JP2006043847A - 微小構造体、微小構造体の封止方法、微小電気機械素子とその製造方法、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板42上に微小電気機械素子本体46を囲うように外囲壁部48が形成され、外囲壁部48の上面に膜特性により下げられた上部膜49が密着され、微小電気機械素子本体46が密閉されて成る。
【選択図】 図1
Description
この微小電気機械素子11では、下部電極3と上部電極15に与える電位に応じて、ビーム12と下部電極3との間に生じる静電力により変位し、例えば図21Bの実線と破線で示すように、下部電極3に対してビーム12が平行状態と凹み状態に変位する。
本発明では、上部膜に1軸方向の引張り応力を有する膜を用いることができる。
本発明では、上部膜に2軸方向の引張り応力を有する膜を用いることができる。
本発明では、犠牲層を除去したとき時に上部膜が下がらず、犠牲層の除去した後に所要の熱環境下で上部膜の膜特性を変化させ、上部膜を側壁部上面に下げるようにすることができる。
本発明では、上部膜を圧縮応力を有する膜と引張り応力を有する膜の2層膜で形成し、犠牲層を除去した後に圧縮応力を有する膜を除去して引張り応力を有する膜のみの上部膜の応力を解放し、上部膜を側壁部上面に下げるようにすることができる。
本発明では、上部膜を下げて側壁部の上面に密着させる工程の後、上部膜と側壁部の上面を覆う被覆膜を形成する工程を有するようにすることができる。
上部膜としては、1軸方向に引張り応力を有する膜で形成することができる。
上部膜としては、2軸方向に引張り応力を有する膜で形成することができる。
本発明では、犠牲層を除去した後の処理で、上部膜の特性を変化させて上部膜を外囲壁部の上面に降下して密着させて構成することができる。
本発明では、上部膜を圧縮応力を有する膜と引張り応力を有する膜の2層膜で形成し、犠牲層の除去後に圧縮応力の膜が除去されて引張り応力を有する膜のみの上部膜を、外囲壁部の上面に降下して密着させて構成することができる。
本発明では、密着された上部膜と外囲壁部の上面を覆って被覆膜を形成した構成とすることができる。
本発明では、上部膜に1軸方向の引張り応力を有する膜を用いることができる。
本発明では、上部膜に2軸方向の引張り応力を有する膜を用いることができる。
本発明では、犠牲層を除去したとき時に上部膜が下がらず、犠牲層の除去した後に所要の熱環境下で上部膜の膜特性を変化させて、上部膜を外囲壁部の上面に下げるようにすることができる。
本発明では、上部膜を圧縮応力を有する膜と引張り応力を有する膜の2層膜で形成し、犠牲層を除去した後に圧縮応力を有する膜を除去して引張り応力を有する膜のみの上部膜の応力を解放し、上部膜を外囲壁部の上面に下げるようにすることができる。
本発明では、上部膜を下げて外囲壁部の上面に密着させる工程の後、上部膜と外囲壁部の上面を覆う被覆膜を形成する工程を有するようにすることができる。
本発明に係る電子機器は、上述の基板上に微小電気機械素子本体を囲うように外囲壁部が形成され、外囲壁部の上面に膜特性により降下した上部膜が密着され、微小電気機械素子本体が密閉されてなる微小電気機械素子を、備えて成ることを特徴とする。
上部膜に1軸方向の引張り応力を有する膜を用いることにより、犠牲層を除去した後、上部膜は1軸方向に引っ張られ、自動的に下がり側壁部の上面に密着する。
上部膜に2軸方向の引張り応力を有する膜を用いることにより、犠牲層を除去した後、上部膜は2軸方向に引っ張られ、自動的に下がり側壁部の上面に密着する。この場合上部膜は2軸方向に引っ張られて下げられるので、密閉度を高めることができる。
熱環境下で膜特性が変化する上部膜を用い、犠牲層を除去したときには上部膜が下がらず、その後の熱環境下で膜特性、例えば引張り応力を生じさせて、上部膜を側壁部の上面に下げ密着させることにより、微小空間内部の犠牲層を確実に除去することができ、犠牲層残りに起因する不都合が低減し製造歩留りを向上することができる。
犠牲層を除去し上部膜を側壁部の上面に密着させた後、さらに上部膜及び側壁部の表面に被覆膜を形成することにより、より密閉度を向上することができる。
上部膜に1軸方向の引張り応力を有する膜を用いることにより、犠牲層を除去した後、上部膜は1軸方向に引っ張られ、自動的に下がり外囲壁部の上面に密着する。
上部膜に2軸方向の引張り応力を有する膜を用いることにより、犠牲層を除去した後、上部膜は2軸方向に引っ張られ、自動的に下がり外囲壁部の上面に密着する。この場合上部膜は2軸方向に引っ張られて下げられるので、密閉度を高めることができる。
熱環境下で膜特性が変化する上部膜を用い、犠牲層を除去したときには上部膜が下がらず、その後の熱環境下で膜特性、例えば引張り応力を生じさせて、上部膜を外囲壁部の上面に下げ密着させることにより、密閉構造内の犠牲層を確実に除去することができ、犠牲層残りに起因する微小電気機械素子本体の動作不良を低減し、歩留りを向上することができる。
犠牲層を除去し上部膜を外囲壁部の上面に密着させた後、さらに上部膜及び外囲壁部の表面に被覆膜を形成することにより、より密閉度向上することができる。
先ず、図2Aに示すように、基板42上の微小電気機械素子本体の形成領域に下部電極43を形成し、またこの形成領域の外側に該形成領域を囲うように所要の高さH1 、すなわち後で形成するビームの高さ位置より高い外囲壁部48を形成する。さらに、下部電極43を覆うように選択的に第1の犠牲層51を形成し、犠牲層51の上面から一部基板42の面に延長するビーム45を形成する。ビーム45は絶縁膜とその上の上部電極で形成される。犠牲層51は、同時に外囲壁部48内と外囲壁部48外に選択的に形成され、外囲壁部48外では外囲壁部48を挟んで一対の開口53A,53Bを有する犠牲層51が形成される。第1の犠牲層51の膜厚H2 は外囲壁部48の高さH1 より低い膜厚に設定される。
第2実施の形態に係る微小電気機械素子412は、その基本構造を第1実施の形態の構造と同じであるも、特に、図6の模式図で示すように、上部膜49が外囲壁部48に囲まれた領域を蓋する中央領域49Eと、2軸方向に固定点となる支持部49A,49B,及び49C,49Dを有して、引張り応力F2 ,F3 が2軸方向に作用するような膜構造に形成されて構成される。その他の構成は、第1実施の形態と同様であるので重複説明を省略する。
この例では、第4の犠牲層58は外囲壁部48外に形成し、第3の犠では47は残りの全ての部分に形成する。また、第1の犠牲層51と第3の犠牲層57は同材質、あるいは同じエッチングで除去可能な材料で形成する。
次いで、第3及び第4の犠牲層57及び58上、開口53A,53B内を含んで引張り応力の強い上部膜49を堆積し、この上部膜49を外囲壁部48が被覆されるパターンでパターニングする。
さらに、犠牲層としてエッチング特性の異なる第3及び第4の犠牲層57及び58を形成して、第3及び第4の犠牲層57及び58を段階的に除去することにより、第1、第2実施の形態と比較してより確実に密閉構造内の犠牲層を除去することができる。従って、犠牲層のエッチング残りに起因する微小電気機械素子本体46の動作不良を低減し、歩留りを向上することができる。
さらに、上部膜として、犠牲層51、54が除去されたときには引張り応力を有さず、犠牲層除去後の室温雰囲気で引張り応力を有する上部膜61を用いることにより、第1、第2実施の形態と比較して確実に密閉構造内の犠牲層を除去することができる。従って、犠牲層のエッチング残りに起因する微小電気機械素子本体46の動作不良を低減し、歩留りを向上することができる。
さらに、第1、第2実施の形態と比較して確実に密閉構造内の犠牲層を除去することができる。従って、犠牲層のエッチング残りに起因する微小電気機械素子本体46の動作不良を低減し、歩留りを向上することができる。
さらに、本実施の形態では、上部膜49と外囲壁部48間にリフロー材料層66を形成したことにより、第1、第2実施の形態と比較して密閉構造内の機密性を向上することができる。従って、密閉性が十分でないことによる不良が低減し、歩留りを向上することができる。
さらに、本実施の形態では、上部膜49の上面から外囲壁部48の側面にわたり被覆膜67を形成することにより、第1、第2実施の形態と比較して密閉構造内の機密性を向上することができる。従って、密閉性が十分でないことによる不良が低減し、歩留りを向上することができる。
本実施の形態においては、図14Aに示すように、基板72上に微小空間を仕切る複数の側壁部73と最外側壁部79を形成する。この基板72上に側壁部73の高さH1 より低い高さH2 の第1の犠牲層51を形成し、さらに基板72の面からの高さH3 が側壁部73より高い第2の犠牲層75を複数の側壁部73及び最外側壁部79を覆うように形成する。第1の犠牲層74の外側には、基板72の面が臨む例えば一対の開口76A,76Bが形成される。次いで、第2の犠牲層75上面から開口76A,76B内に至るように強い引張り応力を有する上部膜77を形成する。
最外側壁部79を周囲を囲む構造としたときには、上部膜77で上部が封止された各微小空間78は、完全密閉空間となる。この場合、各微小空間78内に鎖線で示すように前述の微小電気機械素子本体46を内蔵させることにより、この微小構造体71は、微小電気機械素子として構成される。
最外側壁部79を一方に延びる構造としたときには、一方向が解放された密閉空間となる。この場合、例えば流路のように、内部に可動構造を有しない密閉空間を有した微小構造体として構成することができる。
従来の密閉構造で懸念されていた密閉度の問題も、特に第3〜第7実施の形態を用いることにより、解決することができる。
同時に多数の密閉空間を形成することが必要である場合には、第8実施の形態を用いることにより、容易に実現することができる。
図15のフィルタ81は、基板82上に下部電極で構成した入力電極83及び出力電極84が形成され、この入出力電極83、84に空間85を挟んで所要の共振周波数を有するビーム(振動電極)86が形成されフィルタ本体87が構成される。さらに、基板82上にフィルタ本体87を密閉するように前述したと同様の構成を採る外囲壁部88とこの外囲壁部88の上面に密着する上部膜89が形成されて構成される。
まず送信系の構成について説明すると、Iチャンネルの送信データとQチャンネルの送信データを、それぞれデジタル/アナログ変換器(DAC)201I及び201Qに供給してアナログ信号に変換する。変換された各チャンネルの信号は、バンド・パス・フィルタ202I及び202Qに供給して、送信信号の帯域以外の信号成分を除去し、バンド・パス・フィルタ202I及び202Qの出力を、変調器210に供給する。
Claims (30)
- 基板上に微小空間を仕切る側壁部が形成され、
隣合う前記側壁部間に差し渡るように、前記側壁部の上面に膜特性により下げられた上部膜が密着され、
前記微小空間が封止されて成る
ことを特徴とする微小構造体。 - 基板上に微小空間を仕切る側壁部を形成する工程と、
隣合う前記側壁部を覆うように犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層の上面を含み前記基板表面に至る上部膜を形成する工程と、
前記犠牲層を除去し、膜特性により前記上部膜を下げて前記隣合う側壁部間に差し渡るように、前記側壁部の上面に密着させ前記微小空間を封止する工程を有する
ことを特徴とする微小構造体の封止方法。 - 前記上部膜に引張り応力を有する膜を用いる
ことを特徴とする請求項2記載の微小構造体の封止方法。 - 前記上部膜に1軸方向の引張り応力を有する膜を用いる
ことを特徴とする請求項2記載の微小構造体の封止方法。 - 前記上部膜に2軸方向の引張り応力を有する膜を用いる
ことを特徴とする請求項2記載の微小構造体の封止方法。 - 前記犠牲層をエッチング特性を異にした複数の犠牲層で形成し、
前記複数の犠牲層をそれぞれ段階的に除去する
ことを特徴とする請求項2記載の微小構造体の封止方法。 - 前記犠牲層を除去したとき時に前記上部膜が下がらず、
前記犠牲層の除去した後に所要の熱環境下で前記上部膜の膜特性を変化させ、前記上部膜を前記外囲壁部上に下げる
ことを特徴とする請求項2記載の微小構造体の封止方法。 - 前記上部膜を圧縮応力を有する膜と引張り応力を有する膜の2層膜で形成し、
前記犠牲層を除去した後に前記圧縮応力を有する膜を除去して前記引張り応力を有する膜のみの上部膜の応力を解放し、
前記上部膜を前記外囲壁部上に下げる
ことを特徴とする請求項2記載の微小構造体の封止方法。 - 前記犠牲層の形成前に、前記外囲壁部の上面にリフロー材料層を形成する工程、
前記犠牲層を除去し、前記上部膜を前記外囲壁部の上面のリフロー材料層に下げた後、前記リフロー材料層をリフロー処理する工程を有する
ことを特徴とする請求項2記載の微小構造の封止方法。 - 前記上部膜を下げて前記外囲壁部の上面に密着させる工程の後、前記上部膜と前記外囲壁部の上面を覆う被覆膜を形成する工程を有する
ことを特徴とする請求項2記載の微小構造体の封止方法。 - 基板上に微小電気機械素子本体を囲うように外囲壁部が形成され、
前記外囲壁部の上面に膜特性により下げられた上部膜が密着され、
前記微小電気機械素子本体が密閉されて成る
ことを特徴とする微小電気機械素子。 - 前記上部膜が引張り応力を有する膜で形成され、
犠牲層の除去で前記上部膜が前記外囲壁部の上面に下がり密着して成る
ことを特徴とする請求項11記載の微小電気機械素子。 - 前記上部膜が1軸方向に引張り応力を有する膜で形成されて成る
ことを特徴とする請求項11記載の微小電気機械素子。 - 前記上部膜が2軸方向に引張り応力を有する膜で形成されて成る
ことを特徴とする請求項11記載の微小電気機械素子。 - 前記上部膜が引張り応力を有する膜で形成され、
エッチング特性を異にした複数の犠牲層をそれぞれ段階的に除去することで、前記上部膜が前記外囲壁部の上面に下がり密着して成る
ことを特徴とする請求項11記載の微小電気機械素子。 - 犠牲層を除去した後の処理で、前記上部膜の特性が変化して前記上部膜が前記外囲壁部の上面に下がり密着して成る
ことを特徴とする請求項11記載の微小電気機械素子。 - 前記上部膜が圧縮応力を有する膜と引張り応力を有する膜の2層膜で形成され、
犠牲層の除去後に前記圧縮応力の膜が除去されて前記引張り応力を有する膜のみの上部膜が、前記外囲壁部の上面に下がり密着して成る
ことを特徴とする請求項11記載の微小電気機械素子。 - 前記上部膜と前記外囲壁部の上面との間にリフロー材料層が介在して成る
ことを特徴とする請求項11記載の微小電気機械素子。 - 密着された前記上部膜と前記外囲壁部の上面を覆って被覆膜が形成されて成る
ことを特徴とする請求項11記載の微小電気機械素子。 - 基板上に微小電気機械素子本体を囲う外囲壁部を形成する工程と、
前記外囲壁部を覆うように犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層の上面を含み前記基板表面に至る上部膜を形成する工程と、
前記犠牲層を除去し、膜特性により前記上部膜を下げて前記外囲壁部の上面に密着させる工程を有する
ことを特徴とする微小電気機械素子の製造方法。 - 前記上部膜に引張り応力を有する膜を用いる
ことを特徴とする請求項20記載の微小電気機械素子の製造方法。 - 前記上部膜に1軸方向の引張り応力を有する膜を用いる
ことを特徴とする請求項20記載の微小電気機械素子の製造方法。 - 前記上部膜に2軸方向の引張り応力を有する膜を用いる
ことを特徴とする請求項20記載の微小電気機械素子の製造方法。 - 前記犠牲層をエッチング特性を異にした複数の犠牲層で形成し、
前記複数の犠牲層をそれぞれ段階的に除去する
ことを特徴とする請求項20記載の微小電気機械素子の製造方法。 - 前記犠牲層を除去したとき時に前記上部膜が下がらず、
前記犠牲層の除去した後に所要の熱環境下で前記上部膜の膜特性を変化させ、前記上部膜を前記外囲壁部上に下げる
ことを特徴とする請求項20記載の微小電気機械素子の製造方法。 - 前記上部膜を圧縮応力を有する膜と引張り応力を有する膜の2層膜で形成し、
前記犠牲層を除去した後に前記圧縮応力を有する膜を除去して前記引張り応力を有する膜のみの上部膜の応力を解放し、
前記上部膜を前記外囲壁部の上面に降下させる
ことを特徴とする請求項20記載の微小電気機械素子の製造方法。 - 前記犠牲層の形成前に、前記外囲壁部の上面にリフロー材料層を形成する工程、
前記犠牲層を除去し、前記上部膜を前記外囲壁部の上面のリフロー材料層に下げた後、前記リフロー材料層をリフロー処理する工程を有する
ことを特徴とする請求項20記載の微小電気機械素子の製造方法。 - 前記上部膜を下げて前記外囲壁部の上面に密着させる工程の後、前記上部膜と前記外囲壁部の上面を覆う被覆膜を形成する工程を有する
ことを特徴とする請求項20記載の微小電気機械素子の製造方法。 - 基板上に微小空間を仕切る側壁部が形成され、
隣合う前記側壁部間に差し渡るように該側壁部の上面に膜特性により下げられた上部膜が密着され、
前記微小空間が封止されてなる微小構造体を、
備えて成る
ことを特徴とする電子機器。 - 基板上に微小電気機械素子本体を囲うように外囲壁部が形成され、
前記外囲壁部の上面に膜特性により降下した上部膜が密着され、
前記微小電気機械素子本体が密閉されてなる微小電気機械素子を、
備えて成る
ことを特徴とする電子機器。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009083018A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Fujitsu Ltd | マイクロ構造体製造方法 |
EP2083442A1 (en) | 2008-01-24 | 2009-07-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and fabrication method of the semiconductor device |
JP2010524706A (ja) * | 2007-04-26 | 2010-07-22 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 充填層およびマスク層が設けられたマイクロマシンコンポーネントの製造方法 |
CN102275859A (zh) * | 2010-06-13 | 2011-12-14 | 苏州敏芯微电子技术有限公司 | Mems微传感器的封装结构及其制造方法 |
JP2011258751A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置とその製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105502274B (zh) * | 2015-11-24 | 2017-10-27 | 宋月琴 | Mems中的弹簧结构、麦克风器件及加速度传感器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000004139A (ja) * | 1998-06-16 | 2000-01-07 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波デバイスの封止構造及びその封止方法 |
JP2000304764A (ja) * | 1999-04-20 | 2000-11-02 | Denso Corp | 半導体力学量センサ及びその製造方法 |
JP2002217220A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Tdk Corp | 電子装置の製造方法 |
JP2002217219A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Tdk Corp | 電子装置の製造方法 |
WO2002073691A1 (en) * | 2001-03-07 | 2002-09-19 | Analog Devices, Inc. | In-situ cap and method of fabricating same for an integrated circuit device |
WO2004055885A2 (en) * | 2002-12-13 | 2004-07-01 | Ic Mechanics, Inc. | Encapsulation of mems devices using pillar-supported caps |
JP2004201285A (ja) * | 2002-12-06 | 2004-07-15 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品の製造方法および圧電部品 |
-
2004
- 2004-08-06 JP JP2004231210A patent/JP4608993B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000004139A (ja) * | 1998-06-16 | 2000-01-07 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波デバイスの封止構造及びその封止方法 |
JP2000304764A (ja) * | 1999-04-20 | 2000-11-02 | Denso Corp | 半導体力学量センサ及びその製造方法 |
JP2002217220A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Tdk Corp | 電子装置の製造方法 |
JP2002217219A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Tdk Corp | 電子装置の製造方法 |
WO2002073691A1 (en) * | 2001-03-07 | 2002-09-19 | Analog Devices, Inc. | In-situ cap and method of fabricating same for an integrated circuit device |
JP2004201285A (ja) * | 2002-12-06 | 2004-07-15 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品の製造方法および圧電部品 |
WO2004055885A2 (en) * | 2002-12-13 | 2004-07-01 | Ic Mechanics, Inc. | Encapsulation of mems devices using pillar-supported caps |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010524706A (ja) * | 2007-04-26 | 2010-07-22 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 充填層およびマスク層が設けられたマイクロマシンコンポーネントの製造方法 |
US8419957B2 (en) | 2007-04-26 | 2013-04-16 | Robert Bosch Gmbh | Method for producing a micromechanical component having a filler layer and a masking layer |
JP2009083018A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Fujitsu Ltd | マイクロ構造体製造方法 |
EP2083442A1 (en) | 2008-01-24 | 2009-07-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and fabrication method of the semiconductor device |
US8026595B2 (en) | 2008-01-24 | 2011-09-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device having hermitically sealed active area and electrodes |
US8476118B2 (en) | 2008-01-24 | 2013-07-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and fabrication mehtod of the semiconductor device |
JP2011258751A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置とその製造方法 |
CN102275859A (zh) * | 2010-06-13 | 2011-12-14 | 苏州敏芯微电子技术有限公司 | Mems微传感器的封装结构及其制造方法 |
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