JP2006066789A - Substrate fixing device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate fixing device which applies optimal substrate holding force corresponding to various substrate thicknesses and enables easy adjustment operation thereof. <P>SOLUTION: In the substrate fixing device, a carrying rail 3 rises as a fitting board 23 rises and the substrate 4. The fixing device is held by a fixing member 16 and the carrying rail 3, has an adjusting shaft 18 which is mounted on the bottom side of the carrying rail 3 and can adjust the vertical height by turn of a screw, and adjusts the rising position of the carrying rail 3 involved in the rise of the fitting plate 23 by adjusting the vertical height of the adjusting shaft 18. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、基板を所定位置で保持する基板固定装置に関するものである。   The present invention relates to a substrate fixing device that holds a substrate at a predetermined position.

従来より、電子部品を基板に実装する電子部品実装装置が提案されている。この電子部品実装装置には、搬送レールに沿って水平一方向に移動する基板を、所定位置で固定する基板固定装置が備えられている。基板固定装置の一例として、特開2003−110294号(特許文献1)が存在する。この基板固定装置は、基板上面側に固定配置された上昇規制部材34と、基板下面側に上下可能に支持された支持板33と、支持板33の下面に設けられた支持棒33aと、支持棒33aの下面に、上下動可能なバックアッププレート31を備えている。   Conventionally, electronic component mounting apparatuses for mounting electronic components on a substrate have been proposed. The electronic component mounting apparatus is provided with a board fixing device that fixes a board moving in one horizontal direction along the transport rail at a predetermined position. There exists Unexamined-Japanese-Patent No. 2003-110294 (patent document 1) as an example of a board | substrate fixing device. The substrate fixing device includes a rising restricting member 34 fixedly disposed on the upper surface side of the substrate, a support plate 33 supported on the lower surface side of the substrate so as to be vertically movable, a support bar 33a provided on the lower surface of the support plate 33, and a support. A back-up plate 31 that can move up and down is provided on the lower surface of the bar 33a.

そして、バックアッププレート31が上昇すると、バックアッププレート31が支持棒33aに当接し、支持板33を上昇させる。支持板33と上昇規制部材34で、基板12を所定位置で保持するものである。   When the backup plate 31 rises, the backup plate 31 comes into contact with the support bar 33a and raises the support plate 33. The support plate 33 and the rise restricting member 34 hold the substrate 12 at a predetermined position.

特開2003−110294(図2)JP2003-110294 (FIG. 2)

しかしながら、上記特許文献1の基板固定装置には、支持板33から下方に向けて、延びる支持棒33aの長さを調節して、種々の基板厚さ等に対応した、最適な基板保持力を付与することに関しては、明示されていない。   However, the substrate fixing device of Patent Document 1 adjusts the length of the support bar 33a extending downward from the support plate 33 to provide an optimum substrate holding force corresponding to various substrate thicknesses. The granting is not specified.

この発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、種々の基板厚さに対応して、最適な基板保持力を付与するとともに、その調整作業が容易な基板固定装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a substrate fixing device that provides an optimum substrate holding force corresponding to various substrate thicknesses and that can be easily adjusted. The purpose is to do.

上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、
搬送ベルトにより、水平一方向に移動可能な基板(4)と、
前記基板の上面側に固定された固定部材(16)と、
前記基板の下面側に配置され、機枠に対して上下動可能に支持された搬送レール(3)と、
前記搬送レールの下方に配置され、前記基板に対して上下動する係合板(23)と、を備え、
前記係合板の上昇に伴い前記搬送レールが上昇し、前記固定部材と前記搬送レールとで前記基板を保持する基板固定装置において、
前記搬送レールの底面側に装着され、ネジ部の回動により上下高さを調節可能な調整軸(18)を備え、
前記調整軸の上下高さを調整することにより、前記係合板の上昇に伴う、前記搬送レールの上昇位置を調整することを特徴とする基板固定装置。
In order to solve the above problem, the invention according to claim 1
A substrate (4) movable in one horizontal direction by a conveyor belt;
A fixing member (16) fixed to the upper surface side of the substrate;
A transport rail (3) disposed on the lower surface side of the substrate and supported so as to be movable up and down with respect to the machine frame;
An engagement plate (23) disposed below the transport rail and moving up and down with respect to the substrate;
In the substrate fixing apparatus that holds the substrate with the fixing member and the transport rail, the transport rail rises as the engagement plate rises.
An adjustment shaft (18) that is attached to the bottom surface side of the transport rail and that can adjust the vertical height by turning the screw portion,
The substrate fixing apparatus, wherein the height of the conveying rail is adjusted as the engaging plate is raised by adjusting the vertical height of the adjusting shaft.

請求項2記載の発明は、請求項1記載の基板固定装置において、
前記調整軸は、前記搬送レールの底面側に装着され、上下高さを調節可能な第1調整軸(19)と、
前記第1調整軸の下端部に装着され、螺合するネジ部により、上下高さを調節可能な第2調整軸(20)とを備えたことを特徴とする基板固定装置。
A second aspect of the present invention is the substrate fixing apparatus according to the first aspect,
The adjustment shaft is attached to the bottom side of the transport rail, and a first adjustment shaft (19) capable of adjusting the vertical height;
A substrate fixing apparatus comprising: a second adjustment shaft (20) which is attached to a lower end portion of the first adjustment shaft and is capable of adjusting a vertical height by a screw portion to be screwed.

請求項1記載の発明によれば、調整軸18を回動させて、その上下高さを調整して、係合板23の上昇に伴う、搬送レールの上昇位置を調整する。このため、種々の基板厚さに対応して、最適な基板保持力を付与できるとともに、その調整作業が容易となり作業時間を短縮できる。   According to the first aspect of the present invention, the adjustment shaft 18 is rotated to adjust the vertical height of the adjustment shaft 18 to adjust the lift position of the transport rail as the engagement plate 23 is lifted. For this reason, the optimum substrate holding force can be applied in accordance with various substrate thicknesses, and the adjustment work can be facilitated to shorten the work time.

請求項2記載の発明によれば、第2調整軸20を回動させて、その高さを調整する。
また、例えば、第1調整軸19を上下動して上下高さの粗調整を行い、第2調整軸20を回動して、上下高さの微調整を行うようにすると、調整作業が容易となり、より作業時間を短縮できる。
According to invention of Claim 2, the 2nd adjustment axis | shaft 20 is rotated and the height is adjusted.
Further, for example, if the first adjustment shaft 19 is moved up and down to roughly adjust the vertical height, and the second adjustment shaft 20 is rotated to finely adjust the vertical height, the adjustment work is easy. Thus, the working time can be further reduced.

この発明の第1実施形態を図1、図2、図3に基づいて説明する。
図1は電子部品実装装置の斜視図であり、図2は基板固定装置の正面図であり、図3は基板固定装置の側面図である。なお、以下の説明において、基板4が水平面を搬送される方向を左右方向と、水平面内で左右方向に直行する方向を前後方向と、水平面に直交する方向を上下方向とする。
1st Embodiment of this invention is described based on FIG.1, FIG.2, FIG.3.
1 is a perspective view of the electronic component mounting apparatus, FIG. 2 is a front view of the board fixing apparatus, and FIG. 3 is a side view of the board fixing apparatus. In the following description, the direction in which the substrate 4 is transported in the horizontal plane is defined as the left-right direction, the direction perpendicular to the horizontal direction in the horizontal plane is defined as the front-rear direction, and the direction orthogonal to the horizontal plane is defined as the vertical direction.

基板に電子部品を実装する電子部品実装装置1は、機枠2の水平一方向(左右方向)に沿って、一対の搬送レール3が設けられている。一対の搬送レール3に沿って、基板4が左右方向に搬送される。また、機枠2上には、前後方向に沿って、搬送レール3を跨ぐように、一対のYフレーム8が載置されている。Yフレーム8の上部には、個別に、ガイドレール5が固定されている。   An electronic component mounting apparatus 1 for mounting electronic components on a board is provided with a pair of transport rails 3 along one horizontal direction (left-right direction) of the machine frame 2. The substrate 4 is transported in the left-right direction along the pair of transport rails 3. A pair of Y frames 8 is placed on the machine frame 2 so as to straddle the transport rail 3 along the front-rear direction. The guide rails 5 are individually fixed to the upper part of the Y frame 8.

一対のガイドレール5の上部には、左右方向に沿って、Xフレーム6が配置されている。Xフレーム6は、その両端部に、不図示のベアリング付き直動ガイドが装着されている。この直動ガイドにガイドレール5が係合して、Xフレーム6を前後方向に沿って移動自在に支持する。また、Yフレーム8には、一対のプーリと、それに巻き掛けられるベルト9が装備されている。そして、Y方向モータ10の回動に伴い、プーリ、ベルト9を介して、Xフレーム6が前後方向に移動する。   An X frame 6 is disposed on the upper part of the pair of guide rails 5 along the left-right direction. The X frame 6 is provided with a linear motion guide with a bearing (not shown) at both ends thereof. The guide rail 5 engages with the linear motion guide, and supports the X frame 6 so as to be movable along the front-rear direction. The Y frame 8 is equipped with a pair of pulleys and a belt 9 wound around the pulleys. As the Y-direction motor 10 rotates, the X frame 6 moves in the front-rear direction via the pulley and the belt 9.

Xフレーム6の一側面には、不図示のガイドレールが固定されている。このガイドレールの一部を覆うように、装着ヘッド7が配置されている。装着ヘッド7は、その裏面側に不図示のベアリング付き直動ガイドが装着されている。この直動ガイドにガイドレールが係合して、装着ヘッド7を左右方向に移動自在に支持する。また、Xフレーム7には、不図示の一対のプーリと、それに巻き掛けられるベルトが装備されている。そして、X方向モータ11の回動に伴い、プーリ、ベルトを介して、装着ヘッド7が左右方向に移動する。   A guide rail (not shown) is fixed to one side surface of the X frame 6. The mounting head 7 is disposed so as to cover a part of the guide rail. The mounting head 7 is mounted with a linear motion guide with a bearing (not shown) on the back side thereof. A guide rail engages with the linear motion guide to support the mounting head 7 so as to be movable in the left-right direction. The X frame 7 is equipped with a pair of pulleys (not shown) and a belt wound around the pulleys. As the X-direction motor 11 rotates, the mounting head 7 moves in the left-right direction via a pulley and a belt.

装着ヘッド7には、吸着ノズル8が備えられている。また、装着ヘッド7は、吸着ノズル8を上下動及び回動させる各駆動部を備えている。また、機枠2の前後方向手前側には、電子部品を個別に供給するテープフィーダ12が設けられている。   The mounting head 7 is provided with a suction nozzle 8. The mounting head 7 includes driving units that move the suction nozzle 8 up and down and rotate. A tape feeder 12 that individually supplies electronic components is provided on the front side in the front-rear direction of the machine casing 2.

電子部品実装装置1は、図2に示すように、基板4を搬送して、所定位置で固定する基板固定装置13を備えている。なお、図2の基板固定装置13は、左右対称のため、右側部分を省略しているが、右側部分にも、ローラ14、調整軸18等は設けてある。   As shown in FIG. 2, the electronic component mounting apparatus 1 includes a substrate fixing device 13 that conveys the substrate 4 and fixes it at a predetermined position. The right side portion of the substrate fixing device 13 in FIG. 2 is omitted because it is bilaterally symmetric, but the roller 14, the adjustment shaft 18 and the like are also provided on the right side portion.

左右一対の搬送レール3は、その両端側に、一対のプーリ14が取付けられている。これらプーリ14には、無端のベルト(搬送ベルト)15が巻き掛けられている。ベルト15は、搬送レールの溝部3aに案内される。溝部3aは、ベルト15をその下面で支持する支持部3bと、支持部3bの上面に配置されたガイド部3cとにより形成される。   A pair of pulleys 14 are attached to both ends of the pair of left and right transport rails 3. An endless belt (conveying belt) 15 is wound around these pulleys 14. The belt 15 is guided to the groove 3a of the transport rail. The groove portion 3a is formed by a support portion 3b that supports the belt 15 on the lower surface thereof, and a guide portion 3c disposed on the upper surface of the support portion 3b.

このガイド部3cは、その底面がベルト15の一端側を覆うとともに、その一側面が基板側面に係合し、基板4を左右方向に沿って案内する。ガイド部3cは、支持部3bより所定量へこんで配置されている。   The bottom surface of the guide portion 3c covers one end of the belt 15, and one side surface of the guide portion 3c engages with the side surface of the substrate, thereby guiding the substrate 4 along the left-right direction. The guide portion 3c is disposed so as to be recessed by a predetermined amount from the support portion 3b.

ベルト15上面に載置された基板4は、不図示の基板搬送モータが駆動すると、プーリ14、ベルト15が回転して、基板4を左右方向に沿って搬送する。   When the substrate transport motor (not shown) is driven, the pulley 14 and the belt 15 rotate to transport the substrate 4 along the left-right direction.

左右方向に沿って、搬送される基板4に対して、その上面側には、固定部材16が配置されている。固定部材16は、フレーム(機枠)2に固定され、上面視、その一部が基板4上面の端部を覆うように配置されている。   A fixing member 16 is disposed on the upper surface side of the substrate 4 to be conveyed along the left-right direction. The fixing member 16 is fixed to the frame (machine frame) 2 and is arranged so that a part thereof covers an end portion of the upper surface of the substrate 4 when viewed from above.

基板4の下面側で、かつベルト15の下面には、搬送レール3の支持部3bが設けられている。一対の搬送レール3は、基板4の幅に応じて、その前後方向幅を調整できる。また、搬送レール3は、上下方向に沿って、不図示のガイド軸が設けられている。このガイド軸は、不図示の機枠に固定されたスライドベアリングに支持されている。このため、搬送レール3は、機枠2に上下方向に沿って、移動可能に支持されている。   On the lower surface side of the substrate 4 and on the lower surface of the belt 15, a support portion 3 b of the transport rail 3 is provided. The pair of transport rails 3 can adjust the width in the front-rear direction according to the width of the substrate 4. The transport rail 3 is provided with a guide shaft (not shown) along the vertical direction. The guide shaft is supported by a slide bearing fixed to a machine frame (not shown). For this reason, the transport rail 3 is supported by the machine casing 2 so as to be movable along the vertical direction.

搬送レール3の底面には、下方に延びる調整軸18が設けられている。調整軸18は、上方の第1調整軸19と、下方の第2調整軸20とから構成されている。   An adjustment shaft 18 extending downward is provided on the bottom surface of the transport rail 3. The adjustment shaft 18 includes an upper first adjustment shaft 19 and a lower second adjustment shaft 20.

第1調整軸19は、棒状部材で、上側の本体部19aと、下側のオネジを形成されたネジ部19bとから構成されている。本体部19aは、搬送レール3の底面に形成された支持孔3dに係合し、所定位置で止めネジ17によって固定されている。   The first adjustment shaft 19 is a rod-like member, and is composed of an upper body portion 19a and a screw portion 19b formed with a lower male screw. The main body 19a engages with a support hole 3d formed on the bottom surface of the transport rail 3, and is fixed by a set screw 17 at a predetermined position.

第2調整軸20は、棒状部材で、上端側から下方に向けて、メネジ20aが形成されている。第1調整軸19のネジ部19bには、ロックネジ21と第2調整軸20が、順に螺合される。そして、第2調整軸20が所定位置に位置決めされると、ロックネジ21を締め付けて、上下位置を固定する。   The second adjustment shaft 20 is a rod-shaped member, and has a female screw 20a formed downward from the upper end side. The lock screw 21 and the second adjustment shaft 20 are screwed into the screw portion 19b of the first adjustment shaft 19 in order. When the second adjustment shaft 20 is positioned at a predetermined position, the lock screw 21 is tightened to fix the vertical position.

第2調整軸20の下方には、第2調整軸20下端より所定量離間した位置に、バックアッププレート(係合板)23が配置されている。バックアッププレート23は、板状部材で、不図示のエアシリンダ等の駆動装置により上下動する。第2調整軸20の下端に対向するバックアッププレートの所定位置には、側面視、真円状の枕部22が固定されている。枕部22は、第2調節軸20に、確実に点接触するために設けられている。   A backup plate (engagement plate) 23 is disposed below the second adjustment shaft 20 at a position spaced a predetermined amount from the lower end of the second adjustment shaft 20. The backup plate 23 is a plate-like member and moves up and down by a drive device such as an air cylinder (not shown). In a predetermined position of the backup plate facing the lower end of the second adjustment shaft 20, a pillow portion 22 having a perfect circle shape is fixed in a side view. The pillow part 22 is provided to make a point contact with the second adjustment shaft 20 with certainty.

上記第1実施形態の基板固定装置13の動作について説明する。
最初に、ベルト15上に基板4を載置する。
次に、基板搬送モータを駆動すると、プーリ14、ベルト15が回転して、基板4を搬送する。
次に、基板4が部品搭載位置に搬送されると、基板搬送モータの駆動を停止する。
次に、エアシリンダが上昇して、バックアッププレート23が上昇する。
次に、バックアッププレートの枕部22が第2調整軸20に当接し、第2調整軸20、第1調整軸19を介して、搬送レール3が上昇する。
The operation of the substrate fixing device 13 of the first embodiment will be described.
First, the substrate 4 is placed on the belt 15.
Next, when the substrate transport motor is driven, the pulley 14 and the belt 15 rotate to transport the substrate 4.
Next, when the board 4 is transferred to the component mounting position, the driving of the board transfer motor is stopped.
Next, the air cylinder rises and the backup plate 23 rises.
Next, the pillow portion 22 of the backup plate comes into contact with the second adjustment shaft 20, and the transport rail 3 rises through the second adjustment shaft 20 and the first adjustment shaft 19.

次に、搬送レール3の上昇に伴い、支持部3b、ベルト15が上昇する。
そして、上昇した基板4は、その上面が固定部材16に当接する。基板4は、その上面を固定部材16に、その下面をベルト15と搬送レール3の支持部3bにより保持される。
次に、搭載ヘッド7が電子部品の実装を行い、実装作業が終了すると、基板の保持を解除し、基板4を搬送する。
Next, as the transport rail 3 rises, the support portion 3b and the belt 15 rise.
Then, the upper surface of the raised substrate 4 comes into contact with the fixing member 16. The upper surface of the substrate 4 is held by the fixing member 16, and the lower surface thereof is held by the belt 15 and the support portion 3 b of the transport rail 3.
Next, when the mounting head 7 mounts the electronic components and the mounting operation is completed, the holding of the substrate is released and the substrate 4 is transported.

そして、基板厚さが変更された場合、ロックネジ21を緩めた後、第2調整軸20を回動させて、その高さ位置を調整した後、ロックネジ21で締め付ける。または、止めネジ17を緩めた後、第1調整軸19を上下動させて、その高さ位置を調整した後、止めネジ17を締め付ける。   When the substrate thickness is changed, after loosening the lock screw 21, the second adjustment shaft 20 is rotated to adjust its height position, and then tightened with the lock screw 21. Alternatively, after loosening the set screw 17, the first adjustment shaft 19 is moved up and down to adjust its height position, and then the set screw 17 is tightened.

第1実施形態の基板固定装置によれば、第2調整軸20を回動させて、その上下高さを調整させて、搬送レール3の上昇位置を調整している。このため、種々の基板厚さに対応して、最適な基板保持力を付与することができる。また、第2調整軸20の回動により、その上下高さを調整しているので、調整作業が容易となり作業時間を短縮できる。   According to the board | substrate fixing apparatus of 1st Embodiment, the 2nd adjustment axis | shaft 20 is rotated, the up-and-down height is adjusted, and the raising position of the conveyance rail 3 is adjusted. For this reason, the optimal substrate holding force can be provided corresponding to various substrate thicknesses. Further, since the vertical height is adjusted by the rotation of the second adjustment shaft 20, the adjustment work becomes easy and the work time can be shortened.

また、第1調整軸19が装着される、搬送レールの支持孔3dは、高さ調整行うのに、十分な深さを有しているので、第1調整軸19を上下方向にスライドさせて粗調整を行う一方、第2調整軸20を回動させて微調整を行うようにすると、調整作業が容易となり、より作業時間短縮することができる。   Further, the transport rail support hole 3d to which the first adjustment shaft 19 is attached has a sufficient depth to adjust the height, so that the first adjustment shaft 19 is slid in the vertical direction. If the fine adjustment is performed by rotating the second adjustment shaft 20 while performing the coarse adjustment, the adjustment work is facilitated, and the work time can be further shortened.

この発明は上記第1実施形態に限定されることなく、種々変更可能である。
例えば、上記第1実施形態では、調整軸18を、第1調整軸19と第2調整軸20に2分割したが、これに代えて、調整軸を一体物にし、上部側をネジ加工する一方、搬送レールの支持孔にメネジを形成する。そして、搬送レールのネジ孔に調整軸のネジをネジ込み、所定位置にて、ロックナットで固定することも容易に考えられる。
The present invention is not limited to the first embodiment and can be variously modified.
For example, in the first embodiment, the adjustment shaft 18 is divided into the first adjustment shaft 19 and the second adjustment shaft 20, but instead, the adjustment shaft is integrated and the upper side is threaded. Then, a female screw is formed in the support hole of the transport rail. Then, it can be easily considered that the screw of the adjusting shaft is screwed into the screw hole of the transport rail and fixed with a lock nut at a predetermined position.

また、上記第1実施形態では、第1調整軸にオネジを、第2調整軸にメネジを形成して、上下高さを調整したが、第1調整軸にメネジを、第2調整軸にオネジを形成することも容易に考えられる。   In the first embodiment, the vertical height is adjusted by forming a male screw on the first adjustment shaft and a female screw on the second adjustment shaft, but the female screw on the first adjustment shaft and the male screw on the second adjustment shaft. It is also conceivable to form

電子部品実装装置の斜視図である。It is a perspective view of an electronic component mounting apparatus. 基板固定装置の正面図である。It is a front view of a substrate fixing device. 基板固定装置の側面図である。It is a side view of a board | substrate fixing device.

符号の説明Explanation of symbols

4・・・基板
15・・搬送ベルト(ベルト)
16・・固定部材
3・・・搬送レール
23・・係合板(バックアッププレート)
18・・調整軸
19・・第1調整軸
20・・第2調整軸
4 ... Substrate 15 ... Conveyor belt
16. ・ Fixing member 3 ・ ・ ・ Conveying rail 23 ・ ・ Engagement plate (backup plate)
18. Adjustment shaft 19 First adjustment shaft 20 Second adjustment shaft

Claims (2)

搬送ベルトにより、水平一方向に移動可能な基板と、
前記基板の上面側に固定された固定部材と、
前記基板の下面側に配置され、機枠に対して上下動可能に支持された搬送レールと、
前記搬送レールの下方に配置され、前記基板に対して上下動する係合板と、を備え、
前記係合板の上昇に伴い前記搬送レールが上昇し、前記固定部材と前記搬送レールとで前記基板を保持する基板固定装置において、
前記搬送レールの底面側に装着され、ネジ部の回動により上下高さを調節可能な調整軸を備え、
前記調整軸の上下高さを調整することにより、前記係合板の上昇に伴う、前記搬送レールの上昇位置を調整することを特徴とする基板固定装置。
A substrate movable in one horizontal direction by a conveyor belt;
A fixing member fixed to the upper surface side of the substrate;
A transport rail disposed on the lower surface side of the substrate and supported so as to be vertically movable with respect to the machine frame;
An engagement plate disposed below the transport rail and moving up and down with respect to the substrate;
In the substrate fixing apparatus that holds the substrate with the fixing member and the transport rail, the transport rail rises as the engagement plate rises.
It is mounted on the bottom side of the transport rail, and includes an adjustment shaft that can adjust the vertical height by rotating the screw part,
The substrate fixing apparatus, wherein the height of the conveying rail is adjusted as the engaging plate is raised by adjusting the vertical height of the adjusting shaft.
請求項1記載の基板固定装置において、
前記調整軸は、前記搬送レールの底面側に装着され、上下高さを調節可能な第1調整軸と、
前記第1調整軸の下端部に装着され、螺合するネジ部により、上下高さを調節可能な第2調整軸とを備えたことを特徴とする基板固定装置。
The substrate fixing apparatus according to claim 1, wherein
The adjustment shaft is attached to the bottom surface side of the transport rail, and a first adjustment shaft capable of adjusting the vertical height;
A substrate fixing apparatus comprising: a second adjustment shaft that is attached to a lower end portion of the first adjustment shaft and can be adjusted in height by a screw portion that is screwed together.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011249676A (en) * 2010-05-28 2011-12-08 Fuji Mach Mfg Co Ltd Substrate transferring/holding device

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