in order to improve the peelability. Although the thickness of these carrier sheets 20 and 30 is not specifically limited, Preferably, it is 5-100 micrometers. The thicknesses of these carrier sheets 20 and 30 may be the same or different.

剥離層22は、好ましくは図3Aに示すグリーンシート10aを構成する誘電体と同じ誘電体粒子を含む。また、この剥離層22は、誘電体粒子以外に、バインダと、可塑剤と、離型剤とを含む。誘電体粒子の粒径は、グリーンシートに含まれる誘電体粒子の粒径と同じでも良いが、より小さいことが好ましい。   The release layer 22 preferably includes the same dielectric particles as the dielectric that constitutes the green sheet 10a shown in FIG. 3A. In addition to the dielectric particles, the release layer 22 includes a binder, a plasticizer, and a release agent. The particle size of the dielectric particles may be the same as the particle size of the dielectric particles contained in the green sheet, but is preferably smaller.

本実施形態では、剥離層22の厚みt2は、電極層12aの厚み以下の厚みであることが好ましく、好ましくは60%以下の厚み、さらに好ましくは30%以下に設定する。   In the present embodiment, the thickness t2 of the release layer 22 is preferably equal to or less than the thickness of the electrode layer 12a, preferably 60% or less, and more preferably 30% or less.

剥離層22の塗布方法としては、特に限定されないが、きわめて薄く形成する必要があるために、たとえばワイヤーバーコーターまたはダイコーターを用いる塗布方法が好ましい。なお、剥離層の厚みの調整は、異なるワイヤー径のワイヤーバーコーターを選択することで行うことができる。すなわち、剥離層の塗布厚みを薄くするためには、ワイヤー径の小さいものを選択すれば良く、逆に厚く形成するためには、太いワイヤー径のものを選択すればよい。剥離層22は、塗布後に乾燥される。乾燥温度は、好ましくは、50〜100°Cであり、乾燥時間は、好ましくは1〜10分である。   The method for applying the release layer 22 is not particularly limited. However, since it is necessary to form the release layer 22 very thinly, for example, an application method using a wire bar coater or a die coater is preferable. In addition, adjustment of the thickness of a peeling layer can be performed by selecting the wire bar coater of a different wire diameter. That is, in order to reduce the coating thickness of the release layer, a small wire diameter may be selected. Conversely, in order to form a thick film, a thick wire diameter may be selected. The release layer 22 is dried after application. The drying temperature is preferably 50 to 100 ° C., and the drying time is preferably 1 to 10 minutes.

剥離層22のためのバインダとしては、たとえば、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、または、これらの共重合体からなる有機質、またはエマルジョンで構成される。剥離層22に含まれるバインダは、グリーンシート10aに含まれるバインダと同じでも異なっていても良いが同じであることが好ましい。   The binder for the release layer 22 is made of, for example, an organic material or an emulsion made of acrylic resin, polyvinyl butyral, polyvinyl acetal, polyvinyl alcohol, polyolefin, polyurethane, polystyrene, or a copolymer thereof. The binder contained in the release layer 22 may be the same as or different from the binder contained in the green sheet 10a, but is preferably the same.

剥離層22のための可塑剤としては、特に限定されないが、たとえばフタル酸エステル、フタル酸ジオクチル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などが例示される。剥離層22に含まれる可塑剤は、グリーンシート10aに含まれる可塑剤と同じでも異なっていても良い。   Although it does not specifically limit as a plasticizer for the peeling layer 22, For example, a phthalate ester, dioctyl phthalate, adipic acid, phosphate ester, glycols etc. are illustrated. The plasticizer contained in the release layer 22 may be the same as or different from the plasticizer contained in the green sheet 10a.

剥離層22のための剥離剤としては、特に限定されないが、たとえばパラフィン、ワックス、シリコーン油などが例示される。剥離層22に含まれる剥離剤は、グリーンシート10aに含まれる剥離剤と同じでも異なっていても良い。   The release agent for the release layer 22 is not particularly limited, and examples thereof include paraffin, wax, silicone oil, and the like. The release agent contained in the release layer 22 may be the same as or different from the release agent contained in the green sheet 10a.

バインダは、剥離層22中に、誘電体粒子100質量部に対して、好ましくは2.5〜200質量部、さらに好ましくは5〜30質量部、特に好ましくは8〜30質量部程度で含まれる。   The binder is contained in the release layer 22 in an amount of preferably 2.5 to 200 parts by weight, more preferably 5 to 30 parts by weight, and particularly preferably about 8 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the dielectric particles. .

可塑剤は、剥離層22中に、バインダ100質量部に対して、0〜200質量部、好ましくは20〜200質量部、さらに好ましくは50〜100質量部で含まれることが好ましい。   The plasticizer is preferably contained in the release layer 22 in an amount of 0 to 200 parts by mass, preferably 20 to 200 parts by mass, and more preferably 50 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the binder.

剥離剤は、剥離層22中に、バインダ100質量部に対して、0〜100質量部、好ましくは2〜50質量部、さらに好ましくは5〜20質量部で含まれることが好ましい。   The release agent is preferably contained in the release layer 22 at 0 to 100 parts by mass, preferably 2 to 50 parts by mass, and more preferably 5 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the binder.

剥離層22をキャリアシート30の表面に形成した後、図2Aに示すように、剥離層22の表面に、焼成後に内部電極層12を構成することになる電極層12aを所定パターンで形成する。電極層12aの厚さは、好ましくは0.1〜2μm、より好ましくは0.1〜1.0μm程度である。電極層12aは、単一の層で構成してあってもよく、あるいは2以上の組成の異なる複数の層で構成してあってもよい。   After the release layer 22 is formed on the surface of the carrier sheet 30, as shown in FIG. 2A, an electrode layer 12 a that will form the internal electrode layer 12 after firing is formed in a predetermined pattern on the surface of the release layer 22. The thickness of the electrode layer 12a is preferably about 0.1 to 2 μm, more preferably about 0.1 to 1.0 μm. The electrode layer 12a may be composed of a single layer, or may be composed of a plurality of layers having two or more different compositions.

電極層12aは、たとえば電極塗料を用いる印刷法などの厚膜形成方法、あるいは蒸着、スパッタリングなどの薄膜法により、剥離層22の表面に形成することができる。厚膜法の1種であるスクリーン印刷法あるいはグラビア印刷法により、剥離層22の表面に電極層12aを形成する場合には、以下のようにして行う。   The electrode layer 12a can be formed on the surface of the release layer 22 by a thick film forming method such as a printing method using an electrode paint or a thin film method such as vapor deposition or sputtering. When the electrode layer 12a is formed on the surface of the release layer 22 by a screen printing method or a gravure printing method which is a kind of thick film method, it is performed as follows.

まず、電極塗料を準備する。電極塗料は、各種導電性金属や合金からなる導電体材料、あるいは焼成後に上記した導電体材料となる各種酸化物、有機金属化合物、またはレジネート等と、有機ビヒクルとを混練して調製する。   First, an electrode paint is prepared. The electrode paint is prepared by kneading a conductive material made of various conductive metals or alloys, or various oxides, organometallic compounds, resinates, or the like, which become the conductive material described above after firing, and an organic vehicle.

電極塗料を製造する際に用いる導体材料としては、NiやNi合金さらにはこれらの混合物を用いる。このような導体材料は、球状、リン片状等、その形状に特に制限はなく、また、これらの形状のものが混合したものであってもよい。また、導体材料の平均粒子径は、通常、0.1〜2μm、好ましくは0.2〜1μm程度のものを用いればよい。   As a conductive material used when manufacturing the electrode paint, Ni, Ni alloy, or a mixture thereof is used. There are no particular restrictions on the shape of such a conductive material, such as a spherical shape or a flake shape, or a mixture of these shapes may be used. The average particle diameter of the conductor material is usually 0.1 to 2 μm, preferably about 0.2 to 1 μm.

有機ビヒクルは、バインダおよび溶剤を含有するものである。バインダとしては、例えばエチルセルロース、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、または、これらの共重合体などが例示されるが、特にポリビニルブチラールなどのブチラール系が好ましい。   The organic vehicle contains a binder and a solvent. Examples of the binder include ethyl cellulose, acrylic resin, polyvinyl butyral, polyvinyl acetal, polyvinyl alcohol, polyolefin, polyurethane, polystyrene, and copolymers thereof, but a butyral system such as polyvinyl butyral is particularly preferable.

バインダは、電極塗料中に、導体材料(金属粉体)100質量部に対して、好ましくは8〜20質量部含まれる。溶剤としては、例えばテルピネオール、ブチルカルビトール、ケロシン等公知のものはいずれも使用可能である。溶剤含有量は、塗料全体に対して、好ましくは20〜55質量%程度とする。   The binder is preferably included in the electrode paint in an amount of 8 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the conductive material (metal powder). As the solvent, any known solvents such as terpineol, butyl carbitol, and kerosene can be used. The solvent content is preferably about 20 to 55% by mass with respect to the entire coating material.

接着性の改善のために、電極塗料には、可塑剤が含まれることが好ましい。可塑剤としては、フタル酸ベンジルブチル(BBP)などのフタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などが例示される。可塑剤は、電極塗料中に、バインダ100質量部に対して、好ましくは10〜300質量部、さらに好ましくは10〜200質量部である。なお、可塑剤または粘着剤の添加量が多すぎると、電極層12aの強度が著しく低下する傾向にある。また、電極層12aの転写性を向上させるために、電極塗料中に、可塑剤および/または粘着剤を添加して、電極塗料の接着性および/または粘着性を向上させることが好ましい。   In order to improve adhesion, the electrode paint preferably contains a plasticizer. Examples of the plasticizer include phthalic acid esters such as benzylbutyl phthalate (BBP), adipic acid, phosphoric acid esters, glycols, and the like. The plasticizer is preferably 10 to 300 parts by mass, and more preferably 10 to 200 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the binder in the electrode paint. In addition, when there is too much addition amount of a plasticizer or an adhesive, there exists a tendency for the intensity | strength of the electrode layer 12a to fall remarkably. In order to improve the transferability of the electrode layer 12a, it is preferable to add a plasticizer and / or a pressure-sensitive adhesive to the electrode paint to improve the adhesion and / or tackiness of the electrode paint.

剥離層22の表面に、所定パターンの電極塗料層を印刷法で形成した後、またはその前に、電極層12aが形成されていない剥離層22の表面に、電極層12aと実質的に同じ厚みの余白パターン層24を形成する。余白パターン層24は、図3Aに示すグリーンシート10aと同様な材質で構成され、同様な方法により形成される。電極層12aおよび余白パターン層12aは、必要に応じて乾燥される。乾燥温度は、特に限定されないが、好ましくは70〜120°Cであり、乾燥時間は、好ましくは5〜15分である。   After or before the electrode coating layer having a predetermined pattern is formed on the surface of the release layer 22 by the printing method, the surface of the release layer 22 on which the electrode layer 12a is not formed has substantially the same thickness as the electrode layer 12a. The blank pattern layer 24 is formed. The blank pattern layer 24 is made of the same material as the green sheet 10a shown in FIG. 3A and is formed by the same method. The electrode layer 12a and the blank pattern layer 12a are dried as necessary. The drying temperature is not particularly limited, but is preferably 70 to 120 ° C, and the drying time is preferably 5 to 15 minutes.

(3)上記のキャリアシート20および30とは別に、図2Aに示すように、第3支持シートとしてのキャリアシート26の表面に接着層28が形成してある接着層転写用シートを準備する。キャリアシート26は、キャリアシート20および30と同様なシートで構成される。   (3) Separately from the carrier sheets 20 and 30 described above, as shown in FIG. 2A, an adhesive layer transfer sheet in which an adhesive layer 28 is formed on the surface of a carrier sheet 26 as a third support sheet is prepared. The carrier sheet 26 is composed of a sheet similar to the carrier sheets 20 and 30.

接着層28の組成は、離型剤を含まない以外は、剥離層22と同様である。すなわち、接着層28は、バインダと、可塑剤と、離型剤とを含む。接着層28には、グリーンシート10aを構成する誘電体と同じ誘電体粒子を含ませても良いが、誘電体粒子の粒径よりも厚みが薄い接着層を形成する場合には、誘電体粒子を含ませない方がよい。また、接着層28に誘電体粒子を含ませる場合には、その誘電体粒子の粒径は、グリーンシートに含まれる誘電体粒子の粒径より小さいことが好ましい。   The composition of the adhesive layer 28 is the same as that of the release layer 22 except that it does not contain a release agent. That is, the adhesive layer 28 includes a binder, a plasticizer, and a release agent. The adhesive layer 28 may contain the same dielectric particles as the dielectric constituting the green sheet 10a. However, when forming an adhesive layer having a thickness smaller than the particle diameter of the dielectric particles, the dielectric particles It is better not to include. In addition, when dielectric particles are included in the adhesive layer 28, the particle size of the dielectric particles is preferably smaller than the particle size of the dielectric particles included in the green sheet.

可塑剤は、接着層28中に、バインダ100質量部に対して、0〜200質量部、好ましくは20〜200質量部、さらに好ましくは50〜100質量部で含まれることが好ましい。   The plasticizer is preferably contained in the adhesive layer 28 in an amount of 0 to 200 parts by mass, preferably 20 to 200 parts by mass, and more preferably 50 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the binder.

接着層28は、さらに帯電除剤を含み、当該帯電除剤は、イミダゾリン系界面活性剤の中の1つを含み、帯電除剤の重量基準添加量は、バインダ(有機高分子材料)の重量基準添加量以下であることが好ましい。すなわち、帯電除剤は、接着層28中に、バインダ100質量部に対して、0〜200質量部、好ましくは20〜200質量部、さらに好ましくは50〜100質量部で含まれることが好ましい。   The adhesive layer 28 further contains an antistatic agent, and the antistatic agent contains one of the imidazoline-based surfactants, and the weight-based addition amount of the antistatic agent is the weight of the binder (organic polymer material). It is preferable that it is below the reference addition amount. That is, it is preferable that the antistatic agent is contained in the adhesive layer 28 in an amount of 0 to 200 parts by weight, preferably 20 to 200 parts by weight, and more preferably 50 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the binder.

接着層28の厚みは、0.02〜0.3μm程度が好ましく、しかもグリーンシートに含まれる誘電体粒子の平均粒径よりも薄いことが好ましい。また、接着層28の厚みが、グリーンシート10aの厚みの1/10以下であることが好ましい。   The thickness of the adhesive layer 28 is preferably about 0.02 to 0.3 μm, and is preferably thinner than the average particle size of the dielectric particles contained in the green sheet. Moreover, it is preferable that the thickness of the contact bonding layer 28 is 1/10 or less of the thickness of the green sheet 10a.

接着層28の厚みが薄すぎると、接着力が低下し、厚すぎると、その接着層の厚みに依存して焼結後の素子本体の内部に隙間ができやすく、その体積分の静電容量が著しく低下する傾向にある。   If the thickness of the adhesive layer 28 is too thin, the adhesive strength is reduced, and if it is too thick, a gap is easily formed inside the element body after sintering depending on the thickness of the adhesive layer, and the electrostatic capacity corresponding to the volume. Tends to decrease significantly.

接着層28は、第3支持シートとしてのキャリアシート26の表面に、たとえばバーコーター法、ダイコータ法、リバースコーター法、ディップコーター法、キスコーター法などの方法により形成され、必要に応じて乾燥される。乾燥温度は、特に限定されないが、好ましくは室温〜80°Cであり、乾燥時間は、好ましくは1〜5分である。   The adhesive layer 28 is formed on the surface of the carrier sheet 26 as the third support sheet by a method such as a bar coater method, a die coater method, a reverse coater method, a dip coater method, or a kiss coater method, and is dried as necessary. . The drying temperature is not particularly limited, but is preferably room temperature to 80 ° C., and the drying time is preferably 1 to 5 minutes.

(4)図2Aに示す電極層12aおよび余白パターン層24の表面に、接着層を形成するために、本実施形態では、転写法を採用している。すなわち、図2Bに示すように、キャリアシート26の接着層28を、電極層12aおよび余白パターン層24の表面に押し付け、加熱加圧して、その後キャリアシート26を剥がす。その結果、図2Cに示すように、接着層28が、電極層12aおよび余白パターン層24の表面に転写される。なお、接着層28の転写は、図3Aに示すグリーンシート10aの表面に対して行っても良い。   (4) In order to form an adhesive layer on the surface of the electrode layer 12a and the blank pattern layer 24 shown in FIG. 2A, a transfer method is employed in this embodiment. That is, as shown in FIG. 2B, the adhesive layer 28 of the carrier sheet 26 is pressed against the surfaces of the electrode layer 12a and the blank pattern layer 24, heated and pressurized, and then the carrier sheet 26 is peeled off. As a result, as shown in FIG. 2C, the adhesive layer 28 is transferred to the surfaces of the electrode layer 12 a and the blank pattern layer 24. The transfer of the adhesive layer 28 may be performed on the surface of the green sheet 10a shown in FIG. 3A.

転写時の加熱温度は、40〜100°Cが好ましく、また、加圧力は、0.2〜15MPaが好ましい。加圧は、プレスによる加圧でも、カレンダロールによる加圧でも良いが、一対のロールにより行うことが好ましい。   The heating temperature during transfer is preferably 40 to 100 ° C., and the applied pressure is preferably 0.2 to 15 MPa. The pressurization may be a pressurization or a calender roll, but is preferably performed by a pair of rolls.

その後に、電極層12aを、図3Aに示すキャリアシート30の表面に形成してあるグリーンシート10aの表面に接着する。そのために、図3Bに示すように、キャリアシート20の電極層12aおよび余白パターン層24を、接着層28を介して、グリーンシート10aの表面にキャリアシート20と共に押し付け、加熱加圧する。その結果、図3Cに示すように、電極層12aおよび余白パターン層24が、グリーンシート10aの表面に転写される。ただし、グリーンシート側のキャリアシート30が引き剥がされることから、グリーンシート10a側から見れば、グリーンシート10aが電極層12aおよび余白パターン層24に接着層28を介して転写される。   Thereafter, the electrode layer 12a is adhered to the surface of the green sheet 10a formed on the surface of the carrier sheet 30 shown in FIG. 3A. For this purpose, as shown in FIG. 3B, the electrode layer 12a and the blank pattern layer 24 of the carrier sheet 20 are pressed against the surface of the green sheet 10a through the adhesive layer 28 together with the carrier sheet 20 and heated and pressurized. As a result, as shown in FIG. 3C, the electrode layer 12a and the blank pattern layer 24 are transferred to the surface of the green sheet 10a. However, since the carrier sheet 30 on the green sheet side is peeled off, when viewed from the green sheet 10 a side, the green sheet 10 a is transferred to the electrode layer 12 a and the blank pattern layer 24 via the adhesive layer 28.

この転写時の加熱および加圧は、プレスによる加圧・加熱でも、カレンダロールによる加圧・加熱でも良いが、一対のロールにより行うことが好ましい。その加熱温度および加圧力は、接着層28を転写するときと同様である。   The heating and pressurization at the time of transfer may be pressurization / heating with a press or pressurization / heating with a calender roll, but is preferably performed with a pair of rolls. The heating temperature and pressure are the same as when the adhesive layer 28 is transferred.

図2A〜図3Cに示す工程により、単一のグリーンシート10a上に、単一層の所定パターンの電極層12aが形成される。電極層12aが形成されたグリーンシート10aを積層させるには、たとえば図4A〜図6Cに示す工程を繰り返せばよい。なお、図4A〜図6Cにおいて、図3A〜図4Cに示す部材と共通する部材には、同一の符号を付し、その説明を一部省略する。   2A to 3C, a single layer of electrode layer 12a having a predetermined pattern is formed on a single green sheet 10a. In order to stack the green sheets 10a on which the electrode layers 12a are formed, for example, the steps shown in FIGS. 4A to 6C may be repeated. 4A to 6C, members that are the same as those shown in FIGS. 3A to 4C are denoted by the same reference numerals, and description thereof is partially omitted.

まず、図4A〜図4Cに示すように、グリーンシート10aにおける反電極層側表面(裏面)に、接着層28を転写する。その後に、図5A〜図5Cに示すように、接着層28を介して、グリーンシート10aの裏面に電極層12aおよび余白パターン層24を転写する。   First, as shown in FIGS. 4A to 4C, the adhesive layer 28 is transferred to the surface (back surface) on the counter electrode layer side of the green sheet 10a. Thereafter, as shown in FIGS. 5A to 5C, the electrode layer 12 a and the blank pattern layer 24 are transferred to the back surface of the green sheet 10 a through the adhesive layer 28.

次に、図6A〜図6Cに示すように、接着層28を介して、電極層12aおよび余白パターン層24の表面に、グリーンシート10aを転写する。その後は、これらの転写を繰り返せば、図7に示すように、電極層12aおよびグリーンシート10aが交互に多数積層された積層ブロックが得られる。   Next, as shown in FIGS. 6A to 6C, the green sheet 10 a is transferred to the surfaces of the electrode layer 12 a and the blank pattern layer 24 through the adhesive layer 28. Thereafter, by repeating these transfers, a laminated block in which a large number of electrode layers 12a and green sheets 10a are alternately laminated is obtained as shown in FIG.

なお、図5C〜図6Cに示す工程を採用することなく以下のように行っても良い。すなわち、図5Bに示す工程から、下側のキャリアシート20を剥がすのではなく、上側のキャリアシートを剥がし、その上に、図4Cに示す積層体ユニットU1を積層しても良い。その後に、再度、上側のキャリアシート20を剥がし、その上に、図4Cに示す積層体ユニットU1を積層して、再度、上側のキャリアシート20を剥がす動作を繰り返しても、図7に示すように、電極層12aおよびグリーンシート10aが交互に多数積層された積層ブロックが得られる。図4Cに示す積層体ユニットU1を積層する方法の方が、積層作業効率に優れている。   In addition, you may carry out as follows, without employ | adopting the process shown to FIG. 5C-FIG. 6C. That is, instead of peeling the lower carrier sheet 20 from the step shown in FIG. 5B, the upper carrier sheet may be peeled, and the laminate unit U1 shown in FIG. 4C may be laminated thereon. Thereafter, the upper carrier sheet 20 is peeled off again, and the laminate unit U1 shown in FIG. 4C is laminated thereon, and the operation of peeling the upper carrier sheet 20 again is repeated as shown in FIG. In addition, a laminated block in which a large number of electrode layers 12a and green sheets 10a are alternately laminated is obtained. The method of laminating the laminate unit U1 shown in FIG. 4C is superior in laminating work efficiency.

グリーンシートの積層数が少ない場合には、この積層ブロック単独で、次工程における焼成工程を行う。また、必要に応じて、このような複数の積層ブロックを、前記と同様にして転写法により形成する接着層28を介して、積層して、より多層の積層体としても良い。   When the number of green sheets to be stacked is small, the baking step in the next step is performed with this stacked block alone. Further, if necessary, a plurality of such laminated blocks may be laminated through an adhesive layer 28 formed by a transfer method in the same manner as described above to form a multilayer structure.

(5)その後、図8に示すように、この積層体の下面に、外層用のグリーンシート40(電極層が形成されていないグリーンシートを複層積層した厚めの積層体)を積層し、積層体の全体を吸引保持台50で支持する。その後に、上側のキャリアシート20を引き剥がし、同様にして外層用のグリーンシート40を積層体の上部に形成した後、最終加圧を行う。   (5) Thereafter, as shown in FIG. 8, an outer layer green sheet 40 (a thick laminate obtained by laminating a plurality of green sheets on which no electrode layer is formed) is laminated on the lower surface of this laminate, The entire body is supported by the suction holding stand 50. Thereafter, the upper carrier sheet 20 is peeled off, and the green sheet 40 for the outer layer is formed on the upper portion of the laminate in the same manner, and then final pressing is performed.

最終加圧時の圧力は、好ましくは10〜200MPaである。また、加熱温度は、40〜100°Cが好ましい。その後に、積層体を所定サイズに切断し、グリーンチップを形成する。このグリーンチップは、脱バインダ処理、焼成処理が行われ、そして、誘電体層を再酸化させるため、熱処理が行われる。   The pressure at the time of final pressurization is preferably 10 to 200 MPa. The heating temperature is preferably 40 to 100 ° C. Thereafter, the laminate is cut into a predetermined size to form a green chip. This green chip is subjected to binder removal processing and firing processing, and heat treatment is performed to reoxidize the dielectric layer.

脱バインダ処理は、通常の条件で行えばよいが、内部電極層の導電体材料にNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、特に下記の条件で行うことが好ましい。   The binder removal treatment may be performed under normal conditions, but when a base metal such as Ni or Ni alloy is used as the conductor material of the internal electrode layer, it is particularly preferable to perform under the following conditions.

昇温速度:5〜300℃/時間、特に10〜50℃/時間、
保持温度:200〜400℃、特に250〜350℃、
保持時間:0.5〜20時間、特に1〜10時間、
雰囲気 :加湿したNとHとの混合ガス。
Temperature increase rate: 5 to 300 ° C./hour, particularly 10 to 50 ° C./hour,
Holding temperature: 200-400 ° C, especially 250-350 ° C,
Retention time: 0.5 to 20 hours, especially 1 to 10 hours,
Atmosphere: A mixed gas of humidified N 2 and H 2 .

焼成条件は、下記の条件が好ましい。
昇温速度:50〜500℃/時間、特に200〜300℃/時間、
保持温度:1100〜1300℃、特に1150〜1250℃、
保持時間:0.5〜8時間、特に1〜3時間、
冷却速度:50〜500℃/時間、特に200〜300℃/時間、
雰囲気ガス:加湿したNとHとの混合ガス等。
The firing conditions are preferably the following conditions.
Temperature increase rate: 50 to 500 ° C./hour, particularly 200 to 300 ° C./hour,
Holding temperature: 1100-1300 ° C., in particular 1150-1250 ° C.
Retention time: 0.5-8 hours, especially 1-3 hours,
Cooling rate: 50 to 500 ° C./hour, particularly 200 to 300 ° C./hour,
Atmospheric gas: A mixed gas of humidified N 2 and H 2 or the like.

ただし、焼成時の空気雰囲気中の酸素分圧は、10−2Pa以下、特に10−2〜10−8 Paにて行うことが好ましい。前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にあり、また、酸素分圧があまり低すぎると、内部電極層の電極材料が異常焼結を起こし、途切れてしまう傾向にある。 However, the oxygen partial pressure in the air atmosphere during firing is preferably 10 −2 Pa or less, particularly 10 −2 to 10 −8 Pa. If the above range is exceeded, the internal electrode layer tends to oxidize, and if the oxygen partial pressure is too low, the electrode material of the internal electrode layer tends to abnormally sinter and tend to break.

このような焼成を行った後の熱処理は、保持温度または最高温度を、好ましくは1000℃以上、さらに好ましくは1000〜1100℃として行うことが好ましい。熱処理時の保持温度または最高温度が、前記範囲未満では誘電体材料の酸化が不十分なために絶縁抵抗寿命が短くなる傾向にあり、前記範囲をこえると内部電極のNiが酸化し、容量が低下するだけでなく、誘電体素地と反応してしまい、寿命も短くなる傾向にある。熱処理の際の酸素分圧は、焼成時の還元雰囲気よりも高い酸素分圧であり、好ましくは10−3Pa〜1Pa、より好ましくは10−2Pa〜1Paである。前記範囲未満では、誘電体層2の再酸化が困難であり、前記範囲をこえると内部電極層3が酸化する傾向にある。そして、そのほかの熱処理条件は下記の条件が好ましい。 The heat treatment after such firing is preferably carried out at a holding temperature or maximum temperature of preferably 1000 ° C. or higher, more preferably 1000 to 1100 ° C. If the holding temperature or maximum temperature during heat treatment is less than the above range, the dielectric material is insufficiently oxidized and the insulation resistance life tends to be shortened. In addition to a decrease, it tends to react with the dielectric substrate and shorten its lifetime. The oxygen partial pressure during the heat treatment is higher than the reducing atmosphere during firing, and is preferably 10 −3 Pa to 1 Pa, more preferably 10 −2 Pa to 1 Pa. If it is less than the above range, it is difficult to reoxidize the dielectric layer 2, and if it exceeds the above range, the internal electrode layer 3 tends to be oxidized. The other heat treatment conditions are preferably the following conditions.

保持時間:0〜6時間、特に2〜5時間、
冷却速度:50〜500℃/時間、特に100〜300℃/時間、
雰囲気用ガス:加湿したNガス等。
Retention time: 0-6 hours, especially 2-5 hours,
Cooling rate: 50 to 500 ° C./hour, particularly 100 to 300 ° C./hour,
Atmospheric gas: humidified N 2 gas or the like.

なお、Nガスや混合ガス等を加湿するには、例えばウェッター等を使用すればよい。この場合、水温は0〜75℃程度が好ましい。また脱バインダ処理、焼成および熱処理は、それぞれを連続して行っても、独立に行ってもよい。これらを連続して行なう場合、脱バインダ処理後、冷却せずに雰囲気を変更し、続いて焼成の際の保持温度まで昇温して焼成を行なう。次いで冷却し、熱処理の保持温度に達したときに雰囲気を変更して熱処理を行なうことが好ましい。一方、これらを独立して行なう場合、焼成に際しては、脱バインダ処理時の保持温度までNガスあるいは加湿したNガス雰囲気下で昇温した後、雰囲気を変更してさらに昇温を続けることが好ましい。その後、熱処理時の保持温度まで冷却した後は、再びNガスあるいは加湿したNガス雰囲気に変更して冷却を続けることが好ましい。また、熱処理に際しては、Nガス雰囲気下で保持温度まで昇温した後、雰囲気を変更してもよく、熱処理の全過程を加湿したNガス雰囲気としてもよい。 Note that to wet the N 2 gas or mixed gas etc. may be used, for example a wetter etc.. In this case, the water temperature is preferably about 0 to 75 ° C. The binder removal treatment, firing and heat treatment may be performed continuously or independently. When performing these continuously, after removing the binder, the atmosphere is changed without cooling, and then the temperature is raised to the holding temperature at the time of firing and firing is performed. Next, it is preferable to cool and perform the heat treatment by changing the atmosphere when the heat treatment holding temperature is reached. On the other hand, when performing these independently, at the time of firing, after raising the temperature under N 2 gas atmosphere with N 2 gas or wet to the holding temperature of the binder removal processing, further continuing the heating to change the atmosphere Is preferred. Then, after cooling to the holding temperature at the time of heat treatment, it is preferable to change to N 2 gas or a humidified N 2 gas atmosphere and continue cooling. In the heat treatment, the temperature may be changed to a holding temperature in an N 2 gas atmosphere, and the atmosphere may be changed, or the entire process of the heat treatment may be a humidified N 2 gas atmosphere.

このようにして得られた焼結体(素子本体4)には、例えばバレル研磨、サンドプラスト等にて端面研磨を施し、端子電極用塗料を焼きつけて端子電極6,8が形成される。端子電極用塗料の焼成条件は、例えば、加湿したNとHとの混合ガス中で600〜800℃にて10分間〜1時間程度とすることが好ましい。そして、必要に応じ、端子電極6,8上にめっき等を行うことによりパッド層を形成する。なお、端子電極用塗料は、上記した電極塗料と同様にして調製すればよい。
このようにして製造された本発明の積層セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。
The sintered body (element body 4) thus obtained is subjected to end surface polishing by, for example, barrel polishing or sand plast, and terminal electrode paints are baked to form terminal electrodes 6 and 8. The terminal electrode coating condition is preferably set, for example, to about 10 minutes to 1 hour at 600 to 800 ° C. in a humidified mixed gas of N 2 and H 2 . Then, if necessary, a pad layer is formed on the terminal electrodes 6 and 8 by plating or the like. In addition, what is necessary is just to prepare the coating material for terminal electrodes like the above-mentioned electrode coating material.
The multilayer ceramic capacitor of the present invention thus manufactured is mounted on a printed circuit board by soldering or the like and used for various electronic devices.

本実施形態に係る誘電体塗料(グリーンシート用塗料)およびグリーンシート10aを用いる積層セラミックコンデンサの製造方法では、特定範囲の重合度、特定範囲のブチラール化度、しかも残留アセチル基量が所定値以下のポリビニルアセタール樹脂をバインダとして用いる。そのため、たとえば5μm以下程度に極めて薄いグリーンシート10aであっても、キャリアシート30からの剥離に耐えうる強度を有し、かつ良好な接着性およびハンドリング性を有する。また、シート10aの表面粗さも小さく、且つスタック性に優れている。そのため、グリーンシート10aを、電極層12aを介して多数積層することが容易になり、必要に応じて、接着層28を省略して積層することも可能である。
また、本実施形態に係る誘電体塗料(グリーンシート用塗料)およびグリーンシート10aを用いる積層セラミックコンデンサの製造方法では、特定種類の分散剤であって、HLBが特定範囲の分散剤を用いている。そのため、たとえば5μm以下程度に極めて薄いグリーンシート10aであっても、キャリアシート30からの剥離に耐えうる強度を有し、かつ良好な接着性およびハンドリング性を有する。また、シート10aの表面粗さも小さく、且つスタック性に優れている。そのため、グリーンシート10aを、電極層12aを介して多数積層することが容易になり、必要に応じて、接着層28を省略して積層することも可能である。
さらに、本実施形態に係る誘電体塗料(グリーンシート用塗料)およびグリーンシート10aを用いる積層セラミックコンデンサの製造方法では、誘電体塗料に帯電助剤を含み、その帯電助剤が、イミダゾリン系帯電除剤である。そのため、たとえば5μm以下程度に極めて薄いグリーンシート10aであっても、支持体としてのキャリアシート30からの剥離に耐えうる強度を有し、キャリアシート30からの剥離時などに発生する静電気を抑制し、かつ良好な接着性およびハンドリング性を有するグリーンシート10aを製造することができる。また、シート10aの表面粗さも小さく、且つスタック性に優れている。そのため、グリーンシート10aを、電極層12aを介して多数積層することが容易になり、必要に応じて、接着層28を省略して積層することも可能である。
In the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the dielectric paint (green sheet paint) and the green sheet 10a according to the present embodiment, the degree of polymerization in a specific range, the degree of butyralization in a specific range, and the amount of residual acetyl groups is a predetermined value or less. The polyvinyl acetal resin is used as a binder. Therefore, even if the green sheet 10a is extremely thin, for example, about 5 μm or less, it has a strength that can withstand peeling from the carrier sheet 30 and has good adhesion and handling properties. Further, the surface roughness of the sheet 10a is small and the stacking property is excellent. Therefore, it becomes easy to stack a large number of green sheets 10a via the electrode layer 12a, and it is also possible to omit the adhesive layer 28 and stack them as necessary.
Further, in the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the dielectric paint (green sheet paint) and the green sheet 10a according to this embodiment, the HLB is a specific type of dispersant and has a specific range of HLB. . Therefore, even if the green sheet 10a is extremely thin, for example, about 5 μm or less, it has a strength that can withstand peeling from the carrier sheet 30 and has good adhesion and handling properties. Further, the surface roughness of the sheet 10a is small and the stacking property is excellent. Therefore, it becomes easy to stack a large number of green sheets 10a via the electrode layer 12a, and it is also possible to omit the adhesive layer 28 and stack them as necessary.
Furthermore, in the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the dielectric paint (green sheet paint) and the green sheet 10a according to the present embodiment, the dielectric paint contains a charging aid, and the charging aid is an imidazoline-based charge remover. It is an agent. Therefore, even if the green sheet 10a is very thin, for example, about 5 μm or less, it has a strength that can withstand peeling from the carrier sheet 30 as a support, and suppresses static electricity generated when peeling from the carrier sheet 30. And the green sheet 10a which has favorable adhesiveness and handling property can be manufactured. Further, the surface roughness of the sheet 10a is small and the stacking property is excellent. Therefore, it becomes easy to stack a large number of green sheets 10a via the electrode layer 12a, and it is also possible to omit the adhesive layer 28 and stack them as necessary.

また、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法では、グリーンシート10aが破壊または変形されることなく、グリーンシート10aの表面に高精度に乾式タイプの電極層12aを容易且つ高精度に転写することが可能である。   Further, in the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present embodiment, the dry type electrode layer 12a is easily and accurately transferred to the surface of the green sheet 10a without breaking or deforming the green sheet 10a. It is possible.

さらに、本実施形態の製造方法では、電極層またはグリーンシートの表面に、転写法により接着層28を形成し、その接着層28を介して、電極層12aをグリーンシート10aの表面に接着する。接着層28を形成することで、電極層12aをグリーンシート10aの表面に接着させて転写する際に、高い圧力や熱が不要となり、より低圧および低温での接着が可能になる。したがって、グリーンシート10aが極めて薄い場合でも、グリーンシート10aが破壊されることはなくなり、電極層12aおよびグリーンシート10aを良好に積層することができ、短絡不良なども発生しない。   Further, in the manufacturing method of the present embodiment, the adhesive layer 28 is formed on the surface of the electrode layer or the green sheet by a transfer method, and the electrode layer 12a is adhered to the surface of the green sheet 10a via the adhesive layer 28. By forming the adhesive layer 28, when the electrode layer 12a is transferred to the surface of the green sheet 10a and transferred, high pressure and heat are not required, and bonding at a lower pressure and a lower temperature is possible. Therefore, even when the green sheet 10a is extremely thin, the green sheet 10a is not destroyed, the electrode layer 12a and the green sheet 10a can be satisfactorily laminated, and no short circuit failure occurs.

また、たとえば接着層28の接着力を、剥離層22の粘着力よりも強くし、しかも、剥離層22の粘着力を、グリーンシート10aとキャリアシート30との粘着力よりも強くすることなどにより、グリーンシート10a側のキャリアシート30を選択的に容易に剥離することができる。   Further, for example, by making the adhesive force of the adhesive layer 28 stronger than the adhesive force of the release layer 22 and making the adhesive force of the release layer 22 stronger than the adhesive force between the green sheet 10 a and the carrier sheet 30. The carrier sheet 30 on the green sheet 10a side can be selectively peeled easily.

さらにまた、本実施形態では、電極層12aまたはグリーンシート10aの表面に接着層28をダイレクトに塗布法などで形成せずに、転写法により形成することから、接着層28の成分が電極層12aまたはグリーンシート10aに染み込むことがないと共に、極めて薄い接着層28の形成が可能になる。たとえば接着層28の厚みは、0.02〜0.3μm程度に薄くすることができる。接着層28の厚みは薄くとも、接着層28の成分が電極層12aまたはグリーンシート10aに染み込むことがないことから、接着力は十分である。しかも、電極層12aまたはグリーンシート10aの組成に悪影響を与えるおそれがない。   Furthermore, in this embodiment, since the adhesive layer 28 is not formed directly on the surface of the electrode layer 12a or the green sheet 10a by a coating method, but formed by a transfer method, the component of the adhesive layer 28 is the electrode layer 12a. Alternatively, the green sheet 10a is not soaked and an extremely thin adhesive layer 28 can be formed. For example, the thickness of the adhesive layer 28 can be reduced to about 0.02 to 0.3 μm. Even if the thickness of the adhesive layer 28 is thin, the adhesive force is sufficient because the components of the adhesive layer 28 do not penetrate into the electrode layer 12a or the green sheet 10a. In addition, there is no possibility of adversely affecting the composition of the electrode layer 12a or the green sheet 10a.

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
たとえば、本発明の方法は、積層セラミックコンデンサの製造方法に限らず、その他の積層型電子部品の製造方法としても適用することが可能である。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified within the scope of the present invention.
For example, the method of the present invention can be applied not only to a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor but also to a method for manufacturing other multilayer electronic components.

以下、本発明をさらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明はこれら実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be described based on further detailed examples, but the present invention is not limited to these examples.

実施例1
グリーンシート用塗料の作製
セラミック粉体の出発原料としてBaTiO粉体(BT−035およびBT−02/堺化学工業(株))を用いた。このBaTiO粉体100質量部に対して、(Ba0.6Ca0.4)SiO:1.48質量部、Y:1.01質量部、MgCO:0.72質量%、Cr:0.13質量%、およびV:0.045質量%になるようにセラミック粉体副成分添加物を用意した。
Example 1
Preparation of Green Sheet Paint BaTiO 3 powder (BT-035 and BT-02 / Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) was used as a starting material for ceramic powder. (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 : 1.48 parts by mass, Y 2 O 3 : 1.01 parts by mass, MgCO 3 : 0.72% by mass with respect to 100 parts by mass of this BaTiO 3 powder. , Cr 2 O 3 : 0.13 mass%, and V 2 O 5 : 0.045 mass% were prepared ceramic powder subcomponent additives.

初めに、副成分添加物のみをボールミルで混合し、スラリー化した。すなわち、副成分添加物(合計量8.8g)と、エタノール/n−プロパノールが1:1の溶剤(16g)とを、ボールミルにより、20時間予備粉砕を行った。次に、BaTiO:191.2gに対して、副成分添加物の予備粉砕スラリーと、エタノール:38gと、n−プロパノール:38gと、キシレン:28gと、ミネラルスピリット:14gと、可塑剤成分としてのDOP(フタル酸ジオクチル):6gと、分散剤としてのポリエチレングリコール系のノニオン性分散剤(HLB=5〜6):1.4gとを添加し、ボールミルによって、4時間混合した。なお、分散剤としてのポリエチレングリコール系のノニオン性分散剤(HLB=5〜6)としては、ポリエチレングリコールと脂肪酸エステルのブロックポリマーを用いた。 First, only the minor component additive was mixed with a ball mill to form a slurry. That is, auxiliary components (total amount 8.8 g) and ethanol / n-propanol 1: 1 solvent (16 g) were preliminarily pulverized with a ball mill for 20 hours. Next, with respect to BaTiO 3 : 191.2 g, a preliminary pulverized slurry of additive additives, ethanol: 38 g, n-propanol: 38 g, xylene: 28 g, mineral spirit: 14 g, and a plasticizer component DOP (dioctyl phthalate): 6 g and polyethylene glycol-based nonionic dispersant (HLB = 5-6): 1.4 g as a dispersant were added and mixed by a ball mill for 4 hours. In addition, as the polyethylene glycol-based nonionic dispersant (HLB = 5 to 6) as a dispersant, a block polymer of polyethylene glycol and a fatty acid ester was used.

次に、この分散塗料に、バインダ樹脂として、積水化学社製BH6(ポリブチラール樹脂/PVB)の15%ラッカー(積水化学社製BH6を、エタノール/n−プロパノール=1:1で溶解)を固形分として6質量%添加した(ラッカー添加量として、80g)。その後16時間、ボールミルすることによって、セラミック塗料(グリーンシート用塗料)とした。   Next, 15% lacquer of BH6 (polybutyral resin / PVB) manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. (BH6 manufactured by Sekisui Chemical Co., dissolved in ethanol / n-propanol = 1: 1) is solidified as a binder resin in the dispersion paint. 6% by mass was added as a minute (80 g as lacquer addition amount). Then, a ceramic paint (green sheet paint) was obtained by ball milling for 16 hours.

バインダ樹脂としてのポリブチラール樹脂の重合度は、1400であり、そのブチラール化度は、69±3%であり、残留アセチル基量は、3±2%であった。このバインダ樹脂は、セラミックス粉体(セラミック粉体副成分添加物を含む)100質量部に対して6質量部でセラミック塗料中に含まれていた。また、セラミック塗料におけるセラミックス粉体とバインダ樹脂と可塑剤との合計の体積を100体積%とした場合に、セラミックス粉体が占める体積割合は、67.31体積%であった。   The degree of polymerization of the polybutyral resin as the binder resin was 1400, the degree of butyralization was 69 ± 3%, and the amount of residual acetyl groups was 3 ± 2%. This binder resin was contained in the ceramic coating at 6 parts by mass with respect to 100 parts by mass of ceramic powder (including ceramic powder subcomponent additives). Further, when the total volume of the ceramic powder, the binder resin and the plasticizer in the ceramic coating was 100% by volume, the volume ratio occupied by the ceramic powder was 67.31% by volume.

また、可塑剤としてのDOPは、バインダ樹脂100質量部に対して、50質量部でセラミック塗料中に含まれていた。水は、セラミック粉体100質量部に対して、2質量部含まれていた。分散剤としてのポリエチレングリコール系のノニオン性分散剤は、セラミック粉体100質量部に対して、0.7質量部含まれていた。   Further, DOP as a plasticizer was contained in the ceramic coating at 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the binder resin. The water was contained in an amount of 2 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. The polyethylene glycol-based nonionic dispersant as the dispersant was contained in an amount of 0.7 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder.

また、塗料中には、セラミックス粉体100質量部に対して、炭化水素系溶剤、工業用ガソリン、ケロシン、ソルベントナフサの内の少なくとも何れか1つであるミネラルスピリットが、5質量部添加されていた。さらに、塗料中には、溶剤として、アルコール系溶剤と芳香族系溶剤とを含み、アルコール系溶剤と芳香族系溶剤との合計質量を100質量部として、芳香族系溶剤としてのトルエンが15質量部含まれていた。   Further, in the coating material, 5 parts by mass of mineral spirit, which is at least one of hydrocarbon solvents, industrial gasoline, kerosene, and solvent naphtha, is added to 100 parts by mass of the ceramic powder. It was. Further, the paint contains an alcohol solvent and an aromatic solvent as a solvent, and the total mass of the alcohol solvent and the aromatic solvent is 100 parts by mass. Toluene as the aromatic solvent is 15 masses. Department was included.

塗料の粘度は、180mPa・Sであった。塗料の粘度は、B型粘度計を用い、ローターとしてS21を用い、測定時の温度は25°Cで行い、塗料を出滴した直後に測定した。測定回転数は50rpmであった。   The viscosity of the paint was 180 mPa · S. The viscosity of the paint was measured using a B-type viscometer, using S21 as a rotor, at a measurement temperature of 25 ° C., and immediately after dropping the paint. The measurement rotation speed was 50 rpm.

グリーンシートの作製
上記のようにして得られた塗料をワイヤーバーコーターによって、支持フィルムとしてのPETフィルム上に2μmの厚みで塗布し、乾燥することでグリーンシートを作製した。塗布速度は50m/min、乾燥条件は、乾燥炉内の温度が60℃〜70℃、乾燥時間が2分であった。
Production of Green Sheet The paint obtained as described above was applied to a PET film as a support film with a thickness of 2 μm by a wire bar coater and dried to produce a green sheet. The coating speed was 50 m / min, and the drying conditions were a temperature in the drying furnace of 60 ° C. to 70 ° C. and a drying time of 2 minutes.

グリーンシートの評価
その後、グリーンシートのシート密度、表面粗さ、シート引張強度、シート伸度、接着性(スタック性/剥離強度)、総合判定の評価を行った。結果を表1に示す。
Evaluation of Green Sheet Thereafter, the sheet density, surface roughness, sheet tensile strength, sheet elongation, adhesion (stackability / peel strength) of the green sheet, and comprehensive evaluation were evaluated. The results are shown in Table 1.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

なお、シート密度は、シートの乾燥後の厚みを測定すると共に、シートの重量を測定し、シートの重量を体積で割ることにより求めた。表面粗さは、小坂研究所(株)製の表面粗さ測定器を用い、平均表面粗さRzを測定した。シート引張強度およびシート伸度は、インストロン5543の引張試験機を用い、ダンベル型形状に打ち抜かれたシートをサンプルとして5つ準備し、各サンプルを引張速度8mm/minの速度で引っ張り、破断時の強度と伸びを求め、平均値を算出して求めた。   The sheet density was determined by measuring the thickness of the sheet after drying, measuring the weight of the sheet, and dividing the weight of the sheet by the volume. For the surface roughness, an average surface roughness Rz was measured using a surface roughness measuring instrument manufactured by Kosaka Laboratory. For the sheet tensile strength and sheet elongation, using a tensile tester of Instron 5543, five sheets punched into a dumbbell shape were prepared as samples, and each sample was pulled at a tensile rate of 8 mm / min. The strength and elongation were determined, and the average value was calculated.

接着性は、次のようにして評価した。まず、乾燥後のシートを50mm×15mmに切断したサンプルを10枚準備し、2枚ずつシートを張り合わせたもの(仮スタック)を5組準備した。各組のシートは、70°Cで5分間余熱し、70°C、1分間、約2MPaの条件で張り合わせた。その後、各組のシートの表面に両面テープを貼り、インストロン5543の引張試験機を用いて各組のシートを引き剥がす方向に引っ張り、引き剥がされた時の剥離強度を測定した。剥離強度が高いほど接着性に優れている。   Adhesion was evaluated as follows. First, ten samples were prepared by cutting the dried sheets into 50 mm × 15 mm, and five sets of two sheets laminated (temporary stack) were prepared. Each set of sheets was preheated at 70 ° C. for 5 minutes and bonded together at 70 ° C. for 1 minute at about 2 MPa. Then, a double-sided tape was affixed to the surface of each set of sheets, the tensile tester of Instron 5543 was used to pull each set of sheets in the direction of peeling, and the peel strength when peeled was measured. The higher the peel strength, the better the adhesiveness.

総合判定では、シート密度が3.3g/cm以上で、表面粗さが0.6μm以下で、シート引張強度が6.0MPa以上で、シート伸度が37%以上で、しかも接着性の剥離強度が10N/cm以上のものを、良好である(○)と判断し、その内の1つでも条件を満たさないものを、不良である(×)と判断した。なお、表中の数字の前にある*は、好ましい範囲を超えていることを示す。以下の表でも同様である。 In the comprehensive judgment, the sheet density is 3.3 g / cm 3 or more, the surface roughness is 0.6 μm or less, the sheet tensile strength is 6.0 MPa or more, the sheet elongation is 37% or more, and adhesive peeling is performed. Those having an intensity of 10 N / cm 2 or more were judged to be good (◯), and one of them that did not satisfy the condition was judged to be bad (×). In addition, * before the number in a table | surface shows that it exceeds the preferable range. The same applies to the following tables.

比較例1
バインダ樹脂として、積水化学社製の製品番号BX−1のポリビニルアセタール樹脂(PVAc)を用いた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。結果を表1に示す。
Comparative Example 1
A green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that polyvinyl acetal resin (PVAc) having a product number BX-1 manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. was used as the binder resin, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 1.

比較例2
バインダ樹脂として、分子量45万、Tg=70℃のアクリル樹脂(MMA−BA)を用いた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。結果を表1に示す。
Comparative Example 2
A green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that an acrylic resin (MMA-BA) having a molecular weight of 450,000 and Tg = 70 ° C. was used as the binder resin, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 1.

評価1
表1に示すように、バインダ樹脂としては、ポリビニルブチラール樹脂(PVB)が好ましいことが確認できた。
Evaluation 1
As shown in Table 1, it was confirmed that polyvinyl butyral resin (PVB) is preferable as the binder resin.

実施例2〜3および比較例3〜5
表2に示すように、ポリブチラール樹脂として、積水化学社製の製品番号(グレード)が異なり、重合度が300〜2400となるものを用いた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。結果を表2に示す。
Examples 2-3 and Comparative Examples 3-5
As shown in Table 2, as a polybutyral resin, a green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that a product number (grade) manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. was different and the polymerization degree was 300 to 2400. A similar evaluation was made. The results are shown in Table 2.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

評価2
表2に示すように、ポリブチラール樹脂の重合度が1000以上1700以下が好ましいことが確認できた。重合度が低すぎると、シート引張強度が低下する傾向にあり、重合度が高すぎると、シート密度が低下し、シート表面粗さが悪くなり、シート伸度および接着性も低下する傾向にあることが確認できた。
Evaluation 2
As shown in Table 2, it was confirmed that the polymerization degree of the polybutyral resin is preferably 1000 or more and 1700 or less. If the degree of polymerization is too low, the sheet tensile strength tends to decrease. If the degree of polymerization is too high, the sheet density decreases, the sheet surface roughness decreases, and the sheet elongation and adhesiveness also tend to decrease. I was able to confirm.

実施例3および比較例6
表3に示すように、ポリブチラール樹脂として、積水化学社製の製品番号(グレード)が異なり、ブチラール化度が65〜78となるものを用いた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。結果を表3に示す。
Example 3 and Comparative Example 6
As shown in Table 3, a green sheet was used in the same manner as in Example 1 except that the product number (grade) manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. was different and the degree of butyralization was 65 to 78. The same evaluation was performed. The results are shown in Table 3.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

評価3
表3に示すように、ポリブチラール樹脂のブチラール化度が65%以上78%より小さいことが好ましいことが確認できた。ブチラール化度が低すぎると、シート伸度が低下する傾向にあり、高すぎると、シート表面粗さが劣化する傾向にあることが確認できた。
Evaluation 3
As shown in Table 3, it was confirmed that the degree of butyralization of the polybutyral resin is preferably 65% or more and less than 78%. When the degree of butyralization is too low, the sheet elongation tends to decrease, and when it is too high, the sheet surface roughness tends to deteriorate.

実施例3および比較例7,8
表4に示すように、ポリブチラール樹脂として、積水化学社製の製品番号(グレード)が異なり、残留アセチル基量が3〜13となるものを用いた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。結果を表4に示す。
Example 3 and Comparative Examples 7 and 8
As shown in Table 4, as polybutyral resin, the product number (grade) manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. is different, and the amount of residual acetyl groups is 3 to 13. Sheets were prepared and evaluated in the same manner. The results are shown in Table 4.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

評価4
表4に示すように、ポリブチラール樹脂の残留アセチル基量が6%未満が好ましいことが確認できた。残留アセチル基量が多すぎると、シート密度が低下し、表面粗さが増大し、接着性が低下する傾向にあることが確認できた。
Evaluation 4
As shown in Table 4, it was confirmed that the residual acetyl group content of the polybutyral resin is preferably less than 6%. It was confirmed that when the amount of residual acetyl groups was too large, the sheet density was lowered, the surface roughness was increased, and the adhesiveness was liable to be lowered.

実施例4〜7および参考例1〜7
表5に示すように、セラミックス粉体100質量部に対して、バインダ樹脂としてのポリブチラール樹脂の添加質量割合(PHP)を、2〜7質量部の範囲で変化させた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。結果を表5に示す。なお、実施例6は実施例1と同じである。
Examples 4-7 and Reference Examples 1-7
As shown in Table 5, Example 1 except that the addition mass ratio (PHP) of the polybutyral resin as the binder resin was changed in the range of 2 to 7 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. A green sheet was prepared in the same manner as described above, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 5. Example 6 is the same as Example 1.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

評価5
表5に示すように、セラミックス粉体100質量部に対して、バインダ樹脂としてのポリブチラール樹脂の添加質量割合(PHP)は、5質量部以上6.5質量部以下が好ましいことが確認できた。質量割合が低すぎると、引張強度、シート伸度および接着性が低下し、質量割合が高すぎると、シート密度が低下し表面粗さが増大する傾向にあることが確認された。
Evaluation 5
As shown in Table 5, it was confirmed that the addition mass ratio (PHP) of the polybutyral resin as the binder resin is preferably 5 parts by mass or more and 6.5 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. . It was confirmed that when the mass ratio is too low, the tensile strength, the sheet elongation and the adhesiveness are lowered, and when the mass ratio is too high, the sheet density tends to decrease and the surface roughness tends to increase.

また、セラミックス粉体とバインダ樹脂と可塑剤との合計の体積を100体積%とした場合に、セラミックス粉体が占める体積割合が64.3%以上72%以下であることが好ましいことも確認できた。体積割合が低すぎると、シート密度が低下し表面粗さが増大し、逆に体積割合が高すぎると、引張強度、シート伸度および接着性が低下する傾向にあることが確認できた。   It can also be confirmed that when the total volume of the ceramic powder, the binder resin and the plasticizer is 100% by volume, the volume ratio of the ceramic powder is preferably 64.3% or more and 72% or less. It was. When the volume ratio was too low, it was confirmed that the sheet density decreased and the surface roughness increased, whereas when the volume ratio was too high, the tensile strength, sheet elongation, and adhesiveness tended to decrease.

実施例8〜11および参考例8〜18
表6に示すように、バインダ樹脂100質量部に対して、可塑剤としてのフタル酸ジオクチル(DOP)の添加質量割合(PHR)を、30〜100質量部の範囲で変化させた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。
Examples 8-11 and Reference Examples 8-18
As shown in Table 6, with the exception of changing the addition mass ratio (PHR) of dioctyl phthalate (DOP) as a plasticizer in the range of 30 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the binder resin. Green sheets were produced in the same manner as in Example 1, and the same evaluation was performed.

また、表6に示すように、可塑剤としてフタル酸ジブチル(DBP)またはフタル酸ベンジルブチル(BBP)を用い、バインダ樹脂100質量部に対して、可塑剤の添加質量割合(PHR)を、30〜100質量部の範囲で変化させた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。これらの結果を表6に示す。なお、実施例9は実施例1と同じである。   Moreover, as shown in Table 6, dibutyl phthalate (DBP) or benzyl butyl phthalate (BBP) is used as the plasticizer, and the added mass ratio (PHR) of the plasticizer to 30 parts by mass of the binder resin is 30 A green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the amount was changed in the range of ˜100 parts by mass, and the same evaluation was performed. These results are shown in Table 6. Example 9 is the same as Example 1.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

評価6
表6に示すように、可塑剤としては、DOPが好ましく、その添加質量割合は、40質量部以上70質量部以下が好ましいことが確認できた。質量割合が低すぎると、シート伸度および接着性が低下し、質量割合が高すぎると、シート密度が低下し表面粗さが増大すると共に、引張強度が低下する傾向にあることが確認された。
Evaluation 6
As shown in Table 6, it was confirmed that DOP is preferable as the plasticizer, and the addition mass ratio is preferably 40 parts by mass or more and 70 parts by mass or less. When the mass ratio is too low, the sheet elongation and adhesiveness are reduced, and when the mass ratio is too high, it is confirmed that the sheet density decreases and the surface roughness increases and the tensile strength tends to decrease. .

実施例12〜15および参考例19〜22
表7に示すように、セラミック粉体100質量部に対して、水の添加質量割合(PHP)を、0.1〜10質量部の範囲で変化させた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、濾過試験を追加した以外は同様な評価を行った。これらの結果を表7に示す。なお、実施例13は実施例1と同じである。
Examples 12-15 and Reference Examples 19-22
As shown in Table 7, the same procedure as in Example 1 was conducted except that the additive mass ratio of water (PHP) was changed in the range of 0.1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. A similar evaluation was performed except that a green sheet was prepared and a filtration test was added. These results are shown in Table 7. Note that Example 13 is the same as Example 1.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

濾過試験の評価は、濾紙としてアドバンテック社製の製品番号No.5C、保留粒子径1μmを用い、0.2MPaの圧力下で、200gのグリーンシート用塗料が28.26cmの濾紙面積を通過する時間を測定して評価した。通過時間が短いほど、濾過特性に優れている。濾過特性に優れていることは、塗料中に凝集物が少なく、バインダ樹脂が良好に溶解していることを意味する。濾過時間が3.50(分.秒)以下のものを総合判定において良好なもの(○)とした。 The evaluation of the filtration test was performed using a product number No. Using 5 C and a reserved particle diameter of 1 μm, 200 g of the green sheet coating material passed through a 28.26 cm 2 filter paper area under a pressure of 0.2 MPa, and evaluated. The shorter the passage time, the better the filtration characteristics. An excellent filtration property means that there are few aggregates in the paint and the binder resin is well dissolved. A filter having a filtration time of 3.50 (minutes.seconds) or less was evaluated as good (◯) in the comprehensive judgment.

評価7
表7に示すように、水の添加質量割合は、1質量部以上6質量部以下が好ましいことが確認できた。質量割合が低すぎると、濾過特性が悪くなる傾向にあり、質量割合が高すぎると、シート密度が低下し表面粗さが増大する傾向にあることが確認された。
Evaluation 7
As shown in Table 7, it was confirmed that the added mass ratio of water is preferably 1 part by mass or more and 6 parts by mass or less. It was confirmed that when the mass ratio is too low, the filtration characteristics tend to deteriorate, and when the mass ratio is too high, the sheet density tends to decrease and the surface roughness tends to increase.

実施例16〜22および参考例23〜27
表8に示すように、セラミック粉体100質量部に対して、ミネラルスピリットの添加質量割合(PHP)を、1〜20質量部の範囲で変化させた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。
Examples 16-22 and Reference Examples 23-27
As shown in Table 8, green powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the additive mass ratio (PHP) of mineral spirit was changed in the range of 1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. Sheets were prepared and evaluated in the same manner.

また、ミネラルスピリットの代わりに、表8に示すように溶剤の種類を変化させた、あるいはこの種の溶剤を含ませなかった以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。これらの結果を表8に示す。なお、実施例20は実施例1と同じである。また、表8におけるMIBKとは、メチルイソブチルケトンのことである。   Further, instead of mineral spirit, a green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the type of solvent was changed as shown in Table 8, or this type of solvent was not included. Evaluation was performed. These results are shown in Table 8. Example 20 is the same as Example 1. Moreover, MIBK in Table 8 is methyl isobutyl ketone.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

評価8
表8に示すように、炭化水素系溶剤、工業用ガソリン、ケロシン、ソルベントナフサの内の少なくとも何れか1つを、3質量部以上15質量部以下添加されていることが好ましいことが確認できた。質量割合が低すぎると、表面粗さが増大すると共に接着性も劣化する傾向にあり、質量割合が高すぎると、シート密度が低下し表面粗さが増大する傾向にあることが確認された。
Evaluation 8
As shown in Table 8, it was confirmed that it is preferable that at least one of hydrocarbon solvents, industrial gasoline, kerosene, and solvent naphtha is added in an amount of 3 parts by mass or more and 15 parts by mass or less. . It was confirmed that when the mass ratio is too low, the surface roughness increases and the adhesiveness tends to deteriorate, and when the mass ratio is too high, the sheet density tends to decrease and the surface roughness tends to increase.

実施例23〜25および参考例28〜31
表9に示すように、アルコール系溶剤(エタノールおよびプロパノール)と芳香族系溶剤(トルエン)との合計質量を100質量部として、芳香族系溶剤(トルエン)の添加質量割合を、5〜50質量部の範囲で変化させた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、実施例12〜15と同様な評価を行った。これらの結果を表9に示す。なお、実施例24は実施例1と同じである。
Examples 23 to 25 and Reference Examples 28 to 31
As shown in Table 9, the total mass of the alcohol solvent (ethanol and propanol) and the aromatic solvent (toluene) is 100 parts by mass, and the addition mass ratio of the aromatic solvent (toluene) is 5 to 50 mass. A green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the amount was changed in the range of the part, and the same evaluation as in Examples 12 to 15 was performed. These results are shown in Table 9. Example 24 is the same as Example 1.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

評価9
表9に示すように、塗料中の溶剤は、アルコール系溶剤と芳香族系溶剤とを含み、アルコール系溶剤と芳香族系溶剤との合計質量を100質量部として、芳香族系溶剤が、10質量部以上20質量部以下含まれることが好ましいことが確認できた。質量割合が低すぎると、表面粗さが増大すると共に接着性も劣化する傾向にあり、質量割合が高すぎると、濾過特性が悪くなり、シート密度が低下し、表面粗さが増大し、引張強度も低下する傾向にあることが確認された。
Evaluation 9
As shown in Table 9, the solvent in the paint includes an alcohol solvent and an aromatic solvent, and the total mass of the alcohol solvent and the aromatic solvent is 100 parts by mass. It was confirmed that the content was preferably 20 parts by mass or more and 20 parts by mass or less. If the mass ratio is too low, the surface roughness tends to increase and the adhesiveness tends to deteriorate. If the mass ratio is too high, the filtration characteristics deteriorate, the sheet density decreases, the surface roughness increases, It was confirmed that the strength also tends to decrease.

参考例32
表10に示すように、バインダ樹脂としての積水化学社製BH6(ポリブチラール樹脂/PVB)を、予めエタノール/n−プロパノール=1:1のアルコール系溶剤に溶解濾過させて溶液にすることなく、バインダ樹脂の粉末を、直接に、塗料中に入れた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、実施例12〜15と同様な評価を行った。これらの結果を表10に示す。
Reference Example 32
As shown in Table 10, BH6 (polybutyral resin / PVB) manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. as a binder resin was dissolved in an alcohol solvent of ethanol / n-propanol = 1: 1 in advance and filtered to obtain a solution. A green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the binder resin powder was directly put in the paint, and the same evaluation as in Examples 12 to 15 was performed. These results are shown in Table 10.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

評価10
表10に示すように、バインダ樹脂を、予め、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールの内の少なくとも一種類以上のアルコール系溶剤に溶解濾過させて溶液にしておき、その溶液に、前記セラミック粉体およびその他の成分を添加することが好ましいことが確認できた。そのようにしないと、濾過特性が悪くなり、表面粗さも増大する傾向にあることが確認された。
Evaluation 10
As shown in Table 10, the binder resin was dissolved and filtered in advance in at least one alcohol solvent of methanol, ethanol, propanol, and butanol, and the solution was mixed with the ceramic powder and It was confirmed that it was preferable to add other components. Otherwise, it was confirmed that the filtration characteristics deteriorate and the surface roughness tends to increase.

実施例1a〜1g
分散剤として、表11に示すように、
ソルビタンモノステアレートのノニオン性分散剤(HLB=4以上5未満)、
ポリエチレングリコール系のノニオン性分散剤(HLB=5〜6)、
ポリエチレングリコール系ポリオキシレンステアリンエーテルのノニオン性分散剤(HLB=6より大きく7以下)、
ポリカルボン酸アンモニウム系分散剤、
マレイン酸系分散剤、
琥珀酸系分散剤であるジアルキルスルホコハク酸ナトリウム、
アミン系分散剤であるポリオキシエチレンラウリルアミノエーテル(HLB=9.8)を用いた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。結果を表11に示す。
なお、濾過試験の評価は、濾紙としてアドバンテック社製の製品番号No.5C、保留粒子径1μmを用い、0.2MPaの圧力下で、200gのグリーンシート用塗料が28.26cmの濾紙面積を通過する時間を測定して評価した。通過時間が短いほど、濾過特性に優れている。濾過特性に優れていることは、塗料中に凝集物が少なく、バインダ樹脂が良好に溶解していることを意味する。また、濾過率の測定において、目詰まりが発生したため、測定ができなかったものを、表11においては、−で示した。次の表12でも同様である。
Examples 1a-1g
As a dispersant, as shown in Table 11,
Sorbitan monostearate nonionic dispersant (HLB = 4 or more and less than 5),
Polyethylene glycol nonionic dispersant (HLB = 5-6),
Nonionic dispersant of polyethylene glycol-based polyoxylene stearin ether (HLB = 6 to 7),
An ammonium polycarboxylate dispersant,
Maleic acid dispersant,
Sodium dialkylsulfosuccinate, which is an oxalic acid dispersant,
A green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that polyoxyethylene lauryl amino ether (HLB = 9.8) as an amine dispersant was used, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 11.
In addition, the evaluation of the filtration test was performed using a product number No. manufactured by Advantech as filter paper. Using 5 C and a reserved particle diameter of 1 μm, 200 g of the green sheet paint passed through a 28.26 cm 2 filter paper area under a pressure of 0.2 MPa, and evaluated. The shorter the passage time, the better the filtration characteristics. An excellent filtration property means that there are few aggregates in the paint and the binder resin is well dissolved. Further, in the measurement of the filtration rate, those that could not be measured because clogging occurred were shown as-in Table 11. The same applies to Table 12 below.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

評価11
表11に示すように、分散剤としては、ポリエチレングリコール系のノニオン性分散剤(HLB=5〜6)が、最も好ましいことが確認できた。
なお、この表11における総合判定では、シート密度が3.3g/cm以上で、表面粗さが0.6μm以下で、シート引張強度が6.0MPa以上で、シート伸度が37%以上で、接着性の剥離強度が8.9N/cm以上で、しかも濾過率(濾過時間)が4.50(分.秒)以下のものを、良好である(○)と判断し、その内の1つでも条件を満たさないものを、不良である(×)と判断した。表12での判断も同様である。
Evaluation 11
As shown in Table 11, it was confirmed that a polyethylene glycol-based nonionic dispersant (HLB = 5 to 6) was most preferable as the dispersant.
In the comprehensive judgment in Table 11, the sheet density is 3.3 g / cm 3 or more, the surface roughness is 0.6 μm or less, the sheet tensile strength is 6.0 MPa or more, and the sheet elongation is 37% or more. An adhesive peel strength of 8.9 N / cm 2 or more and a filtration rate (filtration time) of 4.50 (minutes.seconds) or less was judged to be good (◯). Any one that did not satisfy the condition was judged to be defective (x). The determination in Table 12 is the same.

実施例1h〜1m
分散剤の含有量を、セラミック粉体100質量部に対して、0.2〜2質量部の範囲で変化させた以外は、実施例1bと同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。結果を表12に示す。
Examples 1h-1m
A green sheet was prepared in the same manner as in Example 1b, except that the content of the dispersant was changed in the range of 0.2 to 2 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. went. The results are shown in Table 12.

Figure 2006083060
Figure 2006083060

評価12
表12に示すように、分散剤の含有量は、セラミック粉体100質量部に対して、好ましくは0.5〜1.5質量部の範囲、さらに好ましくは0.5〜1.0質量部の範囲であることが確認できた。
Evaluation 12
As shown in Table 12, the content of the dispersant is preferably in the range of 0.5 to 1.5 parts by mass, more preferably 0.5 to 1.0 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. It was confirmed that it was in the range.

実施例1n〜1y
表13に示すように、グリーンシート用塗料中に、種々の帯電除剤を、セラミック粉体100質量部に対する種々の質量部(PHP)で添加した以外は、実施例1と同様にしてグリーンシートを作製し、同様な評価を行った。結果を表13に示す。
なお、静電気(帯電特性)は、次のようにして評価した。すなわち、株式会社 仲興S55−1を用い、グリーンシートの剥離直後に、グリーンシートの距離を1cmにして測定した。測定値は、剥離後5秒後に測定した値である。発生する静電気(kV)が少ないほど好ましい。静電気が発生すると、シートにしわが発生するために、積層を精度良く行うことが困難になる。
Examples 1n-1y
As shown in Table 13, a green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that various antistatic agents were added to the green sheet paint at various parts by mass (PHP) with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. The same evaluation was performed. The results are shown in Table 13.
The static electricity (charging characteristics) was evaluated as follows. That is, using Nakako S55-1 Co., Ltd., immediately after the green sheet was peeled off, the distance between the green sheets was set to 1 cm. The measured value is a value measured 5 seconds after peeling. The less static electricity (kV) is generated, the better. When static electricity is generated, wrinkles are generated on the sheets, making it difficult to perform lamination accurately.

Figure 2006083060
表13において、アミン系界面活性剤としては、オクタデシルアミン酢酸塩を用い、イミダゾリン系界面活性剤としては、1−ヒドロキシエチル2−アルキルイミダゾリン4級塩を用い、ポリエチレングリコール系帯電除剤としては、ポリエチレングリコールドデシルエーテルを用い、PEG400としては日本油脂社製のものを用いた。
Figure 2006083060
In Table 13, octadecylamine acetate is used as the amine-based surfactant, 1-hydroxyethyl 2-alkylimidazoline quaternary salt is used as the imidazoline-based surfactant, and as the polyethylene glycol-based antistatic agent, Polyethylene glycol dodecyl ether was used, and PEG400 manufactured by NOF Corporation was used.

評価13
表13に示すように、帯電除剤としては、イミダゾリン系界面活性剤が好ましいことが確認できた。しかも、表13に示すように、帯電除剤の添加量が少なすぎると、帯電除去の効果が小さくなり、多すぎると、シートの表面粗さが劣化すると共に、シート強度が劣化する傾向にあることが確認された。
なお、表13に示す総合判定では、シート密度が3.3g/cm以上で、表面粗さが0.6μm以下で、シート引張強度が6.0MPa以上で、シート伸度が40%以上で、接着性の剥離強度が9N/cm以上で、しかも静電気が36以下のものを、良好である(○)と判断し、その内の1つでも条件を満たさないものを、不良である(×)と判断し、静電気の評価項目のみが上記の基準を満たさないものを(△)と判断した。
Evaluation 13
As shown in Table 13, it was confirmed that an imidazoline surfactant is preferable as the antistatic agent. In addition, as shown in Table 13, if the amount of the charge remover added is too small, the effect of removing the charge is reduced, and if too much, the surface roughness of the sheet deteriorates and the sheet strength tends to deteriorate. It was confirmed.
In the comprehensive judgment shown in Table 13, the sheet density is 3.3 g / cm 3 or more, the surface roughness is 0.6 μm or less, the sheet tensile strength is 6.0 MPa or more, and the sheet elongation is 40% or more. , Those having an adhesive peel strength of 9 N / cm 2 or more and static electricity of 36 or less are judged to be good (◯), and one of them that does not satisfy the condition is defective ( (X), and the case where only the evaluation item of static electricity did not satisfy the above criteria was judged as (Δ).

以上説明してきたように、本発明によれば、極めて薄いグリーンシートであっても、支持体からの剥離に耐えうる強度を有し、かつ良好な接着性およびハンドリング性を有するグリーンシートを製造することが可能なグリーンシート用塗料、グリーンシート、グリーンシート用塗料の製造方法、グリーンシートの製造方法を提供することができる。そのため、電子部品の薄層化および多層化に適した電子部品の製造方法を提供することができる。   As described above, according to the present invention, even a very thin green sheet has a strength capable of withstanding peeling from the support, and a green sheet having good adhesion and handling properties is manufactured. It is possible to provide a green sheet paint, a green sheet, a method for producing a green sheet paint, and a method for producing a green sheet. Therefore, it is possible to provide a method of manufacturing an electronic component suitable for thinning and multilayering of the electronic component.

図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. 図2A〜図2Cは電極層の転写方法を示す要部断面図である。2A to 2C are main part cross-sectional views showing a method for transferring an electrode layer. 図3A〜図3Cは図2の続きの工程を示す要部断面図である。3A to 3C are main-portion cross-sectional views showing the continuation process of FIG. 図4A〜図4Cは電極層が接着されたグリーンシートの積層方法を示す要 部断面図である。4A to 4C are cross-sectional views of a main part showing a method for laminating green sheets to which electrode layers are bonded. 図5A〜図5Cは図4の続きの工程を示す電極層が接着されたグリーンシ ートの積層方法を示す要部断面図である。FIGS. 5A to 5C are cross-sectional views illustrating the main part of a green sheet laminating method to which an electrode layer is bonded, which is a continuation of FIG. 図6A〜図6Cは図5の続きの工程を示す要部断面図である。6A to 6C are cross-sectional views of relevant parts showing steps subsequent to FIG. 図7は図6の続きの工程を示す要部断面図である。FIG. 7 is a fragmentary cross-sectional view showing a step continued from FIG. 6. 図8は図7の続きの工程を示す要部断面図である。FIG. 8 is a fragmentary cross-sectional view showing a step continued from FIG. 7.

Claims (12)

セラミック粉体と、バインダ樹脂と、可塑剤と、溶剤とを有するグリーンシート用塗料であって、
前記バインダ樹脂が、ポリビニルブチラール樹脂を含み、そのポリブチラール樹脂の重合度が1000以上1700以下であり、樹脂のブチラール化度の公称値が65%以上78%より小さく、残留アセチル基量が6%未満であることを特徴とするグリーンシート用塗料。
A green sheet paint having ceramic powder, a binder resin, a plasticizer, and a solvent,
The binder resin includes a polyvinyl butyral resin, the degree of polymerization of the polybutyral resin is 1000 or more and 1700 or less, the nominal value of the degree of butyralization of the resin is 65% or more and less than 78%, and the residual acetyl group amount is 6%. Green sheet paint characterized by being less than.
前記バインダ樹脂が前記セラミックス粉体100質量部に対して5質量部以上6.5質量部以下で含まれる請求項1に記載のグリーンシート用塗料。 The paint for green sheets according to claim 1, wherein the binder resin is contained in an amount of 5 parts by mass to 6.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. 前記可塑剤として、フタル酸ジオクチルを前記バインダ樹脂100質量部に対して、40質量部以上70質量部以下で含有する請求項1または2に記載のグリーンシート用塗料。 The paint for green sheets according to claim 1 or 2, comprising dioctyl phthalate as the plasticizer in an amount of 40 parts by mass to 70 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the binder resin. 前記セラミックス粉体とバインダ樹脂と可塑剤との合計の体積を100体積%とした場合に、前記セラミックス粉体が占める体積割合が64.3%以上72%以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のグリーンシート用塗料。 The volume ratio occupied by the ceramic powder is 64.3% or more and 72% or less when the total volume of the ceramic powder, binder resin and plasticizer is 100% by volume. The paint for green sheets in any one of 1-3. セラミック粉体と、バインダ樹脂と、可塑剤と、有機溶剤とを有するグリーンシート用塗料であって、
前記セラミック粉体100質量部に対して、水を1質量部以上6質量部以下含有することを特徴とするグリーンシート用塗料。
A green sheet paint having ceramic powder, a binder resin, a plasticizer, and an organic solvent,
A green sheet coating material comprising 1 to 6 parts by mass of water with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder.
セラミック粉体と、バインダ樹脂と、可塑剤と、溶剤と、分散剤とを有するグリーンシート用塗料であって、
前記分散剤が、ポリエチレングリコール系のノニオン性分散剤を含み、親水性・親油性バランス値が5〜6であり、
前記分散剤がセラミック粉体100質量部に対して0.5質量部以上1.5質量部以下添加されていることを特徴とするグリーンシート用塗料。
A green sheet paint having a ceramic powder, a binder resin, a plasticizer, a solvent, and a dispersant,
The dispersant contains a polyethylene glycol-based nonionic dispersant and has a hydrophilic / lipophilic balance value of 5 to 6,
The green sheet coating material, wherein the dispersant is added in an amount of 0.5 to 1.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder.
セラミック粉体と、バインダ樹脂と、可塑剤と、溶剤と、帯電助剤とを有するグリーンシート用塗料であって、
前記帯電除剤が、イミダゾリン系帯電除剤を含み、前記帯電助剤が、前記セラミック粉体100質量部に対して0.1質量部以上0.75質量部以下含まれることを特徴とするグリーンシート用塗料。
A green sheet paint having a ceramic powder, a binder resin, a plasticizer, a solvent, and a charging aid,
The green characterized in that the antistatic agent includes an imidazoline-based antistatic agent, and the charging aid is contained in an amount of 0.1 parts by mass or more and 0.75 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. Sheet paint.
セラミック粉体と、バインダ樹脂と、溶剤とを有するグリーンシート用塗料であって、
前記溶剤が、アルコール系溶剤と芳香族系溶剤とを含み、アルコール系溶剤と芳香族系溶剤との合計質量を100質量部として、芳香族系溶剤が、10質量部以上20質量部以下含まれることを特徴とするグリーンシート用塗料。
A green sheet paint having ceramic powder, a binder resin, and a solvent,
The solvent includes an alcohol solvent and an aromatic solvent, and the total mass of the alcohol solvent and the aromatic solvent is 100 parts by mass, and the aromatic solvent is included in an amount of 10 parts by mass to 20 parts by mass. A green sheet paint characterized by that.
請求項1〜8のいずれかに記載のグリーンシート用塗料を製造する方法において、
前記バインダ樹脂を、予め、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールの内の少なくとも一種類以上のアルコール系溶剤に溶解濾過させて溶液にしておき、その溶液に、前記セラミック粉体およびその他の成分を添加することを特徴とするグリーンシート用塗料の製造方法。
In the method for producing the coating material for a green sheet according to any one of claims 1 to 8,
The binder resin is dissolved and filtered in advance in at least one alcohol solvent of methanol, ethanol, propanol, or butanol to obtain a solution, and the ceramic powder and other components are added to the solution. A method for producing a coating material for a green sheet.
請求項1〜8のいずれかに記載のグリーンシート用塗料を準備する工程と、
前記グリーンシート用塗料を用いてセラミックグリーンシートを成形する工程と、
を有するセラミックグリーンシートの製造方法。
Preparing a coating material for a green sheet according to any one of claims 1 to 8,
Forming a ceramic green sheet using the green sheet paint;
The manufacturing method of the ceramic green sheet which has this.
請求項1〜8のいずれかに記載のグリーンシート用塗料を準備する工程と、
前記グリーンシート用塗料を用いてセラミックグリーンシートを成形する工程と、
前記グリーンシートを乾燥させる工程と、
乾燥後のグリーンシートを、内部電極層を介して積層し、グリーンチップを得る工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、
を有するセラミック電子部品の製造方法。
Preparing a coating material for a green sheet according to any one of claims 1 to 8,
Forming a ceramic green sheet using the green sheet paint;
Drying the green sheet;
Laminating the green sheet after drying through an internal electrode layer to obtain a green chip;
Firing the green chip;
A method of manufacturing a ceramic electronic component having
請求項1〜8のいずれかに記載のグリーンシート用塗料を用いて製造されるグリーンシート。
The green sheet manufactured using the coating material for green sheets in any one of Claims 1-8.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010055731A1 (en) * 2008-11-13 2010-05-20 積水化学工業株式会社 Polyvinyl acetal resin composition
JP2011230943A (en) * 2010-04-26 2011-11-17 Kyocera Corp Ceramic green sheet and method for manufacturing the same
JP2012028456A (en) * 2010-07-21 2012-02-09 Murata Mfg Co Ltd Method of manufacturing ceramic electronic component, ceramic electronic component and wiring board
JP2012151294A (en) * 2011-01-19 2012-08-09 Tdk Corp Laminated electronic component
JP2013067552A (en) * 2011-09-07 2013-04-18 Kao Corp Basic ceramic-containing slurry composition

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010055731A1 (en) * 2008-11-13 2010-05-20 積水化学工業株式会社 Polyvinyl acetal resin composition
JP4603623B2 (en) * 2008-11-13 2010-12-22 積水化学工業株式会社 Polyvinyl acetal resin composition
JPWO2010055731A1 (en) * 2008-11-13 2012-04-12 積水化学工業株式会社 Polyvinyl acetal resin composition
US8431047B2 (en) 2008-11-13 2013-04-30 Sekisui Chemical Co., Ltd. Polyvinyl acetal resin composition
JP2011230943A (en) * 2010-04-26 2011-11-17 Kyocera Corp Ceramic green sheet and method for manufacturing the same
JP2012028456A (en) * 2010-07-21 2012-02-09 Murata Mfg Co Ltd Method of manufacturing ceramic electronic component, ceramic electronic component and wiring board
US8819932B2 (en) 2010-07-21 2014-09-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of manufacturing a ceramic electronic component
JP2012151294A (en) * 2011-01-19 2012-08-09 Tdk Corp Laminated electronic component
JP2013067552A (en) * 2011-09-07 2013-04-18 Kao Corp Basic ceramic-containing slurry composition

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