JP2006049838A - Stacked semiconductor device and semiconductor device module using the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stacked memory by which signal waveform is hardly deteriorated even in a high-speed signal transmission system. <P>SOLUTION: The stacked semiconductor device (10) is provided with several semiconductor chips (14) and at least one substrate (12/13). The stacked semiconductor device (10) is provided with a resistor (27/50) on its substrate (12/13). At least one of wires which are connected to the semiconductor chips (14) is connected to the outside of the stacked semiconductor device (10) through the resistor (27). <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、積層型半導体装置および半導体装置モジュールに関し、特に高速信号伝送システムが適用される積層型半導体装置およびそれを用いる半導体装置モジュールに関する。   The present invention relates to a stacked semiconductor device and a semiconductor device module, and more particularly to a stacked semiconductor device to which a high-speed signal transmission system is applied and a semiconductor device module using the same.

図１は、従来の積層メモリの構造を示す図である。図１（ａ）に示されるように、この積層メモリ１０は、メモリチップ１４（１４−１，１４−２）が搭載されたパッケージ基板（テープ）１２（１２−１，１２−２）が、パッケージ基板１２の左右両辺に並べられた接続ボール１７を介して上下に積まれる構造を有している。下段のパッケージ基板１２−１は、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）を有している。また、パッケージ基板１２は、メタル２層構造であり、信号線は伝送線と同様の構造を有している。メモリモジュール基板（ＰＣＢ）１１上の信号線２２からボール端子１６及びビア２４を介して下段パッケージ基板１２−１の信号線に接続され、信号線Ａと信号線Ｂに分かれる。信号線Ａは、下段パッケージ基板１２−１に搭載されたメモリチップ１４−１に接続される長さ約３ｍｍの配線である。信号線Ｂは、上下段パッケージ基板を接続している接続ボール１７を介して上段パッケージ基板１２−２の信号線Ｃに接続される長さ約５ｍｍの配線である。信号線Ｃは、上段パッケージ基板１２−２に搭載されたメモリチップ１４−２のチップパッド１８−２に接続される長さ約６ｍｍの配線である。   FIG. 1 is a diagram showing a structure of a conventional stacked memory. As shown in FIG. 1A, the stacked memory 10 includes a package substrate (tape) 12 (12-1, 12-2) on which a memory chip 14 (14-1, 14-2) is mounted. The package substrate 12 has a structure that is stacked up and down via connection balls 17 arranged on both the left and right sides of the package substrate 12. The lower package substrate 12-1 has a BGA (Ball Grid Array). The package substrate 12 has a metal two-layer structure, and the signal line has the same structure as the transmission line. The signal line 22 on the memory module substrate (PCB) 11 is connected to the signal line of the lower package substrate 12-1 through the ball terminal 16 and the via 24, and is divided into a signal line A and a signal line B. The signal line A is a wiring having a length of about 3 mm connected to the memory chip 14-1 mounted on the lower package substrate 12-1. The signal line B is a wiring having a length of about 5 mm that is connected to the signal line C of the upper package substrate 12-2 via the connection balls 17 connecting the upper and lower package substrates. The signal line C is a wiring having a length of about 6 mm connected to the chip pad 18-2 of the memory chip 14-2 mounted on the upper package substrate 12-2.

この積層メモリ１０における信号線のトポロジは、図１（ｂ）に示されるようになる。外部からの信号線２２は、積層メモリ１０内で２本に分岐する。一方は、短い信号線Ａ（約３ｍｍ）を介して下段のメモリチップ１４−１に接続され、もう一方は信号線Ｂと信号線Ｃによる長い信号線（約１１ｍｍ）を介して上段のメモリチップ１４−２に接続されている。つまり、積層メモリ１０は、パッケージ基板１２内に３ｍｍ程度の短い配線と１１ｍｍ程度の長い配線を有する。   The topology of the signal line in the stacked memory 10 is as shown in FIG. The external signal line 22 branches into two in the stacked memory 10. One is connected to the lower memory chip 14-1 via a short signal line A (about 3 mm), and the other is connected to the upper memory chip via a long signal line (about 11 mm) by the signal line B and the signal line C. 14-2. That is, the stacked memory 10 has a short wiring of about 3 mm and a long wiring of about 11 mm in the package substrate 12.

図２は、積層メモリ１０を高速伝送用メモリモジュールに用いた場合の配線トポロジを示す図である。これはコマンド・アドレス信号やクロック信号に用いられている一筆書きトポロジである。コントローラ３１と終端回路３２を結ぶ信号線であるバス配線（伝送線）３０の途中に複数の積層メモリ１０が一筆書き接続されている。しかし、積層メモリ１０内で上段メモリチップ１４−２に接続される信号線が長いスタブ（〜１０ｍｍ）を形成する。そのため、信号立ち上がり時間が０．３〜０．５ナノ秒程度と短い高速伝送システムでは、信号反射によるリンギングが発生し、波形を劣化させてしまう。特に、コントローラ３１に最も近い積層メモリ１０では波形の立ち上がりが急峻であり、大きなリンギングが起きやすく波形を劣化させてしまうという問題がある。   FIG. 2 is a diagram showing a wiring topology when the stacked memory 10 is used for a high-speed transmission memory module. This is a one-stroke topology used for command / address signals and clock signals. A plurality of stacked memories 10 are connected by one stroke in the middle of a bus line (transmission line) 30 that is a signal line connecting the controller 31 and the termination circuit 32. However, the signal line connected to the upper memory chip 14-2 in the stacked memory 10 forms a long stub (-10 mm). Therefore, in a high-speed transmission system in which the signal rise time is as short as about 0.3 to 0.5 nanoseconds, ringing due to signal reflection occurs and the waveform deteriorates. In particular, the stacked memory 10 closest to the controller 31 has a steep rise in the waveform, and there is a problem that a large ringing easily occurs and the waveform is deteriorated.

特開２００３−７８１０９号公報には、複数のＢＧＡパッケージを積層した積層型メモリ装置に関する技術が開示されている。積層型メモリ装置は、それぞれがボールバンプを有する第１ＢＧＡパッケージ及び第２ＢＧＡパッケージと、第１積層用基板と、第２積層用基板と、接続用基板と、ボールバンプとを含む。第１積層用基板は、第１ＢＧＡパッケージのボールバンプに接続された配線パターンを含む。第２積層用基板は、第２ＢＧＡパッケージのボールバンプに接続された配線パターンを含む。接続用基板は、積層配置された第１積層用基板と第２積層用基板との間に設けられ、各積層用基板に含まれる配線パターンを接続する。ボールバンプは、第２積層用基板の、第２ＢＧＡパッケージ搭載面と対向する面に設けられ、第２積層用基板に含まれる配線パターンに接続される。また、この積層型メモリ装置は、上記第１積層用基板が、上記第２ＢＧＡパッケージに含まれる樹脂パッケージの上面に接着される。   Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2003-78109 discloses a technique related to a stacked memory device in which a plurality of BGA packages are stacked. The stacked memory device includes a first BGA package and a second BGA package each having a ball bump, a first stacking substrate, a second stacking substrate, a connection substrate, and a ball bump. The first lamination substrate includes a wiring pattern connected to the ball bumps of the first BGA package. The second lamination substrate includes a wiring pattern connected to the ball bumps of the second BGA package. The connection substrate is provided between the first and second lamination substrates arranged in a stacked manner, and connects the wiring patterns included in the respective lamination substrates. The ball bump is provided on a surface of the second lamination substrate facing the second BGA package mounting surface, and is connected to a wiring pattern included in the second lamination substrate. In the stacked memory device, the first stacked substrate is bonded to the upper surface of the resin package included in the second BGA package.

また、特開２００３−１２４４３９号公報には、ＢＧＡ積層半導体モジュールに関する技術が開示されている。ＢＧＡ積層半導体モジュールは、半導体チップを搭載した回路基板の複数個を所定の間隔で重ね合わせるように配置し、回路基板の表面及び裏面には複数の接続端子が形成されている。表面及び裏面の接続端子のそれぞれは必要に応じ電気的に導通し、回路基板の裏面の接続端子と次段の回路基板表面の接続端子同士がはんだバンプで電気的に接続されている。このようなＢＧＡ積層半導体モジュールにおいて、接続端子の一部は接続端子の面積を大きくすることにより信頼性を向上させたものである。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-124439 discloses a technique related to a BGA laminated semiconductor module. In the BGA laminated semiconductor module, a plurality of circuit boards on which semiconductor chips are mounted are arranged so as to overlap each other at a predetermined interval, and a plurality of connection terminals are formed on the front and back surfaces of the circuit board. Each of the connection terminals on the front surface and the back surface is electrically connected as necessary, and the connection terminals on the back surface of the circuit board and the connection terminals on the front surface of the circuit board are electrically connected by solder bumps. In such a BGA laminated semiconductor module, some of the connection terminals have improved reliability by increasing the area of the connection terminals.

さらに、特開２００３−２７３３２１号公報によれば、基板上に半導体チップが配設された基板構造体が複数積層されてなる半導体モジュールに関する技術が開示されている。この半導体モジュールは、絶縁性の上側基板と、絶縁性の下側基板と、複数の信号配線と、第１共通電位配線と、半導体チップと、支持基板と、第１接続導電層と、第２接続導電層と、第３接続導電層と、外部接続端子とを具備する。絶縁性の下側基板は、上側基板の下方に配設される。複数の信号配線は、上側及び下側基板上にそれぞれ配設される。第１共通電位配線は、信号配線のそれぞれを間隔をおいて囲うように上側及び下側基板上にそれぞれ配設される。半導体チップは、上側及び下側基板上にそれぞれ配設され、且つ信号配線及び第１共通電位配線と電気的に接続された電極パッドを有する。支持基板は、下側基板の下方に配設され、且つ下側基板と反対側の面上に配設された配線パターンを有する。第１接続導電層は、上側基板と下側基板との間に配設され、且つ上側及び下側基板上の信号配線を相互に電気的に接続する。第２接続導電層は、上側基板と下側基板との間に配設され、且つ上側及び下側基板上の第１共通電位配線を相互に電気的に接続する。第３接続導電層は、支持基板を貫通して配設され、第１及び第２接続導電層と、配線パターンとを電気的に接続する。外部接続端子は、配線パターン上に配設される。   Furthermore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-273321 discloses a technique related to a semiconductor module in which a plurality of substrate structures each having a semiconductor chip disposed on a substrate are stacked. The semiconductor module includes an insulating upper substrate, an insulating lower substrate, a plurality of signal wirings, a first common potential wiring, a semiconductor chip, a support substrate, a first connection conductive layer, a second A connection conductive layer, a third connection conductive layer, and an external connection terminal are provided. The insulating lower substrate is disposed below the upper substrate. The plurality of signal wirings are respectively disposed on the upper and lower substrates. The first common potential wiring is respectively disposed on the upper and lower substrates so as to surround each of the signal wirings with an interval. The semiconductor chip has electrode pads disposed on the upper and lower substrates, respectively, and electrically connected to the signal wiring and the first common potential wiring. The support substrate has a wiring pattern disposed below the lower substrate and disposed on a surface opposite to the lower substrate. The first connection conductive layer is disposed between the upper substrate and the lower substrate, and electrically connects the signal wirings on the upper and lower substrates to each other. The second connection conductive layer is disposed between the upper substrate and the lower substrate, and electrically connects the first common potential wirings on the upper and lower substrates to each other. The third connection conductive layer is disposed through the support substrate, and electrically connects the first and second connection conductive layers and the wiring pattern. The external connection terminal is disposed on the wiring pattern.

また、特開平５−５５４５０号公報によれば、メモリ装置ユニットを複数積層してなるメモリモジュールに関する技術が開示されている。メモリモジュールは、絶縁基板の一側表面に凹部を形成される。その凹部内にメモリチップを収納、配設されると共に、絶縁基板の表面の周縁部に接続端子を複数設けられる。メモリモジュールは、端子とメモリチップの電極とを夫々接続してなるメモリ装置ユニットを複数積層してなる。このメモリ装置ユニットの一つに電源強化用コンデンサ、及び終端抵抗が内蔵されている。   Japanese Laid-Open Patent Publication No. 5-55450 discloses a technique related to a memory module in which a plurality of memory device units are stacked. The memory module has a recess formed on one surface of the insulating substrate. The memory chip is housed and disposed in the recess, and a plurality of connection terminals are provided on the peripheral edge of the surface of the insulating substrate. The memory module is formed by stacking a plurality of memory device units each connecting a terminal and an electrode of a memory chip. One of the memory device units includes a power reinforcing capacitor and a termination resistor.

さらに、特開平６−３７２４６号公報によれば、絶縁基板上に電極配線を形成し、複数の半導体素子を搭載した構成における技術が開示されている。配線基板は、駆動半導体素子から近くにある受動半導体素子までの電極配線を高抵抗とし、駆動半導体素子から遠くにある受動半導体素子までの電極配線は低抵抗化されている。   Further, Japanese Patent Laid-Open No. 6-37246 discloses a technique in a configuration in which electrode wiring is formed on an insulating substrate and a plurality of semiconductor elements are mounted. In the wiring board, the electrode wiring from the driving semiconductor element to the nearby passive semiconductor element has a high resistance, and the electrode wiring from the driving semiconductor element to the passive semiconductor element far from the driving semiconductor element has a low resistance.

また、特開平８−５１１２７号公報によれば、積層半導体パッケージに関する技術が開示されている。積層半導体パッケージは、半導体チップと、複数の内部リードおよび外部リードと、フィルムキャリアの絶縁フィルムと、複数の半導体パッケージと、複数のフレームと、印刷回路基板とから成る。半導体チップは、複数のボンディングパッドを有する。フィルムキャリアの絶縁フィルムは、ボンディングパッドと内部リードを、バンプを介して電気的に連結して半導体チップを実装する。複数の半導体パッケージは、半導体チップの下面が露出するように半導体チップと内部リードを保護する成形樹脂とを有する。複数のフレームは、半導体パッケージを積層するために半導体パッケージのそれぞれの外部リードに電気的に連結される回路パターンを有する。印刷回路基板は、フレームのそれぞれの回路パターンに電気的に共通連結される接地用ランドパターンを有し、半導体チップの露出した下面の下方のランドパターン上に実装されるノイズ防止用キャパシタを有する。このような積層半導体パッケージにおいて、複数の導電性フィルムと、複数の接地端子とを備えたことを特徴とする技術である。複数の導電性フィルムは、半導体チップのそれぞれの露出した下部面上に形成される。複数の接地端子は、導電性フィルムのそれぞれに電気的に連結されるとともに印刷回路基板の接地用ランドパターンに電気的に共通連結される。   Japanese Patent Laid-Open No. 8-51127 discloses a technique related to a stacked semiconductor package. The laminated semiconductor package includes a semiconductor chip, a plurality of internal leads and external leads, an insulating film of a film carrier, a plurality of semiconductor packages, a plurality of frames, and a printed circuit board. The semiconductor chip has a plurality of bonding pads. The insulating film of the film carrier mounts a semiconductor chip by electrically connecting bonding pads and internal leads via bumps. The plurality of semiconductor packages have a semiconductor chip and a molding resin that protects the internal leads so that the lower surface of the semiconductor chip is exposed. The plurality of frames have circuit patterns that are electrically connected to respective external leads of the semiconductor package for stacking the semiconductor packages. The printed circuit board has a grounding land pattern electrically connected in common to each circuit pattern of the frame, and has a noise prevention capacitor mounted on the land pattern below the exposed lower surface of the semiconductor chip. In such a laminated semiconductor package, the technology includes a plurality of conductive films and a plurality of ground terminals. The plurality of conductive films are formed on each exposed lower surface of the semiconductor chip. The plurality of ground terminals are electrically connected to each of the conductive films and electrically commonly connected to the grounding land pattern of the printed circuit board.

さらに特開平１１−２６０９９９号公報によれば、積層半導体装置モジュールに関する技術が開示されている。積層半導体装置モジュールは、１または２以上の回路基板と、少なくとも１つの回路基板とを、球状金属接続部材で基板間を接続して積層してなる。１または２以上の回路基板は、上面または内部に半導体素子を搭載し、下面に球状金属接続部材を備える。少なくとも１つの回路基板は、上面に複数の受動部品を搭載し、下面に球状金属接続部材を備える。   Further, according to Japanese Patent Laid-Open No. 11-260999, a technique relating to a stacked semiconductor device module is disclosed. The laminated semiconductor device module is formed by laminating one or more circuit boards and at least one circuit board by connecting the substrates with a spherical metal connecting member. One or two or more circuit boards have a semiconductor element mounted on the upper surface or inside, and a spherical metal connecting member on the lower surface. At least one circuit board has a plurality of passive components mounted on the upper surface and a spherical metal connecting member on the lower surface.

特開２００３−７８１０９号公報JP 2003-78109 A 特開２００３−１２４４３９号公報JP 2003-124439 A 特開２００３−２７３３２１号公報JP 2003-273321 A 特開平５−５５４５０号公報JP-A-5-55450 特開平６−３７２４６号公報JP-A-6-37246 特開平８−５１１２７号公報JP-A-8-51127 特開平１１−２６０９９９号公報JP 11-260999 A

本発明の目的は、高速信号伝送システムに適用されても信号波形の劣化が少ない半導体装置モジュールとそれのための積層型半導体装置を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a semiconductor device module and a stacked semiconductor device for the semiconductor device module that have little signal waveform deterioration even when applied to a high-speed signal transmission system.

以下に、［発明を実施するための最良の形態］で使用される番号・符号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号・符号は、［特許請求の範囲］の記載と［発明を実施するための最良の形態］との対応関係を明らかにするために付加されたものである。ただし、それらの番号・符号を、［特許請求の範囲］に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。   Hereinafter, means for solving the problem will be described using the numbers and symbols used in [Best Mode for Carrying Out the Invention]. These numbers and symbols are added to clarify the correspondence between the description of [Claims] and [Best Mode for Carrying Out the Invention]. However, these numbers and symbols should not be used for the interpretation of the technical scope of the invention described in [Claims].

本発明の観点では、半導体装置モジュールは、配線基板（１１）と、前記配線基板（１１）上に設けられ、信号を出力する回路（３１）と、前記配線基板（１１）上に設けられ、前記信号にスタブレスに接続された複数の積層半導体装置（１０）とを具備する。前記複数の積層半導体装置（１０）の各々は、積層された複数の半導体チップ（１４）を具備し、前記複数の積層半導体装置のうち前記信号が最初に供給されるものとしての先頭積層半導体装置（ＤＲＡＭ１）の前記複数の半導体チップのうち前記配線基板（１１）から最も遠いものとしての最上位半導体チップのための前記信号の伝送経路にダンピングインピーダンス回路（２７，１０２，１０２’，１３０）が設けられている。
また、本発明の他の観点では、半導体装置モジュールは、配線基板（１１）と、前記配線基板（１１）上に設けられ、前記配線基板の外部から供給される信号にスタブレスに接続された複数の積層半導体装置（１０）とを具備する。前記複数の積層半導体装置（１０）の各々は、積層された複数の半導体チップ（１４）を具備し、前記複数の積層半導体装置（１０）のうち前記信号が最初に供給されるものとしての先頭積層半導体装置の前記複数の半導体チップのうち前記配線基板から最も遠いものとしての最上位半導体チップのための前記信号の伝送経路にダンピングインピーダンス回路（２７，１０２，１０２’，１３０）が設けられている
ここで、前記複数の積層半導体装置（１０）の各々は、積層半導体メモリであり、前記複数の半導体チップはメモリチップであってもよい。
また、前記ダンピングインピーダンス回路（２７，１０２，１０２’，１３０）は抵抗回路であってもよいし、キャパシタ回路であってもよい。
また、前記抵抗回路（２７，１０２，１０２’）は、前記配線基板（１１）上に設けられていてもよいし、前記先頭積層半導体装置（１０）内に設けられていてもよい。更に、前記抵抗回路（２７，１０２，１０２’）は、前記先頭積層半導体装置（１０）の前記最上位半導体チップ（１４−２）内に設けられていてもよい。
この場合、前記抵抗回路（２７，１０２，１０２’）は、高電位側電源と低電位側電源との間に直列に接続された第１抵抗（１０５）と第２抵抗（１０６）とを備え、前記第１抵抗（１０５）と前記第２抵抗（１０６）の接続ノードに前記信号の前記伝送経路が接続されていてもよい。
また、前記抵抗回路（２７，１０２，１０２’）は、高電位側電源に接続された第１と第２のスイッチ（１０４，１０９）と、低電位側電源に接続された第３と第４のスイッチ（１０７，１１２）と、前記第１と第３のスイッチ（１０４，１０７）の間に直列に接続された第１抵抗（１０５）と第２抵抗（１０６）と、前記第２と第４のスイッチ（１０９，１１２）の間に直列に接続された第３抵抗（１１０）と第４抵抗（１１１）とを具備してもよい。前記第１抵抗（１０５）と前記第２抵抗（１０６）の接続ノードと前記第３抵抗（１１０）と前記第４抵抗（１１１）の接続ノードとに前記信号の前記伝送経路が接続されており、第１制御信号に応答して前記第１と第３のスイッチ（１０４，１０７）はオンし、第２制御信号に応答して前記第２と第４のスイッチ（１０９，１１２）はオンすることが好ましい。
また、前記ダンピングインピーダンス回路は、キャパシタである前記信号の前記伝送経路と低電位側電源の間に接続されたキャパシタ（１３０）を具備してもよい。この場合、前記キャパシタ（１３０）は、前記先頭積層半導体装置（ＤＲＡＭ１）の前記最上位半導体チップ（１４−２）内に設けられていることが好ましい。 In an aspect of the present invention, the semiconductor device module is provided on the wiring board (11), the wiring board (11), a circuit (31) for outputting a signal, and the wiring board (11). A plurality of stacked semiconductor devices (10) connected to the signal in a stubless manner. Each of the plurality of stacked semiconductor devices (10) includes a plurality of stacked semiconductor chips (14), and the first stacked semiconductor device in which the signal is first supplied among the plurality of stacked semiconductor devices. A damping impedance circuit (27, 102, 102 ′, 130) is provided in the signal transmission path for the uppermost semiconductor chip as the one farthest from the wiring board (11) among the plurality of semiconductor chips of (DRAM1). Is provided.
In another aspect of the present invention, a semiconductor device module is provided on a wiring board (11) and a plurality of signals provided on the wiring board (11) and connected in a stubless manner to signals supplied from outside the wiring board. The laminated semiconductor device (10). Each of the plurality of stacked semiconductor devices (10) includes a plurality of stacked semiconductor chips (14), and the first of the plurality of stacked semiconductor devices (10) to which the signal is first supplied. A damping impedance circuit (27, 102, 102 ′, 130) is provided in the signal transmission path for the uppermost semiconductor chip as the one farthest from the wiring board among the plurality of semiconductor chips of the stacked semiconductor device. Here, each of the plurality of stacked semiconductor devices (10) may be a stacked semiconductor memory, and the plurality of semiconductor chips may be memory chips.
The damping impedance circuit (27, 102, 102 ′, 130) may be a resistance circuit or a capacitor circuit.
Further, the resistance circuit (27, 102, 102 ′) may be provided on the wiring board (11) or may be provided in the top stacked semiconductor device (10). Further, the resistance circuit (27, 102, 102 ′) may be provided in the uppermost semiconductor chip (14-2) of the top stacked semiconductor device (10).
In this case, the resistance circuit (27, 102, 102 ′) includes a first resistor (105) and a second resistor (106) connected in series between the high potential side power source and the low potential side power source. The transmission path of the signal may be connected to a connection node between the first resistor (105) and the second resistor (106).
The resistor circuit (27, 102, 102 ') includes first and second switches (104, 109) connected to a high potential side power source, and third and fourth switches connected to a low potential side power source. Switch (107, 112), a first resistor (105) and a second resistor (106) connected in series between the first and third switches (104, 107), and the second and second switches A third resistor (110) and a fourth resistor (111) connected in series between the four switches (109, 112) may be provided. The signal transmission path is connected to a connection node of the first resistor (105) and the second resistor (106) and a connection node of the third resistor (110) and the fourth resistor (111). The first and third switches (104, 107) are turned on in response to the first control signal, and the second and fourth switches (109, 112) are turned on in response to the second control signal. It is preferable.
The damping impedance circuit may include a capacitor (130) connected between the transmission path of the signal, which is a capacitor, and a low-potential side power source. In this case, it is preferable that the capacitor (130) is provided in the uppermost semiconductor chip (14-2) of the top stacked semiconductor device (DRAM1).

本発明の他の観点では、積層型半導体装置は、配線基板（１２−１，１３，１２）と、前記配線基板（１２−１，１３，１２）上に積層される複数の半導体チップ（１４−１，１４−２）と、前記複数の半導体チップ（１４−１，１４−２）のうち最上位に配置された最上位半導体チップ（１４−２）で使用される信号の伝送経路に設けられたダンピングインピーダンス回路（２７，１０２，１０２’，１３０）と、前記配線基板（１２−１，１３，１２）の下面に設けられた複数のボール状接続端子（１６）とを備えている。前記信号は、前記複数のボール状接続端子のうちの１つとしての特定ボール状接続端子（１６）を介して前記複数の半導体チップ（１４−１，１４−２）の各々に接続される。
ここで、前記ダンピングインピーダンス回路（２７，１０２，１０２’，１３０）は、抵抗回路（２７，１０２，１０２’）であってもよく、キャパシタ回路（１３０）であってもよい。
また、前記複数の半導体チップ（１４）のうち最下位に配置される最下位半導体チップ（１４−１）は、前記配線基板（１２−１，１３，１２）に実装され、前記信号は、前記最下位半導体チップ以外の前記複数の半導体チップに接続用端子（１７）により順番に電気的に接続され、前記抵抗回路（２７）は、前記配線基板の前記複数の半導体チップと反対側に設けられていてもよい。
また、前記信号を前記最下位半導体チップに接続する第１配線は、前記抵抗回路（２７）に接続されること無く前記特定ボール状接続端子（１６）に接続され、前記信号を前記最上位半導体チップ（１４−２）に接続する第２配線は、前記抵抗回路（２７）を介して前記特定ボール状接続端子（１６）に接続されていてもよい。この場合、前記抵抗回路（２７）を前記特定ボール状接続端子（１６）に接続する第３配線を更に具備してもよい。
前記信号を前記最下位半導体チップ（１４−１）に接続する第１配線は、前記抵抗回路（２７）を介して前記特定ボール状接続端子（１６）に接続され、前記信号を前記最上位半導体チップ（１４−２）に接続する第２配線は、前記抵抗回路（２７）を介して前記特定ボール状接続端子（１６）に接続されてもよい。この場合、前記抵抗回路（２７）を前記特定ボール状接続端子（１６）に接続する第３配線を更に具備してもよい。
また、前記抵抗回路（１０２，１０２’）は、前記最上位半導体チップ（１４−２）内に設けられていてもよい。この場合、前記抵抗回路（１０２，１０２’）は、高電位側電源と低電位側電源との間に直列に接続された第１抵抗（１０５）と第２抵抗（１０６）とを備え、前記第１抵抗（１０５）と前記第２抵抗（１０６）の接続ノードに前記信号の前記伝送経路が接続されている。
また、前記抵抗回路（１０２，１０２’）は、高電位側電源に接続された第１と第２のスイッチ（１０４，１０９）と、低電位側電源に接続された第３と第４のスイッチ（１０７，１１２）と、前記第１と第３のスイッチの間に直列に接続された第１抵抗と第２抵抗（１０５，１０６）と、前記第２と第４のスイッチの間に直列に接続された第３抵抗と第４抵抗（１１０，１１１）とを具備してもよい。前記第１抵抗と前記第２抵抗（１０５，１０６）の接続ノードと前記第３抵抗と前記第４抵抗（１１０，１１１）の接続ノードとに前記信号の前記伝送経路が接続されており、第１制御信号に応答して前記第１と第３のスイッチ（１０４，１０７）はオンし、第２制御信号に応答して前記第２と第４のスイッチ（１０９，１１２）はオンする。
また、前記ダンピングインピーダンス回路（２７，１０２，１０２’，１３０）は、キャパシタである前記信号の前記伝送経路と低電位側電源の間に接続されたキャパシタ（１３０）を具備してもよい。この場合、前記キャパシタ（１３０）は、前記最上位半導体チップ（１４−２）内に設けられていてもよい。 In another aspect of the present invention, a stacked semiconductor device includes a wiring board (12-1, 13, 12) and a plurality of semiconductor chips (14) stacked on the wiring board (12-1, 13, 12). -1, 14-2) and a signal transmission path used in the uppermost semiconductor chip (14-2) arranged at the uppermost of the plurality of semiconductor chips (14-1, 14-2). The damping impedance circuit (27, 102, 102 ', 130) and a plurality of ball-shaped connection terminals (16) provided on the lower surface of the wiring board (12-1, 13, 12). The signal is connected to each of the plurality of semiconductor chips (14-1, 14-2) via a specific ball-shaped connection terminal (16) as one of the plurality of ball-shaped connection terminals.
Here, the damping impedance circuit (27, 102, 102 ′, 130) may be a resistance circuit (27, 102, 102 ′) or a capacitor circuit (130).
The lowest semiconductor chip (14-1) arranged at the lowest of the plurality of semiconductor chips (14) is mounted on the wiring board (12-1, 13, 12), and the signal is The plurality of semiconductor chips other than the lowest semiconductor chip are electrically connected in order by connection terminals (17), and the resistance circuit (27) is provided on the opposite side of the wiring substrate from the plurality of semiconductor chips. It may be.
The first wiring for connecting the signal to the lowest-order semiconductor chip is connected to the specific ball-shaped connection terminal (16) without being connected to the resistance circuit (27), and the signal is connected to the highest-order semiconductor chip. The second wiring connected to the chip (14-2) may be connected to the specific ball-shaped connection terminal (16) via the resistance circuit (27). In this case, you may further comprise the 3rd wiring which connects the said resistance circuit (27) to the said specific ball-shaped connection terminal (16).
A first wiring for connecting the signal to the lowest-order semiconductor chip (14-1) is connected to the specific ball-shaped connection terminal (16) via the resistance circuit (27), and the signal is connected to the highest-order semiconductor chip. The second wiring connected to the chip (14-2) may be connected to the specific ball-shaped connection terminal (16) via the resistance circuit (27). In this case, you may further comprise the 3rd wiring which connects the said resistance circuit (27) to the said specific ball-shaped connection terminal (16).
The resistor circuit (102, 102 ′) may be provided in the uppermost semiconductor chip (14-2). In this case, the resistance circuit (102, 102 ′) includes a first resistor (105) and a second resistor (106) connected in series between a high potential side power source and a low potential side power source, The transmission path of the signal is connected to a connection node between the first resistor (105) and the second resistor (106).
The resistance circuit (102, 102 ') includes first and second switches (104, 109) connected to a high potential side power source, and third and fourth switches connected to a low potential side power source. (107, 112), a first resistor and a second resistor (105, 106) connected in series between the first and third switches, and a series between the second and fourth switches. A third resistor and a fourth resistor (110, 111) connected may be provided. The signal transmission path is connected to a connection node of the first resistor and the second resistor (105, 106) and a connection node of the third resistor and the fourth resistor (110, 111); In response to one control signal, the first and third switches (104, 107) are turned on, and in response to a second control signal, the second and fourth switches (109, 112) are turned on.
The damping impedance circuit (27, 102, 102 ′, 130) may include a capacitor (130) connected between the transmission path of the signal, which is a capacitor, and a low potential power source. In this case, the capacitor (130) may be provided in the uppermost semiconductor chip (14-2).

本発明によれば、高速伝送システムにおいて発生しやすい信号反射によるリンギングを低減し、信号波形の劣化が防止される積層型半導体装置および半導体装置モジュールを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a stacked semiconductor device and a semiconductor device module in which ringing due to signal reflection, which is likely to occur in a high-speed transmission system, is reduced and signal waveform deterioration is prevented.

以下に、本発明の半導体装置モジュールとしてのメモリモジュールとそのための積層型半導体装置としての積層メモリについて、添付図面を参照して詳細に説明する。
図３は、本発明の第１実施形態に係る積層メモリの構成を示す断面図である。図３（ａ）に示されるように、積層メモリでは、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）のパッケージ端子１６メモリモジュール基板（ＰＣＢ）１１上に積層メモリ（ｓｔａｃｋｅｄ ｍｅｍｏｒｙ）１０が搭載されている。こうして、積層メモリ１０は、パッケージ端子１６を介してメモリモジュール基板１１と電気的に接続されている。積層メモリ１０では、パッケージ基板１２−１上に搭載されたメモリチップ１４−１上に、メモリチップ１４−２が搭載されたパッケージ基板１２−２が設けられている。メモリチップ１４−１はパッケージ基板１２−１と電気的に接続されており、メモリチップ１４−２はパッケージ基板１２−２と電気的に接続されている。パッケージ基板１２−１と１２−２の各々は、絶縁層が上側信号層と下側グランド層で挟まれたメタル２層構造を有している。パッケージ基板１２−１と１２−２の各々の表面配線については後述する。パッケージ基板１２−１と１２−２は、それらの端部に設けられた接続ボール１７を介して電気的に接続されている。ここでは基板１２−１と１２−２間の接続は、接続ボール１７を介して行われているが、電気的に接続されていれば他の接続方法によるものであってもよい。 Hereinafter, a memory module as a semiconductor device module of the present invention and a stacked memory as a stacked semiconductor device therefor will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of the stacked memory according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3A, in the stacked memory, a stacked memory (stacked memory) 10 is mounted on a package terminal 16 memory module substrate (PCB) 11 of a BGA (Ball Grid Array). Thus, the stacked memory 10 is electrically connected to the memory module substrate 11 via the package terminals 16. In the stacked memory 10, a package substrate 12-2 on which a memory chip 14-2 is mounted is provided on a memory chip 14-1 mounted on the package substrate 12-1. The memory chip 14-1 is electrically connected to the package substrate 12-1, and the memory chip 14-2 is electrically connected to the package substrate 12-2. Each of the package substrates 12-1 and 12-2 has a metal two-layer structure in which an insulating layer is sandwiched between an upper signal layer and a lower ground layer. The surface wiring of each of the package substrates 12-1 and 12-2 will be described later. The package substrates 12-1 and 12-2 are electrically connected via connection balls 17 provided at their ends. Here, the connection between the substrates 12-1 and 12-2 is made via the connection ball 17, but other connection methods may be used as long as they are electrically connected.

図４は、積層メモリ１０の下段パッケージ基板１２−１の配線の概略を示す図である。図４（ａ）は、パッケージ基板１２−１の上側信号層の配線を示し、図４（ｂ）は、パッケージ基板１２−１の下側グランド層の配線を示している。
図４（ａ）に示されるように、パッケージ基板１２−１の信号層は、破線により示される配線領域３４とそれ以外の領域とを有している。パッケージ基板１２−１の信号層の端部には列状に、パッケージ基板１２−２に接続される接続ボール１７が配置されている。接続ボール１７の一部は配線領域３４に含まれている。配線信号領域３４には、一筆書き配線（スタブレス（ｓｔｕｂｌｅｓｓ）配線）されることが望ましいコマンド・アドレス信号、クロック信号が配線される。ここで、スタブレス配線とは全くスタブが存在しない配線ではなく、以下に説明する小さいスタブを除いてスタブが存在しない配線である。また、配線信号領域３４では、ボール端子１６に接続されるビアからメモリチップ１４−１のチップパッド１８−１まで信号線Ａが配線されている。また、抵抗器２７（図４（ｂ））に接続されるビア２４から接続ボール１７まで信号線Ｂが配線されている。また、スタブレス配線とは限らないデータ信号線３６などの信号線が配線領域３４外の領域で配線されている。 FIG. 4 is a diagram showing an outline of the wiring of the lower package substrate 12-1 of the stacked memory 10. As shown in FIG. 4A shows the wiring of the upper signal layer of the package substrate 12-1, and FIG. 4B shows the wiring of the lower ground layer of the package substrate 12-1.
As shown in FIG. 4A, the signal layer of the package substrate 12-1 has a wiring region 34 indicated by a broken line and other regions. Connection balls 17 connected to the package substrate 12-2 are arranged in a row at the end of the signal layer of the package substrate 12-1. A part of the connection ball 17 is included in the wiring region 34. In the wiring signal area 34, a command / address signal and a clock signal that are preferably wired with one stroke (stubless wiring) are wired. Here, the stubless wiring is not a wiring having no stub at all, but a wiring having no stub except for a small stub described below. In the wiring signal region 34, the signal line A is wired from the via connected to the ball terminal 16 to the chip pad 18-1 of the memory chip 14-1. A signal line B is wired from the via 24 connected to the resistor 27 (FIG. 4B) to the connection ball 17. In addition, signal lines such as data signal lines 36 that are not necessarily stubless wiring are wired outside the wiring area 34.

図４（ｂ）に示されるように、パッケージ基板１２−１のグランド層では、グランドプレーン３８がほぼ全面に広がっている。これにより、信号特性が安定化されている。信号層の配線領域３４に対応する開口部３５に必要な配線がなされている。グランド層にはボール端子１６と抵抗器２７が配置されている。ボール端子１６はビアにより信号層に接続されるとともに、抵抗器２７の一端に至る引き出し線３７が接続されている。抵抗器２７の他端は、ビア２４で信号層に接続されている。
こうして、グランド層のボール端子１６は、引出し線３７により抵抗器２７の一方の端子に接続され、抵抗器２７の他方の端子は、ビア２４を介してパッケージ基板１２−１の信号層の信号線Ｂに接続されている。信号線Ａはボール端子１６と下段メモリチップ１４のチップパッド（電極）列１８の１つのチップパッド１８−１を接続している。こうして、メモリモジュール基板１１からメモリチップ１４に信号が供給される。 As shown in FIG. 4B, in the ground layer of the package substrate 12-1, the ground plane 38 extends almost over the entire surface. Thereby, the signal characteristic is stabilized. Necessary wiring is made in the opening 35 corresponding to the wiring region 34 of the signal layer. A ball terminal 16 and a resistor 27 are disposed on the ground layer. The ball terminal 16 is connected to the signal layer by a via, and a lead line 37 reaching one end of the resistor 27 is connected. The other end of the resistor 27 is connected to the signal layer by a via 24.
Thus, the ball terminal 16 of the ground layer is connected to one terminal of the resistor 27 by the lead wire 37, and the other terminal of the resistor 27 is connected to the signal line of the signal layer of the package substrate 12-1 via the via 24. Connected to B. The signal line A connects the ball terminal 16 and one chip pad 18-1 in the chip pad (electrode) row 18 of the lower memory chip 14. Thus, a signal is supplied from the memory module substrate 11 to the memory chip 14.

図５は、積層メモリ１０の上段パッケージ基板１２−２の配線の概略を示す図である。図５（ａ）は、パッケージ基板１２−２の上側信号層の配線を示し、図５（ｂ）は、パッケージ基板１２−２の下側グランド層の配線を示す。
図５（ａ）に示されるように、パッケージ基板１２−２の信号層は、パッケージ基板１２−１の領域３４に対応する領域３４’と、その他の領域とを有している。パッケージ基板１２−２の信号層の領域３４’には、接続ボール１７に接続されるビアとチップパッド１８−２とを接続する信号線Ｃが配線される。信号線Ｃはスタブレス配線が望ましいコマンド・アドレス信号やクロック信号のための配線である。また、信号層の領域３４’以外の領域にはデータ信号を伝送するデータ信号配線３６も配線される。
図５（ｂ）に示されるように、パッケージ基板１２−２のグランド層は、接続ボール１７周辺とチップパッド１８−２周辺との開口部３５を除き、ほぼ全面がグランドプレーン３８となっている。 FIG. 5 is a diagram showing an outline of the wiring of the upper package substrate 12-2 of the stacked memory 10. As shown in FIG. 5A shows the wiring of the upper signal layer of the package substrate 12-2, and FIG. 5B shows the wiring of the lower ground layer of the package substrate 12-2.
As shown in FIG. 5A, the signal layer of the package substrate 12-2 has a region 34 ′ corresponding to the region 34 of the package substrate 12-1 and other regions. A signal line C that connects the via connected to the connection ball 17 and the chip pad 18-2 is wired in the signal layer region 34 ′ of the package substrate 12-2. The signal line C is a wiring for a command / address signal or a clock signal for which a stubless wiring is desirable. Further, a data signal wiring 36 for transmitting a data signal is also wired in an area other than the signal layer area 34 '.
As shown in FIG. 5B, the ground layer of the package substrate 12-2 is almost entirely the ground plane 38 except for the openings 35 around the connection balls 17 and the chip pads 18-2. .

上述のように、パッケージ基板１２−１のグランド層には抵抗器２７が搭載されている。抵抗器２７は、２０〜５０Ω程度の抵抗値をもつチップ抵抗である。抵抗器２７は、ボール端子（パッケージ端子）１６の付近に配置することができ、しかもパッケージ基板１２のサイズを増大させることはない。   As described above, the resistor 27 is mounted on the ground layer of the package substrate 12-1. The resistor 27 is a chip resistor having a resistance value of about 20 to 50Ω. The resistor 27 can be disposed near the ball terminal (package terminal) 16 and does not increase the size of the package substrate 12.

メモリモジュール基板１１上に配線される信号線２２は、ＢＧＡ構造のボール端子１６を介してパッケージ基板１２−１に接続される。ボール端子１６は、短い信号線Ａを介してパッケージ基板１２−１に搭載されるメモリチップ１４−１のチップパッド１８−１に接続される。また、ボール端子１６は、パッケージ基板１２−２上のメモリチップ１４−２にも接続される。まずボール端子１６は抵抗器２７を介してパッケージ基板１２−１の信号層の信号線Ｂに接続される。信号線Ｂは、接続ボール１７を介してパッケージ基板１２−２上の信号線Ｃに接続される。信号線Ｃは、メモリチップ１４−２のチップパッド１８−２に接続される。   A signal line 22 wired on the memory module substrate 11 is connected to the package substrate 12-1 via a ball terminal 16 having a BGA structure. The ball terminal 16 is connected to the chip pad 18-1 of the memory chip 14-1 mounted on the package substrate 12-1 via the short signal line A. The ball terminal 16 is also connected to the memory chip 14-2 on the package substrate 12-2. First, the ball terminal 16 is connected to the signal line B of the signal layer of the package substrate 12-1 through the resistor 27. The signal line B is connected to the signal line C on the package substrate 12-2 through the connection ball 17. The signal line C is connected to the chip pad 18-2 of the memory chip 14-2.

メモリモジュールの信号配線のトポロジは、図３（ｂ）に示されるようになる。メモリモジュール基板１１上の信号線２２は、積層メモリ１０内で２つに分岐される。一方は長さ３ｍｍの信号線Ａを経由してメモリチップ１４−１に接続される。他方は抵抗器２７に接続される。抵抗器２７の他端は、長さ５ｍｍの信号線Ｂと長さ６ｍｍの信号線Ｃを経由してメモリチップ１４−２に接続される。したがって、この経路では、信号線２２は、合計１１ｍｍの信号線を介してメモリチップ１４−２に接続されている。   The topology of the signal wiring of the memory module is as shown in FIG. The signal line 22 on the memory module substrate 11 is branched into two in the stacked memory 10. One is connected to the memory chip 14-1 via a signal line A having a length of 3 mm. The other is connected to the resistor 27. The other end of the resistor 27 is connected to the memory chip 14-2 via a signal line B having a length of 5 mm and a signal line C having a length of 6 mm. Therefore, in this path, the signal line 22 is connected to the memory chip 14-2 via a total of 11 mm signal lines.

図６は、積層メモリ１０の下段パッケージ基板１２−１のボール端子１６と、抵抗器２７と、信号線Ａおよび信号線Ｂとの接続における配線パターン例を示す図である。パッケージ基板１２−１のグランド層にボール端子１６と抵抗器２７が配置される。信号線Ａおよび信号線Ｂはパッケージ基板１２−１の信号層に配線される。したがって、ボール端子１６、抵抗器２７と、信号線Ａ、Ｂとはビアにより接続されている。即ち、パッケージ基板１２−１のグランド層では、ボール端子１６がランド４１−２に配置され、信号線２２と接続される。ランド４１−２にはビア２４−２が形成され、ランド４１−２はビア２４−２を介して信号層の信号線Ａに接続されている。信号線Ａは、チップパッド１８−１に接続されている。また、ランド４１−２は、引き出し線３７により抵抗器２７の一端に接続される。抵抗器２７の他端は、ランド４１−１に接続されている。ランド４１−１は、ビア２４−１を介して信号層の信号線Ｂに接続されている。信号線Ｂは接続ボール１７に接続されている。ここで、ボール端子１６は０．４５ｍｍ径程度のサイズである。抵抗器２７は、０６０３型であれば０．６ｍｍｘ０．３ｍｍｘ０．２３ｍｍ程度のサイズであり、抵抗器と端子ボールの大きさは同程度である。従って、この程度のサイズの抵抗器２７が使用されるのであれば、抵抗器の設置によりパッケージ基板サイズを増大させることはない。   FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a wiring pattern in the connection between the ball terminal 16, the resistor 27, the signal line A, and the signal line B of the lower package substrate 12-1 of the stacked memory 10. The ball terminal 16 and the resistor 27 are disposed on the ground layer of the package substrate 12-1. The signal line A and the signal line B are wired in the signal layer of the package substrate 12-1. Therefore, the ball terminal 16, the resistor 27, and the signal lines A and B are connected by vias. That is, in the ground layer of the package substrate 12-1, the ball terminal 16 is disposed on the land 41-2 and connected to the signal line 22. A via 24-2 is formed in the land 41-2, and the land 41-2 is connected to the signal line A of the signal layer through the via 24-2. The signal line A is connected to the chip pad 18-1. The land 41-2 is connected to one end of the resistor 27 by a lead wire 37. The other end of the resistor 27 is connected to the land 41-1. The land 41-1 is connected to the signal line B of the signal layer through the via 24-1. The signal line B is connected to the connection ball 17. Here, the ball terminal 16 is about 0.45 mm in diameter. In the case of the 0603 type, the resistor 27 has a size of about 0.6 mm × 0.3 mm × 0.23 mm, and the size of the resistor and the terminal ball is about the same. Therefore, if the resistor 27 having such a size is used, the package substrate size is not increased by installing the resistor.

次にこのような積層メモリ１０を一筆書き配線のメモリモジュールに使用した場合について説明する。   Next, a case where such a stacked memory 10 is used for a memory module with one-stroke wiring will be described.

図７は、高速伝送メモリモジュールに積層メモリ１０が適用された例を示す。メモリモジュールでは、メモリモジュール基板１１上に、積層メモリ１０のほか、コントローラ３１と終端回路３２が搭載される。この例では、メモリモジュール基板１１上に配置されているコントローラ３１から信号が供給されているが、基板１１の外部から信号が供給されてもよい。図７に示される例では、積層メモリ１０は、メモリモジュール基板１１の上側に４個、下側に５個搭載される。コントローラ３１に対応するメモリモジュール基板１１の下側に、コントローラ３１に最も近い積層メモリ１０がＤＲＡＭ１として配置される。終端回路３２に近いＤＲＡＭ５までメモリモジュール基板１１の両側にＤＲＡＭ２、ＤＲＡＭ３、ＤＲＡＭ４が順に配置されている。隣接する積層メモリ１０に接続されるビア２５間（例えばＤＲＡＭ２とＤＲＡＭ３の間）の配線長ＴＬ２は１４ｍｍである。また、コントローラ３１から、ＤＲＡＭ１に接続されるビア２５までの配線長ＴＬ０は２ｍｍである。各ビア２５と積層メモリ１０までの配線長ＴＬ１は３ｍｍである。ＤＲＡＭ５間のビア２５から終端回路３２までの配線長ＴＬ３は１５ｍｍである。これらの配線の特性インピーダンスＺｏは、６５Ωである。終端回路３２は２５Ωの抵抗器ＲＴであり、終端電圧ＶＴＴ（０．９Ｖ）に接続されている。コントローラ３１は、出力抵抗１８Ω、出力容量２．０ｐＦの出力回路を有し、立ち上がり／立ち下がり時間（ｔｒ／ｔｆ）が０．３ｎｓで振幅１．８Ｖのパルスを４００Ｍビット／秒の速度で送り出すものとする。 FIG. 7 shows an example in which the stacked memory 10 is applied to a high-speed transmission memory module. In the memory module, a controller 31 and a termination circuit 32 are mounted on the memory module substrate 11 in addition to the stacked memory 10. In this example, a signal is supplied from the controller 31 arranged on the memory module substrate 11, but a signal may be supplied from the outside of the substrate 11. In the example shown in FIG. 7, four stacked memories 10 are mounted on the upper side and five on the lower side of the memory module substrate 11. The stacked memory 10 closest to the controller 31 is disposed as the DRAM 1 below the memory module substrate 11 corresponding to the controller 31. DRAM 2, DRAM 3, and DRAM 4 are sequentially arranged on both sides of the memory module substrate 11 up to the DRAM 5 close to the termination circuit 32. A wiring length TL2 between vias 25 (for example, between DRAM2 and DRAM3) connected to the adjacent stacked memory 10 is 14 mm. The wiring length TL0 from the controller 31 to the via 25 connected to the DRAM 1 is 2 mm. The wiring length TL1 to each via 25 and the stacked memory 10 is 3 mm. The wiring length TL3 from the via 25 between the DRAMs 5 to the termination circuit 32 is 15 mm. The characteristic impedance Zo of these wirings is 65Ω. The termination circuit 32 is a resistor RT of 25Ω, and is connected to the termination voltage V TT (0.9V). The controller 31 has an output circuit with an output resistance of 18Ω and an output capacity of 2.0 pF, and sends out a pulse having a rise / fall time (tr / tf) of 0.3 ns and an amplitude of 1.8 V at a speed of 400 Mbit / sec. Shall.

図８（ａ）、（ｂ）は、図７に示される構成を有する高速伝送メモリモジュールにおいて、搭載される積層メモリとして従来の積層メモリが使用される場合のシミュレーション波形を示しす図である。図８（ａ）は、積層メモリ１０の上段メモリチップ１４−２における波形、図８（ｂ）は下段メモリチップ１４−１における波形を示す図である。ＤＲＡＭ１において特に大きなリンギング（オーバシュート）が見られる。
図９（ａ）、（ｂ）は、図７に示される構成を有する高速伝送メモリモジュールにおいて、搭載される積層メモリのうちＤＲＡＭ１のみ本発明による積層メモリ１０が搭載され、他の積層メモリには従来の積層メモリが使用される場合のシミュレーション波形を示した図である。図９（ａ）は、上段メモリチップ１４−２における波形、図９（ｂ）は下段メモリチップ１４−１における波形を示す図である。ＤＲＡＭ１において大きなリンキングが無くなり、図８（ａ），（ｂ）に比較し波形が改善されていることがわかる。
図１０（ａ）、（ｂ）は、図７に示される構成を有する高速伝送メモリモジュールにおいて、搭載される全ての積層メモリに本発明による積層メモリ１０が使用される場合のシミュレーション波形を示した図である。図１０（ａ）は、積層メモリ１０の上段メモリチップ１４−２における波形、図１０（ｂ）は下段メモリチップ１４−１における波形を示す図である。全てのメモリチップ１４において波形が改善されていることが判る。 FIGS. 8A and 8B are diagrams showing simulation waveforms when a conventional stacked memory is used as the mounted stacked memory in the high-speed transmission memory module having the configuration shown in FIG. 8A shows a waveform in the upper memory chip 14-2 of the stacked memory 10, and FIG. 8B shows a waveform in the lower memory chip 14-1. A particularly large ringing (overshoot) is observed in the DRAM 1.
9A and 9B show a high-speed transmission memory module having the configuration shown in FIG. 7, in which the stacked memory 10 according to the present invention is mounted only on the DRAM 1 among the mounted stacked memories. It is the figure which showed the simulation waveform when the conventional laminated memory is used. FIG. 9A shows a waveform in the upper memory chip 14-2, and FIG. 9B shows a waveform in the lower memory chip 14-1. It can be seen that there is no large linking in the DRAM 1, and the waveform is improved as compared with FIGS. 8 (a) and 8 (b).
FIGS. 10A and 10B show simulation waveforms in the case where the stacked memory 10 according to the present invention is used for all mounted stacked memories in the high-speed transmission memory module having the configuration shown in FIG. FIG. 10A shows a waveform in the upper memory chip 14-2 of the stacked memory 10, and FIG. 10B shows a waveform in the lower memory chip 14-1. It can be seen that the waveform is improved in all the memory chips 14.

このように、高速伝送メモリモジュールの積層メモリ１０において、コマンド・アドレス信号、クロック信号などに適用されるスタブレストポロジ配線に本発明が用いられた場合、信号線Ｂに接続されるように設けられた抵抗器２７がリンギングを抑え、信号波形の劣化が防止される。即ち、積層メモリへのコマンド・アドレス信号にスタブレストポロジ配線が用いられる場合、パッケージ基板内で上段メモリチップに接続される信号線は長いスタブを形成し、下段メモリチップへの信号線は短いスタブを形成する。本発明によれば、スタブの根元付近に抵抗器が配置され、これがダンピング抵抗として作用し、電流を抑えて信号反射を小さくする。この結果、リンギングが抑制されることができる。特に、コントローラに最も近い積層メモリでは波形の立ち上がりが急峻で大きなリンギングが起きやすいので、ここに抵抗器２７が使用されると効果が顕著に現れる。この場合、信号線Ｂに抵抗器２７を設けることにより、信号線Ａの長さが増大することはない。
さらに、パッケージ基板内に抵抗を搭載することにより、メモリモジュール基板上に抵抗器を配置する必要がなくなる。これにより、積層型でない標準的な平置きパッケージであるプレーナパッケージ用のメモリモジュールと設計互換性を保つことができる。したがって、メモリモジュール基板１１の配線の自由度を損なうことがないというメリットもある。
なお、以上の説明では主にスタブレス配線における効果について説明したが、ポイントトゥポイント配線においても効果があることは言うまでもない。
また、上記の例では、積層半導体装置としての積層メモリについて、２つのチップが存在する例が説明されたが、３つ以上のチップが存在してもよい。その場合、チップ１４−１は最下位チップとして、チップ１４−２は最上位チップとして考えればよい。最上位チップと最下位チップの間のチップは、必要により、最上位チップと同様にダンピング抵抗（インピーダンス）を設ければよい。これは以下の実施形態においても同様である。 As described above, in the stacked memory 10 of the high-speed transmission memory module, when the present invention is used for the stubless topology wiring applied to the command / address signal, the clock signal, etc., it is provided so as to be connected to the signal line B. Resistor 27 suppresses ringing and prevents signal waveform deterioration. That is, when a stubless topology wiring is used for a command / address signal to the stacked memory, a signal line connected to the upper memory chip in the package substrate forms a long stub, and a signal line to the lower memory chip is a short stub. Form. According to the present invention, a resistor is disposed near the base of the stub, which acts as a damping resistor, suppresses current and reduces signal reflection. As a result, ringing can be suppressed. In particular, in the stacked memory closest to the controller, the rise of the waveform is steep and large ringing is likely to occur. Therefore, when the resistor 27 is used here, the effect is remarkable. In this case, providing the resistor 27 for the signal line B does not increase the length of the signal line A.
Further, by mounting the resistor in the package substrate, it is not necessary to arrange a resistor on the memory module substrate. Thereby, the design compatibility with the memory module for the planar package which is a standard flat package which is not a stacked type can be maintained. Therefore, there is an advantage that the degree of freedom of wiring of the memory module substrate 11 is not impaired.
In the above description, the effect in the stubless wiring has been mainly described, but it goes without saying that the effect is also achieved in the point-to-point wiring.
In the above example, an example in which two chips exist for the stacked memory as the stacked semiconductor device has been described. However, three or more chips may exist. In that case, the chip 14-1 may be considered as the lowest chip, and the chip 14-2 may be considered as the highest chip. If necessary, the chip between the uppermost chip and the lowermost chip may be provided with a damping resistor (impedance) in the same manner as the uppermost chip. The same applies to the following embodiments.

図１１は、本発明の第２実施形態に係る積層型半導体装置としての積層メモリの構成を示す。図１１（ａ）に示されるように、メモリモジュール基板１１上に積層メモリ１０が配置されている。尚、第２実施形態において、第１実施形態と同じ参照番号は、第１実施形態と同じ構成要素を示す。以下の実施形態でも同様である。   FIG. 11 shows a configuration of a stacked memory as a stacked semiconductor device according to the second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 11A, the stacked memory 10 is arranged on the memory module substrate 11. In the second embodiment, the same reference numerals as those in the first embodiment denote the same components as those in the first embodiment. The same applies to the following embodiments.

第２実施形態のメモリモジュールを簡単に説明すると、積層メモリ１０は、メモリチップ１４−１が搭載されたパッケージ基板１２−１の上に、メモリチップ１４−２が搭載されたパッケージ基板１２−２が、搭載されている。パッケージ基板１２−１と１２−２は、端部に設けられた接続ボール１７を介して電気的に接続されている。下段のパッケージ基板１２−１は、ＢＧＡのパッケージ端子１６を有し、メモリモジュール基板１１と電気的に接続されている。ここではパッケージ基板１２−１と１２−２間の接続は、接続ボール１７を介して行われているが、電気的に接続されていれば他の接続方法によるものであってもよい。   The memory module according to the second embodiment will be briefly described. The stacked memory 10 includes a package substrate 12-2 on which a memory chip 14-2 is mounted on a package substrate 12-1 on which a memory chip 14-1 is mounted. Is installed. The package substrates 12-1 and 12-2 are electrically connected via connection balls 17 provided at the ends. The lower package substrate 12-1 has a BGA package terminal 16 and is electrically connected to the memory module substrate 11. Here, the connection between the package substrates 12-1 and 12-2 is made via the connection balls 17, but other connection methods may be used as long as they are electrically connected.

パッケージ基板１２（１２−１，１２−２）は、両面に金属配線層を有する構造を有する。であり、信号配線は、グランド層により伝送線構造を有している。パッケージ基板１２の下側において、信号配線、開口部以外の部分はグランド層２１で覆われ、信号特性が安定化されている。ビア２４は、パッケージ基板１２の下側信号線と上側信号線を接続している。パッケージ基板１２の信号層の信号線は、メモリチップ１４のチップパッド（電極）１８に接続され、メモリチップ１４に信号が供給される。また、パッケージ基板１２−１には抵抗器２７が搭載されている。この抵抗器２７は、２０〜５０Ω程度の抵抗値をもつチップ抵抗であり、パッケージ基板１２−１のメモリチップ１４−１と反対側に配置されている。この結果、抵抗器２７はボール端子（パッケージ端子）１６の付近に配置されることができ、しかもパッケージ基板１２のサイズを増大させることはない。   The package substrate 12 (12-1, 12-2) has a structure having metal wiring layers on both sides. The signal wiring has a transmission line structure with a ground layer. On the lower side of the package substrate 12, the portions other than the signal wiring and the opening are covered with the ground layer 21, and the signal characteristics are stabilized. The via 24 connects the lower signal line and the upper signal line of the package substrate 12. The signal line of the signal layer of the package substrate 12 is connected to the chip pad (electrode) 18 of the memory chip 14, and a signal is supplied to the memory chip 14. A resistor 27 is mounted on the package substrate 12-1. The resistor 27 is a chip resistor having a resistance value of about 20 to 50Ω, and is disposed on the opposite side of the package substrate 12-1 from the memory chip 14-1. As a result, the resistor 27 can be disposed in the vicinity of the ball terminal (package terminal) 16 and does not increase the size of the package substrate 12.

メモリモジュール基板１１上の信号線２２は、ＢＧＡ構造のパッケージ端子であるボール端子１６を介してパッケージ基板１２−１の下側信号線に接続される。その下側信号は、抵抗器２７の一端に接続されている。抵抗器２７の他端は、ビア２４を含むランドに配置されている。こうして、抵抗器２７の他端は、ビア２４を介してパッケージ基板１２−１の上側信号線Ａと信号線Ｂに接続されている。信号線Ａは、メモリチップ１４−１のチップパッド１８−１に接続されている。信号線Ｂは、接続ボール１７を介して上段のパッケージ基板１２−２のランドに接続され、そのランドに接続されるビアを介して上段のパッケージ基板１２−２の信号層の信号線Ｃに接続されている。信号線Ｃは、ビアからメモリチップ１４−２のチップパッド１８−２に接続されている。   The signal line 22 on the memory module substrate 11 is connected to the lower signal line of the package substrate 12-1 via the ball terminal 16 which is a package terminal having a BGA structure. The lower signal is connected to one end of the resistor 27. The other end of the resistor 27 is disposed on the land including the via 24. Thus, the other end of the resistor 27 is connected to the upper signal line A and the signal line B of the package substrate 12-1 through the via 24. The signal line A is connected to the chip pad 18-1 of the memory chip 14-1. The signal line B is connected to the land of the upper package substrate 12-2 via the connection ball 17, and connected to the signal line C of the signal layer of the upper package substrate 12-2 via a via connected to the land. Has been. The signal line C is connected to the chip pad 18-2 of the memory chip 14-2 from the via.

第２実施形態のメモリモジュールにおける信号配線のトポロジは、図１１（ｂ）に示されるようになる。信号線２２は、積層メモリ１０の抵抗器２７に接続される。抵抗器２７は、２０Ω程度の抵抗値を有するチップ抵抗である。抵抗器２７の他端において、信号線は２本に分岐する。一方は、長さ６ｍｍの信号線Ａを経由してメモリチップ１４−１に接続されている。他方は、長さ５ｍｍの信号線Ｂと長さ６ｍｍの信号線Ｃを経由してメモリチップ１４−２に接続されている。したがって、この経路は、合計１１ｍｍの信号線を介してメモリチップ１４−２に接続されている。このように配線により、抵抗器２７が信号線Ｂと信号線Ｃによる長いスタブと、信号線Ａによる短いスタブとの両方に効果が得られる。   The topology of the signal wiring in the memory module of the second embodiment is as shown in FIG. The signal line 22 is connected to the resistor 27 of the stacked memory 10. The resistor 27 is a chip resistor having a resistance value of about 20Ω. At the other end of the resistor 27, the signal line branches into two. One is connected to the memory chip 14-1 via a signal line A having a length of 6 mm. The other is connected to the memory chip 14-2 via a signal line B having a length of 5 mm and a signal line C having a length of 6 mm. Therefore, this path is connected to the memory chip 14-2 via a total of 11 mm signal lines. In this way, the resistor 27 is effective for both the long stub formed by the signal line B and the signal line C and the short stub formed by the signal line A.

図１２は、積層メモリ１０の下段パッケージ基板１２−１のボール端子１６と、抵抗器２７と、信号線Ａおよび信号線Ｂとの接続における配線パターンの例を示す図である。パッケージ基板１２−１のグランド層にボール端子１６と抵抗器２７が配置される。信号線Ａと信号線Ｂは信号層に配線される。したがって、ボール端子１６、抵抗器２７と、信号線Ａ、Ｂとはビアにより接続されることになる。グランド層では、ボール端子１６がランド４１−２に配置され、信号線２２と接続される。引き出し線３７は、ランド４１−２から抵抗器２７の一端が配置されるランドまで配線される。ランド４１−１は、抵抗器２７の他端の位置に配置される。ランド４１−１は、その領域内にビア２４を備え、ビア２４を介して信号層の信号線Ａおよび信号線Ｂに接続される。信号線Ａは、信号層においてチップパッド１８−１まで配線される。信号線Ｂは、信号層において上段のパッケージ基板１２−２に接続させるための接続ボール１７まで配線される。抵抗器２７は、第１実施形態と同様に、０６０３型チップ抵抗が用いられる。そのため、抵抗器と端子ボールの大きさは同程度であり、抵抗器の設置によりパッケージ基板サイズを増大させることはない。   FIG. 12 is a diagram illustrating an example of a wiring pattern in connection between the ball terminal 16, the resistor 27, the signal line A, and the signal line B of the lower package substrate 12-1 of the stacked memory 10. The ball terminal 16 and the resistor 27 are disposed on the ground layer of the package substrate 12-1. The signal lines A and B are wired in the signal layer. Therefore, the ball terminal 16, the resistor 27, and the signal lines A and B are connected by vias. In the ground layer, the ball terminal 16 is disposed on the land 41-2 and connected to the signal line 22. The lead line 37 is wired from the land 41-2 to the land where one end of the resistor 27 is disposed. The land 41-1 is disposed at the other end of the resistor 27. The land 41-1 includes a via 24 in the region, and is connected to the signal line A and the signal line B of the signal layer through the via 24. The signal line A is wired to the chip pad 18-1 in the signal layer. The signal line B is wired up to the connection ball 17 for connection to the upper package substrate 12-2 in the signal layer. As in the first embodiment, the resistor 27 is a 0603 type chip resistor. Therefore, the size of the resistor and the terminal ball are approximately the same, and the package substrate size is not increased by the installation of the resistor.

図１３（ａ），（ｂ）、図１４（ａ），（ｂ）は、第１実施形態と同様に、図７に示されるように積層メモリをメモリモジュールに適用した場合の上段のメモリチップ１４−２と下段のメモリチップ１４−１のシミュレーション波形を示す図である。図１３（ａ），（ｂ）は、コントローラに最も近いＤＲＡＭ１のみ本発明による積層メモリ１０を搭載し、他の積層メモリに従来の積層メモリを搭載した場合のシミュレーション波形を示す図である。ＤＲＡＭ１において大きなリンキングが無くなり、図８（ａ），（ｂ）に比較し波形が改善されていることがわかる。
図１４（ａ），（ｂ）は、全ての積層メモリ１０に本発明による積層メモリ１０が適用される場合のシミュレーション波形を示した図である。図１４（ａ）は、積層メモリ１０の上段メモリチップ１４−２における波形、図１４（ｂ）は下段メモリチップ１４−１における波形を示す図である。全てのメモリチップ１４において波形が改善されていることが判る。 FIGS. 13A, 13B, 14A, and 14B show the upper memory chip when the stacked memory is applied to the memory module as shown in FIG. 7, as in the first embodiment. It is a figure which shows the simulation waveform of 14-2 and lower memory chip 14-1. FIGS. 13A and 13B are diagrams showing simulation waveforms when the stacked memory 10 according to the present invention is mounted only on the DRAM 1 closest to the controller and the conventional stacked memory is mounted on another stacked memory. It can be seen that there is no large linking in the DRAM 1, and the waveform is improved as compared with FIGS. 8 (a) and 8 (b).
14A and 14B are diagrams showing simulation waveforms when the stacked memory 10 according to the present invention is applied to all the stacked memories 10. 14A shows a waveform in the upper memory chip 14-2 of the stacked memory 10, and FIG. 14B shows a waveform in the lower memory chip 14-1. It can be seen that the waveform is improved in all the memory chips 14.

このように、高速伝送メモリモジュールの積層メモリ１０のコマンド・アドレス信号、クロック信号などに本発明のスタブレストポロジ配線が用いられる場合、抵抗器２７によりリンギングが抑制され、信号波形の劣化が防止されている。即ち、積層メモリのコマンド・アドレス信号にスタブレストポロジ配線が用いられる場合、パッケージ基板内で上段メモリチップに接続される信号線が長いスタブが形成され、下段メモリチップへの信号配線は短いスタブが形成される。本発明によれば、このスタブの根元付近に抵抗器が配置され、これがダンピング抵抗として作用し、電流を抑えて信号反射を小さくする。この結果、リンギングが抑制されることができる。特に、コントローラに最も近い積層メモリでは波形の立ち上がりが急峻で大きなリンギングが起きやすいので、ここに使用すると効果が顕著に現れる。
また、パッケージ基板内に抵抗を搭載することにより、メモリモジュール基板１１上に抵抗器を配置する必要がない。そのため、積層型でない標準的な平置きパッケージであるプレーナパッケージ用のメモリモジュールと設計互換性を保つことができる。したがって、モジュール基板上の配線の自由度を損なうことがないというメリットもある。
なお、以上の説明では主にスタブレス配線における効果について説明したが、ポイントトゥポイント配線においても効果があることは言うまでもない。 Thus, when the stubless topology wiring of the present invention is used for the command / address signal, clock signal, etc. of the stacked memory 10 of the high-speed transmission memory module, ringing is suppressed by the resistor 27 and deterioration of the signal waveform is prevented. ing. That is, when a stubless topology wiring is used for the command / address signal of the stacked memory, a long stub is formed in the package substrate, and a short stub is formed in the signal wiring to the lower memory chip. It is formed. According to the present invention, a resistor is disposed near the root of the stub, which acts as a damping resistor, suppresses current and reduces signal reflection. As a result, ringing can be suppressed. In particular, in the stacked memory closest to the controller, the waveform rises sharply and large ringing is likely to occur.
Moreover, it is not necessary to arrange a resistor on the memory module substrate 11 by mounting a resistor in the package substrate. Therefore, the design compatibility with the memory module for the planar package which is a standard flat package which is not a stacked type can be maintained. Therefore, there is an advantage that the degree of freedom of wiring on the module substrate is not impaired.
In the above description, the effect in the stubless wiring has been mainly described, but it goes without saying that the effect is also achieved in the point-to-point wiring.

図１５は、本発明の第３実施形態に係る積層型半導体装置としてのメモリモジュールの構成を示す。図１５（ａ）に示されるように、メモリモジュール基板１１上に積層メモリ１０が配置され、積層メモリ１０内の配線とメモリモジュール基板１１上の信号線２２とは、ボール端子１６により接続される。ボール端子１６は、ＢＧＡを構成する。   FIG. 15 shows a configuration of a memory module as a stacked semiconductor device according to the third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 15A, the stacked memory 10 is disposed on the memory module substrate 11, and the wiring in the stacked memory 10 and the signal line 22 on the memory module substrate 11 are connected by the ball terminal 16. . The ball terminal 16 constitutes a BGA.

積層メモリ１０は、メモリチップ１４−１が搭載されたパッケージ基板１２−１の上に、メモリチップ１４−２が搭載されたパッケージ基板１２−２が、搭載されている。パッケージ基板１２−１と１２−２は端部に並べられた接続ボール１７を介して接続されている。下段のパッケージ基板１２−１は、ＢＧＡのパッケージ端子１６を有し、メモリモジュール基板１１の信号線と接続されている。ここではパッケージ基板１２−１と１２−２間の接続は、接続ボール１７を介して行われているが、電気的に接続されていれば他の接続方法によるものであってもよい。   In the stacked memory 10, a package substrate 12-2 on which a memory chip 14-2 is mounted is mounted on a package substrate 12-1 on which a memory chip 14-1 is mounted. The package substrates 12-1 and 12-2 are connected via connection balls 17 arranged at the ends. The lower package substrate 12-1 has a BGA package terminal 16 and is connected to a signal line of the memory module substrate 11. Here, the connection between the package substrates 12-1 and 12-2 is made via the connection balls 17, but other connection methods may be used as long as they are electrically connected.

パッケージ基板１２の下側において、信号配線、開口部以外の部分はグランド層２１で覆われ、信号特性が安定化されている。パッケージ基板１２（１２−１，１２−２）の下側と上側の信号線はビア２４により接続されている。パッケージ基板１２の信号層の信号線は、メモリチップ１４のチップパッド１８に接続され、メモリチップ１４に信号が供給される。また、パッケージ基板１２−１の下側には抵抗器２７が搭載される。この抵抗器２７は、２０〜５０Ω程度の抵抗値をもつチップ抵抗であり、パッケージ基板１２−１のメモリチップ１４−１と反対側の面に配置される。このようにするとボール端子（パッケージ端子）１６の付近に配置することができ、しかもパッケージ基板１２のサイズを増大させることはない。   On the lower side of the package substrate 12, the portions other than the signal wiring and the opening are covered with the ground layer 21, and the signal characteristics are stabilized. The lower and upper signal lines of the package substrate 12 (12-1, 12-2) are connected by vias 24. The signal line of the signal layer of the package substrate 12 is connected to the chip pad 18 of the memory chip 14 and a signal is supplied to the memory chip 14. A resistor 27 is mounted on the lower side of the package substrate 12-1. The resistor 27 is a chip resistor having a resistance value of about 20 to 50Ω, and is disposed on the surface of the package substrate 12-1 opposite to the memory chip 14-1. In this way, the ball terminal (package terminal) 16 can be disposed in the vicinity, and the size of the package substrate 12 is not increased.

メモリモジュール基板１１上の信号線２２は、ＢＧＡ構造のパッケージ端子であるボール端子１６を介してパッケージ基板１２−１の下側の信号線に接続される。ボール端子１６は、パッケージ基板１２−１のグランド層２１−１の信号線Ｂにより抵抗器２７の一端に接続される。また、ボール端子１６の近傍にあるビアによりパッケージ基板１２−１の上側の信号線Ａに接続される。信号線Ａはメモリチップ１４−１のチップパッド１８−１に接続されている。抵抗器２７の他端は、ビア２４を含むランドに接続されている。抵抗器２７の他端は、ビア２４を介してパッケージ基板１２−１の上側の接続ボール１７に接続される。パッケージ基板１２−２の信号層の信号線Ｃは、ビアを介して接続ボール１７に接続され、またメモリチップ１４−２のチップパッド１８−２に接続されている。本実施形態では、抵抗器２７が接続ボール１７の配置位置に重なるように配置されている。従って、抵抗器のために余分に領域を必要としない。   The signal line 22 on the memory module substrate 11 is connected to the lower signal line of the package substrate 12-1 via the ball terminal 16 which is a package terminal having a BGA structure. The ball terminal 16 is connected to one end of the resistor 27 by the signal line B of the ground layer 21-1 of the package substrate 12-1. Further, vias located near the ball terminal 16 are connected to the signal line A on the upper side of the package substrate 12-1. The signal line A is connected to the chip pad 18-1 of the memory chip 14-1. The other end of the resistor 27 is connected to a land including the via 24. The other end of the resistor 27 is connected to the connection ball 17 on the upper side of the package substrate 12-1 through the via 24. The signal line C of the signal layer of the package substrate 12-2 is connected to the connection ball 17 through the via and also connected to the chip pad 18-2 of the memory chip 14-2. In the present embodiment, the resistor 27 is disposed so as to overlap the position where the connection ball 17 is disposed. Therefore, no extra area is required for the resistor.

第３実施形態の積層メモリの信号配線のトポロジは、図１５（ｂ）に示されるようになる。メモリモジュール基板１１上の信号線２２は、積層メモリ１０に接続され、２本に分岐する。一方は長さ３ｍｍの信号線Ａによりメモリチップ１４−１に接続される。他方は長さ５ｍｍの信号線Ｂにより抵抗器２７に接続される。抵抗器２７は、２０Ω程度の抵抗値を有するチップ抵抗である。抵抗器２７の他端は、長さ６ｍｍの信号線Ｃを経由してメモリチップ１４−２に接続される。
このように、抵抗器２７は、下段パッケージ基板１２−１の接続ボール１７と反対側に設置される。これによりメモリチップ１４が小型化した場合にもパッケージ基板１２上に占有面積をとらずに抵抗器２７を設置することができ、積層メモリ１０の小型化が実現できる。 The topology of the signal wiring of the stacked memory according to the third embodiment is as shown in FIG. The signal line 22 on the memory module substrate 11 is connected to the stacked memory 10 and branches into two. One is connected to the memory chip 14-1 by a signal line A having a length of 3 mm. The other is connected to the resistor 27 by a signal line B having a length of 5 mm. The resistor 27 is a chip resistor having a resistance value of about 20Ω. The other end of the resistor 27 is connected to the memory chip 14-2 via a signal line C having a length of 6 mm.
Thus, the resistor 27 is installed on the side opposite to the connection ball 17 of the lower package substrate 12-1. Thus, even when the memory chip 14 is downsized, the resistor 27 can be installed on the package substrate 12 without taking up an occupied area, and the stacked memory 10 can be downsized.

図１６は、本発明の第４実施形態に係る積層型半導体装置の構成を示す。図１６（ａ）に示されるように、メモリモジュール基板１１上に積層メモリ１０が配置され、積層メモリ１０内の配線とメモリモジュール基板１１上の外部配線２２とは、ボール端子１６により接続される。ボール端子１６は、ＢＧＡを構成する。   FIG. 16 shows the configuration of the stacked semiconductor device according to the fourth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 16A, the stacked memory 10 is arranged on the memory module substrate 11, and the wiring in the stacked memory 10 and the external wiring 22 on the memory module substrate 11 are connected by the ball terminals 16. . The ball terminal 16 constitutes a BGA.

積層メモリ１０では、メモリチップ１４−１が搭載されたパッケージ基板１２−１の上に、メモリチップ１４−２が搭載されたパッケージ基板１２−２が載置される。パッケージ基板１２−１と１２−２は、その端部に並べられた接続ボール１７を介して接続されている。下段のパッケージ基板１２−１は、ＢＧＡのパッケージ端子１６を有し、それを介してメモリモジュール基板１１と接続されている。ここではパッケージ基板１２−１と１２−２間の接続は、接続ボール１７を介して行われているが、電気的に接続されていれば他の接続方法が採用されてもよい。   In the stacked memory 10, the package substrate 12-2 on which the memory chip 14-2 is mounted is placed on the package substrate 12-1 on which the memory chip 14-1 is mounted. The package substrates 12-1 and 12-2 are connected via connection balls 17 arranged at the end portions. The lower package substrate 12-1 has a BGA package terminal 16 and is connected to the memory module substrate 11 through the package terminal 16. Here, the connection between the package substrates 12-1 and 12-2 is made via the connection balls 17, but other connection methods may be adopted as long as they are electrically connected.

パッケージ基板１２の下側において、信号配線、開口部以外の部分はグランド層２１で覆われ、信号特性が安定化されている。ビア２４はパッケージ基板１２の下側と上側の信号線を接続している。パッケージ基板１２の信号層の信号線は、メモリチップ１４のチップパッド１８に接続され、メモリチップ１４に信号が供給される。また、パッケージ基板１２−１には抵抗器２７が搭載される。この抵抗器２７は、２０〜５０Ω程度の抵抗値をもつチップ抵抗であり、パッケージ基板１２−１のメモリチップ１４−１と反対側の面に配置される。この場合、抵抗器２７は、ボール端子１６の付近に配置することができ、しかもパッケージ基板１２のサイズを増大させることはない。   On the lower side of the package substrate 12, the portions other than the signal wiring and the opening are covered with the ground layer 21, and the signal characteristics are stabilized. The via 24 connects the lower and upper signal lines of the package substrate 12. The signal line of the signal layer of the package substrate 12 is connected to the chip pad 18 of the memory chip 14 and a signal is supplied to the memory chip 14. A resistor 27 is mounted on the package substrate 12-1. The resistor 27 is a chip resistor having a resistance value of about 20 to 50Ω, and is disposed on the surface of the package substrate 12-1 opposite to the memory chip 14-1. In this case, the resistor 27 can be disposed in the vicinity of the ball terminal 16 and does not increase the size of the package substrate 12.

メモリモジュール基板１１上の信号線２２は、ＢＧＡ構造のパッケージ端子であるボール端子１６を介してパッケージ基板１２−１のグランド層の信号線Ｂに接続される。その信号線Ｂは抵抗器２７の一端に接続されている。抵抗器２７の他端は、ビア２４を介してパッケージ基板１２−１の上側の接続ボール１７に接続される。そのビア２４には、パッケージ基板１２−１の上側の信号層の信号線Ａが接続されている。信号線Ａは、メモリチップ１４−１のチップパッド１８−１まで配線される。このとき、パッケージ基板１２−１の接続ボール１７と反対側に抵抗器２７が配置される。このようにすると、抵抗器２７の配置位置が接続ボール１７の配置位置に重なり、余分に領域を必要としない。パッケージ基板１２−２のグランド層の信号線Ｃは、ビアを介して接続ボール１７に接続され、またモリチップ１４−２のチップパッド１８−２に接続されている。   The signal line 22 on the memory module substrate 11 is connected to the signal line B on the ground layer of the package substrate 12-1 via the ball terminal 16 which is a package terminal having a BGA structure. The signal line B is connected to one end of the resistor 27. The other end of the resistor 27 is connected to the connection ball 17 on the upper side of the package substrate 12-1 through the via 24. The via 24 is connected to the signal line A of the upper signal layer of the package substrate 12-1. The signal line A is wired to the chip pad 18-1 of the memory chip 14-1. At this time, the resistor 27 is disposed on the side opposite to the connection ball 17 of the package substrate 12-1. In this way, the arrangement position of the resistor 27 overlaps with the arrangement position of the connection ball 17, and no extra area is required. The signal line C in the ground layer of the package substrate 12-2 is connected to the connection ball 17 through a via and is connected to the chip pad 18-2 of the memory chip 14-2.

信号配線のトポロジは、図１６（ｂ）に示されるようになる。信号線２２は、積層メモリ１０の信号線Ｂに接続される。長さ２ｍｍの信号線Ｂは、信号線２２から抵抗器２７の一端まで延びている。抵抗器２７の他端から信号線は２つに分岐する。一方は、長さ６ｍｍの信号線Ａを経由し、メモリチップ１４−１に接続される。他方は、長さ６ｍｍの信号線Ｃによりメモリチップ１４−２に接続される。   The topology of the signal wiring is as shown in FIG. The signal line 22 is connected to the signal line B of the stacked memory 10. The signal line B having a length of 2 mm extends from the signal line 22 to one end of the resistor 27. The signal line branches into two from the other end of the resistor 27. One is connected to the memory chip 14-1 via the signal line A having a length of 6 mm. The other is connected to the memory chip 14-2 by a signal line C having a length of 6 mm.

このように、抵抗器２７が下段パッケージ基板１２−１の接続ボール１７の反対側に設置される。これによりメモリチップ１４が小型化した場合にもパッケージ基板１２上に占有面積をとらずに抵抗器２７を設置することができ、積層メモリ１０の小型化が実現できる。   Thus, the resistor 27 is installed on the opposite side of the connection ball 17 of the lower package substrate 12-1. Thus, even when the memory chip 14 is downsized, the resistor 27 can be installed on the package substrate 12 without taking up an occupied area, and the stacked memory 10 can be downsized.

図１７は、本発明の第５実施形態に係る積層型半導体装置としてのメモリモジュールの構成を示す。図１７（ａ）に示されるように、第５実施形態では、メモリモジュールは、フレキシブルテープ基板を用いる積層メモリを使用する。メモリモジュール基板１１上に積層メモリ１０が配置され、積層メモリ１０内の配線とメモリモジュール基板１１上の信号線２２とは、ボール端子１６により接続される。ボール端子１６は、ＢＧＡを構成する。   FIG. 17 shows a configuration of a memory module as a stacked semiconductor device according to the fifth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 17A, in the fifth embodiment, the memory module uses a stacked memory using a flexible tape substrate. The stacked memory 10 is disposed on the memory module substrate 11, and the wiring in the stacked memory 10 and the signal line 22 on the memory module substrate 11 are connected by the ball terminal 16. The ball terminal 16 constitutes a BGA.

積層メモリ１０内のメモリチップ１４−１とメモリチップ１４−２とは、フレキシブルテープ基板１３に搭載され、互いに接続されている。フレキシブルテープ基板１３には印刷抵抗５０が配置され、信号線が接続される。フレキシブルテープ基板１３は、可撓であり、１枚のフレキシブルテープ基板１３を湾曲させることによりメモリチップ１４−１とメモリチップ１４−２とが搭載される。したがって、ボール端子１６から上段のメモリチップ１４−２のチップパッド１８−２まで連続したテープで接続される。このため、上記実施形態と異なり、接続ボール１７は不要となる。   The memory chip 14-1 and the memory chip 14-2 in the stacked memory 10 are mounted on the flexible tape substrate 13 and connected to each other. A printing resistor 50 is disposed on the flexible tape substrate 13 and a signal line is connected thereto. The flexible tape substrate 13 is flexible, and the memory chip 14-1 and the memory chip 14-2 are mounted by bending one flexible tape substrate 13. Therefore, a continuous tape is connected from the ball terminal 16 to the chip pad 18-2 of the upper memory chip 14-2. For this reason, unlike the above embodiment, the connection ball 17 is not necessary.

印刷抵抗５０は、図１７（ｃ）に示されるように、金属酸化物などの抵抗体５１に、樹脂やガラスなどのバインダを混ぜてペースト状にしたものが配線パターン５３及び電極５２とともに基板５４に印刷され、乾燥または焼成により形成される。この印刷抵抗５０は、基板表面に形成されているが、多層基板の内層に形成されてもよい。   As shown in FIG. 17 (c), the printed resistor 50 is formed by mixing a resistor 51 such as a metal oxide with a binder such as resin or glass into a paste form together with a wiring pattern 53 and an electrode 52. And is formed by drying or baking. The printed resistor 50 is formed on the substrate surface, but may be formed on the inner layer of the multilayer substrate.

第５実施形態のメモリモジュールの信号配線のトポロジは図１７（ｂ）に示されるように、第１実施形態で説明した図３（ｂ）と同様になる。つまり、信号線２２は、積層メモリ１０のフレキシブルテープ基板１３内で２つに分岐している。一方は長さ３ｍｍの信号線Ａを経由してメモリチップ１４−１に接続される。他方は印刷抵抗５０に接続される。印刷抵抗５０の他端は、長さ１１ｍｍの信号線Ｂに接続され、信号線Ｂを介してメモリチップ１４−２に接続される。したがって、信号線Ｂに設置された印刷抵抗５０がリンギングを抑え、信号波形の劣化が防止されることになる。   The topology of the signal wiring of the memory module of the fifth embodiment is the same as that of FIG. 3B described in the first embodiment as shown in FIG. That is, the signal line 22 is branched into two in the flexible tape substrate 13 of the stacked memory 10. One is connected to the memory chip 14-1 via a signal line A having a length of 3 mm. The other is connected to the printing resistor 50. The other end of the printing resistor 50 is connected to a signal line B having a length of 11 mm, and is connected to the memory chip 14-2 via the signal line B. Therefore, the printing resistor 50 installed on the signal line B suppresses ringing, and the deterioration of the signal waveform is prevented.

図１８は、本発明の第６実施形態に係る積層型半導体装置としてのメモリモジュールの構成を示す。図１８（ａ）に示されるように、第６実施形態のメモリモジュールでは、メモリモジュール基板１１の上に積層メモリ１０が搭載される。積層メモリ１０では、パッケージ基板１２の上にメモリチップ１４−１が第１実施形態と同様に搭載される。メモリチップ１４−２は、メモリチップ１４−１とは背中合わせにメモリチップ１４−１の上に載置されている。積層メモリ１０内の配線とメモリモジュール基板１１上の信号線２２とは、ボール端子１６により接続される。ボール端子１６は、ＢＧＡを構成する。パッケージ基板１２のグランド層の信号線Ａは、ボール端子１６を介して信号線２２に接続され、またメモリチップ１４−１のチップパッド１８−１に接続されている。また、信号線２２は、ボール端子１６を介して、パッケージ基板１２−１の下側に搭載された抵抗器２７の一端に接続されている。抵抗器２７の他端は、ビアを介して、パッケージ基板１２の上側の信号層に形成された信号線Ｂに接続されている。信号線Ｂに接続されるボンディング用ランド２８からボンディングワイヤが信号線Ｃとしてメモリチップ１４−２のチップパッド１８−２に接続されている。したがって、図３における接続ボール１７や上段のパッケージ基板１２−２は必要なく、構造が簡略化される。   FIG. 18 shows a configuration of a memory module as a stacked semiconductor device according to the sixth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 18A, in the memory module of the sixth embodiment, the stacked memory 10 is mounted on the memory module substrate 11. In the stacked memory 10, the memory chip 14-1 is mounted on the package substrate 12 as in the first embodiment. The memory chip 14-2 is placed on the memory chip 14-1 back to back with the memory chip 14-1. The wiring in the stacked memory 10 and the signal line 22 on the memory module substrate 11 are connected by a ball terminal 16. The ball terminal 16 constitutes a BGA. The signal line A on the ground layer of the package substrate 12 is connected to the signal line 22 through the ball terminal 16 and is connected to the chip pad 18-1 of the memory chip 14-1. Further, the signal line 22 is connected to one end of a resistor 27 mounted on the lower side of the package substrate 12-1 through the ball terminal 16. The other end of the resistor 27 is connected to a signal line B formed in the signal layer on the upper side of the package substrate 12 through a via. Bonding wires from the bonding lands 28 connected to the signal lines B are connected as signal lines C to the chip pads 18-2 of the memory chip 14-2. Therefore, the connection balls 17 and the upper package substrate 12-2 in FIG. 3 are not necessary, and the structure is simplified.

この場合の信号配線のトポロジは図１８（ｂ）に示されるように、第１実施形態で説明した図３（ｂ）と同様になる。つまり、信号線２２は、積層メモリ１０内で２つに分岐している。一方は信号線Ａを経由してメモリチップ１４−１のチップパッド１８−１に接続される。他方は抵抗器２７に接続される。抵抗器２７の他端は、信号線Ｂに接続され、信号線Ｂの端にあるボンディング用ランド２８からボンディングワイヤ（信号線Ｃ）を介してメモリチップ１４−２のチップパッド１８−２に接続される。したがって、信号線Ｂに設置された抵抗器２７がリンギングを抑え、信号波形の劣化が防止されることになる。   The topology of the signal wiring in this case is the same as FIG. 3B described in the first embodiment, as shown in FIG. That is, the signal line 22 branches into two in the stacked memory 10. One is connected to the chip pad 18-1 of the memory chip 14-1 via the signal line A. The other is connected to the resistor 27. The other end of the resistor 27 is connected to the signal line B, and is connected to the chip pad 18-2 of the memory chip 14-2 from the bonding land 28 at the end of the signal line B through the bonding wire (signal line C). Is done. Therefore, the resistor 27 installed on the signal line B suppresses ringing and prevents the signal waveform from being deteriorated.

図１９に本発明の第７実施形態に係る積層型半導体装置としてのメモリモジュールの構成を示す。図１９（ａ）に示されるように、第７実施形態のメモリモジュールでは、メモリモジュール基板１１の上に積層メモリ１０が搭載されている。積層メモリ１０では、パッケージ基板１２の表裏両面にメモリチップ１４が配置されている。パッケージ基板１２の上側にメモリチップ１４−２と抵抗器２７が配置され、下側にメモリチップ１４−１とボール端子１６が配置される。ボール端子１６は、パッケージ基板１２の左右両側に並び、メモリモジュール基板１１上の信号線２２と接続される。ボール端子１６と抵抗器２７は、パッケージ基板１２を挟んで対向するように配置されている。抵抗器２７の一端は、直下のビアを介してボール端子１６に接続され、抵抗器２７の他端は、信号配線Ｄを介してメモリチップ１４−２のチップパッド１８−２に接続されている。メモリチップ１４−１にチップパッド１８−１とメモリチップ１４−２のチップパッド１８−２はパッケージ基板１２側に配置されている。メモリチップ１４−１のチップパッド１８−１は、メモリチップ１４−２の対応するチップパッド１８−２にパッケージ基板１２のビアを介して電気的に接続されている。メモリモジュール基板１１上の信号線２２は、パッケージ基板１２の左右両側に配置されるボール端子１６に接続されている。ボール端子１６は、そのランド内にあるビア２４を介してパッケージ基板１２の反対側の抵抗器２７の一端に接続される。   FIG. 19 shows a configuration of a memory module as a stacked semiconductor device according to the seventh embodiment of the present invention. As shown in FIG. 19A, in the memory module of the seventh embodiment, the stacked memory 10 is mounted on the memory module substrate 11. In the stacked memory 10, memory chips 14 are arranged on both the front and back surfaces of the package substrate 12. The memory chip 14-2 and the resistor 27 are disposed on the upper side of the package substrate 12, and the memory chip 14-1 and the ball terminal 16 are disposed on the lower side. The ball terminals 16 are arranged on the left and right sides of the package substrate 12 and connected to the signal lines 22 on the memory module substrate 11. The ball terminal 16 and the resistor 27 are disposed so as to face each other with the package substrate 12 interposed therebetween. One end of the resistor 27 is connected to the ball terminal 16 through a via directly below, and the other end of the resistor 27 is connected to a chip pad 18-2 of the memory chip 14-2 through a signal wiring D. . A chip pad 18-1 on the memory chip 14-1 and a chip pad 18-2 of the memory chip 14-2 are arranged on the package substrate 12 side. The chip pad 18-1 of the memory chip 14-1 is electrically connected to the corresponding chip pad 18-2 of the memory chip 14-2 through the via of the package substrate 12. The signal lines 22 on the memory module substrate 11 are connected to ball terminals 16 disposed on the left and right sides of the package substrate 12. The ball terminal 16 is connected to one end of a resistor 27 opposite to the package substrate 12 through a via 24 in the land.

第７実施形態によるメモリモジュールの信号配線のトポロジは、図１９（ｂ）に示されるようになる。信号線２２は、ボール端子１６を介して積層メモリ１０の抵抗器２７に接続される。抵抗器２７の他端は、外部配線２２に対して長いスタブとなる信号配線Ｄに接続される。信号配線Ｄの他端にメモリチップ１４−１とメモリチップ１４−２とが並列に接続される。このように配線すると、外部配線２２と、外部配線に対してスタブとなる信号配線Ｄとの間に抵抗器２７が入ることになり、リンギングが抑制されるため、信号波形の劣化が防止されることになる。   The topology of the signal wiring of the memory module according to the seventh embodiment is as shown in FIG. The signal line 22 is connected to the resistor 27 of the stacked memory 10 through the ball terminal 16. The other end of the resistor 27 is connected to a signal wiring D that is a long stub with respect to the external wiring 22. The memory chip 14-1 and the memory chip 14-2 are connected in parallel to the other end of the signal wiring D. When wiring is performed in this manner, the resistor 27 is inserted between the external wiring 22 and the signal wiring D which is a stub with respect to the external wiring, and ringing is suppressed, so that deterioration of the signal waveform is prevented. It will be.

図２０は、本発明の第８実施形態による積層半導体装置としてのメモリモジュールの断面構造を示す図である。第８実施形態のメモリモジュールの構造は、第１実施形態のメモリモジュールと似ている。異なる点は、パッケージ基板１２−１に抵抗器２７を搭載する変わりに、終端抵抗が形成されたメモリチップが上段メモリチップとして使用されている点である。第８実施形態のメモリモジュールの他の構成要素は、第１実施形態のメモリモジュールのそれらと同様である。
メモリモジュール基板１１上に配線される信号線２２は、ＢＧＡ構造のボール端子１６とビア２４を介してパッケージ基板１２−１の信号層の信号線Ａと信号線Ｂに接続されている。短い信号線Ａは、メモリチップ１４−１のチップパッド１８−１に接続されている。また、信号線Ｂは、接続ボール１７を介してパッケージ基板１２−２の信号層の信号線Ｃに接続される。信号線Ｃは、メモリチップ１４−２のチップパッド１８−２に接続される。 FIG. 20 is a diagram showing a cross-sectional structure of a memory module as a stacked semiconductor device according to the eighth embodiment of the invention. The structure of the memory module of the eighth embodiment is similar to that of the memory module of the first embodiment. The difference is that instead of mounting the resistor 27 on the package substrate 12-1, a memory chip in which a termination resistor is formed is used as the upper memory chip. Other components of the memory module of the eighth embodiment are the same as those of the memory module of the first embodiment.
The signal line 22 wired on the memory module substrate 11 is connected to the signal line A and the signal line B in the signal layer of the package substrate 12-1 through the BGA structure ball terminal 16 and the via 24. The short signal line A is connected to the chip pad 18-1 of the memory chip 14-1. The signal line B is connected to the signal line C of the signal layer of the package substrate 12-2 through the connection ball 17. The signal line C is connected to the chip pad 18-2 of the memory chip 14-2.

第８実施形態のメモリモジュールの信号配線のトポロジは、図２０（ｂ）に示されるようになる。メモリモジュール基板１１上の信号線２２は、積層メモリ１０内で２つに信号線Ａと信号線Ｂに分岐される。信号線Ａは長さ３ｍｍであり、メモリチップ１４−１に接続されている。長さ５ｍｍの信号線Ｂは、長さ６ｍｍの信号線Ｃを経由してメモリチップ１４−２に接続される。したがって、この経路では、信号線２２は、合計１１ｍｍの信号線を介してメモリチップ１４−２に接続されている。
メモリチップ１４−２の内部に形成された終端抵抗回路１０２では、抵抗１０５と１０６が高電位側電源と低電位側電源の間に直列に接続されている。抵抗１０５と１０６の抵抗値は、等しくてもよいし、異なっていてもよい。抵抗１０５と１０６の接続ノードは、信号線Ｃに接続されている。こうしてテブナン終端回路が形成されている。この例では、終端抵抗回路１０２はメモリチップ１４−２内に形成されているが、図２２に示される積層メモリように、メモリチップ１４−２の外部に、例えば、パッケージ基板１２−２の上に形成されてもよい。また、図７に示されるメモリモジュールの場合には、全ての積層メモリ１０に終端抵抗回路１０２を設けてもよいが、先頭の積層メモリ１０としてのＤＲＡＭ１に終端抵抗回路１０２を設ければ十分である。 The topology of the signal wiring of the memory module according to the eighth embodiment is as shown in FIG. The signal line 22 on the memory module substrate 11 is branched into two signal lines A and B in the stacked memory 10. The signal line A has a length of 3 mm and is connected to the memory chip 14-1. The signal line B having a length of 5 mm is connected to the memory chip 14-2 via the signal line C having a length of 6 mm. Therefore, in this path, the signal line 22 is connected to the memory chip 14-2 via a total of 11 mm signal lines.
In the termination resistor circuit 102 formed inside the memory chip 14-2, resistors 105 and 106 are connected in series between the high potential side power source and the low potential side power source. The resistance values of the resistors 105 and 106 may be the same or different. A connection node between the resistors 105 and 106 is connected to the signal line C. Thus, the Thevenin termination circuit is formed. In this example, the termination resistor circuit 102 is formed in the memory chip 14-2. However, like the stacked memory shown in FIG. May be formed. In the case of the memory module shown in FIG. 7, the termination resistor circuit 102 may be provided in all the stacked memories 10, but it is sufficient if the termination resistor circuit 102 is provided in the DRAM 1 as the leading stacked memory 10. is there.

図２１は、メモリチップ１４−２内の上記終端抵抗回路１０２の変形例としての終端抵抗回路１０２’を示している。図２１を参照して、終端抵抗回路１０２’は、信号線Ｃに接続される入力端子１０３、制御端子１１３，１１４とを有し、Ｐ型ＭＯＳトランジスタ１０４、１０９、Ｎ型ＭＯＳトランジスタ１０７、１１２、抵抗１０５，１０６，１１０，１１１、インバータ回路１０８，１１５とを備えている。抵抗１０５と１０６は、例えば２００Ωであり、抵抗１１０，１１１は、例えば１００Ωである。このように、抵抗１０５と１０６の抵抗値と抵抗１１０，１１１の抵抗値は異なっている。Ｐ型ＭＯＳトランジスタ１０４と１０９は高電位側電源に接続されている。また、Ｎ型ＭＯＳトランジスタ１０７と１１２は低電位側電源に接続されている。抵抗１０５と１０６は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタ１０４とＮ型ＭＯＳトランジスタ１０７の間に直列に接続され、抵抗１１０と１１１は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタ１０９とＮ型ＭＯＳトランジスタ１１２の間に直列に接続されている。抵抗１０５と１０６の接続ノードと、抵抗１１０と１１１の接続ノードは、入力端子１０３に接続されている。制御端子１１３は、直接Ｎ型ＭＯＳトランジスタ１０７のゲートに接続され、インバータ回路１０８を介してＰ型ＭＯＳトランジスタ１０４のゲートに接続されている。また、制御端子１１４は、直接Ｎ型ＭＯＳトランジスタ１０１２ゲートに接続され、インバータ回路１１５を介してＰ型ＭＯＳトランジスタ１０９のゲートに接続されている。   FIG. 21 shows a termination resistor circuit 102 'as a modification of the termination resistor circuit 102 in the memory chip 14-2. Referring to FIG. 21, termination resistance circuit 102 ′ has input terminal 103 connected to signal line C, and control terminals 113 and 114, and includes P-type MOS transistors 104 and 109, N-type MOS transistors 107 and 112. , Resistors 105, 106, 110, 111, and inverter circuits 108, 115. The resistors 105 and 106 are 200Ω, for example, and the resistors 110 and 111 are 100Ω, for example. As described above, the resistance values of the resistors 105 and 106 and the resistance values of the resistors 110 and 111 are different. P-type MOS transistors 104 and 109 are connected to a high potential side power source. The N-type MOS transistors 107 and 112 are connected to a low potential side power source. The resistors 105 and 106 are connected in series between the P-type MOS transistor 104 and the N-type MOS transistor 107, and the resistors 110 and 111 are connected in series between the P-type MOS transistor 109 and the N-type MOS transistor 112. Yes. A connection node between the resistors 105 and 106 and a connection node between the resistors 110 and 111 are connected to the input terminal 103. The control terminal 113 is directly connected to the gate of the N-type MOS transistor 107, and is connected to the gate of the P-type MOS transistor 104 via the inverter circuit 108. The control terminal 114 is directly connected to the gate of the N-type MOS transistor 1012 and is connected to the gate of the P-type MOS transistor 109 via the inverter circuit 115.

これにより、制御端子１１３が高電位になるとＮ型ＭＯＳトランジスタ１０７及びＰ型ＭＯＳトランジスタ１０４がオン状態となり、抵抗１０５、１０６は入力端子１０３に対して第１テブナン終端回路を形成する。また、制御端子１１４，抵抗１１１，１１２、Ｐ型ＭＯＳトランジスタ１０９、Ｎ型ＭＯＳトランジスタ１１２、インバータ回路１１３も上記と同様に構成されており、制御端子１１４が高電位になるとＮ型ＭＯＳトランジスタ１１２とＰ型ＭＯＳトランジスタ１０９がオン状態となり、抵抗１１０，１１１は入力端子１１１に対して第２テブナン終端回路を形成する。ここで第１テブナン終端回路と第２テブナン終端回路は入力端子１０３に対して並列に接続されている。終端回路１０２’は、制御端子１１３，１１４への制御電圧の与え方で第１および第２の終端回路のオン／オフを制御でき、入力端子１０３に対する終端抵抗値を変更することができる。即ち、第１および第２の終端回路の一方をオンする状態と、第１および第２の終端回路の両方をオンする状態と３とおりのオン状態が存在する。これにより、使用される線路のインピーダンスに合わせて最適な抵抗値を選択することができる。
これによりパッケージ基板１２に抵抗を搭載しなくとも上段メモリチップ１４−２の終端抵抗回路１０２，１０２’の抵抗が配線Ｂ＋Ｃでの信号反射を緩和するので信号波形のリンギングを防止できる。尚、上記と同様に、図７に示されるメモリモジュールの場合には、全ての積層メモリ１０に終端抵抗回路１０２を設けてもよいが、先頭の積層メモリ１０としてのＤＲＡＭ１に終端抵抗回路１０２を設ければ十分である。 Thereby, when the control terminal 113 becomes a high potential, the N-type MOS transistor 107 and the P-type MOS transistor 104 are turned on, and the resistors 105 and 106 form a first Thevenin termination circuit for the input terminal 103. The control terminal 114, the resistors 111 and 112, the P-type MOS transistor 109, the N-type MOS transistor 112, and the inverter circuit 113 are also configured in the same manner as described above. When the control terminal 114 becomes a high potential, the N-type MOS transistor 112 and The P-type MOS transistor 109 is turned on, and the resistors 110 and 111 form a second Thevenin termination circuit for the input terminal 111. Here, the first Thevenin termination circuit and the second Thevenin termination circuit are connected in parallel to the input terminal 103. The termination circuit 102 ′ can control on / off of the first and second termination circuits by changing the control voltage applied to the control terminals 113 and 114, and can change the termination resistance value for the input terminal 103. In other words, there are a state where one of the first and second termination circuits is turned on, a state where both the first and second termination circuits are turned on, and three on states. As a result, an optimum resistance value can be selected in accordance with the impedance of the line used.
As a result, even if no resistor is mounted on the package substrate 12, the resistance of the termination resistor circuits 102 and 102 ′ of the upper memory chip 14-2 relaxes the signal reflection at the wiring B + C, thereby preventing ringing of the signal waveform. Similarly to the above, in the case of the memory module shown in FIG. 7, the termination resistance circuit 102 may be provided in all the stacked memories 10, but the termination resistance circuit 102 is provided in the DRAM 1 as the leading stacked memory 10. It is sufficient to provide it.

図２３は、本発明の第９実施形態によるメモリモジュールの構成を示す図である。第９実施形態のメモリモジュールは、図７に示されるメモリモジュールと同様の構成を有する。異なる点は、パッケージ基板１２−１に抵抗器２７を搭載する代わりにメモリコントローラ３１と終端抵抗３２の間に敷設されたスタブレス配線から、各積層メモリ１０としてのＤＲＡＭに接続するための分岐配線中に抵抗１２０が挿入されている点にある。この抵抗は上記分岐配線を介してパッケージ内の配線Ｂ＋Ｃにつながっている。このため、上記抵抗は上記分岐配線及び配線Ｂ＋Ｃでの信号反射に対してダンピング抵抗として作用し、信号波形のリンギングを防止できる。尚、抵抗１２０は全ての積層メモリ１０に設けてもよいが、先頭の積層メモリ１０としてのＤＲＡＭ１に設ければ十分である。   FIG. 23 is a diagram showing a configuration of a memory module according to the ninth embodiment of the present invention. The memory module of the ninth embodiment has the same configuration as the memory module shown in FIG. The difference is that instead of mounting the resistor 27 on the package substrate 12-1, a stubless wiring laid between the memory controller 31 and the termination resistor 32 is used in a branch wiring for connecting to the DRAM as each stacked memory 10. The point is that a resistor 120 is inserted. This resistor is connected to the wiring B + C in the package via the branch wiring. For this reason, the resistor acts as a damping resistor against signal reflection at the branch wiring and the wiring B + C, and can prevent ringing of the signal waveform. The resistor 120 may be provided in all the stacked memories 10, but it is sufficient if provided in the DRAM 1 as the first stacked memory 10.

図２４は、本発明の第１０実施形態によるメモリモジュールの構成を示す図である。第１０実施形態は、第８実施形態のメモリモジュールとは、パッケージ基板１２−１に終端抵抗回路１０２を搭載する変わりに、入力端子にキャパシタ１３０が形成されたメモリチップが上段メモリチップ１４−２として使用されている点で異なる。第１０実施形態のメモリモジュールの他の構成要素は、第８実施形態のメモリモジュールのそれらと同様である。
キャパシタ１２２は２ｐＦ程度の容量を有し、配線Ｂ＋Ｃでの信号反射に対してダンピングインピーダンスとして作用し、信号波形のリンギングを防止する。尚、キャパシタ１３０は全ての積層メモリ１０に設けてもよいが、先頭の積層メモリ１０としてのＤＲＡＭ１に設ければ十分である。
また、第１０実施形態では、キャパシタ１３０が上段メモリチップ１４−２の内部に形成されているが、異なる場所にキャパシタがもうけられてもよい。例えば、図示しないが、上段メモリチップ１４−２の外部の入力端にもうけられてよいことは、当業者には明らかであろう。 FIG. 24 is a diagram showing a configuration of a memory module according to the tenth embodiment of the present invention. The tenth embodiment differs from the memory module of the eighth embodiment in that the termination resistor circuit 102 is mounted on the package substrate 12-1, and the memory chip having the capacitor 130 formed at the input terminal is the upper memory chip 14-2. It is different in that it is used as. Other components of the memory module of the tenth embodiment are the same as those of the memory module of the eighth embodiment.
The capacitor 122 has a capacitance of about 2 pF, and acts as a damping impedance for signal reflection at the wiring B + C, thereby preventing ringing of the signal waveform. The capacitor 130 may be provided in all the stacked memories 10, but it is sufficient if provided in the DRAM 1 as the first stacked memory 10.
In the tenth embodiment, the capacitor 130 is formed inside the upper memory chip 14-2. However, the capacitor may be provided at a different location. For example, although not shown, it will be apparent to those skilled in the art that the external memory chip 14-2 may be provided at an external input terminal.

以上に説明したように、本発明によれば、ダンピングインピーダンス（抵抗、キャパシタ）を信号の伝送路に設けることにより、反射信号によるリンギングを防止することができる。   As described above, according to the present invention, ringing due to a reflected signal can be prevented by providing a damping impedance (resistor, capacitor) in the signal transmission path.

従来の積層メモリの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the conventional laminated memory. 従来の積層メモリを高速伝送用メモリモジュールに用いた場合の配線トポロジを示す図である。It is a figure which shows the wiring topology at the time of using the conventional laminated memory for the memory module for high-speed transmission. 本発明の第１実施形態に係る積層型半導体装置の構成を示す図である。1 is a diagram showing a configuration of a stacked semiconductor device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係る積層メモリの下段パッケージ基板の配線例の概略を示す図である。It is a figure which shows the outline of the wiring example of the lower package board | substrate of the laminated memory which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態に係る積層メモリの上段パッケージ基板の配線例の概略を示す図である。It is a figure which shows the outline of the wiring example of the upper stage package board | substrate of the laminated memory which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態に係る積層メモリの下段パッケージ基板の配線パターンを示す図である。It is a figure which shows the wiring pattern of the lower package board | substrate of the laminated memory which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明実施形態に係る高速伝送メモリモジュールに積層メモリを適用した例を示す図である。It is a figure which shows the example which applied the laminated memory to the high-speed transmission memory module which concerns on this invention embodiment. 高速伝送メモリモジュールに従来の積層メモリを使用した場合のシミュレーション波形を示した図である。It is the figure which showed the simulation waveform at the time of using the conventional laminated memory for a high-speed transmission memory module. 高速伝送メモリモジュールの一部に本発明の第１実施形態に係る積層メモリを使用した場合のシミュレーション波形を示した図である。It is the figure which showed the simulation waveform at the time of using the laminated memory which concerns on 1st Embodiment of this invention for some high-speed transmission memory modules. 高速伝送メモリモジュールの全ての積層メモリに本発明の第１実施形態に係る積層メモリを使用した場合のシミュレーション波形を示した図である（全デバイス）。It is the figure which showed the simulation waveform at the time of using the laminated memory which concerns on 1st Embodiment of this invention for all the laminated memories of a high-speed transmission memory module (all devices). 本発明の第２実施形態に係る積層型半導体装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the laminated semiconductor device which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態に係る積層メモリの下段パッケージ基板の配線パターンを示す図である。It is a figure which shows the wiring pattern of the lower package board | substrate of the laminated memory which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 高速伝送メモリモジュールの一部に本発明の第２実施形態に係る積層メモリを使用した場合のシミュレーション波形を示した図である。It is the figure which showed the simulation waveform at the time of using the laminated memory which concerns on 2nd Embodiment of this invention for some high-speed transmission memory modules. 高速伝送メモリモジュールの全てのメモリに本発明の第２実施形態に係る積層メモリを使用した場合のシミュレーション波形を示した図である。It is the figure which showed the simulation waveform at the time of using the laminated memory which concerns on 2nd Embodiment of this invention for all the memories of a high-speed transmission memory module. 本発明の第３実施形態に係る積層型半導体装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the laminated semiconductor device which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態に係る積層型半導体装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the laminated semiconductor device which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態に係る積層型半導体装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the laminated semiconductor device which concerns on 5th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態に係る積層型半導体装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the laminated semiconductor device which concerns on 6th Embodiment of this invention. 本発明の第７実施形態に係る積層型半導体装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the laminated semiconductor device which concerns on 7th Embodiment of this invention. 本発明の第８実施形態に係る積層型半導体装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the laminated semiconductor device which concerns on 8th Embodiment of this invention. 本発明の第８実施形態に係る積層型半導体装置の変形例の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the modification of the laminated semiconductor device which concerns on 8th Embodiment of this invention. 本発明の第８実施形態に係る積層型半導体装置の変形例の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the modification of the laminated semiconductor device which concerns on 8th Embodiment of this invention. 本発明の第９実施形態によるメモリモジュールの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the memory module by 9th Embodiment of this invention. 本発明の第１０実施形態に係る積層型半導体装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the laminated semiconductor device which concerns on 10th Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 積層メモリ
１１ メモリモジュール基板
１２、１２−１、１２−２ パッケージ基板
１３ フレキシブルテープ基板
１４、１４−１、１４−２ メモリチップ
１６ ボール端子
１７ 接続用ボール
１８、１８−１、１８−２ チップパッド
２１、２１−１、２１−２ グランド層
２２ 外部配線
２４、２４−１、２４−２ ビア
２５ ビア
２７ 抵抗器
２８ ボンディング用ランド
３０ バス配線
３１ コントローラ
３２ 終端回路
３４ スタブレス配線信号領域
３５ 開口部
３６ データ信号配線
３７ 引き出し線
３８ グランドプレーン
４１、４１−１、４１−２ ランド
５０ 印刷抵抗
５１ 抵抗体
５２ 電極
５３ 配線パターン
５４ 基板
１０５〜１１１ 抵抗
１３０ キャパシタ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Stacked memory 11 Memory module substrate 12, 12-1, 12-2 Package substrate 13 Flexible tape substrate 14, 14-1, 14-2 Memory chip 16 Ball terminal 17 Connection ball 18, 18-1, 18-2 Chip Pad 21, 21-1, 21-2 Ground layer 22 External wiring 24, 24-1, 24-2 Via 25 Via 27 Resistor 28 Bonding land 30 Bus wiring 31 Controller 32 Termination circuit 34 Stubless wiring signal area 35 Opening 36 Data signal wiring 37 Lead line 38 Ground plane 41, 41-1, 41-2 Land 50 Printing resistor 51 Resistor 52 Electrode 53 Wiring pattern 54 Substrate 105-111 Resistance 130 Capacitor

Claims (25)

配線基板と、
前記配線基板上に設けられ、信号を出力する回路と、
前記配線基板上に設けられ、前記信号にスタブレスに接続された複数の積層半導体装置と
を具備し、
前記複数の積層半導体装置の各々は、積層された複数の半導体チップを具備し、
前記複数の積層半導体装置のうち前記信号が最初に供給されるものとしての先頭積層半導体装置の前記複数の半導体チップのうち前記配線基板から最も遠いものとしての最上位半導体チップのための前記信号の伝送経路にダンピングインピーダンス回路が設けられている
半導体装置モジュール。 A wiring board;
A circuit that is provided on the wiring board and outputs a signal;
A plurality of stacked semiconductor devices provided on the wiring board and connected to the signal in a stubless manner;
Each of the plurality of stacked semiconductor devices includes a plurality of stacked semiconductor chips,
Of the plurality of stacked semiconductor devices, the signal for the uppermost semiconductor chip as the one farthest from the wiring board among the plurality of semiconductor chips of the first stacked semiconductor device as the one to which the signal is first supplied. A semiconductor device module in which a damping impedance circuit is provided in a transmission path. 配線基板と、
前記配線基板上に設けられ、前記配線基板の外部から供給される信号にスタブレスに接続された複数の積層半導体装置と
を具備し、
前記複数の積層半導体装置の各々は、積層された複数の半導体チップを具備し、
前記複数の積層半導体装置のうち前記信号が最初に供給されるものとしての先頭積層半導体装置の前記複数の半導体チップのうち前記配線基板から最も遠いものとしての最上位半導体チップのための前記信号の伝送経路にダンピングインピーダンス回路が設けられている
半導体装置モジュール。 A wiring board;
A plurality of stacked semiconductor devices provided on the wiring board and connected in a stubless manner to signals supplied from the outside of the wiring board;
Each of the plurality of stacked semiconductor devices includes a plurality of stacked semiconductor chips,
Of the plurality of stacked semiconductor devices, the signal for the uppermost semiconductor chip as the one farthest from the wiring board among the plurality of semiconductor chips of the first stacked semiconductor device as the one to which the signal is first supplied. A semiconductor device module in which a damping impedance circuit is provided in a transmission path. 請求項１又は２に記載の半導体装置モジュールにおいて、
前記複数の積層半導体装置の各々は、積層半導体メモリであり、
前記複数の半導体チップはメモリチップである
半導体装置モジュール。 The semiconductor device module according to claim 1 or 2,
Each of the plurality of stacked semiconductor devices is a stacked semiconductor memory,
The semiconductor device module, wherein the plurality of semiconductor chips are memory chips. 請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体装置モジュールにおいて、
前記ダンピングインピーダンス回路は抵抗回路である
半導体装置モジュール。 The semiconductor device module according to any one of claims 1 to 3,
The semiconductor device module, wherein the damping impedance circuit is a resistance circuit. 請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体装置モジュールにおいて、
前記ダンピングインピーダンス回路はキャパシタ回路である
半導体装置モジュール。 The semiconductor device module according to any one of claims 1 to 3,
The semiconductor device module, wherein the damping impedance circuit is a capacitor circuit. 請求項４に記載の半導体装置モジュールにおいて、
前記抵抗回路は、前記配線基板上に設けられている
半導体装置モジュール。 The semiconductor device module according to claim 4,
The resistor circuit is a semiconductor device module provided on the wiring board. 請求項４に記載の半導体装置モジュールにおいて、
前記抵抗回路は、前記先頭積層半導体装置内に設けられている
半導体装置モジュール。 The semiconductor device module according to claim 4,
The resistor circuit is a semiconductor device module provided in the top stacked semiconductor device. 請求項４に記載の半導体装置モジュールにおいて、
前記抵抗回路は、前記先頭積層半導体装置の前記最上位半導体チップ内に設けられている
半導体装置モジュール。 The semiconductor device module according to claim 4,
The resistance circuit is a semiconductor device module provided in the uppermost semiconductor chip of the top stacked semiconductor device. 請求項７又は８に記載の半導体装置モジュールにおいて、
前記抵抗回路は、高電位側電源と低電位側電源との間に直列に接続された第１抵抗と第２抵抗とを備え、
前記第１抵抗と前記第２抵抗の接続ノードに前記信号の前記伝送経路が接続されている
半導体装置モジュール。 The semiconductor device module according to claim 7 or 8,
The resistor circuit includes a first resistor and a second resistor connected in series between a high potential side power source and a low potential side power source,
A semiconductor device module, wherein the transmission path of the signal is connected to a connection node between the first resistor and the second resistor. 請求項７又は８に記載の半導体装置モジュールにおいて、
前記抵抗回路は、
高電位側電源に接続された第１と第２のスイッチと、
低電位側電源に接続された第３と第４のスイッチと、
前記第１と第３のスイッチの間に直列に接続された第１抵抗と第２抵抗と、
前記第２と第４のスイッチの間に直列に接続された第３抵抗と第４抵抗と
を具備し、
前記第１抵抗と前記第２抵抗の接続ノードと前記第３抵抗と前記第４抵抗の接続ノードとに前記信号の前記伝送経路が接続されており、
第１制御信号に応答して前記第１と第３のスイッチはオンし、第２制御信号に応答して前記第２と第４のスイッチはオンする
半導体装置モジュール。 The semiconductor device module according to claim 7 or 8,
The resistor circuit is
First and second switches connected to the high potential side power supply;
Third and fourth switches connected to the low potential side power supply;
A first resistor and a second resistor connected in series between the first and third switches;
A third resistor and a fourth resistor connected in series between the second and fourth switches;
The transmission path of the signal is connected to a connection node of the first resistor and the second resistor and a connection node of the third resistor and the fourth resistor;
A semiconductor device module in which the first and third switches are turned on in response to a first control signal, and the second and fourth switches are turned on in response to a second control signal. 請求項５に記載の半導体装置モジュールにおいて、
前記ダンピングインピーダンス回路は、キャパシタである前記信号の前記伝送経路と低電位側電源の間に接続されたキャパシタを具備する
半導体装置モジュール。 The semiconductor device module according to claim 5,
The dumping impedance circuit is a semiconductor device module including a capacitor connected between the transmission path of the signal, which is a capacitor, and a low-potential side power source. 請求項１１に記載の半導体装置モジュールにおいて、
前記キャパシタは、前記先頭積層半導体装置の前記最上位半導体チップ内に設けられている
半導体装置モジュール。 The semiconductor device module according to claim 11,
The capacitor is a semiconductor device module provided in the uppermost semiconductor chip of the top stacked semiconductor device. 配線基板と、
前記配線基板上に積層される複数の半導体チップと、
前記複数の半導体チップのうち最上位に配置された最上位半導体チップで使用される信号の伝送経路に設けられたダンピングインピーダンス回路と、
前記配線基板の下面に設けられた複数のボール状接続端子と
を備え、
前記信号は、前記複数のボール状接続端子のうちの１つとしての特定ボール状接続端子を介して前記複数の半導体チップの各々に接続される
積層型半導体装置。 A wiring board;
A plurality of semiconductor chips stacked on the wiring board;
A damping impedance circuit provided in a signal transmission path used in the uppermost semiconductor chip arranged at the uppermost of the plurality of semiconductor chips;
A plurality of ball-shaped connection terminals provided on the lower surface of the wiring board;
The signal is connected to each of the plurality of semiconductor chips via a specific ball-shaped connection terminal as one of the plurality of ball-shaped connection terminals. 請求項１３に記載の積層型半導体装置において、
前記ダンピングインピーダンス回路は、抵抗回路である
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 13,
The dumping impedance circuit is a stacked semiconductor device which is a resistance circuit. 請求項１３に記載の積層型半導体装置において、
前記ダンピングインピーダンス回路は、キャパシタ回路である
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 13,
The dumping impedance circuit is a stacked semiconductor device which is a capacitor circuit. 請求項１４に記載の積層型半導体装置において、
前記複数の半導体チップのうち最下位に配置される最下位半導体チップは、前記配線基板に実装され、
前記信号は、前記最下位半導体チップ以外の前記複数の半導体チップに接続用端子により電気的に接続され、
前記抵抗回路は、前記配線基板の前記複数の半導体チップと反対側に設けられている
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 14,
The lowest semiconductor chip arranged at the lowest of the plurality of semiconductor chips is mounted on the wiring board,
The signal is electrically connected to the plurality of semiconductor chips other than the lowest-order semiconductor chip by connection terminals,
The resistor circuit is a stacked semiconductor device provided on the opposite side of the wiring substrate from the plurality of semiconductor chips. 請求項１６に記載の積層型半導体装置において、
前記信号を前記最下位半導体チップに接続する第１配線は、前記抵抗回路に接続されること無く前記特定ボール状接続端子に接続され、
前記信号を前記最上位半導体チップに接続する第２配線は、前記抵抗回路を介して前記特定ボール状接続端子に接続される
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 16, wherein
The first wiring for connecting the signal to the lowest semiconductor chip is connected to the specific ball-shaped connection terminal without being connected to the resistance circuit,
The second wiring for connecting the signal to the uppermost semiconductor chip is a stacked semiconductor device connected to the specific ball-shaped connection terminal via the resistance circuit. 請求項１７に記載の積層型半導体装置において、
前記抵抗回路を前記特定ボール状接続端子に接続する第３配線を更に具備する
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 17,
A stacked semiconductor device further comprising a third wiring for connecting the resistor circuit to the specific ball-shaped connection terminal. 請求項１６に記載の積層型半導体装置において、
前記信号を前記最下位半導体チップに接続する第１配線は、前記抵抗回路を介して前記特定ボール状接続端子に接続され、
前記信号を前記最上位半導体チップに接続する第２配線は、前記抵抗回路を介して前記特定ボール状接続端子に接続される
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 16, wherein
A first wiring for connecting the signal to the lowest-order semiconductor chip is connected to the specific ball-shaped connection terminal via the resistance circuit,
The second wiring for connecting the signal to the uppermost semiconductor chip is a stacked semiconductor device connected to the specific ball-shaped connection terminal via the resistance circuit. 請求項１９に記載の積層型半導体装置において、
前記抵抗回路を前記特定ボール状接続端子に接続する第３配線を更に具備する
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 19, wherein
A stacked semiconductor device further comprising a third wiring for connecting the resistor circuit to the specific ball-shaped connection terminal. 請求項１６に記載の積層型半導体装置において、
前記抵抗回路は、前記最上位半導体チップ内に設けられている
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 16, wherein
The resistor circuit is a stacked semiconductor device provided in the uppermost semiconductor chip. 請求項２１に記載の積層型半導体装置において、
前記抵抗回路は、高電位側電源と低電位側電源との間に直列に接続された第１抵抗と第２抵抗とを備え、
前記第１抵抗と前記第２抵抗の接続ノードに前記信号の前記伝送経路が接続されている
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 21, wherein
The resistor circuit includes a first resistor and a second resistor connected in series between a high potential side power source and a low potential side power source,
A stacked semiconductor device, wherein the transmission path of the signal is connected to a connection node between the first resistor and the second resistor. 請求項２１又は２２に記載の積層型半導体装置において、
前記抵抗回路は、
高電位側電源に接続された第１と第２のスイッチと、
低電位側電源に接続された第３と第４のスイッチと、
前記第１と第３のスイッチの間に直列に接続された第１抵抗と第２抵抗と、
前記第２と第４のスイッチの間に直列に接続された第３抵抗と第４抵抗と
を具備し、
前記第１抵抗と前記第２抵抗の接続ノードと前記第３抵抗と前記第４抵抗の接続ノードとに前記信号の前記伝送経路が接続されており、
第１制御信号に応答して前記第１と第３のスイッチはオンし、第２制御信号に応答して前記第２と第４のスイッチはオンする
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 21 or 22,
The resistor circuit is
First and second switches connected to the high potential side power supply;
Third and fourth switches connected to the low potential side power supply;
A first resistor and a second resistor connected in series between the first and third switches;
A third resistor and a fourth resistor connected in series between the second and fourth switches;
The transmission path of the signal is connected to a connection node of the first resistor and the second resistor and a connection node of the third resistor and the fourth resistor;
A stacked semiconductor device in which the first and third switches are turned on in response to a first control signal, and the second and fourth switches are turned on in response to a second control signal. 請求項１５に記載の積層型半導体装置において、
前記ダンピングインピーダンス回路は、キャパシタである前記信号の前記伝送経路と低電位側電源の間に接続されたキャパシタを具備する
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 15,
The dumping impedance circuit is a stacked semiconductor device including a capacitor connected between the transmission path of the signal, which is a capacitor, and a low-potential side power source. 請求項２４に記載の積層型半導体装置において、
前記キャパシタは、前記最上位半導体チップ内に設けられている
積層型半導体装置。 The stacked semiconductor device according to claim 24, wherein
The capacitor is a stacked semiconductor device provided in the uppermost semiconductor chip.
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