JP2006064334A - ヒートパイプの製造方法 - Google Patents

ヒートパイプの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2006064334A
JP2006064334A JP2004249957A JP2004249957A JP2006064334A JP 2006064334 A JP2006064334 A JP 2006064334A JP 2004249957 A JP2004249957 A JP 2004249957A JP 2004249957 A JP2004249957 A JP 2004249957A JP 2006064334 A JP2006064334 A JP 2006064334A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
water
heat pipe
amount
pipe body
mouth part
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004249957A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshimi Uchiyama
義実 内山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikura Ltd filed Critical Fujikura Ltd
Priority to JP2004249957A priority Critical patent/JP2006064334A/ja
Publication of JP2006064334A publication Critical patent/JP2006064334A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
    • F28D15/00—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
    • F28D15/02—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
    • F28D15/0283—Means for filling or sealing heat pipes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【課題】 蒸気によって空気を確実に追い出すことができると共に、計測された水の量を正確に封入できるようにする。
【解決手段】 ヒートパイプ本体１の口元部３から所定量の水を入れその水が完全になくなるまで蒸発させながら前記口元部３から真空ポンプ１５によって一定時間真空引きを行ない内部が規定の真空度に到達した時に、規定された水の量をヒートパイプ本体１内へ注入し、その注入完了後前記ヒートパイプ本体１の口元部３を密閉状態に封止する。
【選択図】 図１

Description

本発明はヒートパイプの製造方法に関する。
一般にヒートパイプは、例えば、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体素子やモジュール等の冷却に設いられ、その概要はパイプ本体内に熱媒体として水が真空封入された構造となっている。
熱媒体となる水を真空封入する際、パイプ本体内の真空度と封入する水の量が重要なウエイトを占めるようになるが、その外にパイプ本体内にわずかでも空気が存在しないことが条件となる。
パイプ本体内に空気が存在すると酸素と反応して内部で酸化が起きる等製品の寿命に影響を与えるようになることと、沸点が変化して設計に基づいた性能が得られなくなる等不良品の発生につながる不具合いを招くからである。
パイプ本体内の空気は、真空引きすることで少なくなっていくが完全にとれきれないのが現状となっている。
このためにパイプ本体内の空気の追い出しと封入する水の量が同時に達成できる手段が既に多数提案されている。
その概要は、真空引きするときにパイプ本体内に規定量より予め多めに水を入れておき、そのパイプ本体をオイルバス等の加熱手段によって加熱しながら水の量が目標となる設定値まで蒸気を発生させ続けるものである。この時、内部は発生する蒸気によって飽和水蒸気雰囲気となることで内部空気を外へ追い出す作用と、同時に規定の水の量が確保されるようになっている。
この場合、残量となる封入すべき正規の水の量を知る手段として、例えば、蒸気発生にともなう蒸発量を予め調べておき、蒸気が外へ出た量を、例えば、マスフロメータ等により測定する蒸気発生量測定手段がある。又は、風袋となるパイプ本体とそのパイプ本体内に封入する水の量を予め測定しておき、蒸気を発生させながらパイプ本体の重さを監視測定する重量測定手段がある。あるいは、蒸発時間とそれにともなう蒸発量との関係を予め調べておき、加熱時間によって水の残量を監視測定する加熱時間測定手段がある。
特許第３４０８０３３号公報
前記した蒸気発生量測定手段、重量測定手段、加熱時間測定手段は、いずれも水が蒸発していく蒸発量を監視することで封入すべき正規の水の量を残す手段となっているが、例えば、加熱条件等が変化する場合がある等、蒸発量を正確に把握することは難しく、また、それを実行するには高い精度の技術が求められる。
そこで、本発明は、蒸気によって空気を確実に追い出すことができると共に、規定された正規の水の量を正確に封入できるヒートパイプの製造方法を提供することを目的としている。
前記目的を達成するために、本発明にあっては、ヒートパイプ本体の口元部から所定量の水を入れ、その水が完全になくなるまで蒸発させながら前記口元部から真空ポンプによって一定時間真空引きを行ない内部が規定の真空度に到達した時に、規定された水の量をヒートパイプ本体内へ注入し、その注入完了後前記ヒートパイプ本体の口元部を密閉状態に封止することを特徴とする。
本発明によれば、真空引きする時にヒートパイプ本体内に入れた水を蒸発させることでその蒸気により内部空気を確実に外へ追い出すことができると共に、予め入れた水は完全になくなるまで蒸発させればよいので、難しい制御管理は不用となる。
一方、蒸発完了と共に規定の真空度に到達した時に、正確に計測した水を入ればよいので、高い技術力を必要とすることなく水の量を正確に封入できる。
本発明は、ヒートパイプ本体内の空気を確実に追い出し、正規の水の量を正確に封入するという目的を、ヒートパイプ本体内に注入した水が完全になくなるまで蒸発させながら真空引きを行い、内部が規定の真空度に到達した後に規定の水を注入することで達成した。
以下、図１から図６の図面を参照しながら本発明の実施形態について具体的に説明する。
図１は本発明を達成する装置全体の概要説明図を示している。
ヒートパイプ本体１は、その口元部３が上向きとなるよう配置されると共にシリコンチューブ５を介して注入パイプ７に支持され、下部は加熱手段となるオイルバス９内に入っている。
口元部３は、口元封止装置１１の口元封止金具１３が大きく開いた待機位置（実線）から矢印のように縮小することでカシメられ密閉封止されるようになっている。
注入パイプ７は垂直部７ａと水平部７ｂとからなるＴ字状に形成され、水平部７ｂは開閉弁Ｖを介して真空ポンプ１５と接続している。垂直部７ａは、前記した如くその下端がヒートパイプ本体１の口元部３と接続している。垂直部７ａの上端は水注入装置１７の注入針１９の先端が臨み、その注入針１９の外周はシール材２１によって密閉シールされている。
水注入装置１７は、上下方向に沿って配置されたシリンダ２３とピストン２５とから成り、シリンダ２３の先端は前記注入針１９が取付けられた分注筒部２７となっている。
分注筒部２７は水タンク２９と開閉弁３１を介して接続連通し、開閉弁３１が開の時、前記ピストン２５をピストン駆動装置３３によって上昇させることでその吸引圧により水タンク２９内の水がシリンダ２３内に送り込まれるようになっている。
また、シリンダ２３内に送り込まれた水は、前記開閉弁３１を閉とした後、ピストン駆動装置３３によってピストン２５を下降させることで注入針１９からの注入が可能となる。
シリンダ２３内に送り込まれる水の量は、例えば、シリンダ２３に目盛を設けておき、その目盛を見ながら送り込まれる液面位置を管理することで行なってもよい。あるいは、ピストン２５のストローク量を制御管理することで行なうようにしてもよい。
一方、水注入装置１７は全体がピストンロッド３５とシリンダ３７とから成る昇降装置３９によって上下動自在に支持され、最下降時に注入針１９の先端がヒートパイプ本体１の口元部３の内部まで下降するようになっている。
この場合、注入針１９は、全体が伸縮可能な蛇腹４１によって取囲まれていることが望ましい。
次に、ヒートパイプの製造方法について説明する。まず、ヒートパイプ本体１内に注入針１９を下降させ所定量の水を注入する（図２）。次に、ヒートパイプ本体１の下部をオイルバス９によって加熱する（図３）。この時、水は蒸気となり時間と共に内部は水蒸気雰囲気となると共にこの状態で一定時間真空引きを行なう（図４）。この一定時間の真空引きにより内部の空気は蒸気によって追い出される。この場合、予め入れた水は完全になくなるまで蒸発させればよいので難しい制御管理は不用となる。と同時に規定された真空度に到達した時点でヒートパイプ本体１内に注入針１９を下降させ規定量の水を注入する（図５）。この水の注入にあたって正確に計測した水ＷＴを注入できるため、高い技術力を必要とすることなく水の量を正確に封入できる。次に、水の注入完了後、ヒートパイプ本体１の口元部３を口元封止金具１３によってカシメることで、口元部３が密閉封止されたヒートパイプが得られる。
ヒートパイプ製造装置全体の概要説明図。 ヒートパイプ本体に水を注入した動作説明図。 ヒートパイプ本体内を水蒸気雰囲気とした状態の動作説明図。 水蒸気雰囲気とした状態で真空引きしている状態の動作説明図。 真空引き完了後に規定量の水を注入している動作説明図。 水注入完了後に口元部がカシメられた状態を示す動作説明図。
符号の説明
１…ヒートパイプ本体
３…口元部
９…オイルバス
１１…口元封止装置
１３…口元封止金具
１５…真空ポンプ
１７…水注入装置
１９…注入針

Claims (1)

  1. ヒートパイプ本体の口元部から所定量の水を入れ、その水が完全になくなるまで蒸発させながら前記口元部から真空ポンプによって一定時間真空引きを行ない内部が規定の真空度に到達した時に、規定された水の量をヒートパイプ本体内へ注入し、その注入完了後前記ヒートパイプ本体の口元部を密閉状態に封止することを特徴とするヒートパイプの製造方法。
JP2004249957A 2004-08-30 2004-08-30 ヒートパイプの製造方法 Pending JP2006064334A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004249957A JP2006064334A (ja) 2004-08-30 2004-08-30 ヒートパイプの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004249957A JP2006064334A (ja) 2004-08-30 2004-08-30 ヒートパイプの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006064334A true JP2006064334A (ja) 2006-03-09

Family

ID=36110966

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004249957A Pending JP2006064334A (ja) 2004-08-30 2004-08-30 ヒートパイプの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006064334A (ja)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009228909A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Hitachi Cable Ltd ヒートパイプの製造方法及びヒートパイプ
CN103241696A (zh) * 2013-04-23 2013-08-14 华南理工大学 一种多腔体式热管工质的气态灌注法及其设备
CN103335548A (zh) * 2013-06-11 2013-10-02 大连理工大学 一种微热管的气相温控工质灌注方法
CN103913086A (zh) * 2014-04-05 2014-07-09 大连理工大学 一种用于mems热管的工质灌注与封装的装置及方法
CN103968693A (zh) * 2014-05-21 2014-08-06 海康创业(北京)科技有限公司 主动式集成热管灌注装置及应用其灌注的方法
CN104075599A (zh) * 2014-05-21 2014-10-01 海康创业(北京)科技有限公司 一种被动式集成热管灌注装置
CN106931814A (zh) * 2017-03-09 2017-07-07 广东工业大学 一种平板微热管抽真空注液装置及其方法
CN107356144A (zh) * 2017-07-31 2017-11-17 浙江省太阳能产品质量检验中心 一种热管介质注射枪
CN110514043A (zh) * 2019-08-12 2019-11-29 李居强 加注装置及其加注方法
CN111102864A (zh) * 2020-01-10 2020-05-05 广州大学 一种用于热管自动化生产的注水装置及方法
CN111189342A (zh) * 2020-01-10 2020-05-22 广州大学 一种用于热管自动化生产的抽真空和密封装置及方法
CN112747617A (zh) * 2021-02-08 2021-05-04 太原理工大学 一种自动化多热管真空定量工质充注系统
KR102572046B1 (ko) * 2022-10-07 2023-08-29 주식회사 화인프리시젼 베이퍼챔버 제조장치
CN118224906A (zh) * 2024-04-26 2024-06-21 重庆莹帆科技股份有限公司 一种超导热管超纯水精密注水装置

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009228909A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Hitachi Cable Ltd ヒートパイプの製造方法及びヒートパイプ
CN103241696A (zh) * 2013-04-23 2013-08-14 华南理工大学 一种多腔体式热管工质的气态灌注法及其设备
CN103335548A (zh) * 2013-06-11 2013-10-02 大连理工大学 一种微热管的气相温控工质灌注方法
CN103913086A (zh) * 2014-04-05 2014-07-09 大连理工大学 一种用于mems热管的工质灌注与封装的装置及方法
CN103913086B (zh) * 2014-04-05 2015-08-19 大连理工大学 一种用于mems热管的工质灌注与封装的装置及方法
CN103968693A (zh) * 2014-05-21 2014-08-06 海康创业(北京)科技有限公司 主动式集成热管灌注装置及应用其灌注的方法
CN104075599A (zh) * 2014-05-21 2014-10-01 海康创业(北京)科技有限公司 一种被动式集成热管灌注装置
CN106931814A (zh) * 2017-03-09 2017-07-07 广东工业大学 一种平板微热管抽真空注液装置及其方法
CN107356144A (zh) * 2017-07-31 2017-11-17 浙江省太阳能产品质量检验中心 一种热管介质注射枪
CN107356144B (zh) * 2017-07-31 2019-07-12 浙江省太阳能产品质量检验中心 一种热管介质注射枪
CN110514043A (zh) * 2019-08-12 2019-11-29 李居强 加注装置及其加注方法
CN110514043B (zh) * 2019-08-12 2021-03-26 李居强 加注装置及其加注方法
CN111102864A (zh) * 2020-01-10 2020-05-05 广州大学 一种用于热管自动化生产的注水装置及方法
CN111189342A (zh) * 2020-01-10 2020-05-22 广州大学 一种用于热管自动化生产的抽真空和密封装置及方法
CN111189342B (zh) * 2020-01-10 2021-05-11 广州大学 一种用于热管自动化生产的抽真空和密封装置及方法
CN111102864B (zh) * 2020-01-10 2021-05-11 广州大学 一种用于热管自动化生产的注水装置及方法
CN112747617A (zh) * 2021-02-08 2021-05-04 太原理工大学 一种自动化多热管真空定量工质充注系统
CN112747617B (zh) * 2021-02-08 2022-07-29 太原理工大学 一种自动化多热管真空定量工质充注系统
KR102572046B1 (ko) * 2022-10-07 2023-08-29 주식회사 화인프리시젼 베이퍼챔버 제조장치
CN118224906A (zh) * 2024-04-26 2024-06-21 重庆莹帆科技股份有限公司 一种超导热管超纯水精密注水装置
CN118224906B (zh) * 2024-04-26 2024-09-24 重庆莹帆科技股份有限公司 一种超导热管超纯水精密注水装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006064334A (ja) ヒートパイプの製造方法
CN103335548A (zh) 一种微热管的气相温控工质灌注方法
GB2479460A (en) Method and apparatus for constructing a heat pipe
TW201411082A (zh) 真空塡充及脫氣系統
JP2018500580A (ja) 燃料棒カプセルにおいて気密性試験を実施するための装置および方法
CN109166818A (zh) 一种用于熔融钎料填充硅通孔的方法
JP5123703B2 (ja) ヒートパイプの製造方法及びヒートパイプ
KR20130127199A (ko) 실린더 감압을 이용한 진공 추출 장치 및 그 방법
CN111398149B (zh) 一种液态铅铋环境静态浸泡试验装置及试验方法
JP2016121865A (ja) 冷却装置およびこれを搭載した電子機器
JP2017106738A (ja) タンクの気密検査方法
KR102704376B1 (ko) 원자증기셀 제작 장치 및 방법
CN110756239B (zh) 一种高温金属微液滴的注射装置及方法
CN104748595B (zh) 一种适用于脉动热管的多次沸腾排气法
JPS62138689A (ja) ヒ−トパイプの製造方法
RU2010130904A (ru) Способ очистки поверхностей лопаток турбин в агрегате для обработки лопаток турбин
KR100604235B1 (ko) 히트파이프의 작동유체 충진량 컨트롤 방법 및 장치
JPH0979773A (ja) ヒートパイプの製造方法
JP5344232B2 (ja) 樹脂充填方法、および樹脂充填装置
TWI810944B (zh) 熱導板製作方法及熱導板製作設備
JP2015513675A (ja) 中間貯蔵のための燃料棒または燃料棒部分のカプセル化方法および装置
JPH1054680A (ja) ヒートパイプへの作動液封入方法及び作動液封入装置
US2439924A (en) Sealed ignitron
KR0133792Y1 (ko) 진공판 배기장치
JPH06229693A (ja) ヒートパイプの製造方法および製造装置