JP2006023253A5 - - Google Patents

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Claims (11)

  1. 光学パターンを有するスケールと組み合わされて反射型光学式エンコーダーを構成するセンサーヘッドで、
    スケールに照射される光ビームを射出するための光源と、
    スケールの光学パターンによって反射され変調された光ビームを検出するための光検出器をそれぞれ有している第一と第二の二つの半導体基板と、
    二つの半導体基板を電気的に接続している電気配線と、
    光源と半導体基板を内包するパッケージとを備え、二つの半導体基板は、スケールの移動方向にほぼ垂直な方向に、光源を挟んで両側に配置されており、二つの半導体基板の少なくとも一つは光検出器から出力された信号を処理する電気回路を有している、反射型光学式エンコーダーのセンサーヘッド。
  2. 請求項１において、電気配線は、第一と第二の二つの半導体基板の、一方の半導体基板上の光検出器からの信号を他方の半導体基板上の電気回路へ信号を伝送するための電気配線を含んでいる、反射型光学式エンコーダーのセンサーヘッド。
  3. 請求項２において、半導体基板上の電気回路は、光検出器から出力される信号電流をアナログ処理してアナログ信号を出力するアナログ回路と、アナログ信号をパルス化してデジタル信号を出力するパルス化回路、および／または、デジタル信号をさらにデジタル処理して別のデジタル信号を出力するデジタル回路とを含んでいる、反射型光学式エンコーダーのセンサーヘッド。
  4. 請求項１において、二つの半導体基板のおのおのは、その半導体基板上の光検出器から出力された信号を処理する電気回路を有し、電気配線は、二つの半導体基板上の電気回路のための基準信号を共有化するための電気配線を含んでいる、反射型光学式エンコーダーのセンサーヘッド。
  5. 請求項４において、第一の半導体基板上の電気回路は、その半導体基板上の光検出器から出力される比較的小さな信号電流をアナログ処理してアナログ信号を出力するアナログ回路を含み、第二の半導体基板上の電気回路は、その半導体基板上の光検出器から出力される比較的大きな信号電流をアナログ処理してアナログ信号を出力するアナログ回路と、アナログ信号をパルス化してデジタル信号を出力するパルス化回路、および／または、デジタル信号をさらにデジタル処理して別のデジタル信号を出力するデジタル回路とを含んでいる、反射型光学式エンコーダーのセンサーヘッド。
  6. 請求項５において、第一の半導体基板上の光検出器は、スケールの移動に応じた信号を検出するための移動量検出用光検出器であり、第二の半導体基板上の光検出器は、スケールの基準位置に応じた信号を検出するための基準位置検出用光検出器である、反射型光学式エンコーダーのセンサーヘッド。
  7. 請求項４または請求項５において、二つの半導体基板のおのおのは、電気回路を駆動するための電源端子と、グランド端子とを有し、パッケージは外部回路と接続可能な端子を有し、電気配線は、パッケージ内部において電源端子同士を電気的に接続している電気配線と、パッケージ内部においてグランド端子同士を電気的に接続している電気配線を含んでおり、電源端子同士を接続している電気配線とグランド端子同士を接続している電気配線は、パッケージ上の外部回路と接続可能な端子に接続されている、反射型光学式エンコーダーのセンサーヘッド。
  8. 請求項１ないし請求項７のいずれか一つにおいて、パッケージは、箱状の筐体と、光を透過する部位を有する蓋部材とからなり、光源は筐体に固定されており、二つの半導体基板は蓋部材に固定されており、電気配線の少なくとも一部は蓋部材上に形成されている、反射型光学式エンコーダーのセンサーヘッド。
  9. 請求項８において、光源から射出された光ビームがスケールに向かう光路上に、透光部と遮光部を有するスリットを備えている、反射型光学式エンコーダーのセンサーヘッド。
  10. 請求項１において、電気配線の少なくとも一部は、パッケージの外部に露出していない、反射型光学式エンコーダーのセンサーヘッド。
  11. 光学パターンを有する相対移動可能なスケールと、
    スケールの移動を検出するためのセンサーヘッドとから構成された反射型光学式エンコーダーで、
    センサーヘッドは、スケールに照射される光ビームを射出するための光源と、スケールの光学パターンによって反射され変調された光ビームを検出するための光検出器をそれぞれ有し、スケールの移動方向にほぼ垂直な方向に、光源を挟んで両側に配置されている二つの半導体基板と、二つの半導体基板を電気的に接続している電気配線と、光源と半導体基板を内包するパッケージとを備え、二つの半導体基板の少なくとも一つは光検出器から出力された信号を処理する電気回路を有している、反射型光学式エンコーダー。
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