JP2006032764A - 研磨制御方法、研磨装置及び半導体デバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 被研磨部材の研磨前後の膜厚から研磨時間を設定する方法と、研磨その場計測により終点を検出する方法とを相互に連携させた研磨制御方法及びこの方法を用いた研磨装置及び半導体デバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る研磨制御方法は、被研磨部材の研磨加工において、研磨加工の終了を判断するものであり、所定の条件により設定された予測研磨時間TEと、研磨加工中に測定された被研磨部材の研磨中厚さ情報に基づいて研磨加工の終点を検出するEPD部からの終点情報とを互いに連携させて研磨加工の終了を判断する。
【選択図】 図8
【解決手段】 本発明に係る研磨制御方法は、被研磨部材の研磨加工において、研磨加工の終了を判断するものであり、所定の条件により設定された予測研磨時間TEと、研磨加工中に測定された被研磨部材の研磨中厚さ情報に基づいて研磨加工の終点を検出するEPD部からの終点情報とを互いに連携させて研磨加工の終了を判断する。
【選択図】 図8
Description
本発明は、研磨加工において研磨の終了を判定する研磨制御方法、この研磨制御方法を用いた研磨装置及び半導体デバイス製造方法に関する。
半導体デバイスの高密度化は限界を見せず進展を続けており、高密度実現のため、様々な技術、方法の開発が進められている。その一つが多層配線であり、これに伴う技術的課題に、グローバルな(比較的大きなエリアでの)デバイス面の平坦化及び上下層間の配線がある。リソグラフィの短波長化に伴う露光時の焦点深度短縮を考慮すると、少なくとも露光エリア程度の範囲での層間層の平坦化の精度要求は大きい。また、金属電極層の埋め込みで、あるいは、象嵌(プラグ、ダマシン)の要求も多層配線実現にとっては大きく、この場合、積層後の余分な金属層の除去及び平坦化が行われなければならない。
これらの大きな(ダイサイズレベルでの)エリアの効率的な平坦化技術として注目を集めているのが、CMP(Chemical Mechanical Polishing または Planarization)と呼ばれる研磨工程である。CMPは、物理的研磨に化学的な作用を併用して、ウェハの表面層を除いていく工程で、グローバル平坦化及び電極形成技術の最有力な候補となっている。具体的には、酸、アルカリ、酸化剤などの研磨物の可溶性溶媒中に、研磨粒(シリカ、アルミナ、酸化セリウムなどが一般的)を分散させたスラリーと呼ばれる研磨剤を用い、適当な研磨布で、ウェハ表面を加圧し、相対運動で摩擦することにより研磨を進行させる。
この工程は、デバイスプロセス技術として、多くの課題を残しており、中でも、種々の理由により、研磨工程速度が一定しないため、適切な研磨工程の終了や変更のタイミングを知ることが問題となっている。このため、研磨加工のその場(in-situ)によるウェハ表面状態の計測(以降の説明では、「研磨その場計測」と呼ぶ)を行う終点検出(EPD)と呼ばれる研磨工程モニタリング技術への要請が高くなっている(例えば、特許文献1参照)。
上述したように、CMP工程においては、適切な終了点(または工程変更点)を、研磨その場計測で知る終点検出(EDP)への要請が高く、そのための様々な方式が、プロセス毎に実施されている。代表的な方策は、光学式で、研磨中のウェハ表面に光照射してその反射光より状態を知るというものである。このほか、対象膜材料によっては、電磁式(Cuプロセス向け過電流計測など)や、研磨回転トルク計測が用いられることもある。種々の終点検出技術は、それぞれに改良開発が続けられているが、あらゆるプロセスにおいて、十分な信頼性を得られているわけではない。
一方で、研磨その場計測を用いることなく、研磨結果を一定にすることを意図したシステムの提案もある。これは、研磨事前、事後(あるいは両方)に、研磨対象膜の膜厚を計測し、研磨時間を調整するものである。具体的には、事前の計測によって、膜厚の厚いものは、研磨時間を長くし、膜厚の薄いものは、研磨時間を短くする。また、研磨後の計測によって、予測(設定値)より研磨量が小さい場合は以降の研磨において研磨時間を長くし、研磨量が大きい場合は短くする。すなわち、研磨対象膜の初期膜厚の変動を事前計測によって補償し、研磨装置の研磨速度の変動を事後計測によって補償するというものである。予測研磨時間算出にあたっては、種々の統計処理等も行われている。
この方法は、研磨その場計測に比較して、確実性は高いが、制御精度が落ちることや、変動へのフィードバックが遅いという問題を抱えている。要するに、研磨その場計測であるEPDにおいては、その確実性(安定性)に不安が残り、膜厚計測による研磨時間制御では精度に不満があるという状態が現状の課題と言える。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、被研磨部材の研磨前若しくは研磨後の膜厚から研磨時間を設定する方法と、研磨その場計測により終点を検出する方法とを相互に連携させて、研磨量を精度良く、そして、安定して制御する研磨制御方法を提供することを目的とし、さらにこの研磨制御方法を用いた研磨装置及び半導体デバイス製造方法を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、本発明に係る研磨制御方法は、被研磨部材の研磨加工において、研磨加工の終了を判断するものであり、所定の条件により設定された研磨時間(例えば、実施形態における予測研磨時間TE)と、研磨加工中に測定された被研磨部材の研磨中厚さ情報に基づいて研磨加工の終点を検出する終点判定手段(例えば、実施形態におけるEPD部3)からの終点情報とを互いに連携させて研磨加工の終了を判断するように構成される。
なお、本発明に係る研磨制御方法は、被研磨部材の研磨加工前に測定された研磨前厚さ情報若しくは研磨加工後に測定された研磨後厚さ情報から研磨時間を推定し、この研磨時間から決定される研磨終了予定時刻の前後に所定の許容時間幅(例えば、実施形態における許容時間ΔT)を有する前終了予定時刻及び後終了予定時刻との間において、終了判定手段からの終点情報に基づいて研磨加工の終了を判断することが好ましい。そして、本発明に係る研磨制御方法は、前終了予定時刻よりも前に終点判定手段により終点情報が検出されたときは、前終了予定時刻に研磨加工の終了を判断することが好ましい。また、後終了予定時刻までに終点判定手段から終点情報が検出されないときは、後終了予定時刻に研磨加工の終了を判断することが好ましい。
また、本発明に係る研磨制御方法は、前終了予定時刻及び後終了予定時刻の間に終点判定手段が終点情報を検出したか否かに基づいて、以降の研磨加工における許容時間幅の大きさを設定することが好ましい。
さらに、本発明に係る研磨制御方法は、研磨加工前に測定された被研磨部材の研磨前厚さ情報に基づいて、終点判定手段における被研磨部材の終点の判定条件を設定することが好ましい。
また、本発明に係る研磨装置(例えば、実施形態におけるCMP装置1)は被研磨部材(例えば、実施形態におけるウェハ25)を研磨加工するものであり、被研磨部材の研磨時間を設定する研磨時間設定手段(例えば、実施形態における研磨時間設定部53)と、被研磨部材の研磨中厚さ情報を測定し、この研磨中厚さ情報から終点検出条件に基づいて被研磨加工の終点を検出して終点情報を出力する終点検出手段(例えば、実施形態における終点判定部54)と、研磨時間及び終点情報を互いに連携させて研磨加工の終了を判断する研磨終了判断手段(例えば、実施形態における研磨終了判断部57)とから構成する。
なお、研磨時間設定手段が、被研磨部材の研磨加工前に測定された研磨前厚さ情報、若しくは、この被研磨部材の研磨加工より前に行われた他の被研磨部材の研磨加工後の研磨後厚さ情報から被研磨部材の研磨時間を設定し、この研磨時間から決定される研磨終了時刻の前後に所定の許容時間幅を有する前終了予定時刻と後終了予定時刻とを設定するように構成され、研磨終了判断手段が、前終了予定時刻及び後終了予定時刻の間において終点検出手段から出力された終点情報に基づいて研磨加工の終了を判断するように構成されることが好ましい。
このとき、研磨終了判定手段が、前終了予定時刻よりも前に終点検出手段から終点情報が出力されたときは、前終了予定時刻に研磨加工の終了を判断するように構成されることが好ましい。また、研磨終了判定手段が、後終了予定時刻までに終点検出手段からの終点情報が出力されないときは、後終了予定時刻に研磨加工の終了を判断するように構成されることが好ましい。
また、本発明に係る研磨装置は、前終了予定時刻及び後終了予定時刻の間において終点検出手段が終点情報を出力したか否かの研磨結果情報を記憶し、この終点検出記憶手段に記憶された研磨結果情報に基づいて許容時間幅の大きさを設定する許容時間幅設定手段(例えば、実施形態における研磨履歴管理部56)を有することが好ましい。
さらに、本発明に係る研磨装置は、被研磨部材の研磨加工前の加工前厚さ情報を測定する研磨前厚さ情報測定手段(例えば、実施形態における膜厚計測部52)と、研磨前厚さ情報に基づいて研磨終了判定手段の終点検出情報を設定する終了判定条件設定手段(例えば、実施形態における検出条件設定部55)とを有することが好ましい。
また、本発明に係る半導体デバイス製造方法は、被研磨部材が半導体ウェハであり、上述のいずれかに記載の研磨制御方法、若しくは、上述のいずれかに記載の研磨装置を有して構成される。
本発明に係る研磨制御方法、研磨装置、若しくは、半導体デバイス製造方法によると、研磨前若しくは研磨後の膜厚計測結果からの研磨時間の制御と研磨その場計測による研磨終点の検出を有機的にリンクさせることによって、どちらか一方のみを用いることによる不具合(精度のなさ、不確実性)の双方を所定の要求レベルで解決することができる。そのため、CMP加工の歩留まりが向上して生産性を向上させることができる。
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。ここでは、実施例として、シリコン酸化膜を研磨するCMP工程(シャロートレンチアイソレーション(STI)工程や層間絶縁膜(ILD)工程)において、研磨後(仕上がり)膜厚をウェハ毎に一定にする方法について述べる。まず、図1を用いて、本発明に係る研磨部2及び膜厚測定装置兼研磨終点判定装置(以下、「EPD部3」と呼ぶ)からなるCMP装置1について説明する。研磨部2は、被研磨部材保持部(以下、「ホルダ21」と呼ぶ)、研磨ヘッド22、研磨パッド23、及び、研磨剤供給部24から構成されている。そして、ホルダ21には被研磨部材であるウェハ25が取り付けられ、研磨剤供給部24から研磨剤26が供給される。
研磨パッド23としては、発泡ポリウレタンよりなるシート状のものや、表面に溝構造を有した無発泡樹脂のものが使用されている。ホルダ21は適当な手段により軸Aを中心に矢印aの方向に回転され、研磨ヘッド22は適当な手段により軸Bを中心に矢印bの方向に回転される。更に軸Bは、矢印cのように、軸Aに直線的に近づいたり離れたりする揺動を行う。これらの過程で、研磨剤26と研磨パッド23との作用により、ウェハ25の研磨面(研磨パッド23と接触している面)が研磨される。
このようなCMP工程においてウェハ25の研磨面が所定量研磨され十分平坦化したかの判定、つまり、研磨終点の判定及びウェハ25上の膜の膜厚を測定するために、光の分光反射率を測定し、この分光反射率からこれらの測定を行うEPD部3が設けられている。このEPD部3は、光源31、光路分割部材35、光検出器44等から構成されている。なお、EPD部3は、研磨されるウェハ25の上方に配設されるため、研磨作業において飛散した研磨剤26から機器を守るためにカバー45でほぼ覆われている。このEPD部3は、光源31から出射した光線をウェハ25の研磨面で反射させてその反射光を光路分割部材35で取り出して後述する分光器等で分光された光線を光検出器44で分光強度を測定することにより、膜厚測定と研磨終点の判定を行っている。なお、本実施例においては、膜厚測定装置と研磨終点判定装置とを一体にしたEPD部3で実現した例を示したが、これらは個別の装置として実現しても良い。
それでは、このEPD部3について図2を用いてさらに詳しく説明する。光源(例えば、キセノンランプ)31から出射した光線は、レンズ32により平行光束に変換され、照明エリア制御スリット33を通った後、レンズ34によりビームスプリッタ(光路分割部材)35に集光される。ビームスプリッタ35を通過した光線は、レンズ36により再び平行光束とされ、ウェハ25の表面(研磨面)に照射される。このウェハ25の研磨面で反射した反射光は、再びレンズ36を通してビームスプリッタ35に集光される。ビームスプリッタ35においてこの反射光は90°方向を変えられ、レンズ38により平行光束とされる。そして、ミラー39で反射されて、レンズ40で0次光のみを選別する開口を有する遮光手段であるスリット41上に集光される。このスリット41により散乱光、回折光等のノイズ成分が除去され、レンズ42を介して分光手段である回折格子43に投射されて分光される。この回折格子43で分光された光線は、光電変換素子である光検出器(リニアセンサ)44に入射し、分光強度が測定される。
この光学系において、キセノンランプ31の像はビームスプリッタ35に結像し、その結像位置がレンズ36の前方焦点に位置している。よって、ウェハ25の研磨面は一様に、且つ、ほぼ垂直な平行光により照射される。また、スリット41は、ウェハ25からの垂直反射光の集光位置に設けられている。よって、その開口の径を調整することにより、反射光の開口数(NA)、すなわちその開口を通過する光線の反射角度を調整することができる。従って、想定されるウェハ25の研磨面上のパターンから発生する1次以上の回折光が、スリット41の開口を通過できないように開口数を選定することにより、0次光のみを測定することができる。
以上のように、リニアセンサ44で検出した分光強度(ウェハ25の研磨面での分光反射率)、例えば、シリコン基板上のシリコン酸化膜の分光反射率は、図3のような特性を示す。図3(a)は研磨前の各波長に対する反射率であり、図3(b)は研磨後の各波長に対する反射率である。これは、シリコン酸化膜表面とシリコン基板表面で反射された光が干渉するため図3のような反射率の山や谷が生じるものである。これらの山や谷の位置や間隔から膜厚を知ることができる。
あるいは、同様の構成により単一波長の光線を出射するようにした光源31を用いてリニアセンサ44で検出される反射光の強度の変動特性から膜厚若しくは研磨終点を検出するように構成することができる。以下、透明膜である層間絶縁膜(ILD)の研磨モニタを行う場合で説明する。研磨される膜の屈折率をnとし、光源から出射される光線(モニタ光)の波長をλとする。時間的に強度を追跡し、極大点の出現回数で、膜厚変動を知るアルゴリズムにおいては、研磨工程が進み膜厚が、ほぼλ/2n変わる毎に図4に示すように極大値が出現する。この特性は、反射光の強度の極小値を測定する方式でも同様である。なお、ウェハ25の表面にパターンが形成され、このパターン上に薄膜が形成されている場合、単純に、ブランク膜における反射光の強度の変動の場合と違ってくるが、膜厚変動の影響としてはほぼこの程度になる。
例として、波長600nmの光線で、屈折率1.5の膜(一般的な酸化シリコンの膜)をモニタすると、ほぼ200nmの膜厚変動で、極大値が生じる。そのため、この方法による場合は、初期膜厚を計測し、目的膜厚までいくつ目の極大値で研磨終点とするかを適時に計算することで対応する必要がある。すなわち、初期膜厚の厚さにより、図4に示すように研磨終点を検出する反射光の強度の最大値の出現回数が異なる。従って、ウェハ25の初期(研磨前)の膜厚が変動した場合は、それに応じた終点判定条件の設定を変更した方が、残膜を一定とするという目的を達成できる。本実施例においては、後述する制御部5により、初期膜厚の値(計測結果)に応じて終点判定のパラメータ(終点検出条件、すなわち、極大値若しくは極小値のカウント数)を変更するように構成されている。
なお、本実施例においては、研磨終点の検出のための膜厚の研磨その場計測の方法として上述のように光学式(分光タイプ)を用いる方法について説明しているが、本発明がこの計測方法に限定されるものではなく、対象膜材料によっては、ウェハ上に残る絶縁膜の厚さを静電容量で測定する電磁式(静電容量法等)や、ウェハと研磨パッドの間の摩擦係数変化をホルダ21の回転軸トルクの変化として検出する研磨回転トルク計測(トルク検出法)を用いても良い。
以上のように、研磨その場計測の結果により研磨終点を検出することができるが、本実施例に係る研磨制御方法においては、図5に示すように、初期膜厚(研磨前厚さ情報)、あるいは、研磨後膜厚計測によって得られる研磨後膜厚(研磨後厚さ情報)から計算される研磨計測時間(所定の膜厚になるまでの研磨時間であって、以降の説明では「予測研磨時間TE」と呼ぶ)とこのEPD部3により研磨終点の判定とをリンクさせる。先ず、研磨前の膜厚と研磨レートによって、予測研磨時間TEを算出する。研磨レートは、場合によって研磨後の膜厚(これから研磨加工を使用とするウェハ25より何枚か前に研磨されたウェハの膜厚、若しくは、それらを統計処理した値)を用いて、初期の設定研磨レートから補正されることもある。
なお、本実施例においては、この算出された予測研磨時間TEで研磨加工を終了させるのではなく、予測研磨時間TEの付近で、ある幅を持った許容時間ΔT(例えば、予測研磨時間TEの±5%等)を設定する。この許容時間ΔTは可変であることが望ましい。
そして、図6に示すように、研磨その場計測のEPD部3を作動させ、研磨終点と決めた終点検出信号(上述のように、閾値、極大極小点、変曲点などで判定する)がこの許容時間ΔT内に検出された場合のみ、この研磨終点の検出タイミングで研磨加工を終了する。もし、何らかの原因によってこの許容時間ΔT内に終点検出信号が検知されなかった場合は次のような条件判断で研磨加工を終了する。終点検出信号が、ノイズ等の影響で、許容時間ΔTで設定される時間幅より前(前終了予定時刻tUより前)に検出された場合は、それを無視し、許容時間ΔTの最短時間(前終了予定時刻tU)で研磨加工を終了する。一方、終点検出信号が、信号強度低下等の原因で、許容時間ΔT(後終了予定時刻tO)が過ぎても検出されない場合は、その時点、すなわち、許容時間ΔTの最長時間(後終了予定時刻tO)で研磨加工を終了する。
このとき、どのタイミングで研磨加工を終了したか(許容時間ΔT内で終点検出信号が出力されたか否か)である研磨結果情報をシステムとして集計、処理しておくことによって、その場計測による研磨終点の検出の安定性を数値的に評価することができる。そのため、この集計結果(評価結果)を用いて、許容時間ΔTの設定変更等を行うことができる。例えば、許容時間ΔT内でほぼ研磨終点が検出される場合のようにEPD部3により安定して研磨加工の終了が判定できる場合は、この許容時間ΔTを大きくすることができる。
このように、研磨前、研磨後の膜厚計測結果からの研磨時間の制御と研磨その場計測による研磨終点の検出とを有機的にリンクさせることによって、どちらか一方のみを用いることによる不具合(精度のなさ、不確実性)の双方を所定の要求レベルで解決することができる。そのため、CMP加工の歩留まりが向上して生産性が向上する。なお、本実施例に係る研磨制御方法は、どちらか一方の方法のみを使うことを完全に包含したものである。すなわち、許容時間ΔTを0とすれば膜厚計測結果からの予測研磨時間TEによる制御となり、許容時間ΔTを十分に大きくとれば、終点検出による制御となる。また、以上の説明はシリコン酸化膜を研磨する場合について説明したが、金属膜や絶縁膜の研磨に用いても同様の効果を有する。
それでは、以上のような研磨制御方法により、上述の研磨部2を制御する制御部5(図1においては図示せず)について、図7を用いて説明する。制御部5は、EPD部3からの膜厚計測結果若しくは終点検出結果を用いて、研磨部2のホルダ21の回転や研磨ヘッド22の回転及び揺動を制御するものである。この制御部5は、研磨部2を制御する研磨制御部51、EPD部3を制御してウェハ25の膜厚を測定する膜厚計測部52、膜厚計測部52からの膜厚データに基づいて予測研磨時間TEを算出する研磨時間設定部53、及び、EPD部3を制御してウェハ25の研磨終点を検出する終点判定部54から構成される。なお、研磨制御部51は、膜厚データに基づいて終点検出条件を設定する検出条件設定部55と、予測研磨時間TEと終点検出信号に基づいて研磨加工の終了を判断する研磨終了判断部57とを有している。また、この制御部5は、研磨結果情報(許容時間ΔT内で終点検出信号が出力されたか否か)を記憶して、研磨時間設定部53において算出される許容時間ΔTを補正する研磨履歴管理部56を有している。
このような構成のCMP装置1において、ウェハ25のCMP工程について図8を合わせて用いて説明する。被研磨部材(ウェハ25)がCMP装置1に搬入されると、まず、膜厚計測部52によりEPD部3でウェハ25の膜厚が計測される(S101)。この膜厚により受け入れ判定が行われ(S102)、所定の範囲以外の膜厚のウェハ25はその旨が作業者等に告知され以降のCMP工程から外される。所定の範囲内の膜厚のウェハ25の場合は、膜厚計測部52から出力された膜厚データを用いて研磨時間設定部53により予測研磨時間TEと許容時間ΔTが計算される(S103)。このとき、研磨履歴管理部56に管理されている研磨結果情報を用いて許容時間ΔTが補正される。この予測研磨時間TEと許容時間ΔTは研磨制御部51の研磨終了判断部57に渡される。一方、研磨制御部51の検出条件設定部55は、膜厚計測部52で計測された膜厚データに基づいて、終点判定条件を設定し、終点判定部54に渡す(S104)。
なお、これらの機能51〜56は、この図7の構成に限定されるものではなく、例えば膜厚計測部52や終点判定部54等はEPD部3に実装されていても構わない。
以上のように設定された、予測研磨時間TE、許容時間ΔT、及び、終点判定条件に基づいて、研磨部2によりウェハ25の研磨加工が行われる(S105)。そして、予測研磨時間TEと許容時間ΔTに基づいて、研磨終了判断部57において、終点判定部54から終点検出信号が出力されるか否かを監視する(S106)。この許容時間ΔT内に終点検出信号が出力された場合は、そのタイミングで研磨部2を停止して研磨加工を終了し(S107)、終点検出信号が出力されない場合(前終了予定時刻tUより前に出力されるか、若しくは、後終了予定時刻tOまで出力されないとき)には、予測研磨時間(前終了予定時刻tU、若しくは、後終了予定時刻tO)で研磨部2を停止して研磨加工を終了する(S108)。なお、研磨加工終了後に、膜厚計測部52でEPD部3を制御して研磨加工後の膜厚データを計測し(S109)、その結果を統計処理して、上述のように予測研磨時間TE、許容時間ΔTの計算に用いることも可能である。
それでは、以上のような研磨制御方法を用いて層間絶縁膜であるシリコン酸化膜を研磨し、CMP仕上がり時の残膜厚のターゲットを660nmとした場合の実施例について説明する。この実施例においては、初期膜厚は、平均的に約1400nmであり、研磨ヘッド22の研磨レートは、既存のデータから420nm/分(7nm/秒)のデータが設定されている。なお、上述の通り、実際には、複数のウェハの研磨進行に伴い、研磨後の膜厚を測定して逐次研磨レートが変更される。
ここで、あるウェハの初期膜厚が、1430nmであるとすると、予測研磨時間は上述の研磨レート及び残膜厚のターゲットから次の式で求められる。
TE = (1430−660)/7 = 110秒
本実施例においては、残膜厚として、70nm程度の残膜幅は許されるので、上述の研磨レートから、許容時間ΔTが次のように決定される。
ΔT = 70/7 = 10秒
すなわち、予測研磨時間TE±5秒として設定される。よって、このウェハの場合は、研磨時間設定部53により研磨時間として105秒〜115秒が設定される。一方、EPD部3の光源31は、白色光(波長範囲約400nm〜800nm)が用いられ、分光反射率を用いて検知する研磨その場計測の終点検出器(EPD)が装備されており、適切な波長域検出で、極大値にて研磨終了すれば、ほぼ仕上がりが660nmになるように終点判定部54の終点検出条件が設定されている。そして、上述のように、予測研磨時間TEとEPD部3からの終点検出情報とを組み合わせて研磨加工の終了が判定される。
このような構成において、500枚のウェハを研磨した際の結果は、498枚のウェハはEPD部3による終点検出により研磨加工を終了し、残膜値は660nm±10nmの範囲に入った。また、1枚のウェハは、研磨開始から後終了予定時刻tOまでにEPD部3による終点検出ができず、この後終了予定時刻tOで研磨加工が終了し、ウェハの残膜値は727nmとなり、仕上がり規格に入った。さらに、別の1枚のウェハは、ノイズにより前終了予定時刻tUよりも前にEPD部3により終点検出してしまい、前終了予定時刻tUで研磨加工を終了し、ウェハの残膜値は590nmとなり、仕上がり規格に入った。
次に、以上のような研磨制御方法若しくはCMP装置1を用いて行われる半導体デバイスの製造方法について図9を用いて説明する。図9は半導体デバイスの製造プロセスを示すフローチャートである。半導体製造プロセスをスタートすると、先ずステップS200で次に挙げるステップS201〜S204の中から適切な処理工程を選択肢、いずれかのステップに進む。ここで、ステップS201はウェハの表面を酸化させる酸化工程である。ステップS202はCVD(化学気相成長法)等によりウェハ表面に絶縁膜や誘電体膜を形成するCVD工程である。ステップS203はウェハに電極を蒸着等により形成する電極形成工程である。ステップS204はウェハにイオンを打ち込むイオン打ち込み工程である。
CVD工程(S202)若しくは電極形成工程(S203)の後で、ステップS205に進む。ステップS205はCMP(研磨)工程である。CMP工程では本実施例に係る研磨装置(上述のCMP装置1)により、層間絶縁膜の平坦化や半導体デバイス表面の金属膜の研磨、誘電体膜の研磨等によるダマシン(damascene)の形成等が行われる。
CMP工程(S205)若しくは酸化工程(S201)の後でステップS206に進む。ステップS206はフォトリソグラフィ工程である。この工程ではウェハへのレジストの塗布、露光装置を用いた露光によるウェハへの回路パターンの焼き付け、露光したウェハの現像が行われる。更に、次のステップS207は現像したレジスト像以外の部分をエッチングにより削り、その後レジスト剥離が行われ、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除くエッチング工程である。
次に、ステップS208で必要な全工程が完了したかを判断し、完了していなければステップS200に戻り、先のステップを繰り返してウェハ上に回路パターンが形成される。ステップS208で全工程が完了したと判断されればエンドとなる。
本実施例に係る半導体デバイス製造方法では、CMP工程において上述の研磨制御方法(CMP装置1)を用いて半導体ウェハの表面を研磨加工する工程を有しているため、研磨工程(CMP工程)の歩留まりが向上する。これにより、従来の半導体デバイス製造方法に比べて低コストでデバイス(ここでは半導体デバイス)を製造することができる。なお、上記で説明した半導体デバイス製造プロセス以外の半導体デバイス製造プロセスのCMP工程に本実施例に係るCMP装置1を用いても良い。
1 CMP装置(研磨装置)
52 膜厚計測部(研磨前厚さ情報測定手段)
53 研磨時間設定部(研磨時間設定手段)
54 終点判定部(終点検出手段)
55 検出条件設定部(終了判定条件設定手段)
56 研磨履歴管理部(許容時間幅設定手段)
57 研磨判断終了部(研磨終了判断手段)
52 膜厚計測部(研磨前厚さ情報測定手段)
53 研磨時間設定部(研磨時間設定手段)
54 終点判定部(終点検出手段)
55 検出条件設定部(終了判定条件設定手段)
56 研磨履歴管理部(許容時間幅設定手段)
57 研磨判断終了部(研磨終了判断手段)
Claims (13)
- 被研磨部材の研磨加工において、前記研磨加工の終了を判断する研磨制御方法であって、
所定の条件により設定された研磨時間と、研磨加工中に測定された前記被研磨部材の研磨中厚さ情報に基づいて前記研磨加工の終点を検出する終点判定手段からの終点情報とを互いに連携させて前記研磨加工の終了を判断することを特徴とする研磨制御方法。 - 前記被研磨部材の研磨加工前に測定された研磨前厚さ情報若しくは研磨加工後に測定された研磨後厚さ情報から前記研磨時間を推定し、前記研磨時間から決定される研磨終了予定時刻の前後に所定の許容時間幅を有する前終了予定時刻及び後終了予定時刻との間において前記終点判定手段からの終点情報に基づいて前記研磨加工の終了を判断することを特徴とする請求項1に記載の研磨制御方法。
- 前記前終了予定時刻よりも前に前記終点判定手段により前記終点情報が検出されたときは、前記前終了予定時刻に前記研磨加工の終了を判断することを特徴とする請求項2に記載の研磨制御方法。
- 前記後終了予定時刻までに前記終点判定手段から前記終点情報が検出されないときは、前記後終了予定時刻に前記研磨加工の終了を判断することを特徴とする請求項2または3に記載の研磨制御方法。
- 前記前終了予定時刻及び前記後終了予定時刻の間に前記終点判定手段が前記終点情報を検出したか否かに基づいて、以降の研磨加工における前記許容時間幅の大きさを設定することを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載の研磨制御方法。
- 研磨加工前に測定された前記被研磨部材の研磨前厚さ情報に基づいて、前記終点判定手段における前記被研磨部材の終点の判定条件を設定することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の研磨制御方法。
- 被研磨部材を研磨加工する研磨装置であって、
前記被研磨部材の研磨時間を設定する研磨時間設定手段と、
前記被研磨部材の研磨中厚さ情報を測定し、前記研磨中厚さ情報から終点検出条件に基づいて前記研磨加工の終点を検出して終点情報を出力する終点検出手段と、
前記研磨時間及び前記終点情報を互いに連携させて前記研磨加工の終了を判断する研磨終了判断手段とから構成されたことを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨時間設定手段が、前記被研磨部材の研磨加工前に測定された研磨前厚さ情報、若しくは、前記被研磨部材の研磨加工より前に行われた他の被研磨部材の研磨加工後の研磨後厚さ情報から前記被研磨部材の前記研磨時間を設定し、前記研磨時間から決定される研磨終了時刻の前後に所定の許容時間幅を有する前終了予定時刻と後終了予定時刻とを設定するように構成され、
前記研磨終了判断手段が、前記前終了予定時刻及び前記後終了予定時刻の間において前記終点検出手段から出力された終点情報に基づいて前記研磨加工の終了を判断するように構成されたことを特徴とする請求項7に記載の研磨装置。 - 前記研磨終了判定手段が、前記前終了予定時刻よりも前に前記終点検出手段から前記終点情報が出力されたときは、前記前終了予定時刻に前記研磨加工の終了を判断するように構成されたことを特徴とする請求項8に記載の研磨装置。
- 前記研磨終了判定手段が、前記後終了予定時刻までに前記終点検出手段から前記終点情報が出力されないときは、前記後終了予定時刻に前記研磨加工の終了を判断するように構成されたことを特徴とする請求項8または9に記載の研磨装置。
- 前記前終了予定時刻及び前記後終了予定時刻の間において前記終点検出手段が前記終点情報を出力したか否かの研磨結果情報を記憶し、前記研磨結果情報に基づいて前記許容時間幅の大きさを設定する許容時間幅設定手段を有することを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載の研磨装置。
- 前記被研磨部材の前記研磨加工前の加工前厚さ情報を測定する研磨前厚さ情報測定手段と、
前記研磨前厚さ情報に基づいて前記研磨終了判定手段の終点検出条件を設定する終了判定条件設定手段とを有することを特徴とする請求項7〜11のいずれかに記載の研磨装置。 - 前記被研磨部材が半導体ウェハであり、
請求項1〜6のいずれかに記載の研磨制御方法、若しくは、請求項7〜12のいずれかに記載の研磨装置を有して構成されることを特徴とする半導体デバイス製造方法。
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2004
- 2004-07-20 JP JP2004211403A patent/JP2006032764A/ja not_active Withdrawn
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