JP2005528994A - 構成エレメントならびに該構成エレメントを製造する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、構成エレメント、特に支持体として働く基板とシリコン層とを備えたセンサエレメントであって、前記シリコン層には構成エレメント構造体が形成されている形式のものに関する。構成エレメント構造体は少なくとも1つの不動のエレメント、特に電極を有している。本発明はさらに、このような構成エレメントを製造する方法に関する。
本発明によれば、不動の構造体エレメントを固定するためのコンセプトが、特に、構成エレメント構造体が、支持体として働く基板の上のシリコン層に形成されている構成エレメントのための電極固定のためのコンセプトが提案されている。このようなコンセプトは特に、SOIウエハから製造された構成エレメントに適している。
既に詳しく説明したように、本発明の教示を有利に具現化し、応用する種々様々な可能性がある。このために一方では、独立的な請求項に従属する請求項が、また他方では、以下に図面につき詳しく説明する実施例が参照される。
本発明の構成エレメントのための図示した実施例は、加速度を検出するためのセンサエレメント1である。
Claims (19)
- 構成エレメント、特にセンサエレメント(1)であって、支持体として働く基板(4)と、シリコン層(2)とを有しており、該シリコン層には、構成エレメント構造体が形成されており、構成エレメント構造体は少なくとも1つの不動のエレメント、特に電極(6)を有している形式のものにおいて、
不動のエレメント(6)が、シリコン層(2)を貫通して延びている、固定材料から成る少なくとも1つの固定エレメント(7)を介して機械的に基板(4)に結合されていることを特徴とする構成エレメント。 - 請求項1記載の構成エレメントであって、シリコン層(2)が犠牲層(3)を介して基板(4)に結合されている形式のものにおいて、
不動のエレメント(6)が、シリコン層(2)と犠牲層(3)とを貫通して延びる、固定材料から成る少なくとも1つの固定エレメント(7)を介して機械的に基板(4)に結合されている、請求項1記載の構成エレメント。 - 固定エレメント(7)が、不動のエレメント(6)の表面に対してほぼ中央に配置されている、請求項1または2記載の構成エレメント。
- 固定エレメントが、犠牲層の領域でシリコン層の下方まで延びている逆鉤構造体を有している、請求項2または3記載の構成エレメント。
- 請求項1から4までのいずれか1項記載の構成エレメントであって、固定エレメント(7)が、電極(6)の固定のために働く形式のものにおいて、
固定材料が非導電性であることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項記載の構成エレメント。 - 電極表面が、少なくとも固定エレメント(7)の周りの領域で、固定材料から成る被覆層(8)を有している、請求項5記載の構成エレメント。
- 請求項6記載の構成エレメントであって、前記被覆層(8)が電極表面のほぼ全体にわたって延びている形式のものにおいて、
前記被覆層(8)に、電極(6)のための少なくとも1つのコンタクト孔(9)が形成されていて、コンタクト孔(9)が、固定エレメント(7)の領域の外側に配置されていることを特徴とする、請求項6記載の構成エレメント。 - 構成エレメント構造体の上にキャップメンブレン(14)が形成されていて、少なくとも1つの電極(6)がキャップメンブレン(14)を介して電気的に接触されていて、キャップメンブレン(14)が固定エレメント(7)を介して機械的に基板(4)に結合されている、請求項5から7までのいずれか1項記載の構成エレメント。
- 窒化ケイ素SiNまたは炭化ケイ素SiCが固定材料として使用される、請求項1から8までのいずれか1項記載の構成エレメント。
- 請求項1から9までのいずれか1項記載の構成エレメント、特にセンサエレメント(1)を製造するための方法であって、少なくとも1つの不動のエレメント、特に電極(6)を有している構成エレメント構造体をシリコン層(2)に形成し、シリコン層(2)を犠牲層(3)を介して基板(4)に結合している形式のものにおいて、
不動のエレメント(6)の表面の領域で、シリコン層(2)の領域全体および第1の犠牲層(3)を貫通して基板(4)まで延びている少なくとも1つの切欠をシリコン層(2)に形成し、
前記切欠に固定材料を充填し、これにより不動のエレメント(6)を、ここに形成された固定材料(7)を介して機械的に基板(4)に結合させることを特徴とする、請求項1から9までのいずれか1項記載の構成エレメントを製造するための方法。 - シリコン層(2)に、異方性エッチング法、特にトレンチによって前記切欠を形成する、請求項10記載の方法。
- 前記切欠の領域における第1の犠牲層(3)を、異方性エッチング法、特にトレンチによって取り除く、請求項10または11記載の方法。
- 前記切欠の領域における第1の犠牲層(3)を、等方性エッチング法によって取り除き、シリコン層における切欠の縁部領域を下方侵食する、請求項10または11記載の方法。
- 固定材料をシリコン層(2)に析出し、これにより切欠の領域で基板(4)上に固定材料を成長させて切欠を充填し、この場合に生じる固定材料を有したシリコン層(2)の被覆層(8)を少なくとも部分的に再び取り除く、請求項10から13までのいずれか1項記載の構成エレメント。
- 請求項10から14までのいずれか1項記載の、キャップメンブレン(14)を備えた構成エレメントを製造する方法において、
既に、少なくとも1つの固定エレメント(7)を備えた少なくとも1つの電極(6)が形成されている、シリコン層(2)に形成された構成エレメント構造体の上に、閉じられた表面を有する第2の犠牲層(11)を形成し、
該第2の犠牲層(11)を構造化し、即ち、第2の犠牲層(11)を、固定エレメント(7)の領域および、電極表面における少なくとも1つのコンタクト個所(9)の領域で取り除き、
構造化された第2の犠牲層(11)の上にメンブレン層(14)を形成し、
メンブレン層(14)を構造化し、即ち、第2の犠牲層(11)および、場合によっては第1の犠牲層(3)も取り除くための開口(15)を形成し、かつメンブレン層(14)への電極(6)の電気的接続を、メンブレン層(14)のその他の領域から電気的に絶縁するための開口(16)を形成し、
少なくとも第2の犠牲層(11)を取り除くことを特徴とする、請求項10から14までのいずれか1項記載の、キャップメンブレン(14)を備えた構成エレメントを製造する方法。 - メンブレン層(14)を、ポリシリコンまたはSiGeから製造する、請求項15記載の方法。
- メンブレン層をポリシリコンからエピタキシャル成長させる、請求項15記載の方法。
- メンブレン層(14)をトレンチエッチングによって構造化する、請求項17記載の方法。
- 第2の犠牲層(11)をシリコン酸化物SiOから形成し、第2の犠牲層(11)をHF蒸気エッチングによって取り除く、請求項15から18までのいずれか1項記載の方法。
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