JP2006007762A - Substrate for recording head, recording head, head cartridge, and recorder - Google Patents

Substrate for recording head, recording head, head cartridge, and recorder Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a layout of a driving circuit which suppresses an increase of a head substrate area in an inkjet recording head by a driving system that applies a predetermined current to a heater. <P>SOLUTION: A plurality of recording elements whose number becomes greatly larger and a plurality of switching elements are arranged in a longitudinal direction of a head substrate. A plurality of terminals for inputting a driving signal and a control signal used for driving the plurality of recording elements are set at a position opposed to the arrangement of the plurality of recording elements at an end part of the substrate and in the longitudinal direction of the substrate. Constant current sources for flowing the predetermined current are disposed between these regions. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は記録ヘッド用基板、記録ヘッド、ヘッドカートリッジ、及び記録装置に関し、特に、例えば、インクジェット方式に従って記録を行うために用いられ、記録素子に所定電流を与えて駆動するための回路を有する記録ヘッド用基板、記録ヘッド、ヘッドカートリッジ、及び記録装置に関するものである。   The present invention relates to a recording head substrate, a recording head, a head cartridge, and a recording apparatus. In particular, the recording head is used for recording in accordance with, for example, an ink jet method and has a circuit for driving a recording element by applying a predetermined current. The present invention relates to a head substrate, a recording head, a head cartridge, and a recording apparatus.

ノズル内に配置されたヒータに通電することにより熱エネルギーを発生させてインクを吐出するインクジェット記録ヘッド(以下、記録ヘッドという)が知られている。   2. Description of the Related Art An ink jet recording head (hereinafter referred to as a recording head) that discharges ink by generating thermal energy by energizing a heater arranged in a nozzle is known.

この記録ヘッドは、発生した熱エネルギーを利用してヒータ近傍のインクを発泡させ、そのノズルからインクを吐出させて記録を行う方式を採用した記録ヘッドである。   This recording head is a recording head that employs a system in which ink is bubbled in the vicinity of a heater using generated thermal energy and ink is ejected from the nozzle to perform recording.

高速に記録を行うためには、記録ヘッドに搭載したなるべく多くのヒータを同時に駆動して同じタイミングでインクを吐出させることが望ましい。しかしながら、記録ヘッドを搭載する記録装置の電源の電力供給能力に制限があることや、電源からヒータに至る配線抵抗に起因する電圧降下などにより、一度に流すことができる電流値が制限される。このため、複数のヒータを時分割駆動してインクを吐出させる時分割駆動方式を用いることが一般的である。例えば、複数個のヒータを複数のグループに分割し、各グループ内で同時に2つ以上のヒータを駆動しないように時分割制御を行い、ヒータを流れる電流の総和を抑えることにより一度に大電力を供給する必要をなくしている。   In order to perform recording at high speed, it is desirable to simultaneously drive as many heaters as possible mounted on the recording head to discharge ink at the same timing. However, the current value that can be flowed at one time is limited by the limitation of the power supply capability of the power source of the recording apparatus equipped with the recording head, the voltage drop due to the wiring resistance from the power source to the heater, and the like. For this reason, it is common to use a time-division drive method in which a plurality of heaters are driven in a time-division manner to discharge ink. For example, a plurality of heaters are divided into a plurality of groups, and time-sharing control is performed so that two or more heaters are not driven simultaneously in each group. There is no need to supply.

図14は従来のインクジェット記録ヘッドに搭載したヒータ駆動回路の構成例を示す図である。   FIG. 14 is a diagram showing a configuration example of a heater driving circuit mounted on a conventional ink jet recording head.

図14に示すヒータ駆動回路は、m個のグループに夫々x個のヒータを搭載し、同時に各グループにつき1つのヒータ、即ち、m個のヒータを同時駆動し、これをx回行うことで1サイクルの駆動を行うように構成されている。   The heater driving circuit shown in FIG. 14 is equipped with x heaters in m groups, and simultaneously drives one heater in each group, that is, m heaters, and performs this x times. It is configured to drive the cycle.

さて、図14に示すように、ヒータ1101−11〜1101−mx夫々に対応するMOSトランジスタ1102−11〜1102−mxは、図14に示すように、夫々が同数(x個)づつ収容するm個のグループ1100−1〜1100−mに分けられている。即ち、グループ1100−1では、電源パッド(電源端子)1103からの電源配線は、ヒータ1101−11〜1101−1xに共通に接続されており、MOSトランジスタ1102−11〜1102−1x夫々は、電源パッド1103とグランド(GND)1104との間で、対応するヒータ1101−11〜1101−1x夫々と直列に接続されている。   As shown in FIG. 14, the MOS transistors 1102-11 to 1102-mx corresponding to the heaters 1101-11 to 1101-mx are each accommodated in the same number (x) as shown in FIG. It is divided into groups 1100-1 to 1100-m. That is, in the group 1100-1, the power supply wiring from the power supply pad (power supply terminal) 1103 is commonly connected to the heaters 11011-11 to 1101-1x, and each of the MOS transistors 1102-11 to 1102-1x is connected to the power supply. Between the pad 1103 and the ground (GND) 1104, the corresponding heaters 1101-11 to 1101-1x are connected in series.

また、ヒータ1101−11〜1101−1x夫々は、制御回路1105から、対応するMOSトランジスタ1102−11〜1102−1xのゲートに制御信号が印加されたときに、MOSトランジスタ1102−11〜1102−1xがオンすることにより電源配線から対応するヒータを通って電流が流れて加熱される。   Each of the heaters 1101-11 to 1101-1x has the MOS transistors 1102-11 to 1102-1x when a control signal is applied from the control circuit 1105 to the gates of the corresponding MOS transistors 1102-11 to 1102-1x. When is turned on, a current flows from the power supply wiring through the corresponding heater and is heated.

図15は、図14に示すヒータ駆動回路の各グループのヒータを通電駆動するタイミングを示すタイミングチャートである。この図では、図14のグループ1100−1を例にとって説明している。   FIG. 15 is a timing chart showing the timing for energizing and driving the heaters in each group of the heater drive circuit shown in FIG. In this figure, the group 1100-1 in FIG. 14 is described as an example.

図15において、制御信号VG1〜VGxはグループ1100−1に属する第1〜第x番目のヒータ1101−11〜1101−1xを駆動させるためのタイミング信号である。即ち、制御信号VG1〜VGxは、グループ1100−1のMOSトランジスタ1102−11〜1102−1xの制御端子に入力される信号の波形を示し、ハイレベルの時に対応するMOSトランジスタ1102−1i(i=1,x)をオンし、ローレベルの時に対応するMOSトランジスタをオフする。他のグループ1100−2〜1100−mの場合も同様である。また、図15において、Ih1〜Ihx夫々は、ヒータ1101−11〜1101−1x夫々に流れる電流値を示している。   In FIG. 15, control signals VG1 to VGx are timing signals for driving the first to xth heaters 1101-11 to 1101-1x belonging to the group 1100-1. That is, the control signals VG1 to VGx indicate the waveforms of signals input to the control terminals of the MOS transistors 1102-11 to 1102-1x in the group 1100-1, and the corresponding MOS transistors 1102-1i (i = 1, x) is turned on, and the corresponding MOS transistor is turned off when the level is low. The same applies to the other groups 1100-2 to 1100-m. In FIG. 15, Ih1 to Ihx indicate current values flowing through the heaters 1101-11 to 1101-1x, respectively.

このように各グループ内のヒータを順次、時分割で通電駆動することにより、各グループ内で通電駆動されるヒータは、常に1個以下になるように制御することができるので、一度に大電流をヒータに供給する必要はない。   In this way, by sequentially energizing the heaters in each group in a time-sharing manner, it is possible to control the number of heaters that are energized and driven in each group to be always 1 or less. Need not be supplied to the heater.

図16は図14に示す電源パッド1103からグループ1100−1〜1100−mに接続される電源配線のレイアウトを示した図である。言い換えると、図16は、図14に示すヒータ駆動回路を形成している基板(ヘッド基板)のレイアウトの一部を示す図とも言える。図16では図中の紙面の上側にヒータ(不図示)が配置されている場合の電源配線部分のレイアウトを示している。   FIG. 16 is a diagram showing a layout of the power supply wirings connected to the groups 1100-1 to 1100-m from the power supply pad 1103 shown in FIG. In other words, FIG. 16 can be said to be a diagram showing a part of the layout of the substrate (head substrate) on which the heater driving circuit shown in FIG. 14 is formed. FIG. 16 shows a layout of a power supply wiring portion when a heater (not shown) is arranged on the upper side of the drawing.

図16に示すように、グループ1100−1〜1100−m夫々に対し電源パッド1103より個別に電源配線1301−1〜1301−mが接続され、グランド(GND)パッド1104に対して、電源配線1302−1〜1302−mが接続されている。このように、m×x個のヒータ(記録素子)を備えた記録ヘッドにおいて、各グループ内の記録素子1個づつを順に駆動する時分割駆動では、m個の電源供給配線とグランド配線とが必要となる。   As shown in FIG. 16, power supply wirings 1301-1 to 1301-m are individually connected to the groups 1100-1 to 1100-m from the power supply pad 1103, and the power supply wiring 1302 is connected to the ground (GND) pad 1104. -1 to 1302-m are connected. As described above, in a time division drive in which one recording element in each group is sequentially driven in a recording head including m × x heaters (recording elements), m power supply wirings and ground wirings are provided. Necessary.

前述のように、各グループで同時に駆動される最大ヒータ数を1以下にすることで、各グループ別に分割された配線を流れる電流値は、常に1つのヒータに流れる電流以下にすることができる。これにより複数のヒータを同時駆動した場合でも、ヒータ基板内での配線における電圧降下量については一定とすることができ、これと同時に、別のグループに属する複数のヒータを同時駆動した場合でも、各ヒータへの投入エネルギー量をほぼ一定にすることができる。   As described above, by setting the maximum number of heaters driven simultaneously in each group to 1 or less, the current value flowing through the wiring divided for each group can always be equal to or less than the current flowing to one heater. As a result, even when a plurality of heaters are driven simultaneously, the voltage drop amount in the wiring in the heater substrate can be constant, and at the same time, even when a plurality of heaters belonging to different groups are driven simultaneously, The amount of energy input to each heater can be made substantially constant.

さて、近年、記録装置には更なる高速化、高精細化が要求されているため、搭載する記録ヘッドも高密度でより多くのノズルを実装するようになっている。そして、記録ヘッドのヒータ駆動に際しては、記録速度の点から、なるべく多くのヒータを同時に高速に駆動することが求められている。   In recent years, recording apparatuses are required to have higher speed and higher definition, so that the mounted recording head is also mounted with more nozzles at higher density. When the heater of the recording head is driven, it is required to drive as many heaters as possible simultaneously at high speed from the viewpoint of recording speed.

また、ヒータやその駆動回路を実装した記録ヘッド基板(以下、ヘッド基板という)は、多数のヒータとその駆動回路を同一の半導体基板上に形成している。このため、製造工程上、1つの半導体ウェハから取れるヒータ基板の個数を増加させてコストダウンを図る必要があるため、ヘッド基板を小型化することも求められている。   In addition, a recording head substrate (hereinafter referred to as a head substrate) on which a heater and its drive circuit are mounted has a large number of heaters and their drive circuits formed on the same semiconductor substrate. For this reason, since it is necessary to reduce the cost by increasing the number of heater substrates that can be taken from one semiconductor wafer in the manufacturing process, it is also required to reduce the size of the head substrate.

ところが前述のように、同時駆動されるヒータ数を増やした場合、ヘッド基板内では同時駆動ヒータの数に対応した数の配線が必要となる。このため配線の数が増加すると、ヘッド基板面積が限られている場合には、配線一本当りの配線領域が減少するため配線抵抗が増加する。また同時に、各配線幅が細くなることにより、ヘッド基板内の配線相互での抵抗のバラツキも増加することになる。このような問題は、ヘッド基板を小型化する場合にも同様に生じ、更に、配線抵抗の増加及び抵抗のバラツキが増加することになる。前述のように、ヘッド基板内では、ヒータと電源配線は電源に対して直列に接続されているため、配線抵抗とその抵抗のバラツキが増加することにより、各ヒータに印加される電圧の変動割合が増加する。   However, as described above, when the number of simultaneously driven heaters is increased, the number of wires corresponding to the number of simultaneously driven heaters is required in the head substrate. For this reason, when the number of wirings is increased, when the head substrate area is limited, the wiring area per wiring is reduced, so that the wiring resistance increases. At the same time, each wiring width is narrowed, so that the resistance variation between the wirings in the head substrate also increases. Such a problem also occurs when the head substrate is reduced in size, and further increases in wiring resistance and variations in resistance. As described above, since the heater and the power supply wiring are connected in series with the power supply in the head substrate, the variation rate of the voltage applied to each heater increases due to an increase in the wiring resistance and the resistance variation. Will increase.

ヒータへの投入エネルギーが過小であればインクの吐出が不安定になり、また過剰であればヒータの耐久性を低下させる原因になる。つまり、ヒータに印加される電圧の変動が大きい場合には、ヒータの耐久性が低下したり、インク吐出が不安定になったりする。このため、高画質な記録を行うためには、ヒータへの投入エネルギーが一定であることが望ましく、また耐久性の観点からも適切な投入エネルギーで安定していることが望ましい。   If the input energy to the heater is too small, the ink ejection becomes unstable, and if it is excessive, the durability of the heater is lowered. That is, when the voltage applied to the heater varies greatly, the durability of the heater is lowered or the ink ejection becomes unstable. For this reason, in order to perform high-quality recording, it is desirable that the energy input to the heater is constant, and it is desirable that the energy input is stable from the viewpoint of durability.

上述の各グループ毎に同時駆動数を1つ以下にした時分割駆動では、ヘッド基板内部での電圧降下を抑制することは可能であるが、ヘッド基板外部での配線は、複数グループの複数のヒータに対して共通となっているため、同時に駆動するヒータの数によって、共通の配線での電圧降下量が異なる。このような電圧降下量の変動に対して、各ヒータへの投入エネルギーを一定化するために、従来は、電圧の印加時間により、各ヒータへの投入エネルギーを調整している。
しかしながら、同時駆動のヒータ数が増すと、共通配線を流れる電流量により電圧降下量が増加し、ヒータに印加される電圧が減少してしまう。その結果、それを補うために、ヒータ駆動時の電圧印加時間を増加せざるを得ず、高速にヒータを駆動することが困難になるという問題がある。
In the time-division drive in which the number of simultaneous drives is set to one or less for each group described above, it is possible to suppress the voltage drop inside the head substrate, but the wiring outside the head substrate is connected to a plurality of groups. Since it is common to the heaters, the amount of voltage drop in the common wiring varies depending on the number of heaters driven simultaneously. In order to make the input energy to each heater constant with respect to such fluctuations in voltage drop, conventionally, the input energy to each heater is adjusted by the voltage application time.
However, when the number of simultaneously driven heaters increases, the amount of voltage drop increases due to the amount of current flowing through the common wiring, and the voltage applied to the heaters decreases. As a result, in order to compensate for this, there is a problem in that it is difficult to drive the heater at high speed because the voltage application time during driving of the heater must be increased.

このようなヒータへの投入エネルギー変動による問題を解決する方法として、例えば、特許文献1は定電流で記録素子を駆動する方式を提案している。   As a method for solving such a problem caused by fluctuations in the input energy to the heater, for example, Patent Document 1 proposes a method of driving a recording element with a constant current.

図17は、特許文献1に開示されたヒータ駆動回路を示す図である。   FIG. 17 is a diagram illustrating a heater driving circuit disclosed in Patent Document 1. In FIG.

この構成では、記録素子毎(R1〜Rn)に設けられた定電流源(Tr14〜(n+13))とスイッチング素子(Q1〜Qn)を用いて、記録素子(R1〜Rn)を定電流により駆動している。
特開2001−191531号公報
In this configuration, the recording elements (R1 to Rn) are driven with a constant current by using the constant current sources (Tr14 to (n + 13)) and switching elements (Q1 to Qn) provided for the respective recording elements (R1 to Rn). is doing.
JP 2001-191531 A

しかしながら、特許文献1に開示された定電流駆動の場合、スイッチング素子(Q1〜Qn)以外に記録素子と同数のトランジスタが必要となるため、従来の駆動方式に比べ著しくヒータ基板の面積が増大し、ヒータ基板のコストがアップするという問題がある。   However, in the case of the constant current driving disclosed in Patent Document 1, the same number of transistors as the recording elements are required in addition to the switching elements (Q1 to Qn), so that the area of the heater substrate is remarkably increased as compared with the conventional driving method. There is a problem that the cost of the heater substrate is increased.

また、ヒータへの投入エネルギーの安定化のためには、複数の定電流源の間で出力電流が一定であることが求められるが、定電流源の数が増えるほど、これら定電流源間の出力電流のバラツキが増えるという問題も生じる。特に、記録装置の記録の高速化や高精細化により、著しくヒータ数の増加したヘッド基板において、複数の定電流源間での出力電流のバラツキ量を低減することは困難である。   In addition, in order to stabilize the energy input to the heater, the output current is required to be constant among a plurality of constant current sources. However, as the number of constant current sources increases, the constant current source increases. There also arises a problem that variation in output current increases. In particular, it is difficult to reduce the amount of variation in output current among a plurality of constant current sources in a head substrate having a significantly increased number of heaters due to high-speed recording and high definition of the recording apparatus.

本発明は上記従来例に鑑みてなされたもので、各記録素子に定電流を供給して記録素子を駆動する定電流駆動方式を採用しながらも、基板サイズの小型化を達成でき、高速に記録素子を駆動することができる記録ヘッド用基板と、その記録ヘッド用基板を用いた記録ヘッドと、その記録ヘッドを組み込んだヘッドカートリッジ、及び、その記録ヘッドを用いた記録装置とを提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above-described conventional example, and while adopting a constant current driving method of supplying a constant current to each recording element to drive the recording element, it is possible to achieve a reduction in substrate size and at a high speed. To provide a recording head substrate capable of driving a recording element, a recording head using the recording head substrate, a head cartridge incorporating the recording head, and a recording apparatus using the recording head. It is an object.

この小型化のため、上述した従来技術の課題を克服した駆動回路をヘッド基板上に最適配置する。   For this miniaturization, a drive circuit that overcomes the above-described problems of the prior art is optimally arranged on the head substrate.

上記目的を達成するため本発明の記録ヘッド基板は以下のように構成されている。   In order to achieve the above object, the recording head substrate of the present invention is configured as follows.

即ち、基板上に備えられた複数の記録素子に前記複数の記録素子に対応した複数のスイッチング素子を介して定電流を流すことにより、前記複数の記録素子を駆動する駆動方法を採用した記録ヘッド用基板であって、前記基板の長手方向に前記複数の記録素子と前記複数のスイッチング素子とを配列し、前記基板の端部であり、かつ前記複数の記録素子の配置位置とは異なる側の基板端部位置に、前記基板の長手方向に前記複数の記録素子を駆動するために用いる駆動信号や制御信号を入力する複数の端子を配列し、前記定電流を流すための定電流源を、前記複数のスイッチング素子とが配列された領域よりも前記複数の端子が配置された領域に近い位置に配置することを特徴とする。   That is, a recording head adopting a driving method for driving the plurality of recording elements by causing a constant current to flow to the plurality of recording elements provided on the substrate via the plurality of switching elements corresponding to the plurality of recording elements. A plurality of recording elements and a plurality of switching elements arranged in a longitudinal direction of the substrate, at an end of the substrate, and on a side different from an arrangement position of the plurality of recording elements A plurality of terminals for inputting drive signals and control signals used for driving the plurality of recording elements in the longitudinal direction of the substrate at the substrate end position, and a constant current source for flowing the constant current, It arrange | positions in the position near the area | region where these terminals are arrange | positioned rather than the area | region where these switching elements are arranged.

さらに、前記複数のスイッチング素子の駆動を制御する制御回路を備え、前記制御回路よりも前記複数の端子が配置された領域に近接した位置に、前記定電流源を配置することが望ましい。   Furthermore, it is preferable that a control circuit for controlling driving of the plurality of switching elements is provided, and the constant current source is disposed at a position closer to a region where the plurality of terminals are disposed than the control circuit.

このような構成で、前記定電流源が複数個備えられている場合、前記複数個の定電流源を等間隔で前記基板の長手方向に配置すると良い。   In such a configuration, when a plurality of the constant current sources are provided, the plurality of constant current sources may be arranged at equal intervals in the longitudinal direction of the substrate.

或いは、前記定電流源が複数個備えられている場合、前記複数個の定電流源は前記基板の長手方向に配置され、かつその配置が前記基板の中央部に集中するようになっていると良い。   Alternatively, when a plurality of the constant current sources are provided, the plurality of constant current sources are arranged in the longitudinal direction of the substrate, and the arrangement is concentrated on the central portion of the substrate. good.

また別の態様として、基板上に備えられた複数の記録素子に前記複数の記録素子に対応した複数のスイッチング素子を介して定電流を流すことにより、前記複数の記録素子を駆動する駆動方法を採用した記録ヘッド用基板であって、前記基板の長手方向に前記複数の記録素子と前記複数のスイッチング素子とを配列し、前記基板の端部であり、かつ前記複数の記録素子の配置位置とは異なる側の基板の端部位置に、前記基板の長手方向に前記複数の記録素子を駆動するために用いる駆動信号や制御信号を入力する複数の端子を配列し、前記定電流を流すための複数の定電流源を夫々を、前記複数の端子各々の間の領域に配置することを特徴とする記録ヘッド用基板を備えても良い。   As another aspect, there is provided a driving method for driving the plurality of recording elements by causing a constant current to flow to the plurality of recording elements provided on the substrate via the plurality of switching elements corresponding to the plurality of recording elements. The recording head substrate employed, wherein the plurality of recording elements and the plurality of switching elements are arranged in a longitudinal direction of the substrate, are at an end of the substrate, and are arranged at the positions of the plurality of recording elements. For arranging the plurality of terminals for inputting drive signals and control signals used for driving the plurality of recording elements in the longitudinal direction of the substrate at the end position of the substrate on the different side, and for passing the constant current A plurality of constant current sources may be provided in a region between each of the plurality of terminals, and a recording head substrate may be provided.

以上のような構成で、前記駆動信号や前記制御信号に基づいて、前記複数のスイッチング素子のオン/オフを制御する制御回路をさらに前記基板の長手方向に配置するようにしても良い。   With the above configuration, a control circuit for controlling on / off of the plurality of switching elements based on the drive signal and the control signal may be further arranged in the longitudinal direction of the substrate.

また他の発明によれば、上記構成の記録ヘッド用基板を用いた記録ヘッドを備える。   According to another invention, a recording head using the recording head substrate having the above-described configuration is provided.

この記録ヘッドはインクを吐出して記録を行うインクジェット記録ヘッドであることが望ましい。   The recording head is preferably an ink jet recording head that performs recording by discharging ink.

さらに他の発明によれば、上記インクジェット記録ヘッドとその記録ヘッドに供給するためのインクを保持するインクタンクを一体的に備えたヘッドカートリッジを備える。   According to still another aspect of the invention, there is provided a head cartridge that integrally includes the ink jet recording head and an ink tank that holds ink to be supplied to the recording head.

またさらに他の発明によれば、上記構成のインクジェット記録ヘッド又はヘッドカートリッジを用いてインクを記録媒体に吐出して記録を行う記録装置を備える。   According to still another aspect of the invention, there is provided a recording apparatus that performs recording by ejecting ink onto a recording medium using the ink jet recording head or the head cartridge having the above configuration.

従って本発明によれば、基板面積を有効に用いることができるのみならず、基板上において、記録素子、スイッチング素子、定電流源、パッド間の配線長を短くすることができるので、ヘッド基板サイズを大きく増大させることなく高速でかつ安定した記録が可能な定電流駆動方式を用いたヘッド基板を提供することができるという効果がある。   Therefore, according to the present invention, not only can the substrate area be used effectively, but also the wiring length between the recording element, the switching element, the constant current source, and the pad can be shortened on the substrate. There is an effect that it is possible to provide a head substrate using a constant current driving method capable of high-speed and stable recording without greatly increasing.

以下添付図面を参照して本発明の好適な実施形態について、さらに具体的かつ詳細に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described more specifically and in detail with reference to the accompanying drawings.

なお、この明細書において、「記録」(「プリント」という場合もある)とは、文字、図形等有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広く記録媒体上に画像、模様、パターン等を形成する、または媒体の加工を行う場合も表すものとする。   In this specification, “recording” (sometimes referred to as “printing”) is not only for forming significant information such as characters and figures, but also for human beings visually perceived regardless of significance. Regardless of whether or not it has been manifested, it also represents a case where an image, a pattern, a pattern, or the like is widely formed on a recording medium or the medium is processed.

また、「記録媒体」とは、一般的な記録装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能なものも表すものとする。   “Recording medium” refers not only to paper used in general recording apparatuses but also widely to cloth, plastic film, metal plate, glass, ceramics, wood, leather, and the like that can accept ink. Shall.

さらに、「インク」(「液体」と言う場合もある)とは、上記「記録(プリント)」の定義と同様広く解釈されるべきもので、記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成または記録媒体の加工、或いはインクの処理(例えば記録媒体に付与されるインク中の色剤の凝固または不溶化)に供され得る液体を表すものとする。   Furthermore, “ink” (sometimes referred to as “liquid”) is to be interpreted broadly in the same way as the definition of “recording (printing)” above. It represents a liquid that can be used for forming a pattern or the like, processing a recording medium, or processing an ink (for example, solidification or insolubilization of a colorant in ink applied to the recording medium).

またさらに、「ノズル」とは、特にことわらない限り吐出口ないしこれに連通する液路およびインク吐出に利用されるエネルギーを発生する素子を総括して言うものとする。   Furthermore, unless otherwise specified, the “nozzle” collectively refers to an ejection port or a liquid channel communicating with the ejection port and an element that generates energy used for ink ejection.

以下に用いる記録ヘッド用基板(ヘッド基板)とは、シリコン半導体からなる単なる基体を指し示すものではなく、各素子や配線等が設けられた構成を差し示すものである。   The recording head substrate (head substrate) used below does not indicate a simple substrate made of a silicon semiconductor but indicates a configuration in which each element, wiring, and the like are provided.

さらに、基板上とは、単に素子基板の上を指し示すだけでなく、素子基板の表面、表面近傍の素子基板内部側をも示すものである。また、本発明でいう「作り込み」とは、別体の各素子を単に基体表面上に別体として配置することを指し示している言葉ではなく、各素子を半導体回路の製造工程等によって素子板上に一体的に形成、製造することを示すものである。   Further, the term “on the substrate” means not only the element substrate but also the surface of the element substrate and the inside of the element substrate near the surface. The term “built-in” as used in the present invention is not a word indicating that each separate element is simply arranged separately on the surface of the substrate. It shows that it is integrally formed and manufactured on top.

また、本発明における「定電流」および「定電流源」とは、同時駆動される記録素子数の変動などによらず記録素子に与えられる所定の一定電流およびこの電流を記録素子に与える電流源のことを意味するものである。そして、一定とすべき電流値自体は、所定の電流値に変更設定される場合をも含んだ意味である。   The “constant current” and “constant current source” in the present invention are a predetermined constant current applied to the recording element regardless of fluctuations in the number of simultaneously driven recording elements, and a current source that supplies this current to the recording element. It means that. The current value itself to be constant includes the case where the current value is changed to a predetermined current value.

<インクジェット記録装置の説明(図1)>
図1は本発明の代表的な実施例であるインクジェット記録装置の概観図である。図1において、リードスクリュー5005は、キャリッジモータ5013の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア5009〜5011を介して回転する。キャリッジHCは、リードスクリュー5004の螺旋溝5005に対して係合するピン(不図示)を有し、リードスクリュー5004の回転に伴って、ガイドレール5003に支持されて矢印a,b方向に往復移動される。このキャリッジHCには、インクジェットカートリッジIJCが搭載されている。インクジェットカートリッジIJCは、インクジェット記録ヘッドIJH(以下、記録ヘッドという)及び記録用のインクを貯蔵するインクタンクITを具備する。
<Description of Inkjet Recording Apparatus (FIG. 1)>
FIG. 1 is a schematic view of an ink jet recording apparatus which is a typical embodiment of the present invention. In FIG. 1, the lead screw 5005 rotates via driving force transmission gears 5009 to 5011 in conjunction with forward and reverse rotation of the carriage motor 5013. The carriage HC has a pin (not shown) that engages with the spiral groove 5005 of the lead screw 5004, and is supported by the guide rail 5003 as the lead screw 5004 rotates so as to reciprocate in the directions of arrows a and b. Is done. An ink jet cartridge IJC is mounted on the carriage HC. The ink jet cartridge IJC includes an ink jet recording head IJH (hereinafter referred to as a recording head) and an ink tank IT for storing recording ink.

インクジェットカートリッジIJCは記録ヘッドIJHとインクタンクITとを一体化した構成となっている。   The ink jet cartridge IJC has a configuration in which the recording head IJH and the ink tank IT are integrated.

5002は紙押え板であり、キャリッジの移動方向に亙って紙をプラテン5000に対して押圧する。プラテン5000は不図示の搬送モータにより回転し、記録紙Pを搬送する。5007,5008はフォトセンサで、キャリッジのレバー5006のこの域での存在を確認して、モータ5013の回転方向切り換え等を行うためのホームポジション検知手段である。5016は記録ヘッドの前面をキャップするキャップ部材5022を支持する部材である。また、5015はこのキャップ内を吸引する吸引手段で、キャップ内開口5023を介して記録ヘッドの吸引回復を行う。5017はクリーニングブレードで、5019はこのブレードを前後方向に移動可能にする部材であり、本体支持板5018にこれらが支持されている。ブレードは、この形態でなく周知のクリーニングブレードが本例に適用できることは言うまでもない。又、5012は、吸引回復の吸引を開始するためのレバーで、キャリッジと係合するカム5020の移動に伴って移動し、駆動モータからの駆動力がクラッチ切り換え等の公知の伝達手段で移動制御される。   Reference numeral 5002 denotes a paper pressing plate that presses the paper against the platen 5000 in the moving direction of the carriage. The platen 5000 is rotated by a conveyance motor (not shown) to convey the recording paper P. Reference numerals 5007 and 5008 denote home position detecting means for confirming the presence of the lever 5006 of the carriage in this region and switching the rotation direction of the motor 5013. Reference numeral 5016 denotes a member that supports a cap member 5022 that caps the front surface of the recording head. Reference numeral 5015 denotes suction means for sucking the inside of the cap, and performs suction recovery of the recording head through the opening 5023 in the cap. Reference numeral 5017 denotes a cleaning blade, and reference numeral 5019 denotes a member that enables the blade to move in the front-rear direction, and these are supported by a main body support plate 5018. Needless to say, the blade is not in this form, and a known cleaning blade can be applied to this example. Reference numeral 5012 denotes a lever for starting suction for suction recovery, which moves in accordance with the movement of the cam 5020 engaged with the carriage, and the driving force from the driving motor is controlled by a known transmission means such as clutch switching. Is done.

これらのキャッピング、クリーニング、吸引回復は、キャリッジがホームポジション側の領域に来た時にリードスクリュー5004の作用によってそれらの対応位置で所望の処理が行えるように構成されているが、周知のタイミングで所望の作動を行うようにすれば、本例にはいずれも適用できる。   These capping, cleaning, and suction recovery are configured so that desired processing can be performed at their corresponding positions by the action of the lead screw 5004 when the carriage comes to the home position side region. Any of these can be applied to this example as long as the above operation is performed.

図2はインクジェットカートリッジIJCの詳細な構成を示す外観斜視図である。   FIG. 2 is an external perspective view showing a detailed configuration of the ink jet cartridge IJC.

図2に示されているように、インクジェットカートリッジIJCはブラックインクを吐出するカートリッジIJCKとシアン(C)、マゼンタ(M)、イエロ(Y)の3色のカラーインクを吐出するカートリッジIJCCから構成されており、これら2つのカートリッジは互いに対して分離可能であり、夫々独立にキャリッジHCと脱着可能である。   As shown in FIG. 2, the ink jet cartridge IJC is composed of a cartridge IJCK that discharges black ink and a cartridge IJCC that discharges three color inks of cyan (C), magenta (M), and yellow (Y). These two cartridges are separable from each other and can be detached from the carriage HC independently of each other.

カートリッジIJCKはブラックインクを貯留するインクタンクITKとブラックインクを吐出して記録する記録ヘッドIJHKとから成り立っているが、これらは一体型の構成となっている。同様に、カートリッジIJCCはシアン(C)、マゼンタ(M)、イエロ(Y)の3色のカラーインクを貯留するインクタンクITCとこれらカラーインクを吐出して記録する記録ヘッドIJHCとから成り立っているが、これらは一体型の構成となっている。なお、この実施例ではインクタンク内にインクが充填されているカートリッジとなっている。   The cartridge IJCK includes an ink tank ITK that stores black ink and a recording head IJHK that discharges and records black ink. These cartridges have an integrated configuration. Similarly, the cartridge IJCC includes an ink tank ITC that stores three color inks of cyan (C), magenta (M), and yellow (Y), and a recording head IJHC that discharges and records these color inks. However, these are integrated. In this embodiment, the ink tank is filled with ink.

また、カートリッジIJCKやIJCCは一体型のみならず、インクタンクと記録ヘッドとが分離する構成のものを用いることもできる。   In addition, the cartridges IJCK and IJCC can be used not only as an integral type, but also as a configuration in which the ink tank and the recording head are separated.

記録ヘッドIJHは記録ヘッドIJHKと記録ヘッドIJHCとをまとめて言及するときに用いる。   The recording head IJH is used when collectively referring to the recording head IJHK and the recording head IJHC.

さらに、図2から明らかなように、ブラックインクを吐出するノズル列、シアンインクを吐出するノズル列、マゼンタインクを吐出するノズル列、イエロインクを吐出するノズル列はキャリッジ移動方向に並んで配置され、ノズルの配列方向はキャリッジ移動方向とは交差する方向となっている。   Further, as apparent from FIG. 2, the nozzle row for ejecting black ink, the nozzle row for ejecting cyan ink, the nozzle row for ejecting magenta ink, and the nozzle row for ejecting yellow ink are arranged side by side in the carriage movement direction. The nozzle arrangement direction intersects the carriage movement direction.

図3はインクを吐出する記録ヘッドの立体的な構造の一部を示す斜視図である。   FIG. 3 is a perspective view showing a part of a three-dimensional structure of a recording head that ejects ink.

図3では、シアン(C)インクが供給されてインク液滴を吐出するノズル2つを例示しているが、ノズル数は通常これよりもはるかに多いものであり、また、その構造は別の色のインクに対しても同様である。   FIG. 3 illustrates two nozzles that are supplied with cyan (C) ink and eject ink droplets. However, the number of nozzles is usually much larger than this, and the structure is different. The same applies to color inks.

記録ヘッドIJHCには、シアン(C)インクを供給するインクチャネル2C、マゼンタ(M)インクを供給するインクチャネル(不図示)、イエロ(Y)インクを供給するインクチャネル(不図示)があり、インクタンクITCからは夫々のインクチャネルに夫々のインクを供給する供給路(不図示)が備えられている。   The recording head IJHC has an ink channel 2C for supplying cyan (C) ink, an ink channel (not shown) for supplying magenta (M) ink, and an ink channel (not shown) for supplying yellow (Y) ink. A supply path (not shown) for supplying each ink to each ink channel is provided from the ink tank ITC.

特に、図3からはインクタンクITCから供給されるシアン(C)インクの流れが明らかになる。   In particular, FIG. 3 reveals the flow of cyan (C) ink supplied from the ink tank ITC.

図3に示されるように、インク流路301Cが電気熱変換体(ヒータ)401に対応して設けられており、このインク流路を経てCインクは、基板上に設けられた電気熱変換体(ヒータ)401まで導かれる。そして、電気熱変換体(ヒータ)401に対して後述する回路を通して通電されると、電気熱変換体(ヒータ)401上にあるインクに熱が与えられ、インクが沸騰し、その結果、生じた泡によって吐出口302Cからインク液滴900Cが吐出される。   As shown in FIG. 3, an ink flow path 301 </ b> C is provided corresponding to the electrothermal converter (heater) 401, and the C ink passes through the ink flow path and is provided on the substrate. (Heater) 401 is led. When the electrothermal converter (heater) 401 is energized through a circuit to be described later, heat is applied to the ink on the electrothermal converter (heater) 401, and the ink boils, resulting in the occurrence. The ink droplet 900C is ejected from the ejection port 302C by bubbles.

図示の構成は、インクの吐出口302C、インクチャネル2C、インク流路301Cが直線上に配置される構成であるが、吐出口302が電気熱変換体(ヒータ)401と対向する側に設けられる構成とする、所謂サイドシュータ型の構成でも良い。   In the illustrated configuration, the ink ejection port 302C, the ink channel 2C, and the ink flow path 301C are arranged in a straight line, but the ejection port 302 is provided on the side facing the electrothermal transducer (heater) 401. A so-called side shooter type configuration may be used.

なお、図3において、1は後で詳述する電気熱変換体やこれを駆動する種々の回路、メモリ、キャリッジHCとの電気的接点となる種々のパッド、種々の信号線が形成される記録ヘッド用基板(以下、ヘッド基板という)である。   In FIG. 3, reference numeral 1 denotes an electrothermal transducer to be described in detail later, various circuits for driving the memory, memory, various pads serving as electrical contacts with the carriage HC, and recording on which various signal lines are formed. A head substrate (hereinafter referred to as a head substrate).

また、1つの電気熱変換体(ヒータ)及びこれを駆動するMOS−FETをまとめて記録素子といい、複数の記録素子を総称して記録素子部という。   One electrothermal transducer (heater) and the MOS-FET that drives the electrothermal converter are collectively referred to as a recording element, and a plurality of recording elements are collectively referred to as a recording element unit.

図3では複数のカラーインクの内、1色のインク(シアンインク)を吐出する記録ヘッドIJHCの立体的な構造を示したが、他の色のインクを吐出する記録ヘッドも同様な構造をしている。   Although FIG. 3 shows the three-dimensional structure of the recording head IJHC that discharges one color ink (cyan ink) among a plurality of color inks, the recording head that discharges inks of other colors has the same structure. ing.

次に、上述した記録装置の記録制御を実行するための制御構成について説明する。   Next, a control configuration for executing the recording control of the recording apparatus described above will be described.

図4は記録装置の制御回路の構成を示すブロック図である。   FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the control circuit of the recording apparatus.

図4において、1700は記録信号を入力するインタフェース、1701はMPU、1702はMPU1701が実行する制御プログラムを格納するROM、1703は各種データ(上記記録信号や記録ヘッドに供給される記録データ等)を保存しておくDRAMである。1704は記録ヘッドIJHに対する記録データの供給制御を行うゲートアレイ(G.A.)であり、インタフェース1700、MPU1701、RAM1703間のデータ転送制御も行う。   In FIG. 4, 1700 is an interface for inputting a recording signal, 1701 is an MPU, 1702 is a ROM for storing a control program executed by the MPU 1701, and 1703 is various data (such as the recording signal and recording data supplied to the recording head). This is a DRAM to be stored. Reference numeral 1704 denotes a gate array (GA) that controls supply of print data to the print head IJH, and also controls data transfer among the interface 1700, MPU 1701, and RAM 1703.

さらに、1709は記録紙Pを搬送するための搬送モータ(図1では不図示)1706は搬送モータ1709を駆動するためのモータドライバ、1707はキャリッジモータ1710を駆動するためのモータドライバ、1705は記録ヘッドIJHを駆動するためのヘッドドライバである。   Further, reference numeral 1709 denotes a conveyance motor (not shown in FIG. 1) for conveying the recording paper P, 1706 denotes a motor driver for driving the conveyance motor 1709, 1707 denotes a motor driver for driving the carriage motor 1710, and 1705 denotes recording. It is a head driver for driving the head IJH.

上記制御構成の動作を説明すると、インタフェース1700に記録信号が入るとゲートアレイ1704とMPU1701との間で記録信号がプリント用の記録データに変換される。そして、モータドライバ1706、1707が駆動されると共に、キャリッジHCに送られた記録データに従って記録ヘッドIJHが駆動され、記録紙P上への画像記録が行われる。   The operation of the control configuration will be described. When a recording signal enters the interface 1700, the recording signal is converted into recording data for printing between the gate array 1704 and the MPU 1701. Then, the motor drivers 1706 and 1707 are driven, and the recording head IJH is driven in accordance with the recording data sent to the carriage HC, and image recording on the recording paper P is performed.

なお、この実施例では、図2に示すような構成の記録ヘッドを用い、キャリッジ各走査において、記録ヘッドIJHKによる記録と記録ヘッドIJHCによる記録とが重ならないように制御する。カラー記録の場合、各走査毎に記録ヘッドIJHKと記録ヘッドIJHCとを交互に駆動する。例えば、キャリッジが往復走査する場合に、往路走査において記録ヘッドIJHKを駆動し、復路走査において記録ヘッドIJHCを駆動するように制御する。記録ヘッドの駆動制御はこのような制御のみならず、記録動作は往路走査のみで行い記録紙Pの搬送を行わずに2回の往路走査で記録ヘッドIJHKと記録ヘッドIJHCを夫々駆動するなどの他の制御を行っても良い。   In this embodiment, the recording head configured as shown in FIG. 2 is used, and control is performed so that the recording by the recording head IJHK and the recording by the recording head IJHC do not overlap in each scanning of the carriage. In the case of color recording, the recording head IJHK and the recording head IJHC are driven alternately for each scan. For example, when the carriage performs reciprocal scanning, control is performed so that the recording head IJHK is driven in the forward scanning and the recording head IJHC is driven in the backward scanning. The drive control of the print head is not limited to such control, and the print operation is performed only by the forward scan, and the print head IJHK and the print head IJHC are driven by the two forward scans without carrying the recording paper P. Other controls may be performed.

次に、記録ヘッドIJHに実装されるヘッド基板の構成とその動作について説明する。   Next, the configuration and operation of the head substrate mounted on the recording head IJH will be described.

図5は記録ヘッドIJHに作り込まれたヒータ駆動回路を形成するヘッド基板の構成例を示す図である。   FIG. 5 is a diagram showing a configuration example of a head substrate forming a heater driving circuit built in the recording head IJH.

なお、図5において、既に従来例の図14において説明したのと同じ構成要素には同じ参照番号を付し、その説明を省略する。また、図5に示す構成においても、従来例と同様に(m×x)個のヒータとスイッチング素子(MOSトランジスタ)が、夫々x個のヒータとスイッチング素子とからなるm個のグループに分割され、同時には各グループが1つずつのヒータが選択駆動される時分割駆動方式を採用した例を示している。   In FIG. 5, the same components as those already described in FIG. 14 of the conventional example are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. In the configuration shown in FIG. 5, as in the conventional example, (m × x) heaters and switching elements (MOS transistors) are divided into m groups each consisting of x heaters and switching elements. At the same time, an example is shown in which a time-division drive method in which one heater is selectively driven in each group is shown.

図5において、103−1〜103−mは定電流源群、105は基準電流回路である。   In FIG. 5, 103-1 to 103-m are constant current source groups, and 105 is a reference current circuit.

ヒータ駆動回路は、図5に示すように、各グループ毎にヒータに電流を供給するための定電流源103−1〜103−mが接続される。   As shown in FIG. 5, the heater driving circuit is connected to constant current sources 103-1 to 103-m for supplying current to the heaters for each group.

例えば、グループ1100−1では、ヒータ1101−11〜1101−1x各々に直列接続されたMOSトランジスタ1102−11〜1102−1のソース側端子は共通接続され、各グループのヒータの一端も共通接続されており、そのグループに対し定電流源103−1が接続される。また、電源配線108は各ヒータ1101−11〜1101−1xに共通接続端に接続されている。   For example, in the group 1100-1, the source side terminals of the MOS transistors 1102-11 to 1102-1 connected in series to each of the heaters 1101-11 to 1101-1x are commonly connected, and one end of the heater of each group is also commonly connected. The constant current source 103-1 is connected to the group. Further, the power supply wiring 108 is connected to a common connection end of each of the heaters 1101-11 to 1101-1 x.

ヒータ1101−11〜1101−1xの駆動用スイッチであるMOSトランジスタ1102−11〜1102−1xは電源配線108とグランド(GND)の間にそれぞれ直列に接続されている。また、ヒータ1101−11〜1101−1xに所定電流を流すための定電流源群の1つである高耐電圧MOSトランジスタ103−1は、MOSトランジスタ1102−11〜1102−1xとグランド(GND)の間に共通のスイッチとして直列に1個接続されている。なお、この実施例では、MOSトランジスタ(定電流源)103をその飽和領域で動作させることで所定電流を流せる構成としている。   MOS transistors 1102-11 to 1102-1x, which are driving switches for the heaters 1101-11 to 1101-1x, are connected in series between the power supply wiring 108 and the ground (GND). Further, the high withstand voltage MOS transistor 103-1, which is one of constant current source groups for supplying a predetermined current to the heaters 1101-11-11101-1x, is connected to the MOS transistors 1102-11-1110-1x and the ground (GND). Are connected in series as a common switch. In this embodiment, the MOS transistor (constant current source) 103 is operated in its saturation region so that a predetermined current can flow.

なお、他のグループ1100−2〜1100−mの構成もグループ1100−1と同様である。   The configurations of the other groups 1100-2 to 1100-m are the same as the group 1100-1.

従って、このヒータ駆動回路を全体として見ると、電源配線108側からヒータ1101−11〜1101−mx、スイッチとして機能するMOSトランジスタ1102−11〜1102−mx、定電流源群103−1〜103−m、グラウンド配線の順に直列に接続されている。そして、定電流源群103−1〜103−m各々が、対応するブロックの共通接続端に定電流を出力する。なお、その出力電流値の大きさは基準電流回路105からの制御信号により調節される。   Accordingly, when viewing the heater driving circuit as a whole, the heaters 11011-11 to 1101-mx, the MOS transistors 1102-11 to 1102-mx functioning as switches, and the constant current source groups 103-1 to 103- from the power supply wiring 108 side. m and ground wiring are connected in series in this order. Each of the constant current source groups 103-1 to 103-m outputs a constant current to the common connection end of the corresponding block. The magnitude of the output current value is adjusted by a control signal from the reference current circuit 105.

次に、以上の回路構成のヒータ駆動回路の動作について説明する。   Next, the operation of the heater drive circuit having the above circuit configuration will be described.

なお、この動作はm個のグループについて共通であるので、ここでは、x個のヒータで構成される1グループ分について説明する。   Since this operation is common to m groups, only one group composed of x heaters will be described here.

図6は、図5に示したヒータ駆動回路の1つのグループの構成を抜き出して示した回路図である。   FIG. 6 is a circuit diagram showing the configuration of one group of the heater drive circuit shown in FIG.

図6において、既に従来例の図14や図5において説明したのと同じ構成要素には同じ参照番号を付し、その説明を省略する。   In FIG. 6, the same components as those already described with reference to FIGS. 14 and 5 of the conventional example are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

また、図6において、VG1、VG2、……、VG(x−1)、VGxは、スイッチング用のMOSトランジスタ1102−11、1102−12、……、1102−1(x−1)、1102−1xのゲートに印加される制御回路1105から出力される制御信号を表し、Ih1、Ih2、……、Ih(x−1)、Ihxは、ヒータ1101−11、1101−12、……、1101−1(x−1)、1101−1xを流れる電流を表し、VCは基準電流回路105からの制御信号を表している。   In FIG. 6, VG1, VG2,..., VG (x-1), VGx are switching MOS transistors 1102-11, 1102-12, ... 1102-1 (x-1), 1102- , Ih1, Ih2,..., Ih (x-1), Ihx are heaters 1101-11, 1101-12,. 1 (x-1), 1101-1x, and VC represents a control signal from the reference current circuit 105.

スイッチング用のMOSトランジスタ1102−11〜1102−1xは、ここでは簡単のために、理想的にドレインとソースとの2端子スイッチとして動作すると考え、VGi(i=1,x)の信号レベルが“H”であれば、そのスイッチはオン(ドレイン−ソース間が短絡)となり、“L”であればオフ(ドレイン−ソース間が開放)するものとして説明する。また、定電流源103−1は、その端子間にある電圧が印加されると制御信号VCにより設定された一定電流をその端子間に(図においては上から下方向へ)出力するものとする。   For the sake of simplicity, the switching MOS transistors 1102-11 to 1102-1x are considered to operate ideally as a two-terminal switch of a drain and a source, and the signal level of VGi (i = 1, x) is “ In the following description, it is assumed that the switch is turned on (the drain-source is short-circuited) if it is H and turned off (the drain-source is opened) if it is "L". The constant current source 103-1 outputs a constant current set by the control signal VC between the terminals (from the top to the bottom in the figure) when a voltage between the terminals is applied. .

図7は制御信号(VGi)とその制御信号に応じてヒータに流れる電流(Ihi)の波形を示す図である。   FIG. 7 is a diagram showing the waveform of the control signal (VGi) and the current (Ihi) flowing through the heater according to the control signal.

例えば、制御信号VG1に関して言えば、時刻t1までの期間では“L”であり、定電流源103−1の出力とヒータ1101−11は遮断されており、そのヒータには電流が流れない。しかしながら、時刻t1からt2までの期間では“H”になり、定電流源であるMOSトランジスタ1102−11のソース−ドレイン間が通電し、定電流源103−1からの出力電流がそのヒータに流れる。その後、時刻t2からは再び“L”となり、ヒータへの電流が遮断される。   For example, regarding the control signal VG1, it is “L” in the period up to time t1, the output of the constant current source 103-1 and the heater 1101-11 are cut off, and no current flows through the heater. However, during the period from time t1 to t2, it becomes “H”, the source-drain of the MOS transistor 1102-11 which is a constant current source is energized, and the output current from the constant current source 103-1 flows to the heater. . Thereafter, it becomes “L” again from time t2, and the current to the heater is cut off.

制御信号VG2、……、VGxについても同様である。   The same applies to the control signals VG2,.

なお、ヒータへの電流の投入時間は制御信号VGiにより制御され、ヒータへの投入電流Ihiの大きさは定電流源103−1への制御信号VCにより制御される。   The current application time to the heater is controlled by the control signal VGi, and the magnitude of the heater input current Ihi is controlled by the control signal VC to the constant current source 103-1.

このように、時刻t1から時刻t2の期間に、ヒータ1101−11に電流が流れると、そのヒータ上面のインクは加熱・発泡し、その結果、対応するノズルからインクが吐出し、インクドットが記録される。   As described above, when a current flows through the heater 1101-11 during the period from the time t1 to the time t2, the ink on the upper surface of the heater is heated and foamed. As a result, the ink is ejected from the corresponding nozzle and the ink dot is recorded. Is done.

以下同様にして、図7に示すタイミングチャートに示す信号に従って、順次、ヒータ1101−11〜1101−1xへ電流が流れ、その結果、加熱されたインクの吐出によるインクドットの記録と、ヒータ1101−11〜1101−1xへの電流投入の停止が行われる。   In the same manner, the current sequentially flows to the heaters 11011-11 to 1101-1x in accordance with the signals shown in the timing chart shown in FIG. 7, and as a result, the recording of the ink dots by the ejection of the heated ink and the heater 1101- The current supply to 11 to 1101-1x is stopped.

以上の構成により、基準電流回路105により定電流源103−1の出力電流値が設定され、その設定された出力電流はMOSトランジスタ1102−11〜1102−1xにより所望の時間、ヒータ1101−11〜1101−1xに流れる。   With the above configuration, the output current value of the constant current source 103-1 is set by the reference current circuit 105, and the set output current is set to the heaters 1101-11 through the MOS transistors 1102-11 to 1102-1 x for a desired time. 1101-1x.

なお、実際の動作では、MOSトランジスタ1102−11〜1102−1xがオンの時はソース−ドレイン間に抵抗が存在するが、この抵抗における電圧降下分に対し十分に高い電源電圧を設定することで、定電流源の出力電流がそのままヒータに流れ、オン抵抗が存在しない場合と実質的に何ら変わらない動作が実現される。   In actual operation, a resistance exists between the source and the drain when the MOS transistors 1102-11 to 1102-1x are on. By setting a sufficiently high power supply voltage with respect to the voltage drop in the resistance. The output current of the constant current source flows to the heater as it is, and an operation substantially the same as when no on-resistance exists is realized.

以下、以上の回路構成と動作を行うヒータ駆動回路を形成した本発明に従うヘッド基板の回路レイアウト構成について説明する。   Hereinafter, the circuit layout configuration of the head substrate according to the present invention in which the heater driving circuit for performing the above circuit configuration and operation will be described.

図8は本発明の実施例1に従うヘッド基板のレイアウト構成を示す図である。   FIG. 8 is a diagram showing a layout configuration of the head substrate according to the first embodiment of the present invention.

図8は図5に示したヒータ駆動回路(等価回路)の中のヒータ、トランジスタ、制御回路、定電流源といった各素子について、ヘッド基板上での実体配置を示すためのレイアウト構成の一例である。従って、図8においても、図5で言及した構成要素に対応する配置領域には同じ参照番号を付している。また、本発明に従うヘッド基板は矩形の基板であり、その基板には短辺と長辺とがある。そして、ヘッド基板の長辺に沿った方向(長手方向)にヒータやスイッチング用のトランジスタなどを配列している。   FIG. 8 is an example of a layout configuration for showing an actual arrangement on the head substrate for each element such as a heater, a transistor, a control circuit, and a constant current source in the heater driving circuit (equivalent circuit) shown in FIG. . Therefore, also in FIG. 8, the same reference numerals are assigned to the arrangement regions corresponding to the components referred to in FIG. The head substrate according to the present invention is a rectangular substrate, and the substrate has a short side and a long side. A heater, a switching transistor, and the like are arranged in a direction (longitudinal direction) along the long side of the head substrate.

例えば、グループ1100−1にはヒータ1101−11〜1101−1xを有するヒータ群とスイッチング用のMOSトランジスタ1102−11〜1102−1xを有するトランジスタ群が形成されている。同様にグループ1100−mにはヒータ1101−m1〜1101−mxのヒータ群とMOSトランジスタ1102−m1〜1102−mxのトランジスタ群が形成されている。また、m個のグループ各々に対応して、グループ毎に所定電流を供給するm個の定電流源103−1〜103−mで構成される定電流源群103が配置されている。   For example, in the group 1100-1, a heater group having heaters 1101-111 to 1101-1x and a transistor group having switching MOS transistors 1102-11 to 1102-1x are formed. Similarly, in the group 1100-m, a heater group of heaters 1101-m1-1101-mx and a transistor group of MOS transistors 1102-m1-110-mx are formed. Further, a constant current source group 103 configured by m constant current sources 103-1 to 103-m that supply a predetermined current for each group is arranged corresponding to each of the m groups.

また、制御回路1105も各グループに属するヒータとMOSトランジスタとに対応してm個のグループ1105−1〜1105−mに分割されて形成される。   The control circuit 1105 is also divided into m groups 1105-1 to 1105-m corresponding to the heaters and MOS transistors belonging to each group.

さらに、各グループのヒータに所定電流を供給する定電流源103−1〜103−mの配置間隔は、x個つづのヒータとMOSトランジスタとで構成されるm個のグループ1100−1〜1100−mの配列の配置間隔と実質的に等しくなっており、各グループに対応して配置されている。   Furthermore, the arrangement intervals of the constant current sources 103-1 to 103-m for supplying a predetermined current to the heaters of each group are set to m groups 1100-1 to 1100- composed of x heaters and MOS transistors. It is substantially equal to the arrangement interval of the array of m, and is arranged corresponding to each group.

なお、この実施例に従うヘッド基板には、VHコンタクトなど種々のコンタクトやキャリッジとの電気的接点となるパッド106、107などを含む入出力パッド群1501が、ヘッド基板の長辺に沿った方向に配列されている。   In the head substrate according to this embodiment, an input / output pad group 1501 including various contacts such as VH contacts and pads 106 and 107 serving as electrical contacts with the carriage is provided in a direction along the long side of the head substrate. It is arranged.

また、図9は図8に示したヘッド基板の電源配線部分のレイアウトを示す図である。   FIG. 9 is a diagram showing a layout of the power supply wiring portion of the head substrate shown in FIG.

なお、図8及び図9に示したヘッド基板を用いたインクジェット記録ヘッドの部分構成断面図は図3に示すような構成になる。   Note that a partial cross-sectional view of the ink jet recording head using the head substrate shown in FIGS. 8 and 9 is configured as shown in FIG.

図9おいて、図8に示した要素は全て破線で描かれており、この基板は多層構造となっているので、図示される電源配線の下層に位置する。   In FIG. 9, all the elements shown in FIG. 8 are drawn with broken lines, and since this substrate has a multilayer structure, it is located in the lower layer of the illustrated power supply wiring.

図9に示されるように、電源配線108は電源側のパッド106に接続され各グループ1100−1〜1100−mのヒータ群1101にVHコンタクトを介して接続される。配線50−1〜50−m夫々によって定電流源群103の出力側の端子とMOSトランジスタ群1102のソース側端子がそれぞれ接続される。定電流源群103のグランド(GND)側端子はヘッド基板の長手方向に延在した配線109を介してGNDパッド107に接続される。   As shown in FIG. 9, the power supply wiring 108 is connected to the pad 106 on the power supply side, and connected to the heater group 1101 of each of the groups 1100-1 to 1100-m via the VH contact. The output side terminal of the constant current source group 103 and the source side terminal of the MOS transistor group 1102 are connected to each other by the wirings 50-1 to 50-m, respectively. A ground (GND) side terminal of the constant current source group 103 is connected to the GND pad 107 via a wiring 109 extending in the longitudinal direction of the head substrate.

図8と図9とから分かるように、この実施例に従うヘッド基板では、ヒータ群1101の配列と入出力パッド群1501の配列とは、そのヘッド基板の長辺側端部近傍の2箇所夫々で、互いに対して実質的に平行に配置される。ヘッド基板の端部からヒータ群1101、MOSトランジスタ群1102、制御回路1105の順に配置され、定電流源103は制御回路1105と入出力パッド群1501との間に配置される。   As can be seen from FIGS. 8 and 9, in the head substrate according to this embodiment, the heater group 1101 and the input / output pad group 1501 are arranged at two locations near the end on the long side of the head substrate. , Arranged substantially parallel to each other. The heater group 1101, the MOS transistor group 1102, and the control circuit 1105 are arranged in this order from the end of the head substrate, and the constant current source 103 is arranged between the control circuit 1105 and the input / output pad group 1501.

さて、ヒータによりインクを加熱発泡しノズルから吐出させるのに、1つのヒータあたり数10mAから100mA程度の電流を投入する必要がある。従って、効率的な電力消費のためには、この電流によるヒータ以外でヒータに直列に接続される配線での電力損失(power loss)や発熱を極力少なくする必要がある。   Now, in order to heat and foam the ink by the heater and eject it from the nozzle, it is necessary to input a current of about several tens mA to 100 mA per heater. Therefore, for efficient power consumption, it is necessary to minimize power loss and heat generation in the wiring connected in series to the heater other than the heater due to this current.

この実施例によれば、ヒータとパッドが平行して配置されるヘッド基板のレイアウト構成において、定電流源をスイッチング素子(MOSトランジスタ)とパッドの間に配置しているので、ヒータ、スイッチング素子、定電流源、パッドの各素子間やパッドを接続する配線を最短にすることができ、配線による電力損失を最小にすることができる。   According to this embodiment, since the constant current source is arranged between the switching element (MOS transistor) and the pad in the layout configuration of the head substrate in which the heater and the pad are arranged in parallel, the heater, the switching element, The wiring connecting each element of the constant current source and the pad and the pad can be minimized, and the power loss due to the wiring can be minimized.

さらに、各グループの定電流源は、ヒータ、スイッチング用MOSトランジスタ、制御回路とともに、同じグループ位置に配置されているので、これらの素子間での配線の長さを、各グループ間で実質的に等しくできる。これにより、各グループ間での特性のばらつきを抑制することができる。   Further, since the constant current source of each group is arranged at the same group position together with the heater, the switching MOS transistor, and the control circuit, the length of the wiring between these elements is substantially reduced between the groups. Can be equal. Thereby, the dispersion | variation in the characteristic between each group can be suppressed.

またさらに、図5と図8〜図9から理解されるように、定電流源はMOSトランジスタ群に電流を流すため回路でありながら、制御回路よりも入出力パッドにより近接した位置に配置されている。これにより、複数のグループにより共用されるパッドから定電流源までの配線の長さを短くして、回路駆動時の動作ばらつきの要因を低減している。   Furthermore, as can be understood from FIGS. 5 and 8 to 9, the constant current source is a circuit for passing a current through the MOS transistor group, but is arranged at a position closer to the input / output pad than the control circuit. Yes. As a result, the length of the wiring from the pad shared by the plurality of groups to the constant current source is shortened, thereby reducing the cause of operation variations during circuit driving.

図10は本発明の実施例2に従うヘッド基板のレイアウト構成を示す図である。   FIG. 10 is a diagram showing a layout configuration of the head substrate according to the second embodiment of the present invention.

図10は図5に示したヒータ駆動回路を実現するレイアウト構成の一例である。また、図11は図10に示したヘッド基板の電源配線のレイアウトを示す図である。   FIG. 10 is an example of a layout configuration for realizing the heater driving circuit shown in FIG. FIG. 11 is a diagram showing the layout of the power supply wiring of the head substrate shown in FIG.

なお、図10〜図11においても、図5、図8、図9で言及したのと同じ構成要素には同じ参照番号を付している。   10 to 11, the same constituent elements as those mentioned in FIGS. 5, 8, and 9 are denoted by the same reference numerals.

実施例1で説明した図8〜図9とこの実施例の図10〜図11とを比較すると分かるように、この実施例では、定電流源群103の配置を基板の中央部に集中させ、その配置間隔がヒータ群1101の配列の配置間隔に比べ短くしている。   As can be seen by comparing FIGS. 8 to 9 described in the first embodiment and FIGS. 10 to 11 of this embodiment, in this embodiment, the arrangement of the constant current source group 103 is concentrated on the central portion of the substrate. The arrangement interval is shorter than the arrangement interval of the heater group 1101.

従ってこの実施例に従えば、各定電流源の相互の距離が短縮されるため、半導体製造工程上のバラツキからくる各定電流源の出力電流の相対的な電流誤差を減少させることができる。また、GNDパッド107から定電流源を構成するMOSトランジスタのソースまでの配線長をより短くすることができ、その配線抵抗のバラツキの絶対値が小さくなり同様に出力電流の相対的な誤差を小さくすることができる。   Therefore, according to this embodiment, the distance between the constant current sources is shortened, so that the relative current error of the output current of each constant current source due to variations in the semiconductor manufacturing process can be reduced. Further, the wiring length from the GND pad 107 to the source of the MOS transistor constituting the constant current source can be further shortened, and the absolute value of the variation of the wiring resistance is reduced, and similarly the relative error of the output current is reduced. can do.

図12は本発明の実施例3に従うヘッド基板のレイアウト構成を示す図である。   FIG. 12 is a diagram showing a layout configuration of the head substrate according to the third embodiment of the present invention.

図13は図5に示したヒータ駆動回路を実現するレイアウト構成の一例である。また、図13は図12に示したヘッド基板の電源配線のレイアウトを示す図である。   FIG. 13 shows an example of a layout configuration for realizing the heater driving circuit shown in FIG. FIG. 13 is a diagram showing the layout of the power supply wiring of the head substrate shown in FIG.

なお、図12〜図13においても、図5、図8、図9で言及したのと同じ構成要素には同じ参照番号を付している。   12 to 13, the same reference numerals are given to the same components as those mentioned in FIGS. 5, 8, and 9.

実施例1で説明した図8〜図9とこの実施例の図12〜図13とを比較すると分かるように、この実施例では、定電流源群103を構成する各定電流源103−1〜103−mが入出力パッド群106、107などの間に配置されるようにしている。   As can be seen by comparing FIGS. 8 to 9 described in the first embodiment and FIGS. 12 to 13 of this embodiment, in this embodiment, each of the constant current sources 103-1 to 103-1 constituting the constant current source group 103 is described. 103-m is arranged between the input / output pad groups 106, 107 and the like.

本発明で考慮しているインクジェット記録ヘッドでは、なるべく多くのヒータを配置し同時駆動ヒータ数を増すことで記録の高速化を図っている。このためヒータ基板は一般にヒータ配列方向に細長い形状になっている。従って、ヒータ配列方向に入出力パッドを配置した構成のヘッド基板では、入出力パッドの配列間隔がパッドサイズに比べ十分長く、パッドとパッドの間に十分な空間が生みだされる。   In the ink jet recording head considered in the present invention, the recording speed is increased by arranging as many heaters as possible and increasing the number of simultaneously driven heaters. For this reason, the heater substrate is generally elongated in the heater arrangement direction. Therefore, in a head substrate having an input / output pad arranged in the heater arrangement direction, the arrangement interval of the input / output pads is sufficiently longer than the pad size, and a sufficient space is created between the pads.

従って、この実施例では、この空間に定電流源を配置することにより、基板上の空間を有効に利用し、結果として基板サイズが大きくならないようにしている。さらに、この実施例によれば、ヒータ配列と直行する方向(ヘッド基板の短手方向)を縮小することができ、ヘッド基板のコストを下げることに貢献する。   Therefore, in this embodiment, by arranging the constant current source in this space, the space on the substrate is effectively used, and as a result, the substrate size is not increased. Furthermore, according to this embodiment, the direction perpendicular to the heater array (the short direction of the head substrate) can be reduced, which contributes to reducing the cost of the head substrate.

本発明の代表的な実施形態であるインクジェット記録装置のキャリッジ周辺部の構成の概要を示す外観斜視図である。1 is an external perspective view showing an outline of a configuration of a carriage peripheral portion of an ink jet recording apparatus that is a representative embodiment of the present invention. インクジェットカートリッジIJCの詳細な構成を示す外観斜視図である。It is an external appearance perspective view which shows the detailed structure of the inkjet cartridge IJC. インクを吐出する記録ヘッドIJHの一部の立体的な構造を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a three-dimensional structure of a part of a recording head IJH that ejects ink. 図1に示した記録装置の制御構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram illustrating a control configuration of the recording apparatus illustrated in FIG. 1. 記録ヘッドIJHに搭載したヒータ駆動回路を形成するヘッド基板の構成例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of a head substrate that forms a heater driving circuit mounted on a recording head IJH. 図5に示したヒータ駆動回路の1ブロックの構成を示す回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram showing a configuration of one block of the heater drive circuit shown in FIG. 5. 制御信号(VGi)とその制御信号に応じてヒータに流れる電流(Ihi)の波形を示す図である。It is a figure which shows the waveform of the electric current (Ihi) which flows into a heater according to a control signal (VGi) and the control signal. 本発明の実施例1に従うヘッド基板のレイアウト構成を示す図である。It is a figure which shows the layout structure of the head substrate according to Example 1 of this invention. 図8に示したヘッド基板の電源配線のレイアウトを示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a layout of power supply wiring of the head substrate shown in FIG. 8. 本発明の実施例2に従うヘッド基板のレイアウト構成を示す図である。It is a figure which shows the layout structure of the head substrate according to Example 2 of this invention. 図10に示したヘッド基板の電源配線のレイアウトを示す図である。It is a figure which shows the layout of the power supply wiring of the head substrate shown in FIG. 本発明の実施例3に従うヘッド基板のレイアウト構成を示す図である。It is a figure which shows the layout structure of the head substrate according to Example 3 of this invention. 図10に示したヘッド基板の電源配線のレイアウトを示す図である。It is a figure which shows the layout of the power supply wiring of the head substrate shown in FIG. 従来のインクジェット記録ヘッドに搭載したヒータ駆動回路の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the heater drive circuit mounted in the conventional inkjet recording head. 図14に示すヒータ駆動回路の各ブロックのヒータを通電駆動するタイミングを示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows the timing which energizes and drives the heater of each block of the heater drive circuit shown in FIG. 図14に示す電源パッド1103からブロック1100−1〜1100−mに接続される電源配線のレイアウトを示した図である。It is the figure which showed the layout of the power supply wiring connected to the blocks 1100-1 to 1100-m from the power supply pad 1103 shown in FIG. 従来技術に従うヒータ駆動回路を示す図である。It is a figure which shows the heater drive circuit according to a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

103 定電流源群
103−1〜103−m 定電流源
105 基準電流回路
1101−11〜1101mx ヒータ
1102−11〜1102mx MOSトランジスタ
1105 制御回路
IJH 記録ヘッド
103 constant current source group 103-1 to 103-m constant current source 105 reference current circuit 1101-11 to 1101mx heater 1102-11 to 1102mx MOS transistor 1105 control circuit IJH print head

Claims (10)

基板上に備えられた複数の記録素子に前記複数の記録素子に対応した複数のスイッチング素子を介して定電流を流すことにより、前記複数の記録素子を駆動する駆動方法を採用した記録ヘッド用基板であって、
前記基板の長手方向に前記複数の記録素子と前記複数のスイッチング素子とを配列し、
前記基板の端部であり、かつ前記複数の記録素子の配置位置とは異なる側の基板端部位置に、前記基板の長手方向に前記複数の記録素子を駆動するために用いる駆動信号や制御信号を入力する複数の端子を配列し、
前記定電流を流すための定電流源を、前記複数のスイッチング素子とが配列された領域よりも前記複数の端子が配置された領域に近い位置に配置することを特徴とする記録ヘッド用基板。
Printhead substrate employing a driving method for driving the plurality of recording elements by passing a constant current through a plurality of switching elements corresponding to the plurality of recording elements to the plurality of recording elements provided on the substrate Because
Arranging the plurality of recording elements and the plurality of switching elements in a longitudinal direction of the substrate;
Drive signals and control signals used to drive the plurality of recording elements in the longitudinal direction of the substrate at the substrate end position which is an end portion of the substrate and is different from the arrangement position of the plurality of recording elements. Arrange multiple terminals to input
A recording head substrate, wherein the constant current source for causing the constant current to flow is arranged at a position closer to an area where the plurality of terminals are arranged than an area where the plurality of switching elements are arranged.
前記複数のスイッチング素子の駆動を制御する制御回路をさらに有し、
前記制御回路よりも前記複数の端子が配置された領域に近接した位置に、前記定電流源を配置することを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド用基板。
A control circuit for controlling driving of the plurality of switching elements;
The recording head substrate according to claim 1, wherein the constant current source is disposed at a position closer to an area where the plurality of terminals are disposed than the control circuit.
前記定電流源は複数個備えられており、
前記複数個の定電流源が等間隔で前記基板の長手方向に配置されることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド用基板。
A plurality of the constant current sources are provided,
2. The recording head substrate according to claim 1, wherein the plurality of constant current sources are arranged at equal intervals in the longitudinal direction of the substrate.
前記定電流源は複数個備えられており、
前記複数個の定電流源が前記基板の長手方向に配置され、
該配置は前記基板の中央部に集中するようになっていることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド用基板。
A plurality of the constant current sources are provided,
The plurality of constant current sources are arranged in a longitudinal direction of the substrate;
2. The recording head substrate according to claim 1, wherein the arrangement is concentrated at a central portion of the substrate.
基板上に備えられた複数の記録素子に前記複数の記録素子に対応した複数のスイッチング素子を介して定電流を流すことにより、前記複数の記録素子を駆動する駆動方法を採用した記録ヘッド用基板であって、
前記基板の長手方向に前記複数の記録素子と前記複数のスイッチング素子とを配列し、
前記基板の端部であり、かつ前記複数の記録素子の配置位置とは異なる側の基板の端部位置に、前記基板の長手方向に前記複数の記録素子を駆動するために用いる駆動信号や制御信号を入力する複数の端子を配列し、
前記定電流を流すための複数の定電流源を夫々を、前記複数の端子各々の間の領域に配置することを特徴とする記録ヘッド用基板。
Printhead substrate employing a driving method for driving the plurality of recording elements by passing a constant current through a plurality of switching elements corresponding to the plurality of recording elements to the plurality of recording elements provided on the substrate Because
Arranging the plurality of recording elements and the plurality of switching elements in a longitudinal direction of the substrate;
Drive signals and controls used to drive the plurality of recording elements in the longitudinal direction of the substrate at the end position of the substrate that is an end portion of the substrate and is different from the arrangement position of the plurality of recording elements. Arrange multiple terminals to input signals,
A recording head substrate, wherein a plurality of constant current sources for allowing the constant current to flow are arranged in a region between each of the plurality of terminals.
前記駆動信号や前記制御信号に基づいて、前記複数のスイッチング素子のオン/オフを制御する制御回路を前記基板の長手方向に配置することを特徴とする請求項5に記載の記録ヘッド用基板。   6. The recording head substrate according to claim 5, wherein a control circuit for controlling on / off of the plurality of switching elements based on the drive signal and the control signal is arranged in a longitudinal direction of the substrate. 請求項1乃至6のいずれかに記載の記録ヘッド用基板を用いた記録ヘッド。   A recording head using the recording head substrate according to claim 1. 前記記録ヘッドはインクを吐出して記録を行うインクジェット記録ヘッドであることを特徴とする請求項7に記載の記録ヘッド。   The recording head according to claim 7, wherein the recording head is an ink jet recording head that performs recording by discharging ink. 請求項8に記載のインクジェット記録ヘッドに供給するためのインクを保持するインクタンクを一体的に備えたことを特徴とするヘッドカートリッジ。   9. A head cartridge comprising an ink tank for holding ink to be supplied to the ink jet recording head according to claim 8. 請求項8に記載のインクジェット記録ヘッド又は請求項9に記載のヘッドカートリッジを用いてインクを記録媒体に吐出して記録を行う記録装置。   A recording apparatus that performs recording by discharging ink onto a recording medium using the ink jet recording head according to claim 8 or the head cartridge according to claim 9.
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