JP2005517364A - 高速スキャナを有する走査顕微鏡でデータ処理するための方法および高速スキャナを有する走査顕微鏡 - Google Patents

高速スキャナを有する走査顕微鏡でデータ処理するための方法および高速スキャナを有する走査顕微鏡 Download PDF

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Abstract

本方法は、高速スキャナによってデータブロックをリアルタイムで記録する。次に、記録されたデータブロックが計算システム(23)に伝送される。この場合、データブロックの処理はフレームバースト比(N)に基づき行われる。記録されたデータブロックの計算システムへの伝送はフレームバースト比(N)に基づき行われる。フレームバースト比(N)は固定または可変であることができる。いかなる場合にも、計算システム(23)の出力の最適利用が遵守される。フレームバースト比(N)は、計算システム(23)の処理特性に基づきユーザまたは計算システム(23)それ自体によって選択される。

Description

本発明は、高速スキャナを有する走査顕微鏡でデータ処理するための方法に関する。
さらに、本発明は、高速スキャナを有する走査顕微鏡に関する。特に、本発明は、走査モジュールと位置センサと少なくとも1つの検出器とから構成される高速スキャナと、計算システムと、計算システムに割り当てられた少なくとも1つの周辺機器と、入力手段とを有する走査顕微鏡に関する。
未だ公開されていない特許出願DE 101 34 328.0には、顕微鏡の画像検出を調整するための方法が開示されている。画像データ検出要素からメモリ要素への画像データの伝送が行われる。符号化器に制御パラメータが供給される。メモリ要素からコンピュータに画像データを伝送する前に、符号化が行われる。符号化されて伝送された画像データはコンピュータで処理される。本発明には、画像データの一部分およびその情報成分が符号化によって失われるという不都合がある。評価のためのこれらのデータは、回復不能に失われる。
本発明の課題は、処理の際に遅延が生じることなく、高速スキャナによって記録されたすべてのデータのデータ処理が可能である方法を提供することである。
目的とする課題は、特許請求項1の特徴部分の特徴を有する方法によって解決される。
本発明のさらなる課題は、記録されたすべてのデータが処理され、この際に計算システムによるあり得る遅延によってすべてのデータのデータ処理が制限されることがない走査顕微鏡を提供することである。
上述の課題は、請求項12の特徴部分の特徴を備える走査顕微鏡によって解決される。
本発明には、本方法によって、データブロックの記録が高速スキャナによりリアルタイムで行われるという利点がある。次に、記録されたデータブロックは計算システムに伝送される。この場合、データブロックの処理はフレームバースト比に基づき行われる。同様に、記録されたデータブロックの計算システムへの伝送もフレームバースト比に基づき行うことができる。この場合、フレームバースト比は、計算システムの出力の最適利用が行われるように選択される。フレームバースト比は、計算システムの処理特性に基づきユーザによって選択され、またデータブロックの記録の間一定のままである。
本発明のさらなる有利な実施形態は、フレームバースト比を可変にする適応調整が提供されることである。次に、計算システムは、計算システムのまさに支配的な動作状態にまたは走査顕微鏡のパラメータ設定にフレームバースト比を適合させる。データ記録の初めに、フレームバースト比の開始値をユーザによって予め設定できる。同様に、計算システムは開始値を選択し、次にこの開始値を適切に適合できる。
フレームバースト比は、伝送されたデータブロックの周波数または分周比を決定する。フレームバースト比によって、計算システムは瞬間出力に適合される。最初に、すべてのデータブロックを計算システムに記憶でき、可変「フレームバースト」比によって決定されるデータブロックのみが処理される。同様に、ユーザにより予め設定された固定フレームバースト比に対応するデータブロックのみが計算システムに伝送されて、計算システムによって処理されることが有利である。未だ伝送されていないデータブロックは、計算システムに遅れて伝送され、次にそこで処理される。
本発明のさらに有利な実施形態は下位請求項から理解できる。
本発明の主題について図面に概略的に示し、図面を参照して以下に記載する。
図1に、共焦点走査顕微鏡100の実施例が概略的に示されている。しかし、このことは本発明を限定するものと理解すべきでない。従来の顕微鏡または従来の走査顕微鏡によっても本発明を実現できることは、当業者には十分に明白である。少なくとも1つの照明システム1からの照明光線3は、光線スプリッタまたは適切な偏向手段5によって走査モジュール7に反射される。照明光線3が偏向手段5に衝突する前に、この照明光線は照明ピンホール6を通過する。走査モジュール7は、走査光学系12と顕微鏡光学系13とを通して、照明光線3を物体15を介してまたはそれを通して案内するカルダン式に吊設された走査ミラー9を含む。照明光線3は、透明でない物体15の場合、物体表面を介して案内される。スキャナは、市販の計算システムによってデータを処理できるよりも高速に記録するスキャナと呼ばれる。生態学的物体15(プレパラート)または透明の物体の場合、照明光線3は物体15を通して案内することもできる。このため、光らないプレパラートには、必要に応じて適切な染料が施される(確立された従来技術であるので、図示しない)。このことは、物体の様々な焦点面が照明光線3によって連続して走査されることを意味する。走査モジュール7には、記録された画像データの位置データを決定する位置センサ11が結合される。次に、位置データおよび画像データの事後の構成により、物体15の2次元または3次元フレーム(または画像)が得られる。照明システム1からの照明光線3は実線で示されている。物体15からの光は検出光線17を画定する。この検出光線は顕微鏡光学系13と走査光学系12とを通してかつ走査モジュール7を介して偏向手段5に達し、この偏向手段を通過し、また検出ピンホール18を介して、本明細書では光電子増倍管として製造される少なくとも1つの検出器19に達する。ダイオード、ダイオードアレイ、CCDチップまたはCMOS画像センサのような他の検出構成要素も使用できることは、当業者には明白である。物体15から出るあるいはそれによって画定される検出光線17は、図1に点線で示されている。検出器19では、物体からの光の出力に比例した電気検出信号が生成される。走査モジュール7、位置センサ11および少なくとも1つの検出器19は、高速スキャナ14に統合されている。高速スキャナ14には、データを少なくとも1つの検出器19と位置センサ11とから受信するローカルメモリ16が割り当てられる。適切な方法で、データはローカルメモリ16から計算システム23に転送される。調整信号を介しても走査ミラー9の位置を確認できることは、当業者にとって当然である。計算システム23には、少なくとも1つの周辺機器27が割り当てられる。周辺機器は、ユーザが顕微鏡システムを調整するための指示を受けるか、あるいは目下のセットアップおよび図形の画像データも読み取ることができる例えばディスプレイであり得る。さらに、計算システム23には、例えばキーボード28、顕微鏡システムの構成要素用の調整ツール29、およびマウス30から構成される少なくとも1つの入力手段が割り当てられる。少なくとも1つの周辺機器27で、データブロックの処理が行われる。処理中に、プリンタ上の出力、データの圧縮、ディスプレイ上の表示、オンライン評価、またはこのために設けられたメモリユニットの記憶を行うことができる。
図2は、方法の実施形態、いわゆる、規定数のデータブロックのみが伝送される「フレームバースト比」を示している。1回(「フレームバースト」)および「ブロック毎」でないフレームの表示は既に長く知られている。しかし、高速スキャナの場合、計算システムに記録されたデータの処理はデータの記録に追随しないので、この措置は十分でない。既述のように、走査モジュール7、位置センサ11および少なくとも1つの検出器19から構成される高速スキャナには、ローカルメモリ16が割り当てられる。高速スキャナは、リアルタイムでその専用のローカルメモリ16に、同時に計算システム23にもデータを伝送する。計算システム23には、すべてのデータブロック35、35、...、35(フレーム)が記憶される。これに対し、周辺機器27では、「フレームバースト」比Nによって示されたデータブロックのみが処理される。すなわち、例えばN=10の「フレームバースト」では、各10番目のデータブロックのみが処理される。計算システム23で処理されるデータブロックの周波数は一定である。図2に示した実施例では、フレームバースト比はN=3であるので、計算システム23の各3番目の各データブロックが処理部に供給される。これらのデータブロック(フレーム)は図2に斜線で示されている。ユーザは任意のフレームバースト比N(または周波数)を提供でき、これによって、その計算システム23の個々の表示特性にこのフレームバースト比Nを考慮できる。フレームバースト比Nの入力は、ユーザによって、例えばキーボード28、マウス30または調整装置28を介して実施される。
図3に、本発明による方法の第1の実施形態を視覚化しているブロックダイヤグラムが示されている。第1のステップ40では、高速スキャナによって検出されたデータブロック35、35、...、35(フレーム)が計算システム23の内部メモリに伝送される。次に、計算システム23は、第2のステップ44で、フレームバースト比Nに従って計算システム23内のメモリから、例えば各10番目のデータブロックを呼び出す。第1の決定モジュール45では、このデータブロックが最後のデータブロックであったかどうかが点検される。決定モジュール45の結果が「いいえ」の場合、方法は第2の決定モジュール46に進む。この場合、目下のデータブロックがNの倍数であるかどうかが点検される。「はい」の場合、データブロックの処理または表示48が行われる。第2の決定モジュール46において結果が「いいえ」であった場合、第2のステップ44に戻り、対応するデータブロックが計算システムのメモリから呼び出される。第1の決定モジュール45において結果が「はい」であった場合、残りのデータブロックが計算システムのメモリから呼び出され、残りのデータブロック49の処理部及び/又は表示部に供給される。入力モジュール47を介して、ユーザはフレームバースト比Nを自発的に決定できる。次に、このフレームバースト比Nは第2の決定モジュール46に作用する。計算システム23の利用に応じて、ユーザは、フレームバースト比Nを変更するか否かを決定できる。
図4は、同様に規定数のデータブロックのみが処理される方法の別の実施形態を示している。図2で既述したように、高速スキャナ14にはローカルメモリ16が割り当てられる。高速スキャナは、このために設けられた伝送ライン21を介して高速スキャナの専用のローカルメモリ16にリアルタイムで、同時に計算システム23にもデータを伝送する。計算システム23には、すべてのデータブロック35、35、...、35(フレーム)が記憶される。これに対し、「フレームバースト」比Nによって示されたデータブロックのみが処理される。フレームバースト比Nを可変にする適応調整が提供される。このことは、処理されたデータブロックの周波数または分周比が変更されて、計算システム23の瞬間出力に適合されることを意味する。したがって、高速スキャナと計算システム23との間にフィードバック24が設けられ、これによって、高速スキャナに対する計算システム23による減速または加速が点検されかつ必要に応じて後調整され、処理されたデータブロックの周波数が変更される。図5に、本発明による方法の第2の実施形態を視覚化しているブロックダイヤグラムが示されている。図3に示した方法によれば、共焦点走査顕微鏡100のユーザは、フレームバースト比の調整を実験的に決定し、引き続き調整しなければならない。共焦点走査顕微鏡100の処理特性は様々な周辺条件によって決定されるが、決定的ではない。これらの周辺条件は時間的に変化し、フレーム数の増加につれて処理の減速または加速をもたらすことがある。したがって、フレームバースト比の適応後調整は、走査データの最適な表示または処理に不可欠である。この場合、獲得中、計算システム23の側の処理が常に点検される。場合によっては生じる減速/加速はフレームバースト比の増加/低減によって対処される。図3に示した方法と同様に、第1のステップ40では、高速スキャナにより検出されたデータブロック35、35、...、35(フレーム)は計算システム23の内部メモリに伝送される。次に、計算システム23は、第2のステップ44で、最初のフレームバースト比Nに従って計算システム23内のメモリから、例えば各10番目のデータブロックのようなフレームまたはデータブロックを呼び出す。第1の決定モジュール45では、このデータブロックが最後のデータブロックであったかどうかが点検される。決定モジュール45の結果が「いいえ」の場合、方法は第2の決定モジュール46に進む。この場合、目下のデータブロックがNの倍数であるかどうかが点検される。「はい」の場合、データブロックの処理48が行われる。第2の決定モジュール46において結果が「いいえ」であった場合、第2のステップ44に戻り、対応するデータブロックが計算システムのメモリから呼び出される。第1の決定モジュール45において結果が「はい」であった場合、残りのデータブロックが計算システム23のメモリから呼び出され、残りのデータブロック49の処理部に供給される。フィードバックモジュール50は、第1のステップ40と第2の決定モジュール46とを結合する。したがって、フレームバースト比Nを計算システム23の瞬間出力に適合できる。
図6は、スキャナの獲得データの部分的同期伝送、評価ならびに表示のための方法の概略図を示している。図2の表示との違いは、ユーザにより選択されたフレームのみが、所定のフレームバースト比Nに従って計算システム23に同期伝送されかつ処理されることである。高速スキャナは、リアルタイムでその専用のローカルメモリ16にデータを伝送し、同時に、ユーザにより予め設定された固定フレームバースト比に対応するフレームまたはデータブロックのみが、計算システム23に伝送される。計算システム23では、伝送されたデータブロック35N−(N−1)、352N−(N−1)、...、35NN−(N−1)(フレーム)が直ちに処理される。計算システム23で処理されるデータブロックの周波数は一定である。計算システム23で処理されたデータブロック(フレーム)が図6に斜線で示されている。ユーザは任意のフレームバースト比(または周波数)を提示でき、これによって、その計算システム23の個々の処理特性にこのフレームバースト比を考慮できる。事前に、ユーザは処理特性を決定しなければならない。フレームバースト比Nの入力は、図2に記載された方法に従ってユーザにより実施される。非同期伝送されたデータブロックはスキャナのメモリ16に留まり、走査終了後に初めてスキャナから計算システム23に遅れて伝送され、したがって遅延処理される。非同期伝送されたデータブロックは、図6に未記入のボックスとして特徴づけられている。遅延伝送は、概略的に示したデータブロックの点線の矢印によって視覚化されている。これによって、小さな伝送帯域幅、メモリ不足、または他のプロセスによる過度のシステム利用が原因で引き起こされるPCによる遅すぎるデータ受取りを回避できる。
図6に概略的に示したような本発明の第3の実施形態のブロックダイヤグラムが、図7に示されている。図7には、本発明による方法の第3の実施形態を視覚化しているブロックダイヤグラムが示されている。第1のステップ40では、フレームバースト比Nに従ってユーザにより決定されたデータブロック35N−(N−1)、352N−(N−1)、...、35NN−(N−1)(フレーム)が計算システム23の内部メモリに伝送されて、計算システム23で直ちに処理される。第1の決定モジュール45では、このデータブロックが、一定のフレームバースト比による最後のデータブロックであったかどうかが点検される。決定モジュール45の結果が「いいえ」の場合、方法は第2の決定モジュール46に進む。この場合、目下のデータブロックがNの倍数であるかどうかが点検される。「はい」の場合、計算システム23への伝送52が行われ、また計算システム23においてデータブロックの処理54が行われる。第2の決定モジュール46において結果が「いいえ」であった場合、第2のステップ44に戻り、対応するデータブロックがメモリから計算システム23に伝送される。第1の決定モジュール45において結果が「はい」であった場合、計算システムに未だ伝送されていない残りのデータブロックが、高速スキャナから計算システム23に直接送信される。次に、計算システム23では、フレームバースト比Nに対応しない残りのデータブロックの遅延処理56が行われる。
図8は、図6の方法と非常に類似した方法の概略図を示している。図8に示した方法は、固定フレームバースト比Nではなく、計算システム23の目下の出力特徴に適合するフレームバースト比が存在する程度に区別される。最初に、ユーザはフレームバースト比Nを予め設定できる。高速スキャナはリアルタイムでその専用のローカルメモリ16にデータを伝送し、同時に、ユーザにより予め設定された固定フレームバースト比Nに最初に対応するフレームまたはデータブロックのみが、計算システム23に伝送される。計算システム23では、伝送されたデータブロック35N−(N−1)、352N−(N−1)、...、35NN−(N−1)(フレーム)が直ちに処理される。フレームバースト比Nを可変にする適応調整が提供される。このことは、処理されたデータブロックの周波数または分周比が変更されて、計算システム23の瞬間出力に適合されることを意味する。したがって、高速スキャナと計算システム23との間にフィードバック24が設けられ、これによって、高速スキャナに対する計算システム23による可能な減速または加速が点検されかつ必要に応じて後調整される。したがって、同期伝送されかつ処理されたデータブロック35N−(N−1)、352N−(N−1)、...、35NN−(N−1)(フレーム)の周波数が変更される。図8に概略的に示したような本発明の第4の実施形態のブロックダイヤグラムが、図9に示されている。図9には、本発明による方法の第4の実施形態を視覚化しているブロックダイヤグラムが示されている。第1のステップ40では、フレームバースト比Nに従ってユーザにより最初に決定されたデータブロック35N−(N−1)、352N−(N−1)、...、35NN−(N−1)(フレーム)が計算システム23の内部メモリに伝送されて、計算システム23で直ちに処理される。第1の決定モジュール45では、このデータブロックが、適合可能なフレームバースト比Nによる最後のデータブロックであったかどうかが点検される。決定モジュール45の結果が「いいえ」の場合、方法は第2の決定モジュール46に進む。この場合、目下のデータブロックがNの倍数であるかどうかが点検される。「はい」の場合、計算システム23への伝送52が行われ、次に、計算システム23においてデータブロックの記憶および処理54が行われる。フィードバックモジュール60は、データブロックの記憶および処理54が行われる計算システム23と結合される。
第2の決定モジュール46において結果が「いいえ」であった場合、第2のステップ44に戻り、対応するデータブロックがメモリから計算システム23に伝送される。第1の決定モジュール45において結果が「はい」であった場合、計算システムに未だ伝送されていない残りのデータブロックが計算システム23に送信される。次に、計算システム23では、フレームバースト比Nに対応しない残りのデータブロックの非同期処理56が行われる。したがって、フレームバースト比Nを計算システム23の目下の出力能力に適合できる。これによって、小さな伝送帯域幅、メモリ不足、または他のプロセスによる過度のシステム利用が原因で引き起こされる計算システム23による遅すぎるデータ受取りを回避できる。
第2および第4の実施例では、フレームバースト比Nは計算システム23の状態に適合される。ユーザによる開始値プリセットの方法とならんで、計算システム23それ自体によりフレームバースト比Nの開始値を予め設定できる。このフレームバースト比Nは、計算システム23で調整された走査速度およびあり得る処理ルーチンに基づき、データ記録サイクルの間に適切なアルゴリズムを用いて自動選択される。計算システム23は、計算システム23によって実際に処理されたデータブロックの数と、スキャナによって獲得されたデータブロックの差とを常に点検する。獲得されたデータブロックと処理されたデータブロックとの差が決定され、これと関連する対応する動作が開始される。最適な場合、計算システムの能力が完全に利用される場合、その差は0である。この状態は、適応調整によって可能な限り維持すべきである。
その差が大きくなると、計算システム23は、要求されたフレームバースト比Nを達成することができない。フレームバースト比Nは上昇する。その差がゼロでなく、ならびに計算システム23の能力が完全に利用されない場合、計算システム23は、要求されたフレームバースト比Nを要求された程度を越えて達成することができる。フレームバースト比Nはこの場合低減される。
データ記録サイクルのフレームバースト比Nについて算出されたすべての値は、適切なアルゴリズムにより計算システムの実験値に統合される(例えば、最も簡単な場合、平均値作成によって)。この実験値は、その後の匹敵するデータ記録サイクルでより最適な開始値を予め設定するために計算システムに記憶される。
データ記録サイクルの次のシナリオの例は、フレームバースト比Nの適応調整を明らかにする。最初に、フレームバースト比Nは10に予め設定される。差は50に増大し、フレームバースト比Nは20に上昇する。別のデータ記録サイクルの間に、差は0に落ち、また計算システム23の能力が完全に利用されている場合、フレームバースト比Nは、値20に調整されたままである。データ記録中、ユーザは走査パラメータを変更する。その差は100に増大する。その結果、フレームバースト比Nは30に上昇される。走査パラメータは変更され、計算システム23の能力が利用されない場合、その差はゼロ未満に落ちる。したがって、フレームバースト比Nは20に低減される。計算システム23は外部プロセスによって妨害される。したがって、その差は50に再び増大する。フレームバースト比Nは25に上昇する。フレームバースト比Nのこの変化は全体のデータ記録サイクルの間継続される。
高速スキャナを有する走査顕微鏡の概略図である。 リアルタイムシステムから非リアルタイムシステムへのデータ伝送の概略図であり、この場合、処理されるデータブロックの周波数は予め選択される。 図2に概略的に示したような本発明の第1の実施形態のブロックダイヤグラムである。 リアルタイムシステムから非リアルタイムシステムへのデータ伝送の概略図であり、この場合、処理されるデータブロックの周波数は計算システムの出力に適合可能である。 図4に概略的に示したような本発明の第2の実施形態のブロックダイヤグラムである。 リアルタイムシステムから非リアルタイムシステムへのデータ伝送の概略図であり、この場合、同期伝送されるデータブロックの周波数は予め選択され、伝送されないデータは走査端で計算システムに非同期伝送される。 図6に概略的に示したような本発明の第3の実施形態のブロックダイヤグラムである。 リアルタイムシステムから非リアルタイムシステムへのデータ伝送の概略図であり、この場合、同期伝送されるデータブロックの周波数は計算システムに適合され、伝送されないデータは走査端で計算システムに非同期伝送される。 図8に概略的に示したような本発明の第4の実施形態のブロックダイヤグラムである。

Claims (17)

  1. 高速スキャナを有する走査顕微鏡でデータ処理するための方法において、
    −前記高速スキャナによってデータブロックをリアルタイムで記録するステップと、
    −記録されたデータブロックを計算システム(23)に伝送するステップと、
    −フレームバースト比(N)に基づき前記データブロックを処理するステップと、
    を特徴とする方法。
  2. 前記記録されたデータブロックの伝送が前記フレームバースト比(N)に基づき行われ、前記フレームバースト比(N)が、計算システム(23)の出力の最適利用が行われるように選択されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  3. 前記フレームバースト比(N)が、計算システム(23)の処理特性に基づきユーザによって選択され、一方、前記データブロックの記録が一定であることを特徴とする、請求項2に記載の方法。
  4. 計算システム(23)にすべてのデータブロック(35、35、...、35)が記憶されることと、一定の「フレームバースト」比(N)によって決定される前記データブロックが処理されることとを特徴とする、請求項3に記載の方法。
  5. 前記フレームバースト比(N)を可変にする適応調整が提供されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  6. 前記フレームバースト比(N)の開始値がデータ記録の初めに予め設定されることを特徴とする、請求項5に記載の方法。
  7. 前記フレームバースト比(N)が、前記伝送されたデータブロックの周波数または分周比を決定して、計算システム(23)の瞬間出力に適合することと、計算システム(23)にすべてのデータブロック(35、35、...、35)が記憶されることと、前記可変「フレームバースト」比(N)によって決定される前記データブロックが処理されることとを特徴とする、請求項6に記載の方法。
  8. 前記フレームバースト比(N)が、計算システム(23)の処理特性に基づきユーザによって選択され、一方、前記データブロックの記録が一定であることと、同時に、ユーザにより予め設定された前記固定フレームバースト比(N)に対応する前記データブロックのみが計算システム(23)に伝送されて、計算システム(23)によって処理されることとを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  9. 未だ伝送されていない前記データブロックが計算システム(23)に遅れて伝送されて処理されることを特徴とする、請求項8に記載の方法。
  10. 前記フレームバースト比(N)が計算システム(23)の処理特性に基づき選択されて、前記データブロックの記録中に前記計算システムによって適合されることと、同時に、前記可変フレームバースト比(N)に対応する前記データブロックのみが計算システム(23)に伝送されかつ同時に処理されることとを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  11. 前記可変フレームバースト比(N)に対応しない前記データブロックが計算システム(23)に遅れて伝送され及び/又は処理されることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
  12. 走査モジュール(7)と位置センサ(11)と少なくとも1つの検出器(19)とから構成される高速スキャナと、計算システム(23)と、計算システム(23)に割り当てられた少なくとも1つの周辺機器(27)と、入力手段(25)とを有する走査顕微鏡において、
    前記高速スキャナにローカルメモリ(16)が割り当てられ、前記高速スキャナのローカルメモリ(16)から計算システム(23)にデータブロックが伝送可能であり、計算システム(23)の出力の最適利用が達成可能であるようにフレームバースト比(N)が選択されることと、前記伝送されたデータブロックがフレームバースト比(N)に基づき周辺機器(27)で処理可能であることとを特徴とする走査顕微鏡。
  13. フレームバースト比(N)に基づき、データブロックが計算システム(23)に伝送可能であることを特徴とする、請求項12に記載の走査顕微鏡。
  14. 前記フレームバースト比(N)がデータ記録サイクルの間一定であり、計算システム(23)の処理特性を反映することを特徴とする、請求項12に記載の走査顕微鏡。
  15. データ記録サイクルの間に前記フレームバースト比(N)を適合する計算システム(23)の適応調整が提供されることを特徴とする、請求項12に記載の走査顕微鏡。
  16. 前記フレームバースト比(N)がデータ記録サイクルの間一定であり、かつ計算システム(23)の処理特性を反映することと、計算システム(23)が、固定フレームバースト比(N)に対応する前記データブロックを最初に受信することとを特徴とする、請求項12に記載の走査顕微鏡。
  17. データ記録サイクルの間に前記フレームバースト比(N)を適合する適応調整が提供されることと、計算システム(23)が、前記可変フレームバースト比(N)に対応する前記データブロックを最初に受信することとを特徴とする、請求項12に記載の走査顕微鏡。
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