JP2006012910A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 画素を構成する受光部が複数配列された撮像領域上に、各受光部に対応してオンチップマイクロレンズが形成された固体撮像装置であって、有効撮像領域42の最外周の画素33V,33H間の出力差が小さくなるように、オンチップマイクロレンズの射出瞳補正量が、等高線44で表して同心非円状、例えば同心楕円状に変化させる。
【選択図】 図2
Description
本発明の固体撮像装置においては、受光部の開口が有効撮像領域の垂直方向に長い縦長形状に形成されている場合に有効である。
本実施の形態に係るCCD固体撮像装置31は、例えばシリコン半導体基板32の撮像領域に画素を構成する複数の受光部33をマトリックス状に配列し、各受光部列に対応してCCD構造の垂直転送レジスタ34を形成し、さらに撮像領域上にパッシベーション膜、平坦化膜35を介してカラーフィルタ36及びマイクロレンズ37を形成して構成される。垂直転送レジスタ34は、基板32の表面に形成した転送チャネル領域上にゲート絶縁層を介して例えば多結晶シリコンからなる転送電極38を形成して構成される。転送電極38上を含む基板32の表面には、層間絶縁膜39が形成され、この層間絶縁膜39上に受光部33を除いて例えばアルミニウム(Al)やタングステン(W)などによる遮光膜41が形成される。すなわち、遮光膜41の受光部33に対応する部分に開口41Aが形成される。符号45は絞り、符号46は入射光を示す。
Claims (6)
- 画素を構成する受光部が複数配列された撮像領域上に、各受光部に対応してオンチップマイクロレンズが形成された固体撮像装置であって、
有効撮像領域の最外周の画素間の出力差が小さくなるように、前記オンチップマイクロレンズの射出瞳補正量が、等高線で表して同心非円状に変化している
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記同心非円状が同心楕円形状である
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記受光部の開口が、前記有効撮像領域の垂直方向に長い縦長形状に形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 画素を構成する受光部が複数配列された撮像領域上に、カラーフィルタを介して各受光部に対応してオンチップマイクロレンズが形成された固体撮像装置であって、
有効撮像領域の最外周の画素間の出力差が小さくなるように、前記オンチップマイクロレンズの射出瞳補正量が、各色毎に等高線で表して同心非円状に変化している
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記同心非円状が同心楕円形状である
ことを特徴とする請求項4記載の固体撮像装置。 - 前記受光部の開口が、前記有効撮像領域の垂直方向に長い縦長形状に形成されている
ことを特徴とする請求項4記載の固体撮像装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017138372A1 (ja) * | 2016-02-10 | 2017-08-17 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置および電子機器 |
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JPH0750401A (ja) * | 1993-08-06 | 1995-02-21 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその製造方法 |
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-
2004
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