JP2006036949A - Aqueous alkali solution-soluble resin, composition including the same and hardened product thereof - Google Patents

Aqueous alkali solution-soluble resin, composition including the same and hardened product thereof Download PDF

Info

Publication number
JP2006036949A
JP2006036949A JP2004219696A JP2004219696A JP2006036949A JP 2006036949 A JP2006036949 A JP 2006036949A JP 2004219696 A JP2004219696 A JP 2004219696A JP 2004219696 A JP2004219696 A JP 2004219696A JP 2006036949 A JP2006036949 A JP 2006036949A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
compound
acid
soluble resin
diol
molecule
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004219696A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4408401B2 (en
Inventor
Ryutaro Tanaka
竜太朗 田中
Hideteru Kametani
英照 亀谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Kayaku Co Ltd
Original Assignee
Nippon Kayaku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Kayaku Co Ltd filed Critical Nippon Kayaku Co Ltd
Priority to JP2004219696A priority Critical patent/JP4408401B2/en
Publication of JP2006036949A publication Critical patent/JP2006036949A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4408401B2 publication Critical patent/JP4408401B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Polyesters Or Polycarbonates (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition that has excellent photosensitivity to active energy ray, can form the patterns by developing with dilute alkali aqueous solution and is suitable as a solder mask ink of which the hardened membrane is highly insulative, has satisfactory flexibility, adhesiveness, gold plate resistance, electroless gold plating resistance and tin plating resistance. <P>SOLUTION: A diol compound (a) bearing an ethylenic unsaturated group in the molecule or the diol compound (a) and other diol compounds (d) are allowed to react with a polybasic acid anhydride (b) to form an ester compound (x), an epoxy compound (c) bearing two epoxy groups in the molecule is allowed to react with the carboxy groups in the ester compound (x). Further, the formed diol is allowed to react with polybasic acid anhydride (b') whereby alkali aqueous solution-soluble resin composition (A) is obtained. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明はアルカリ水溶液可溶性樹脂、それを含む組成物及びその硬化物の製造法等に関し、更に詳しくは、プリント配線(基)板用ソルダーマスク、フレキシブルプリント配線(基)板用ソルダーマスク、多層プリント配線(基)板用層間絶縁膜、感光性光導波路、感光性塗料膜等として有用な、現像性、感光性、フレキシブル性、密着性、半田耐熱性、耐薬品性、メッキ耐性、高絶縁性等に優れた硬化物を与える特定の樹脂を含む組成物、その硬化物の製造法及びその硬化物の層を有する基材等に関する。   The present invention relates to an aqueous alkali-soluble resin, a composition containing the same, and a method for producing a cured product thereof. More specifically, the present invention relates to a solder mask for printed wiring (base) board, a solder mask for flexible printed wiring (base) board, and a multilayer print. Useful as interlayer insulation films for wiring (base) boards, photosensitive optical waveguides, photosensitive paint films, etc., developability, photosensitivity, flexibility, adhesion, solder heat resistance, chemical resistance, plating resistance, high insulation The present invention relates to a composition containing a specific resin that gives an excellent cured product, a method for producing the cured product, and a substrate having a layer of the cured product.

現在、一部の民生用プリント配線板並びにほとんどの産業用プリント配線板のソルダーマスクは、フォトリソグラフ法を利用した、即ち、露光後に現像処理をすることによって画像形成し、更に熱及び/または光照射で硬化する光硬化型組成物を使用したソルダーマスクである。そして、環境問題への配慮から、現像液として有機溶媒ではなく希アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像タイプのソルダーマスク用組成物が主流になっている。このような希アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像タイプのソルダーマスク用組成物としては、例えば、ノボラック型エポキシ樹脂と不飽和一塩基酸の反応生成物に酸無水物を付加した感光性樹脂、光重合開始剤、架橋剤、及びエポキシ樹脂からなる組成物が知られている(例えば、特許文献1)。しかしながら、この組成物の硬化物は硬く、近年の携帯機器のような分野に多く使用されつつあるボールグリッドアレイ(以下BGAという)基板やフレキシブル基板に適用すると、表面にクラックが生じたり、基板の折り曲げに追随できないという不具合を生ずる。   Currently, some consumer printed wiring boards as well as most industrial printed wiring board solder masks use photolithography, that is, they are imaged by development after exposure, and further heat and / or light. It is the solder mask which uses the photocurable composition hardened | cured by irradiation. In consideration of environmental problems, an alkali development type solder mask composition using a dilute alkaline aqueous solution instead of an organic solvent as a developing solution has become mainstream. Examples of such an alkali development type solder mask composition using a dilute aqueous alkali solution include a photosensitive resin obtained by adding an acid anhydride to a reaction product of a novolak epoxy resin and an unsaturated monobasic acid, and photopolymerization is initiated. A composition comprising an agent, a crosslinking agent, and an epoxy resin is known (for example, Patent Document 1). However, the cured product of this composition is hard, and when applied to a ball grid array (hereinafter referred to as BGA) substrate or a flexible substrate that is being used in many fields such as portable devices in recent years, the surface is cracked, This causes a problem that the bending cannot be followed.

この、BGA基板やフレキシブル基板に適する材料として、多官能ビスフェノール系エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応物に多塩基酸無水物を反応させて得られる多塩基酸無水物変性エポキシアクリレート樹脂を使用した組成物が特許文献2に記載されている。しかしながら、これを用いた場合、表面の耐クラック性は改善されるものの、感光性、フレキシブル性の点で十分ではなく、また、極度の折り曲げには追随できない。
特許文献3には、1分子中に1.2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物と不飽和一塩基酸とを反応させて得られるビニルエステル樹脂等からなるウレタン変性ビニルエステル樹脂に、多塩基酸無水物を付加させることにより得られるウレタン変性酸付加ビニルエステル樹脂を含む光重合性樹脂組成物が開示されているが、その硬化物はフレキシブル性ではほぼ満足する性能が得られるが、感光性、耐熱性、絶縁性の低下等の課題があった。
As a material suitable for this BGA substrate and flexible substrate, a polybasic acid anhydride-modified epoxy acrylate resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a reaction product of a polyfunctional bisphenol-based epoxy resin and (meth) acrylic acid is used. This composition is described in Patent Document 2. However, when this is used, although the crack resistance of the surface is improved, it is not sufficient in terms of photosensitivity and flexibility and cannot follow extreme bending.
In Patent Document 3, a polybasic compound is added to a urethane-modified vinyl ester resin comprising a vinyl ester resin obtained by reacting an epoxy compound having 1.2 or more epoxy groups in one molecule with an unsaturated monobasic acid. Although a photopolymerizable resin composition containing a urethane-modified acid-added vinyl ester resin obtained by adding an acid anhydride has been disclosed, the cured product can achieve performance that is almost satisfactory in flexibility, but is photosensitive. There were problems such as deterioration of heat resistance and insulation.

特開昭61−243869号公報JP-A 61-243869 特許2868190号公報Japanese Patent No. 2868190 特開平9−52925号公報JP-A-9-52925

プリント配線板は、携帯機器の小型軽量化や通信速度の向上をめざして高精度、高密度化が求められており、それに伴いソルダーマスクへの要求も増々高度となり、よりフレキシブル性を保ちながら感光性、金メッキ耐性、無電解金メッキ耐性、スズメッキ耐性、基板密着性、高絶縁性等の電気特性の向上が要求されている。しかしながら、現在知られているソルダーマスクでは、これら要求に対応できていない。
本発明の目的は、今日のプリント配線板の高機能に対応し得る微細な画像を描画可能な活性エネルギー線に対する感光性に優れ、希アルカリ水溶液による現像によりパターン形成ができると共に、後硬化(ポストキュア)工程として熱硬化させて得られる硬化膜が十分な耐熱性、フレキシブル性を有し、高絶縁性で密着性、金メッキ耐性、無電解金メッキ耐性、スズメッキ耐性に優れたソルダーマスク用インキに適する組成物及び硬化物とそれらの特性を発揮させるアルカリ水溶液可溶性樹脂を提供することにある。
Printed wiring boards are required to have high precision and high density in order to reduce the size and weight of portable devices and improve communication speeds. As a result, the demand for solder masks has become increasingly sophisticated, and while maintaining more flexibility, There is a demand for improvement in electrical characteristics such as the property, gold plating resistance, electroless gold plating resistance, tin plating resistance, substrate adhesion, and high insulation. However, currently known solder masks cannot meet these requirements.
The object of the present invention is excellent in photosensitivity to active energy rays capable of drawing a fine image capable of corresponding to the high functionality of today's printed wiring boards, can be patterned by development with dilute alkaline aqueous solution, and post-cured (post-cured) Cured) The cured film obtained by thermosetting as the process has sufficient heat resistance and flexibility, and is suitable for solder mask ink with high insulation, adhesion, gold plating resistance, electroless gold plating resistance, and tin plating resistance. An object of the present invention is to provide an aqueous alkali-soluble resin that exhibits a composition and a cured product and their properties.

本発明者らは前述の課題を解決するため鋭意研究の結果、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have completed the present invention.

即ち、本発明は、
(1)分子中にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物(a)、または、前記ジオール化合物(a)と化合物(a)以外のジオール化合物(d)に、多塩基酸無水物(b)を反応させて得られるエステル化合物(x)のカルボキシル基に、分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(c)を反応させ、更に生成したジオールと多塩基酸無水物(b’)とを反応させて得られるアルカリ水溶液可溶性樹脂(A);
(2)ジオール化合物(a)が分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸または桂皮酸との反応生成物であり、多塩基酸無水物が2塩基酸1無水物及び/または3塩基酸1無水物である請求項1に記載のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A);
(3)アルカリ水溶液可溶性樹脂(A)の固形分酸価が、30〜150mgKOH/gである上記(1)または(2)に記載のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A);
That is, the present invention
(1) Polybasic acid anhydride (b) is added to diol compound (a) having an ethylenically unsaturated group in the molecule, or diol compound (d) other than diol compound (a) and compound (a). The carboxyl group of the ester compound (x) obtained by the reaction is reacted with an epoxy compound (c) having two epoxy groups in the molecule, and the resulting diol and polybasic acid anhydride (b ′) are reacted. An aqueous alkali-soluble resin (A) obtained by reacting;
(2) The diol compound (a) is a reaction product of an epoxy compound having two epoxy groups in the molecule and (meth) acrylic acid or cinnamic acid, and a polybasic acid anhydride is a dibasic acid monoanhydride And / or an alkaline aqueous solution-soluble resin (A) according to claim 1, which is a tribasic acid monoanhydride;
(3) Alkaline aqueous solution-soluble resin (A) as described in said (1) or (2) whose solid content acid value of alkali aqueous solution-soluble resin (A) is 30-150 mgKOH / g;

(4)1.上記(1)〜(3)のいずれか1項に記載のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)、
2.光重合開始剤(B)、
3.反応性架橋剤(C)、
4.任意成分としての硬化成分(D)
を含有する感光性樹脂組成物;
(5)上記(4)に記載の感光性樹脂組成物に活性エネルギー線を照射することを特徴とする硬化物の製造法;
(6)上記(5)に記載の製造法による硬化物の層を有する基材;
(7)上記(6)に記載の基材を有する物品;
(4) 1. The alkaline aqueous solution-soluble resin (A) according to any one of (1) to (3) above,
2. Photopolymerization initiator (B),
3. Reactive crosslinking agent (C),
4). Curing component (D) as an optional component
A photosensitive resin composition comprising:
(5) A method for producing a cured product, wherein the photosensitive resin composition according to (4) is irradiated with active energy rays;
(6) A substrate having a layer of a cured product by the production method according to (5) above;
(7) An article having the substrate according to (6) above;

(8)請求項4に記載の感光性樹脂組成物を塗布し、光硬化し、アルカリ処理及び熱処理する工程を含むことを特徴とするプリント配線板用ソルダーマスク、フレキシブルプリント配線板用ソルダーマスク、多層プリント配線板用層間絶縁膜、感光性光導波路または感光性塗料膜の製造法;
に関する。
(8) A solder mask for a printed wiring board, a solder mask for a flexible printed wiring board, comprising the steps of applying the photopolymer composition according to claim 4, photocuring, alkali treatment and heat treatment, Production method of interlayer insulating film for multilayer printed wiring board, photosensitive optical waveguide or photosensitive paint film;
About.

本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)は、分子中にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物(a)、または、前記ジオール化合物(a)と化合物(a)以外のジオール化合物(d)に、多塩基酸無水物(b)を反応させて得られるエステル化合物(x)のカルボキシル基に、分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(c)を反応させ、更に生成したジオールと多塩基酸無水物(b’)とを反応させて得られ、例えば、模式的に下記の構造式で表される。   The alkaline aqueous solution-soluble resin (A) of the present invention includes a diol compound (a) having an ethylenically unsaturated group in the molecule, or a diol compound (d) other than the diol compound (a) and the compound (a), The carboxyl group of the ester compound (x) obtained by reacting the polybasic acid anhydride (b) is reacted with the epoxy compound (c) having two epoxy groups in the molecule, and the resulting diol and polybasic It is obtained by reacting with an acid anhydride (b ′), and is schematically represented by the following structural formula, for example.

Figure 2006036949
Figure 2006036949

但し、(c)のエポキシ基は(x)及び(b’)のカルボキシル基と反応してエステル結合を形成している。この樹脂を含む感光性樹脂組成物は、紫外線等の活性エネルギー線による高機能プリント配線板に対応する微細な画像の形成において光感度性に優れ、希アルカリ水溶液による現像によりパターン形成でき、現像性に優れると共に、後硬化(ポストキュア)工程で熱硬化させて得られる硬化膜が、屈曲性、密着性、鉛筆硬度、耐溶剤性、耐薬品性、耐酸性、耐熱性、金メッキ耐性、無電解金メッキ耐性、スズメッキ耐性、高絶縁性等も十分に満足するものであり、特に、フレキシブルプリント配線板用ソルダーマスク、多層プリント配線板用層間絶縁膜、感光性光導波路及び感光性塗料膜等の製造に適している。
また、エポキシ化合物(c)や多塩基酸無水物(b’)の仕込み量比を変えて上記構造式のm+nやmを変えることで、各種特性に寄与する樹脂の分子量や酸価を自由に制御することができる。
However, the epoxy group of (c) reacts with the carboxyl group of (x) and (b ′) to form an ester bond. The photosensitive resin composition containing this resin is excellent in photosensitivity in forming a fine image corresponding to a high-performance printed wiring board by active energy rays such as ultraviolet rays, and can be patterned by development with a dilute aqueous alkali solution. In addition, the cured film obtained by heat curing in the post-curing (post-cure) process is flexible, adhesive, pencil hardness, solvent resistance, chemical resistance, acid resistance, heat resistance, gold plating resistance, electroless Gold plating resistance, tin plating resistance, high insulation, etc. are also fully satisfied, especially manufacturing of solder masks for flexible printed wiring boards, interlayer insulating films for multilayer printed wiring boards, photosensitive optical waveguides and photosensitive paint films, etc. Suitable for
In addition, by changing the charge ratio of the epoxy compound (c) and polybasic acid anhydride (b ′) and changing m + n and m in the above structural formula, the molecular weight and acid value of the resin contributing to various properties can be freely set. Can be controlled.

本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)は、分子中にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物(a)、または、前記ジオール化合物(a)と化合物(a)以外のジオール化合物(d)に、多塩基酸無水物(b)を反応(以下、第一の反応という)させて得られるエステル化合物(x)のカルボキシル基に、分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(c)を反応(以下、第二の反応という)させ、更に生成したジオールと多塩基酸無水物(b’)とを反応(以下、第三の反応という)させて得られることを特徴とする。   The alkaline aqueous solution-soluble resin (A) of the present invention includes a diol compound (a) having an ethylenically unsaturated group in the molecule, or a diol compound (d) other than the diol compound (a) and the compound (a), Reaction of an epoxy compound (c) having two epoxy groups in the molecule with a carboxyl group of an ester compound (x) obtained by reacting the polybasic acid anhydride (b) (hereinafter referred to as the first reaction) (Hereinafter, referred to as a second reaction), and further obtained by reacting the produced diol with a polybasic acid anhydride (b ′) (hereinafter referred to as a third reaction).

本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)の製造に使用される分子中にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物(a)としては、ジメチロールプロピオン酸と2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートとの反応生成物、ジメチロールプロピオン酸と2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートとの反応生成物、ジメチロールブタン酸と2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートとの反応生成物、ジメチロールブタン酸と2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートとの反応生成物、分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸または桂皮酸との反応生成物、分子中に2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物とグリシジル(メタ)アクリレートとの反応生成物等が挙げられる。   As the diol compound (a) having an ethylenically unsaturated group in the molecule used in the production of the aqueous alkali solution-soluble resin (A) of the present invention, reaction of dimethylolpropionic acid and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate Product, reaction product of dimethylolpropionic acid and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, reaction product of dimethylolbutanoic acid and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, dimethylolbutanoic acid and 2-hydroxypropyl Reaction product of (meth) acrylate, reaction product of epoxy compound having two epoxy groups in molecule and (meth) acrylic acid or cinnamic acid, phenol compound having two phenolic hydroxyl groups in molecule And the reaction product of glycidyl (meth) acrylate and the like.

上記において分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物としては、例えば、ハイドロキノンジグリシジルエーテル、カテコールジグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル等のフェニルジグリシジルエーテル;ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、ビスフェノール−F型エポキシ樹脂、ビスフェノール−S型エポキシ樹脂、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパンのエポキシ化合物等のビスフェノール型エポキシ化合物;水素化ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、水素化ビスフェノール−F型エポキシ樹脂、水素化ビスフェノール−S型エポキシ樹脂、水素化2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパンのエポキシ化合物等の水素化ビスフェノール型エポキシ化合物;臭素化ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノール−F型エポキシ樹脂等のハロゲノビスフェノール型エポキシ化合物;シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル等の脂環式ジグリシジルエーテル化合物;1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル等の脂肪族ジグリシジルエーテル化合物;ポリサルファイドジグリシジルエーテル等のポリサルファイド型ジグリシジルエーテル化合物;ビフェノール型エポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the epoxy compound having two epoxy groups in the molecule include phenyl diglycidyl ethers such as hydroquinone diglycidyl ether, catechol diglycidyl ether, resorcinol diglycidyl ether; bisphenol-A type epoxy resin, bisphenol-F Type epoxy resin, bisphenol-S type epoxy resin, bisphenol type epoxy compound such as 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane epoxy compound; hydrogenation Bisphenol-A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol-F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol-S type epoxy resin, hydrogenated 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -1,1,1,3,3,3 -Of hexafluoropropane Hydrogenated bisphenol-type epoxy compounds such as poxy compounds; Halogenobisphenol-type epoxy compounds such as brominated bisphenol-A type epoxy resins and brominated bisphenol-F type epoxy resins; Alicyclic diglycidyl ethers such as cyclohexanedimethanol diglycidyl ether Compound; Aliphatic diglycidyl ether compound such as 1,6-hexanediol diglycidyl ether, 1,4-butanediol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether; Polysulfide type diglycidyl ether compound such as polysulfide diglycidyl ether; Biphenol type An epoxy resin etc. are mentioned.

前記において分子中に2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、カテコール、レゾルシノール、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ケトン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ケトン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)ケトン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ジメチルシラン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ジメチルシラン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)ジメチルシラン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジブロモフェニル)メタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−クロロフェニル)プロパン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)エーテル、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)エーテル、9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−クロロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−ブロモフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−フルオロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジブロモフェニル)フルオレン、4,4’−ビフェノール、3,3’−ビフェノール等が挙げられる。   Examples of the phenol compound having two phenolic hydroxyl groups in the molecule include hydroquinone, catechol, resorcinol, bis (4-hydroxyphenyl) ketone, bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) ketone, Bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) ketone, bis (4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) sulfone, bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) Sulfone, bis (4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane, bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) hexafluoropropane, bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) hexafluoropropane, bis (4- Hydroxyphenyl) di Tylsilane, bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) dimethylsilane, bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) dimethylsilane, bis (4-hydroxyphenyl) methane, bis (4-hydroxy-3, 5-dichlorophenyl) methane, bis (4-hydroxy-3,5-dibromophenyl) methane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) ) Propane, 2,2-bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) propane, 2,2-bis (4-hydroxy-3-methylphenyl) propane, 2,2-bis (4-hydroxy-3-) Chlorophenyl) propane, bis (4-hydroxyphenyl) ether, bis (4-hydroxy-3,5-dimethyl) Ruphenyl) ether, bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) ether, 9,9-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-methylphenyl) fluorene, 9, 9-bis (4-hydroxy-3-chlorophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-bromophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-fluorophenyl) fluorene, 9, 9-bis (4-hydroxy-3-methoxyphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) Fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3,5-dibromophenyl) fluorene, 4,4′-biphenol And 3,3'-biphenol.

ジオール化合物(a)としては、分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸または桂皮酸との反応生成物が好ましく、ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、ビスフェノール−F型エポキシ樹脂、水素化ビスフェノール−F型エポキシ樹脂または水素化ビスフェノール−A型エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物が特に好ましい。   The diol compound (a) is preferably a reaction product of an epoxy compound having two epoxy groups in the molecule and (meth) acrylic acid or cinnamic acid, and is a bisphenol-A type epoxy resin or bisphenol-F type epoxy resin. A reaction product of hydrogenated bisphenol-F type epoxy resin or hydrogenated bisphenol-A type epoxy resin and (meth) acrylic acid is particularly preferred.

本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)の製造においてジオール化合物(d)を使用する場合、ジオール化合物(d)としては、上記のジオール化合物(a)以外の、2個のアルコール性水酸基が相異なる炭素原子に結合している脂肪族あるいは脂環式ジオール化合物が挙げられ、具体的には例えば、(ポリ)エチレングリコール、(ポリ)プロピレングリコール、トリメチレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,7−ヘプタンジオール、1,8−オクタンジオール、1,9−ノナンジオール、1,10−デカンジオール、ヒドロベンゾイン、ベンズピナコール、シクロペンタン−1,2−ジオール、シクロヘキサン−1,2−ジオール、シクロヘキサン−1,4−ジオール、シクロヘキサン−1,2−ジメタノール、シクロヘキサン−1,4−ジメタノール、末端に水酸基を有するブタジエン−アクリロニトリル共重合体(例えば、宇部興産のAT×013)、末端に水酸基を有するスピログリコール(例えば3,9−ビス(2−ヒドロキシ−1,1−ジメチルエチル)−2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5,5]ウンデカン等)、末端に水酸基を有するジオキサングリコール(例えば2−(2−ヒドロキシ−1,1−ジメチルエチル)−5−エチル−5−ヒドロキシ−1,3−ジオキサン等)、末端に水酸基を有するトリシクロデカン−ジメタノール、末端に水酸基を有しポリスチレンを側鎖に持つマクロモノマー(例えば、東亞合成(株)製のHS−6等)、末端に水酸基を有しポリスチレン−アクリロニトリル共重合体を側鎖に持つマクロモノマー(例えば、東亞合成(株)製のHN−6等)等のジオール化合物、水素化ビスフェノール−A、水素化ビスフェノール−F、あるいはこれらのジオール化合物とエチレンオキサイド、プロピレンオキサイド等のオキサイド類との反応物等が挙げられる。   When the diol compound (d) is used in the production of the aqueous alkali solution-soluble resin (A) of the present invention, the diol compound (d) is different in two alcoholic hydroxyl groups other than the diol compound (a). Specific examples include aliphatic or alicyclic diol compounds bonded to carbon atoms. Specific examples include (poly) ethylene glycol, (poly) propylene glycol, trimethylene glycol, 1,4-butanediol, 1, 5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol, 1,8-octanediol, 1,9-nonanediol, 1,10-decanediol, hydrobenzoin, benzpinacol, cyclopentane-1 , 2-diol, cyclohexane-1,2-diol, cyclohexane-1,4-dioe , Cyclohexane-1,2-dimethanol, cyclohexane-1,4-dimethanol, butadiene-acrylonitrile copolymer having a hydroxyl group at the terminal (for example, AT × 013 from Ube Industries), spiroglycol having a hydroxyl group at the terminal (for example, 3,9-bis (2-hydroxy-1,1-dimethylethyl) -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5,5] undecane, etc.), dioxane glycol having a terminal hydroxyl group (for example, 2- ( 2-hydroxy-1,1-dimethylethyl) -5-ethyl-5-hydroxy-1,3-dioxane, etc.), tricyclodecane-dimethanol having a hydroxyl group at the terminal, side chain of polystyrene having a hydroxyl group at the terminal (Eg, HS-6 manufactured by Toagosei Co., Ltd.) Diol compounds such as macromonomer having a rilonitrile copolymer in the side chain (for example, HN-6 manufactured by Toagosei Co., Ltd.), hydrogenated bisphenol-A, hydrogenated bisphenol-F, or these diol compounds and ethylene The reaction material with oxides, such as an oxide and a propylene oxide, etc. are mentioned.

本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)の製造に使用される多塩基酸無水物(b)としては特に限定されないが、2塩基酸が分子内で酸無水物を形成している2塩基酸1無水物、3塩基酸の任意の2個のカルボキシル基が分子内で酸無水物を形成している3塩基酸1無水物、若しくはそれら酸1無水物の混合物が好ましい。2塩基酸1無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸等が挙げられ、好ましくは無水コハク酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸である。また、3塩基酸1無水物としては、例えば、無水トリメリット酸、テトラヒドロ無水トリメリット酸、ヘキサヒドロ無水トリメリット酸が挙げられ、好ましくはテトラヒドロ無水トリメリット酸である。   Although it does not specifically limit as polybasic acid anhydride (b) used for manufacture of aqueous alkali solution-soluble resin (A) of this invention, The dibasic acid 1 in which the dibasic acid forms the acid anhydride in a molecule | numerator 1 An anhydride, a tribasic acid monoanhydride in which any two carboxyl groups of a tribasic acid form an acid anhydride in the molecule, or a mixture of these acid monoanhydrides is preferred. Examples of the dibasic acid monoanhydride include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, and methyltetrahydrophthalic anhydride. Examples of the acid include succinic anhydride, phthalic anhydride, and tetrahydrophthalic anhydride. Examples of the tribasic acid monoanhydride include trimellitic anhydride, tetrahydro trimellitic anhydride, and hexahydro trimellitic anhydride, with tetrahydro trimellitic anhydride being preferred.

第一の反応においては、分子中にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物(a)、または、前記ジオール化合物(a)と化合物(a)以外のジオール化合物(d)における水酸基1当量に対し、多塩基酸無水物(b)を0.5〜3当量、より好ましくは0.8〜1.2当量仕込むことが好ましい。この値が、0.5を下回ると第二の反応が進みにくくなり、結果として全体の分子量が低下し感光性や耐熱性の問題が生じやすくなる。また、この値が3を上回ると第二の反応中に分子同士が架橋してしまいゲル化を生じやすい。
反応温度としては、例えば、60〜150℃であり、好ましくは80〜120℃である。また、反応時間は2〜10時間、好ましくは3〜8時間である。
In the first reaction, the diol compound (a) having an ethylenically unsaturated group in the molecule, or 1 equivalent of a hydroxyl group in the diol compound (d) other than the diol compound (a) and the compound (a), It is preferable to charge 0.5 to 3 equivalents, more preferably 0.8 to 1.2 equivalents of the polybasic acid anhydride (b). When this value is less than 0.5, the second reaction is difficult to proceed, and as a result, the overall molecular weight is lowered, and problems of photosensitivity and heat resistance are likely to occur. On the other hand, when this value exceeds 3, molecules are cross-linked during the second reaction and gelation is likely to occur.
As reaction temperature, it is 60-150 degreeC, for example, Preferably it is 80-120 degreeC. The reaction time is 2 to 10 hours, preferably 3 to 8 hours.

本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)の製造に使用される分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(c)としては、例えば、ハイドロキノンジグリシジルエーテル、カテコールジグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル等のフェニルジグリシジルエーテル;ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、ビスフェノール−F型エポキシ樹脂、ビスフェノール−S型エポキシ樹脂、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパンのエポキシ化合物等のビスフェノール型エポキシ化合物;水素化ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、水素化ビスフェノール−F型エポキシ樹脂、水素化ビスフェノール−S型エポキシ樹脂、水素化2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパンのエポキシ化合物等の水素化ビスフェノール型エポキシ化合物;臭素化ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノール−F型エポキシ樹脂等のハロゲノ化ビスフェノール型エポキシ化合物;シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル等の脂環式ジグリシジルエーテル化合物;1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル等の脂肪族ジグリシジルエーテル化合物;ポリサルファイドジグリシジルエーテル等のポリサルファイド型ジグリシジルエーテル化合物;ビフェノール型エポキシ樹脂等が挙げられ、好ましくはビスフェノール−A型エポキシ樹脂、ビスフェノール−F型エポキシ樹脂、水素化ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、水素化ビスフェノール−F型エポキシ樹脂が好ましい。   Examples of the epoxy compound (c) having two epoxy groups in the molecule used in the production of the aqueous alkaline solution-soluble resin (A) of the present invention include hydroquinone diglycidyl ether, catechol diglycidyl ether, resorcinol diglycidyl ether. Phenyl diglycidyl ether such as bisphenol-A type epoxy resin, bisphenol-F type epoxy resin, bisphenol-S type epoxy resin, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -1,1,1,3,3 Bisphenol type epoxy compounds such as 3-hexafluoropropane epoxy compound; hydrogenated bisphenol-A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol-F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol-S type epoxy resin, hydrogenated 2,2-bis ( 4-hydroxyphenyl) Hydrogenated bisphenol type epoxy compounds such as epoxy compounds of 1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane; halogenated bisphenol types such as brominated bisphenol-A type epoxy resins and brominated bisphenol-F type epoxy resins Epoxy compounds; Alicyclic diglycidyl ether compounds such as cyclohexanedimethanol diglycidyl ether; Aliphatic diglycidyl ethers such as 1,6-hexanediol diglycidyl ether, 1,4-butanediol diglycidyl ether, and diethylene glycol diglycidyl ether Compound; polysulfide type diglycidyl ether compound such as polysulfide diglycidyl ether; biphenol type epoxy resin and the like, preferably bisphenol-A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol -A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol -F type epoxy resin is preferable.

第二の反応は、第一の反応で得られたエステル化合物(x)のカルボキシル基に分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(c)を付加させる反応である。
第二の反応においては、第一の反応で生成したカルボキシル基1当量に対し、分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(c)のエポキシ基を0.1〜3当量、より好ましくは0.2〜1当量仕込むことが好ましい。この値が0.1を下回ると分子量が低くなり感光性や耐熱性の問題が生じやすくなる。また、この値が3を上回ると第三の反応中にゲル化を生じやすい。
反応温度としては、例えば、60〜180℃であり、好ましくは80〜150℃である。また、反応時間は2〜15時間、好ましくは3〜10時間である。
The second reaction is a reaction in which an epoxy compound (c) having two epoxy groups in the molecule is added to the carboxyl group of the ester compound (x) obtained in the first reaction.
In the second reaction, the epoxy group of the epoxy compound (c) having two epoxy groups in the molecule is 0.1 to 3 equivalents, more preferably 1 equivalent of the carboxyl group generated in the first reaction. It is preferable to charge 0.2 to 1 equivalent. When this value is less than 0.1, the molecular weight becomes low and problems of photosensitivity and heat resistance are likely to occur. If this value exceeds 3, gelation tends to occur during the third reaction.
As reaction temperature, it is 60-180 degreeC, for example, Preferably it is 80-150 degreeC. The reaction time is 2 to 15 hours, preferably 3 to 10 hours.

本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂の製造の第三の反応に使用される多塩基酸無水物(b’)としては上記多塩基酸無水物(b)と同様な化合物が挙げられ、好ましい化合物も同様である。第三の反応における多塩基酸無水物(b’)は第一の反応における多塩基酸無水物(b)と同じでも異なっていてもよい。   Examples of the polybasic acid anhydride (b ′) used in the third reaction for producing the aqueous alkali-soluble resin of the present invention include the same compounds as the polybasic acid anhydride (b), and preferred compounds are also the same. It is. The polybasic acid anhydride (b ′) in the third reaction may be the same as or different from the polybasic acid anhydride (b) in the first reaction.

第三の反応は、第二の反応で得られた化合物の分子中のアルコール性水酸基に多塩基酸無水物(b’)を付加させる反応である。
多塩基酸無水物(b’)の仕込み量としては、第二の反応で生成した水酸基の当量以下で、且つ、本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)の固形分酸価が30〜150mgKOH/gの範囲になる計算量を仕込むことが好ましい。この固形分酸価が30mgKOH/g未満の場合、感光性樹脂組成物のアルカリ水溶液可溶性が著しく低下し、最悪の場合現像処理ができず、その結果パターニングができなくなる。また、固形分酸価が150mgKOH/gを超えるとアルカリ水溶液可溶性が大きくなりすぎて、密着性の低下やパターンの流れ等の不具合を生じ好ましくない。
本発明において固形分酸価とは、樹脂1g中のカルボン酸の酸性を中和するのに必要な水酸化カリウムの量(mg)であり、酸価とは樹脂を含む溶液1gを中和するのに必要な水酸化カリウムの量(mg)であり、JIS K0070に準じて通常の中和滴定法により測定される。また、溶液中の該樹脂の濃度がわかれば、溶液の酸価から固形分酸価を計算して求めることもできる。
第三の反応の反応温度としては、例えば、60〜150℃であり、好ましくは80〜120℃である。また、反応時間は2〜10時間、好ましくは3〜8時間である。
The third reaction is a reaction in which a polybasic acid anhydride (b ′) is added to the alcoholic hydroxyl group in the molecule of the compound obtained in the second reaction.
The amount of the polybasic acid anhydride (b ′) charged is equal to or less than the equivalent of the hydroxyl group produced in the second reaction, and the solid content acid value of the alkaline aqueous solution-soluble resin (A) of the present invention is 30 to 150 mgKOH / It is preferable to charge a calculation amount in the range of g. When this solid content acid value is less than 30 mgKOH / g, the alkaline aqueous solution solubility of the photosensitive resin composition is remarkably lowered, and in the worst case, development processing cannot be performed, and as a result, patterning cannot be performed. On the other hand, when the solid content acid value exceeds 150 mgKOH / g, the aqueous alkali solution becomes too soluble, which causes problems such as poor adhesion and pattern flow.
In the present invention, the solid content acid value is the amount (mg) of potassium hydroxide required to neutralize the acidity of the carboxylic acid in 1 g of the resin, and the acid value neutralizes 1 g of the solution containing the resin. The amount (mg) of potassium hydroxide required for the measurement is measured by a normal neutralization titration method according to JIS K0070. If the concentration of the resin in the solution is known, the solid content acid value can be calculated from the acid value of the solution.
As reaction temperature of 3rd reaction, it is 60-150 degreeC, for example, Preferably it is 80-120 degreeC. The reaction time is 2 to 10 hours, preferably 3 to 8 hours.

第一の反応及び/または第三の反応の際には、酸無水物、特に2塩基酸1無水物及び/または3塩基酸1無水物とアルコール性水酸基との反応性を高めるため、触媒を用いてもよい。該触媒の具体例としては、例えば、トリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、塩化トリエチルアンモニウム、臭化ベンジルトリメチルアンモニウム、沃化ベンジルトリメチルアンモニウム、トリフェニルホスフィン、トリメチルホスフィン、トリフェニルスチビン、メチルトリフェニルスチビン、オクタン酸クロム、オクタン酸ジルコニウム、ジフェニルスルフィド、ジメチルスルフィド等が挙げられる。   In the first reaction and / or the third reaction, a catalyst is used in order to increase the reactivity of the acid anhydride, particularly dibasic acid monoanhydride and / or tribasic acid monoanhydride with an alcoholic hydroxyl group. It may be used. Specific examples of the catalyst include, for example, triethylamine, benzyldimethylamine, triethylammonium chloride, benzyltrimethylammonium bromide, benzyltrimethylammonium iodide, triphenylphosphine, trimethylphosphine, triphenylstibine, methyltriphenylstibine, octanoic acid Examples thereof include chromium, zirconium octoate, diphenyl sulfide, and dimethyl sulfide.

第一、第二、第三の反応の際には、熱重合反応を抑えるため熱重合禁止剤を加えることが好ましく、該熱重合禁止剤の使用量は、反応物に対して0.05〜10重量%である。熱重合禁止剤としては、ハイドロキノン、2−メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、2,6−ジ第三ブチル−p−クレゾール等があげられる。   In the first, second and third reactions, it is preferable to add a thermal polymerization inhibitor to suppress the thermal polymerization reaction, and the amount of the thermal polymerization inhibitor used is 0.05 to 10% by weight. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, 2-methylhydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, 2,6-ditert-butyl-p-cresol and the like.

第一、第二、第三の反応は、無溶剤もしくはアルコール性水酸基を有さない溶媒、具体的には例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、ベンゼン、トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジエチルエーテル等のグリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、グルタル酸ジアルキル、コハク酸ジアルキル、アジピン酸ジアルキル等のエステル類、γ−ブチロラクトン等の環状エステル類、石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤、更には後記する反応性架橋剤(C)等の、単独または混合溶液中で行えばよい。   The first, second, and third reactions are solvent-free or have no alcoholic hydroxyl group, specifically, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, benzene, toluene, xylene, tetramethylbenzene, etc. Aromatic hydrocarbons such as ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol diethyl ether and other glycol ethers, ethyl acetate, butyl acetate, methyl Cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, glue Esters such as dialkyl oxalate, dialkyl succinate and dialkyl adipate, cyclic esters such as γ-butyrolactone, petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha and solvent naphtha, and the reactivity described later What is necessary is just to perform in a single or mixed solution, such as a crosslinking agent (C).

本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)の製造方法は、上記の方法に限定されるものではない。   The method for producing the alkaline aqueous solution-soluble resin (A) of the present invention is not limited to the above method.

本発明の感光性樹脂組成物は、上記のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)、光重合開始剤(B)、反応性架橋剤(C)、任意成分としての硬化成分(D)を含有する。   The photosensitive resin composition of the present invention contains the above alkaline aqueous solution-soluble resin (A), a photopolymerization initiator (B), a reactive crosslinking agent (C), and a curing component (D) as an optional component.

アルカリ水溶液可溶性樹脂(A)の含有割合としては、感光性樹脂組成物の固形分を100重量%としたとき、通常15〜70重量%、好ましくは、20〜60重量%である。   The content ratio of the alkaline aqueous solution-soluble resin (A) is usually 15 to 70% by weight, preferably 20 to 60% by weight when the solid content of the photosensitive resin composition is 100% by weight.

本発明の感光性樹脂組成物に含有される光重合開始剤(B)とは、通常の光重合硬化に用いられる化合物が全て挙げられるが、具体的に例示すると、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン類;アセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−フェニルプロパン−1−オン、ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン等のアセトフェノン類;2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、2−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフエノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、4,4’−ビスメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド等のホスフィンオキサイド類等が挙げられる。これらの添加割合としては、感光性樹脂組成物の固形分を100重量%としたとき、通常1〜30重量%、好ましくは、2〜25重量%である。   Examples of the photopolymerization initiator (B) contained in the photosensitive resin composition of the present invention include all compounds used for ordinary photopolymerization and curing. Specific examples thereof include benzoin, benzoin methyl ether, and benzoin. Benzoins such as ethyl ether, benzoin propyl ether, benzoin isobutyl ether; acetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-phenylpropan-1-one, Acetophenones such as diethoxyacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholinopropan-1-one; 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone 2-chloro Anthraquinones such as nthraquinone and 2-amylanthraquinone; thioxanthones such as 2,4-diethylthioxanthone and 2-isopropylthioxanthone; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyldimethyl ketal; benzophenone, 4- Benzophenones such as benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide and 4,4′-bismethylaminobenzophenone; 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide And phosphine oxides. The addition ratio of these is usually 1 to 30% by weight, preferably 2 to 25% by weight, when the solid content of the photosensitive resin composition is 100% by weight.

これらは、単独または2種以上の混合物として使用でき、更にはトリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン等の第3級アミン、N,N−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、N,N−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル等の安息香酸誘導体等の重合促進剤と組み合わせて使用してもよい。これら重合促進剤を使用する場合、その添加量は、光重合開始剤(B)に対して100重量%以下となる量である。   These can be used alone or as a mixture of two or more thereof, and further, tertiary amines such as triethanolamine and methyldiethanolamine, N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, N, N-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester May be used in combination with a polymerization accelerator such as a benzoic acid derivative. When these polymerization accelerators are used, the amount added is 100% by weight or less based on the photopolymerization initiator (B).

本発明の感光性樹脂組成物に含有される反応性架橋剤(C)としては(メタ)アクリル酸誘導体が挙げられ、具体的には例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールモノ(メタ)アクリレート、カルビトール(メタ)アクリレート、アクリロイルモルホリン、水酸基含有(メタ)アクリレートと多カルボン酸化合物の酸無水物の反応物であるハーフエステル、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンポリエトキシトリ(メタ)アクリレート、グリセリンポリプロポキシトリ(メタ)アクリレート、ヒドロキシビバリン酸ネオペングリコールのε−カプロラクトン付加物のジ(メタ)アクリレート(例えば、日本化薬(株)製、KAYARAD HX−220、HX−620等)、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールとε−カプロラクトンの反応物のポリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、モノまたはポリグリシジル化合物と(メタ)アクリル酸の反応物であるエポキシ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of the reactive crosslinking agent (C) contained in the photosensitive resin composition of the present invention include (meth) acrylic acid derivatives. Specific examples include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl. (Meth) acrylate, 1,4-butanediol mono (meth) acrylate, carbitol (meth) acrylate, acryloylmorpholine, half ester which is a reaction product of hydroxyl group-containing (meth) acrylate and acid anhydride of polycarboxylic acid compound, Polyethylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane polyethoxytri (meth) acrylate, glycerin polypropoxytri (meth) acrylate, hydroxybivari Di (meth) acrylate (e.g., Nippon Kayaku Co., Ltd., KAYARAD HX-220, HX-620, etc.), pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol Examples include poly (meth) acrylate as a reaction product of ε-caprolactone, dipentaerythritol poly (meth) acrylate, and epoxy (meth) acrylate as a reaction product of a mono- or polyglycidyl compound and (meth) acrylic acid.

反応性架橋剤(C)における水酸基含有(メタ)アクリレートと多カルボン酸化合物の酸無水物の反応物であるハーフエステルにおいて水酸基含有(メタ)アクリレートとしては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
多カルボン酸化合物の酸無水物としては、例えば、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等が挙げられる。
反応性架橋剤(C)におけるモノまたはポリグリシジル化合物と(メタ)アクリル酸の反応物であるエポキシ(メタ)アクリレートにおいてモノまたはポリグリシジル化合物としては、例えば、ブチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、グリセリンポリグリシジルエーテル、グリセリンポリエトキシグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリエトキシポリグリシジルエーテル等が挙げられる。
これら反応性架橋剤(C)の添加割合としては、感光性樹脂組成物の固形分を100重量%としたとき、通常2〜40重量%、好ましくは、5〜30重量%である。
Examples of the hydroxyl group-containing (meth) acrylate in the half ester which is a reaction product of the hydroxyl group-containing (meth) acrylate and the polycarboxylic acid anhydride in the reactive crosslinking agent (C) include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. , 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 1,4-butanediol mono (meth) acrylate, and the like.
Examples of the acid anhydride of the polycarboxylic acid compound include succinic anhydride, maleic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, and the like.
Examples of the mono- or polyglycidyl compound in the epoxy (meth) acrylate that is a reaction product of the mono- or polyglycidyl compound and (meth) acrylic acid in the reactive crosslinking agent (C) include, for example, butyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, polyethylene glycol Diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, hexahydrophthalic acid diglycidyl ester, glycerin polyglycidyl ether, glycerin polyethoxyglycidyl ether, trimethylolpropane polyglycidyl ether, trimethylolpropane poly Examples thereof include ethoxypolyglycidyl ether.
The addition ratio of these reactive crosslinking agents (C) is usually 2 to 40% by weight, preferably 5 to 30% by weight, when the solid content of the photosensitive resin composition is 100% by weight.

本発明の感光性樹脂組成物に含有する任意成分としての硬化成分(D)としては、エポキシ化合物、オキサジン化合物等が挙げられる。硬化成分(D)は、光硬化後の樹脂塗膜に残存するカルボキシル基や水酸基と加熱により反応し、直線的な及び/または梯子的な分子量増大効果が期待され、更に耐熱性の向上した強固な薬品耐性を有する硬化塗膜を得ようとする場合に特に好ましく用いられる。   Examples of the curing component (D) as an optional component contained in the photosensitive resin composition of the present invention include an epoxy compound and an oxazine compound. The curing component (D) reacts with the carboxyl groups and hydroxyl groups remaining in the resin coating after photocuring by heating, and is expected to have a linear and / or ladder-like molecular weight increase effect, and further has improved heat resistance. It is particularly preferably used when trying to obtain a cured coating film having excellent chemical resistance.

硬化成分(D)としてのエポキシ化合物の具体例としては、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、ビスフェノール−F型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノール−Aノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂等が挙げられる。   Specific examples of the epoxy compound as the curing component (D) include a phenol novolac type epoxy resin, a cresol novolac type epoxy resin, a trishydroxyphenylmethane type epoxy resin, a dicyclopentadiene phenol type epoxy resin, a bisphenol-A type epoxy resin, Examples thereof include bisphenol-F type epoxy resins, biphenol type epoxy resins, bisphenol-A novolac type epoxy resins, naphthalene skeleton-containing epoxy resins, and heterocyclic epoxy resins.

フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばエピクロンN−770(大日本インキ化学工業(株)製)、D.E.N438(ダウ・ケミカル社製)、エピコート154(ジャパンエポキシレジン(株)製)、RE−306(日本化薬(株)製)等が挙げられる。
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばエピクロンN−695(大日本インキ化学工業(株)製)、EOCN−102S、EOCN−103S、EOCN−104S(いずれも日本化薬(株)製)、UVR−6650(ユニオンカーバイド社製)、ESCN−195(住友化学工業(株)製)等が挙げられる。
ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばエピクロンN−880(大日本インキ化学工業(株)製)、エピコートE157S75(ジャパンエポキシレジン(株)製)等が挙げられる。
Examples of phenol novolac type epoxy resins include Epicron N-770 (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.), D.I. E. N438 (made by Dow Chemical Company), Epicoat 154 (made by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), RE-306 (made by Nippon Kayaku Co., Ltd.), etc. are mentioned.
Examples of the cresol novolac type epoxy resin include Epicron N-695 (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.), EOCN-102S, EOCN-103S, EOCN-104S (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UVR- 6650 (made by Union Carbide), ESCN-195 (made by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), etc. are mentioned.
Examples of the bisphenol A novolac type epoxy resin include Epicron N-880 (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) and Epicoat E157S75 (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.).

トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂としては、例えばEPPN−503、EPPN−502H、EPPN−501H(いずれも日本化薬(株)製)、TACTIX−742(ダウ・ケミカル社製)、エピコートE1032H60(ジャパンエポキシレジン(株)製)等が挙げられる。
ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂としては、例えばエピクロンEXA−7200(大日本インキ化学工業(株)製)、TACTIX−556(ダウ・ケミカル社製)等が挙げられる。
Examples of the trishydroxyphenylmethane type epoxy resin include EPPN-503, EPPN-502H, EPPN-501H (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), TACTIX-742 (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.), Epicort E1032H60 (Japan Epoxy) Resin Co., Ltd.).
Examples of the dicyclopentadiene phenol type epoxy resin include Epicron EXA-7200 (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) and TACTIX-556 (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.).

ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、例えばエピコート828、エピコート1001(いずれもジャパンエポキシレジン(株)製)、UVR−6410(ユニオンカーバイド社製)、D.E.R−331(ダウ・ケミカル社製)、YD−8125(東都化成(株)製)等のビスフェノール−A型エポキシ樹脂;UVR−6490(ユニオンカーバイド社製)、YDF−8170(東都化成(株)製)等のビスフェノール−F型エポキシ樹脂等が挙げられる。
ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、NC−3000、NC−3000H(いずれも日本化薬(株)製)等のビフェノール型エポキシ樹脂、YX−4000(ジャパンエポキシレジン(株)製)のビキシレノール型エポキシ樹脂、YL−6121(ジャパンエポキシレジン(株)製)等が挙げられる。
Examples of the bisphenol type epoxy resin include Epicoat 828, Epicoat 1001 (all manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), UVR-6410 (Union Carbide), D.I. E. Bisphenol-A type epoxy resins such as R-331 (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.), YD-8125 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.); UVR-6490 (manufactured by Union Carbide), YDF-8170 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.) Bisphenol-F type epoxy resin and the like.
Examples of the biphenol type epoxy resin include biphenol type epoxy resins such as NC-3000 and NC-3000H (both manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and bixylenol type YX-4000 (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.). An epoxy resin, YL-6121 (made by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) etc. are mentioned.

ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂としては、例えばNC−7000、NC−7300(いずれも日本化薬(株)製)、EXA−4750(大日本インキ化学工業(株)製)等が挙げられる。
脂環式エポキシ樹脂としては、例えばEHPE−3150(ダイセル化学工業(株)製)等が挙げられる。
複素環式エポキシ樹脂としては、例えばTEPIC−L、TEPIC−H、TEPIC−S(いずれも日産化学工業(株)製)等が挙げられる。
Examples of the naphthalene skeleton-containing epoxy resin include NC-7000, NC-7300 (both manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), EXA-4750 (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.), and the like.
Examples of the alicyclic epoxy resin include EHPE-3150 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.).
Examples of the heterocyclic epoxy resin include TEPIC-L, TEPIC-H, and TEPIC-S (all manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.).

硬化成分(D)としてのオキサジン化合物としては、例えば、B−m型ベンゾオキサジン、P−a型ベンゾオキサジン、B−a型ベンゾオキサジン(いずれも四国化成工業(株)製)が挙げられる。   Examples of the oxazine compound as the curing component (D) include Bm type benzoxazine, Pa type benzoxazine, and Ba type benzoxazine (all manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.).

中でも、ビフェノール型エポキシ樹脂であるNC−3000やYX−4000、複素環式エポキシ樹脂であるTEPIC−L、TEPIC−H、TEPIC−S等が硬化成分(D)として好ましい。   Among these, NC-3000 and YX-4000 which are biphenol type epoxy resins, and TEPIC-L, TEPIC-H and TEPIC-S which are heterocyclic epoxy resins are preferable as the curing component (D).

硬化成分(D)を添加する場合、その添加割合としては、本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)の固形分酸価とその使用量から計算される当量、即ち、アルカリ水溶液可溶性樹脂(A)に含まれるカルボキシル基に対する硬化成分(D)中のエポキシ基の当量の200%以下の量が好ましい。この量が200%を超えると本発明の感光性樹脂組成物の現像性が著しく低下して好ましくない。   When the curing component (D) is added, the addition ratio is the equivalent calculated from the solid content acid value of the alkaline aqueous solution-soluble resin (A) of the present invention and the amount used, that is, the alkaline aqueous solution-soluble resin (A). An amount of 200% or less of the equivalent of the epoxy group in the curing component (D) with respect to the carboxyl group contained in is preferable. When this amount exceeds 200%, the developability of the photosensitive resin composition of the present invention is remarkably lowered, which is not preferable.

本発明の感光性樹脂組成物には、更に必要に応じて各種のフィラーや添加剤、例えば、タルク、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、チタン酸バリウム、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、シリカ、クレー等の充填剤;アエロジル等のチキソトロピー付与剤;フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、酸化チタン等の着色剤;シリコーン、フッ素系のレベリング剤や消泡剤;ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル等の重合禁止剤等を組成物の諸性能を高める目的で添加することができる。また、熱硬化触媒、例えば、メラミン等を加えてもよい。   The photosensitive resin composition of the present invention further contains various fillers and additives as required, such as talc, barium sulfate, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium titanate, aluminum hydroxide, aluminum oxide, silica, clay. Fillers such as Aerosil; Thixotropic agents such as Aerosil; Colorants such as phthalocyanine blue, phthalocyanine green, and titanium oxide; Compositions such as silicone and fluorine leveling agents and defoamers; Polymerization inhibitors such as hydroquinone and hydroquinone monomethyl ether It can be added for the purpose of enhancing various properties of the product. Further, a thermosetting catalyst such as melamine may be added.

なお、前記の硬化成分(D)は、予め前記樹脂組成物に混合してもよいが、プリント配線板への塗布前に混合して用いることもできる。即ち、前記アルカリ水溶液可溶性樹脂(A)成分を主体とし、これにエポキシ硬化促進剤等を配合した主剤溶液と、硬化成分(D)を主体とした硬化剤溶液の二液型に配合し、使用に際してこれらを混合して用いる方法である。溶液として使用する場合の溶媒としては、上記のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)合成の際の溶媒をそのまま用いてもよく、また、反応の際の溶媒として例示した上記溶媒を別途使用しても、混合して用いてもよい。   In addition, although the said hardening component (D) may be mixed with the said resin composition previously, it can also be mixed and used before application | coating to a printed wiring board. That is, it is blended into a two-pack type consisting mainly of the alkaline aqueous solution-soluble resin (A) component, a main agent solution containing an epoxy curing accelerator and the like, and a curing agent solution mainly containing a curing component (D). In this case, these are mixed and used. As a solvent in the case of using as a solution, the solvent in the synthesis of the aqueous alkali solution-soluble resin (A) may be used as it is, or the solvent exemplified above as a solvent in the reaction may be used separately. You may mix and use.

本発明の感光性樹脂組成物は、樹脂組成物が支持フィルムと保護フィルムでサンドイッチされた構造からなるドライフィルム型のソルダーマスクとして用いることもできる。   The photosensitive resin composition of the present invention can also be used as a dry film type solder mask having a structure in which the resin composition is sandwiched between a support film and a protective film.

本発明の感光性樹脂組成物(液状またはフィルム状)は、電子部品の層間の絶縁材、光部品間を接続する光導波路やプリント基板用のソルダーマスク、カバーレイ等のレジスト材料として有用である他、カラーフィルター、印刷インキ、封止剤、塗料、コーティング剤、接着剤等としても使用できる。   The photosensitive resin composition (liquid or film-like) of the present invention is useful as a resist material such as an insulating material between electronic components, an optical waveguide connecting optical components, a solder mask for printed circuit boards, and a coverlay. In addition, it can also be used as a color filter, printing ink, sealant, paint, coating agent, adhesive and the like.

本発明には、上記の感光性樹脂組成物に紫外線等の活性エネルギー線照射により硬化させる硬化物の製造法も含まれる。紫外線等の活性エネルギー線照射による硬化は常法により行うことができ、例えば紫外線を照射する場合、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノン灯、紫外線発光レーザー(エキシマーレーザー等)等の紫外線発生装置を用いればよい。   The present invention also includes a method for producing a cured product in which the photosensitive resin composition is cured by irradiation with active energy rays such as ultraviolet rays. Curing by irradiation of active energy rays such as ultraviolet rays can be carried out by a conventional method. For example, when ultraviolet rays are irradiated, ultraviolet rays such as low-pressure mercury lamps, high-pressure mercury lamps, ultra-high pressure mercury lamps, xenon lamps, ultraviolet light emitting lasers (excimer lasers, etc.) are generated. An apparatus may be used.

本発明の感光性樹脂組成物の硬化物は、基材、例えばレジスト膜、あるいはビルドアップ工法用の層間絶縁材や光導波路としてプリント基板、光電子基板や光基板のような電気・電子・光部品に使用される。これらの基材を有する物品の具体例としては、例えば、コンピューター、液晶ディスプレイ等の家庭電化製品、携帯電話等の携帯機器等が挙げられる。
この硬化物層の膜厚は0.5〜160μm程度で、1〜100μm程度が好ましい。
The cured product of the photosensitive resin composition of the present invention is a substrate, for example, a resist film, an interlayer insulating material for a build-up method, or an optical waveguide as a printed circuit board, an optoelectronic circuit board or an electrical / electronic / optical component such as an optical circuit board. Used for. Specific examples of articles having these base materials include home appliances such as computers and liquid crystal displays, and mobile devices such as mobile phones.
The thickness of the cured product layer is about 0.5 to 160 μm, and preferably about 1 to 100 μm.

本発明の感光性樹脂組成物を塗布し、光硬化し、アルカリ処理及び熱処理する工程を含むことを特徴とするフレキシブルプリント配線板用ソルダーマスク、多層プリント配線板用層間絶縁膜または感光性光導波路の製造法も本発明に含まれる。例えばフレキシブルプリント配線板について具体的に説明すると、前記の液状の樹脂組成物を使用する場合、プリント配線用基板に、スクリーン印刷法、スプレー法、ロールコート法、静電塗装法、カーテンコート法等の方法により0.5〜160μmの膜厚で本発明の感光性樹脂組成物を塗布し、通常50〜110℃、好ましくは60〜100℃の温度で乾燥させ、塗膜を形成する。その後、ネガフィルム等の露光パターンを形成したフォトマスクを通して塗膜に直接または間接に紫外線等の活性エネルギー線を通常10〜2000mJ/cm程度の強さで照射し、未露光部分を後述する現像液を用いて、例えばスプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッビング等により現像する。必要に応じて更に紫外線を照射し、次いで通常100〜200℃、好ましくは140〜180℃の温度で加熱処理をすることにより、金メッキ耐性に優れ、高絶縁性、耐熱性、耐溶剤性、耐酸性、密着性、屈曲性等の諸特性を満足する永久保護膜を有するプリント配線板を得る。 A solder mask for a flexible printed wiring board, an interlayer insulating film for a multilayer printed wiring board, or a photosensitive optical waveguide comprising the steps of applying, photocuring, alkali treatment and heat treatment of the photosensitive resin composition of the present invention This manufacturing method is also included in the present invention. For example, when specifically explaining a flexible printed wiring board, when using the liquid resin composition described above, a screen printing method, a spray method, a roll coating method, an electrostatic coating method, a curtain coating method, etc. The photosensitive resin composition of this invention is apply | coated by the method of 0.5-160 micrometers by the method of this, and it is normally dried at the temperature of 50-110 degreeC, Preferably it is 60-100 degreeC, and forms a coating film. Thereafter, an active energy ray such as ultraviolet rays is irradiated to the coating film directly or indirectly through a photomask in which an exposure pattern such as a negative film is formed, usually at an intensity of about 10 to 2000 mJ / cm 2 , and the unexposed portion is described later. Using the liquid, development is performed, for example, by spraying, rocking dipping, brushing, scrubbing, or the like. Irradiation with ultraviolet rays as necessary, followed by heat treatment usually at a temperature of 100 to 200 ° C., preferably 140 to 180 ° C., is excellent in resistance to gold plating, and has high insulation, heat resistance, solvent resistance, and acid resistance. A printed wiring board having a permanent protective film satisfying various properties such as property, adhesion, and flexibility is obtained.

上記の現像に使用されるアルカリ水溶液としては水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム等の無機アルカリ水溶液や水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウム、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機アルカリ水溶液が挙げられる。
これらのアルカリ水溶液の濃度は0.1〜5重量%程度、好ましくは0.5〜3重量%程度である。
Examples of the alkaline aqueous solution used for the development include inorganic alkaline aqueous solutions such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium phosphate, potassium phosphate, and tetramethyl hydroxide. Examples include organic alkaline aqueous solutions such as ammonium, tetraethylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, monoethanolamine, diethanolamine, and triethanolamine.
The concentration of these aqueous alkaline solutions is about 0.1 to 5% by weight, preferably about 0.5 to 3% by weight.

以下、本発明を実施例によって更に具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものでない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further more concretely, this invention is not limited to the following Example.

実施例1
2Lの4口フラスコに、分子中にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物(a)としてカヤラッドR−115(日本化薬(株)製 ビスフェノール−A型エポキシアクリレート、分子量508.52)を508.52g(1.00モル)、多塩基酸無水物(b)として無水コハク酸を200.14g(2.00モル)、溶剤としてジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートを303.71g及び重合禁止剤として2,6−ジ第三ブチル−p−クレゾールを3.04g、触媒としてトリフェニルホスフィンを3.04g仕込み、98℃の温度で4時間反応させた。反応後の固形分酸価を測定したところ、158.36mgKOH/gであった。次いで、この反応溶液に、分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(c)としてRE310S(日本化薬(株)製 2官能ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、エポキシ当量:184g/当量)を184.0g、溶剤としてジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートを78.86g加え、98℃の温度で10時間反応させた。反応後の固形分酸価を測定したところ、62.86mgKOH/gであった。次いで、この反応溶液に多塩基酸無水物(b’)として無水コハク酸を71.97g(0.72モル)、溶剤としてジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートを136.85g加え、98℃で5時間反応させ、本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)を65重量%含む樹脂溶液を得た。この樹脂溶液をA−1とする。酸価を測定したところ、65mgKOH/g(固形分酸価:100mgKOH/g)であった。
Example 1
KAYARAD R-115 (Nippon Kayaku Co., Ltd. bisphenol-A type epoxy acrylate, molecular weight 508.52) as a diol compound (a) having an ethylenically unsaturated group in the molecule in a 2 L 4-neck flask 508. 52 g (1.00 mol), 200.14 g (2.00 mol) of succinic anhydride as the polybasic acid anhydride (b), 303.71 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate as the solvent, and 2,6 as the polymerization inhibitor -3.04 g of di-tert-butyl-p-cresol and 3.04 g of triphenylphosphine as a catalyst were charged and reacted at a temperature of 98 ° C for 4 hours. It was 158.36 mgKOH / g when the solid content acid value after reaction was measured. Next, RE310S (Nippon Kayaku Co., Ltd. bifunctional bisphenol-A type epoxy resin, epoxy equivalent: 184 g / equivalent) as an epoxy compound (c) having two epoxy groups in the molecule was added to this reaction solution. 0.08 g and 78.86 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate as a solvent were added and reacted at a temperature of 98 ° C. for 10 hours. It was 62.86 mgKOH / g when the solid content acid value after reaction was measured. Next, 71.97 g (0.72 mol) of succinic anhydride as a polybasic acid anhydride (b ′) and 136.85 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate as a solvent were added to this reaction solution, and reacted at 98 ° C. for 5 hours. A resin solution containing 65% by weight of the aqueous alkali solution-soluble resin (A) of the present invention was obtained. This resin solution is designated as A-1. When the acid value was measured, it was 65 mgKOH / g (solid content acid value: 100 mgKOH / g).

実施例2
2Lの4口フラスコに、分子中にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物(a)としてR−9467(日本化薬(株)製 ビスフェノール−A型エポキシメタクリレート、分子量540.18)を540.18g(1.00モル)、多塩基酸無水物(b)としてテトラヒドロ無水フタル酸を304.30g(2.00モル)、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを361.92g及び重合禁止剤として2,6−ジ第三ブチル−p−クレゾールを、3.62g、触媒としてトリフェニルホスフィンを3.62g仕込み、98℃の温度で5時間反応させた。反応後の固形分酸価を測定したところ132.89mgKOH/gであった。次いで、この反応溶液に、分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(c)としてエピコート806(ジャパンエポキシレジン(株)製 2官能ビスフェノールF型エポキシ樹脂、エポキシ当量165g/当量)を165g、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを70.71g加え、98℃の温度で10時間反応させた。反応後の固形分酸価を測定したところ55.58mgKOH/gであった。次いで、この反応溶液に酸無水物(b’)として無水コハク酸を97.32g(0.97モル)、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを163.34g加え、98℃で5時間反応させ、本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)を65重量%含む樹脂溶液を得た。この樹脂溶液をA−2とする。酸価を測定したところ65mgKOH/g(固形分酸価:100mgKOH/g)であった。
Example 2
540.18 g of R-9467 (Nippon Kayaku Co., Ltd. bisphenol-A type epoxy methacrylate, molecular weight 540.18) as a diol compound (a) having an ethylenically unsaturated group in the molecule in a 2 L four-necked flask (1.00 mol), 304.30 g (2.00 mol) of tetrahydrophthalic anhydride as the polybasic acid anhydride (b), 361.92 g of propylene glycol monomethyl ether acetate as the solvent, and 2,6 as the polymerization inhibitor -3.62 g of di-tert-butyl-p-cresol and 3.62 g of triphenylphosphine as a catalyst were charged and reacted at a temperature of 98 ° C for 5 hours. The solid content acid value after the reaction was measured and found to be 132.89 mgKOH / g. Next, in this reaction solution, 165 g of Epicoat 806 (Japan Epoxy Resin Co., Ltd. bifunctional bisphenol F type epoxy resin, epoxy equivalent 165 g / equivalent) as an epoxy compound (c) having two epoxy groups in the molecule, As a solvent, 70.71 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was added and reacted at a temperature of 98 ° C. for 10 hours. It was 55.58 mgKOH / g when the solid content acid value after reaction was measured. Next, 97.32 g (0.97 mol) of succinic anhydride as an acid anhydride (b ′) and 163.34 g of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were added to this reaction solution and reacted at 98 ° C. for 5 hours. A resin solution containing 65% by weight of the aqueous alkali solution-soluble resin (A) of the invention was obtained. This resin solution is designated as A-2. When the acid value was measured, it was 65 mgKOH / g (solid content acid value: 100 mgKOH / g).

実施例3
前記実施例1で得られた(A−1)を表1に示す配合割合で混合、3本ロールミルで混練し、本発明の感光性樹脂組成物を得た。これをスクリーン印刷法により、乾燥膜厚が15〜25μmの厚さになるようにプリント基板に塗布し塗膜を80℃の熱風乾燥器で30分乾燥させた。次いで、紫外線露光装置((株)オーク製作所、型式HMW−680GW)を用い回路パターンの描画されたマスクを通して紫外線を照射した。その後、1重量%炭酸ナトリウム水溶液でスプレー現像を行い、紫外線未照射部の樹脂を除去した。水洗乾燥した後、プリント基板を150℃の熱風乾燥器で60分加熱硬化反応させ硬化膜を得た。塗膜及び硬化物について、後述のとおり、タック性、現像性、解像性、光感度、表面光沢、基板そり、屈曲性、密着性、鉛筆硬度、耐溶剤性、耐酸性、耐熱性、金メッキ耐性、耐PCT性、耐熱衝撃性の試験を行ない、それらの結果を表2に示す。
実施例4
前記実施例2で得られた(A−2)を表1に示す配合割合で混合、3本ロールミルで混練し、本発明の感光性樹脂組成物を得た。これをスクリーン印刷法により、乾燥膜厚が15〜25μmの厚さになるようにプリント基板に塗布し塗膜を80℃の熱風乾燥器で30分乾燥させた。次いで、紫外線露光装置((株)オーク製作所、型式HMW−680GW)を用い回路パターンの描画されたマスクを通して紫外線を照射した。その後、1重量%炭酸ナトリウム水溶液でスプレー現像を行い、紫外線未照射部の樹脂を除去した。水洗乾燥した後、プリント基板を150℃の熱風乾燥器で60分加熱硬化反応させ硬化膜を得た。塗膜及び硬化物について、後述のとおり、タック性、現像性、解像性、光感度、表面光沢、基板そり、屈曲性、密着性、鉛筆硬度、耐溶剤性、耐酸性、耐熱性、金メッキ耐性、耐PCT性、耐熱衝撃性の試験を行ない、それらの結果を表2に示す。
比較例
日本化薬(株)製KAYARAD ZFR−1122(アルカリ現像型多官能BisFエポキシアクリレート;ビスフェノールFのエポキシ化物とアクリル酸との反応により生成する水酸基とテトラヒドロ無水フタル酸との反応物)を用い、表1に示す配合割合で混合、3本ロールミルで混練し、感光性樹脂組成物を得た。これをスクリーン印刷法により、乾燥膜厚が15〜25μmの厚さになるようにプリント基板に塗布し塗膜を80℃の熱風乾燥器で30分乾燥させた。次いで、紫外線露光装置((株)オーク製作所、型式HMW−680GW)を用い回路パターンの描画されたマスクを通して紫外線を照射した。その後、1重量%炭酸ナトリウム水溶液でスプレー現像を行い、紫外線未照射部の樹脂を除去した。水洗乾燥した後、プリント基板を150℃の熱風乾燥器で60分加熱硬化反応させ硬化膜を得た。塗膜及び硬化物について、後述のとおり、タック性、現像性、解像性、光感度、表面光沢、基板そり、屈曲性、密着性、鉛筆硬度、耐溶剤性、耐酸性、耐熱性、金メッキ耐性、耐PCT性、耐熱衝撃性の試験を行ない、それらの結果を表2に示す。
Example 3
(A-1) obtained in Example 1 was mixed at a blending ratio shown in Table 1 and kneaded with a three-roll mill to obtain a photosensitive resin composition of the present invention. This was applied to a printed circuit board by a screen printing method so that the dry film thickness was 15 to 25 μm, and the coating film was dried with a hot air dryer at 80 ° C. for 30 minutes. Next, ultraviolet rays were irradiated through a mask on which a circuit pattern was drawn using an ultraviolet exposure device (Oak Manufacturing Co., Ltd., model HMW-680GW). Thereafter, spray development was performed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution to remove the resin in the non-irradiated part. After washing with water and drying, the printed circuit board was subjected to a heat curing reaction in a hot air drier at 150 ° C. for 60 minutes to obtain a cured film. For coatings and cured products, as described below, tackiness, developability, resolution, photosensitivity, surface gloss, substrate warpage, flexibility, adhesion, pencil hardness, solvent resistance, acid resistance, heat resistance, gold plating Resistance, PCT resistance, and thermal shock resistance were tested, and the results are shown in Table 2.
Example 4
(A-2) obtained in Example 2 was mixed at a blending ratio shown in Table 1 and kneaded with a three-roll mill to obtain a photosensitive resin composition of the present invention. This was applied to a printed circuit board by a screen printing method so that the dry film thickness was 15 to 25 μm, and the coating film was dried with a hot air dryer at 80 ° C. for 30 minutes. Next, ultraviolet rays were irradiated through a mask on which a circuit pattern was drawn using an ultraviolet exposure device (Oak Manufacturing Co., Ltd., model HMW-680GW). Thereafter, spray development was performed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution to remove the resin in the non-irradiated part. After washing with water and drying, the printed circuit board was subjected to a heat curing reaction in a hot air drier at 150 ° C. for 60 minutes to obtain a cured film. For coatings and cured products, as described below, tackiness, developability, resolution, photosensitivity, surface gloss, substrate warpage, flexibility, adhesion, pencil hardness, solvent resistance, acid resistance, heat resistance, gold plating Resistance, PCT resistance, and thermal shock resistance were tested, and the results are shown in Table 2.
Comparative Example Using KAYARAD ZFR-1122 (alkali developable polyfunctional BisF epoxy acrylate; reaction product of hydroxyl group and tetrahydrophthalic anhydride formed by reaction of epoxidized bisphenol F with acrylic acid) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. The mixture was mixed at the blending ratio shown in Table 1 and kneaded with a three-roll mill to obtain a photosensitive resin composition. This was applied to a printed circuit board by a screen printing method so that the dry film thickness was 15 to 25 μm, and the coating film was dried with a hot air dryer at 80 ° C. for 30 minutes. Next, ultraviolet rays were irradiated through a mask on which a circuit pattern was drawn using an ultraviolet exposure device (Oak Manufacturing Co., Ltd., model HMW-680GW). Thereafter, spray development was performed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution to remove the resin in the non-irradiated part. After washing with water and drying, the printed circuit board was subjected to a heat curing reaction in a hot air drier at 150 ° C. for 60 minutes to obtain a cured film. For coatings and cured products, as described below, tackiness, developability, resolution, photosensitivity, surface gloss, substrate warpage, flexibility, adhesion, pencil hardness, solvent resistance, acid resistance, heat resistance, gold plating Resistance, PCT resistance, and thermal shock resistance were tested, and the results are shown in Table 2.

[表1] 感光性樹脂組成物の組成内容
実施例 比較例
注 3 4
樹脂溶液
A−1 46.55
A−2 46.55
比較樹脂溶液
ZFR−1122 46.55
架橋剤(C)
DPCA−60 *1 6.06 6.06
HX−220 *2 6.06
光重合開始剤(B)
イルガキュアー907 *3 4.54 4.54 4.54
DETX−S *4 0.91 0.91 0.91
硬化成分(D)
YX−4000 *5 18.31 18.31 18.31
熱硬化触媒
メラミン 1.00 1.00 1.00
フィラー
硫酸バリウム 15.15 15.15 15.15
フタロシアニンブルー 0.61 0.61 0.61
添加剤
BYK−354 *6 0.39 0.39 0.39
KS−66 *7 0.69 0.69 0.69
溶剤
CA *8 4.54 4.54 4.54
[Table 1] Composition content of photosensitive resin composition
Examples Comparative examples
Note 3 4
Resin solution A-1 46.55
A-2 46.55
Comparative resin solution ZFR-1122 46.55
Cross-linking agent (C)
DPCA-60 * 1 6.06 6.06
HX-220 * 2 6.06
Photopolymerization initiator (B)
Irgacure 907 * 3 4.54 4.54 4.54
DETX-S * 4 0.91 0.91 0.91
Curing component (D)
YX-4000 * 5 18.31 18.31 18.31
Thermosetting catalyst Melamine 1.00 1.00 1.00
Filler Barium sulfate 15.15 15.15 15.15
Phthalocyanine blue 0.61 0.61 0.61
Additive BYK-354 * 6 0.39 0.39 0.39
KS-66 * 7 0.69 0.69 0.69
Solvent CA * 8 4.54 4.54 4.54


*1 日本化薬(株)製 :ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
*2 日本化薬(株)製 :ε−カプロラクトン変性ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレート
*3 チバスペシャリティケミカルズ社製 :2−メチル−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノ−1−プロパン
*4 日本化薬(株)製 :2,4−ジエチルチオキサントン
*5 ジャパンエポキシレジン(株)製 :2官能ビキシレノール型エポキシ樹脂
*6 ビックケミー社製 :レベリング剤
*7 信越化学(株)製 :消泡剤
*8 大阪有機(株)製 :カルビトールアセテート
* 1 Nippon Kayaku Co., Ltd .: ε-caprolactone-modified dipentaerythritol hexaacrylate * 2 Nippon Kayaku Co., Ltd .: ε-caprolactone-modified hydroxypivalate neopentyl glycol diacrylate * 3 Ciba Specialty Chemicals 2-Methyl- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propane * 4 Nippon Kayaku Co., Ltd .: 2,4-diethylthioxanthone * 5 Japan Epoxy Resin Co., Ltd .: Bifunctional bixylenol Type Epoxy Resin * 6 Made by Big Chemie: Leveling Agent * 7 Made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .: Antifoaming Agent * 8 Made by Osaka Organic Chemicals Co., Ltd .: Carbitol acetate

試験方法及び評価方法は次のとおりである。
(タック性)基板に塗布した乾燥後の膜に脱脂綿をこすりつけ、膜のタック性を評価した。
○・・・・脱脂綿は貼り付かない。
×・・・・脱脂綿の糸くずが、膜に貼り付く。
The test method and evaluation method are as follows.
(Tackiness) Absorbent cotton was rubbed on the dried film applied to the substrate, and the tackiness of the film was evaluated.
○ ·········· Do not stick absorbent cotton.
× ··· Absorbent cotton lint sticks to the membrane.

(現像性)1重量%の炭酸ナトリウム水溶液で60秒間、2.0kg/cmのスプレー圧で現像し、塗膜が完全に除去されるまでの時間を測定する。 (Developability) Development is performed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution for 60 seconds at a spray pressure of 2.0 kg / cm 2 , and the time until the coating film is completely removed is measured.

(解像性)乾燥後の塗膜に、20、25、30、35、40、45、50μmのネガパターンを密着させ積算光量200mJ/cmの紫外線を照射露光する。次に1重量%の炭酸ナトリウム水溶液で60秒間、2.0kg/cmのスプレー圧で現像し、転写パターンを顕微鏡にて観察し、直線で剥離やぎざぎざがなくパターニングされる細かさを確認する。 (Resolution) A negative pattern of 20, 25, 30, 35, 40, 45, and 50 μm is brought into close contact with the dried coating film, and irradiated with ultraviolet rays having an integrated light quantity of 200 mJ / cm 2 . Next, development is performed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution for 60 seconds at a spray pressure of 2.0 kg / cm 2 , and the transfer pattern is observed with a microscope to confirm the fineness of patterning without peeling or jagged lines. .

(光感度)乾燥後の塗膜に、ステップタブレット21段(コダック社製)を密着させ積算光量500mJ/cmの紫外線を照射露光する。次に1重量%の炭酸ナトリウム水溶液で60秒間、2.0kg/cmのスプレー圧で現像し、現像されずに残った塗膜の段数を確認する。 (Photosensitivity) Step tablet 21 (manufactured by Kodak Co., Ltd.) is brought into close contact with the dried coating film and irradiated with ultraviolet rays with an integrated light amount of 500 mJ / cm 2 . Next, development is performed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution for 60 seconds at a spray pressure of 2.0 kg / cm 2 , and the number of stages of the coating film remaining without development is confirmed.

(表面光沢)乾燥後の塗膜に、500mJ/cmの紫外線を照射露光する。次に1重量%の炭酸ナトリウム水溶液で60秒間、2.0kg/cmのスプレー圧で現像し、乾燥後の硬化膜をグロスチェッカIG−320((株)堀場製作所製)により測定する。 (Surface gloss) The dried coating film is exposed to 500 mJ / cm 2 of ultraviolet rays. Next, development is performed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution for 60 seconds at a spray pressure of 2.0 kg / cm 2 , and the cured film after drying is measured with a gloss checker IG-320 (manufactured by Horiba, Ltd.).

(基板そり)下記の基準を使用した。
○・・・・基板にそりは見られない
△・・・・ごくわずか基板がそっている
×・・・・基板のそりが見られる
(Substrate sled) The following criteria were used.
○ ········································································· •

(屈曲性)硬化膜を180℃に折り曲げ観察する。下記の基準を使用した。
○・・・・膜面に割れは見られない
×・・・・膜面が割れる
(Flexibility) The cured film is bent at 180 ° C. and observed. The following criteria were used:
○ ···· No crack on the film surface × ··· The film surface breaks

(密着性)JIS K5400に準じて、試験片に1mmのごばん目を100個作りセロテープ(登録商標)によりピーリング試験を行った。ごばん目の剥離状態を観察し、次の基準で評価した。
〇・・・・剥れのないもの
×・・・・剥離するもの
(Adhesiveness) According to JIS K5400, 100 test pieces having 1 mm diameters were made on a test piece, and a peeling test was performed using cello tape (registered trademark). The peeled state of the goblet was observed and evaluated according to the following criteria.
○ ···································

(鉛筆硬度)JIS K5400に準じて評価を行った。 (Pencil hardness) Evaluation was performed according to JIS K5400.

(耐溶剤性)試験片をイソプロピルアルコールに室温で30分間浸漬する。外観に異常がないか確認した後、セロテープ(登録商標)によるピーリング試験を行い、次の基準で評価した。
○・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のないもの
×・・・・塗膜にフクレや剥離のあるもの
(Solvent resistance) The test piece is immersed in isopropyl alcohol at room temperature for 30 minutes. After confirming that there was no abnormality in the external appearance, a peeling test with cello tape (registered trademark) was conducted, and evaluation was performed according to the following criteria.
○ ··· There is no abnormality in the appearance of the coating film, and there is no swelling or peeling × ·······

(耐酸性)試験片を10%塩酸水溶液に室温で30分浸漬する。外観に異常がないか確認した後、セロテープ(登録商標)によるピーリング試験を行い、次の基準で評価した。
○・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のないもの
×・・・・塗膜にフクレや剥離があるもの
(Acid resistance) The test piece is immersed in a 10% hydrochloric acid aqueous solution at room temperature for 30 minutes. After confirming that there was no abnormality in the external appearance, a peeling test with cello tape (registered trademark) was conducted, and evaluation was performed according to the following criteria.
○ ··· There is no abnormality in the appearance of the coating film, and there is no swelling or peeling × ·········

(耐熱性)試験片にロジン系フラックスを塗布し260℃の半田槽に5秒間浸漬した。これを1サイクルとし、3サイクル繰り返した。室温まで放冷した後、セロテープ(登録商標)によるピーリング試験を行い、次の基準で評価した。
〇・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のないもの
×・・・・塗膜にフクレや剥離のあるもの
(Heat resistance) A rosin flux was applied to a test piece and immersed in a solder bath at 260 ° C. for 5 seconds. This was defined as 1 cycle and repeated 3 cycles. After being allowed to cool to room temperature, a peeling test with Cellotape (registered trademark) was conducted, and the following criteria were evaluated.
○ ··· There is no abnormality in the appearance of the coating film and there is no swelling or peeling × ········

(金メッキ耐性)試験基板を、30℃の酸性脱脂液(日本マクダーミット製、Metex L−5Bの20vol%水溶液)に3分間浸漬した後、水洗し、次いで、14.4重量%過硫酸アンモン水溶液に室温で3分間浸漬した後、水洗し、更に10vol%硫酸水溶液に室温で試験基板を1分間浸漬した後水洗した。次に、この基板を30℃の触媒液(メルテックス製、メタルプレートアクチベーター350の10vol%水溶液)に7分間浸漬、水洗し、85℃のニッケルメッキ液(メルテックス製、メルプレートNi−865Mの20vol%水溶液、pH4.6)に20分間浸漬し、ニッケルメッキを行った後、10vol%硫酸水溶液に室温で1分間浸漬し、水洗した。次いで、試験基板を95℃の金メッキ液(メルテックス製、オウロレクトロレスUP15vol%とシアン化金カリウム3vol%の水溶液、pH6)に10分間浸漬し、無電解金メッキを行った後、水洗し、更に60℃の温水で3分間浸漬し、水洗し、乾燥した。得られた無電解金メッキ評価基板にセロテープ(登録商標)を付着し、剥離したときの状態を観察し、次の基準で評価した。
○・・・・全く異常が無いもの
×・・・・若干剥がれが観られたもの
(Gold plating resistance) The test substrate was immersed in an acidic degreasing solution at 30 ° C. (20 vol% aqueous solution of Metex L-5B, manufactured by Nippon McDermitt), washed with water, and then into a 14.4 wt% ammonium persulfate aqueous solution. After being immersed for 3 minutes at room temperature, it was washed with water, and further, the test substrate was immersed in a 10 vol% sulfuric acid aqueous solution for 1 minute at room temperature and then washed with water. Next, this substrate was immersed in a 30 ° C. catalyst solution (Meltex, 10 vol% aqueous solution of metal plate activator 350) for 7 minutes, washed with water, and 85 ° C. nickel plating solution (Meltex, Melplate Ni-865M). Was immersed in a 20 vol% aqueous solution, pH 4.6) for 20 minutes, nickel-plated, and then immersed in a 10 vol% sulfuric acid aqueous solution at room temperature for 1 minute and washed with water. Next, the test substrate was immersed for 10 minutes in a gold plating solution at 95 ° C. (Meltex, aqueous solution of Aurolectroles UP 15 vol% and potassium gold cyanide 3 vol%, pH 6), electroless gold plating was performed, and then washed with water. It was immersed in warm water at 60 ° C. for 3 minutes, washed with water and dried. Cellotape (registered trademark) was adhered to the obtained electroless gold plating evaluation substrate, and the state when peeled off was observed and evaluated according to the following criteria.
○ ···· No abnormality at all ····· Slightly peeled

(耐PCT性)試験基板を121℃、2気圧の水中で96時間放置後、外観に異常がないかの確認とセロテープ(登録商標)によるピーリング試験を行い、次の基準で評価した。
○・・・・塗膜外観に異常がなく、フクレや剥離のないもの
×・・・・塗膜にフクレや剥離があるもの
(PCT resistance) After leaving the test substrate in water at 121 ° C. and 2 atm for 96 hours, it was confirmed whether there was any abnormality in appearance and a peeling test using cello tape (registered trademark), and evaluated according to the following criteria.
○ ··· There is no abnormality in the appearance of the coating film, and there is no swelling or peeling × ·········

(耐熱衝撃性)試験片を、−55℃/30分、125℃/30分を1サイクルとして熱履歴を加え、1000サイクル経過後、試験片を顕微鏡観察し、次の基準で評価した。
○・・・・塗膜にクラックの発生のないもの
×・・・・塗膜にクラックが発生したもの
(Thermal shock resistance) The test piece was subjected to thermal history with -55 ° C / 30 minutes and 125 ° C / 30 minutes as one cycle, and after 1000 cycles, the test piece was observed with a microscope and evaluated according to the following criteria.
○ ······················································ /

[表2] 評価結果
実施例 3 4 比較例
評価項目
タック性 ○ ○ ○
現像性 15 25 42
解像性 30 30 30
光感度 10 13 8
表面光沢 88 85 87
基板そり ○ ○ △
屈曲性 ○ ○ ○
密着性 ○ ○ ○
鉛筆硬度 6H 6H 6H
耐溶剤性 ○ ○ ○
耐酸性 ○ ○ ○
耐熱性 ○ ○ ○
耐金メッキ性 ○ ○ ○
耐PCT性 ○ ○ ○
耐熱衝撃性 ○ ○ ○
[Table 2] Evaluation Results Example 3 4 Comparative Example Evaluation Item Tackiness ○ ○ ○
Developability 15 25 42
Resolution 30 30 30
Photosensitivity 10 13 8
Surface gloss 88 85 87
Substrate sled ○ ○ △
Flexibility ○ ○ ○
Adhesiveness ○ ○ ○
Pencil hardness 6H 6H 6H
Solvent resistance ○ ○ ○
Acid resistance ○ ○ ○
Heat resistance ○ ○ ○
Gold plating resistance ○ ○ ○
PCT resistance ○ ○ ○
Thermal shock resistance ○ ○ ○

実施例5
実施例2で得られた樹脂溶液(A−2)54.44g、反応性架橋剤(C)としてHX−220(日本化薬(株)製 2官能アクリレート樹脂)3.54g、光重合開始剤(B)としてイルガキュアー907(バンティコ製 光重合開始剤)4.72g及びカヤキュアーDETX−S(日本化薬(株)製 光重合開始剤)0.47g、硬化成分(D)としてYX−8000(ジャパンエポキシレジン(株)製 2官能水素化ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、エポキシ当量:202.06g/当量)14.83g、熱硬化触媒としてメラミン1.05g及び濃度調整溶媒としてメチルエチルケトン20.95gを加え、ビーズミルにて混練し均一に分散させ本発明の感光性樹脂組成物を得た。
Example 5
54.44 g of the resin solution (A-2) obtained in Example 2, 3.54 g of HX-220 (Nippon Kayaku Co., Ltd. bifunctional acrylate resin) as the reactive crosslinking agent (C), photopolymerization initiator (B) Irgacure 907 (Bantico photopolymerization initiator) 4.72 g and Kayacure DETX-S (Nippon Kayaku Co., Ltd. photopolymerization initiator) 0.47 g, Curing component (D) YX-8000 ( 14.83 g of bifunctional hydrogenated bisphenol-A type epoxy resin manufactured by Japan Epoxy Resins Co., Ltd., epoxy equivalent: 202.06 g / equivalent), 1.05 g of melamine as a thermosetting catalyst, and 20.95 g of methyl ethyl ketone as a concentration adjusting solvent are added. The mixture was kneaded with a bead mill and uniformly dispersed to obtain a photosensitive resin composition of the present invention.

得られた組成物をロールコート法により、支持フィルムとなるポリエチレンテレフタレートフィルムに均一に塗布し、温度70℃の熱風乾燥炉を通過させ、厚さ30μmの樹脂層を形成した後、この樹脂層上に保護フィルムとなるポリエチレンフィルムを貼り付け、ドライフィルムを得た。得られたドライフィルムをポリイミドプリント基板(銅回路厚:12μm・ポリイミドフィルム厚:25μm)に、温度80℃の加熱ロールを用いて、保護フィルムを剥離しながら樹脂層を基板全面に貼り付けた。   The obtained composition was uniformly applied to a polyethylene terephthalate film as a support film by a roll coating method, passed through a hot air drying furnace at a temperature of 70 ° C., and a resin layer having a thickness of 30 μm was formed. A polyethylene film to be a protective film was attached to obtain a dry film. The obtained dry film was applied to a polyimide printed circuit board (copper circuit thickness: 12 μm / polyimide film thickness: 25 μm) using a heating roll at a temperature of 80 ° C., and a resin layer was attached to the entire surface of the substrate while peeling off the protective film.

次いで、光導波路パターンを有するネガマスクを装着した紫外線縮小投影露光装置を用いて紫外線を照射した(照射量500mJ/cm)。照射後、支持フィルムを樹脂から剥離し、0.25重量%のテトラメチルアンモニウム水溶液で30秒間現像し、未照射部分を溶解除去した。水洗乾燥した後、プリント基板を150℃の熱風乾燥器で30分加熱硬化反応させ硬化膜を得た。得られた硬化物は透明性が良好で50μmのパターンが解像されていた。 Next, ultraviolet rays were irradiated using an ultraviolet reduction projection exposure apparatus equipped with a negative mask having an optical waveguide pattern (irradiation amount: 500 mJ / cm 2 ). After the irradiation, the support film was peeled off from the resin and developed with a 0.25 wt% tetramethylammonium aqueous solution for 30 seconds to dissolve and remove unirradiated portions. After washing with water and drying, the printed circuit board was heated and reacted for 30 minutes with a hot air dryer at 150 ° C. to obtain a cured film. The obtained cured product had good transparency and a 50 μm pattern was resolved.

実施例6
実施例1で得られた樹脂溶液(A−1)19.8g、反応性架橋剤(C)としてDPHA(日本化薬(株)製 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)13.4g及びPET−30(日本化薬(株)製 ペンタエリスリトールトリアクリレート)4.0g、改質剤(ハードコート用の添加剤)としてMEK−ST(日産化学(株)製 オルガノシリカゾルMEK−ST)45.1g、光重合開始剤(B)としてIrg−184(チバスペシャリティケミカルズ製 1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン)0.9g及びルシリンTPO(BASFジャパン製 2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド)0.2g、溶媒としてメチルエチルケトン16.6gを配合し、本発明の感光性樹脂からなる感光性塗料組成物を得た。
Example 6
19.8 g of the resin solution (A-1) obtained in Example 1, 13.4 g of DPHA (Nippon Kayaku Co., Ltd. dipentaerythritol hexaacrylate) and PET-30 (Japan) as the reactive crosslinking agent (C) 4.0 g of pentaerythritol triacrylate manufactured by Kayaku Co., Ltd. 45.1 g of MEK-ST (organosilica sol MEK-ST manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.) as a modifier (additive for hard coat), photopolymerization started As the agent (B), 0.9 g of Irg-184 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone) and 0.2 g of lucillin TPO (2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide manufactured by BASF Japan), 16.6 g of methyl ethyl ketone is blended as a solvent, and the sensitivity comprising the photosensitive resin of the present invention. To obtain a sexual coating composition.

得られた組成物を、バーコーター(No.20)を用いて未処理のポリエステルフィルム(帝人(株)製HSL、膜厚75μm)に塗布し、80℃の熱風乾燥機にて1分間放置後、空気雰囲気下で120W/cmの高圧水銀灯を用い、10cmの距離で5m/分のコンベアスピードで紫外線を照射し、硬化物層を有するフィルムを得た。   The obtained composition was applied to an untreated polyester film (HSL manufactured by Teijin Ltd., film thickness 75 μm) using a bar coater (No. 20), and left for 1 minute in a hot air dryer at 80 ° C. Using a 120 W / cm high-pressure mercury lamp in an air atmosphere, ultraviolet rays were irradiated at a distance of 10 cm at a conveyor speed of 5 m / min to obtain a film having a cured product layer.

得られた硬化物層を前記の方法により、密着性、鉛筆硬度、耐衝撃性試験を行ったところ、各試験で良好な結果が得られた。   When the obtained cured product layer was subjected to adhesion, pencil hardness, and impact resistance tests by the above methods, good results were obtained in each test.

上記の結果から明らかなように、本発明のアルカリ水溶液可溶性樹脂及びそれを用いた感光性樹脂組成物は、タック性も無く、高感度であり、その硬化膜も半田耐熱性、耐薬品性、金メッキ耐性、高絶縁性等の電気特性に優れ、また硬化物表面にクラックが発生せず、薄膜化された基板を用いた場合でも基板にそりがみられず、プリント基板、光導波路、感光性塗料膜等に適したものである。
As is apparent from the above results, the alkaline aqueous solution-soluble resin of the present invention and the photosensitive resin composition using the same have no tackiness and high sensitivity, and the cured film also has solder heat resistance, chemical resistance, Excellent electrical properties such as gold plating resistance, high insulation, no cracks on the surface of the cured product, and even when using a thinned substrate, the substrate is not warped, printed circuit board, optical waveguide, photosensitive It is suitable for paint films.

Claims (8)

分子中にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物(a)、または、前記ジオール化合物(a)と化合物(a)以外のジオール化合物(d)に、多塩基酸無水物(b)を反応させて得られるエステル化合物(x)のカルボキシル基に、分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(c)を反応させ、更に生成したジオールと多塩基酸無水物(b’)とを反応させて得られるアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)。 A polybasic acid anhydride (b) is reacted with a diol compound (a) having an ethylenically unsaturated group in the molecule, or a diol compound (d) other than the diol compound (a) and the compound (a). The carboxyl group of the resulting ester compound (x) is reacted with an epoxy compound (c) having two epoxy groups in the molecule, and the resulting diol and polybasic acid anhydride (b ′) are reacted. Obtained aqueous alkali-soluble resin (A). ジオール化合物(a)が分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸または桂皮酸との反応生成物であり、多塩基酸無水物が2塩基酸1無水物及び/または3塩基酸1無水物である請求項1に記載のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)。 The diol compound (a) is a reaction product of an epoxy compound having two epoxy groups in the molecule and (meth) acrylic acid or cinnamic acid, and the polybasic acid anhydride is dibasic acid monoanhydride and / or The alkaline aqueous solution-soluble resin (A) according to claim 1, which is a tribasic acid monoanhydride. アルカリ水溶液可溶性樹脂(A)の固形分酸価が、30〜150mgKOH/gである請求項1または2に記載のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)。 The alkaline aqueous solution-soluble resin (A) according to claim 1 or 2, wherein the solid content acid value of the alkaline aqueous solution-soluble resin (A) is 30 to 150 mgKOH / g. 1.請求項1〜3のいずれか1項に記載のアルカリ水溶液可溶性樹脂(A)、
2.光重合開始剤(B)、
3.反応性架橋剤(C)、
4.任意成分としての硬化成分(D)
を含有する感光性樹脂組成物。
1. The aqueous alkali solution-soluble resin (A) according to any one of claims 1 to 3,
2. Photopolymerization initiator (B),
3. Reactive crosslinking agent (C),
4). Curing component (D) as an optional component
Containing a photosensitive resin composition.
請求項4に記載の感光性樹脂組成物に活性エネルギー線を照射することを特徴とする硬化物の製造法。 A method for producing a cured product, wherein the photosensitive resin composition according to claim 4 is irradiated with active energy rays. 請求項5に記載の製造法による硬化物の層を有する基材。 The base material which has a layer of the hardened | cured material by the manufacturing method of Claim 5. 請求項6に記載の基材を有する物品。 An article comprising the substrate according to claim 6. 請求項4に記載の感光性樹脂組成物を塗布し、光硬化し、アルカリ処理及び熱処理する工程を含むことを特徴とするプリント配線板用ソルダーマスク、フレキシブルプリント配線板用ソルダーマスク、多層プリント配線板用層間絶縁膜、感光性光導波路または感光性塗料膜の製造法。
A solder mask for a printed wiring board, a solder mask for a flexible printed wiring board, and a multilayer printed wiring comprising the steps of applying the photosensitive resin composition according to claim 4, photocuring, alkali treatment and heat treatment. A method for producing an interlayer insulating film for a plate, a photosensitive optical waveguide, or a photosensitive coating film.
JP2004219696A 2004-07-28 2004-07-28 Alkaline aqueous solution-soluble resin, composition containing the same and cured product thereof Expired - Fee Related JP4408401B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004219696A JP4408401B2 (en) 2004-07-28 2004-07-28 Alkaline aqueous solution-soluble resin, composition containing the same and cured product thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004219696A JP4408401B2 (en) 2004-07-28 2004-07-28 Alkaline aqueous solution-soluble resin, composition containing the same and cured product thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006036949A true JP2006036949A (en) 2006-02-09
JP4408401B2 JP4408401B2 (en) 2010-02-03

Family

ID=35902290

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004219696A Expired - Fee Related JP4408401B2 (en) 2004-07-28 2004-07-28 Alkaline aqueous solution-soluble resin, composition containing the same and cured product thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4408401B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010001551A1 (en) * 2008-06-30 2010-01-07 国立大学法人大阪大学 Novel compound and manufacturing method thereof
JP2010520951A (en) * 2007-09-19 2010-06-17 エルジー・ケム・リミテッド Photosensitive resin, method for producing the same, photosensitive resin composition, and cured product formed thereby
JP2019056867A (en) * 2017-09-22 2019-04-11 株式会社タムラ製作所 Photosensitive resin composition

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010520951A (en) * 2007-09-19 2010-06-17 エルジー・ケム・リミテッド Photosensitive resin, method for producing the same, photosensitive resin composition, and cured product formed thereby
WO2010001551A1 (en) * 2008-06-30 2010-01-07 国立大学法人大阪大学 Novel compound and manufacturing method thereof
JP2019056867A (en) * 2017-09-22 2019-04-11 株式会社タムラ製作所 Photosensitive resin composition

Also Published As

Publication number Publication date
JP4408401B2 (en) 2010-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4514049B2 (en) Photosensitive resin composition and cured product thereof
JP4462500B2 (en) Photosensitive resin composition and cured product thereof
JP4584839B2 (en) Photosensitive resin composition and cured product thereof
JP4674902B2 (en) Photosensitive resin composition and cured product thereof
CN105527793B (en) Photosensitive resin composition and cured product thereof
JP2007161878A (en) Polycarboxylic acid resin, photosensitive resin composition and its cured product
JP2003122001A (en) Photosensitive resin, photosensitive resin composition using the same, and its hardened product
JP2008063572A (en) Photosensitive resin and active energy ray-curing type resin composition containing the same
JP4686364B2 (en) Unsaturated group-containing polyamic acid resin, photosensitive resin composition using the same, and cured product thereof
JP2020148815A (en) Curable resin composition, dry film and cured product of the same, electronic component having the same, and method for producing cured product of curable resin composition
JP2008074938A (en) Photosensitive resin composition and its cured product
JPWO2007043425A1 (en) Imidourethane resin, photosensitive resin composition containing the same, and cured product thereof
JP4257780B2 (en) Photosensitive resin composition, cured product thereof, and use thereof
JP4471149B2 (en) Photosensitive resin composition and method for producing cured product thereof
JP4454002B2 (en) Photosensitive resin composition
JP2007219334A (en) Photosensitive resin composition and cured product thereof
JP4408401B2 (en) Alkaline aqueous solution-soluble resin, composition containing the same and cured product thereof
JP2004155916A (en) Photosensitive resin composition and its cured product
JP2003021898A (en) Photosensitive resin composition and its cured body
JP3953853B2 (en) Photo-curing / thermosetting resin composition
WO2002094904A1 (en) Photosensitive resin, photosensitive resin compositions containing the same and cured articles of the compositions
JP2003280189A (en) Photosetting and thermosetting resin composition
JP2002234932A (en) Epoxy carboxylate compound soluble in alkali aqueous solution photosensitive resin composition using the same and its cured product
JP2004196984A (en) Polyurethane compound and photosensitive resin compound containing the same
JP2020148813A (en) Curable resin composition, dry film and cured product of the same, electronic component having the same, and method for producing cured product of curable resin composition

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061222

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090825

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090827

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091015

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091109

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091109

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151120

Year of fee payment: 6

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees