組付け装置は、図1に示すように、調心装置20および偏心部材測定装置80とを備えている。調心装置20は、方形形状の上部支持板21と下部支持板22を備え、上部支持板21と下部支持板22は、一対の支柱23により連結されている。
図2、3に示すように、下部支持板22中央の上面には、位置決めピンPを有する台座24が固定されている。台座24の上面には、大径円柱状の大径測定ヘッド25が固定され、この大径測定ヘッド25上に小径円柱状の小径測定ヘッド26が同軸に固定されている。台座24上には、円筒穴Wa1が形成されたシリンダ部材Waおよび軸受穴Wb1が形成された軸受部材Wbが載置されている。これらシリンダ部材Waおよび軸受部材Wbは、台座24上において大径測定ヘッド25にジリンダ部材Waの円筒穴Wa1が遊挿され、同様にシリンダ部材Wa上において、小径測定ヘッド26に軸受部材Wbの軸受穴Wb1が遊挿されて載置される。シリンダ部材Waは、位置決めピンPと係合して、図3に示す内周穴Wa1の内周面の特定部位Wa2と内周穴Wa1の中心とを結ぶ線分が第1軸線であるX軸線方向と一致するように位相方向の位置決めがなされる。
X軸線および、このX軸線と直交するY軸線とそれぞれ交差する大径測定ヘッド25および小径測定ヘッド26の外周面位置には、それぞれ後述するエアゲージ91のエア穴X1〜X4、Y1〜Y2が形成されている。このエア穴X1〜X4、Y1〜Y2は、エアを噴出し、大径測定ヘッド25に挿入されたシリンダ部材Waの内周穴Wa1までの隙間および、小径測定ヘッド26に挿入された軸受部材Wbの軸受穴Wb1までの隙間に応じてエアの噴射圧力が変化することを利用し、大径測定ヘッド25の外周面と内周穴Wa1の内周面の隙間、および小径測定ヘッド26の外周面から軸受穴Wb1の隙間を測定可能にしている。
各エア穴X1〜X4、Y1〜Y2は、大径測定ヘッド25および小径測定ヘッド26の中心Oを挟んでそれぞれ対向する大径測定ヘッド25および小径測定ヘッド26の外周面に形成されたエア穴同士が接続されている。すなわち、内周穴Wa1の内周面の特定部位Wa2と対向して大径測定ヘッド25の外周に形成されたエア穴X1は、小径測定ヘッド26のエア穴X2と接続され、大径測定ヘッド25のエア穴X3は、小径測定ヘッド26のエア穴X4と接続されている。同様に大径測定ヘッド25のエア穴Y1は、小径測定ヘッドのエア穴Y2と接続され、大径測定ヘッド25のエア穴Y3は、小径測定ヘッドのエア穴Y4と接続されている。
これにより、エア穴X1−X2のエア圧を検出することにより、図9に示すX軸線と交差する軸受部材Wbの軸受穴Wb1の内周面の位置うちの特定部位Wa2に対して遠方側の位置U1と特定部位Wa2との間の第1内周面距離Cが測定される。同様に、エア穴Y1−Y2のエア圧を検出することにより、X軸線を境にして一方側でY軸線と交差する円筒穴Wa1の内周面の位置P24と、X軸線を境にして他方側でY軸線と交差する軸受穴Wb1の内周面の位置P22との間の第2内周面間距離Aが測定される。
さらに、エア穴Y3−Y4のエア圧を検出することにより、X軸線を境にして一方側でY軸線と交差する軸受穴Wb1の内周面の位置P23と、X軸線を境にして他方側でY軸線と交差する円筒穴Wa1の内周面の位置P21との間の第3内周面間距離Bが測定される。エアゲージ91は、これらエア穴X1−X2、Y1−Y2およびエア穴Y3−Y4のエア圧を換算して第1内周面距離C、第2内周面間距離Aおよび第3内周面間距離Bを求める。なお第1内周面間距離C、第2内周面間距離A、第3内周面間距離Bおよび、後述する外周面間最大距離Dおよび隙間値Sは、X軸線およびY軸線を含む平面内において測定または演算される距離である。
前記下部支持板22上面には、台座24を挟んで両側に一対のクランプ装置27が設けられている。このクランプ装置27は、図略のアクチュエータによって回転される回転軸27aの一端に取り付けられたクランプ板27bが、図3に示すようにシリンダ部材Waの上面側のクランプ位置と、一点鎖線で示すシリンダ部材Waの外側のアンクランプ位置との間で旋回し、クランプ位置においてシリンダ部材Waが台座24に押し付けられることにより、シリンダ部材Waを台座に固定する。
下部支持板22上には、略方形状のXYテーブル28が3個のテーブル支持機構29を介して配置されている。テーブル支持機構29は、図4に示すように下部支持板22に固定された円柱上の保持ブロック30の上面に回転可能に複数のボール31が保持され、XYテーブル28がボール31によって支持される。XYテーブル28は、テーブル支持機構29のボール31の転動によって下部支持板22上をX軸線方向およびX軸線と直交するY軸線方向(第2軸線方向)に自在に移動可能にされる。
下部支持板22上のXYテーブル28の側方には、図3に示すように、XYテーブル28をX軸線方向に移動する主送り装置32およびY軸線方向に移動する副送り装置33が配置されている。主送り装置32は、X軸線と交差するXYテーブル28の一辺L1沿って延在するテーパ部材34と、このテーパ部材34をXYテーブル28の一辺L1に沿って移動させるX軸送りモータ35、およびXYテーブル押圧機構36を備えている。テーパ部材34は、四角柱状を成し、XYテーブル28の一辺L1と対向する側面34aの中央部にテーパ面34c1が形成されている。また、側面34aと逆側の側面34bは、XYテーブル28の一辺L1と平行に形成されている。テーパ部材34は下面を下部支持板22に載置された図略のローラ部材により長手方向に移動可能に支承され、上面を側面34a側で下部支持板22から垂直に立設された側壁部材38に保持されたローラ部材39に長手方向に移動可能に支承されている。XYテーブル28の一辺L1には、テーパ部材34のテーパ面34a1と当接し、テーパ部材34を長手方向に移動可能に支承するローラ部材40が設けられている。側壁部材38にはテーパ部材34の側面34bと当接し、テーパ部材34を長手方向に移動可能に支承するローラ部材41が設けられている。
テーパ部材34の長手方向の一端面にはナット穴42が穿設され、ナット穴42の開口にはナット部材43が固着されている。ナット部材43は、X軸送りモータ35の回転軸に取り付けられた送りネジ44に螺合し、X軸送りモータ35が回転することによってテーパ部材34が長手方向に移動される。
XYテーブル押圧機構36は、XYテーブル28の一辺L1とは逆側でY軸線と交差する他辺L2からXYテーブル28をテーパ部材34側に押圧する機構であって、下部支持板22から立設されたフランジ部45にコイルばね46の一端が保持され、コイルばね46の他端がXYテーブルの他辺L2に穿設されたばね穴47に保持されている。コイルばね46は、ローラ部材40を介してXYテーブル28をテーパ部材34に押し付けている。主送り装置32は、X軸送りモータ35がテーパ部材34を長手方向に移動し、このテーパ部材34の移動により側面34aのテーパ面34a1とローラ部材40の当接点を変化させ、このテーパ面34a1とローラ部材40の当接点が変化により、XYテーブル28がテーパ面34a1の傾斜に応じてX軸線方向に移動される。
副送り装置33は、Y軸線と交差するXYテーブル28の一辺L3沿って延在するテーパ部材47と、このテーパ部材47を前記XYテーブル28の一辺L3に沿って移動させるY軸送りモータ48、およびXYテーブル押圧機構49を備えている。テーパ部材47は、四角柱状を成し、XYテーブル28の一辺L3と対向する側面47aの中央部にXYテーブル28の一辺L3と平行な平行面47a3が形成され、側面47aの平行面47a3の長手方向両側には、同一方向に傾斜するテーパ面47a1、47a2が形成されている。また、側面47aと逆側の側面47bにもXYテーブル28の一辺L3と平行な平行面47b3が形成され、平行面47b3の長手方向両側には、側面47aのテーパ面47a1、47a2とは傾斜が逆で、同一方向に傾斜するテーパ面47b1、47b2が形成されている。
テーパ部材47は、下面を下部支持板22に載置された図略のローラ部材により長手方向に移動可能に支承され、上面を側面47a側に下部支持板22から垂直に立設された側壁部材51に保持されたローラ部材52に長手方向に移動可能に支承されている。XYテーブル28の一辺L3には、テーパ部材47のテーパ面47a1、47a2と当接し、テーパ部材47を長手方向に移動可能に支承する一対のローラ部材53が設けられている。側壁部材51にはテーパ部材47のテーパ面47b1、47b2と当接し、テーパ部材47を長手方向に移動可能に支承する一対のローラ部材54が設けられている。
テーパ部材47の長手方向の一端面にはナット穴55が穿設され、ナット穴55の開口にはナット部材56が固着されている。ナット部材56は、Y軸送りモータ48の回転軸に取り付けられた送りネジ57に螺合し、X軸送りモータ48が回転することによってテーパ部材47が長手方向に移動される。
XYテーブル押圧機構49は、XYテーブル28の一辺L3とは逆側でX軸線と交差する他辺L4からXYテーブル28をテーパ部材47側に押圧する一対の機構であって、下部支持板22から立設されたフランジ部58にコイルばね59の一端を保持させ、コイルばね59の他端をXYテーブル28の他辺L4に穿設されたばね穴60に保持させ、コイルばね59の押圧力によってローラ部材53を介してXYテーブル28をテーパ部材47に押し付けている。
この副送り装置33により、Y軸送りモータ48がテーパ部材47を長手方向に移動し、このテーパ部材47の移動により両側面47a、47bのテーパ面47a1、47a2、47b1、47b2とローラ部材53の当接点が変化する。このテーパ面47a1、47a2、47b1、47b2とローラ部材53の当接点の変化により、XYテーブル28がテーパ面47a1、47a2、47b1、47b2の傾斜に応じて移動される。
このように主送り装置32と副送り装置33をテーパ部材34、47を用いた送り装置とすることで、XYテーブル28の微小送りを可能にして送り精度を向上させている。
XYテーブル28には略長方形の開口部61が形成され、この開口部61には台座24、大径測定ヘッド25および小径測定ヘッド26が突出している。開口部61を挟んでXYテーブル28上のX軸線方向の両側には、軸受把持装置を構成する主把持機構62と副把持機構63が配置されている。
主把持機構63は、Vブロック64と、このVブロック64を移動する主油圧シリンダ65を備えている。Vブロック64には軸受部材Wbの外周面に当接するV字状のV字面が形成され、Vブロック64は案内ブロック66に固定されている。案内ブロック66は、XYテーブル28上にX軸線と平行に延設された一対の案内レール50に摺動自在に案内支持され、XYテーブル28に配置された主油圧シリンダ65のピストンロッド65aが連結されている。副把持機構63は、軸受部材Wbの外周面に当接する押圧片67と、この押圧片67をX軸線方向に移動する副油圧シリンダ68を備えている。副油圧シリンダ68は、主油圧シリンダ65に比べて押圧力が若干小さく設定されている。このため、主油圧シリンダ65と副油圧シリンダ68を作動させ、Vブロック64および押圧片67により軸受部材Wbの外周面を把持する際は、Vブロック64のV字面64aが軸受部材Wbの外周面に押付けられて主油圧シリンダ68のピストンロッド65aが前進端まで前進する位置まで軸受部材Wbを移動するのに対し、押圧片67は軸受部材Wbの外周面に当接したのち、Vブロック64の押圧力に追従して軸受部材Wbの外周面を保持する。
前記一対の支柱23には、それぞれ案内レール69a、69bが支柱23の長手方向に延設され、この各案内レール69a、69bには、それぞれ案内ブロック70a、70bが摺動可能に案内されている。案内ブロック70a、70b間には、昇降板71が装架され、この昇降板71は、上部支持板21との間に懸架された図略のボールネジを昇降モータによって回転することにより、上部支持板21と下部支持板22の間を移動される。昇降板71には固定手段であるクランプハンド機構72とねじ締め機構73が配置されている。クランプハンド機構72は、小径測定ヘッド26の中心と同軸的に垂直に支持されたクランプロッド74下端の頭部に、一対のクランプ爪75a、75bを有するクランプハンド75が装着されている。昇降板71の下降端において、一対のクランプ爪75a,75bは、シリンダ部材Waおよび軸受部材Wbにそれぞれ当接し、両者の位置関係を一時的に固定する。また、ねじ締め機構73は、シリンダ部材Waと軸受部材Wbの位置関係を固定する締め付けねじWdを締め付ける複数のねじ締めロッド76(図1では2本のみ図示)がクランプロッド74と平行に設けられ、その上端にはトルクリミッタ付きのねじ締めモータ77がそれぞれ装着され、下端には締め付けねじWdを締め付けるための締め付けナット78が取り付けられている。
一方、偏心部材測定装置80は、偏心部材Wcの軸部Wc1を保持するVヤゲン81と、Vヤゲン81上で軸部Wc1に当接する摩擦車82、および偏心部材Wcの円筒部Wc2の外周に接触する外周測定器83を備えている。
Vヤゲン81は、下部支持板22から延在された副支持板22a上に固定された測定台84に載置され、一対のVブロックより構成される。Vヤゲン81には、それぞれ偏心部材Wcの円筒部Wc2の両側に形成された軸部Wc1が載置される。摩擦車82はモータにより回転され、Vヤゲン81上で偏心部材Wcを回転させる。外周測定器83は、偏心部材Wcの回転中に円筒部Wc2の外周の位置を測定し、軸部Wc1の外周面と円筒部Wc2の外周面の間の距離を検出する。
図6に示すように、外周測定器83は信号処理装置90に接続されている。信号処理装置90には、外周測定器83のほかにエアゲージ91、およびシーケンスコントローラ92が接続されている。信号演算処理部90は、主として、外周測定器83およびエアゲージ91からの入力信号を増幅する増幅器92a、92b、増幅器92a、92bからのアナログ信号をディジタル信号に変換するA/D変換器93a、93b、A/D変換器93a、93bのデジタル信号をインタフェース(IF)94を介して入力し、軸部Wc1の外周面と円筒部Wc2の外周面の間の最大外周面間距離D、第1内周面間距離C、第2内周面間距離Aおよび第3内周面間距離B等の各種演算処理を行うCPU95および制御プログラムおよび各種データを記憶したメモリ96とから構成されている。シーケンスコントローラ92は、主として、CPU97および制御プログラムおよび目標クリアランスを始めとする各種データを記憶したメモリ98とから構成されている。シーケンスコントローラ92には、X軸送りモータ35およびY軸モータ送りモータ48が接続され、信号処理装置90によって演算された演算結果に基づいてX軸送りモータ35、Y軸モータ送りモータ48を制御する。また、シーケンスコントローラ92には、又、各種データの入力、動作の開始等を指示する操作盤99と測定結果等を表示する表示器100とが接続されている。
次に、信号演算処理部90およびシーケンスコントローラ92による組付け装置の動作を主に図7のフローチャートに基づき、図1から図6および図8、図9を参照して説明する。
締め付けねじWdを仮締めして仮組立されたシリンダ部材Wa、軸受部材Wbは小径測定ヘッド25および大径測定ヘッド26に嵌め込まれ、位置決めピンPによりシリンダ部材Waの特定部位Wa2がX軸線と一致するように、下部支持板22の台座24上に作業者によって載置される。偏心部材WcはVヤゲン81上に作業者によって載置される。このときシリンダ部材Waおよび軸受部材Wbは、締め付けねじWdで仮固定さる。この仮組立状態では締め付けねじWdによる締め付けは緩く、シリンダ部材Waと軸受部材Wbは、摺動可能に当接されている。
この状態で、作業者の操作により操作盤99から開始指令が与えられると、図7のフローチャートが実行される。図7のフローチャートに示すようにステップS1では、シーケンスコントローラ92は、クランプ装置27を作動させ、シリンダ部材Waを台座24に固定する。次にステップS2では、主把持機構62および副把持機構63の主油圧シリンダ65および副油圧シリンダ68が作動される。これによって軸受部材Wbの外周面にVブロック64および当接片67が当接し、軸受部材Wbがシリンダ部材Wa上で位置決め固定される。
ステップS1およびステップS2において、シリンダ部材Waおよび軸受部材Wbがそれぞれ位置決め固定されると、ステップS3に移行してシーケンスコントローラ92は、偏心部材測定装置50の摩擦車82を回転させて偏心部材WcをVヤゲン上で回転させる。続いてステップS4において信号処理装置90に対して動作開始を指令し、ステップS5において信号処理装置90から外周面間最大距離Dが出力されるまで待機する。
一方、信号処理装置90は動作開始指令を受けると、ステップS30において、外周測定器83から出力される円筒部Wc2の外周の位置信号を偏心部材Wcが1回転するのに十分な期間について連続的に取り込み、ステップS31においてステップS30で取り込んだ円筒部Wc2の外周の位置信号の中で最も最大の値を外周面間最大距離Dとしてシーケンスコントローラ92に出力する。そして、信号処理装置90は、エアゲージ91から出力される第1内周面距離C、第2内周面間距離Aおよび第3内周面間距離Bを順次取り込み、メモリ96の所定の領域に取り込む(S32)。
ステップS33では、信号処理装置90は、シーケンスコントローラ92から動作終了指令が出力されたか否かを判定し、動作終了指令が出力されていれば動作を終了し、動作終了指令が出力されていなければステップS32に戻る。このステップS32、S33によって信号処理装置90は、シーケンスコントローラ92から動作終了指令が出力されるまで、順次繰り返して第1内周面距離C、第2内周面間距離Aおよび第3内周面間距離Bをメモリ96の所定領域に更新し続ける。
シーケンスコントローラ92は、ステップS5において信号処理装置90から外周面間最大距離Dが入力されると、ステップS6に移行する。ステップS6に移行すると、シーケンスコントローラ92は、偏心部材測定装置50の摩擦車82の回転を停止し、ステップS7に移行する。ステップS7では、信号処理装置90のメモリ96から第1内周面距離C、第2内周面間距離Aおよび第3内周面間距離Bを取り込む。
第1内周面距離C、第2内周面間距離Aおよび第3内周面間距離Bが取り込まれると、シーケンスコントローラ92は、ステップS8において、第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bの差を演算し、ステップS9のY軸送り制御における送り速度の決定ステップに移行する。
ここで、Y軸送り制御における送り速度の決定方法ついて詳述する。Y軸送り制御は、第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bを等しくするために、XYテーブル28のY軸方向の送り速度を制御するものであり、シーケンスコントローラ92のメモリ98に予め記憶された第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bの差に基づいて決定された各領域における送り速度を第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bの差に基づいて読み出すことによって達成される。
図8に示すように、第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bが等しくなる値を中心として隙第2内周面間距離Aおよび第3内周面間距離Bが採り得る値を複数の領域に分ける。例えば、図8に示すように第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bがほぼ等しい値と見なせる領域をOK領域と設定し、このOK領域の両側に±OKを設定し、この±OK領域の外側に±NG領域を設定し、さらに±NGの外側に±±NG領域を設定する。
そして、この設定されたOK領域の送り速度を零(送り停止)、±OK領域の送り速度を低速度、±NG領域の送り速度を中速度、±±NG領域を高速度とし、各領域と送り速度を関連付けてシーケンスコントローラ92のメモリ98に記憶させておく。これにより、第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bの差がどの領域に含まれるかを判定し、例えば、第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bの差が+OK領域に含まれれば、低速度が読み出され、第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bの差が−NG領域に含まれれば、中速度が読み出されることになる。従って、ステップS9では、ステップS8で演算された第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bの差がどの領域に含まれるかを判定し、この判定結果に基づいて関連付けされた送り速度をメモリ94から読み出すことによってY軸方向の送り速度が決定される。なお、送り速度を決定するための領域は、さらに複数に分割して設定してもよい。
ステップS9においてY軸送り制御における送り速度が決定されると、シーケンスコントローラ92は、ステップS10において、隙間値Sと目標クリアランスの差がOK領域に含まれるか否かを判定し、隙間値Sと目標クリアランスの差がOK領域に含まれない場合は、ステップS11に進み、隙間値Sと目標クリアランスの差がOK領域内に含まれる場合は、ステップS14に移行する。
ステップS11では、ステップS8での演算の結果、第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bの差が負の値であるか否かを判定し、負の値であればステップS13に進み、正の値であればステップS12に進む。ステップS12では、第3内周面間距離Bを減少させるとともに、第2内周面間距離Aを増大させるべく(図3においてY軸+方向にXYテーブルを移動させるべく)、ステップS9で求めた移動速度で微小量だけ移動するようY軸送りモータ48に移動指令を与え、ステップS14に移行する。また、ステップS13では、第2内周面間距離Aを減少させるとともに、第3内周面間距離Bを増大させるべく(図3においてY軸−方向にXYテーブルを移動させるべく)、ステップS9で求めた移動速度で微小量だけ移動するようY軸送りモータ48に移動指令を与え、ステップS14に移行する。
ステップS12またはステップS13からステップS14に移行すると、第1内周面間距離Cと外周面間最大距離Dの減算が行われ、この減算によって図9に示す特定部位Wa2と偏心部材Wcの外周面との間の隙間値Sが求められる。そしてステップS15では隙間値Sと目標クリアランスの差が求められ、ステップS16のX軸送り制御における送り速度の決定ステップに移行する。
ここで、X軸送り制御における送り速度の決定方法ついて詳述する。X軸送り制御は隙間値Sと目標クリアランスの差に基づいてXYテーブル28のX軸方向の送り速度を制御するものであり、シーケンスコントローラ92のメモリ98に予め記憶された各領域における送り速度をX軸送り制御は隙間値Sと目標クリアランスの差に基づいて読み出すことによって達成される。なお、このステップ16のX軸送り制御における送り速度の決定方法は、ステップ9において行われるY軸送り制御における送り速度の決定方法と同じ考え方である。
図8に示すように隙間値Sと目標クリアランスが等しいとき、すなわち、隙間値Sが目標クリアランスであるとき、この目標クリアランスを中心として隙間値Sと目標クリアランスの差が採り得る値を複数の領域に分ける。なお、本実施の形態では、目標クリアランスは所定の範囲(OK領域)を有する領域値としている。複数の領域として、例えば、図8では、隙間値Sが目標クリアランスと見なせる値の領域をOK領域とし、このOK領域の両側に±OKを設定し、この±OK領域の外側に±NG領域を設定し、さらに±NGの外側に±±NG領域を設定する。そして、この設定されたOK領域の送り速度を零(送り停止)、±OK領域の送り速度を低速度、±NG領域の送り速度を中速度、±±NG領域を高速度とし、隙間値Sと目標クリアランスの差がどの領域に含まれるかを判定し、この判定結果に基づいて関連付けされた送り速度をメモリ94から読み出すことによって送り速度を決定する。
本実施の形態では、目標クリアランスは所定の範囲(OK領域)を有する領域値とし、OK領域に隙間値Sが到達したとき目標クリアランスに到達したものと判断している。なお、目標クリアランスは必ずしも所定の範囲(OK領域)の領域値である必要はなく、1数値として目標クリアランスを設定し、隙間値Sと目標クリアランスが等しくなるまで(差が零になるまで)、低速度でXYテーブル28を移動するよう領域を分割してもよい。
ステップ16においてX軸送り制御における送り速度が決定されると、シーケンスコントローラ92は、ステップS17において、隙間値Sと目標クリアランスの差がOK領域に含まれるか否かが判定され、隙間値Sと目標クリアランスの差がOK領域に含まれない場合は、ステップS18に移行し、隙間値Sと目標クリアランスの差がOK領域内であれば、ステップS21に移行する。ステップS18では、ステップS15の減算の結果が負の値であるか否かを判定し、負の値であればステップS18に移行し、正の値であればステップS19に移行する。
ステップS19では、隙間値Sを増大させるべく(図3おいてY軸+方向にXYテーブルを移動させるべく)、十分小さい微小量だけステップS16で求めた移動速度で移動するようX軸送りモータ35に移動指令を与え、ステップS7に戻る。また、ステップS20では、隙間値Sを減少させるべく(図3においてY軸−方向にXYテーブルを移動させるべく)、十分小さい微小量だけステップS16で求めた移動速度で移動するようX軸送りモータ35に移動指令を与え、ステップS7に戻る。
これらステップS7からステップS20を繰り返すことにより、特定部位Wc2と円筒穴Wa1の中心とを結ぶ線分上に軸受部材Wbの軸受穴Wb1の中心を正確に位置決めし、相対移動中に随時更新される隙間値Sと目標クリアランスとの差の減少に基づいてXYテーブル28をX軸線方向に移動させられる。この結果、隙間値Sと目標クリアランスとの差が比較的大きい状態では、速い速度で短時間に隙間値を目標クリアランスに近づけることができ、隙間値Sと目標クリアランスとの差が比較的小さい状態においては、位置決め精度を低下させることなく隙間値を目標クリアランスに到達させることができる。
このように、隙間値Sを目標クリアランスに調整すると、シーケンスコントローラ92は、信号処理装置90に対して動作終了指令を出力し、信号処理装置90の動作を停止する(ステップS21)。そして、軸受部材Wbとシリンダ部材Waの位置関係を固定すべく、昇降板71を下部支持板22に向かって降下させ(ステップS22)、クランプ爪75a、75bを作動させて軸受部材Wbとシリンダ部材Waの位置関係を仮に固定した後(ステップS23)、締め付けねじWdに締め付けナット78を係合させ、ねじ締めモータ77を回転して締め付けナット78を完全に締め付けることによって軸受部材Wbとシリンダ部材Waの位置関係を固定する(ステップS24)。
この後、シーケンスコントローラ92はステップS25に移行し、昇降板71を上昇させ、クランプ装置27を作動させ、シリンダ部材Waの台座24への固定を解除し、主把持機構62および副把持機構63の主油圧シリンダ65および副油圧シリンダ68が作動され、Vブロック64および押圧片67が後退され、処理を終了する。
なお、上記実施の形態では、X軸送りモータ35およびY軸送りモータ48の送り速度を領域を設定し、この領域ごとに決定されている送り速度を用いて段階的に減速するようにしたが、連続的に送り速度が減速されるようにしてもよい。この場合、例えば、X軸送りモータ35の送り速度の制御であれば、隙間値Sと目標クリアランスの差の絶対値に所定係数を掛けて送り速度を演算式によって求めればよい。また、Y軸送りモータ48の送り速度の制御であれば、第2内周面間距離Aと第3内周面間距離Bの差の絶対値に所定係数を掛けて送り速度を演算式によって求めればよい。
20…調心装置、21…上部支持板、22…下部支持板、23…支柱、24…台座、25…大径測定ヘッド、26…小径測定ヘッド、28…XYテーブル、29…テーブル支持機構、31…主送り装置、33…副送り装置、35…X軸送りモータ、48…Y軸送りモータ、62…主把持機構、63…副把持機構、71…昇降板、72…クランプハンド機構、72、73…ねじ締め機構、80…偏心部材測定装置、83…外周測定器、90…信号処理装置、91…エアゲージ、92…シーケンスコントローラ、P…位置決めピン、Wa…シリンダ部材、Wa1…円筒穴、Wa2…特定部位、Wb…軸受部材、Wb1…軸受穴、Wc…偏心部材、Wc1…軸部、Wc2…円筒部、X1〜X4,Y1〜Y2…エア穴。