JP2005353233A

JP2005353233A - 有機ホログラム素子、光ピックアップ用半導体レーザモジュール、光ピックアップ及び有機ホログラム素子の作製方法

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Publication number: JP2005353233A
Application number: JP2004175636A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Suzudo; 剛鈴土
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2004-06-14
Filing date: 2004-06-14
Publication date: 2005-12-22

Abstract

【課題】凹凸状周期構造の凹部に材料を充填する際に発生する、凹凸状周期構造の基板法線方向からの格子倒れを防ぎ、素子としての回折効率の素子間均一性を向上させることである。
【解決手段】第１の回折格子４を構成する凹凸状周期構造の凹部に透明な材料８を充填する際に発生する、凹凸状周期構造の基板法線方向からの格子倒れを、当該第１の回折格子４に対する第２の回折格子７の噛み合わせ構造により防止するようにした。よって、有機ホログラム素子１としての回折効率の素子間均一性を向上させることができ、この結果、素子量産性の向上を図ることができ、歩留良く素子を生産でき、この量産効果により素子コストも低減させることができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、入射する光を分離するために利用される有機ホログラム素子、この有機ホログラム素子を備える光ピックアップ用半導体レーザモジュール、光ピックアップ及び有機ホログラム素子の作製方法に関する。

近年、様々な光記録媒体に対応する光ピックアップが研究開発されている。一つは、波長７８０ｎｍのレーザ光を用いるＣＤ(Compact Disc)系の読取り用光ピックアップ、書込み用光ピックアップであり、また、波長６６０ｎｍ程度のレーザ波長を用いるＤＶＤ(Digital Versatile Disc)系の読取り用、書込み用の光ピックアップである。また、将来の高密度光ディスクとして、より短波長の青色レーザ光を用いた光ディスク用ピックアップも研究開発が盛んに行われている。これらの光ピックアップは、個別の技術課題はあるものの、ピックアップ部分の小型化や、低コスト化等の共通の課題を持っており、これらの課題に対する開発が盛んである。

光ピックアップの小型化や低コスト化に対して有効な構成として、ホログラム素子を利用した光学系が採用されている。これは、レーザ光の往路、復路の分離を行うための素子であり、従来はビームスプリッタ等の光学素子を使用していたため、光学系が大型化していた部分を解決するだけでなく、半導体レーザチップと同一面に信号検出素子を配置できるため、光路の設計が容易になり、かつ、部品点数も低減できると言うメリットを持っている。また、記録密度の異なる複数種類の記録媒体の書込み、読取りを一つの光ピックアップで行う場合においても、光路を共通化可能であることから、有効な光学系であると考えられている。

このようなホログラム素子の例を挙げると、第一に、特許文献１に示されるように複屈折材料であるニオブ酸リチウム基板を用いて偏光ホログラム素子を作製してなる一般的なホログラム素子の例がある。

第二に、特許文献２によれば、光学的等方性基板上に有機膜（ポリアセチレン配向膜）を形成することで、低コストな偏光分離素子が提供されている。第三に、特許文献３によれば、光学的等方性基板上に複屈折性を持った高分子膜を形成することにより、低コストな偏光分離素子が提供されている。

特開２０００−１９９８２０公報特開２０００−２２１３２５公報特開２０００−７５１３０公報

ところが、特許文献１の場合、基板が高価であることや、その加工性において回折素子パターンを狭ピッチ化することが困難であり、その回折角度を大きく取ることができない等の問題点がある。これにより、素子の低コスト供給やホログラム素子を用いた光学系を小型化することができない。

これに対して、特許文献２，３の場合には、素子も低コスト化可能であり、格子ピッチも狭ピッチ化することが可能であるために、素子の低コスト供給や偏光ホログラム素子を用いた光学系を小型化することが可能である。

しかし、特許文献２の場合においては、有機膜の形成に蒸着等の方法を利用しており、その工程コストとしては、特許文献３の場合と比較し、高価となってしまい、低コスト化に限界がある。この点、特許文献３においては、工程コストも抑えられ、低コスト化が可能である。

ここで、ホログラム素子の回折効率特性に注目すると、（１）式に示すＱ値が１より大きい場合には、体積ホログラム効果が発生し、入射角度依存性が発生する。このため、ホログラム素子のピッチの狭ピッチ化を行う際には、回折格子の基板面からの格子の倒れによる±１次回折光の不均一性が発生することがあり、格子倒れが発生しやすい有機材料によるホログラム素子においては、その防止策が必要である。

Ｑ＝（２πλ₀Ｔ）／（ｎ₀Λ²） ………………………………（１）
ただし、λ₀：入射光波長、Ｔ：回折格子深さ（格子厚み）、ｎ₀：回折格子平均屈折率、Λ：格子周期である。

本発明の目的は、凹凸状周期構造の凹部に材料を充填する際に発生する、凹凸状周期構造の基板法線方向からの格子倒れを防ぎ、それによりホログラム素子としての回折効率の素子間均一性を向上させ、これにより、素子量産性を向上させ、歩留良く素子が生産でき、量産効果により素子コストも低減させることができるようにすることである。

本発明の他の目的は、上記目的を実現する上で回折効率を向上させることである。

本発明の他の目的は、上記目的を実現する上で有機ホログラム素子の強度を高めることである。

本発明の他の目的は、上記目的を実現する上で有機ホログラム素子の作製プロセスを簡略化させることである。

本発明の他の目的は、上記目的を実現する上で有機ホログラム素子の高機能化を図れるようにすることである。

本発明の他の目的は、上記目的を実現する上で偏光方向により完全透過と回折とを行わせることができる偏光ホログラム素子としての機能を持たせるようにすることである。

本発明の目的は、特性の均一性の高い光ピックアップ用半導体レーザモジュール又は光ピックアップを提供することである。

請求項１記載の発明の有機ホログラム素子は、光学的に透明な第１の基板と、この第１の基板上に積層されて凹凸状の第１の回折格子が形成された有機フィルム材料膜と、光学的に透明で前記第１の回折格子に対向させた第２の基板と、この第２の基板上に前記第１の回折格子とほぼ同一のパターンで形成されて前記第１の回折格子の凹部分に凸部分が噛み合うように配置させた凹凸状の第２の回折格子と、これらの第１の回折格子と第２の回折格子との噛み合わせ部分に充填されて両者を接着する光学的に透明な材料と、よりなる。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の有機ホログラム素子において、前記光学的に透明な材料の屈折率と、前記第２の回折格子部分の屈折率とが同一である。

請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の有機ホログラム素子において、前記光学的に透明な材料と、前記第２の回折格子部分の材料とが同一である。

請求項４記載の発明は、請求項１ないし３の何れか一記載の有機ホログラム素子において、前記第１の回折格子の凹部分の深さよりも前記第２の回折格子の凹部分の深さの方が深い。

請求項５記載の発明は、請求項１ないし４の何れか一記載の有機ホログラム素子において、前記光学的に透明な材料は、光硬化性の有機材料である。

請求項６記載の発明は、請求項１ないし５の何れか一記載の有機ホログラム素子において、前記有機フィルム材料膜の材料は、直交する光学軸の屈折率が異なるように光学的異方性を持つ有機材料である。

請求項７記載の発明は、請求項６記載の有機ホログラム素子において、前記光学的に透明な材料の屈折率は、光学的異方性を持つ有機材料の進相軸又は遅相軸の何れかの光学軸の屈折率とほぼ同一の屈折率である。

請求項８記載の発明の光ピックアップ用半導体レーザモジュールは、レーザ光を発する半導体レーザチップと、光信号を受光するための受光素子と、前記半導体レーザチップから出射されたレーザ光を目的方向に透過させ光信号を含む戻り光を前記受光素子に向けて回折させる請求項１ないし７の何れか一記載の有機ホログラム素子と、を同一パッケージ内に実装してなる。

請求項９記載の発明の光ピックアップは、請求項８記載の光ピックアップ用半導体レーザモジュールと、この光ピックアップ用半導体レーザモジュールから出射されたレーザ光を光記録媒体に集光照射させるとともに当該光記録媒体からの戻り光を前記光ピックアップ用半導体レーザモジュール内に導く対物レンズと、を備える。

請求項１０記載の発明の有機ホログラム素子の作製方法は、光学的に透明な第１の基板上に有機フィルム材料膜を積層させて当該有機フィルム材料膜上に凹凸状の第１の回折格子を形成する工程と、光学的に透明な第２の基板上に前記第１の回折格子とほぼ同一パターンの第２の回折格子を形成する工程と、前記第１の回折格子の凹部内に光学的に透明な材料を充填させるとともに当該第１の回折格子の凹部分に凸部分が噛み合うように前記第２の回折格子を位置決め配置させる工程と、これらの第１の回折格子と第２の回折格子との噛み合わせ部分に充填させた前記光学的に透明な材料により両者を接着する工程と、を備える。

請求項１記載の発明によれば、第１の回折格子を構成する凹凸状周期構造の凹部に透明な材料を充填する際に発生する、凹凸状周期構造の基板法線方向からの格子倒れを、当該第１の回折格子に対する第２の回折格子の噛み合わせ構造により、防止することができる。よって、有機ホログラム素子としての回折効率の素子間均一性を向上させることができ、この結果、素子量産性の向上を図ることができ、歩留良く素子を生産でき、この量産効果により素子コストも低減させることができる。

請求項２記載の発明によれば、主な回折格子である第１の回折格子の凹部分の屈折率が統一されるために、不要な回折光の発生を防ぐことができ、必要な回折光を効率よく取り出すことができる。

請求項３記載の発明によれば、主な回折格子である第１の回折格子の凹部分の材料が統一されるために、屈折率の微小な不一致も回避され、不要な回折光の発生を防ぐことができ、必要な回折光を効率よく取り出すことができる。

請求項４記載の発明によれば、第１の回折格子の凹部分の深さよりも、第２の回折格子の凹部分の深さの方が深いので、両者を噛み合わせる際に両回折格子形状間に必ずギャップを持たせることができ、よって、透明な材料による接着強度を保つことができ、素子としての強度を高めることができる。

請求項５記載の発明によれば、光硬化性の有機材料を使用しているので、光照射のみのプロセスで両回折格子を接着固定することが可能になるため、熱印加等のプロセスが必要無くなり、素子作製プロセスを簡略化させることができる。

請求項６記載の発明によれば、有機フィルム材料が光学的異方性を持った材料であるので、入射するレーザ光の偏光方向の違いによる回折効率の違いを、素子に持たせることができる。

請求項７記載の発明によれば、有機フィルム材料膜上の凹凸状の第１の回折格子内に充填する光学的に透明材料の屈折率が光学的異方性を持った有機材料の進相軸又は遅相軸の何れかの光学軸屈折率とほぼ同一の屈折率であるので、回折格子の一方の軸方向は屈折率が同一となり、完全に透過することができ、それと直交する偏光方向のみ回折することが可能な、偏光ホログラム素子を実現することができる。

請求項８記載の発明によれば、均一性の高い請求項１ないし７の何れか一記載の有機ホログラム素子を搭載しているので、特性の均一性の高い光ピックアップ用半導体レーザモジュールを提供することができる。

請求項９記載の発明によれば、均一性の高い請求項１ないし７の何れか一記載の有機ホログラム素子を搭載した光ピックアップ用半導体レーザモジュールを搭載しているので、特性の均一性の高い光ピックアップを提供することができる。

請求項１０記載の発明によれば、請求項１記載の有機ホログラム素子を量産性よく生産することができ、よって、歩留良く有機ホログラム素子を生産でき、この量産効果により素子コストも低減させることができる。

本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。図１は本実施の形態の有機ホログラム素子１の構成例を示す概略断面図、図２はその作製方法を工程順に示す概略断面図である。

本実施の形態の有機ホログラム素子１は、光学的に透明な１．０ｍｍ厚みのＢＫ７基板２上にエポキシ系の紫外線硬化型樹脂３（約４０μｍ厚さ）を介して、第１の回折格子４が形成された厚さ約１００μｍのポリエステル系の有機複屈折膜（有機フィルム材料膜）５が形成された部品と、光学的に透明な１．０ｍｍ厚みのＢＫ７基板６の下部にエポキシ系の紫外線硬化型樹脂にて形成した厚み約１００μｍの樹脂層部分に、第２の回折格子７が形成された部品とを備え、これらの部品をその回折格子４，７同士が噛み合う、即ち、第１の回折格子４の凹部分に第２の回折格子７の凸部分が入り込んで噛み合うように対向配置させ、これらの回折格子４，７同士を第１の回折格子４の凹部分に充填させた光学的に透明な材料であるエポキシ系の紫外線硬化型樹脂８を用いて接着することにより構成されている。

ここで、第１の回折格子４はその格子ピッチが１．９μｍ、凹凸デューティが０．５、格子深さｄ１が２．７μｍとして形成されている。また、有機複屈折膜５の屈折率は、１．５８と１．６７であり、紫外線硬化型樹脂３，８の屈折率は１．５８（ともに波長６６０ｎｍにおける屈折率）とされている。また、第２の回折格子７その格子ピッチが１．９μｍ、凹凸デューティが０．２、格子深さｄ２が２．７μｍとして形成されている。即ち、第２の回折格子７は第１の回折格子４に対して噛み合い可能なように第１の回折格子４とほぼ同一のパターンで形成されている。

このような有機ホログラム素子１の作製方法について図２を参照して簡単に説明する。まず、図２（ａ）に示すように、ＢＫ７基板２上に接着剤３を介して有機複屈折膜５を形成する。ここでは、スピン法を用いて形成する。そのプロセスとしては、ＢＫ７基板２上に接着剤３をスピンコート法で形成し、気泡を混入させないように有機複屈折膜５をＢＫ７基板２上に搭載させる。その後、基板２を回転させ、余分な接着剤３を振り切り、かつ、遠心力によって有機複屈折膜５の平坦化を実施し、最後に紫外線を照射することで形成すればよい。

次に、図２（ｂ）に示すように、第１の回折格子４部分を形成する。回折格子４の形成にはドライエッチングを用い、酸素プラズマによるドライエッチングを実施することにより形成した。エッチングマスクにはアルミ金属薄膜を利用し、フォトリソ工程とウェットエッチングによりアルミマスクパターンを形成し、エッチングマスクとしている。

次に、図２（ｃ）に示すように、別のＢＫ７基板６上（図中では、下部）にエポキシ系紫外線硬化型樹脂材料９をスピンコート法で約１００μｍで形成し、紫外線照射によって硬化させる。そして、図２（ｄ）に示すように、第２の回折格子７部分を形成する。回折格子７の形成にはドライエッチングを用い、酸素プラズマによるドライエッチングを実施することにより形成した。エッチングマスクにはアルミ金属薄膜を利用し、フォトリソ工程とウェットエッチングによりあるマスクパターンを形成し、エッチングマスクとしている。

この後、図２（ｅ）に示すように、第１の回折格子４の凹部内に光学的に透明な材料であるエポキシ系の紫外線硬化型樹脂８を充填させるとともに当該第１の回折格子４の凹部分に凸部分が噛み合うように第２の回折格子７を位置決め配置させ、これらの第１の回折格子４と第２の回折格子７との噛み合わせ部分に充填させた紫外線硬化型樹脂８により両者を接着させる。ここで、エポキシ系の紫外線硬化型樹脂８は材料ボッティングとスピンコートを行い、アライメント作業を実施して位置合せを行い、スピンコート後に紫外線を照射してエポキシ系紫外線硬化型樹脂８を硬化させることで接着固定させるようにした。

このように形成された本実施の形態の有機ホログラム素子１の動作について説明する。ここではＤＶＤ用光ピックアップで使用される波長６６０ｎｍのレーザ光を扱う場合について説明する。レーザ光が有機ホログラム素子１に入射すると回折光が発生する。ここでは、有機複屈折膜５上に回折格子４を形成しているため、入射するレーザ光の偏光方向によって回折効率が異なる。ここでは、有機複屈折膜５の１．５８の屈折率を持つ光学軸方向の偏光では、充填している樹脂８の屈折率と同様なので、回折格子４が存在しないと同等であり、回折効率が低い。そのため、ほとんどのレーザ光が透過することになる。一方、その直交する偏光方向では充填している樹脂８とに屈折率差が存在するため、約３２％の回折効率が得られることになる。

ここで、有機ホログラム素子の格子倒れについて説明する。回折格子の倒れの現象は格子埋め込みの際に発生すると考えられる。一般に、回折格子に対する樹脂の充填を図３のように行っている。ここでは、φ１００ｍｍ基板を用い、素子サイズは３ｍｍ×３ｍｍのサイズの場合を示している。なお、図３は回折格子の倒れ現象を模式的に示すために、簡素化した図にしている。まず、図３（ａ）に示すように、回折格子１００（回折格子４に相当）を上面にし、充填する樹脂１０１（樹脂８に相当）をウエハ１０２上にボッティングする。その後、図３（ｂ）に示すように、スピンコートにより樹脂１０１を広げる。最終的には図３（ｃ）に示すように樹脂１０１を平坦化し、紫外線硬化させることで、格子１００内に樹脂を充填する。ここで、スピンコートの遠心力によって回折格子１００が、周辺側に傾く場合がある。又は、逆に、樹脂硬化の際の収縮によって、図３（ｃ）の場合とは逆に内側に格子１００が傾く場合がある。ここに、有機ホログラム素子においては、Ｑ値が約１．８５であるため、このように回折格子が傾く場合には、傾きだけで約±３％程度の±1次光の効率ばらつきが発生してしまい、加工の公差よりも大きなばらつきを持ってしまう。そのため加工の公差を厳しくしなければならなくなり生産性が低下する。

そこで、本実施の形態においては、第１の回折格子４に対して第２の回折格子７を噛み合わせる素子構成としている。このような噛み合い構造により、一つ一つの格子凸部分の格子倒れが防止できる。そのため、有機ホログラム素子１の±1次回折効率の均一性が保たれることになる。これにより、素子の特性の均一性が向上し、素子歩留が向上することとなる。これにより素子生産性が向上し、素子コストも低減できることとなる。

また、第２の回折格子７と充填樹脂材料８とが同一の材料を使用し、屈折率も同一であるため、第２の回折格子７は回折格子としては機能せず、回折格子形状部として存在することとなり、不要な回折光を発生させることのない有機ホログラム素子１を実現できる。そのため、有機ホログラム素子１としての効率が向上する。また、充填樹脂材料８が光硬化型樹脂であるため、素子作製工程を簡略化させることもできる。一方、第１の回折格子４を形成している材料が複屈折材料であるため、有機ホログラム素子１に偏光性が付加され、かつ、複屈折材料の一方の軸方向屈折率と、充填樹脂材料８の屈折率とを合わせているため、有機ホログラム素子１が偏光ホログラム素子として機能することになる。

図４に有機ホログラム素子１の変形構成例を示す。図１では、第１，２の回折格子４，７についてその格子深さをｄ１＝ｄ２＝２．７μｍとした例を示したが、図４では、ｄ１＝２．７μｍ、ｄ２＝５μｍとすることで、第１の回折格子４の凹部分の深さよりも第２の回折格子７の凹部分の深さの方が深くなるようにした構成例を示している。他の構成内容、作製方法、及び動作は図１で説明した場合と同じである。

このような構成の有機ホログラム素子１によれば、図１等の構成による場合の効果に加えて、第１の回折格子４の格子深さよりも、第２の回折格子７の格子深さの方が深いため、回折格子４の凸部と回折格子７の凹部との間に必ずギャップが確保され、これにより、充填樹脂材料８による接着の強度が増すことになり、素子強度を高めることができる。

つづいて、前述したような構成の有機ホログラム素子１を用いた光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１に関する実施の形態を図５を参照して説明する。図５は本実施の形態の光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１の構成例を示す概略断面図である。

本実施の形態の光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１は、ステム１２に半導体レーザチップ１３と受光素子１４とを実装し、このステム１２を内蔵するパッケージ１５に例えば図４に示した構成の有機ホログラム素子１を一体に実装させることにより構成されている。ここに、半導体レーザチップ１３としては例えばＤＶＤ用の波長６６０ｎｍのレーザ光を発するものが用いられている。

このような光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１において、半導体レーザチップ１３から出射された波長６６０ｎｍのレーザ光は有機ホログラム素子１をそのまま透過し、当該光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１より出射される。その際には、有機ホログラム素子１の透過率の高い偏光方向と、半導体レーザチップ１３の偏光方向とを合わせて実装することにより、半導体レーザチップ１３から出射されたレーザ光の光量がほぼ全て光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１より出射される。

次に、受光については、有機ホログラム素子１部分に入射したレーザ光（戻り光）は、所定の光学系により偏光方向が９０°回転して入射するようになっており、それによって有機ホログラム素子１においてレーザ光が回折し、一方の回折光が受光素子１４に入射し、信号を受光できる構成となっている。

ここで、本実施の形態の光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１は、前述したように有機ホログラム素子１が、回折効率や透過率の均一性の高いホログラム素子であるため、モジュールの均一性も高い光ピックアップ用半導体レーザモジュールを実現することができる。

さらに、前述したような構成の光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１を用いた光ピックアップ２１に関する実施の形態を図６を参照して説明する。図６は本実施の形態の光ピックアップ２１の構成例を示す概略断面図である。

本実施の形態の光ピックアップ２１は、前述の光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１の出射光路上に、レーザ光を平行光化させるコリメータレンズ２２、１／４波長板２３及び対物レンズ２４を順に配設させてなり、対象となるＤＶＤ等の光記録媒体２５に対してレーザ光を集光照射させたり、光記録媒体２５からの戻り光を受光素子１４に受光させたりし得る構成とされている。なお、実際の光ピックアップ２１は他にも対物レンズアクチュエータ等の構成部品が存在するが、図６では簡略化した構成を示している。

このような構成において、光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１から出射したレーザ光は、コリメータレンズ２２、１／４波長板２３、対物レンズ２４を通過し、光記録媒体２５に集光照射される。光記録媒体２５に照射されたレーザ光は、光記録媒体２５の情報を持って、反射され、再度対物レンズ２４等の光学系を通過し、光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１に戻る。その際には、１／４波長板２３を往復するため、光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１には偏光方向が出射光とは９０°回転して戻ることになり、光ピックアップ用半導体レーザモジュール１１において受光素子１４に回折させることで信号を受光することができる。

本実施の形態の光ピックアップ２１は、用いている有機よるホログラム素子１が、回折効率や透過率の均一性の高いホログラム素子であるため、特性の均一性も高い光ピックアップ２１を実現することができる。

本発明の一実施の形態の有機ホログラム素子の構成例を示す概略断面図である。その作製方法を工程順に示す概略断面図である。回折格子に対する樹脂充填工程を示す概略断面図である。有機ホログラム素子の変形構成例を示す概略断面図である。本発明の一実施の形態の光ピックアップ用半導体レーザモジュールの構成例を示す概略断面図である。本発明の一実施の形態の光ピックアップの構成例を示す概略断面図である。

符号の説明

１有機ホログラム素子
２第１の基板
４第１の回折格子
５有機フィルム材料膜
６第２の基板
７第２の回折格子
８透明な材料
１１光ピックアップ用半導体レーザモジュール
１３半導体レーザチップ
１４受光素子
１５パッケージ
２１光ピックアップ
２４対物レンズ
２５光記録媒体

Claims

光学的に透明な第１の基板と、
この第１の基板上に積層されて凹凸状の第１の回折格子が形成された有機フィルム材料膜と、
光学的に透明で前記第１の回折格子に対向させた第２の基板と、
この第２の基板上に前記第１の回折格子とほぼ同一のパターンで形成されて前記第１の回折格子の凹部分に凸部分が噛み合うように配置させた凹凸状の第２の回折格子と、
これらの第１の回折格子と第２の回折格子との噛み合わせ部分に充填されて両者を接着する光学的に透明な材料と、
よりなることを特徴とする有機ホログラム素子。
前記光学的に透明な材料の屈折率と、前記第２の回折格子部分の屈折率とが同一である、ことを特徴とする請求項１記載の有機ホログラム素子。
前記光学的に透明な材料と、前記第２の回折格子部分の材料とが同一である、ことを特徴とする請求項１又は２記載の有機ホログラム素子。
前記第１の回折格子の凹部分の深さよりも前記第２の回折格子の凹部分の深さの方が深い、ことを特徴とする請求項１ないし３の何れか一記載の有機ホログラム素子。
前記光学的に透明な材料は、光硬化性の有機材料である、ことを特徴とする請求項１ないし４の何れか一記載の有機ホログラム素子。
前記有機フィルム材料膜の材料は、直交する光学軸の屈折率が異なるように光学的異方性を持つ有機材料である、ことを特徴とする請求項１ないし５の何れか一記載の有機ホログラム素子。
前記光学的に透明な材料の屈折率は、光学的異方性を持つ有機材料の進相軸又は遅相軸の何れかの光学軸の屈折率とほぼ同一の屈折率である、こと特徴とする請求項６記載の有機ホログラム素子。
レーザ光を発する半導体レーザチップと、
光信号を受光するための受光素子と、
前記半導体レーザチップから出射されたレーザ光を目的方向に透過させ光信号を含む戻り光を前記受光素子に向けて回折させる請求項１ないし７の何れか一記載の有機ホログラム素子と、
を同一パッケージ内に実装してなることを特徴とする光ピックアップ用半導体レーザモジュール。
請求項８記載の光ピックアップ用半導体レーザモジュールと、
この光ピックアップ用半導体レーザモジュールから出射されたレーザ光を光記録媒体に集光照射させるとともに当該光記録媒体からの戻り光を前記光ピックアップ用半導体レーザモジュール内に導く対物レンズと、
を備えることを特徴とする光ピックアップ。
光学的に透明な第１の基板上に有機フィルム材料膜を積層させて当該有機フィルム材料膜上に凹凸状の第１の回折格子を形成する工程と、
光学的に透明な第２の基板上に前記第１の回折格子とほぼ同一パターンの第２の回折格子を形成する工程と、
前記第１の回折格子の凹部内に光学的に透明な材料を充填させるとともに当該第１の回折格子の凹部分に凸部分が噛み合うように前記第２の回折格子を位置決め配置させる工程と、
これらの第１の回折格子と第２の回折格子との噛み合わせ部分に充填させた前記光学的に透明な材料により両者を接着する工程と、
を備えることを特徴とする有機ホログラム素子の作製方法。