JP2006015176A - Paste coating apparatus - Google Patents

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剛 坂崎
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忠之 齊藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To form a coating film on both surfaces of an object, which can swell when a paste is applied directly, by directly applying the paste without applying the paste on a dummy sheet. <P>SOLUTION: In the paste applying device, a pair of heat roller surfaces is coated with a liquid-like or a paste-like coating medium to form the film having a predetermined thickness in a predetermined shape. After the films formed on the heat roller surfaces are dried by operating a heater of the heat roller, it is transferred onto both surfaces of an object of a lengthy shape fed out from an unwinding part. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、長尺状の被処理物の両面に、塗工液を同時に塗工することができる両面塗工型塗工装置に関するものである。   The present invention relates to a double-sided coating type coating apparatus capable of simultaneously coating a coating liquid on both sides of a long workpiece.

従来,燃料電池に用いられている膜電極膜接合体を製造する際に、高分子膜へ直接電極ペーストを塗布すると、高分子膜が膨潤変形してしまい、膜厚の調整及び均一性の確保が難しくなるため、特許文献1に記載されているように、一度、ダミーとなるフィルムに電極膜を塗布し、乾燥した後に高分子膜へ電極膜を転写するという製法が用いられている。   Conventionally, when an electrode paste is applied directly to a polymer membrane when manufacturing a membrane electrode membrane assembly used in a fuel cell, the polymer membrane swells and deforms, adjusting the film thickness and ensuring uniformity. Therefore, as described in Patent Document 1, a manufacturing method is used in which an electrode film is once applied to a dummy film, dried, and then transferred to a polymer film.

特開平10−64574号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-64574

ところで、上記特許文献1に記載の膜電極膜接合体の製法では、一度撥水性のダミーシートに塗布し、ダミーシート上で乾燥した後に、高分子膜へ転写をし、膜電極接合体となる。この製法では、塗布・乾燥・転写という3段階の工程を踏まえるため、複数の装置、もしくは特許文献1のように1つの装置にまとめたとしても、非常に大きなスペースが必要となってしまい、また、工程が多いため製造時間も多くの時間を必要とする。また、一度ダミーシートに電極膜を塗布してから高分子膜の両面に転写するため、枚葉的に処理した場合は、ダミーシートのハンドリングが問題となり、高分子膜の両面に電極膜を転写する際、位置合せが困難となる。また、長尺状のシートに塗布し、そのまま転写を行うようにした際は、塗工によるずれを直すのは困難であり、こちらの製法においても両面の位置合せは非常に困難なものとなる。   By the way, in the manufacturing method of the membrane electrode membrane assembly described in Patent Document 1, the membrane electrode assembly is applied once to a water-repellent dummy sheet, dried on the dummy sheet, and then transferred to a polymer membrane to form a membrane electrode assembly. . Since this manufacturing method is based on a three-step process of coating, drying, and transfer, a very large space is required even if a plurality of devices or a single device as in Patent Document 1 are combined. Because of the many processes, the manufacturing time also requires a lot of time. In addition, once the electrode film is applied to the dummy sheet and then transferred to both sides of the polymer film, handling of the dummy sheet becomes a problem when processing in a single wafer, and the electrode film is transferred to both sides of the polymer film. When doing so, alignment becomes difficult. Also, when it is applied to a long sheet and transferred as it is, it is difficult to correct the misalignment due to coating, and even in this manufacturing method, it is very difficult to align both sides. .

本発明はかかる問題を解決し、位置合せを容易とし、装置の小型化及び短時間での膜電極膜接合体を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a membrane electrode membrane assembly that solves such problems, facilitates alignment, reduces the size of the apparatus, and shortens the time.

上記の目的を達成するための第一の製法として、巻き出し部と移動グリップもしくは、巻き出し部と巻き取り部を用い、長尺状の被対象物を連続的に搬送する機構を持っており、被対象物の両側に1対となる塗工ユニットを持っており、被対象物に塗布ペーストを塗工するものである。塗工ユニットは塗布ペーストを塗布するための機構として、スリットコータを用い、スリットコータの塗布方向にヒートローラを用い、加熱させたヒートローラを回転させながら、スリットコータから塗布ペーストを吐出させることで、ヒートローラに矩形状の塗布膜を得るものである。ヒートローラに膜を塗布した後に、1対となっているヒートローラに塗布した膜の位置を合わせてからヒートローラで被処理物を挟み込み、そのままの状態でヒートローラを同速度で回転させ塗布した膜を、被処理物に転写するものである。   As the first manufacturing method to achieve the above-mentioned purpose, it has a mechanism that continuously conveys a long object using an unwinding part and a moving grip or an unwinding part and a winding part. A pair of coating units are provided on both sides of the object, and the application paste is applied to the object. The coating unit uses a slit coater as a mechanism for applying the coating paste, uses a heat roller in the slit coater coating direction, and discharges the coating paste from the slit coater while rotating the heated heat roller. A rectangular coating film is obtained on the heat roller. After the film is applied to the heat roller, the position of the film applied to the pair of heat rollers is aligned, the object to be processed is sandwiched between the heat rollers, and the heat roller is rotated and applied at the same speed. The film is transferred to an object to be processed.

第2の製法として、上記の長尺状の被処理物を搬送する機構を持ち、被対象物の両側に1対となる塗工ユニットを持っており、被対象物に塗布ペーストを塗工するものである。塗工ユニットには、塗布液を塗布するための機構として、スプレーを用い、スプレーの塗布方向に、ヒートローラを持つ。また、ヒートローラ上には任意の形状の開口部を持つ、耐熱性のあるマスクを所持している。このスプレーとマスクによって、加熱されたヒートローラ上にスプレーから吐出された塗布液をパターニングし塗布する。ヒートローラに膜を塗布した後に、1対となっているヒートローラに塗布した膜の位置を合わせてからヒートローラで被処理物を挟み込み、そのままの状態でヒートローラを同速度で回転させ塗布した膜を、被処理物に転写するものである。   As a second manufacturing method, it has a mechanism for transporting the above-mentioned long object to be processed, has a pair of coating units on both sides of the object, and applies a coating paste to the object. Is. The coating unit uses a spray as a mechanism for applying the coating liquid, and has a heat roller in the spray application direction. In addition, a heat-resistant mask having an opening of an arbitrary shape is carried on the heat roller. With this spray and mask, the coating liquid discharged from the spray is patterned and applied onto a heated heat roller. After coating the film on the heat roller, align the position of the film applied to the pair of heat rollers, sandwich the workpiece with the heat roller, and rotate the heat roller at the same speed to apply The film is transferred to an object to be processed.

第3の製法として、上記の長尺状の被処理物を搬送する機構を持ち、被対象物の両側に1対となる塗工ユニットを持っており、被対象物に塗布ペーストを塗工するものである。塗工ユニットは、任意の形状をした開口部を0〜複数もつ円形もしくは楕円形をしたスクリーンマスクを持ち、そのスクリーンマスクの内側に、ヒータとスプレーを持ち、被処理物上に任意の形状の膜を得ることができるものである。   As a third production method, the apparatus has a mechanism for conveying the above-described long object to be processed, has a pair of coating units on both sides of the object, and applies a coating paste to the object. Is. The coating unit has a circular or elliptical screen mask having 0 to a plurality of openings having an arbitrary shape, and has a heater and a spray inside the screen mask, and has an arbitrary shape on the workpiece. A film can be obtained.

本発明によると、一度に両面成膜することが可能なため、両面の電極膜の位置合せが容易となる。また、両面同時塗工となるため、工程が削減し製作時間の短縮も可能となる。更に工程が減ることにより、装置の小型化及び設置スペースの縮小も可能となる。   According to the present invention, both sides of the film can be formed at the same time, so that it is easy to align the electrode films on both sides. In addition, since both sides are coated simultaneously, the number of processes is reduced and the production time can be shortened. Furthermore, since the number of processes is reduced, the apparatus can be downsized and the installation space can be reduced.

以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

先ず、第1実施例を図1、図2、図7を用いて説明する。   First, a first embodiment will be described with reference to FIGS.

図1、図2は本発明の全体構成を示している。図1は巻き出し部6と移動グリップ8及びディスクカッター7を用いて、長尺状の被処理物5に塗布膜9を表裏に塗工した後で、切断分離して、1枚づつ取り出す装置である。また、図2には被処理物5を巻き出し部6から巻き出し、塗布膜9、9’を塗布した後に、長尺状のまま巻き取り部10で巻き取る構成を示してある。この巻き取り部10の内側となる方(近傍)には、カバーフィルム11を巻き出すカバーフィルム巻き出し部11を設け、非処理物5の巻き取り面側をカバーフィルムで覆った後に巻き取り部10に巻き取るようにしてある。   1 and 2 show the overall configuration of the present invention. FIG. 1 shows an apparatus in which a coating film 9 is coated on the front and back of a long object 5 by using an unwinding portion 6, a moving grip 8 and a disk cutter 7, and then cut and separated to take out one by one. It is. Further, FIG. 2 shows a configuration in which the workpiece 5 is unwound from the unwinding portion 6 and coated with the coating films 9 and 9 ′, and then wound by the winding portion 10 while being long. A cover film unwinding portion 11 for unwinding the cover film 11 is provided on the inner side (near) of the winding portion 10, and the winding portion after the winding surface side of the non-processed product 5 is covered with the cover film. 10 is wound up.

図1、図2は塗工後の膜の取り出し方が違うが、塗工部A、A'においては同様の処理をするため、図1を枚葉型B1、図2を連続型B2と称し、以下、塗工部の説明をする。   1 and 2 differ in how the film is taken out after coating, but in order to perform the same processing in the coating parts A and A ′, FIG. 1 is referred to as a single wafer type B1 and FIG. 2 is referred to as a continuous type B2. Hereinafter, the coating part will be described.

塗工部A,A'は、供給ポンプ(図示していない)より供給された塗工液をスリットコータ1、1'によってヒートローラ2、2'面に幅方向に広げ吐出する。すなわち、スリットコータ1、1'の吐出方向に、所望の膜厚分だけ離した位置(以下塗工位置という)にヒートローラ2、2'を設置する。そして、ヒートローラ2、2'を図1の矢印方向へ一定速度で回転させながら、スリットコータ1、1'より塗工液を吐出させ、矩形形状の膜4、4'をヒートローラ2、2'上に成膜する。またこの時、任意の形状の開口部を持つマスクを設けて、任意の形状の膜を形成する構成としてもよい。このヒートローラ2、2'上に塗工した膜4、4'を、ヒートローラ2、2'上で乾燥させる。その後、被処理物5方向へヒートローラ2、2'を移動させる。この時、塗工部A、A'は略同時に動作するようにしてある。図7には被処理物5にヒートローラ2、2'上に形成された薄膜9、9'を転写する状態を示している。   The coating sections A and A ′ spread and discharge the coating liquid supplied from a supply pump (not shown) in the width direction on the surfaces of the heat rollers 2 and 2 ′ by the slit coaters 1 and 1 ′. That is, the heat rollers 2 and 2 ′ are installed at positions separated by a desired film thickness (hereinafter referred to as coating positions) in the discharge direction of the slit coaters 1 and 1 ′. Then, while rotating the heat rollers 2, 2 ′ at a constant speed in the direction of the arrow in FIG. 1, the coating liquid is discharged from the slit coaters 1, 1 ′ to form the rectangular films 4, 4 ′ on the heat rollers 2, 2 ′. 'Film on top. At this time, a mask having an opening with an arbitrary shape may be provided to form a film with an arbitrary shape. The films 4 and 4 ′ coated on the heat rollers 2 and 2 ′ are dried on the heat rollers 2 and 2 ′. Thereafter, the heat rollers 2, 2 ′ are moved in the direction of the workpiece 5. At this time, the coating parts A and A ′ are operated substantially simultaneously. FIG. 7 shows a state in which the thin films 9 and 9 ′ formed on the heat rollers 2 and 2 ′ are transferred to the workpiece 5.

図7に示すように、ヒートローラ2、2'上に塗布されている膜4、4'の位置が合うように、同期を取ってヒートローラ2、2'で被処理物5を挟む。そのままヒートローラ2、2'を同じ速度で回転させ、塗布膜4、4'を被処理物5上に転写する。転写後、ヒートローラ2、2'は塗工位置に戻り、それぞれのヒートローラ2、2′近傍に設けてあるローラクリーナー3、3'をヒートローラ面に接触させて、ヒートローラ表面をクリーニングする。一方、塗工膜を転写された被処理物5は次の工程に移る。ここで、枚葉型B1(図1)と連続型B2(図2)によって、処理方法が分かれる。枚葉型B1においては、転写後そのまま移動方向へ移動し、移動グリップ8によってハンドリングされ、ディスクカッター7によって1枚づつに切り分けられる。一方、連続型B2においてはそのまま巻き取り部10によって巻き取られるが、途中で転写した塗工膜9、9'に傷などがつかないよう、カバーフィルム11を一緒に巻き取るようにする。   As shown in FIG. 7, the workpiece 5 is sandwiched between the heat rollers 2, 2 ′ in synchronization so that the positions of the films 4, 4 ′ applied on the heat rollers 2, 2 ′ are aligned. As it is, the heat rollers 2 and 2 ′ are rotated at the same speed, and the coating films 4 and 4 ′ are transferred onto the workpiece 5. After the transfer, the heat rollers 2 and 2 ′ return to the coating position, and the roller cleaners 3 and 3 ′ provided near the heat rollers 2 and 2 ′ are brought into contact with the heat roller surface to clean the surface of the heat roller. . On the other hand, the workpiece 5 to which the coating film is transferred moves to the next step. Here, the processing method is different depending on the single wafer type B1 (FIG. 1) and the continuous type B2 (FIG. 2). In the sheet type B 1, the sheet moves in the moving direction as it is after the transfer, is handled by the moving grip 8, and is cut into pieces one by one by the disk cutter 7. On the other hand, in the continuous type B2, the film is taken up by the take-up unit 10 as it is, but the cover film 11 is taken up together so that the coating films 9 and 9 ′ transferred in the middle are not damaged.

前述のように、本実施例は、ヒートローラ上に直接成膜して、所定の乾燥状態にした後に被処理物にその膜を転写することにより、膜の膨潤変形を防止すると共に、被処理物以外の乾燥用の処理物を不用とし、乾燥炉等の大きな設備を不用としたものである。   As described above, the present embodiment forms a film directly on the heat roller, transfers the film to the object to be processed after being in a predetermined dry state, and prevents the film from swelling and being processed. A processing product for drying other than the waste is not required, and a large facility such as a drying furnace is not required.

次に図3、図4、図7、図8、図9を用いて、実施例2として塗工部A、A'にスリットコータ1、1'ではなくスプレー13、13'を用いた場合の実施例について説明する。基本的な動作方法は塗工部A,A'以外スリットコータ1、1'を用いた時とあまり変わることはなく、塗工部A,A'にスプレー13、13'を用いた場合でも、枚葉型B1と連続型B2の2種類に対応する。   Next, using FIG. 3, FIG. 4, FIG. 7, FIG. 8, and FIG. 9, as a second embodiment, when the spray coaters 13 and 13 ′ are used instead of the slit coaters 1 and 1 ′ in the coating parts A and A ′. Examples will be described. The basic operation method is not much different from the case of using the slit coater 1, 1 ′ other than the coating parts A, A ′. Even when the sprays 13, 13 ′ are used for the coating parts A, A ′, Corresponds to two types of single wafer type B1 and continuous type B2.

スリットコータ1、1′を用いた場合と異なる点は、ヒートローラ面上に所望形状の開口を備え、また成膜する膜厚相当の厚みのあるマスクが12、12′がヒートローラ面に接触して同期して移動し、成膜後ヒートローラ面から離間できる構成にしてある点である。なお、このマスク12、12'は耐熱性を有している。ヒートローラ2、2'面に対向して、成膜される大きさによって、1つから複数個のスプレー13、13'を膜の幅方向に備えている。   The difference from using slit coaters 1 and 1 'is that the heat roller surface is provided with an opening of a desired shape, and a mask having a thickness equivalent to the film thickness to be deposited is 12 and 12' is in contact with the heat roller surface. Thus, they are configured to move synchronously and be separated from the heat roller surface after film formation. The masks 12 and 12 ′ have heat resistance. One to a plurality of sprays 13 and 13 'are provided in the film width direction so as to face the heat rollers 2 and 2' depending on the size of the film to be formed.

塗布液タンク(図示していない)から圧送されてきた塗布液を、スプレー13、13'を用いて、ヒートローラ2、2'へ塗布する。この時、幅方向を網羅するようにスプレー13、13'を往復移動させ、図8に示すように、ヒートローラ2、2'にマスクを取り付けた状態で正回転、逆回転を繰り返し、所望の膜厚が得られるようにする。必要膜厚となるまで塗布し、塗布膜4、4'が乾燥したら、図9に示すように、ヒートローラ2、2'を耐熱マスク12、12'から外し、ヒートローラ2、2'を図3に示す矢印方向へ回転させながら、被処理物5方向へ移動する。この時、塗工部A、A'ともに同様の動作をするものとする。   The coating liquid pumped from a coating liquid tank (not shown) is applied to the heat rollers 2, 2 ′ using the sprays 13, 13 ′. At this time, the sprays 13 and 13 ′ are reciprocated so as to cover the width direction, and as shown in FIG. 8, the forward rotation and the reverse rotation are repeated with the mask attached to the heat rollers 2 and 2 ′. A film thickness should be obtained. When coating is performed until the required film thickness is obtained and the coating films 4 and 4 'are dried, the heat rollers 2 and 2' are removed from the heat-resistant masks 12 and 12 'as shown in FIG. 3 while moving in the direction of the arrow shown in FIG. At this time, the coating parts A and A ′ are assumed to perform the same operation.

塗布が終了すると、図7に示すように、ヒートローラ2、2'に塗布されている膜の位置の同期を取り、ヒートローラ2、2'で被処理物5を挟む。そのままヒートローラ2、2'を同じ速度で回転させ、塗布膜を被処理物5上に転写する。転写後、ヒートローラ2、2'は塗工位置に戻り、ローラクリーナー3、3'にてヒートローラ表面をクリーニングする。   When the application is completed, as shown in FIG. 7, the position of the film applied to the heat rollers 2, 2 ′ is synchronized, and the workpiece 5 is sandwiched between the heat rollers 2, 2 ′. As it is, the heat rollers 2 and 2 ′ are rotated at the same speed to transfer the coating film onto the workpiece 5. After the transfer, the heat rollers 2, 2 ′ return to the coating position, and the surface of the heat roller is cleaned by the roller cleaners 3, 3 ′.

一方、塗工膜9、9'を転写された被処理物5は次の工程に移る。ここで、枚葉型B1と連続型B2によって、処理方法が分かれる。枚葉型B1においては、転写後そのまま移動方向へ移動し、移動グリップ8によってハンドリングされ、ディスクカッター7によって1枚づつに切り分けられる。一方、連続型B2においてはそのまま巻き取り部10によって巻き取られるが、途中で転写した塗工膜9、9'に傷などがつかないよう、カバーフィルム11を一緒に巻き取るようにする。   On the other hand, the workpiece 5 to which the coating films 9 and 9 ′ have been transferred proceeds to the next step. Here, the processing method is different depending on the single wafer type B1 and the continuous type B2. In the sheet type B 1, the sheet moves in the moving direction as it is after the transfer, is handled by the moving grip 8, and is cut into pieces one by one by the disk cutter 7. On the other hand, in the continuous type B2, the film is taken up by the take-up unit 10 as it is, but the cover film 11 is taken up together so that the coating films 9 and 9 ′ transferred in the middle are not damaged.

上述の説明では、ヒートローラ上に薄膜を形成する際に、マスクとヒートローラを一緒に往復移動させる必要があるが、スプレーを幅方向だけでなくヒートローラの回転方向に移動させるようにして行えるようにすることで、マスク及びヒートローラは停止させて塗布することができる。この構成では、マスクを固定しヒートローラの移動によって、ヒートローラからマスクを取り外すことが可能となり、マスクの取り付け取り外し機構が不要となり、構成が簡単になる。   In the above description, when forming a thin film on the heat roller, it is necessary to reciprocate the mask and the heat roller together. However, the spray can be moved not only in the width direction but also in the rotation direction of the heat roller. By doing so, the mask and the heat roller can be stopped and applied. In this configuration, it is possible to remove the mask from the heat roller by fixing the mask and moving the heat roller, eliminating the need for a mask attaching / detaching mechanism, and simplifying the configuration.

実施例3のとして、転写型ではなく、直接スプレーによって両面に膜を塗布する方式について以下図5、図6を用いて説明をする。   As a third embodiment, a system in which a film is applied to both surfaces by direct spraying instead of a transfer mold will be described below with reference to FIGS.

なお、このスプレー塗布方式に置いても、枚葉型B1と連続型B2のどちらにも対応することができる。   Even if this spray coating method is used, both the single-wafer type B1 and the continuous type B2 can be handled.

本方式と先の実施例2との相違点は、マスクが塗布形状に相当する開口を備えたベルト14、14′で形成され、その内部に複数のスプレー13、13′と複数のヒータ15を備えている点と、塗布部を通過後の位置にローラ対からなるヒートプレスローラ17、17′が設けられている点である。なお、ローラクリーナ16、16′がベルト状マスクの内部に設けてある。   The difference between this method and the second embodiment is that the mask is formed by belts 14 and 14 'having openings corresponding to the coating shape, and a plurality of sprays 13 and 13' and a plurality of heaters 15 are provided therein. The point which is provided and the point which the heat press rollers 17 and 17 'which consist of a roller pair are provided in the position after passing an application part. Roller cleaners 16 and 16 'are provided inside the belt-like mask.

すなわち、所望の膜形状によって、1つから複数個のスプレー13、13'を膜の幅方向に持ち、所望の膜厚によって被処理物5の進行方向に1つから複数個のスプレー13、13'を設けてある。そして、スプレー13、13'を囲うように耐熱性のある所望の膜形状をした開口部を1つから複数個持つ耐熱マスク14、14'が設けてある。また、耐熱ベルト状マスク14、14'の内側に設けた複数のスプレー13、13′の間には複数のヒータ15、15'が配置されている。すなわち、被処理物5の進行方向に多段に、複数個のヒータ15、15'を配置している。スプレー13、13'の吐出方向に被処理物5があり、被処理物5の両側にスプレーによる塗工部A,A'を配置している。   That is, one to a plurality of sprays 13 and 13 ′ are provided in the width direction of the film depending on the desired film shape, and one to a plurality of sprays 13 and 13 are provided in the traveling direction of the workpiece 5 depending on the desired film thickness. 'Is provided. And heat-resistant masks 14 and 14 'having one or more openings having a desired heat-resistant film shape so as to surround the sprays 13 and 13' are provided. A plurality of heaters 15 and 15 'are arranged between a plurality of sprays 13 and 13' provided inside the heat-resistant belt-shaped masks 14 and 14 '. That is, a plurality of heaters 15 and 15 ′ are arranged in multiple stages in the traveling direction of the workpiece 5. There is an object to be processed 5 in the discharge direction of the sprays 13 and 13 ′, and coating portions A and A ′ by spraying are arranged on both sides of the object to be processed 5.

塗布方法は、被処理物5を一定速度で搬送し、その速度と同じ速度で耐熱マスク14、14'を回転させる。この時、耐熱マスク14、14'の開口部が一致するよう塗工部A,A'で同期を取り、回転させる。耐熱マスク14、14'の内側に配置されたスプレー13、13'から、塗布液タンク(図示していない)より、圧送された塗布液を被処理物5へ吹き付ける。スプレーから吹き付けられた塗布液はヒータ15、15'により乾燥しながら被処理物5へ付着する。この時の、膜厚調整は、進行方向のスプレー13、13'の数と、被処理物5の進行速度によって決定される。被処理物5に乾燥した塗布液が付着したら、被処理物5の進行方向に配置されたヒートプレスローラ17、17'によりプレスされ、ポーラスと膜厚を調整する。このあとの処理は、枚葉型B1と連続型B2によって、処理方法が分かれる。枚葉型B1に置いては、転写後そのまま移動方向へ移動し、移動グリップ8によってハンドリングされ、ディスクカッター7によって1枚づつに切り分けられる。一方、連続型B2においてはそのまま巻き取り部10によって巻き取られるが、途中で転写した塗工膜9、9'に傷などがつかないよう、カバーフィルム11を一緒に巻き取るようにする。   In the coating method, the workpiece 5 is conveyed at a constant speed, and the heat-resistant masks 14 and 14 'are rotated at the same speed. At this time, the coating portions A and A ′ are synchronized and rotated so that the openings of the heat-resistant masks 14 and 14 ′ coincide with each other. From the sprays 13 and 13 ′ disposed inside the heat-resistant masks 14 and 14 ′, the coating liquid fed by pressure is sprayed from the coating liquid tank (not shown) onto the workpiece 5. The coating liquid sprayed from the spray adheres to the workpiece 5 while being dried by the heaters 15 and 15 ′. The film thickness adjustment at this time is determined by the number of sprays 13 and 13 ′ in the traveling direction and the traveling speed of the workpiece 5. When the dried coating liquid adheres to the object 5 to be processed, it is pressed by the heat press rollers 17 and 17 'arranged in the traveling direction of the object 5 to adjust the porous and film thickness. Subsequent processing differs depending on the sheet type B1 and continuous type B2. When placed on the single-wafer mold B1, it moves in the moving direction as it is after the transfer, is handled by the moving grip 8, and is cut into pieces one by one by the disk cutter 7. On the other hand, in the continuous type B2, the film is taken up by the take-up unit 10 as it is, but the cover film 11 is taken up together so that the coating films 9 and 9 ′ transferred in the middle are not damaged.

この様に構成することで、マスクを被処理物の移動と同じ周速になるように回転させるだけで被処理物上に所望の形状で所望の厚さの膜を形成することができ、実施例2に比べて操作が簡単で精度のよい膜を作ることができる。   By configuring in this way, a film having a desired shape and a desired thickness can be formed on a workpiece by simply rotating the mask so that it has the same peripheral speed as the movement of the workpiece. Compared to Example 2, it is easy to operate and a highly accurate film can be produced.

枚葉型B1コータ式ダイレクト両面塗工装置の全体構成図である。1 is an overall configuration diagram of a sheet-type B1 coater type direct double-side coating apparatus. 連続型B2コータ式ダイレクト両面塗工装置の全体構成図である。It is a whole block diagram of a continuous type B2 coater type direct double-side coating apparatus. 枚葉型B1スプレー式ダイレクト両面塗工装置の全体構成図である。1 is an overall configuration diagram of a sheet-type B1 spray type direct double-side coating apparatus. 連続型B2スプレー式ダイレクト両面塗工装置の全体構成図である。It is a whole block diagram of a continuous type B2 spray type direct double-side coating apparatus. 枚葉型B1スプレー両面塗布装置の全体構成図である。1 is an overall configuration diagram of a sheet-type B1 spray double-side coating apparatus. 連続型B2スプレー両面塗布装置の全体構成図である。It is a whole block diagram of a continuous type B2 spray double-side coating apparatus. 塗工装置の転写時の詳細説明図である。It is detailed explanatory drawing at the time of transcription | transfer of a coating device. スプレー式塗工装置の塗布時の詳細説明図である。It is detailed explanatory drawing at the time of application | coating of a spray type coating device. スプレー式塗工装置の塗布時の詳細説明図である。It is detailed explanatory drawing at the time of application | coating of a spray type coating device.

符号の説明Explanation of symbols

A、A'…塗工ユニット、B1…枚葉型搬送ユニット、B2…連続型搬送ユニット、1、1'…スリットコータ、2、2'…ヒートローラ、3、3'…ローラクリーナー、4、4'…塗布膜、5…被処理物、6…巻き出し部、7…ダイスカッター、8…移動グリップ、9、9'…塗工膜、10…巻き取り部、11…カバーフィルム、12、12'…耐熱マスク、13、13'…スプレー、14、14'…耐熱マスク、15、15'…ヒータ、16、16'…マスククリーナー、17、17'…ヒートプレスローラ。
A, A '... coating unit, B1 ... single wafer type conveyance unit, B2 ... continuous type conveyance unit, 1, 1' ... slit coater, 2, 2 '... heat roller, 3, 3' ... roller cleaner, 4, 4 '... coating film, 5 ... workpiece, 6 ... unwinding part, 7 ... dice cutter, 8 ... moving grip, 9, 9' ... coating film, 10 ... winding part, 11 ... cover film, 12, 12 '... heat-resistant mask, 13, 13' ... spray, 14, 14 '... heat-resistant mask, 15, 15' ... heater, 16, 16 '... mask cleaner, 17, 17' ... heat press roller.

Claims (4)

液状又は、ペースト状の塗布媒体を1対のヒートローラ面上に塗布して、所定形状で所定厚さの膜をそれぞれ形成し、前記ヒートローラ面に形成された膜を、ヒートローラのヒータを動作させて乾燥した後に、巻き出し部から送り出された、長尺形状の被処理物の両面上に転写するように構成したことを特徴としたペースト塗工装置。   A liquid or pasty coating medium is applied onto a pair of heat roller surfaces to form a film having a predetermined shape and a predetermined thickness, and the film formed on the heat roller surface is heated by a heater of the heat roller. A paste coating apparatus characterized by being configured to transfer onto both sides of a long object to be processed fed from an unwinding section after being operated and dried. 請求項1に記載のペースト塗工装置において、
長尺状の被処理物へ前記膜を転写した下流側に移動グリップ設け、前記移動グリップに対向する位置に設けたカッタで、前記被処理物を切断する構成としたことを特徴としたペースト塗工装置。
In the paste coating apparatus according to claim 1,
A paste coating characterized in that a moving grip is provided on the downstream side of the film transferred to a long workpiece, and the workpiece is cut by a cutter provided at a position facing the moving grip. Engineering equipment.
請求項1に記載のペースト塗工装置において、
長尺状の被処理物へ前記膜を転写した下流側に巻き取りロールとカバーフィルム巻き出し部を設けて、巻き取りロールの巻き取り面側にカバーフィルムを設けて巻き取る構成としたことを特徴としたペースト塗工装置。
In the paste coating apparatus according to claim 1,
A winding roll and a cover film unwinding portion are provided on the downstream side of the film transferred to a long object to be processed, and a cover film is provided on the winding surface side of the winding roll to wind the film. Characteristic paste coating device.
被処理物を挟んで1対の塗工部を備えたペースト塗工装置において、
前記塗工部が、耐熱ベルトで形成され、複数の開口部を備えたマスク内に、被処理物の移動方向に複数のスプレーノズルと、同方向に前記スプレーノズルを挟んで複数のヒータを多段に設けて構成され、
前記ヒータを動作させると共に、前記被処理物の移動方向に周速が略同じになるように前記マスクを回転させながら前記ノズルから塗布媒体を吐出させて、被処理物上に膜を形成するように構成したことを特徴とするペースト塗工装置。
In the paste coating apparatus provided with a pair of coating parts across the workpiece,
The coating part is formed of a heat-resistant belt, and a plurality of spray nozzles are arranged in a moving direction of a workpiece and a plurality of heaters are sandwiched in the same direction in a mask having a plurality of openings. It is provided and configured
The heater is operated, and the coating medium is discharged from the nozzle while rotating the mask so that the peripheral speed is substantially the same in the moving direction of the object to be processed, thereby forming a film on the object to be processed. A paste coating apparatus characterized in that it is configured as described above.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007196092A (en) * 2006-01-24 2007-08-09 Nordson Corp Coating and drying method for liquid

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