JP2005533260A - ウェハ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 照明軸を備えた投下光照明装置及び結像軸を備えた結像装置を有するウェハ検査装置であって、前記投下光照明装置と前記結像装置は、互いに対し傾斜して配されかつウェハの表面の被検領域に指向され、ウェハ検査装置を明視野照明に調整した際に前記照明軸及び前記結像軸の張る面として結像面が規定される形式の装置において、前記照明軸は、前記被検領域に暗視野照明が生成するよう、暗視野角γ>0だけ前記結像面から外に回転移動して配されることを特徴とする。
Description
2 ウェハ
3 保持装置
4 真空供給路
5 投下光照明装置
6 光導体束
7 光源
8 摺動可能な支持要素
9 結像装置
10 結像軸
11 衝突点
12 ウェハ法線
13 結像面
14 照明軸
15 担持要素
16 データ線路
17 データ読み取り装置
18 対物レンズ
19 カメラ
20 架台
21 調整要素
22 ウェハ下方照明装置
23 ウェハ縁部
24 α調整装置
25 γ調整装置
α=照明角
β=結像角
γ=暗視野角
Claims (20)
- 照明軸を備えた投下光照明装置及び結像軸を備えた結像装置を有するウェハ検査装置であって、
前記投下光照明装置と前記結像装置は、互いに対し傾斜して配されかつウェハの表面の被検領域に指向され、
ウェハ検査装置を明視野照明に調整した際に前記照明軸及び前記結像軸の張る面として結像面が規定される形式の装置において、
前記照明軸は、前記被検領域に暗視野照明が生成するよう、暗視野角γ>0だけ前記結像面から外に回転移動して配されること
を特徴とするウェハ検査装置。 - 前記照明軸及び前記結像軸は、該結像軸の前記ウェハ上における衝突点において交差すること
を特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記結像面は、前記ウェハ表面に対して直交すること
を特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記結像面は、前記ウェハ表面に対して直交し、かつ前記照明軸及び前記結像軸は、該結像軸の前記ウェハ上における衝突点において交差すること
を特徴とする請求項2に記載の装置。 - 前記結像軸と平行に延在するウェハ法線は、前記衝突点によって規定されること
を特徴とする請求項4に記載の装置。 - 前記結像軸は、前記衝突点を通過する前記ウェハ法線に対して結像角β>0だけ傾斜すること
を特徴とする請求項4に記載の装置。 - 前記衝突点を通過する前記ウェハ法線に対する前記照明軸の傾斜は、照明角αを規定すること、及び
前記結像角βは、前記照明角αに等しいこと
を特徴とする請求項6に記載の装置。 - 前記暗視野角γは、0゜<γ≦50゜の範囲の値を取ること
を特徴とする請求項1〜7までの何れか1項に記載の装置。 - 前記暗視野照明は、前記ウェハの中央領域からウェハ縁部の方向への前記投下光照明装置の傾斜により行うこと
を特徴とする請求項1〜8までの何れか1項に記載の装置。 - 前記照明装置は、多色光源を有すること
を特徴とする請求項1〜9までの何れか1項に記載の装置。 - 前記照明装置は、単色光源を有すること
を特徴とする請求項1〜9までの何れか1項に記載の装置。 - 前記結像装置は、対物レンズ及びカメラを有すること
を特徴とする請求項1〜9までの何れか1項に記載の装置。 - 前記結像装置は、対物レンズ及びリニアカメラを有すること
を特徴とする請求項1〜9までの何れか1項に記載の装置。 - 前記被検領域は、前記ウェハ縁部に位置すること、及び
前記ウェハ縁部の下方には、該ウェハ縁部を越えて下方から結像装置を照明するウェハ下方照明装置が付加的に配されること
を特徴とする請求項12に記載の装置。 - ウェハを載置するための支持装置を有し、該支持装置は、当該支持装置の鉛直軸の周りで回動可能に構成されていること
を特徴とする請求項13に記載の装置。 - 前記支持装置には、該支持装置を回転するためのモータ駆動装置が配されること
を特徴とする請求項14に記載の装置。 - 前記リニアカメラの画像データを前記ウェハの回転運動中にシーケンシャルに読み取るデータ読み取り装置が配されること、及び
該データ読み取り装置を制御するコンピュータが接続されること
を特徴とする請求項14又は15に記載の装置。 - 前記コンピュータは、前記ウェハが少なくとも360゜回転した後、シーケンシャルに記録された画像データから、前記ウェハ縁部に対する縁部レジスト除去(エッジビード除去EBR)フォトレジスト層の縁部の質及び/又は寸法ないし位置を求めること
を特徴とする請求項16に記載の装置。 - 前記コンピュータは、前記シーケンシャルに記録された画像データから、前記ウェハ縁部上のいわゆるフラットの位置を求めること
を特徴とする請求項16に記載の装置。 - 前記コンピュータは、前記シーケンシャルに記録された画像データから、前記ウェハ縁部上のいわゆるノッチの位置を求めること
を特徴とする請求項16に記載の装置。
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