JP2006063424A - 炭素含有タングステン金属の超伝導細線の製造方法 - Google Patents
炭素含有タングステン金属の超伝導細線の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006063424A JP2006063424A JP2004250333A JP2004250333A JP2006063424A JP 2006063424 A JP2006063424 A JP 2006063424A JP 2004250333 A JP2004250333 A JP 2004250333A JP 2004250333 A JP2004250333 A JP 2004250333A JP 2006063424 A JP2006063424 A JP 2006063424A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tungsten metal
- tungsten
- carbon
- fine wire
- superconducting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
【構成】 炭素原子を含むタングステン有機金属ガスを収束イオンビームまたは電子線により分解し、タングステン金属を直接基板上に堆積させ、描画するとともに、その際に、タングステン有機金属ガス中の炭素原子をタングステン金属に含有させる。
【選択図】 図1
Description
1)カーボンナノチューブに超伝導体を堆積させる方法(たとえば、非特許文献1参照)2)アルミナナノポーラス膜内に超伝導体を電気分解により生成させる方法(たとえば、非特許文献2参照)
3)超伝導薄膜を収束イオンビームにより描画し、イオンエッチングする方法、または電子線リソグラフィーにより描画し、エッチング等の工程を経る方法
が主流であった。
C.N.Lau et al., Physical Review Letters, 21, 87(2001) D.Y.Vodolazov et al., Physical Review Letters, 15, 91(2003)
基板上に堆積し、描画され、超伝導細線が形成される。収束イオンビームまたは電子線による描画は数ナノメートルまでの加工精度を有しており、ナノサイズの超伝導細線の作製が可能である。ナノサイズの超伝導細線が簡便に作製される。
収束イオンビームを照射して炭素含有タングステン金属の超伝導細線を形成した。
度3×10-5Torrとし、印加電圧30kV、電流100pA、総ドーズ量1nC/μm2の条件で収束イオンビームを照射してタングステン有機金属(W(CO)6)ガスを分解し、基板表面にタングステン金属を堆積させ、描画した。この際、堆積したタングステン金属中に炭素原子が含有される。作製された細線は、図1に示したように、約250nmの幅を有していた。基板表面には幅約2μmの抵抗測定用電極を4本形成しており、細線は、これら抵抗測定用電極を横断するように描画して作製された。細線の電気抵抗の温度変化を4本の抵抗測定用電極を用いて測定した。その結果は図2に示したとおりである。
Claims (1)
- 炭素原子を含むタングステン有機金属ガスを収束イオンビームまたは電子線により分解し、タングステン金属を直接基板上に堆積させ、描画するとともに、その際に、タングステン有機金属ガス中の炭素原子をタングステン金属に含有させることを特徴とする炭素含有タングステン金属の超伝導細線の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004250333A JP2006063424A (ja) | 2004-08-30 | 2004-08-30 | 炭素含有タングステン金属の超伝導細線の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004250333A JP2006063424A (ja) | 2004-08-30 | 2004-08-30 | 炭素含有タングステン金属の超伝導細線の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006063424A true JP2006063424A (ja) | 2006-03-09 |
JP2006063424A5 JP2006063424A5 (ja) | 2007-09-20 |
Family
ID=36110165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004250333A Pending JP2006063424A (ja) | 2004-08-30 | 2004-08-30 | 炭素含有タングステン金属の超伝導細線の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006063424A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014045111A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 超伝導回路の作製方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03126836A (ja) * | 1989-10-11 | 1991-05-30 | Hitachi Ltd | 超伝導材料 |
JP2004059958A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Seiko Instruments Inc | Fibをガスが供給される基板表面に照射して超電導膜を成膜する方法及びその装置 |
-
2004
- 2004-08-30 JP JP2004250333A patent/JP2006063424A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03126836A (ja) * | 1989-10-11 | 1991-05-30 | Hitachi Ltd | 超伝導材料 |
JP2004059958A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Seiko Instruments Inc | Fibをガスが供給される基板表面に照射して超電導膜を成膜する方法及びその装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014045111A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 超伝導回路の作製方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Wang et al. | Synthesis of Large‐Sized Single‐Crystal Hexagonal Boron Nitride Domains on Nickel Foils by Ion Beam Sputtering Deposition | |
Chang et al. | Nitrogen‐doped tungsten oxide nanowires: low‐temperature synthesis on Si, and electrical, optical, and field‐emission properties | |
Cui et al. | Nanogap electrodes towards solid state single‐molecule transistors | |
CN103718296B (zh) | 石墨烯纳米网的制造方法和半导体装置的制造方法 | |
Chung et al. | Non-oxidized bare copper nanoparticles with surface excess electrons in air | |
JP2010212619A (ja) | グラフェンの作製方法、グラフェン、グラフェン作製装置及び半導体素子 | |
CN102097297B (zh) | 一种电场诱导的在石墨烯表面原子层淀积高k栅介质的方法 | |
Nandy et al. | Efficient Field Emission from Vertically Aligned Cu2O1‐δ (111) Nanostructure Influenced by Oxygen Vacancy | |
Nguyen et al. | Synthesis of single-crystalline sodium vanadate nanowires based on chemical solution deposition method | |
TW200405465A (en) | Method of forming nanotip arrays | |
US8722430B2 (en) | Production method for oxidized carbon thin film, and element having oxidized carbon thin film and production method therefor | |
Ageev et al. | Photoactivation of the processes of formation of nanostructures by local anodic oxidation of a titanium film | |
Wang et al. | Size dependence and UV irradiation tuning of the surface potential in single conical ZnO nanowires | |
Hoseinzadeh et al. | Investigation of Ta/NII-WO3/FTO structures as a semiconductor for the future of nanodevices | |
Tian et al. | Production of large‐area nucleus‐free single‐crystal graphene‐mesh metamaterials with zigzag edges | |
Na et al. | Modulation of optical and electrical properties in hexagonal boron nitride by defects induced via oxygen plasma treatment | |
Mentel et al. | Area‐Selective Atomic Layer Deposition on Functionalized Graphene Prepared by Reversible Laser Oxidation | |
Zhang et al. | Unconventional giant “magnetoresistance” in bosonic semiconducting diamond nanorings | |
JP2006063424A (ja) | 炭素含有タングステン金属の超伝導細線の製造方法 | |
Wang et al. | Structure and surface effect of field emission from gallium nitride nanowires | |
Bisht et al. | Growth of dense CNT on the multilayer graphene film by the microwave plasma enhanced chemical vapor deposition technique and their field emission properties | |
JP4774665B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5173087B1 (ja) | 酸化カーボン薄膜の製造方法および酸化カーボン薄膜を有する素子とその製造方法 | |
Sovizi et al. | Plasma Processing and Treatment of 2D Transition Metal Dichalcogenides: Tuning Properties and Defect Engineering | |
Al-Amin et al. | Bandgap engineering of single layer graphene by randomly distributed nanoparticles |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070802 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070802 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100906 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110817 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111213 |