JP2006013315A - Ceramic electronic component manufacturing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ceramic electronic component manufacturing method whereby a ceramic electronic component having compact external electrodes formed on both end faces of its ceramic element is manufactured. <P>SOLUTION: One end face of a ceramic element 12 is immersed in a conductive paste 22 spread on a bed 20 for the application of the conductive paste 22. The ceramic element 12 is then placed in a drying atmosphere to dry the conductive paste 22. The ceramic element 12 is then reversed and again immersed in the conductive paste 22 for the application of the conductive paste 22. The ceramic element 12 is placed in a drying atmosphere for the conductive paste 22 to dry. After the conductive paste 22 on both side faces of the ceramic element 12 is dried, the ceramic element 12 is placed in a drying atmosphere for further drying the conductive paste 22. The dried conductive paste 22 is baked for the formation of external electrodes on both end faces of the ceramic element 12. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、セラミック電子部品の製造方法に関し、特にたとえば、積層セラミックコンデンサなどのようなセラミック素体の両端面に外部電極が形成されたセラミック電子部品を得るためのセラミック電子部品の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic electronic component, and more particularly to a method for manufacturing a ceramic electronic component for obtaining a ceramic electronic component in which external electrodes are formed on both end surfaces of a ceramic body such as a multilayer ceramic capacitor.

たとえば、積層セラミックコンデンサは、互いに対向するように積層される複数の内部電極を有するセラミック素体を含む。セラミック素体の両端面には、隣接する内部電極が交互に引き出される。そして、内部電極が引き出されたセラミック素体の両端面に、外部電極が形成されている。それにより、2つの外部電極には隣接する内部電極が交互に接続され、これらの外部電極間に静電容量が形成される。   For example, a multilayer ceramic capacitor includes a ceramic body having a plurality of internal electrodes that are stacked to face each other. Adjacent internal electrodes are alternately drawn on both end faces of the ceramic body. External electrodes are formed on both end faces of the ceramic body from which the internal electrodes are drawn. Thereby, adjacent internal electrodes are alternately connected to the two external electrodes, and a capacitance is formed between these external electrodes.

積層セラミックコンデンサを作製するために、図6に示すように、内部電極を有するセラミック素体1が準備される。セラミック素体1は、導電性ペーストで内部電極パターンを形成したセラミックグリーンシートを積層し、焼成することにより形成される。このセラミック素体1の両端面に外部電極を形成するために、基台2上に導電性ペースト3が広げられる。この導電性ペースト3にセラミック素体1の一方の端面を浸漬することにより、セラミック素体1の一方の端面に導電性ペースト3が塗布される。さらに、図7に示すように、セラミック素体1の他方の端面を導電性ペースト3に浸漬することにより、セラミック素体1の他方の端面に導電性ペースト3が塗布される。そして、これらの導電性ペースト3を焼成することにより、外部電極が形成される。さらに、焼成して得られた外部電極に、必要に応じてNiめっき被膜やSnめっき被膜などが形成される。このような積層セラミックコンデンサの製造工程において、治具を用いて多数のセラミック素体1を保持することにより、多数のセラミック素体1に同時に導電性ペースト3を塗布することができる(例えば、特許文献1参照)。   In order to produce a multilayer ceramic capacitor, a ceramic body 1 having internal electrodes is prepared as shown in FIG. The ceramic body 1 is formed by laminating and firing ceramic green sheets having internal electrode patterns formed of a conductive paste. In order to form external electrodes on both end faces of the ceramic body 1, the conductive paste 3 is spread on the base 2. The conductive paste 3 is applied to one end surface of the ceramic body 1 by immersing one end surface of the ceramic body 1 in the conductive paste 3. Further, as shown in FIG. 7, the conductive paste 3 is applied to the other end surface of the ceramic body 1 by immersing the other end surface of the ceramic body 1 in the conductive paste 3. Then, these conductive pastes 3 are baked to form external electrodes. Furthermore, a Ni plating film, a Sn plating film, or the like is formed on the external electrode obtained by firing, if necessary. In the manufacturing process of such a multilayer ceramic capacitor, the conductive paste 3 can be simultaneously applied to many ceramic bodies 1 by holding many ceramic bodies 1 using a jig (for example, patents). Reference 1).

特開平5−136010号公報JP-A-5-136010

セラミック素体の一方の端面を導電性ペーストに浸漬したのち、セラミック素体の他方の端面を導電性ペーストに浸漬するために、セラミック素体を逆転させる必要がある。しかしながら、セラミック素体を逆転させるときに、導電性ペーストの変形を防止するため、セラミック素体の一方の端面に塗布された導電性ペーストを乾燥させ、流動性を小さくする必要がある。さらに、セラミック素体の他方の端部に導電性ペーストを塗布したのち、導電性ペーストの焼付け工程に運ぶときに導電性ペーストが変形することを防ぐため、再度導電性ペーストの乾燥を行う必要がある。   After immersing one end face of the ceramic element body in the conductive paste, it is necessary to reverse the ceramic element body in order to immerse the other end face of the ceramic element element in the conductive paste. However, when the ceramic body is reversed, in order to prevent deformation of the conductive paste, it is necessary to dry the conductive paste applied to one end surface of the ceramic body and reduce the fluidity. Furthermore, after applying the conductive paste to the other end of the ceramic body, it is necessary to dry the conductive paste again in order to prevent the conductive paste from being deformed when transported to the baking process of the conductive paste. is there.

このように、セラミック素体に導電性ペーストを塗布してから焼付け工程に至るまでの間に、2回の乾燥工程があるが、これらの乾燥工程において、セラミック素体の一方の端面に塗布された導電性ペーストは2回の乾燥工程を経ているのに対して、セラミック素体の他方の端面に塗布された導電性ペーストは1回の乾燥工程しか経ていない。そのため、セラミック素体の両端面の導電性ペーストの乾燥状態(溶剤含有率)に差が生じる。このように、セラミック素体の両端面に塗布された導電性ペーストの乾燥状態が異なると、たとえば最初に塗布した導電性ペーストを基準として焼結条件を設定すると、後で塗布した導電性ペーストが焼結不足となる。逆に、後で塗布した導電性ペーストを基準として焼結条件を設定すると、最初に塗布した導電性ペーストが焼結しすぎとなり、外部電極内にポアが発生する。   As described above, there are two drying processes between the application of the conductive paste to the ceramic body and the baking process. In these drying processes, the ceramic paste is applied to one end surface of the ceramic body. In contrast, the conductive paste has undergone two drying steps, whereas the conductive paste applied to the other end face of the ceramic body has undergone only one drying step. Therefore, a difference occurs in the dry state (solvent content) of the conductive paste on both end faces of the ceramic body. Thus, if the conductive paste applied to both end faces of the ceramic body is different in drying state, for example, if the sintering conditions are set based on the conductive paste applied first, the conductive paste applied later is Sintering is insufficient. Conversely, if the sintering conditions are set based on the conductive paste applied later, the conductive paste applied first will be oversintered and pores will be generated in the external electrodes.

このような状態において、焼結電極上にめっき被膜を形成する場合、めっき液が外部電極内に浸入して残留し、セラミック電子部品を半田付けの際に残留しためっき液が膨張し、外部電極にクラック等の欠陥を生じさせる恐れがある。また、外部電極の緻密性が不十分であると、耐湿性に劣り、水分などが浸入する恐れがある。   In such a state, when a plating film is formed on the sintered electrode, the plating solution penetrates and remains in the external electrode, and the plating solution remaining when the ceramic electronic component is soldered expands and the external electrode May cause defects such as cracks. Further, if the external electrode is insufficiently dense, the moisture resistance is inferior and moisture may enter.

それゆえに、この発明の主たる目的は、セラミック素体の両端面に緻密な外部電極が形成されたセラミック電子部品を得ることができる、セラミック電子部品の製造方法を提供することである。   Therefore, a main object of the present invention is to provide a method of manufacturing a ceramic electronic component that can obtain a ceramic electronic component in which dense external electrodes are formed on both end faces of the ceramic body.

この発明は、セラミック素体を準備する工程と、セラミック素体の一方の端面に導電性ペーストを塗布する工程と、セラミック素体を乾燥条件下に置いてセラミック素体の一方の端面に塗布された導電性ペーストを乾燥させる工程と、セラミック素体の他方の端面に導電性ペーストを塗布する工程と、セラミック素体を乾燥条件下においてセラミック素体の他方の端面に塗布された導電性ペーストを乾燥させる工程と、セラミック素体を再度乾燥条件下に置いてセラミック素体の一方の端面に塗布された導電性ペーストの乾燥状態と他方の端面に塗布された導電性ペーストの乾燥状態を近づける工程と、導電性ペーストを焼成する工程とを含む、セラミック電子部品の製造方法である。
また、この発明は、セラミック素体を準備する工程と、セラミック素体の一方の端面に導電性ペーストを塗布する工程と、セラミック素体を乾燥条件下に置いてセラミック素体の一方の端面に塗布された導電性ペーストを乾燥させる工程と、セラミック素体の他方の端面に導電性ペーストを塗布する工程と、セラミック素体を乾燥条件下に置いてセラミック素体の他方の端面に塗布された導電性ペーストを乾燥させる工程と、セラミック素体をセラミック素体の一方の端面に塗布された導電性ペーストを乾燥させる工程の乾燥条件よりも乾燥が促進する乾燥条件下に置いて、セラミック素体の一方の端面に塗布された導電性ペーストの乾燥状態と他方の端面に塗布された導電性ペーストの乾燥状態を近似させる工程と、導電性ペーストを焼成する工程とを含む、セラミック電子部品の製造方法である。
このようなセラミック電子部品の製造方法において、セラミック素体の一方の端面に塗布された導電性ペーストを乾燥させる工程の乾燥条件よりも乾燥が促進する乾燥条件は、セラミック素体の一方の端面に塗布された導電性ペーストを乾燥させる工程よりも乾燥温度を高める、または、乾燥時間を長くすることによるものとすることができる。
The present invention includes a step of preparing a ceramic body, a step of applying a conductive paste to one end surface of the ceramic body, and a ceramic body placed on one end surface of the ceramic body under dry conditions. A step of drying the conductive paste, a step of applying the conductive paste to the other end face of the ceramic body, and a conductive paste applied to the other end face of the ceramic body under a dry condition. The step of drying and the step of placing the ceramic body again under drying conditions to bring the dried state of the conductive paste applied to one end face of the ceramic body closer to the dried state of the conductive paste applied to the other end face And a process for firing a conductive paste.
The present invention also includes a step of preparing a ceramic body, a step of applying a conductive paste to one end face of the ceramic body, and placing the ceramic body under dry conditions on one end face of the ceramic body. The step of drying the applied conductive paste, the step of applying the conductive paste to the other end face of the ceramic body, and the ceramic body was applied to the other end face of the ceramic body under dry conditions. The ceramic body is placed under a drying condition in which drying is promoted more than a drying condition of the step of drying the conductive paste and the step of drying the conductive paste applied to one end surface of the ceramic body. The process of approximating the dry state of the conductive paste applied to one end face of the electrode and the dry state of the conductive paste applied to the other end face, and firing the conductive paste And a that step is a method for producing a ceramic electronic component.
In such a method of manufacturing a ceramic electronic component, the drying condition that promotes drying is higher than the drying condition in the step of drying the conductive paste applied to one end face of the ceramic body. This can be achieved by increasing the drying temperature or extending the drying time as compared with the step of drying the applied conductive paste.

セラミック素体の一方の端面に導電性ペーストを塗布して乾燥させ、さらに他方の端面に導電性ペーストを塗布して乾燥させたのちに、再度セラミック素体を乾燥雰囲気中に置くことにより、セラミック素体の両端面に塗布された導電性ペーストの乾燥状態を近似させることができる。
また、セラミック素体の一方の端面に導電性ペーストを塗布したときの乾燥条件よりも乾燥が促進する条件下に、他方の端面に導電性ペーストを塗布したセラミック素体を置くことにより、セラミック素体の両端面に塗布された導電性ペーストの乾燥状態を近似させることができる。
このような乾燥条件でセラミック素体の両端面に塗布された導電性ペーストを乾燥させることにより、セラミック素体の両端面に塗布された導電性ペーストの乾燥状態を近似させることができる。そのため、導電性ペーストを焼成して外部電極を形成したとき、セラミック素体の両端面に、緻密な外部電極を形成することができる。
セラミック素体に先に導電性ペーストを塗布したときの乾燥条件に比べて、セラミック素体に後に導電性ペーストを塗布したときの乾燥条件を良好にするために、たとえば乾燥温度を高めてもよいし、乾燥時間を長くしてもよい。
By applying a conductive paste on one end face of the ceramic body and drying it, and further applying a conductive paste on the other end face and drying it, the ceramic body is placed again in a dry atmosphere, and then the ceramic body is placed in a dry atmosphere. The dry state of the conductive paste applied to both end faces of the element body can be approximated.
In addition, by placing a ceramic body coated with a conductive paste on the other end surface under conditions that facilitate drying compared to the drying conditions when a conductive paste is coated on one end surface of the ceramic body, The dry state of the conductive paste applied to both end faces of the body can be approximated.
By drying the conductive paste applied to both end faces of the ceramic body under such drying conditions, the dry state of the conductive paste applied to both end faces of the ceramic body can be approximated. Therefore, when the conductive paste is baked to form the external electrodes, dense external electrodes can be formed on both end faces of the ceramic body.
For example, the drying temperature may be increased in order to improve the drying conditions when the conductive paste is applied to the ceramic body later than the drying conditions when the conductive paste is applied to the ceramic body first. However, the drying time may be lengthened.

この発明によれば、セラミック素体の両端面の導電性ペーストの乾燥状態を近づけることができるため、外部電極の緻密性の不均衡などによるセラミック電子部品の欠陥の発生を防止することができる。   According to the present invention, the dry state of the conductive paste on both end faces of the ceramic body can be made closer, so that it is possible to prevent the occurrence of defects in the ceramic electronic component due to an imbalance in the denseness of the external electrodes.

この発明の上述の目的,その他の目的,特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための最良の形態の説明から一層明らかとなろう。   The above object, other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of the best mode for carrying out the invention with reference to the drawings.

図1は、この発明の製造方法によって製造されるセラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサを示す斜視図である。積層セラミックコンデンサ10は、セラミック素体12を含む。セラミック素体12は、図2に示すように、複数の誘電体セラミック層14と内部電極16とが交互に積層された構成を有する。隣接する内部電極16は、交互にセラミック素体12の対向する端面に引き出される。内部電極16が引き出されたセラミック素体12の端面には、それぞれ外部電極18が形成される。これらの外部電極18には、隣接する内部電極16が交互に接続され、2つの外部電極18間に静電容量が形成される。   FIG. 1 is a perspective view showing a multilayer ceramic capacitor as an example of a ceramic electronic component manufactured by the manufacturing method of the present invention. The multilayer ceramic capacitor 10 includes a ceramic body 12. As shown in FIG. 2, the ceramic body 12 has a configuration in which a plurality of dielectric ceramic layers 14 and internal electrodes 16 are alternately stacked. Adjacent internal electrodes 16 are alternately drawn to opposing end surfaces of the ceramic body 12. External electrodes 18 are formed on the end surfaces of the ceramic body 12 from which the internal electrodes 16 are drawn. Adjacent internal electrodes 16 are alternately connected to these external electrodes 18, and a capacitance is formed between the two external electrodes 18.

セラミック素体12を得るために、誘電体材料を主成分とするセラミックスラリーを用いてセラミックグリーンシートが形成される。このセラミックグリーンシート上に、導電性ペーストを用いて、複数の内部電極用パターンが印刷される。内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートが複数枚積層され、さらにその上下に内部電極パターンが形成されていないセラミックグリーンシートが積層される。そして、積層体が所定の大きさに切断され、得られた積層体チップを焼成することにより、セラミック素体12が形成される。   In order to obtain the ceramic body 12, a ceramic green sheet is formed using a ceramic slurry whose main component is a dielectric material. A plurality of internal electrode patterns are printed on the ceramic green sheet using a conductive paste. A plurality of ceramic green sheets on which internal electrode patterns are formed are stacked, and further, ceramic green sheets on which no internal electrode patterns are formed are stacked above and below them. Then, the multilayer body is cut into a predetermined size, and the obtained multilayer chip is fired to form the ceramic body 12.

このようにして作製されたセラミック素体12の一方の端面が、図3に示すように、台20上に広げられた導電性ペースト22に浸漬される。ここで、導電性ペースト22としては、銅粉などの金属粉、ガラスフリット、樹脂、溶剤などで構成されるものが用いられる。このような導電性ペースト22にセラミック素体12を浸漬することにより、セラミック素体12の一方の端面に、導電性ペースト22が塗布される。なお、図3には、1つのセラミック素体12が示されているが、実際に積層セラミックコンデンサ10を製造する際には、治具などに多数のセラミック素体12が保持され、これらのセラミック素体12が同時に導電性ペースト22に浸漬される。   One end face of the ceramic body 12 thus manufactured is immersed in a conductive paste 22 spread on the table 20 as shown in FIG. Here, as the conductive paste 22, a paste composed of metal powder such as copper powder, glass frit, resin, solvent or the like is used. By immersing the ceramic body 12 in such a conductive paste 22, the conductive paste 22 is applied to one end surface of the ceramic body 12. FIG. 3 shows one ceramic body 12, but when actually manufacturing the multilayer ceramic capacitor 10, a large number of ceramic bodies 12 are held by a jig or the like, and these ceramic bodies 12 are shown. The element body 12 is simultaneously immersed in the conductive paste 22.

導電性ペースト22が塗布されたセラミック素体12は、たとえばコンベア等の移動媒体を利用して乾燥炉内を移動する流動式乾燥炉に通され、導電性ペースト22が乾燥させられる。そののち、図4に示すように、セラミック素体12が逆転させられ、セラミック素体12の他方の端面が導電性ペースト22に浸漬される。このセラミック素体12が流動式乾燥炉に通され、セラミック素体12の他方の端面に塗布された導電性ペースト22が乾燥させられる。   The ceramic body 12 to which the conductive paste 22 is applied is passed through a fluidized drying furnace that moves in a drying furnace using a moving medium such as a conveyor, and the conductive paste 22 is dried. After that, as shown in FIG. 4, the ceramic body 12 is reversed and the other end surface of the ceramic body 12 is immersed in the conductive paste 22. The ceramic body 12 is passed through a fluidized drying furnace, and the conductive paste 22 applied to the other end surface of the ceramic body 12 is dried.

セラミック素体12の他方の端面に塗布された導電性ペースト22が乾燥させられた後に、セラミック素体12がオーブン中に入れられ、セラミック素体12の一方の端面および他方の端面に塗布された導電性ペースト22が再度乾燥させられる。そののち、導電性ペースト22が焼成され、セラミック素体12の両端面に外部電極18が形成される。さらに、必要に応じて、外部電極18に、Niめっき被膜やSnめっき被膜などが形成され、積層セラミックコンデンサ10が形成される。   After the conductive paste 22 applied to the other end surface of the ceramic body 12 was dried, the ceramic body 12 was placed in an oven and applied to one end surface and the other end surface of the ceramic body 12. The conductive paste 22 is dried again. Thereafter, the conductive paste 22 is fired, and external electrodes 18 are formed on both end faces of the ceramic body 12. Furthermore, if necessary, a Ni plating film, a Sn plating film, or the like is formed on the external electrode 18 to form the multilayer ceramic capacitor 10.

なお、オーブン中において、一方の端面および他方の端面の導電性ペースト22の乾燥状態を近似する程度まで乾燥させるため、セラミック素体12を載せた容器を振動させることにより、セラミック素体12を動かしてもよい。また、オーブン内の雰囲気を循環させることによって、オーブン内の温度を均一にすることにより、セラミック素体12の一方の端面および他方の端面に塗布された導電性ペースト22をより近似した乾燥状態となるように乾燥させることができる。さらに、オーブン中にセラミック素体12を載せた複数の容器を入れる場合、オーブン内において容器を時計回りまたは反時計回りに移動させることにより、セラミック素体12の一方端面および他方端面に塗布された導電性ペースト22をより近似した乾燥状態まで乾燥させることができる。   In the oven, the ceramic body 12 is moved by vibrating the container on which the ceramic body 12 is placed in order to dry the conductive paste 22 on one end face and the other end face to an extent that approximates the dry state. May be. Further, by circulating the atmosphere in the oven to make the temperature in the oven uniform, a dry state that more closely approximates the conductive paste 22 applied to one end face and the other end face of the ceramic body 12 and Can be dried. Further, when a plurality of containers on which the ceramic body 12 is placed in an oven, the containers are applied to one end surface and the other end surface of the ceramic body 12 by moving the containers clockwise or counterclockwise in the oven. The conductive paste 22 can be dried to a more approximate dry state.

この積層セラミックコンデンサ10では、セラミック素体12に導電性ペースト22が塗布されたのちに、流動式乾燥炉に通されるため、セラミック素体12の一方の端面に塗布された導電性ペースト22は2回乾燥させられ、セラミック素体12の他方の端面に塗布された導電性ペースト22は1回乾燥させられる。そのため、これらの導電性ペースト22の乾燥状態に差が生じるが、オーブンによって導電性ペースト22を再度乾燥させることにより、これらの導電性ペースト22の乾燥状態(溶剤含有率)を近づけることができる。   In this multilayer ceramic capacitor 10, since the conductive paste 22 is applied to the ceramic body 12 and then passed through the fluidized drying furnace, the conductive paste 22 applied to one end surface of the ceramic body 12 is The conductive paste 22 that has been dried twice and applied to the other end face of the ceramic body 12 is dried once. Therefore, a difference occurs in the dry state of these conductive pastes 22, but the dry state (solvent content) of these conductive pastes 22 can be brought closer by drying the conductive paste 22 again with an oven.

また、上記のようにオーブンによってセラミック素体12の一方の端面および他方の端面に塗布された導電性ペースト22を再度乾燥させることに代えて、セラミック素体12の一方の端面に塗布された導電性ペースト22を乾燥させる乾燥条件に対して、セラミック素体12の他方の端面に塗布された導電性ペースト22を乾燥させる乾燥条件をより乾燥状態が促進する条件で行うことにより、セラミック素体12の一方の端面および他方の端面に塗布された導電性ペースト22の乾燥状態を近似させることができる。なお、より乾燥状態が促進する条件とは、乾燥時間や乾燥温度等の乾燥条件であり、セラミック素体12の一方の端面に塗布された導電性ペースト22を乾燥させる時よりも、セラミック素体12の他方の端面に塗布された導電性ペースト22を乾燥させる時の乾燥時間を長くする、または乾燥温度を高くすることにより、セラミック素体12の一方の端面および他方の端面に塗布された導電性ペースト22の乾燥状態を近似させることができる。   Moreover, instead of drying again the conductive paste 22 applied to one end surface and the other end surface of the ceramic body 12 by the oven as described above, the conductive material applied to one end surface of the ceramic body 12. By performing the drying condition for drying the conductive paste 22 applied to the other end face of the ceramic body 12 under the condition that the dry state promotes more than the drying condition for drying the conductive paste 22, the ceramic body 12. It is possible to approximate the dry state of the conductive paste 22 applied to one end face and the other end face. The conditions that promote the drying state are drying conditions such as the drying time and the drying temperature, and the ceramic body is more than when the conductive paste 22 applied to one end face of the ceramic body 12 is dried. The conductive paste 22 applied to the other end surface of the ceramic body 12 is dried by increasing the drying time when the conductive paste 22 is dried, or by increasing the drying temperature. The dry state of the conductive paste 22 can be approximated.

このように、セラミック素体12の両端面の導電性ペースト22の乾燥状態を近似させることにより、導電性ペースト22の焼結条件が等しくなり、最適条件で導電性ペースト22を焼結することができ、外部電極18の塗膜強度が上昇し、外部電極の剥がれ等の欠陥が低減し、耐湿性も良好にすることができる。そのため、得られる外部電極18の緻密性や内部電極16との接合性などを近似させることができ、外部電極18へのめっき液や水分などの浸入などを防止することができる。なお、この外部電極形成方法は、積層セラミックコンデンサに限らず、全てのチップ型のセラミック電子部品の両端面に外部電極を形成するときに適用可能である。   Thus, by approximating the dry state of the conductive paste 22 on both end faces of the ceramic body 12, the sintering conditions of the conductive paste 22 become equal, and the conductive paste 22 can be sintered under the optimum conditions. The coating strength of the external electrode 18 is increased, defects such as peeling of the external electrode are reduced, and moisture resistance can be improved. Therefore, it is possible to approximate the denseness of the external electrode 18 obtained and the bonding property with the internal electrode 16, and to prevent the plating solution or moisture from entering the external electrode 18. This external electrode forming method is applicable not only to the multilayer ceramic capacitor but also to forming external electrodes on both end faces of all chip-type ceramic electronic components.

積層セラミックコンデンサ用のセラミック素体を準備した。このセラミック素体の内部電極が露出した一方の端面を導電性ペーストに浸漬し、導電性ペーストを塗布した。このセラミック素体を流動式乾燥炉に通し、導電性ペーストを150℃の温度で10分間乾燥した。次に、セラミック素体の内部電極が露出した他方の端面を導電性ペーストに浸漬し、導電性ペーストを塗布した。このセラミック素体を流動式乾燥炉に通し、導電性ペーストを150℃の温度で10分間乾燥した。   A ceramic body for a multilayer ceramic capacitor was prepared. One end face where the internal electrode of the ceramic body was exposed was immersed in a conductive paste, and the conductive paste was applied. This ceramic body was passed through a fluidized drying oven, and the conductive paste was dried at a temperature of 150 ° C. for 10 minutes. Next, the other end face where the internal electrode of the ceramic body was exposed was immersed in a conductive paste, and the conductive paste was applied. This ceramic body was passed through a fluidized drying oven, and the conductive paste was dried at a temperature of 150 ° C. for 10 minutes.

このセラミック素体を固定式のオーブンに入れて再度乾燥させた場合と、乾燥させなかった場合について、外部電極を焼付けた後における内部電極と外部電極との接合性を調査した。なお、オーブンによる乾燥において、乾燥温度と乾燥時間とを変えて、接合性の調査を行った。接合性の調査のために、導電性ペーストを乾燥後、外部電極の焼付けおよびめっき処理を行った。そして、得られた積層セラミックコンデンサについて、静電容量のばらつき、Q値の最小値を調べ、さらに耐湿負荷試験において発生した不良数を調べた。ここで、静電容量のばらつきおよびQ値の最小値は、試料数30個について行い、耐湿負荷不良数は試料数100個について行った。この調査の結果を表1に示す。   When the ceramic body was put in a fixed oven and dried again and when it was not dried, the bondability between the internal electrode and the external electrode after the external electrode was baked was investigated. In the oven drying, the bonding property was investigated by changing the drying temperature and the drying time. In order to investigate the bondability, the conductive paste was dried, and external electrodes were baked and plated. And about the obtained multilayer ceramic capacitor, the dispersion | variation in an electrostatic capacitance and the minimum value of Q value were investigated, and also the number of defects which generate | occur | produced in the moisture-proof load test was investigated. Here, the variation in capacitance and the minimum value of Q were performed for 30 samples, and the number of defective moisture load resistance was performed for 100 samples. The results of this investigation are shown in Table 1.

Figure 2006013315
Figure 2006013315

表1の試料番号1からわかるように、オーブンによる乾燥を行わなかったものは、静電容量のばらつきが大きく、Q値の最小値も小さい値であり、耐湿負荷試験においても不良品が認められた。この積層セラミックコンデンサを断面研磨し、外部電極の焼結状態を確認したところ、外部電極表面あるいは外部電極中にポアが発生しており、また水分の浸入により発生したと考えられるクラックが発生していることが確認された。また、表1の試料番号2および試料番号3からわかるように、乾燥温度が50℃の場合においても、静電容量のばらつきが大きく、Q値の最小値も小さい値であり、耐湿負荷試験においても不良品が認められた。   As can be seen from Sample No. 1 in Table 1, those that were not dried by the oven had large variations in capacitance, and the minimum Q value was small, and defective products were recognized in the moisture resistance load test. It was. When this multilayer ceramic capacitor was polished in cross section and the sintered state of the external electrode was confirmed, pores were generated on the surface of the external electrode or in the external electrode, and cracks thought to have occurred due to the ingress of moisture occurred. It was confirmed that As can be seen from Sample No. 2 and Sample No. 3 in Table 1, even when the drying temperature is 50 ° C., the variation in capacitance is large and the minimum Q value is small. Defective products were also recognized.

それに対して、試料番号4〜試料番号9からわかるように、乾燥温度を100℃以上とした場合、静電容量のばらつきは小さく、Q値の最小値は大きく、耐湿負荷試験における不良品は認められなかった。このように、流動式乾燥炉で導電性ペーストを乾燥させたセラミック素体を100℃以上で再度乾燥させることにより、外部電極を緻密にすることができ、内部電極と外部電極との接合性も向上させることができる。   On the other hand, as can be seen from Sample No. 4 to Sample No. 9, when the drying temperature is 100 ° C. or higher, the variation in capacitance is small, the minimum Q value is large, and defective products in the moisture resistance load test are recognized. I couldn't. Thus, by drying again the ceramic body from which the conductive paste has been dried in a fluidized drying oven at 100 ° C. or higher, the external electrode can be made dense, and the bondability between the internal electrode and the external electrode is also improved. Can be improved.

1608チップサイズのセラミック素体と導電性ペーストを準備した。導電性ペーストは、70質量%の銅粉(球形粉+偏平粉)、3質量%のガラスフリット、7質量%のアクリル系樹脂、20質量%の溶剤(タービネオール系+テレピン油系の混合物)からなるものである。   A ceramic body of 1608 chip size and a conductive paste were prepared. The conductive paste consists of 70% copper powder (spherical powder + flat powder), 3% glass frit, 7% acrylic resin, and 20% solvent (turbineol + turpentine oil mixture). It will be.

導電性ペーストを台上に広げ、セラミック素体の一方の端面を導電性ペーストに浸漬して、熱風循環法により乾燥させた。乾燥温度プロファイルは、図5に示すように、50℃/分で200℃まで昇温し、200℃で3分間保持したのち、50℃/分で降温した。次に、セラミック素体の他方の端面を導電性ペーストに浸漬し、図5に示す乾燥温度プロファイルで導電性ペーストを乾燥させた。したがって、セラミック素体の一方側の導電性ペーストは2回の乾燥工程を経ており、セラミック素体の他方側の導電性ペーストは1回の乾燥工程を経ている。   The conductive paste was spread on a table, and one end face of the ceramic body was immersed in the conductive paste and dried by a hot air circulation method. As shown in FIG. 5, the drying temperature profile was raised to 200 ° C. at 50 ° C./min, held at 200 ° C. for 3 minutes, and then lowered at 50 ° C./min. Next, the other end face of the ceramic body was immersed in a conductive paste, and the conductive paste was dried with a drying temperature profile shown in FIG. Therefore, the conductive paste on one side of the ceramic body has undergone two drying steps, and the conductive paste on the other side of the ceramic body has undergone one drying step.

このセラミック素体の両端面の導電性ペーストの溶剤含有率を調べたところ、セラミック素体の一方側の導電性ペーストでは3質量%の含有率であり、セラミック素体の他方側の導電性ペーストでは5.3質量%の含有率であった。   When the solvent content of the conductive paste on both end faces of this ceramic body was examined, the content of the conductive paste on one side of the ceramic body was 3% by mass, and the conductive paste on the other side of the ceramic body was Then, the content was 5.3% by mass.

また、セラミック素体の一方の端面に導電性ペーストを塗布したのち、図5に示す乾燥温度プロファイルで導電性ペーストを乾燥させた。さらに、セラミック素体の他方の端面に導電性ペーストを塗布したのち、図5に示す乾燥プロファイルの200℃におけるキープ時間を10分として導電性ペーストを乾燥させた。したがって、セラミック素体の一方側の導電性ペーストは2回の乾燥工程を経ており、セラミック素体の他方側の導電性ペーストは1回の乾燥工程を経ているが、最初に導電性ペーストを塗布したときの乾燥時間より、後に導電性ペーストを塗布したときの乾燥時間のほうが長くなっている。   Further, after applying the conductive paste to one end face of the ceramic body, the conductive paste was dried with a drying temperature profile shown in FIG. Furthermore, after applying the conductive paste to the other end face of the ceramic body, the conductive paste was dried with the keeping time at 200 ° C. of the drying profile shown in FIG. 5 as 10 minutes. Therefore, the conductive paste on one side of the ceramic body has undergone two drying steps, and the conductive paste on the other side of the ceramic body has undergone one drying step, but the conductive paste is first applied. The drying time when the conductive paste is applied later is longer than the drying time when the conductive paste is applied.

このようにして乾燥させた導電性ペーストの溶剤の含有率を調べたところ、セラミック素体の一方側の導電性ペーストでは0.5質量%の含有率であり、セラミック素体の他方側の導電性ペーストでは0.6質量%の含有率であった。このように、最初に導電性ペーストを塗布したときの乾燥時間より、後に導電性ペーストを塗布したときの乾燥時間を長くすることにより、セラミック素体の両端面の導電性ペーストの溶剤含有率を均一化させることができた。   When the content of the solvent in the conductive paste thus dried was examined, the content of the conductive paste on one side of the ceramic body was 0.5% by mass, and the content on the other side of the ceramic body was The content of the functional paste was 0.6% by mass. Thus, by increasing the drying time when the conductive paste is applied later than the drying time when the conductive paste is first applied, the solvent content of the conductive paste on both end faces of the ceramic body is reduced. It was possible to make it uniform.

この発明の製造方法によって製造されるセラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the multilayer ceramic capacitor as an example of the ceramic electronic component manufactured by the manufacturing method of this invention. 図1に示す積層セラミックコンデンサの内部を示す図解図である。FIG. 2 is an illustrative view showing the inside of the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1. 図1に示す積層セラミックコンデンサを作製するためにセラミック素体の一方の端面に導電性ペーストを塗布する工程を示す図解図である。FIG. 2 is an illustrative view showing a step of applying a conductive paste to one end face of a ceramic body in order to produce the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1. 図3に示すセラミック素体の他方の端面に導電性ペーストを塗布する工程を示す図解図である。FIG. 4 is an illustrative view showing a step of applying a conductive paste to the other end face of the ceramic body shown in FIG. 3. 実施例2における乾燥工程の乾燥温度プロファイルを示す図である。It is a figure which shows the drying temperature profile of the drying process in Example 2. FIG. 従来のセラミック電子部品を作製するためにセラミック素体の一方の端面に導電性ペーストを塗布する工程を示す図解図である。It is an illustration figure which shows the process of apply | coating an electrically conductive paste to one end surface of a ceramic element | base_body in order to produce the conventional ceramic electronic component. 図6に示すセラミック素体の他方の端面に導電性ペーストを塗布する工程を示す図解図である。FIG. 7 is an illustrative view showing a step of applying a conductive paste to the other end face of the ceramic body shown in FIG. 6.

符号の説明Explanation of symbols

10 積層セラミックコンデンサ
12 セラミック素体
14 誘電体セラミック層
16 内部電極
18 外部電極
20 台
22 導電性ペースト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Multilayer ceramic capacitor 12 Ceramic body 14 Dielectric ceramic layer 16 Internal electrode 18 External electrode 20 units 22 Conductive paste

Claims (3)

セラミック素体を準備する工程、
前記セラミック素体の一方の端面に導電性ペーストを塗布する工程、
前記セラミック素体を乾燥条件下に置いて前記セラミック素体の一方の端面に塗布された前記導電性ペーストを乾燥させる工程、
前記セラミック素体の他方の端面に導電性ペーストを塗布する工程、
前記セラミック素体を乾燥条件下において前記セラミック素体の他方の端面に塗布された前記導電性ペーストを乾燥させる工程、
前記セラミック素体を再度乾燥条件下に置いて前記セラミック素体の一方の端面に塗布された前記導電性ペーストの乾燥状態と他方の端面に塗布された前記導電性ペーストの乾燥状態を近づける工程、および
前記導電性ペーストを焼成する工程、を含む、セラミック電子部品の製造方法。
Preparing a ceramic body,
Applying a conductive paste to one end face of the ceramic body;
Drying the conductive paste applied to one end surface of the ceramic body by placing the ceramic body under dry conditions;
Applying a conductive paste to the other end face of the ceramic body;
Drying the conductive paste applied to the other end face of the ceramic body under dry conditions of the ceramic body;
Placing the ceramic body again under dry conditions to bring the dry state of the conductive paste applied to one end face of the ceramic body close to the dry state of the conductive paste applied to the other end face; And a method for producing a ceramic electronic component, comprising firing the conductive paste.
セラミック素体を準備する工程、
前記セラミック素体の一方の端面に導電性ペーストを塗布する工程、
前記セラミック素体を乾燥条件下に置いて前記セラミック素体の一方の端面に塗布された前記導電性ペーストを乾燥させる工程、
前記セラミック素体の他方の端面に導電性ペーストを塗布する工程、
前記セラミック素体を乾燥条件下に置いて前記セラミック素体の他方の端面に塗布された前記導電性ペーストを乾燥させる工程、
前記セラミック素体を前記セラミック素体の一方の端面に塗布された前記導電性ペーストを乾燥させる工程の乾燥条件よりも乾燥が促進する乾燥条件下に置いて、前記セラミック素体の一方の端面に塗布された前記導電性ペーストの乾燥状態と他方の端面に塗布された前記導電性ペーストの乾燥状態を近似させる工程、および
前記導電性ペーストを焼成する工程、を含む、セラミック電子部品の製造方法。
Preparing a ceramic body,
Applying a conductive paste to one end face of the ceramic body;
Drying the conductive paste applied to one end surface of the ceramic body by placing the ceramic body under dry conditions;
Applying a conductive paste to the other end face of the ceramic body;
Drying the conductive paste applied to the other end surface of the ceramic body by placing the ceramic body under dry conditions;
The ceramic body is placed on one end surface of the ceramic body by placing the ceramic body under a drying condition that promotes drying rather than a drying condition of the step of drying the conductive paste applied to one end face of the ceramic body. A method of manufacturing a ceramic electronic component, comprising: approximating a dry state of the applied conductive paste and a dry state of the conductive paste applied to the other end surface; and firing the conductive paste.
前記セラミック素体の一方の端面に塗布された前記導電性ペーストを乾燥させる工程の乾燥条件よりも乾燥が促進する乾燥条件は、前記セラミック素体の一方の端面に塗布された前記導電性ペーストを乾燥させる工程よりも乾燥温度を高める、または、乾燥時間を長くすることによるものである、請求項2に記載のセラミック電子部品の製造方法。   The drying condition that the drying is accelerated than the drying condition of the step of drying the conductive paste applied to one end surface of the ceramic body is the conductive paste applied to one end surface of the ceramic body. The method for producing a ceramic electronic component according to claim 2, wherein the drying temperature is increased or the drying time is made longer than the drying step.
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