JP2006013386A - 電子ビーム露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子源101から放射された電子ビームEBを加速し、略平行化した後、前記電子ビームをアパーチャ−アレイ121でマルチ電子ビームに分割する手段と、それぞれの前記マルチ電子ビームをON及びOFFするブランキング手段としてのBAA122と、それぞれの前記マルチ電子ビームを収束させる手段としてレンズアレイ124、および、前記マルチ電子ビームを縮小投影する縮小投影系130とを備え、前記BAA122が電子ビームの最終加速電位に対し、中間の電圧領域に設けられている。【選択図】 図1
Description
(1)電子源から放射された電子ビームを加速し、略平行化した後、前記電子ビームをマルチ電子ビームに分割する手段と、それぞれの前記マルチ電子ビームをON及びOFFするブランキング手段と、それぞれの前記マルチ電子ビームを収束させる手段、および、前記マルチ電子ビームを縮小投影する手段とを備え、前記ブランキング手段が前記マルチ電子ビームの最終加速電位に対し、中間の電圧領域に設けられることを特徴とする電子ビーム露光装置。
(2)前記電子ビーム露光装置において、前記ブランキング手段は、前記最終加速電位に加速された前記マルチ電子ビームを減速させる減速電極と、前記マルチ電子ビームを加速する加速電極と、の間の前記中間の電位領域にあることを特徴とする。
(3)前記(2)に記載の電子ビーム露光装置において、前記加速電極は、前記マルチ電
子ビームを前記最終加速電位に加速することを特徴とする。
(4)前記(2)または(3)に記載の電子ビーム露光装置において、前記加速電極及び前記減速電極の少なくとも1つは、それぞれの前記マルチ電子ビームを収束させる手段を兼ねることを特徴とする。
(5)前記(2)から(4)のいずれかに記載の電子ビーム露光装置において、前記加速電極及び前記減速電極の少なくとも1つは、多段の電極からなることを特徴とする。多段の電極の電源はそれぞれの段の電源に分割してそれぞれの段に最適な電圧が印加されるようにするのが好ましい。
(6)電子ビームを露光対象上に照射して露光する電子ビーム露光装置において、電子ビーム源と、前記電子ビームの照射を制御するブランカーと、前記電子ビームを加速させる加速電圧部と、を備え、前記ブランカーは、前記露光対象上での前記電子ビームの加速電位よりも低い電位の領域に配置されていることを特徴とする電子ビーム露光装置。
(7)前記(6)に記載の電子ビーム露光装置において、前記ブランカーは、開口部と電極対を有し、前記電極対に電圧を印加することで前記開口を通過する前記電子ビームを偏向し、前記電子ビームを前記露光対象上に照射されないようにすることを特徴とする。
(8)複数の電子ビームを露光対象上に照射して露光する電子ビーム露光装置において、電子ビーム源と、複数の開口を有し、電子ビームを複数に分割するアパーチャアレイと、複数の前記電子ビームの照射をそれぞれ制御するブランカーアレイと、前記電子ビームを加速させる加速電圧部と、を備え、前記ブランカーアレイは、前記露光対象上での前記電子ビームの加速電位よりも低い電位の領域に配置されていることを特徴とする電子ビーム露光装置。
(9)前記(6)に記載の電子ビーム露光装置において、前記ブランカーアレイは、複数のブランカーを有し、前記ブランカーは、開口部と電極対を有し、前記電極対に電圧を印加することで前記開口部を通過する前記電子ビームを偏向し、前記電子ビームを前記露光対象上に照射しないようにすることを特徴とする。
(10)前記(1)〜(9)のいずれかに記載の電子ビーム露光装置を用いて露光対象に露光を行う工程と、露光された前記露光対象を現像する工程と、を具備することを特徴とするデバイス製造方法。
構成されており、電子源101から放出した電子ビームEBはクロースオーバーを形成しながら50kVに加速されて照射レンズ111に入射する。そこで、電子ビームは略平行化されてマルチビーム形成ユニット120に入射する。
によって形成する電極形成ステップ、ウエハにイオンを打ち込むイオン打ち込みステップ、ウエハに感光剤を塗布するレジスト処理ステップ、上記の露光装置によって回路パターンをレジスト処理ステップ後のウエハに焼付け露光する露光ステップ、露光ステップで露光したウエハを現像する現像ステップ、現像ステップで現像したレジスト像以外の部分を削り取るエッチングステップ、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除くレジスト剥離ステップ。これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。
Claims (10)
- 電子源から放射された電子ビームを加速し、略平行化した後、前記電子ビームをマルチ電子ビームに分割する手段と、それぞれの前記マルチ電子ビームをON及びOFFするブランキング手段と、それぞれの前記マルチ電子ビームを収束させる手段、および、前記マルチ電子ビームを縮小投影する手段とを備え、前記ブランキング手段が前記マルチ電子ビームの最終加速電位に対し、中間の電圧領域に設けられることを特徴とする電子ビーム露光装置。
- 前記ブランキング手段は、前記最終加速電位に加速された前記マルチ電子ビームを減速させる減速電極と、前記マルチ電子ビームを加速する加速電極と、の間の前記中間の電位領域にあることを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム露光装置。
- 前記加速電極は、前記マルチ電子ビームを前記最終加速電位に加速することを特徴とする請求項2に記載の電子ビーム露光装置。
- 前記加速電極及び前記減速電極の少なくとも1つは、それぞれの前記マルチ電子ビームを収束させる手段を兼ねることを特徴とする請求項2または3に記載の電子ビーム露光装置。
- 前記加速電極及び前記減速電極の少なくとも1つは、多段の電極からなることを特徴とする請求項2から4のいずれか1つに記載の電子ビーム露光装置。
- 電子ビームを露光対象上に照射して露光する電子ビーム露光装置において、
電子ビーム源と、
前記電子ビームの照射を制御するブランカーと、
前記電子ビームを加速させる加速電圧部と、を備え、
前記ブランカーは、前記露光対象上での前記電子ビームの加速電位よりも低い電位の領域に配置されていることを特徴とする電子ビーム露光装置。 - 前記ブランカーは、開口部と電極対を有し、前記電極対に電圧を印加することで前記開口部を通過する前記電子ビームを偏向し、前記電子ビームを前記露光対象上に照射されないようにすることを特徴とする請求項6に記載の電子ビーム露光装置。
- 複数の電子ビームを露光対象上に照射して露光する電子ビーム露光装置において、
電子ビーム源と、
複数の開口を有し、電子ビームを複数に分割するアパーチャアレイと、
複数の前記電子ビームの照射をそれぞれ制御するブランカーアレイと、
前記電子ビームを加速させる加速電圧部と、を備え、
前記ブランカーアレイは、前記露光対象上での前記電子ビームの加速電位よりも低い電位の領域に配置されていることを特徴とする電子ビーム露光装置。 - 前記ブランカーアレイは、複数のブランカーを有し、
前記ブランカーは、開口部と電極対を有し、前記電極対に電圧を印加することで前記開口部を通過する前記電子ビームを偏向し、前記電子ビームを前記露光対象上に照射しないようにすることを特徴とする請求項6に記載の電子ビーム露光装置。 - 請求項1〜9のいずれか1つに記載の電子ビーム露光装置を用いて露光対象に露光を行う工程と、露光された前記露光対象を現像する工程と、を具備することを特徴とするデバイス製造方法。
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