JP2005521263A - 電界効果トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 量子井戸を有する電界効果トランジスタにおいて、量子井戸は、一次導電チャンネル(27)と、一次チャンネルの直近にあって接触する少なくとも1つの二次導電チャンネル(25、25)とによって形成され、二次導電チャンネルは、一次チャンネルの有効バンドギャップ(14)よりも大きい有効バンドギャップ(15)を有し、一次チャンネルの衝撃イオン化閾値「IIT」(17)と一次及び二次チャンネル間の有効導電帯オフセット(ステップの高さ)との間の差の絶対値は、0.5Eg(実効値)よりも大きくなく、又は(代替的に)、0.4eVよりも大きくない。すなわち、そうでなければ暴走をもたらす衝撃イオン化を生じ得るより高エネルギのキャリヤは、二次チャンネル内に迂回され、装置が増加した電圧でより高速に作動し、及び/又は、暴走に対して遥かに大きな抵抗を示すことを可能にする。一次チャンネルは、好ましくは、低バンドギャップ材料、例えば、InSb、InAs、InAs1-ySby、In1-xGaxSb、又はIn1-xGaxAsである。
Description
砒化インジウム(IaAs)、アンチモン化インジウム(InSb)、及び砒化インジウムガリウム(InGaAs)のような低バンドギャップ材料は、特に「MODFET」での使用に適するものであり、アンチモン化インジウムは、電子有効質量が低く、電子移動度が非常に高く、弾道平均自由行程が大きく、かつ飽和速度が大きいので、特に超高速用途に有利である。
バンドギャップがより連続的に変化するように垂直でない側面を有する量子井戸を生成することは、井戸領域8の縁部の組成を変化させることによって可能であるが、本発明においては、井戸側面のバンドギャップの鋭い変化を有することが好ましい。
雪崩降伏は、ゲートバイアス電圧に応答してトランジスタの制御の損失を引き起こすばかりでなく、熱暴走を発生させる可能性があり、装置及び恐らくは関連構成要素が危険に曝される。
一次及び二次チャンネル間の有効導電帯オフセットは、ΔEC(実効値)=ΔEC+E1’−E1によって与えられ、ただし、ΔECは、チャンネルの絶対エネルギゼロ間の差である。また、有効衝撃イオン化閾値「IIT」(実効値)=Eg+E1=Eg(実効値)である。有効値については、エネルギレベル及びエネルギ差に関する特定の説明にある後述の参考文献を読むべきである。
本発明の更なる特徴及び利点は、特許請求の範囲を熟読し、添付図面に関連して為される以下のより詳細で具体的な本発明の実施形態の説明を読めば読者に明らかになるであろう。
図4は、図1の「FET」とほぼ類似であるが本発明に従って構成された「FET」を通して取られた図式的な概略垂直断面を示す。相違点として、量子井戸領域8は、図2の単一の均質層5に対して、ここでは異なる材料による複数の層21、22、及び23で構成されている。中央層22は、図2の層5と類似のものであり、一次導電チャンネルをもたらすが、ここでは、二次導電チャンネルをもたらす層21及び23によっていずれの側も制限されている。これらは、エネルギが層22の衝撃イオン化閾値にほぼ等しい導電帯エッジを有する、層22よりも大きいバンドギャップを有する材料で形成される。層21及び23の材料のバンドギャップは、層6及び7よりも小さい。任意的に、電極層10は、誘電体層が下に置かれるか、又は公知の方法によりショットキーダイオードの形態である。
層21及び23は、(a)等しい厚みであり、(b)同じ材料であり、及び(c)同じバンドギャップを有することが好ましいが、これらの特徴は、いずれも厳密に必要なものではない。
このように形成された量子井戸領域8は、一次導電チャンネル27及び隣接する二次導電チャンネル25を含むことが分るであろう。InSbベース「FET」の場合、ひずみ及び量子化効果が含まれないと、バンドギャップ14、24、及び15は、一般的に、0.178、0.445、及び0.773eVという値をそれぞれ有する。ひずみ及び量子化効果が含まれていると、有効バンドギャップ14、24、及び15は、一般的に、20nm幅の一次井戸に対して0.220、0.559、及び0.872eVという値をそれぞれ有する。
一次チャンネルのそれぞれの側に二次チャンネルを有することは、好ましいことであるが必要なことではない。層21及び23の一方又は他方を省くことができ、その場合、井戸は、残りの二次チャンネルとゲートの間に位置することが好ましい。しかし、単一の二次チャンネルでは、相応の衝撃イオン化の増加がある。
更に、任意の二次チャンネルと基板又は基板層との間に、増加する導電帯レベルなどを有する1つ又はそれ以上の(連続的)三次チャンネルを設けることができ、従って、それらは、キャリヤの励起の増加に伴って量子井戸の幅がますます大きくなることを可能にする時の二次チャンネルと類似の方法で作用する。ここでもまた、このようにして与えられた追加のエネルギレベルは、量子井戸の両側に三次チャンネルが設けられた時と同じか又は異なるとすることができる。
基本的な発明について以上説明したが、更なる改良及び利点を予想することができる。例えば、チャンネルドーピング原子を周囲のチャンネル区域21及び23に入れれば、そこの移動度が低減する傾向があり、衝撃イオン化によるチャンネルコンダクタンスの増加を更に相殺することになる負のチャンネルコンダクタンス効果をもたらし、より信頼性のある(すなわち、勾配の小さい)出力特性を有する装置を作製することになる。
14 有効バンドギャップ
15 有効バンドギャップ
17、28 衝撃イオン化閾値「IIT」
25 二次導電チャンネル
27 一次導電チャンネル
Claims (17)
- 量子井戸が、一次導電チャンネルと、該一次チャンネルの直近にあって接触し、該一次チャンネルの有効バンドギャップEg(実効値)よりも大きい有効バンドギャップを有する少なくとも1つの二次導電チャンネルとによって形成され、
有効衝撃イオン化閾値「IIT」(実効値)と前記一次及び二次チャンネル間の有効導電帯オフセットΔEC(実効値)との間の差の絶対値が、0.5Eg(実効値)よりも大きくない、
ことを特徴とする量子井戸電界効果トランジスタ。 - 前記絶対値は、0.25Eg(実効値)よりも大きくないことを特徴とする請求項1に記載のトランジスタ。
- 量子井戸が、一次導電チャンネルと、該一次チャンネルの直近にあって接触し、該一次チャンネルの有効バンドギャップEg(実効値)よりも大きい有効バンドギャップを有する少なくとも1つの二次導電チャンネルとによって形成され、
有効衝撃イオン化閾値「IIT」(実効値)と前記一次及び二次チャンネル間の有効導電帯オフセットΔEC(実効値)との間の差の絶対値が、0.4eVよりも大きくない、
ことを特徴とする量子井戸電界効果トランジスタ。 - 前記絶対値は、0.3eVよりも大きくないことを特徴とする請求項3に記載のトランジスタ。
- 前記差は、正であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 前記差は、負であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 前記一次チャンネルの材料の前記バンドギャップは、0.75eVよりも小さいことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 前記二次導電チャンネルは、前記一次チャンネルのいずれかの側に設けられることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 前記一次チャンネルのゲートから反対側の単一の前記二次導電チャンネルを含むことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のトランジスタ。
- 前記量子井戸は、少なくとも1つの三次チャンネルを更に含み、
少なくとも1つの前記二次チャンネルは、前記一次チャンネルと前記三次チャンネルとの間に位置してそれらに接触し、
前記三次チャンネルは、それが接触する前記二次チャンネルよりも大きい有効バンドギャップと、それが接触する該二次チャンネルの衝撃イオン化閾値とエネルギがほぼ等しい導電帯エッジとを有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のトランジスタ。 - 前記一次チャンネルの材料は、その有効バンドギャップEg(実効値)に等しいか又はそれ以上の有効導電帯オフセットΔEC(実効値)を有することを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 前記一次チャンネルは、InSb、InAs、InAs1-ySby、In1-xGaxSb、又はIn1-xGaxAsから形成されることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 前記量子井戸は、両側が高バンドギャップ材料によって制限されることを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 前記量子井戸の一方又は両方の側において、前記高バンドギャップ材料の外側は、より低いバンドギャップ材料に接触することを特徴とする請求項13に記載のトランジスタ。
- チャンネルドーピングが、前記二次チャンネルにもたらされることを特徴とする請求項1から請求項14のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 正孔がソース接点での除去のために価電子帯井戸に閉じ込められるように構成されたことを特徴とする請求項1から請求項15のいずれか1項に記載のトランジスタ。
- 正孔の除去のための基板接点が設けられたことを特徴とする請求項1から請求項16のいずれか1項に記載のトランジスタ。
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