JP2006019408A - レーザー結晶シリコンの検査方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ラインスキャン方式でエキシマ・レーザー・アニール(ELA)を行い、絶縁基板上の非晶質シリコンを結晶シリコンに変化させ、結晶シリコン表面に可視光源を照射し、該結晶表面の突起の配置が反射光の変化によって結晶化を検査し、該反射光の変化が大きくてはっきりしている場合に、該結晶シリコン表面にストラップ状模様が一面に出現することを以って、該結晶の品質が不良であるとする。その検査装置は、ラインスキャン方式でレーザービームを絶縁基板上の非晶質シリコンに照射して、結晶シリコンに変化するエキシマ・レーザー装置と、該結晶シリコン表面に可視光線を照射する光源と、結晶表面の反射画像を捕捉するカメラとを含む。
【選択図】 図5
Description
10 模様
2 基板
3 光源
4 カメラ
Claims (20)
- 低温処理ポリシリコン(LTPS)工程において、エキシマー・レーザー・アニール(ELA)のラインスキャニングによって非晶質シリコンから変化する結晶シリコンを検査する方法であって、
該結晶シリコンの表面に可視光源を照射し、該結晶シリコンの表面の突起の配置により反射する光の変化によって結晶シリコンの結晶の品質を検査する、
ことを特徴とするレーザー結晶シリコンの検査方法。 - 更に、ストライプ状模様が上記結晶シリコンの表面上に分布する場合に、結晶化の品質の悪さを決定する工程から成る、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー結晶シリコンの検査方法。 - 前記可視光源が、該基板の平面に対して約10°−85°で結晶シリコンの表面を照射する、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー結晶シリコンの検査方法。 - 前記可視光源が白色光線である、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー結晶シリコンの検査方法。 - 前記可視光源が緑色光線である、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー結晶シリコンの検査方法。 - 低温処理ポリシリコン(LTPS)工程におけるレーザー結晶シリコンの形成を同時に監視するレーザー結晶シリコンの検査方法であって、
ラインスキャニング方式でエキシマー・レーザー・アニール(ELA)を行って、基板上の非晶質シリコンを結晶シリコンに変化させ、可視光源を該結晶シリコン表面に同時に照射し、該結晶シリコンの表面の突起の配置により反射する光の変化によって結晶シリコンの結晶の品質を検査し、上記ELAで使用するレーザービームのレーザーエネルギーが非晶質シリコンの結晶条件と調和するかどうかを監視する、
ことを特徴とするレーザー結晶シリコンの検査方法。 - 更に、レーザー光線のレーザーエネルギーが不安定かどうかを監視する工程から成る、
ことを特徴とする請求項6に記載のレーザー結晶シリコンの検査方法。 - 更に、ストライプ状模様が上記結晶シリコンの表面上に分布する場合に、結晶の品質の悪さ、および、レーザーエネルギーの不安定さを決定する工程から成る、
ことを特徴とする請求項6に記載のレーザー結晶シリコンの検査方法。 - 前記可視光源が、該基板の平面に対して約10°−85°で結晶シリコンの表面に照射する、
ことを特徴とする請求項6に記載のレーザー結晶シリコンの検査方法。 - 前記可視光源が白色光線である、
ことを特徴とする請求項6に記載のレーザー結晶シリコンの検査方法。 - 低温処理ポリシリコン(LTPS)工程において形成したザー結晶シリコンを検査する装置であって、
基板上の非晶質シリコンをラインスキャニング方式のレーザー光によって結晶シリコンに変化させるエキシマー・レーザー・アニール(ELA)機械と、
前記基板上の結晶シリコンに表面を照射する可視光源と、
結晶シリコンの表面の反射画像を捕捉するカメラと、
から成ることを特徴とするレーザー結晶シリコンの検査装置。 - さらに、前記結晶シリコンの表面における選択された領域の結晶状態を監視し、工程を調整するために、前記カメラで捕捉した画像を入力して分析するコンピューターから成る、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー結晶シリコン検査装置。 - 前記コンピューターが前記選択した領域の結晶状態を監視し、該レーザー光のレーザーエネルギーを調整するために、該選択した領域における光線の強度の均一性、コントラスト、およびグレイスケールを分析する、
ことを特徴とする請求項12に記載のレーザー結晶シリコンの検査装置。 - 前記カメラが、前記光源によって照射された後に、全基板上の前記結晶シリコンの表面の反射画像を捕捉する、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー結晶シリコンの検査装置。 - 前記可視光源が、前記基板の平面に対して10°−85°で前記結晶シリコンの表面を照射する、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー結晶シリコンの検査装置。 - 前記可視光線が白色光線である、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー結晶シリコンの検査装置。 - 前記可視光線が緑色光線である、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー結晶シリコンの検査装置。 - 前記カメラが、該可視光線の照射角度範囲内で垂直方向に置かれる、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー結晶シリコンの検査装置。 - 前記カメラが、該レーザー光のラインスキャニングの方向に対して水平方向に置かれる、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー結晶シリコンの検査装置。 - 前記カメラが、該レーザー光のラインスキャニングの方向と平行する水平方向に置かれる、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー結晶シリコンの検査装置。
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