JP2006080300A - Lead frame and its manufacturing method - Google Patents
Lead frame and its manufacturing method Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006080300A JP2006080300A JP2004262714A JP2004262714A JP2006080300A JP 2006080300 A JP2006080300 A JP 2006080300A JP 2004262714 A JP2004262714 A JP 2004262714A JP 2004262714 A JP2004262714 A JP 2004262714A JP 2006080300 A JP2006080300 A JP 2006080300A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- component mounting
- lead frame
- component
- frame element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 44
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 31
- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 25
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 21
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 claims description 16
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 43
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 43
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 41
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 13
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 10
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 3
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 3
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
本発明は、半導体素子や半導体集積回路などのチップを取り付けるために用いるリードフレームとその製造方法に関するものである。 The present invention relates to a lead frame used for mounting a chip such as a semiconductor element or a semiconductor integrated circuit, and a manufacturing method thereof.
サイリスタ、ダイオード、MOSFETなどの半導体素子や、半導体集積回路などのチップを備えた電子部品においては、チップからリード端子を引き出した構造を持たせるために、その製造過程においてリードフレームが用いられる。 In an electronic component including a semiconductor element such as a thyristor, a diode, or a MOSFET, or a chip such as a semiconductor integrated circuit, a lead frame is used in the manufacturing process in order to have a structure in which lead terminals are drawn from the chip.
特許文献1に示されているように、リードフレームは、部品取付部やリード端子部等を含む複数のフレーム要素を相互間に隙間を介在させた状態で所定のパターンで配置した構造を有している。このリードフレームは、導電板からなるフレーム素材に打ち抜き加工を施すか、またはエッチング加工を施すことにより形成される。
As shown in
リードフレームを用いた電子部品の製造過程は、例えば次のようにして行なわれる。
先ず、ダイボンダを用いてリードフレームの部品取付部に半導体素子や半導体集積回路等のチップが半田付けや接着等により取り付けられる。チップが取り付けられた後、ワイヤボンダにより配線用のワイヤが接続される。その際、部品取付部に取り付けられたチップの電極部のうち、外部回路に接続される電極部は、該チップが取り付けられた部品取付部に隙間を介して隣接しているリード端子部に配線用のワイヤを介して接続される。
For example, an electronic component manufacturing process using a lead frame is performed as follows.
First, a chip such as a semiconductor element or a semiconductor integrated circuit is attached to a component attachment portion of a lead frame by soldering or bonding using a die bonder. After the chip is attached, wiring wires are connected by a wire bonder. At that time, among the electrode portions of the chip attached to the component attachment portion, the electrode portion connected to the external circuit is wired to the lead terminal portion adjacent to the component attachment portion to which the chip is attached via a gap. It is connected via a wire.
また相互に電気的に接続される複数のチップがリードフレームに取り付けられる場合には、リードフレームに複数の部品取付部が隙間を介して隣接した状態で設けられて、隣接する複数の部品取付部にそれぞれチップが取り付けられ、隣接する複数の部品取付部にそれぞれ取り付けられたチップの所定の電極間が配線用ワイヤにより接続される。 In addition, when a plurality of chips that are electrically connected to each other are attached to the lead frame, a plurality of component attachment portions are provided on the lead frame in a state of being adjacent to each other via a gap. A chip is attached to each of the electrodes, and predetermined electrodes of the chips respectively attached to a plurality of adjacent component attaching portions are connected by wiring wires.
リードフレームにチップを取り付けてワイヤによる配線を施した後、チップと該チップにワイヤを介して接続されたリード端子部の一部とを被覆するようにモールド樹脂からなるパッケージが形成される。その後、部品取付部を枠部に連結している連結部とリード端子部とが枠部から切り離されて電子部品が完成される。 After the chip is attached to the lead frame and wiring is performed using a wire, a package made of a mold resin is formed so as to cover the chip and a part of the lead terminal portion connected to the chip via the wire. Thereafter, the connecting portion connecting the component attaching portion to the frame portion and the lead terminal portion are separated from the frame portion, thereby completing the electronic component.
上記のように、リードフレームを用いて、チップからリード端子を引き出した構造を有する電子部品を構成する際には、リードフレームの部品取付部に取り付けられたチップとリード端子部との間、または複数のチップ相互間が配線用のワイヤにより接続される。配線ワイヤは、部品取付部とリード端子部との間の隙間、または複数の部品取付部相互間の隙間を渡ってチップとリード端子部との間または隣接するチップ相互間を接続する。従って、各部を接続するワイヤの長さをできるだけ短くしてコストの低減を図るためには、部品取付部とそれに隣接するフレーム要素との間の距離、または複数の部品取付部相互間の距離をできるだけ短くしておく必要がある。 As described above, when configuring an electronic component having a structure in which a lead terminal is drawn out from a chip using a lead frame, between the chip attached to the component mounting portion of the lead frame and the lead terminal portion, or A plurality of chips are connected by wiring wires. The wiring wire connects between the chip and the lead terminal portion or between adjacent chips across the gap between the component mounting portion and the lead terminal portion or the gap between the plurality of component mounting portions. Therefore, in order to reduce the cost by shortening the length of the wire connecting each part as much as possible, the distance between the component mounting portion and the frame element adjacent to the component mounting portion or the distance between a plurality of component mounting portions is set. It is necessary to keep it as short as possible.
またモールド樹脂からなるパッケージを小形にして電子部品の小形化を図るためにも、部品取付部とそれに隣接するフレーム要素との間の距離をできるだけ短くしておくことが望ましい。 In order to reduce the size of the electronic component by reducing the size of the package made of the mold resin, it is desirable that the distance between the component mounting portion and the frame element adjacent thereto be as short as possible.
更に、パッケージを形成する際にリードフレームの表側と裏側とで樹脂の流動性が異なる場合には、リードフレームのフレーム要素相互間の距離が長いと(フレーム要素相互間の隙間が広いと)、型内への樹脂の充填を完全に行うことができなくなってパッケージの外観が悪くなることがある。 Furthermore, when the flowability of the resin is different between the front side and the back side of the lead frame when forming the package, if the distance between the frame elements of the lead frame is long (the gap between the frame elements is wide), In some cases, the resin cannot be completely filled in the mold and the appearance of the package is deteriorated.
上記のように、リードフレームにおいては、部品取付部とリード端子部との間の隙間や複数の部品取付部相互間の隙間をできるだけ狭くすることが望まれているが、リードフレームを打ち抜きにより形成する場合にフレーム要素相互間の距離Dを板厚t以下にしようとすると、打ち抜き用パンチ及びダイが破損しやすくなるため、フレーム要素相互間の距離を板厚以下にすることはできない。そのため、D≒tとなり、特に比較的大電流を流すためにリードフレームの板厚を厚くする必要がある場合に、フレーム要素相互間の距離Dが必要以上に長くなるのを避けられなかった。 As described above, in the lead frame, it is desirable to make the gap between the component mounting portion and the lead terminal portion and the gap between the plurality of component mounting portions as narrow as possible, but the lead frame is formed by punching. In this case, if the distance D between the frame elements is set to be equal to or less than the plate thickness t, the punch for punching and the die are likely to be damaged, and therefore the distance between the frame elements cannot be set to be equal to or less than the plate thickness. For this reason, D≈t, and it is inevitable that the distance D between the frame elements becomes longer than necessary particularly when it is necessary to increase the thickness of the lead frame in order to pass a relatively large current.
またエッチングによりリードフレームを形成する場合もあるが、この場合も、フレーム要素相互間の距離を板厚以下にすることは困難であった。 In some cases, a lead frame may be formed by etching. In this case as well, it is difficult to make the distance between the frame elements equal to or less than the plate thickness.
そこで、特許文献1には、隣接するフレーム要素相互間の距離を見かけ上短縮する方法が提案されている。特許文献1に記載された方法では、導電板からなるフレーム素材を打ち抜いて、部品取付部やリード端子部などの複数のフレーム要素を有するリードフレームの半加工品を形成した後、パンチで隣接するフレーム要素の隙間に臨む部分を押し潰して、隙間の両側の部分の金属を互いに接近させる方向に移動させる。これにより隣接する導電部部分の隣接する端部に互いに接近した薄肉の突起を形成した後、該突起の先端をカットすることにより形を整えて、隣接するフレーム要素の隣り合う端部からそれぞれ平板状の突起を突出させた構造を有するリードフレームを得る。
Therefore,
フレーム要素相互間の距離を短縮するための加工が施されていないリードフレームを用いた電子部品の要部の構造を図12(A)に示し、特許文献1に記載された方法により隣接するフレーム要素の隣り合う端部に突起を形成したリードフレームを用いた電子部品の要部の構造を図12(B)に示した。これらの図においてLaは部品取付部、Lbはリード端子部であり、部品取付部Laとリード端子部Lbとの間には隙間Gが形成されている。Tは部品取付部Laに取り付けられたチップ、WはチップTの電極に一端が接続され、他端がリード端子部Lbに接続されたワイヤ、Pはモールド樹脂からなるパッケージである。特許文献1に示された方法によった場合には、図12(B)に示したように、パンチにより移動させられた金属により部品取付部La及びリード端子部Lbの隣り合う端部に突起La1及びLb1が形成されて、これらの突起の間に縮小された隙間g′が形成され、部品取付部Laとリード端子部Lbとの間の距離が見かけ上Dからdに短縮される。
The structure of the main part of an electronic component using a lead frame that has not been processed to reduce the distance between frame elements is shown in FIG. 12 (A), and adjacent frames by the method described in
また特許文献2には、フレーム要素の要所にフレーム要素の幅方向(板厚方向に対して直角な方向)に湾曲した変形部を設けたリードフレームの半加工品を打ち抜きにより形成した後、この半加工品の各変形部を押しつぶすことにより、所定のフレーム要素相互間の距離を短縮するようにしたリードフレームの製造方法が提案されている。特許文献2に示された方法により部品取付部とリード端子部との間の距離が短縮されたリードフレームを得る場合には、例えば図13(A)に示したように、部品取付部La及びリード端子部Lbの両側に設けたフレーム要素L1及びL2にそれぞれ幅方向に湾曲した変形部L11及びL21を形成したリードフレームの半加工品を打ち抜きにより形成した後、図13(B)に示すように、変形部L11及びL21を押しつぶすことにより、部品取付部Laとリード端子部Lbとの間の距離を短縮する。
特許文献1に記載されたリードフレームでは、部品取付部とリード端子部との間の距離そのものが短縮されるのではなく、それぞれの隣り合う端部に突起が形成されることにより、両者の隣接端部間の距離が短縮されるだけであるため、図12(B)に示したように、部品取付部の端部に形成された薄肉の突起La1の上に少なくとも一部が載るようにチップを取り付けないとワイヤWの長さを短縮する効果を得ることができない。
In the lead frame described in
しかしながら、このように構成した場合には、チップTが載る部分の肉厚が薄くなるため、チップからの放熱が悪くなり、チップの温度が上昇するという問題が生じる。従って、特許文献1に示された方法により得られたリードフレームは、通電電流が大きい半導体素子のチップには適さない。
However, in the case of such a configuration, the thickness of the portion on which the chip T is placed becomes thin, so that heat is dissipated from the chip and the temperature of the chip rises. Therefore, the lead frame obtained by the method disclosed in
また特許文献1に記載されたリードフレームでは、ポンチによりリードフレームの半加工品の所定箇所を押し潰して突起La1,Lb1を形成する際に、部品取付部Laの部品取り付け面の平坦度が損なわれるおそれがある。万一部品取付面の平坦度が損なわれて、部品取り付け面に傾斜ができると、ダイボンダにより部品取付部にチップを取り付ける際に半田または接着剤が流れてしまうおそれがあり、チップの取り付けに支障を来すおそれがあった。
In addition, in the lead frame described in
更に特許文献1に記載されたリードフレームでは、突起La1の上にチップを取り付ける必要があるため、部品の取付に用いることができるリードフレームの面が表面側に限定されるという問題があった。
Furthermore, in the lead frame described in
また特許文献2に記載された方法によった場合には、図13に示したように、リードフレームの半加工品を打ち抜く際に容易に押しつぶすことができる変形部L11,L21を形成する必要があるが、容易に押しつぶすことができる変形部は、その幅寸法をフレーム要素の幅寸法に比べて十分に小さくしておく必要があるため、このような変形部を備えたリードフレームの半加工品を打ち抜き加工により形成することは容易ではない。特にフレーム素材の板厚が厚い場合に、フレーム要素の一部に該フレーム要素よりも小さい幅寸法を有する変形部を打ち抜きにより形成することは困難である。
In the case of the method described in
またフレーム要素の幅方向に湾曲した変形部L11及びL21を設けた場合には、これらの変形部の部分でフレーム要素L1及びL2の断面積が小さくなるのを避けられないため、電子部品を組み立てた際にフレーム要素L1及びL2を通電路として用いる場合に、該通電路の抵抗値が高くなるという問題が生じ、好ましくない。 In addition, when the deformed portions L11 and L21 curved in the width direction of the frame element are provided, it is inevitable that the cross-sectional area of the frame elements L1 and L2 is reduced at these deformed portions. When the frame elements L1 and L2 are used as the energization paths, the resistance value of the energization paths becomes high, which is not preferable.
更に特許文献2に記載された方法によった場合には、変形部L21及びL22を押しつぶした際に各変形部の両側の部分が傾くおそれがあるため、部品取付部Laとリード端子部Lbとを直線移動させて、両者間に均一な隙間を形成することが難しいという問題も生じる。
Furthermore, according to the method described in
本発明の目的は、部品取付部として用いるフレーム要素の一部の板厚を変えたり、リードフレームの打ち抜き加工を困難にしたり、フレーム要素の抵抗値を増大させたりすることなく、部品取付部として用いられるフレーム要素と、このフレーム要素に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮することができるようにしたリードフレーム及びその製造方法を提供することにある。 The object of the present invention is to provide a component mounting portion without changing the thickness of a part of the frame element used as the component mounting portion, making it difficult to punch the lead frame, or increasing the resistance value of the frame element. Provided is a lead frame capable of shortening the distance between a frame element used and an adjacent frame element to which a wire connected to a component attached to the frame element is crossed, and a method of manufacturing the lead frame. There is.
本発明は、部品取付部を含む複数のフレーム要素が所定のパターンで配置されているリードフレームを対象としたもので、本発明においては、部品取付部と、該部品取付部に取り付けられる部品(通常はチップ状の部品)に接続される配線用ワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するように、即ち、部品取付部に取り付けられる部品に接続される配線用ワイヤが渡ることになる隙間を縮小するように、複数のフレーム要素の中から選択された特定のフレーム要素の一部が板厚方向に山形に変形されている。 The present invention is directed to a lead frame in which a plurality of frame elements including a component mounting portion are arranged in a predetermined pattern. In the present invention, a component mounting portion and a component attached to the component mounting portion ( Usually, the wiring wire connected to the component attached to the component mounting portion so as to shorten the distance between the adjacent frame elements to which the wiring wire connected to the chip-shaped component) is connected. A part of a specific frame element selected from among the plurality of frame elements is deformed in a mountain shape in the plate thickness direction so as to reduce the gap between the two.
上記のように構成すると、部品取付部と、電子部品を組み立てる際に該部品取付部に取り付けられる部品に接続される配線用ワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短くすることができるため、ワイヤの長さを短くすることができる。従って電子部品を組み立てる際のワイヤボンディング工程で用いるワイヤの使用量を少なくすることができ、コストの低減を図ることができる。 If comprised as mentioned above, when assembling an electronic component, when assembling an electronic component, the distance between the adjacent frame element used as the destination of the wire for wiring connected to the component attached to this component attachment part is shortened. Therefore, the length of the wire can be shortened. Accordingly, the amount of wire used in the wire bonding process when assembling the electronic component can be reduced, and the cost can be reduced.
また上記のようにして部品取付部と隣接するフレーム要素との間の距離を短くすると、リードフレームの要部をチップとともに被覆するように設けられるモールド樹脂からなるパッケージの小形化を図ることができるため、電子部品の小形軽量化を図ることができるだけでなく、樹脂の使用量を少なくしてコストの低減を図ることができる。 Further, when the distance between the component mounting portion and the adjacent frame element is shortened as described above, it is possible to reduce the size of the package made of the mold resin provided so as to cover the main part of the lead frame together with the chip. Therefore, not only can the electronic parts be reduced in size and weight, but also the amount of resin used can be reduced to reduce the cost.
更に上記のように構成すると、リードフレームの表側と裏側とで樹脂の流動性が異なる場合に樹脂の流動性を改善して、パッケージ成形用の型内の各部への樹脂の充填を良好に行わせることができるため、パッケージの外観が悪くなるのを防ぐことができる。 Furthermore, when configured as described above, when the flowability of the resin is different between the front side and the backside of the lead frame, the flowability of the resin is improved, and the resin is satisfactorily filled into each part in the package molding die. Therefore, it is possible to prevent the appearance of the package from being deteriorated.
また上記のように構成すると、部品取付部と隣接するフレーム要素との間の距離をリードフレームの一部板厚を変えることなく短縮することができるため、発熱量が多いチップにも問題なく適用することができる。 In addition, since the distance between the component mounting portion and the adjacent frame element can be reduced without changing the thickness of a part of the lead frame, the above configuration can be applied to a chip with a large amount of heat generation. can do.
更に上記のように、特定のフレーム要素の一部を板厚方向に山形に変形させることにより、部品取付部と該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮すると、部品取付面の加工を行なう必要がないため、部品取付面の平坦度が損なわれて部品の取付に支障を来すおそれをなくすことができる。 Further, as described above, a part of a specific frame element is deformed into a mountain shape in the plate thickness direction, so that the adjacent frame serving as a crossover of the wire connected to the component attachment portion and the component attached to the component attachment portion. If the distance between the elements is shortened, it is not necessary to process the component mounting surface, and therefore, the flatness of the component mounting surface is impaired and the possibility of hindering the mounting of the component can be eliminated.
また上記のように構成すると、リードフレームの部品取付部の表裏いずれの面にチップを取り付けた場合にも、ワイヤの長さを短縮したり、チップからの放熱性能の低下を防いだり、パッケージの小形化を図ったりする効果を得ることができる。そのため、リードフレームの表裏両面のいずれをも部品の取付に用いることができ、使用し得るリードフレームの面が制約されないという効果が得られる。 In addition, when configured as described above, the length of the wire can be shortened, the heat dissipation performance from the chip can be prevented from being lowered, even when the chip is attached to either the front or back side of the lead frame component mounting part. An effect of reducing the size can be obtained. Therefore, both the front and back surfaces of the lead frame can be used for mounting components, and the effect that the surface of the lead frame that can be used is not restricted is obtained.
また上記のように、フレーム要素の一部を板厚方向にプレス加工することにより山形に変形させて、部品取付部と該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するようにすると、フレーム要素の途中に断面積が小さい部分が形成されることがないため、フレーム要素の抵抗値が大きくなることがない。 In addition, as described above, a part of the frame element is deformed into a chevron by pressing in the plate thickness direction, and adjacent to the connecting portion of the component attachment portion and the wire connected to the component attached to the component attachment portion. If the distance between the frame element is shortened, a portion having a small cross-sectional area is not formed in the middle of the frame element, and the resistance value of the frame element does not increase.
また上記のように構成すると、フレーム要素の一部にその幅方向に湾曲した変形部を設けておく必要がないため、リードフレームの打ち抜き加工を容易に行うことができる。 Further, when configured as described above, since it is not necessary to provide a deformed portion curved in the width direction in a part of the frame element, it is possible to easily punch the lead frame.
更に上記のように、特定のフレーム要素の一部を板厚方向に山形に変形させることにより部品取付部として用いるフレーム要素と隣接のフレーム要素とを相対的に移動させて両者間の距離を短縮するようにすると、特定のフレーム要素の一部を山形に変形する際に、リードフレームの両面に平坦な型を当てて両面を規制しておくだけで、部品取付部として用いるフレーム要素と隣接するフレーム要素とを容易に直線移動させて、両者間に均一な隙間を形成することができる。 In addition, as described above, a part of a specific frame element is deformed into a mountain shape in the thickness direction, so that the frame element used as the component mounting portion and the adjacent frame element are relatively moved to reduce the distance between the two. Then, when part of a specific frame element is deformed into a chevron shape, it is adjacent to the frame element used as a component mounting part simply by applying a flat mold to both sides of the lead frame and regulating both sides. The frame element can be easily linearly moved to form a uniform gap between them.
本発明は、厚肉部と薄肉部とを有する導電板からなるフレーム素材を打ち抜くことにより部品取付部を含む複数のフレーム要素が形成されて、部品取付部が厚肉部により形成されているリードフレームにも適用することができる。この場合には、部品取付部と、該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するように、複数のフレーム要素の内、薄肉部により形成された部分の一部が板厚方向に山形に変形される。 The present invention provides a lead in which a plurality of frame elements including a component mounting portion are formed by punching a frame material made of a conductive plate having a thick portion and a thin portion, and the component mounting portion is formed of a thick portion. It can also be applied to frames. In this case, among the plurality of frame elements so as to shorten the distance between the component mounting portion and the adjacent frame element to which the wire connected to the component mounted on the component mounting portion is crossed, A part of the portion formed by the thin portion is deformed into a mountain shape in the plate thickness direction.
本発明によればまた、部品取付部を含む複数のフレーム要素が所定のパターンで配置されているリードフレームを製造する方法が提供される。本発明に係わる製造方法では、導電板からなるフレーム素材を打ち抜くことにより部品取付部を含む複数のフレーム要素を有するリードフレームの半加工品を形成した後、該半加工品の部品取付部と該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するように、半加工品の複数のフレーム要素の中から選択した特定のフレーム要素の一部を板厚方向にプレス加工して山形に変形させる工程を行なう。 According to the present invention, there is also provided a method of manufacturing a lead frame in which a plurality of frame elements including a component mounting portion are arranged in a predetermined pattern. In the manufacturing method according to the present invention, after forming a semi-processed product of a lead frame having a plurality of frame elements including a component mounting part by punching a frame material made of a conductive plate, the component mounting part of the semi-processed product and the The specific frame element selected from the multiple frame elements of the semi-finished product so as to reduce the distance between adjacent frame elements to which the wire connected to the part attached to the part attachment part is routed. A process is performed in which a part is pressed in the thickness direction and deformed into a chevron.
本発明に係わる製造方法の好ましい態様では、導電板からなるフレーム素材を打ち抜くことにより部品取付部を構成することになる部品取付部構成用のフレーム要素を含む複数のフレーム要素を有するリードフレームの半加工品を形成する第1の打ち抜き工程と、該半加工品の部品取付部構成用フレーム要素に絞り加工を施して該部品取付部構成用フレーム要素に板厚方向の一方の側に突出した山形の突出部を形成する絞り工程と、突出部の底部を打ち抜くことにより隙間を形成して該部品取付部構成用フレーム要素を隙間を介して相対する第1の部分と第2の部分とに分割する第2の打ち抜き工程と、該第1の部分及び第2の部分に跨って上記突出部を無くすように平押し加工を施すことにより該第1の部分と第2の部分との間の距離を短縮するとともに該第1の部分及び第2の部分に部品を保持するのに適した平坦面を形成して、該第1の部分及び第2の部分の少なくとも一方を部品取付部とする平押し工程とを行なう。 In a preferred embodiment of the manufacturing method according to the present invention, a half of a lead frame having a plurality of frame elements including a frame element for component mounting portion configuration that forms a component mounting portion by punching a frame material made of a conductive plate. A first punching step for forming a processed product, and a chevron projecting to one side in the plate thickness direction of the component mounting portion constituting frame element by drawing the semi-finished component mounting portion constituting frame element The drawing step for forming the projecting portion and the bottom portion of the projecting portion are punched to form a gap, and the component mounting portion constituting frame element is divided into the first portion and the second portion facing each other through the gap. A distance between the first part and the second part by performing a flat pressing process so as to eliminate the projecting portion across the first part and the second part. The short And a flat pushing process in which a flat surface suitable for holding a part is formed on the first part and the second part, and at least one of the first part and the second part is used as a part mounting part. And do.
上記のようにリードフレームの半加工品に設けた部品取付部構成用フレーム要素に絞り加工と打ち抜き加工とを施した後平押し加工を施して、部品を保持するのに適した平坦面を形成するようにすると、リードフレームの特定のフレーム要素を板厚方向に山形に曲げるプレス加工を行なうことなく、配線用ワイヤを渡らせる隙間を縮小することができるため、リードフレームの縦横の寸法を変えるこなく、配線用ワイヤを渡らせる隙間が縮小されたリードフレームを得ることができ、ワイヤを渡らせることになる隙間を縮小する加工を行なうことにより、リードフレームの補寸法精度が悪くなるのを防ぐことができる。 As described above, the flat parts suitable for holding the parts are formed by drawing and punching the frame elements for component mounting parts provided on the semi-finished product of the lead frame, followed by flat pressing. By doing so, it is possible to reduce the gap across which the wiring wires are routed without performing a pressing process in which a specific frame element of the lead frame is bent in a chevron shape in the thickness direction, so that the vertical and horizontal dimensions of the lead frame are changed. In this way, it is possible to obtain a lead frame in which the gap for passing the wiring wire is reduced, and by performing the process for reducing the gap for passing the wire, the lead frame complementary dimension accuracy is deteriorated. Can be prevented.
上記の方法では、リードフレームの半加工品を打ち抜いてから絞り加工と打ち抜き加工とを行って縮小された隙間を形成するようにしたが、先に絞り加工と打ち抜き加工とを行ってフレーム素材の要所に縮小された隙間を形成してから、該フレーム素材を打ち抜いてリードフレームを得るようにすることもできる。この場合には、導電板からなるフレーム素材の特定部分に絞り加工を施して該特定部分にフレーム素材の板厚方向の一方の側に突出した山形の突出部を形成する絞り工程と、特定部分に形成された突出部の底部を打ち抜くことにより隙間を形成する第1の打ち抜き工程と、突出部を無くすように突出部が形成された部分に平押し加工を施すことにより隙間の幅を狭くすると共に、隙間の周囲に部品を保持するのに適した平坦面を形成する平押し工程と、幅が狭くされた隙間の両側の平坦面が形成された部分の一方及び他方をそれぞれ部品取付け用フレーム要素及び隣接のフレーム要素とするようにフレーム素材を打ち抜いて、複数のフレーム要素を形成する第2の打ち抜き行程とを行う。 In the above method, the lead frame semi-processed product is punched, and then the drawing process and the punching process are performed to form the reduced gap. It is also possible to form a lead frame by punching the frame material after forming a reduced gap at a critical point. In this case, a drawing step of drawing a specific portion of the frame material made of a conductive plate to form a chevron-like protruding portion protruding on one side of the frame material in the plate thickness direction, and the specific portion The first punching step of forming a gap by punching the bottom of the protruding portion formed on the surface, and the width of the gap is reduced by flat pressing the portion where the protruding portion is formed so as to eliminate the protruding portion. In addition, a flat pressing process for forming a flat surface suitable for holding a component around the gap, and one and the other of the portions where the flat surfaces on both sides of the narrowed gap are formed are part mounting frames. A frame material is punched out to form an element and an adjacent frame element, and a second punching process for forming a plurality of frame elements is performed.
以上のように、本発明によれば、部品取付部と、該部品取付部に取り付けられる部品に接続される配線用ワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短くすることができるため、配線用のワイヤの使用量を少なくしてコストの低減を図ることができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to shorten the distance between the component attachment portion and the adjacent frame element that is the destination of the wiring wire connected to the component attached to the component attachment portion. Therefore, it is possible to reduce costs by reducing the amount of wires used for wiring.
また本発明によれば、部品取付部と隣接するフレーム要素との間の距離を短くすることができるため、チップを被覆するように設けられるパッケージの小形化を図って、電子部品の小形軽量化を図ることができるだけでなく、樹脂の使用量を少なくしてコストの低減を図ることができる。 Further, according to the present invention, since the distance between the component mounting portion and the adjacent frame element can be shortened, the package provided so as to cover the chip can be reduced in size, and the electronic component can be reduced in size and weight. In addition to reducing the amount of resin used, the cost can be reduced.
更に本発明によれば、フレーム要素相互間の隙間を縮小することができるため、モールド樹脂からなるパッケージを形成する際に、リードフレームの表側及び裏側での樹脂の流動性を改善して、フレーム要素相互間の隙間内への樹脂の充填を良好にすることができる。 Further, according to the present invention, since the gap between the frame elements can be reduced, the flowability of the resin on the front side and the back side of the lead frame is improved when forming a package made of mold resin, and the frame The resin can be satisfactorily filled into the gaps between the elements.
また本発明によれば、チップを取り付ける部品取付部の一部の板厚を薄くすることなく、ワイヤを渡らせることになる隙間を縮小することができるため、チップからの放熱性能が低下するのを防ぐことができる。 Further, according to the present invention, since the gap between the wires can be reduced without reducing the thickness of a part of the component mounting portion to which the chip is attached, the heat dissipation performance from the chip is reduced. Can be prevented.
更に本発明において、特定のフレーム要素の一部を板厚方向に山形に変形させることにより部品取付部と該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するようにした場合には、部品取付面の加工を行なう必要がないため、部品取付面の平坦度が損なわれて部品の取付に支障を来すおそれをなくすことができる。 Further, in the present invention, a part of a specific frame element is deformed into a mountain shape in the plate thickness direction, and an adjacent frame element serving as a crossover of a wire connected to a part attached to the part attachment part. When the distance between the two is shortened, there is no need to process the component mounting surface, so that the flatness of the component mounting surface is impaired and the possibility of hindering component mounting can be eliminated. .
また本発明によれば、リードフレームの部品取付部のいずれの面にチップを取り付けた場合にも、ワイヤの長さを短縮したり、チップからの放熱性能の低下を防いだり、パッケージの小形化を図ったりする効果を得ることができるため、リードフレームの表裏両面のいずれをも部品の取付に用いることができ、使用し得るリードフレームの面が制約されないという利点が得られる。 In addition, according to the present invention, when a chip is mounted on any surface of the lead frame component mounting portion, the length of the wire can be shortened, the heat dissipation performance from the chip can be prevented from being reduced, and the package can be downsized. Therefore, it is possible to use both the front and back surfaces of the lead frame for mounting components, and there is an advantage that the surface of the lead frame that can be used is not restricted.
更に本発明において、フレーム要素の一部を板厚方向にプレス加工することにより、山形に変形させて、部品取付部と該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するようにした場合には、フレーム要素の幅方向に湾曲させて設けた変形部を押しつぶすことにより部品取付部として用いるフレーム要素と隣接するフレーム要素との間の距離を短縮する従来技術による場合のように、フレーム要素の途中に断面積が小さい変形部を設ける必要がないため、リードフレームの打ち抜きを困難にしたり、フレーム要素の抵抗値を大きくしたりすることなく、部品取付部として用いるフレーム要素と隣接のフレーム要素との間の距離を短縮することができる。 Further, in the present invention, a part of the frame element is pressed in the plate thickness direction so as to be deformed into a chevron and adjacent to the connection point between the component attachment portion and the wire attached to the component attachment portion. When the distance between the frame element and the frame element is shortened, the frame element used as the component mounting part is crushed by the deformed part curved in the width direction of the frame element and the adjacent frame element. As in the case of the prior art that shortens the distance, there is no need to provide a deformed portion with a small cross-sectional area in the middle of the frame element, which makes it difficult to punch the lead frame or increase the resistance value of the frame element. The distance between the frame element used as the component mounting portion and the adjacent frame element can be shortened.
また本発明において、絞り加工と打ち抜き加工と平押し加工とを行なって、部品取付部と該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するようにした場合には、リードフレームの特定のフレーム要素を板厚方向に山形に曲げるプレス加工を行なうことなく、配線用ワイヤを渡らせる隙間を縮小することができるため、リードフレームの縦横の寸法を変えるこなく、配線用ワイヤを渡らせる隙間が縮小されたリードフレームを得ることができ、ワイヤを渡らせることになる隙間を縮小する加工を行なうことにより、リードフレームの補寸法精度が悪くなるのを防ぐことができる。 Further, in the present invention, the distance between the component attachment portion and the adjacent frame element to which the wire connected to the component attached to the component attachment portion is subjected to drawing processing, punching processing, and flat pressing processing. When the length of the lead frame is shortened, the gap between the wiring wires can be reduced without performing a pressing process in which a specific frame element of the lead frame is bent in a mountain shape in the plate thickness direction. Without changing the vertical and horizontal dimensions, it is possible to obtain a lead frame with a reduced gap for passing the wiring wire, and by processing to reduce the gap that allows the wire to pass, the lead frame complementary dimension accuracy Can be prevented.
以下図面を参照して本発明の好ましい実施形態を詳細に説明する。図1ないし図3は本発明の第1の実施形態においてリードフレームを製造する過程を順を追って示したものである。図1(A)はリードフレームの第1の半加工品を示した正面図、図1(B)及び(C)はそれぞれ同図(A)のB1−B1線断面図及びC1−C1線断面図を示している。また図2(A)はリードフレームの第2の半加工品を示した正面図、図2(B)及び(C)はそれぞれ同図(A)のB2−B2線断面図及びC2−C2線断面図である。更に図3(A)は完成されたリードフレームの正面図を示し、同図(B)及び(C)はそれぞれ同図(A)のB3−B3線断面図及びC3−C3線断面図を示している。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 to 3 show the steps of manufacturing a lead frame in the first embodiment of the present invention step by step. 1A is a front view showing a first semi-finished product of a lead frame, and FIGS. 1B and 1C are cross-sectional views taken along lines B1-B1 and C1-C1 of FIG. 1A, respectively. The figure is shown. 2A is a front view showing a second semi-finished product of the lead frame, and FIGS. 2B and 2C are a cross-sectional view taken along line B2-B2 and a line C2-C2 in FIG. It is sectional drawing. 3A shows a front view of the completed lead frame, and FIGS. 3B and 3C show a cross-sectional view taken along line B3-B3 and a cross-sectional view taken along line C3-C3 in FIG. 3A, respectively. ing.
本実施形態では、先ず、均一な厚さを有する導電板からなるフレーム素材を打ち抜くことにより、図1(A)ないし(C)に示したようなリードフレームの第1の半加工品1″を形成する。なおこれらの図面では、リードフレームを構成する板の板厚を実際よりも厚めに誇張して示している。
In the present embodiment, first, a frame material made of a conductive plate having a uniform thickness is punched to obtain a first half-processed
図1において1A及び1Bは互いに平行に延びる帯板状の第1及び第2の横骨部、1C及び1Dはそれぞれ第1の横骨部1Aと第2の横骨部1Bとの間を平行に延びる帯板状の第1及び第2の縦骨部、1Eは第1及び第2の縦骨部1C及び1D間で第1及び第2の横骨部1A及び1B間をつなぐように設けられた板状の中骨部であり、中骨部1Eは幅広部1E1と幅狭部1E2とからなっている。
In FIG. 1, 1A and 1B are strip-shaped first and second transverse bone portions extending in parallel with each other, and 1C and 1D are parallel to each other between the first
図1に示す第1の半加工品1″を形成した後、中骨部1Eの幅広部1E1を打ち抜いて隙間Gを形成することにより、図2(A)ないし(C)に示したように、幅広部1E1を第1の幅広部1E11と第2の幅広部1E12とに分割してリードフレームの第2の半加工品1′を形成する。
As shown in FIGS. 2A to 2C, after forming the first
次いで、第2の半加工品1′の表裏両面に平坦な型を当ててその両面を規制した状態で、第2の半加工品1′の縦骨部1C及び1Dの一部にプレス加工を施して、これらの縦骨部の一部を板厚方向に山形に曲げることにより、図3(A)ないし(C)に示したように、縦骨部1C及び1Dの一部に、それぞれの板厚方向の同じ側に同じ突出長hを持って突出した山形の変形加工部1C1及び1D1を形成する。これにより第1の幅広部1E11と第2の幅広部1E12とを互いに接近する方向に直線移動させて両者間の隙間を縮小された隙間gとし、第1の幅広部1E11と第2の幅広部1E12との間の距離を図2に示したDから図3に示したdに縮小して、本発明に係わるリードフレーム1を完成する。
Next, in a state where flat surfaces are applied to both the front and back surfaces of the second
本実施形態では、横骨部1A,1B、縦骨部1C,1D、部品取付部1a、中骨部の第1の幅広部1E11及び第2の幅広部1E12と幅狭部1E2とからなる部分がそれぞれリードフレーム1のフレーム要素を構成しており、これら複数のフレーム要素が相互間に隙間を介して所定のパターンで配列されている。本実施形態では、中骨部の第1の幅広部1E11からなるフレーム要素を部品取付部101として用い、第2の幅広部1E12と幅狭部1E2とからなるフレーム要素を、部品取付部101に取り付けられる部品(チップ)に接続される配線用ワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素(この例ではリード端子部)102として用いる。
In the present embodiment, the
図3に示したリードフレーム1を用いて構成した電子部品を図4に示した。図4(A)は一部を断面して示した正面図、(B)及び(C)はそれぞれ同図(A)のB4−B4線断面図及びC4−C4線断面図である。部品取付部101には、ダイボンダによりチップ3が取り付けられ、チップ3の電極と、リード端子部を構成するフレーム要素102との間が配線用ワイヤ4により接続されている。また縦骨部1Cと横骨部1Aの大部分と、部品取付部101とフレーム要素102の幅広部及び幅狭部の一部を含む部分とをチップ3及びワイヤ4とともに被覆するように、モールド樹脂からなるパッケージ5が形成されている。本実施形態では、山形の変形加工部1C1の頂部が外部に露出するようにパッケージ5が形成され、パッケージから露出した変形加工部1C1の頂部(図4C参照)が電極として用いられるようになっている。
An electronic component configured using the
上記のように構成すると、部品取付部101と、この部品取付部に取り付けられるチップに接続される配線用ワイヤ4の渡り先となる隣接のフレーム要素102との間の距離を短くすることができるため、電子部品を組み立てる際のワイヤの使用量を少なくして電子部品のコストの低減を図ることができる。
If comprised as mentioned above, the distance between the
また上記のように構成すると、部品取付部101と隣接するフレーム要素102との間の距離が短くなるため、チップをリードフレームの一部とともに被覆するように設けられるモールド樹脂からなるパッケージの小形化を図って、電子部品の小形軽量化を図ることができる。またパッケージを形成する際の樹脂の使用量を少なくしてコストの低減を図ることができる。
Further, since the distance between the
また上記のように構成すると、部品取付部101と隣接するフレーム要素102との間の距離をリードフレームの板厚を変えることなく短縮することができるため、チップが載る部分のフレームの板厚が薄くなって、チップからの放熱性能が悪化するのを防ぐことができる。従って、本発明に係わるリードフレームは、発熱量が多いチップにも問題なく適用することができる。
Further, since the distance between the
更に上記のように構成すると、部品取付部101と該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素102との間の距離を短縮する際に、部品取付面の加工を行なう必要がないため、部品取付面の平坦度が損なわれてチップの取付に支障を来すおそれをなくすことができる。
Further, when configured as described above, when the distance between the
また上記のように構成すると、リードフレームの部品取付部101と隣接するフレーム要素102との間の実際の距離が短縮されるため、リードフレームの部品取付部のいずれの面にチップを取り付けた場合にも、配線用ワイヤの長さを短縮したり、パッケージの小形化を図ったりする効果を得ることができる。そのため、リードフレームの表裏両面のいずれをも部品の取付に用いることができ、部品の取り付けに使用する面が片側に制限されることがない。
Moreover, since the actual distance between the
更に上記のように、隣接するフレーム要素の間の距離を短縮することができると、パッケージを成形する際に、リードフレーム1の表側及び裏側での樹脂の流動性を改善して、パッケージ成形用の型内の各部への樹脂の充填を良好に行わせることができるため、パッケージの外観が悪くなるのを防ぐことができる。
Further, as described above, when the distance between adjacent frame elements can be shortened, the flowability of the resin on the front side and the back side of the
図11はリードフレームの部品取付部と隣接するフレーム要素との間の隙間が広い場合について、パッケージを射出成形する過程と、パッケージが成形されて完成した電子部品とを模式的に示したものである。図11(A)は、チップを取り付けたリードフレームをパッケージ成形用金型ないに挿入した状態を示し、同図(B)ないし(D)は、パッケージ5を成形する際の成形用金型内での樹脂の流れ方を示している。また図11(E)はパッケージが成形されて完成された電子部品を示している。
FIG. 11 schematically shows a process of injection molding a package and an electronic component completed by molding the package when the gap between the component mounting portion of the lead frame and the adjacent frame element is wide. is there. FIG. 11A shows a state in which the lead frame to which the chip is attached is inserted into the package molding die, and FIGS. 11B to 11D show the inside of the molding die when the
図11(A)ないし(D)において11及び12はそれぞれ成形用金型の上型及び下型を示し、13は金型のゲートを示している。この例では、リードフレーム1の表面側にチップ3が存在するために、リードフレーム1の表面と上型11の内面との間の間隔が、リードフレーム1の裏面と下型12の内面との間の間隔よりも広くなっている。そのため、リードフレーム1の表面側よりも裏面側の方が樹脂が流れにくくなっており、ゲート13から金型内に射出された樹脂15は、図11(B)ないし(D)に示すように、リードフレームの裏面側の方が表面側よりも遅れて流れる。リードフレームの表面側を流れる樹脂は流速が高いため、そのほとんどが部品取付部101と隣接するフレーム要素102との間の隙間Gを通過して流れる。これに対し、リードフレームの裏面側を流れる樹脂の流速は、表面側を流れる樹脂の流速よりも低いため、リードフレームの裏面側を流れる樹脂は、金型内の最端部に向かって流れていく途中で部品取付部101とフレーム要素102との間の隙間Gに多く流れ込む。そのため、部品取付部101とフレーム要素102との間の隙間Gが広いと、リードフレームの裏面側を流れる樹脂15が隙間Gを充填するために多く使われ、金型内の最端部まで樹脂が到達できないことがある。このような状態が生じると、図11(E)に示したように、リードフレームの裏面側で、パッケージ5の一部に樹脂が不足した欠陥部分5aが生じ、パッケージの外観が悪くなったり、パッケージの保護機能が損なわれたりするおそれがある。
11A to 11D,
一方図10は、リードフレームの部品取付部と隣接するフレーム要素との間の隙間の幅を狭くした場合について、パッケージを射出成形する過程と、パッケージが成形されて完成した電子部品とを模式的に示したものである。図10(A)は、チップを取り付けたリードフレームをパッケージ成形用金型内に挿入した状態を示し、同図(B)ないし(D)は、パッケージ5を成形する際の成形用金型内での樹脂の流れ方を示している。また図10(E)はパッケージが成形されて完成された電子部品を示している。
On the other hand, FIG. 10 schematically shows a process of injection molding a package and an electronic component completed by molding the package when the width of the gap between the component mounting portion of the lead frame and the adjacent frame element is narrowed. It is shown in. 10A shows a state in which the lead frame to which the chip is attached is inserted into the package molding die, and FIGS. 10B to 10D show the inside of the molding die when the
本発明のように、リードフレームの部品取付部と隣接するフレーム要素との間の隙間gを狭くした場合には、図10(C)及び(D)に示したように、リードフレーム1の裏面側を流れる樹脂15が隙間gに入りにくくなるため、リードフレーム1の裏面側を流れる樹脂のうち、隙間gを充填するために用いられる樹脂を少なくして、リードフレームの表面側でも裏面側でも金型内に射出した樹脂をその最端部まで到達させることができる。従って、パッケージ5の一部に樹脂が不足した部分が生じるのを防ぐことができ、パッケージの外観が悪くなったり、その保護機能が損なわれたりするのを防ぐことができる。
When the gap g between the component mounting portion of the lead frame and the adjacent frame element is narrowed as in the present invention, the back surface of the
また本発明においては、リードフレームの特定のフレーム要素の一部を板厚方向に山形に変形させることにより変形加工部を形成して所定の部品取付部と隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するため、図13に示したように、フレーム要素の幅方向に湾曲した幅が狭い変形部L11,L21を設けてこれらの変形部を押しつぶすことにより部品取付部と隣接のフレーム要素との間の距離を短縮する方法をとる場合に生じる種々の問題を解決することができる。 Further, in the present invention, a part of a specific frame element of the lead frame is deformed into a mountain shape in the plate thickness direction to form a deformed portion so that a distance between a predetermined component mounting portion and an adjacent frame element is increased. For shortening, as shown in FIG. 13, the deformed portions L11 and L21 having a narrow width curved in the width direction of the frame element are provided, and the deformed portions are crushed so that the part mounting portion is adjacent to the adjacent frame element. It is possible to solve various problems that occur when the method of shortening the distance is taken.
上記のように、本発明においては、部品取付部と、該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するように、複数のフレーム要素の中から選択された特定のフレーム要素の一部をその板厚方向に山形に変形させる。従って、いずれかのフレーム要素を変形させる特定のフレーム要素として選択することができるように、リードフレームのフレーム要素の配列パターンを設定しておく。 As described above, in the present invention, a plurality of components are attached so as to shorten the distance between the component attachment portion and the adjacent frame element to which the wire connected to the component attached to the component attachment portion is crossed. A part of a specific frame element selected from the frame elements is deformed into a mountain shape in the thickness direction. Therefore, the arrangement pattern of the frame elements of the lead frame is set so that any one of the frame elements can be selected as a specific frame element to be deformed.
上記の実施形態では、均一な厚さを有する導電板からなるフレーム素材を打ち抜くことによりリードフレームを形成するようにしたが、部品取付部として用いるフレーム要素の肉厚を厚くしてチップからの放熱性を良好にするために、一部に厚肉部を有する導電板からなるフレーム素材を打ち抜くことにより、リードフレームを形成する場合にも本発明を適用することができる。 In the above embodiment, the lead frame is formed by punching a frame material made of a conductive plate having a uniform thickness. However, the thickness of the frame element used as the component mounting portion is increased to dissipate heat from the chip. In order to improve the performance, the present invention can also be applied to the case where a lead frame is formed by punching a frame material made of a conductive plate having a thick portion in part.
図5は、厚肉部と薄肉部とを有するフレーム素材を打ち抜くことにより部品取付部を厚肉部により形成するようにした本発明の第2の実施形態を示したもので、図5(A)は本実施形態において打ち抜きにより形成されるリードフレームの半加工品1′の正面図、同図(B)は同図(A)のB5−B5線断面図、同図(C)は同図(A)のC5部及びC5′部の断面図である。
FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention in which a component attachment portion is formed by a thick portion by punching out a frame material having a thick portion and a thin portion, and FIG. ) Is a front view of the lead frame
この例では、リードフレームの半加工品1′が、互いに平行に延びる第1及び第2の横骨部1a及び1bと、これらの横骨部の間を延びる第1及び第2の縦骨部1c及び1dと、第1及び第2の縦骨部1c及び1dの間にあって第1の横骨部1aにクランク形の連結部1e及び1fを介して連結された第1の島部1gと、同じく第1及び第2の縦骨部1c及び1dの間にあって第2の横骨部1bに帯板状の連結部1hを介して連結された第2の島部1iとからなっている。第1の島部1gと第2の島部1iの間には、縦骨部1c,1dの長手方向に対して45°傾斜した方向に延びる隙間Gが形成されている。第1の島部1g及び第2の島部1iと、第1及び第2の縦骨部1c及び1dの島部1g,1iに相応する部分1c1及び1d1が導電板(フレーム素材)の厚肉部により形成されている。隙間Gの幅寸法(島部1gと1iとの間の距離)D(図7A参照)は、リードフレームを構成する導電板の厚肉部の板厚にほぼ等しくなっている。
In this example, the lead frame blank 1 'includes first and second
第1の島部1gを横骨部1aに連結している連結部1eは、横骨部1aと平行に延びる曲げ加工部1e1と、この曲げ加工部の一端を島部1gの縦骨部1c側の端部に連結するように設けられた非曲げ加工部1e2と、曲げ加工部1e1の他端を横骨部1aに連結するように設けられた非曲げ加工部1e3とからなっている。また第2の島部1gを横骨部1aに連結している連結部1fは、横骨部1aと平行に延びる曲げ加工部1f1と、この曲げ加工部の一端を島部1gの縦骨部1d側の端部に連結するように設けられた非曲げ加工部1f2と、曲げ加工部1f1の他端を横骨部1aに連結するように設けられた非曲げ加工部1f3とからなっている。導電板(リードフレーム素材)を打ち抜いて図5に示した半加工品1′を形成した段階では、図5(C)に示されているように、連結部1e及び1fの曲げ加工部1e1及び1f1が平板状に形成されている。
The connecting
図5に示したリードフレームの半加工品を形成した後、連結部1e及び1fの曲げ加工部1e1及び1f1がそれぞれの板厚方向に山形に曲げられて、図6(B)に示したように曲げ加工部1e4及び1f4が形成される。これにより、図7(B)に示したように、島部1gを島部1i側に移動させて両島部1g,1i間の隙間を短縮された隙間gとし、島部1gと1iとの間の距離を図7(A)に示したDから図7(B)に示したdに短縮してリードフレーム1を完成する。
After the lead frame semi-finished product shown in FIG. 5 is formed, the bent portions 1e1 and 1f1 of the connecting
次いで、図6(A)に示したようにリードフレーム1の島部1gにチップ3を取り付け、チップ3の電極部に接続したワイヤ4を隙間gを渡らせて島部1iに接続する。その後リードフレーム1の横骨部1aの大部分と、縦骨部1cの大部分と、島部1g及び1iと、連結部1e及び1fと、連結部1hのほぼ半部とをチップ3及びワイヤ4とともに被覆するように、モールド樹脂からなるパッケージ5を射出成形により形成し、リードフレームの不要部分を切り離して電子部品を完成する。
Next, as shown in FIG. 6A, the
なお図6(A)において、破線1g′は、連結部1e及び1fの曲げ加工部を曲げる前の島部1gの位置を示している。
In FIG. 6A, a
図5ないし図7に示した第2の実施形態では、横骨部1a,1b、縦骨部1c,1d、連結部1e,1f、島部1g,1i及び連結部1hをフレーム要素としてリードフレームが構成され、これらのフレーム要素のうち、島部1gが部品取付部として用いられている。また連結部1hと縦骨部1cの横骨部1b側の端部とがリード端子部として用いられる。
In the second embodiment shown in FIG. 5 to FIG. 7, the lead frame includes the
上記のように、厚肉部と薄肉部とを有する導電板を打ち抜くことにより部品取付部及びリード端子部を含む複数のフレーム要素を形成する場合にも本発明を適用することができる。この場合、曲げ加工を容易にするため、曲げ加工を施す部分は、導電板の薄肉部により形成する。 As described above, the present invention can also be applied to a case where a plurality of frame elements including a component mounting portion and a lead terminal portion are formed by punching out a conductive plate having a thick portion and a thin portion. In this case, in order to facilitate bending, the portion to be bent is formed by a thin portion of the conductive plate.
上記の各実施形態では、導電板からなるリードフレーム素材を打ち抜いてリードフレームの半加工品を形成した後、複数のフレーム要素の中から選択された特定のフレーム要素の一部を板厚方向に山形に変形させることにより、部品取付部と、該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するようにしたが、リードフレーム素材に絞り加工と、打ち抜き加工と平押し加工とを施すことにより、フレーム要素間の隙間が短縮されたリードフレームを得ることもできる。 In each of the above embodiments, after a lead frame material made of a conductive plate is punched to form a lead frame semi-processed product, a part of a specific frame element selected from a plurality of frame elements is arranged in the plate thickness direction. By changing the shape to a chevron, the distance between the component mounting portion and the adjacent frame element that is the destination of the wire connected to the component mounted on the component mounting portion is shortened. By performing drawing processing, punching processing and flat pressing processing on the lead frame, it is possible to obtain a lead frame in which the gap between the frame elements is shortened.
図8(A)ないし(D)は、リードフレーム素材に絞り加工と打ち抜き加工と平押し加工とを施してリードフレームを製造する本発明の第3の実施形態においてリードフレームを形成する過程を順に示したものである。また図8(E)はこの方法により得られたリードフレームを用いて組み立てた電子部品の断面図を示している。この方法による場合には、先ず導電板からなるフレーム素材を打ち抜くことにより、部品取付部を構成することになる部品取付部構成用フレーム要素21を含む複数のフレーム要素を有するリードフレームの半加工品22を形成する第1の打ち抜き工程を行う。半加工品22には部品取付部構成用フレーム要素の外に他の複数のフレーム要素が設けられるが、これら他のフレーム要素の図示は省略されている。この場合、半加工品22の正面図は例えば図1(A)と同様であり、部品取付部構成用フレーム要素21は例えば図1(A)に示された幅広部1Eと同様に形成される。
FIGS. 8A to 8D sequentially show the process of forming a lead frame in the third embodiment of the present invention in which a lead frame is manufactured by subjecting the lead frame material to drawing, punching, and flat pressing. It is shown. FIG. 8E shows a cross-sectional view of an electronic component assembled using the lead frame obtained by this method. In the case of this method, a lead frame semi-finished product having a plurality of frame elements including the component attachment portion constituting
リードフレームの半加工品22を形成した後、半加工品22の部品取付部構成用フレーム要素21に絞り加工を施して該部品取付部構成用フレーム要素に板厚方向の一方の側に突出した山形の突出部21A(図8B参照)を形成する絞り工程を行う。
After the lead frame
その後、図8(C)に示すように、突出部21Aの底部を打ち抜くことにより隙間Gを形成して部品取付部構成用フレーム要素を隙間Gを介して相対する第1の部分21aと第2の部分21bとに分割する第2の打ち抜き工程を行う。
Thereafter, as shown in FIG. 8C, a gap G is formed by punching out the bottom of the projecting
第2の打ち抜き行程を行った後、第1の部分21a及び第2の部分21bに跨って、突出部21Aを無くすように(突出部を形成した部分の形状を元に戻すように)平押し加工を施すことにより、図8(D)に示すように、第1の部分21aと第2の部分21bとの間の距離を短縮するとともに該第1の部分21a及び第2の部分21bに部品を保持するのに適した平坦面21a1,21b1を形成して該第1の部分21a及び第2の部分の少なくとも一方を部品取付部とする平押し工程を行う。これにより部品取付部として用いるフレーム要素(第1の部分21a)と隣接するフレーム要素(第2の部分21b)との間の距離が縮小されたリードフレーム23を得る。
After performing the second punching step, flat push so as to eliminate the protruding
このリードフレームを用いて電子部品を組み立てる際には、例えば図8(E)に示すように、第1の部分21aを部品取付部としてこの部品取付部にチップ3を取り付け、チップ3の電極と第2の部分21bとの間をワイヤ4で接続した後、モールド樹脂からなるパッケージ5を形成して電子部品を完成する。
When assembling an electronic component using this lead frame, for example, as shown in FIG. 8 (E), the
上記のように、リードフレームの半加工品22に設けた部品取付部構成用フレーム要素21に絞り加工と打ち抜き加工とを施した後平押し加工を施して、部品を保持するのに適した平坦面21a1,21b1を形成するようにすると、リードフレームの特定のフレーム要素を板厚方向に山形に曲げるプレス加工を行なうことなく、配線用ワイヤを渡らせる隙間を縮小することができるため、リードフレームの縦横の寸法を変えるこなく、配線用ワイヤを渡らせる隙間が縮小されたリードフレームを得ることができる。従って、リードフレームの補寸法精度を悪化させることなく、ワイヤを渡らせることになる隙間を縮小する加工を行なうことができる。
As described above, a flat portion suitable for holding a component by subjecting the component mounting portion constituting
図8に示した実施形態では、リードフレームの半加工品22を打ち抜いてから絞り加工と打ち抜き加工と平押し加工とを行って縮小された隙間を形成するようにしたが、先に絞り加工と打ち抜き加工と平押し加工とを行ってフレーム素材の要所に縮小された隙間を形成してから、該フレーム素材を打ち抜いてリードフレームを得るようにすることもできる。
In the embodiment shown in FIG. 8, the lead frame
この場合には、導電板からなるフレーム素材の特定部分に絞り加工を施して該特定部分にフレーム素材の板厚方向の一方の側に突出した山形の突出部を形成する絞り工程(図8Bに相当する工程)と、特定部分に形成された山形の突出部の底部を打ち抜くことにより隙間を形成する第1の打ち抜き工程(図8Cに相当する工程)と、突出部を無くすように突出部が形成された部分に平押し加工を施すことにより隙間の幅を狭くすると共に、隙間の周囲に部品を保持するのに適した平坦面を形成する平押し工程(図8Dに相当する工程)と、幅が狭くされた隙間の両側の平坦面が形成された部分の一方及び他方をそれぞれ部品取付け用フレーム要素及び隣接のフレーム要素とするようにフレーム素材を打ち抜いて複数のフレーム要素を形成する第2の打ち抜き行程(図8Aに相当する工程)とを行ってリードフレームを形成する。 In this case, a drawing process is performed in which a specific portion of the frame material made of a conductive plate is drawn to form a chevron-shaped protruding portion protruding on one side of the frame material in the plate thickness direction (see FIG. 8B). Corresponding step), a first punching step (step corresponding to FIG. 8C) for forming a gap by punching the bottom of the chevron-shaped protruding portion formed in the specific portion, and the protruding portion so as to eliminate the protruding portion. A flat pressing step (step corresponding to FIG. 8D) for forming a flat surface suitable for holding a part around the gap, while narrowing the width of the gap by applying flat pressing to the formed portion; A plurality of frame elements are formed by punching the frame material so that one and the other of the portions where the flat surfaces on both sides of the narrowed gap are formed are a component mounting frame element and an adjacent frame element, respectively. Performing a second punching step (step corresponding to FIG. 8A) to form a lead frame.
上記の各実施形態では、単純なパターンでフレーム要素が配列されたリードフレームを例にとったが、図9に示すように、更に複雑なパターンで多数のフレーム要素が配列されたリードフレーム30にも本発明を適用することができる。図9に示したリードフレーム30は、短辺部31A,31Bと長辺部31C,31Dとにより矩形状に形成された枠部31と、枠部31の2つの短辺部31A及び31Bからそれぞれ突出するように設けられたリード端子部a1〜a4及びa5ないしa8と、枠部31の2つの長辺部31C及び31Dからそれぞれ突出するように設けられたリード端子部b1〜b6及びb7ないしb12と、枠部31の長辺部31Cに連結部を介して連結された部品取付部c1〜c3と、枠部31の他の長辺部31Dに連結部を介して連結された部品取付部c4ないしc6とからなっている。
In each of the above embodiments, a lead frame in which frame elements are arranged in a simple pattern is taken as an example. However, as shown in FIG. 9, a
図9に示したようなパターンを有するリードフレームにおいては、符号Y1,Y1′で示した部分を板厚方向に山形に変形させることにより、リード端子部a1ないしa4と部品取付部c1,c4との間の隙間G1を短縮することができ、符号Y2,Y2′で示した部分を板厚方向に山形に変形させることにより、部品取付部c1とc2との間及び部品取付部c4とc5との間の隙間G2を短縮することができる。また符号Y3,Y3′で示した部分を板厚方向に山形に変形させることにより、部品取付部c2とc3との間及び部品取付部c5とc6との間の隙間G3を短縮することができる。更に符号Y4,Y4′で示した部分を板厚方向に山形に変形させることにより、リード端子部a5ないしa8と部品取付部c3及びc6との間の隙間G4を短縮することができ、符号X1,X1′で示した部分を板厚方向に山形に変形させることにより、部品取付部c1ないしc3とc4ないしc6との間の隙間G5を短縮することができる。 In the lead frame having the pattern as shown in FIG. 9, the lead terminal portions a1 to a4 and the component mounting portions c1 and c4 are formed by deforming the portions indicated by the symbols Y1 and Y1 'into a mountain shape in the plate thickness direction. The gap G1 can be shortened, and the portions indicated by reference characters Y2 and Y2 'are deformed in a mountain shape in the plate thickness direction, so that the component mounting portions c1 and c5 and the component mounting portions c4 and c5 Can be shortened. Further, by deforming the portions indicated by reference characters Y3 and Y3 'into a chevron shape in the thickness direction, the gap G3 between the component mounting portions c2 and c3 and between the component mounting portions c5 and c6 can be shortened. . Further, by deforming the portions indicated by reference characters Y4 and Y4 'in a chevron shape in the thickness direction, the gap G4 between the lead terminal portions a5 to a8 and the component mounting portions c3 and c6 can be shortened. , X1 ′, the gap G5 between the component mounting portions c1 to c3 and c4 to c6 can be shortened by deforming the portion indicated by X1 ′ into a mountain shape in the plate thickness direction.
1″,1´ リードフレームの半加工品
1 リードフレーム
101 部品取付部
102 リード端子部
1g 部品取付部
1i 部品取付部
3 チップ
4 ワイヤ
1 ", 1 'lead frame semi-finished product
1
3 chips
4 wires
Claims (5)
前記部品取付部と、該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するように、前記複数のフレーム要素の中から選択された特定のフレーム要素の一部が板厚方向に山形に変形されていることを特徴とするリードフレーム。 In a lead frame in which a plurality of frame elements including a component mounting portion are arranged in a predetermined pattern,
The plurality of frame elements are selected from among the plurality of frame elements so as to shorten a distance between the component attachment portion and an adjacent frame element to which a wire connected to a component attached to the component attachment portion is passed. A lead frame characterized in that a part of a specific frame element is deformed into a mountain shape in the thickness direction.
前記部品取付部と、該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するように、前記複数のフレーム要素の内、前記薄肉部により形成された部分の一部が板厚方向に山形に変形されていることを特徴とするリードフレーム。 A plurality of frame elements including a component attachment portion are formed by punching a frame material made of a conductive plate having a thick portion and a thin portion, and the component attachment portion is a lead frame formed by the thick portion.
Among the plurality of frame elements, the thin-walled portion is used to shorten the distance between the component mounting portion and an adjacent frame element to which a wire connected to the component mounted on the component mounting portion is connected. A lead frame, wherein a part of the portion formed by the step is deformed into a mountain shape in the thickness direction.
導電板からなるフレーム素材を打ち抜くことにより前記部品取付部を含む複数のフレーム要素を有するリードフレームの半加工品を形成した後、前記半加工品の部品取付部と該部品取付部に取り付けられる部品に接続されるワイヤの渡り先となる隣接のフレーム要素との間の距離を短縮するように、前記半加工品の複数のフレーム要素の中から選択した特定のフレーム要素の一部を板厚方向にプレス加工して山形に変形させる工程を行なうことを特徴とするリードフレームの製造方法。 In a method of manufacturing a lead frame in which a plurality of frame elements including a component mounting portion are arranged in a predetermined pattern,
After forming a semi-processed product of a lead frame having a plurality of frame elements including the component mounting portion by punching a frame material made of a conductive plate, the component mounting portion of the semi-processed product and a component attached to the component mounting portion A part of the specific frame element selected from the plurality of frame elements of the semi-finished product is reduced in the thickness direction so as to shorten the distance between adjacent frame elements to which wires connected to the A method of manufacturing a lead frame, comprising performing a step of deforming into a chevron by pressing.
導電板からなるフレーム素材を打ち抜くことにより、前記部品取付部を構成することになる部品取付部構成用フレーム要素を含む複数のフレーム要素を有するリードフレームの半加工品を形成する第1の打ち抜き工程と、
前記半加工品の部品取付部構成用フレーム要素に絞り加工を施して該部品取付部構成用フレーム要素に板厚方向の一方の側に突出した山形の突出部を形成する絞り工程と、
前記突出部の底部を打ち抜くことにより隙間を形成して該部品取付部構成用フレーム要素を前記隙間を介して相対する第1の部分と第2の部分とに分割する第2の打ち抜き工程と、
前記第1の部分及び第2の部分に跨って前記突出部を無くすように平押し加工を施すことにより該第1の部分と第2の部分との間の距離を短縮するとともに該第1の部分及び第2の部分に部品を保持するのに適した平坦面を形成して該第1の部分及び第2の部分の少なくとも一方を前記部品取付部とする平押し工程と、
を行なうことを特徴とするリードフレームの製造方法。 In a method of manufacturing a lead frame in which a plurality of frame elements including a component mounting portion are arranged in a predetermined pattern,
A first punching step of forming a semi-finished product of a lead frame having a plurality of frame elements including a frame element for constituting a part mounting part that constitutes the part mounting part by punching a frame material made of a conductive plate When,
A drawing step of drawing the half-finished component mounting portion constituting frame element to form a chevron-like projecting portion projecting on one side in the thickness direction of the component mounting portion constituting frame element;
A second punching step in which a gap is formed by punching out the bottom of the protruding portion, and the component mounting portion constituting frame element is divided into a first portion and a second portion facing each other through the gap;
The flat pressing process is performed so as to eliminate the protruding portion across the first portion and the second portion, thereby reducing the distance between the first portion and the second portion and the first portion. A flat pushing process in which a flat surface suitable for holding a part is formed on the part and the second part, and at least one of the first part and the second part is used as the part attaching part;
A method for manufacturing a lead frame.
導電板からなるフレーム素材の特定部分に絞り加工を施して該特定部分にフレーム素材の板厚方向の一方の側に突出した山形の突出部を形成する絞り工程と、
前記特定部分に形成された突出部の底部を打ち抜くことにより隙間を形成する第1の打ち抜き工程と、
前記突出部を無くすように前記突出部が形成された部分に平押し加工を施すことにより前記隙間の幅を狭くすると共に、前記隙間の周囲に部品を保持するのに適した平坦面を形成する平押し工程と、
前記幅が狭くされた隙間の両側の平坦面が形成された部分の一方及び他方をそれぞれ前記部品取付け用フレーム要素及び隣接のフレーム要素とするように前記フレーム素材を打ち抜いて、複数のフレーム要素を形成する第2の打ち抜き行程と、
を行なうことを特徴とするリードフレームの製造方法。
Manufacture a lead frame having a plurality of frame elements including a component mounting frame element used for mounting a component and an adjacent frame element to which a wire connected to the component mounted on the component mounting frame element is passed. In the way to
A drawing process in which a specific portion of the frame material made of a conductive plate is drawn to form a mountain-shaped protruding portion protruding on one side of the frame material in the thickness direction of the frame material;
A first punching step of forming a gap by punching a bottom portion of the protruding portion formed in the specific portion;
By flat-pressing the portion where the protrusion is formed so as to eliminate the protrusion, the width of the gap is narrowed, and a flat surface suitable for holding components around the gap is formed. Flat pressing process;
The frame material is punched out so that one and the other of the portions where the flat surfaces on both sides of the narrowed gap are formed are the component mounting frame element and the adjacent frame element, respectively. A second punching process to be formed;
A method for manufacturing a lead frame.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004262714A JP2006080300A (en) | 2004-09-09 | 2004-09-09 | Lead frame and its manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004262714A JP2006080300A (en) | 2004-09-09 | 2004-09-09 | Lead frame and its manufacturing method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006080300A true JP2006080300A (en) | 2006-03-23 |
Family
ID=36159514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004262714A Pending JP2006080300A (en) | 2004-09-09 | 2004-09-09 | Lead frame and its manufacturing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006080300A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013051376A (en) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Denso Corp | Electronic device manufacturing method |
JP2013098199A (en) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Mitsubishi Electric Corp | Power semiconductor device and manufacturing method therefor |
CN103824844A (en) * | 2012-11-15 | 2014-05-28 | 三菱电机株式会社 | Power semiconductor module and method of manufacturing the same |
-
2004
- 2004-09-09 JP JP2004262714A patent/JP2006080300A/en active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013051376A (en) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Denso Corp | Electronic device manufacturing method |
US8839509B2 (en) | 2011-08-31 | 2014-09-23 | Denso Corporation | Method for manufacturing electronic apparatus |
JP2013098199A (en) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Mitsubishi Electric Corp | Power semiconductor device and manufacturing method therefor |
CN103824844A (en) * | 2012-11-15 | 2014-05-28 | 三菱电机株式会社 | Power semiconductor module and method of manufacturing the same |
JP2014099547A (en) * | 2012-11-15 | 2014-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | Power semiconductor module and method of manufacturing the same |
US9171774B2 (en) | 2012-11-15 | 2015-10-27 | Mitsubishi Electric Corporation | Power semiconductor module and method of manufacturing the same |
US9252028B2 (en) | 2012-11-15 | 2016-02-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Power semiconductor module and method of manufacturing the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9793197B2 (en) | Low profile leaded semiconductor package | |
EP1394826B1 (en) | Micro-relay and method for manufacturing the same | |
US20040145043A1 (en) | Semiconductor device and semiconductor assembly module | |
US6710439B2 (en) | Three-dimensional power semiconductor module and method of manufacturing the same | |
JP2002222906A (en) | Semiconductor device and manufacturing method therefor | |
JP2001326295A (en) | Semiconductor device and frame for manufacturing the same | |
JP2000150736A (en) | Semiconductor module and heat dissipation board therefor | |
US20090212404A1 (en) | Leadframe having mold lock vent | |
JP3994095B2 (en) | Surface mount electronic components | |
JPH10321783A (en) | Manufacture of semiconductor device, and lead frame | |
JP2006080300A (en) | Lead frame and its manufacturing method | |
CN109087903B (en) | Electronic device, lead frame for electronic device, and method of manufacturing electronic device and lead frame | |
JP2023033569A (en) | Power semiconductor device and manufacturing method of the same | |
US20080197465A1 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JP2004140156A (en) | Cutting method of lead terminal in packaged electronic part | |
JP2010518620A (en) | Quad flat no lead (QFN) integrated circuit (IC) package with improved paddle and method for designing the package | |
JP4849802B2 (en) | Semiconductor device | |
JP2013168669A (en) | Quad flat no-lead (qfn) integrated circuit (ic) package with enhanced paddle and method of designing the same | |
JP3284604B2 (en) | Method of manufacturing resin-encapsulated semiconductor device with heat sink | |
JPS6217382B2 (en) | ||
JP2006229030A (en) | Lead frame and semiconductor device using same | |
KR100609333B1 (en) | Lead frame comprising mixed inner lead | |
JP2008053515A (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
JP2684247B2 (en) | Lead frame manufacturing method | |
JPH01133340A (en) | Lead frame and manufacture thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20070724 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20091111 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20100309 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |