JP2005521891A - ツール間整合用の計測回折信号適合化方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (28)
- 多様な計測デバイスと協働するために計測システムを適合化する集積回路計測方法であって、
ウェハ上の一群の部位を第1計測デバイスを利用して測定する段階であって、該測定により第1群の回折信号が生成され、かつ前記第1計測デバイスは識別仕様を有する段階と、
前記ウェハ上の前記一群の部位を第2計測デバイスを利用して測定する段階であって、該測定により第2群の回折信号が生成され、かつ前記第2計測デバイスは識別仕様を有する段階と、
前記第1群の回折信号の各信号と前記第2群の回折信号の対応信号との間の差分を計算する段階と、
前記第1計測デバイスについて生成された計測データが前記第2計測デバイスにおいて使用されるのを可能とすべく構成された信号調節ベクトルを決定する段階と、
を備えて成る集積回路計測方法。 - 前記第1計測デバイスは、前記計測データを生成する上で用いられる既知仕様群を有する基準計測デバイスである、請求項1に記載の方法。
- 前記計測データは回折信号と対応プロフィル・データのライブラリを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記信号調節ベクトルを決定する段階は、該信号調節ベクトルの各成分の値を算出する数学的アルゴリズムを実施する段階を備える、請求項1に記載の方法。
- 前記成分値を算出するために使用される前記数学的アルゴリズムはクラスタリング・アルゴリズムである、請求項4に記載の方法。
- 前記信号調節ベクトルと前記第1および第2計測デバイスの識別仕様とを記憶する段階を更に備えて成る、請求項1に記載の方法。
- 前記第2計測デバイスを用いて集積回路構造から回折信号を測定する段階であって、
該測定により測定された構造回折信号が生成される段階と、
前記測定された構造回折信号および前記信号調節ベクトルを利用して調節された回折信号を計算する段階と、
前記第1計測デバイスに対して生成された前記回折信号と対応プロフィル・データとのライブラリにおける回折信号に対して比較された前記調節された回折信号の最良整合物を選択する段階と、
前記選択された最良整合ライブラリ回折信号に対応するプロフィル・データにアクセスする段階と、
を更に備えて成る、請求項3に記載の方法。 - 前記第1および第2計測デバイスは偏光解析器であり、前記第1および第2群の回折信号の各々はtan(Ψ)およびcos(Δ)回折データを有する、請求項7に記載の方法。
- 前記第1および第2計測デバイスは反射率計であり、前記第1および第2群の回折信号の各々は強度回折データを有する、請求項7に記載の方法。
- 多様な計測デバイスと協働するために計測システムを適合化する、集積回路計測方法であって、
ウェハ上の一群の部位を第1計測デバイスを利用して測定する段階であって、該測定により第1群の回折信号が生成され、前記第1計測デバイスは識別仕様を有する段階と、
前記ウェハ上の前記一群の部位を一つ以上の第2計測デバイスを利用して測定する段階であって、各測定により第2群の回折信号が生成され、各第2計測デバイスは識別仕様を有する段階と、
前記第1群の回折信号の各信号と前記第2群の回折信号の対応信号との間の差分を計算する段階と、
前記第1計測デバイスに対して生成された計測データが対応第2計測デバイスにおいて使用されるのを可能とすべく各々が構成された信号調節ベクトルを決定する段階と、
前記第1計測デバイスの前記識別仕様と、前記第2計測デバイスの識別仕様と、関連する信号調節ベクトルを有するデータ成分を記憶する段階と、
を備えて成る集積回路計測方法。 - 前記データ成分を記憶する段階は該データ成分をデータ記憶装置に記憶することにより実施される、請求項10に記載の方法。
- 複数の計測デバイスと協働するために集積回路計測システムを適合化するシステムであって、該システムは、
ウェハにおける一群の構造から第1群の回折信号を生成すべく構成され、識別仕様を有する第1計測デバイスと、
前記ウェハにおける前記一群の構造から第2群の回折信号を生成すべく構成され、識別仕様を有する第2計測デバイスと、
前記第1群の回折信号の各信号と前記第2群の回折信号の対応信号との間の差分を計算すべく構成され、かつ、計算された差分から信号調節ベクトルを決定すべく構成された評価器とを備え、
前記信号調節ベクトルは、前記第1計測デバイスにおいて使用されるために生成された計測データが前記第2計測デバイスにおいて使用されるのを可能とする、
システム。 - 前記第1計測デバイスおよび前記第2計測デバイスは偏光解析器である、請求項12に記載のシステム。
- 前記第1計測デバイスおよび前記第2計測デバイスは反射率計である、請求項12に記載のシステム。
- 回折信号および関連プロフィル・データを包含すべく構成されたプロフィル・ライブラリと、
測定された回折信号を処理すべく、かつ、前記プロフィル・ライブラリの前記回折信号に対して比較された前記測定された回折信号の最良整合物を選択すべく構成されたプロフィル適用サーバとを更に備えて成る、請求項12に記載のシステム。 - 前記プロフィル適用サーバに接続されたデータ記憶装置であって、一つ以上の信号調節ベクトルと計測ツール識別仕様とを記憶すべく構成されたデータ記憶装置を更に備えて成る、請求項15に記載のシステム。
- 前記データ記憶装置はネットワーク接続を介してアクセス可能である、請求項16に記載のシステム。
- 前記評価器は前記信号調節ベクトルを決定するために加算平均を使用する、請求項16に記載のシステム。
- 前記評価器は前記信号調節ベクトルを決定するために統計的平均アルゴリズムを使用する、請求項16に記載のシステム。
- 前記評価器は前記信号調節ベクトルを決定するためにクラスタリング・アルゴリズムを使用する、請求項16に記載のシステム。
- 集積回路計測信号調節データを記憶し、かつ信号適合化に対する要求に応答するシステムであって、
計測デバイスに関する識別情報と回折信号および関連プロフィルのライブラリに関する識別情報とを含むクエリを送信すべく構成されたクエリ・デバイスと、
前記クエリ・デバイスに接続されると共に、前記クエリを処理すべく、かつ前記クエリ・デバイスに対する応答をフォーマットして送信すべく構成された信号調節サーバと、
前記信号調節サーバに接続されると共に、信号調節データと、計測デバイスに関する識別情報と、回折信号および関連プロフィルのライブラリに関する識別情報とを記憶すべく構成されたデータ記憶装置とを備えて成る、システム。 - 前記信号調節サーバは更に、調節された回折信号を計算すべく構成され、該調節された回折信号は測定された回折信号と対応信号調節データから計算される、請求項21に記載のシステム。
- 前記クエリ・デバイスからの前記クエリは前記測定された回折信号を含み、前記信号調節サーバからの前記応答は前記測定された回折信号と前記対応信号調節データとから計算された前記調節された回折信号を含む、請求項22に記載のシステム。
- 前記クエリ・デバイスは識別された前記計測デバイスを含む計測システムである、請求項21に記載のシステム。
- 前記クエリ・デバイスに接続された作製システムであって、リソグラフィ・ユニットおよび/または食刻ユニットを含む作製システムを更に備えて成る、請求項24に記載のシステム。
- 以下の如く作動することをコンピュータに指示することにより、多様な計測デバイスと協働するために計測システムを適合化するコンピュータ実行可能コードを含むコンピュータ可読記憶媒体:
ウェハ上の一群の部位を第1計測デバイスを利用して測定し、該測定により第1群の回折信号が生成され、前記第1計測デバイスは識別仕様を有しており、
前記ウェハ上の前記一群の部位を第2計測デバイスを利用して測定し、該測定により第2群の回折信号が生成され、前記第2計測デバイスは識別仕様を有しており、
前記第1群の回折信号の各信号と前記第2群の回折信号の対応信号との間の差分を計算し、かつ、
前記第1計測デバイスに対して生成された計測データが前記第2計測デバイスにおいて使用されるのを可能とすべく構成された信号調節ベクトルを決定する。 - 以下の如く作動することをコンピュータに指示することにより、多様な計測デバイスと協働するために計測システムを適合化するコンピュータ実行可能コードを含むコンピュータ可読記憶媒体:
ウェハ上の一群の部位を第1計測デバイスを利用して測定し、該測定により第1群の回折信号が生成され、前記第1計測デバイスは識別仕様を有しており、
前記ウェハ上の前記一群の部位を一つ以上の第2計測デバイスを利用して測定し、各測定により第2群の回折信号が生成され、各第2計測デバイスは識別仕様を有しており、
前記第1群の回折信号の各信号と前記第2群の回折信号の対応信号との間の差分を計算し、
前記第1計測デバイスに対して生成された計測データが対応第2計測デバイスにおいて使用されるのを可能とすべく各々が構成された信号調節ベクトルを決定し、かつ、
前記第1計測デバイスの前記識別仕様と、前記第2計測デバイスの識別仕様と、関連する信号調節ベクトルを有するデータ成分を記憶する。 - 一次的計測デバイスに対する識別情報と、
一つ以上の二次的計測デバイスに対する識別情報と、
回折信号および関連プロフィルのライブラリに対する識別情報と、
前記一つ以上の二次的計測デバイスの一つの二次的計測デバイスを用いて測定された回折信号を、識別された回折信号および関連プロフィルのライブラリにより作動する様に適合化すべく各々が構成された一つ以上の信号調節ベクトルと、
を含む記憶データを包含するコンピュータ可読記憶媒体。
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