JP2005351945A - Mirror for optical scanning, method of optical scanning, optical scanner and image forming device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the work load of an optical system while forming a beam, multi-beams are realized in a highly precise manner, the width of the beams is easily expanded, the size of a unit including the optical system is made small and plane scanning can be conducted. <P>SOLUTION: An optical scanning mirror 100 is provided with four mirrors in the direction of an axis of rotation 102 of a rotating body 101 and each mirror has two mirror surfaces 104 and 105. The mirror faces are separated by two blanking sections 106, the tilt with respect to the axis of rotation 102 continuously varies from a starting end (a scanning starting position) 104a to an end (a scanning completion position) 104b and a twisted face is constituted using an inner circumference 103 as a reference. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、レーザ光ビームなどにより被走査面を走査する技術に関し、特に、そのような光走査のための新規な光走査用ミラー、光走査方法、光走査装置および画像形成装置に関する。本発明による光走査用ミラー、光走査方法及び光走査装置は、電子写真方式や感熱記録方式のプリンタ、複写機などの画像形成装置、プリント基板や印刷分野における版下用フィルムまたはCTPなどの刷版作成用イメージセッタもしくはプロッタ装置、さらには銀塩フィルムを感光させて像を形成する用途などに広く適用可能である。   The present invention relates to a technique for scanning a surface to be scanned with a laser beam or the like, and more particularly, to a novel optical scanning mirror, optical scanning method, optical scanning apparatus, and image forming apparatus for such optical scanning. An optical scanning mirror, an optical scanning method, and an optical scanning device according to the present invention include an electrophotographic or thermal recording type printer, an image forming apparatus such as a copying machine, a printing substrate or a printing film such as CTP in the printing field. The present invention can be widely applied to an image setter or plotter device for making a plate, and a use for forming an image by exposing a silver salt film.

この種の従来技術としては、例えば、柱状体の中心軸に対する傾斜角が連続的に変化する直線の包絡面である自由曲面を反射面とした側面を備えた回転鏡、及び、その回転鏡を用いた走査光学装置がある(例えば、特許文献1を参照)。   As this type of prior art, for example, a rotating mirror having a side surface with a free curved surface that is a straight envelope surface whose inclination angle with respect to the central axis of the columnar body changes continuously, and a rotating mirror thereof, There is a scanning optical device used (for example, see Patent Document 1).

該回転鏡は、回転時の風損を避けることを目的とし、ミラー面への光入射方向は、ミラー面よりも結像対象面側の方向で、かつ、ミラー回転軸に対して垂直から外れる方向としている。また、本回転鏡は、自由曲面であれば何でも良いため、断面が楕円であるミラー形状も採用している。   The rotating mirror is intended to avoid windage loss during rotation, and the light incident direction on the mirror surface is a direction closer to the imaging target surface than the mirror surface and deviates from the vertical to the mirror rotation axis. The direction. Moreover, since this rotary mirror may be anything as long as it is a free-form surface, a mirror shape having an elliptical cross section is also employed.

しかし、このような径が大幅に変化する形状のミラーを用いると、光源や照射光を平行光にするための光学系からミラー面までの距離と、ミラー面からビーム整形用光学系、又は被走査面までの距離がそれぞれ変わるため、入射光が完全な平行光でない場合、ミラーからの反射光ビーム形状が変化することとなり、補正光学系への負荷が非常に大きくなる。更に、ミラー面からの反射光はビーム径や焦点位置が大きく変化するため、ミラー面と被走査面との間に入れる補正光学系が複雑で高額になる。更に、ミラーへの光入射がミラーに対して被走査面側からなされるため、ミラーへの入射光学系の配置スペースが必要となり、特にマルチビーム対応とする場合には、走査系が大きくなる。   However, when such a mirror having a shape with a large change in diameter is used, the distance from the optical system for collimating the light source and irradiation light to the mirror surface, and the beam shaping optical system or the object to be covered from the mirror surface. Since the distance to the scanning surface changes, when the incident light is not completely parallel light, the shape of the reflected light beam from the mirror changes, and the load on the correction optical system becomes very large. Furthermore, since the beam diameter and the focal position of the reflected light from the mirror surface change greatly, the correction optical system inserted between the mirror surface and the surface to be scanned becomes complicated and expensive. Furthermore, since light is incident on the mirror from the surface to be scanned with respect to the mirror, an arrangement space for the incident optical system on the mirror is required. In particular, in the case of multi-beam support, the scanning system becomes large.

他の従来技術として、外側面が反射面の円筒形ミラーを備え、かつ、円筒の中心軸とミラーの回転軸とが不一致である光偏向装置がある(例えば、特許文献2を参照)。   As another prior art, there is an optical deflecting device that includes a cylindrical mirror whose outer surface is a reflecting surface, and in which the central axis of the cylinder and the rotation axis of the mirror do not match (see, for example, Patent Document 2).

しかし、この装置では、ミラー回転状態において、回転軸からミラー面までの径が絶えず変化するため、上記特許文献1と同様、光源若しくはコリメート機能等を有する光学系からミラー面までの距離と、ミラー面からビーム整形用光学系若しくは被走査面までの距離が変化する。よって、ビーム形状や焦点補正に必要な光学系に多大なる負荷がかかり、高額な装置になる。   However, in this apparatus, since the diameter from the rotation axis to the mirror surface constantly changes in the mirror rotation state, the distance from the optical system having a light source or a collimating function to the mirror surface, and the mirror, The distance from the surface to the beam shaping optical system or the surface to be scanned changes. Therefore, a great load is applied to the optical system necessary for beam shape and focus correction, resulting in an expensive apparatus.

そして、円筒ミラーを高速回転させると振動騒音が発生しやすく、回転速度の面から走査速度も制限される。また、片方向走査の場合はビームを走査開始位置に戻すための半回転分の時間が無駄になり、これも走査の高速化の妨げとなる。さらに、円筒ミラーを偏心した軸を中心に回転させる構成では、円筒ミラーの回転軸と直交する方向にしか走査できないため、複数ビームによる走査を行う場合には、複数軸の回転を同期させるための機構が別途必要となる。   When the cylindrical mirror is rotated at a high speed, vibration noise is likely to be generated, and the scanning speed is limited in terms of the rotational speed. In the case of unidirectional scanning, the time for half rotation for returning the beam to the scanning start position is wasted, which also hinders the speeding up of scanning. Further, in the configuration in which the cylindrical mirror is rotated around the eccentric axis, scanning can be performed only in a direction perpendicular to the rotational axis of the cylindrical mirror. Therefore, when scanning with a plurality of beams, the rotation of the plurality of axes is synchronized. A mechanism is required separately.

また、画像形成装置などにおける光走査の手段としてはポリゴンミラー(回転多面鏡)が広く利用されている。複数のポリゴンミラーを用い、複数ビームにより走査する構成も知られている(例えば特許文献3参照)。   Polygon mirrors (rotating polygon mirrors) are widely used as optical scanning means in image forming apparatuses and the like. A configuration using a plurality of polygon mirrors and scanning with a plurality of beams is also known (see, for example, Patent Document 3).

しかし、ポリゴンミラーを利用して光走査を行う方法は、一般に、光学系を含む装置全体が大型化する。また、ポリゴンミラーはその回転軸と直交する方向にしか走査できないため、多数ビームを高密度に実装することは容易でなく、また複数のポリゴンミラーの回転を同期させるための機構も不可欠である。   However, the method of performing optical scanning using a polygon mirror generally increases the size of the entire apparatus including the optical system. Further, since the polygon mirror can only scan in the direction orthogonal to the rotation axis thereof, it is not easy to mount a large number of beams at a high density, and a mechanism for synchronizing the rotation of a plurality of polygon mirrors is indispensable.

そこで、本出願人は先に、光走査用ミラーと、該ミラーを用いた光走査方法、及び、該ミラーを搭載した光走査装置、及び、画像形成装置を提案した(特願2002−362722号)。該光走査用ミラーは以下の特徴を持つ。   Therefore, the present applicant has previously proposed an optical scanning mirror, an optical scanning method using the mirror, an optical scanning device equipped with the mirror, and an image forming apparatus (Japanese Patent Application No. 2002-362722). ). The optical scanning mirror has the following characteristics.

すなわち、回転中心軸を有し、前記回転中心軸と垂直な平面内の該回転中心軸を中心とした所定半径の円周に沿ったミラー面を有し、そのミラー面は一端から他端に向かって前記回転中心軸に対する傾きが連続的に変化する、前記円周を基準に捻れた面である(図15参照)。   That is, it has a rotation center axis, and has a mirror surface along a circumference of a predetermined radius around the rotation center axis in a plane perpendicular to the rotation center axis, and the mirror surface extends from one end to the other end. This is a surface twisted with reference to the circumference in which the inclination with respect to the rotation center axis continuously changes (see FIG. 15).

特開平11−142764号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-142864 特公平6−105331号公報Japanese Examined Patent Publication No. 6-105331 特開平6−208066号公報Japanese Patent Laid-Open No. 6-208066

上記したミラーを用いてマルチビーム対応とするためには、同軸上にミラーを複数個搭載する構成を採ることになるが、この場合、個別に加工されたミラーの加工誤差と組付け誤差の影響を受け、精度が低下する可能性がある。   In order to support multi-beams using the above-mentioned mirrors, a configuration in which a plurality of mirrors are mounted on the same axis is adopted. In this case, the effects of machining errors and assembly errors of individually machined mirrors are adopted. The accuracy may decrease.

本発明は上記した問題点に鑑みてなされたもので、
本発明の目的は、ビーム整形に対する光学系への負担が少なく、マルチビーム対応が高精度で実現でき、更に、広幅化が容易で、マルチビーム書込とした際にレンズなどの光学系を含めたユニットが小型であり、平面走査が可能となる光走査用ミラーと、そのミラーを利用する光走査方法及び光走査装置、及び、前記光走査装置を備えた画像形成装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems,
The object of the present invention is that the burden on the optical system for beam shaping is small, multi-beam compatibility can be realized with high accuracy, widening is easy, and when multi-beam writing is used, an optical system such as a lens is included. An optical scanning mirror that is small in size and capable of plane scanning, an optical scanning method and an optical scanning device that use the mirror, and an image forming apparatus that includes the optical scanning device are provided. .

本発明は、回転中心軸を有し、前記回転中心軸と垂直な平面内の前記回転中心軸を中心とした所定半径の円周に沿ったミラー面を回転中心軸方向に複数有し、前記の各ミラー面は、その一端から他端に向かって前記回転中心軸に対する傾きが連続的に変化する、前記円周を基準として捻れた面であることを最も主要な特徴とする。   The present invention has a rotation center axis, and has a plurality of mirror surfaces in a rotation center axis direction along a circumference of a predetermined radius centered on the rotation center axis in a plane perpendicular to the rotation center axis, Each of the mirror surfaces is characterized by being a twisted surface with respect to the circumference, the inclination of which is continuously changed from one end to the other end with respect to the rotation center axis.

本発明では、ミラーにおける有効な入射光の当る位置は、ミラーの回転中心軸に垂直な面内の前記回転中心軸を中心とした円周上である。従って、ミラー面と光入射系との距離が常に一定であるため、ミラー面での反射光は走査中にビーム形状が大きく変化することは無い。従って、光学系に対してビーム形状の補正に要する負荷を大幅に低減することが可能である。また、焦点位置補正に関しても、ミラーでの反射光に大きな変化が無いことから、従来技術に比べると非常に簡単になる。なお、有効な入射光とは、実際に走査使用される光を指す。   In the present invention, the position where the effective incident light hits the mirror is on the circumference around the rotation center axis in a plane perpendicular to the rotation center axis of the mirror. Accordingly, since the distance between the mirror surface and the light incident system is always constant, the beam shape of the reflected light from the mirror surface does not change greatly during scanning. Therefore, it is possible to greatly reduce the load required for correcting the beam shape on the optical system. Also, the focal position correction is very simple compared to the prior art because there is no significant change in the reflected light from the mirror. The effective incident light refers to light that is actually used for scanning.

また、本発明では、例えば、加工機械で作製する場合、加工機械で同一条件下で複数ミラーが同一部材上に加工されるため、各ミラーの加工バラツキが少なく、かつ、加工後も光走査装置への実装で個々のミラー位置調整に要する手間を大幅に省く事が可能となる。また、ミラーを型成型で製造する場合においても上記優位性は変わらない。なお、上述の加工や成型では通常アルミニウムやステンレスを始めとした金属が使われるが、成型で作られた樹脂部品表面に金属層が形成されたミラーも利用可能である。   In the present invention, for example, when manufacturing with a processing machine, since a plurality of mirrors are processed on the same member under the same conditions with the processing machine, there is little processing variation of each mirror, and the optical scanning apparatus after processing This makes it possible to greatly reduce the labor required for individual mirror position adjustment. In addition, the superiority does not change even when the mirror is manufactured by molding. In the above-described processing and molding, metals such as aluminum and stainless steel are usually used, but a mirror in which a metal layer is formed on the surface of a resin part made by molding can also be used.

以下、発明の実施の形態について図面により詳細に説明する。図1は、本発明に係る光走査用ミラーの第1の実施例を示す。図1(a)は正面図、(b)は右側面図、(c)は底面図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a first embodiment of an optical scanning mirror according to the present invention. 1A is a front view, FIG. 1B is a right side view, and FIG. 1C is a bottom view.

光走査用ミラー100は、円盤形状の回転体101の外周面に回転中心軸方向に複数のミラー(この例では、4つ)を有し、かつ、個々のミラーには2つのミラー面104,105を形成して構成されている。ミラー面104,105は、回転体101の外周面に設けられた2つのブランキング部106で分離されている。ミラー面104,105の幅方向の中心付近には、回転体101の回転中心軸102と垂直な平面内の、同回転中心軸を中心とした所定半径の円周103と一致した場所があり、同円周103を基準として捻れた面となっている。したがって、ミラー面104,105の中心は回転体101の回転中心軸102から等距離にある。   The optical scanning mirror 100 has a plurality of mirrors (four in this example) in the direction of the rotation center axis on the outer peripheral surface of the disk-shaped rotator 101, and each mirror has two mirror surfaces 104, 105 is formed. The mirror surfaces 104 and 105 are separated by two blanking portions 106 provided on the outer peripheral surface of the rotating body 101. Near the center in the width direction of the mirror surfaces 104 and 105, there is a place in a plane perpendicular to the rotation center axis 102 of the rotator 101 that coincides with a circumference 103 having a predetermined radius centered on the rotation center axis. The surface is twisted with the circumference 103 as a reference. Accordingly, the centers of the mirror surfaces 104 and 105 are equidistant from the rotation center axis 102 of the rotating body 101.

ミラー面104,105についてさらに説明する。ミラー面104は、その始端(走査開始位置)104aから終端(走査終了位置)104bに向かって回転中心軸102に対する傾きが連続的に変化している。ミラー面104の傾きは長さ方向の中央位置104cで0°となり、中央位置104cを境に傾きの向きが反転し、始端104aと終端104bで傾きは逆向きの最大角度(±α°)となる。   The mirror surfaces 104 and 105 will be further described. The mirror surface 104 continuously changes in inclination with respect to the rotation center axis 102 from the start end (scan start position) 104a to the end end (scan end position) 104b. The inclination of the mirror surface 104 is 0 ° at the central position 104c in the length direction, the direction of the inclination is reversed at the central position 104c, and the inclination is the maximum reverse angle (± α °) at the start end 104a and the end 104b. Become.

図1(a)で説明すると、ミラー面104は始端104a側では正面より見える向きに傾いており、終端104b側では見えない向きに傾いている。ミラー面105も同様な円周103を基準として捻れた面であり、その中央位置105cで傾き角度が0°で、その位置を境に傾きの向きが反転し、始端(走査開始位置)105aと終端(走査終了位置)105bで傾きは逆向きの最大角度(±α°)となる。   Referring to FIG. 1A, the mirror surface 104 is tilted in a direction that can be seen from the front on the start end 104a side, and is tilted in a direction that cannot be seen on the end 104b side. The mirror surface 105 is also a twisted surface with the same circumference 103 as a reference. The tilt angle is 0 ° at the center position 105c, and the tilt direction is reversed with respect to that position, and a start end (scanning start position) 105a. The inclination is the maximum reverse angle (± α °) at the end (scan end position) 105b.

ミラー面104,105の傾きの変化率であるが、後述するように、光走査用ミラー100をその回転中心軸102を中心に回転させながらミラー面104,105に光ビームを照射し、反射された光ビームにより回転中心軸102と平行な平面を走査した場合に、この被走査面上の反射光ビームの移動量と光走査用ミラー100の回転角とが正比例するように、各ミラー面の傾きの変化率が設定されている。このような傾きの変化率とするならば、光走査用ミラー100を定速回転させることにより、光走査用ミラー100と被走査面との間にf−θレンズなどの補正光学系を設けることなく、被走査面を定速走査することができる。   The rate of change of the tilt of the mirror surfaces 104 and 105 is reflected by irradiating the mirror surfaces 104 and 105 with a light beam while rotating the optical scanning mirror 100 about the rotation center axis 102, as will be described later. When a plane parallel to the rotation center axis 102 is scanned with the light beam, the amount of movement of the reflected light beam on the surface to be scanned and the rotation angle of the light scanning mirror 100 are directly proportional to each other. The rate of change of slope is set. In order to obtain such a change rate of inclination, a correction optical system such as an f-θ lens is provided between the optical scanning mirror 100 and the surface to be scanned by rotating the optical scanning mirror 100 at a constant speed. The scanning surface can be scanned at a constant speed.

ミラーの形状は、図1の他に図2(a)〜(d)等のように種々構成が可能である。図2(a)と(c)は、回転軸方向複数ミラーにおける隣接ミラーの走査方向が一致した例であり、図2(b)と(d)は、回転軸方向複数ミラーにおける隣接ミラーの走査方向が逆方向である例を示す。   The shape of the mirror can be variously configured as shown in FIGS. 2A to 2D in addition to FIG. FIGS. 2A and 2C are examples in which the scanning directions of the adjacent mirrors in the plurality of rotation axis direction mirrors are the same, and FIGS. 2B and 2D are the scanning of the adjacent mirrors in the rotation axis direction plural mirrors. An example in which the direction is the reverse direction is shown.

また、図2(a)と(b)は、回転中心軸方向の隣接ミラー境界までミラーであるのに対し、図2(c)と(d)は、境が走査用ミラーではない構成である。加工方法から見ると、図2(c)や(d)のように必要部分のみミラーである方が手間がかからず容易にできるが、使用方法は大差が無い。   2A and 2B are mirrors up to the boundary between adjacent mirrors in the direction of the central axis of rotation, whereas FIGS. 2C and 2D are configurations in which the boundary is not a scanning mirror. . From the viewpoint of the processing method, as shown in FIGS. 2 (c) and 2 (d), it is easier and less troublesome if only the necessary part is a mirror, but the method of use is not much different.

回転中心軸方向のミラー数は本例では4つとなっているが、この数は個々のミラーの走査可能な幅と必要な走査幅から求められ、任意の数を形成可能である。   Although the number of mirrors in the rotation center axis direction is four in this example, this number is obtained from the scannable width of each mirror and the required scan width, and an arbitrary number can be formed.

この光走査用ミラー100は、モータ回転軸などに装着するための回転軸孔107が回転体101に形成されている。光走査用ミラー100を複数個、同一のモータ回転軸などに挿着して使用する場合には、回転軸孔107が設けられていると好都合である。ただし、光走査用ミラー100とモータ回転軸などとの中心を精密に合わせるための手段として、回転軸孔107に代えて、例えば、図3(a)や(b)(図1(b)に対応した図)に示すように、回転体101の側面に中心合わせ用の凹部(又は凸部)などを形成することも可能であり、図4(c)の様に、回転中心軸用の孔に加えて、精密な位置合わせ様の凹部(又は凸部)などを形成することも可能である。実際に図4(c)のミラーを回転中心軸に2つ搭載した例を図4(d)に示す。   In this optical scanning mirror 100, a rotating shaft hole 107 for mounting on a motor rotating shaft or the like is formed in the rotating body 101. When a plurality of optical scanning mirrors 100 are inserted and used on the same motor rotation shaft or the like, it is convenient that the rotation shaft hole 107 is provided. However, as means for precisely aligning the centers of the optical scanning mirror 100 and the motor rotation shaft, for example, in place of the rotation shaft hole 107, for example, FIG. 3 (a) or FIG. 3 (b) (FIG. 1 (b) As shown in FIG. 4 (c), it is possible to form a concave portion (or convex portion) for centering on the side surface of the rotating body 101. As shown in FIG. In addition to this, it is possible to form a concave portion (or convex portion) or the like for precise alignment. FIG. 4D shows an example in which two mirrors of FIG. 4C are actually mounted on the rotation center axis.

このような凹部や凸部の形状はどのような形状でも良いが、少なくとも隣接する光走査用ミラーの凹部若しくは凸部がはまる必要がある。ただし、軸の代わりに用いるのであれば、円形以外の形状が望ましく、より望ましくは四角形や六角形のような明確な角を持つ多角形が良い。   The shape of the concave portion or the convex portion may be any shape, but at least the concave portion or the convex portion of the adjacent optical scanning mirror needs to be fitted. However, if it is used instead of a shaft, a shape other than a circle is desirable, and a polygon having a clear corner such as a quadrangle or a hexagon is more desirable.

また、図4(e)のように、外周面に切欠きや溝を設けた構成として、中心合わせを行うことも可能である。   Further, as shown in FIG. 4 (e), centering can be performed in a configuration in which notches and grooves are provided on the outer peripheral surface.

更に、図4(f)のように回転中心軸の他に孔を設けて、その孔にピンや棒状治具を挿入することにより、複数の光走査用ミラーの位置合わせを行うことが可能となる。   Furthermore, as shown in FIG. 4 (f), a plurality of optical scanning mirrors can be aligned by providing a hole in addition to the rotation center axis and inserting a pin or a rod-like jig into the hole. Become.

以上のような中心合わせ用の凹部又は凸部や孔、切り欠き等を設けた光走査用ミラーも本発明に包含される。   The optical scanning mirror provided with the concave portion or convex portion, hole, notch or the like for centering as described above is also included in the present invention.

隣り合う回転軸方向複数ミラーで偏向された各レーザ光ビームによる被走査面の走査範囲が一部オーバーラップするように、各回転軸方向複数ミラーの相互の間隔及び被走査面からの距離、及び、ミラー捻れの角度、光走査用ミラー径、ミラー面長さ等が決められている。   The distance between each mirror in the rotational axis direction and the distance from the scanned surface so that the scanning range of the scanned surface by each laser beam deflected by the adjacent mirrors in the rotational axis direction partially overlaps, and The angle of mirror twist, the diameter of the optical scanning mirror, the length of the mirror surface, etc. are determined.

ミラー面104,105は、図5に示すような湾曲した断面形状を持つ面としてもよい。このような断面形状のミラー面は、平面断面形状のミラー面に比べ、回転刃による研削加工などが容易である。   The mirror surfaces 104 and 105 may be surfaces having a curved cross-sectional shape as shown in FIG. Such a mirror surface having a cross-sectional shape is easier to grind with a rotary blade than a mirror surface having a planar cross-sectional shape.

図示しないが、回転体101の厚さをミラー面104,105の幅より大きくし、ミラー面104,105の外側に回転体101の外周面が残る形状とすることも可能である。回転体101の外周面に、ミラー面104,105と同様のミラー面を3個以上、同一円周に沿って形成することも可能である。   Although not shown, the thickness of the rotating body 101 can be made larger than the width of the mirror surfaces 104 and 105 so that the outer peripheral surface of the rotating body 101 remains outside the mirror surfaces 104 and 105. Three or more mirror surfaces similar to the mirror surfaces 104 and 105 can be formed on the outer peripheral surface of the rotating body 101 along the same circumference.

回転体101の外周面に、ミラー面104,105と同様のミラー面を1つだけ形成することも可能である。回転体101の全体的形状を円柱状もしくは円筒状とすることも可能である。外周面のミラーは、中心を基に捻れていなくても良く左右非対称でも構わない。以上のような各変形構成の光走査用ミラーも本発明に包含される。   It is possible to form only one mirror surface similar to the mirror surfaces 104 and 105 on the outer peripheral surface of the rotating body 101. The overall shape of the rotating body 101 may be a columnar shape or a cylindrical shape. The mirror on the outer peripheral surface does not have to be twisted based on the center and may be asymmetrical. The optical scanning mirrors having the respective modified configurations as described above are also included in the present invention.

このような本発明の光走査用ミラーを利用するならば、単純・コンパクトな装置構成で高速な片方向走査を行うことが可能であり、また、多数ビームの高密度実装も容易に実現できる。以下、本発明の光走査用ミラーを利用した光走査方法を実施するための光走査装置について説明する。   If such an optical scanning mirror of the present invention is used, high-speed unidirectional scanning can be performed with a simple and compact device configuration, and high-density mounting of multiple beams can be easily realized. Hereinafter, an optical scanning apparatus for carrying out an optical scanning method using the optical scanning mirror of the present invention will be described.

図1に示した光走査用ミラー100を使用した本発明による光走査装置の第1の実施例を図6及び図7に示す。図6は光走査用ミラー100の正面側から見た構成を示し、図7は光走査用ミラー100の側面側から見た構成を示す。   A first embodiment of an optical scanning device according to the present invention using the optical scanning mirror 100 shown in FIG. 1 is shown in FIGS. FIG. 6 shows a configuration viewed from the front side of the optical scanning mirror 100, and FIG. 7 shows a configuration viewed from the side of the optical scanning mirror 100.

光走査用ミラー100は、モータ200の回転軸201に挿着され、図6に示す矢印の向きに定速で回転駆動される。光走査用ミラー100は、その回転中心軸を中心に実質的に対称な形状であるため、高速回転させても振動や騒音を発生しにくい。したがって、光走査用ミラー100を支障なく高速に回転させることができ、このことは走査の高速化にも有利である。   The optical scanning mirror 100 is inserted into the rotating shaft 201 of the motor 200, and is driven to rotate at a constant speed in the direction of the arrow shown in FIG. Since the optical scanning mirror 100 has a substantially symmetric shape around its rotation center axis, it is difficult to generate vibration and noise even if it is rotated at a high speed. Therefore, the optical scanning mirror 100 can be rotated at high speed without any problem, which is advantageous for increasing the scanning speed.

202は走査光源としてのレーザユニットである。このレーザユニット202から出射されたレーザ光ビーム203はミラー面104,105に入射するが、レーザ光ビーム203の光軸とミラー面104,105の中心(図1(a)に示す円周103)に合わせられる。ミラー面104,105の中心、すなわちレーザ光ビーム203の照射中心は、光走査用ミラー100の回転中心軸と等距離にある。205はミラー面104,105で反射されたレーザ光ビーム204により走査される被走査面であり、光走査用ミラー100の回転中心軸と平行な面である。レーザユニット202及びモータ201を制御するための手段も存在するが、図中省略されている。   Reference numeral 202 denotes a laser unit as a scanning light source. The laser beam 203 emitted from the laser unit 202 is incident on the mirror surfaces 104 and 105. The optical axis of the laser beam 203 and the centers of the mirror surfaces 104 and 105 (circumference 103 shown in FIG. 1A). Adapted to. The centers of the mirror surfaces 104 and 105, that is, the irradiation center of the laser beam 203 are equidistant from the rotation center axis of the optical scanning mirror 100. Reference numeral 205 denotes a surface to be scanned that is scanned by the laser light beam 204 reflected by the mirror surfaces 104 and 105, and is a surface parallel to the rotation center axis of the optical scanning mirror 100. There are also means for controlling the laser unit 202 and the motor 201, which are omitted in the drawing.

走査動作は次の通りである。レーザ光ビーム203の入射位置にミラー104の始端104aが来ると、反射レーザ光ビーム204は光走査用ミラー100の回転中心軸と平行な方向へ最も大きな角度だけ偏向され、被走査面205上の位置207に向かう。光走査用ミラー100の回転に従ってレーザ光ビーム204の偏向角度は徐々に小さくなり、ミラー面104の中央位置104cがレーザ光ビーム203の入射位置に来ると、レーザ光ビーム204の偏向角度は最小となり、被走査面205上の位置208へ向かう。光走査用ミラー100の回転に従ってレーザ光ビーム204の偏向角度は逆向きに増加し、ミラー面104の終端104bがレーザ光ビーム203の入射位置に来ると、レーザ光ビーム204は被走査面207上の位置209に向かう。かくして、被走査面205は、反射レーザ光ビーム204によって回転中心軸と平行な矢印210の向きに位置207から位置209まで走査される。   The scanning operation is as follows. When the start end 104 a of the mirror 104 comes to the incident position of the laser beam 203, the reflected laser beam 204 is deflected by the largest angle in a direction parallel to the rotation center axis of the optical scanning mirror 100, and is on the surface to be scanned 205. Go to position 207. As the optical scanning mirror 100 rotates, the deflection angle of the laser beam 204 gradually decreases. When the center position 104c of the mirror surface 104 reaches the incident position of the laser beam 203, the deflection angle of the laser beam 204 is minimized. , To a position 208 on the scanned surface 205. As the optical scanning mirror 100 rotates, the deflection angle of the laser light beam 204 increases in the opposite direction. When the end 104b of the mirror surface 104 comes to the incident position of the laser light beam 203, the laser light beam 204 is placed on the surface to be scanned 207. Go to position 209. Thus, the scanned surface 205 is scanned from the position 207 to the position 209 in the direction of the arrow 210 parallel to the rotation center axis by the reflected laser light beam 204.

光走査用ミラー100がさらに回転すると、レーザ光ビーム203はミラー面105によって同様に偏向され、反射レーザ光ビーム204により被走査面205は位置207から位置209まで矢印210の方向に走査される。すなわち、光走査用ミラー100が図6に示す角度から1回転する期間に、被走査面205は同じ向きに2回走査(片方向走査)されることになる。このように、本実施例の光走査装置によれば、走査開始位置にビームを戻すための無駄な時間がなく、高速の片方向走査を行うことができる。   When the optical scanning mirror 100 further rotates, the laser light beam 203 is similarly deflected by the mirror surface 105, and the scanned surface 205 is scanned from the position 207 to the position 209 in the direction of the arrow 210 by the reflected laser light beam 204. That is, the scanning surface 205 is scanned twice in the same direction (one-way scanning) during the period in which the optical scanning mirror 100 rotates once from the angle shown in FIG. Thus, according to the optical scanning device of the present embodiment, there is no wasted time for returning the beam to the scanning start position, and high-speed unidirectional scanning can be performed.

そして、光走査用ミラー100のミラー面104,105の始端から終端までの傾きの変化率は前述のように決められており、光走査用ミラー100は定速回転するため、光走査用ミラー100と被走査面205の間に走査の等速化のためのf−θレンズのような補正光学系を設けることなく、等速走査を行うことができる。   The rate of change in inclination from the start end to the end of the mirror surfaces 104 and 105 of the optical scanning mirror 100 is determined as described above, and the optical scanning mirror 100 rotates at a constant speed. Scanning can be performed at a constant speed without providing a correction optical system such as an f-θ lens for scanning at a constant speed.

本実施例の光走査装置において、反射レーザ光ビーム204による走査方向と直交する方向に、被走査面205と光走査用ミラー100を相対的に移動させるならば、被走査面205の二次元走査が可能であることは明らかである。また、光走査用ミラー100にミラー面104,105と同様のミラー面をN個形成するならば、光走査用ミラー100の1回転でN回の片方向走査が可能であることも明白であり、光走査用ミラー100の回転速度が同じならば、より高速な走査が可能である。このような構成の光走査装置も当然に本発明に包含される。   In the optical scanning device of this embodiment, if the scanned surface 205 and the optical scanning mirror 100 are relatively moved in a direction orthogonal to the scanning direction by the reflected laser light beam 204, two-dimensional scanning of the scanned surface 205 is performed. It is clear that this is possible. In addition, if N mirror surfaces similar to the mirror surfaces 104 and 105 are formed on the optical scanning mirror 100, it is obvious that N-way scanning can be performed N times by one rotation of the optical scanning mirror 100. If the rotation speed of the optical scanning mirror 100 is the same, higher-speed scanning is possible. Naturally, the optical scanning device having such a configuration is also included in the present invention.

図8のタイミング図を参照して、レーザユニット202の駆動制御について説明する。   The drive control of the laser unit 202 will be described with reference to the timing chart of FIG.

光走査用ミラー100の回転に従って、レーザ光ビーム203の入射位置をミラー面104,105又はブランキング部106が図8(a)に示すようなタイミングで通過する。ブランキング部106では有効な走査が行われないため、余分な反射光を発生させないように、図示しない制御手段より図8(b)に示すようなブランキング信号がレーザユニット202に供給され、ブランキング部106の期間とその前後の若干の期間においては、レーザ光ビーム203は出力されないか極めて小さいパワーレベルに絞られる。このようなブランキング期間以外の期間に、レーザユニット202は図示しない制御手段より与えられる例えば画信号に従って強度変調されたレーザ光ビーム203を出射し、これがミラー面104又はミラー面105によって偏向されることにより、被走査面205は画信号に従ったパワーのレーザ光ビームによって走査される。   As the optical scanning mirror 100 rotates, the mirror surfaces 104 and 105 or the blanking unit 106 pass through the incident position of the laser light beam 203 at a timing as shown in FIG. Since the blanking unit 106 does not perform effective scanning, a blanking signal as shown in FIG. 8B is supplied to the laser unit 202 by a control unit (not shown) so as not to generate excessive reflected light, and the blanking unit 106 performs blanking. In the period of the ranking unit 106 and a few periods before and after it, the laser light beam 203 is not output or is reduced to an extremely low power level. During such a period other than the blanking period, the laser unit 202 emits a laser beam 203 whose intensity is modulated in accordance with, for example, an image signal supplied from a control unit (not shown), and this is deflected by the mirror surface 104 or the mirror surface 105. As a result, the surface to be scanned 205 is scanned with a laser beam having power according to the image signal.

図9は、本発明に係る光走査装置の第2の実施例を示す。第2の実施例の光走査装置は、補正光学系250,251が追加されている以外は前記第1の実施例と同様の構成である。   FIG. 9 shows a second embodiment of the optical scanning device according to the present invention. The optical scanning device of the second embodiment has the same configuration as that of the first embodiment except that correction optical systems 250 and 251 are added.

一般に、レーザ光ビーム203はレーザユニット202の内部又は外部に設けられた円形アパーチャを通して出射されるため、レーザ光ビーム203は略円形の強度分布を持っている。一方、ミラー面104,105は略円弧状面であるため、その曲率の影響により、ミラー面104,105で反射されたレーザ光ビーム204の強度分布は光走査用ミラー100の回転中心軸と直交する方向(円周方向)に広がる。その結果、被走査面205に照射されるレーザ光ビーム204のスポット形状は走査方向と直交方向に伸びた非円形となるが、スポット形状は円形に近いことが一般に望ましい。   In general, since the laser beam 203 is emitted through a circular aperture provided inside or outside the laser unit 202, the laser beam 203 has a substantially circular intensity distribution. On the other hand, since the mirror surfaces 104 and 105 are substantially arc-shaped surfaces, the intensity distribution of the laser beam 204 reflected by the mirror surfaces 104 and 105 is orthogonal to the rotation center axis of the optical scanning mirror 100 due to the influence of the curvature. It spreads in the direction (circumferential direction). As a result, the spot shape of the laser light beam 204 applied to the scanned surface 205 is a non-circular shape extending in the direction orthogonal to the scanning direction, but it is generally desirable that the spot shape is close to a circular shape.

本実施例においては、補正光学系250によって、それを通過後のレーザ光ビーム203の強度分布形状は、ミラー面104,105の長さ方向より幅方向のほうが広がるように補正される。この補正によって、非走査面205上のスポット形状は略円形に補正される。なお、ミラー面104,105により反射されたレーザ光ビーム204の強度分布形状を補正光学系251で補正することにより同様の効果を得ることも可能であり、かかる構成も本発明に包含される。   In this embodiment, the correction optical system 250 corrects the intensity distribution shape of the laser light beam 203 after passing through the correction optical system 250 so that the width direction is wider than the length direction of the mirror surfaces 104 and 105. By this correction, the spot shape on the non-scanning surface 205 is corrected to a substantially circular shape. It is possible to obtain the same effect by correcting the intensity distribution shape of the laser beam 204 reflected by the mirror surfaces 104 and 105 with the correction optical system 251, and such a configuration is also included in the present invention.

ミラー面104,105の中心すなわちレーザ光ビーム照射中心位置は、光走査用ミラー100の回転中心軸と等距離であることが理想的であるが、加工精度上、その距離のある程度のばらつきは避けられない。この距離のばらつきによる影響は、被走査面205上の走査軌跡の蛇行として現れる。一般に、この蛇行量は小さいことが望ましい。本実施例においては、補正光学系251によって、それを通過後のレーザ光ビーム204の走査方向と直交する方向の振れを抑制することにより、走査軌跡の蛇行量を減少させる。ミラー面104,105の中心と回転中心軸との距離のばらつきが許容できる程度であるならば、補正光学系251による蛇行補正は不要である。   The center of the mirror surfaces 104 and 105, that is, the laser beam irradiation center position is ideally equidistant from the rotation center axis of the optical scanning mirror 100. However, for processing accuracy, some variation in the distance is avoided. I can't. The influence of this variation in distance appears as meandering of the scanning locus on the scanned surface 205. Generally, it is desirable that the amount of meandering is small. In the present embodiment, the correction optical system 251 reduces the meandering amount of the scanning locus by suppressing the shake of the laser light beam 204 that has passed through the correcting optical system 251 in the direction orthogonal to the scanning direction. If the variation in the distance between the centers of the mirror surfaces 104 and 105 and the rotation center axis is acceptable, meander correction by the correction optical system 251 is not necessary.

なお、走査の目的によっては、ミラー面104,105の中心と回転中心軸との距離を意図的に変動させ、走査軌跡を蛇行させることが望ましい場合もあり得る。かかる光走査用ミラーと光走査装置も本発明に包含される。   Depending on the purpose of scanning, it may be desirable to intentionally change the distance between the centers of the mirror surfaces 104 and 105 and the rotation center axis to meander the scanning locus. Such an optical scanning mirror and an optical scanning device are also included in the present invention.

本発明による光走査装置の第3の実施例について図10を参照して説明する。この光走査装置は、レーザユニット202と別にレーザユニット202bを設け、2つのレーザユニット202,202bにより逆方向からレーザ光ビーム203,203bを照射し、ミラー面104,105により偏向された2本のレーザ光ビーム204,204bによって被走査面205を同時に片方向走査する構成であり、これ以外は前記第1の実施例と同様である。ただし、レーザ光ビーム203bに関しては、ミラー面104,105の始端は走査終了位置、終端は走査開始位置となるため、レーザ光ビーム204,204bによる走査方向は互いに逆向きである。このように本実施例は2本のレーザビームにより同時に走査する構成であるため、より高速の走査が可能である。   A third embodiment of the optical scanning device according to the present invention will be described with reference to FIG. In this optical scanning device, a laser unit 202 b is provided separately from the laser unit 202, and two laser units 202 and 202 b irradiate laser light beams 203 and 203 b from opposite directions and are deflected by mirror surfaces 104 and 105. The scanning surface 205 is simultaneously unidirectionally scanned by the laser light beams 204 and 204b, and the rest is the same as in the first embodiment. However, with respect to the laser light beam 203b, since the start ends of the mirror surfaces 104 and 105 are the scan end position and the end is the scan start position, the scanning directions of the laser light beams 204 and 204b are opposite to each other. Thus, since the present embodiment is configured to simultaneously scan with two laser beams, higher speed scanning is possible.

なお、本実施例においても、前記第2の実施例における補正光学系250,251(図9)と同様の補正光学系を設けることができ、このような構成も本発明に包含される。また、光走査用ミラー100に、より多数のミラー面が設けられている場合には、3個以上のミラー面に同時にレーザ光ビームを照射し、3本以上のレーザ光ビームによる同時走査を行う構成も可能であり、このような構成の光走査装置も本発明に包含される。   Also in this embodiment, a correction optical system similar to the correction optical systems 250 and 251 (FIG. 9) in the second embodiment can be provided, and such a configuration is also included in the present invention. Further, when the optical scanning mirror 100 is provided with a larger number of mirror surfaces, the laser light beams are simultaneously irradiated onto the three or more mirror surfaces, and the simultaneous scanning with the three or more laser light beams is performed. A configuration is also possible, and an optical scanning device having such a configuration is also included in the present invention.

本発明の光走査装置の第4の実施例について、図11を参照して説明する。本実施例においては、共通のモータ200の回転軸201に、図1に示した光走査用光ミラー100が2個(一般的には複数個)挿着され、図示しないが各光走査用ミラーの持つ回転軸方向複数ミラー100に対応してレーザユニットが配設されている。光走査用ミラー100とレーザユニットの各組による走査動作は前記第1及び第2の実施例と同様である。隣り合う光走査用ミラー100で偏向されたレーザ光ビームによる被走査面205の走査範囲が一部オーバーラップするように、各光走査用ミラー100の相互の間隔及び被走査面205からの距離が決められている。   A fourth embodiment of the optical scanning device of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, two (generally a plurality of) optical scanning mirrors 100 shown in FIG. 1 are inserted into the rotating shaft 201 of the common motor 200, and each optical scanning mirror is not shown. A laser unit is arranged corresponding to the plurality of mirrors 100 in the rotation axis direction. The scanning operation by each set of the optical scanning mirror 100 and the laser unit is the same as in the first and second embodiments. The distance between the optical scanning mirrors 100 and the distance from the scanned surface 205 are such that the scanning range of the scanned surface 205 by the laser beam deflected by the adjacent optical scanning mirrors 100 partially overlaps. It has been decided.

尚、各光走査用ミラーの間隔は、上記オーバーラップ具合だけでなく、各光走査用ミラーが持つ回転軸方向複数ミラーの間隔に合わせて配置する事が望ましい。   It should be noted that the intervals between the respective optical scanning mirrors are preferably arranged in accordance with the intervals of the plurality of mirrors in the rotation axis direction of the respective optical scanning mirrors as well as the above-described overlap.

このような構成であるため、複数のレーザ光ビームにより被走査面205を広い走査幅で高速に走査することができる。本発明の光走査用ミラー100による走査方向は、その回転中心軸と平行な方向であるため、本実施例のように、容易に光走査用ミラー100を多数個密に並べることができ、したがって容易に広い走査幅と高速走査を実現することができる。全ての光走査用ミラー100は共通のモータ201の回転軸201に挿着されているため、光走査用ミラー100の回転同期をとるための格別な手段は不要である。   With such a configuration, the surface to be scanned 205 can be scanned at a high speed with a wide scanning width by a plurality of laser light beams. Since the scanning direction by the optical scanning mirror 100 of the present invention is a direction parallel to the rotation center axis, a large number of optical scanning mirrors 100 can be easily arranged densely as in this embodiment, and therefore A wide scanning width and high-speed scanning can be easily realized. Since all the optical scanning mirrors 100 are attached to the rotation shaft 201 of the common motor 201, no special means for synchronizing the rotation of the optical scanning mirror 100 is necessary.

隣り合う光走査用ミラー100による走査範囲の一部がオーバーラップしているため、例えば、画像形成の場合に、被走査面205上の各走査ラインにおける画像の連続性を容易に確保することができる。特に、各光走査用ミラー100により偏向されたレーザ光ビームによる走査は同じ向きの片方向走査であるため、各レーザユニット201から出射されるレーザ光ビームの画信号などによる変調の開始及び終了やブランキングのタイミング調整が簡単になる。   Since a part of the scanning range by the adjacent optical scanning mirrors 100 overlaps, for example, in the case of image formation, it is possible to easily ensure the continuity of the images on each scanning line on the scanned surface 205. it can. In particular, since the scanning with the laser light beam deflected by each optical scanning mirror 100 is a unidirectional scanning in the same direction, the start and end of modulation by the image signal of the laser light beam emitted from each laser unit 201 or the like Blanking timing adjustment becomes easy.

図示しないが、前記第4の実施例において、各光走査用ミラー100に対応して、前記第3の実施例(図10)と同様に逆方向からレーザ光ビームを照射するための2つのレーザユニットを配設するならば、より高速な2次元走査が可能になることは明白である。このような構成の光走査装置も当然に本発明に包含される。また、前記第4の実施例において、各光走査用ミラー100に対応して、前記第2の実施例における補正光学系250,251(図9)と同様の補正光学系を設けてもよく、かかる構成の光走査装置も本発明に包含される。   Although not shown, in the fourth embodiment, two lasers for irradiating laser light beams from the opposite directions corresponding to the respective optical scanning mirrors 100 as in the third embodiment (FIG. 10). Obviously, if the unit is arranged, a faster two-dimensional scan is possible. Naturally, the optical scanning device having such a configuration is also included in the present invention. In the fourth embodiment, a correction optical system similar to the correction optical systems 250 and 251 (FIG. 9) in the second embodiment may be provided corresponding to each optical scanning mirror 100. The optical scanning device having such a configuration is also included in the present invention.

本発明による光走査用ミラーの第2の実施例を図3(b)に示す。図3(b)において、この光走査用ミラー300は、全体として円盤形状の回転体301の外周面に、その回転中心軸302と垂直な平面内の、同回転中心軸を中心とする所定半径の円周303に沿う2つのミラー面304,305を形成してなるものである。ミラー面304,305の中心(レーザ光ビームの照射中心位置)は円周303と一致し、したがってミラー面304,305の中心は回転体301の回転中心軸302の中心から等距離にある。   FIG. 3B shows a second embodiment of the optical scanning mirror according to the present invention. In FIG. 3B, this optical scanning mirror 300 has a predetermined radius centered on the rotation center axis in a plane perpendicular to the rotation center axis 302 on the outer peripheral surface of the disk-shaped rotation body 301 as a whole. These are formed by forming two mirror surfaces 304 and 305 along the circumference 303. The centers of the mirror surfaces 304 and 305 (irradiation center position of the laser light beam) coincide with the circumference 303, and therefore the centers of the mirror surfaces 304 and 305 are equidistant from the center of the rotation center axis 302 of the rotating body 301.

ミラー面304,305は回転中心軸302に対する傾きが連続的に変化し、全体として円周303を基準として捻れた面となっている。前記第1の実施例におけるブランキング部106(図1(a))に相当する部分は存在せず、2つのミラー面304,305は傾きが連続して変化する1つの面をなしている。   The mirror surfaces 304 and 305 are continuously twisted with respect to the circumference 303 as a whole, with the inclination with respect to the rotation center axis 302 continuously changing. There is no portion corresponding to the blanking section 106 (FIG. 1A) in the first embodiment, and the two mirror surfaces 304 and 305 form one surface whose inclination changes continuously.

ミラー面304の傾きは中央位置304cで0°となり、中央位置304cを境に傾きの向きが反転し、始端304aと終端304bで傾きは逆向きの最大角度(±α°)となる。図3(b)で説明すると、ミラー面304は始端304a側では正面より見えない向きに傾いており、終端304b側では正面より見える向きに傾いている。ミラー面305も同様に、その中央位置305cで傾き角度が0°で、その位置を境に傾きの向きが反転し、始端305a(終端304bと同位置)と終端305b(始端304aと同位置)で傾きは逆向きの最大角度(±α°)となる。ミラー面304,305の傾きの変化率は、前記第1の実施例のミラー面104,105と同様に、光走査用ミラー300を定速回転させた場合に回転中心軸302と平行な被走査面の走査が等速走査となるように決定されている。   The inclination of the mirror surface 304 is 0 ° at the center position 304c, the direction of the inclination is reversed at the center position 304c, and the inclination is the maximum reverse angle (± α °) at the start end 304a and the end end 304b. Referring to FIG. 3B, the mirror surface 304 is inclined so as not to be seen from the front on the start end 304a side, and is inclined so as to be seen from the front on the end 304b side. Similarly, the mirror surface 305 has an inclination angle of 0 ° at the center position 305c, and the direction of the inclination is reversed with respect to the position. The inclination is the maximum reverse angle (± α °). Similar to the mirror surfaces 104 and 105 of the first embodiment, the rate of change in the inclination of the mirror surfaces 304 and 305 is to be scanned parallel to the rotation center axis 302 when the optical scanning mirror 300 is rotated at a constant speed. The scanning of the surface is determined to be constant speed scanning.

この光走査用ミラー300は回転させて使用されるため、モータ回転中心軸などに装着するための回転軸凹部及び凸部307が回転体301に形成されている。   Since this optical scanning mirror 300 is used by being rotated, a rotating shaft concave portion and a convex portion 307 for mounting on a motor rotation center shaft or the like are formed on the rotating body 301.

本実施例の光走査用ミラー300は、前記第1の実施例の光走査用ミラー100に比べ、ブランキング部106のような不連続面がないため、一般に加工が容易である。なお、ミラー面304,305は、幅方向の断面形状が湾曲してもよい(図5参照)。このような断面形状のミラー面は、平面断面のミラー面より一般に加工が容易である。   Since the optical scanning mirror 300 of this embodiment does not have a discontinuous surface like the blanking portion 106 as compared with the optical scanning mirror 100 of the first embodiment, it is generally easy to process. The mirror surfaces 304 and 305 may have a curved cross-sectional shape in the width direction (see FIG. 5). Such a mirror surface having a cross-sectional shape is generally easier to process than a mirror surface having a plane cross-section.

図示しないが、回転体301の厚さをミラー面304,305の幅より大きくし、ミラー面304,305の外側に回転体301の外周面が残る形状とすることも可能である。回転体301の外周面に、ミラー面304,305と同様のミラー面を3個以上、同一円周に沿って形成することも可能である。また、回転体101の全体的形状を円柱状もしくは円筒状とすることも可能である。以上のような各変形構成の光走査用ミラーも本発明に包含される。   Although not shown, the thickness of the rotator 301 can be made larger than the width of the mirror surfaces 304 and 305 so that the outer peripheral surface of the rotator 301 remains outside the mirror surfaces 304 and 305. Three or more mirror surfaces similar to the mirror surfaces 304 and 305 can be formed on the outer peripheral surface of the rotating body 301 along the same circumference. Further, the overall shape of the rotating body 101 may be a columnar shape or a cylindrical shape. The optical scanning mirrors having the respective modified configurations as described above are also included in the present invention.

さらに、ミラー面304の始端304aとミラー面305の終端305bの間に、前記第1の実施例と同様のブランキング部を設けた構成、より一般化するならば、連続したN(≧2)個のミラー面の先頭と最後のミラー面の間にブランキング部を設けた構成とすることも可能であり、これも本発明に包含される。   Further, a configuration in which a blanking portion similar to that of the first embodiment is provided between the start end 304a of the mirror surface 304 and the end 305b of the mirror surface 305, or, more general, continuous N (≧ 2). A configuration in which a blanking portion is provided between the first and last mirror surfaces of each mirror surface is also possible, and this is also included in the present invention.

図示しないが、前述した光走査装置の各実施例及びその各変形例における光走査用ミラー100を、本実施例の光走査用ミラー300に置き換えた光走査装置も当然に本発明に包含される。   Although not shown in the drawings, the present invention naturally includes an optical scanning device in which the optical scanning mirror 100 in each of the above-described embodiments of the optical scanning device and its modifications is replaced with the optical scanning mirror 300 of this embodiment. .

本実施例の光走査用ミラー300を用いた場合、同ミラーを1回転させる毎に、1回の往復走査が行われる。図7を援用して説明すれば、レーザ光ビーム入射位置にミラー面304の始端304aが来ると、レーザ光ビームは被走査面205上の例えば位置207に向かうように偏向される。光走査用ミラー300が図3(b)中の矢印方向にさらに回転すると、図7において右方向へレーザ光ビームが振られ、レーザ光ビーム入射位置にミラー面304の終端304bが来るとレーザ光ビームは位置209まで振られる。このようにして、半回転で位置207から位置209まで走査される(往走査)。光走査用ミラー300がさらに回転すると、レーザ光ビームはミラー面305によって逆向きに偏向され、レーザ光ビーム照射位置にミラー面305の終端305bが来た時にレーザ光ビームは位置207まで振られる。つまり、後の半回転で位置209から位置207まで走査される(復走査)。光走査用ミラー300の各ミラー面の傾きの変化率は前述のように設定されているため、走査は定速走査となる。なお、光走査用ミラー300のミラー面を3個にするならば、1回転につき1往復半の走査が行われる。ミラー面を4個にするならば、1回転で2往復の走査が行われる。   When the optical scanning mirror 300 of the present embodiment is used, every time the mirror is rotated once, one reciprocating scan is performed. Referring to FIG. 7, when the start end 304 a of the mirror surface 304 comes to the laser light beam incident position, the laser light beam is deflected toward the position 207 on the surface to be scanned 205, for example. When the optical scanning mirror 300 further rotates in the direction of the arrow in FIG. 3B, the laser light beam is swung to the right in FIG. 7, and when the end 304b of the mirror surface 304 comes to the laser light beam incident position, the laser light is emitted. The beam is swung to position 209. In this way, scanning is performed from position 207 to position 209 in half rotation (forward scanning). When the optical scanning mirror 300 further rotates, the laser light beam is deflected in the reverse direction by the mirror surface 305, and the laser light beam is swung to the position 207 when the end 305 b of the mirror surface 305 comes to the laser light beam irradiation position. That is, scanning is performed from position 209 to position 207 in the subsequent half rotation (reverse scanning). Since the change rate of the inclination of each mirror surface of the optical scanning mirror 300 is set as described above, the scanning is a constant speed scanning. If the number of mirror surfaces of the optical scanning mirror 300 is three, one reciprocal half of scanning is performed per rotation. If there are four mirror surfaces, two reciprocal scans are performed in one rotation.

図11に示すように、複数の光走査用ミラー300を同じ向きで複数個並べた場合において、隣接する光走査用ミラー300による往走査の方向、復走査の方向はそれぞれ同一となることは明らかである。   As shown in FIG. 11, when a plurality of optical scanning mirrors 300 are arranged in the same direction, it is clear that the forward scanning direction and the backward scanning direction by the adjacent optical scanning mirrors 300 are the same. It is.

以上に説明した本発明の光走査装置は、電子写真方式や感熱記録方式のプリンタ、複写機などの画像形成装置、プリント基板や印刷分野における版下用フィルムまたはCTPなどの刷版作成用イメージセッタもしくはプロッタ装置における光走査装置として好適であり、さらには銀塩フィルムを感光させて像を形成する用途にも応用可能である。   The optical scanning device of the present invention described above is an image forming apparatus for making a printing plate such as an image forming apparatus such as an electrophotographic printer or a thermal recording printer, a copying machine, a printing board or a film for printing or CTP in the printing field. Alternatively, it is suitable as an optical scanning device in a plotter device, and can also be applied to applications in which an image is formed by exposing a silver salt film.

このような応用例として、電子写真方式の画像形成装置の一例を図12を参照して説明する。   As such an application example, an example of an electrophotographic image forming apparatus will be described with reference to FIG.

図12において、400は本発明による光走査装置である。この光走査装置400は、例えば、図11に示した構成の光走査装置に、図9に示した補正光学系250,251を各光走査用ミラーの各回転軸方向複数ミラーに対応して設けた構成である。ただし、各回転軸方向複数ミラーの形状によっては補正光学系250,251の一方を省く構成も可能である。401は光走査装置400の被走査面を提供する感光体ドラム(像担持体)である。   In FIG. 12, reference numeral 400 denotes an optical scanning device according to the present invention. In the optical scanning device 400, for example, the optical scanning device having the configuration shown in FIG. 11 is provided with the correction optical systems 250 and 251 shown in FIG. 9 corresponding to the plurality of mirrors in the rotation axis direction of each optical scanning mirror. It is a configuration. However, a configuration in which one of the correction optical systems 250 and 251 is omitted depending on the shape of each of the plurality of mirrors in the rotation axis direction is possible. Reference numeral 401 denotes a photosensitive drum (image carrier) that provides a surface to be scanned of the optical scanning device 400.

光走査装置400は、画信号によって変調された複数本のレーザビームで感光体ドラム401の表面(被走査面)を同ドラムの軸方向に走査する。感光体ドラム401は図中の矢印方向に回転駆動され、帯電部402で帯電された表面が光走査装置400によりレーザ光ビームで走査されることによって静電潜像を形成される。この静電潜像は現像部403でトナー像に顕像化され、このトナー像は転写部404により記録紙405に転写される。転写されたトナー像は定着部406によって記録紙405に定着される。感光体ドラム401の転写部404を通過した表面部分はクリーニング部407で残留トナーを除去される。   The optical scanning device 400 scans the surface (surface to be scanned) of the photosensitive drum 401 in the axial direction of the drum with a plurality of laser beams modulated by the image signal. The photosensitive drum 401 is driven to rotate in the direction of the arrow in the figure, and the surface charged by the charging unit 402 is scanned with a laser beam by the optical scanning device 400 to form an electrostatic latent image. The electrostatic latent image is visualized as a toner image by the developing unit 403, and the toner image is transferred to the recording paper 405 by the transfer unit 404. The transferred toner image is fixed on the recording paper 405 by the fixing unit 406. Residual toner is removed by a cleaning unit 407 on the surface portion of the photosensitive drum 401 that has passed through the transfer unit 404.

光走査装置400は複数ビームによる高速走査が可能であるため、高速な画像形成が可能である。また、光走査装置400は、ポリゴンミラーを複数用いる構成に比べコンパクトかつ安価な構成とすることができるため、コンパクトかつ安価な画像形成装置を実現できる。   Since the optical scanning device 400 can perform high-speed scanning with a plurality of beams, high-speed image formation is possible. Further, since the optical scanning device 400 can be configured to be compact and inexpensive compared to a configuration using a plurality of polygon mirrors, a compact and inexpensive image forming apparatus can be realized.

なお、記録紙405の搬送機構、感光体ドラム401の駆動機構、現像部403、転写部404などの制御手段などは従来の画像形成装置と同様でよいため図中省略されている。像担持体として、感光体ドラム401に代えてベルト状の感光体を用いる構成も可能である。また、トナー像を転写媒体に一旦転写し、この転写媒体からトナー像を記録紙に転写する構成とすることも可能である。   Note that the conveyance mechanism for the recording paper 405, the driving mechanism for the photosensitive drum 401, the control means such as the developing unit 403, and the transfer unit 404 may be the same as those in the conventional image forming apparatus, and are omitted in the drawing. A configuration in which a belt-like photoconductor is used as the image carrier instead of the photoconductor drum 401 is also possible. It is also possible to adopt a configuration in which the toner image is once transferred to a transfer medium, and the toner image is transferred from the transfer medium to recording paper.

他の応用例として、CTP版を始めとした印刷用版若しくは印刷用版作製用のマスクフィルム等の媒体を対象とした画像形成装置の一例を図13を参照して説明する。   As another application example, an example of an image forming apparatus for a medium such as a printing plate including a CTP plate or a mask film for producing a printing plate will be described with reference to FIG.

図13に示す画像形成装置は本発明の一例である。本装置で用いる媒体は、レーザ光などの光照射によって感光モード若しくは感熱モードなどにて画像を形成できるものであればどのようなものでも良く、媒体の種類によって像形成の前又は後、若しくは前後両方において、クリーニングや現像を始めとした何らかのプロセス工程が必要となるが、それら媒体も対象とする。具体的には、種々方式の印刷版を始め、版作成用のマスクフィルムも含まれる。図中のエネルギー照射装置とは本発明の図示しないミラーや光学レンズを含む光走査装置である。媒体を移動させながら光を走査することによって、画像を形成することができる。   The image forming apparatus shown in FIG. 13 is an example of the present invention. The medium used in this apparatus may be any medium as long as it can form an image in a photosensitive mode or a heat sensitive mode by light irradiation such as laser light, and before or after image formation or before and after depending on the type of medium. In both cases, some process steps including cleaning and development are required, but these media are also targeted. Specifically, various types of printing plates and mask films for making plates are also included. The energy irradiation device in the figure is an optical scanning device including a mirror and an optical lens (not shown) of the present invention. An image can be formed by scanning light while moving the medium.

また、他の応用例として、CTP版を始めとした印刷版への書込装置を搭載し、かつ、インキによる印刷機能を持つ画像形成装置の一例を図14を参照して説明する。   As another application example, an example of an image forming apparatus equipped with a writing device for a printing plate such as a CTP plate and having a printing function using ink will be described with reference to FIG.

図14に示す画像形成装置は、本発明の一例である。これらの例は、オフセット印刷機等の平版印刷や孔版印刷機等の印刷機能と、版作製機能を有する装置である。最初に、光照射によって版を作製し、次に作製された版を用いて記録紙への印刷を行うものである。ただし、画像情報に応じて樹脂などをドラム表面に付着させ、印刷後に前記樹脂を除去するものも版に含めるものとする。   The image forming apparatus shown in FIG. 14 is an example of the present invention. These examples are apparatuses having printing functions such as lithographic printing such as offset printing machines and stencil printing machines, and plate making functions. First, a plate is produced by light irradiation, and then printing on a recording sheet is performed using the produced plate. However, a plate that includes a resin or the like that adheres to the drum surface in accordance with image information and removes the resin after printing is included in the plate.

図14(a)は、ロール状の版に対して光走査装置により製版を行い、単色のインキで記録用紙への印刷を行う例であり、図14(b)は、4色の各版胴それぞれに設置された光走査装置により製版を行い、次に記録用紙に対してフルカラー画像の印刷を行う4色オフセット印刷機の例である。   FIG. 14A is an example in which plate-making is performed on a roll-shaped plate by an optical scanning device, and printing is performed on a recording sheet with a single color ink, and FIG. This is an example of a four-color offset printing machine that performs plate making with an optical scanning device installed in each, and then prints a full-color image on a recording sheet.

共に、版胴上の媒体に対してインキ画像を形成し、前記版からブランケットに対してインキ画像を転写し、最後にブランケットより記録用紙に対してインキ画像が転写される。   In both cases, an ink image is formed on the medium on the plate cylinder, the ink image is transferred from the plate to the blanket, and finally the ink image is transferred from the blanket to the recording paper.

本発明に係る光走査用ミラーの第1の実施例を示す。1 shows a first embodiment of an optical scanning mirror according to the present invention. 光走査用ミラーの他の形状例を示す。The other example of a shape of the mirror for optical scanning is shown. 中心合わせ用の凹部又は凸部や孔、切り欠き等を設けた光走査用ミラーの例を示す。An example of an optical scanning mirror provided with a concave or convex part for centering, a hole, a notch or the like is shown. 図3の続きである。It is a continuation of FIG. 湾曲した断面形状を持つミラー面を示す。The mirror surface which has a curved cross-sectional shape is shown. 本発明に係る光走査装置の第1の実施例(正面側)を示す。1 shows a first embodiment (front side) of an optical scanning device according to the present invention. 本発明に係る光走査装置の第1の実施例(側面側)を示す。1 shows a first embodiment (side surface side) of an optical scanning device according to the present invention. 第1の実施例における制御タイミングを示す。The control timing in a 1st Example is shown. 本発明に係る光走査装置の第2の実施例を示す。2 shows a second embodiment of an optical scanning device according to the present invention. 本発明に係る光走査装置の第3の実施例を示す。3 shows a third embodiment of the optical scanning device according to the present invention. 本発明に係る光走査装置の第4の実施例を示す。4 shows a fourth embodiment of an optical scanning device according to the present invention. 画像形成装置の第1の例を示す。1 shows a first example of an image forming apparatus. 画像形成装置の第2の例を示す。2 shows a second example of an image forming apparatus. 画像形成装置の第3の例を示す。3 shows a third example of an image forming apparatus. 先に提案した光走査用ミラーを示す。The previously proposed optical scanning mirror is shown.

符号の説明Explanation of symbols

100 光走査用ミラー
101 回転体
102 回転中心軸
103 円周
104、105 ミラー面
106 ブランキング部
107 回転軸孔
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Optical scanning mirror 101 Rotating body 102 Rotation center axis 103 Circumference 104, 105 Mirror surface 106 Blanking part 107 Rotation axis hole

Claims (23)

回転中心軸を有し、前記回転中心軸と垂直な平面内の前記回転中心軸を中心とした所定半径の円周に沿ったミラー面を回転中心軸方向に複数有し(以下、回転軸方向複数ミラー)、前記各ミラー面は、その一端から他端に向かって前記回転中心軸に対する傾きが連続的に変化する、前記円周を基準として捻れた面であることを特徴とする光走査用ミラー。   A rotation center axis, and a plurality of mirror surfaces along a circumference of a predetermined radius centered on the rotation center axis in a plane perpendicular to the rotation center axis (hereinafter referred to as the rotation axis direction). A plurality of mirrors), and each mirror surface is a surface twisted with respect to the circumference, the inclination of which is continuously changed from one end to the other end with respect to the rotation center axis. mirror. 請求項1に記載の光走査用ミラーにおいて、前記回転軸方向複数ミラー各々のミラー面に光ビームが照射された場合に、当該光走査用ミラーの回転角と、前記ミラー面により反射された光ビームが前記回転中心軸と平行な平面上を移動する量とが正比例するように、前記ミラー面の傾きがその一端から他端に向かって変化することを特徴とする光走査用ミラー。   2. The optical scanning mirror according to claim 1, wherein when a light beam is irradiated on each mirror surface of the plurality of mirrors in the rotation axis direction, the rotation angle of the optical scanning mirror and the light reflected by the mirror surface An optical scanning mirror characterized in that the inclination of the mirror surface changes from one end to the other end so that the amount by which the beam moves on a plane parallel to the rotation center axis is in direct proportion. 前記回転軸方向複数ミラーの各面は、その中央位置から両端に向かって傾きが増大し、前記中央位置を境に傾きの向きが反転することを特徴とする請求項1又は2に記載の光走査用ミラー。   3. The light according to claim 1, wherein each surface of the plurality of mirrors in the rotation axis direction has an inclination that increases from a central position toward both ends, and the direction of the inclination is reversed at the central position. Scanning mirror. 前記回転軸方向複数ミラーの各々は、前記円周に沿って前記ミラー面を複数有する(以下、円周方向複数ミラー)ことを特徴とする請求項1、2又は3に記載の光走査用ミラー。   4. The optical scanning mirror according to claim 1, wherein each of the plurality of mirrors in the rotation axis direction has a plurality of the mirror surfaces along the circumference (hereinafter, a plurality of mirrors in the circumferential direction). . 前記回転軸方向複数ミラーの各々は、前記円周方向複数ミラーの面を分離するブランキング部を有し、前記ブランキング部を介し隣り合う2つの前記ミラー面の端における傾きは互いに逆向きであることを特徴とする請求項4に記載の光走査用ミラー。   Each of the plurality of mirrors in the rotation axis direction has a blanking portion that separates the surfaces of the plurality of circumferential direction mirrors, and the inclinations at the ends of the two mirror surfaces adjacent to each other through the blanking portion are opposite to each other. The optical scanning mirror according to claim 4, wherein the optical scanning mirror is provided. 前記回転軸方向複数ミラーの各々において、前記円周方向複数ミラーの面は全体として傾きが連続して変化する連続した1つの面からなることを特徴とする請求項4に記載の光走査用ミラー。   5. The optical scanning mirror according to claim 4, wherein in each of the plurality of mirrors in the rotation axis direction, the surfaces of the plurality of mirrors in the circumferential direction are formed as one continuous surface whose inclination changes continuously as a whole. . 前記回転軸方向複数ミラーの各ミラー面は、湾曲した断面形状を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光走査用ミラー。   The optical scanning mirror according to claim 1, wherein each mirror surface of the plurality of mirrors in the rotation axis direction has a curved cross-sectional shape. 前記光走査用ミラーにおいて、ミラー側面には少なくとも1ヶ所の穴若しくは切欠きを有することを特徴とする請求項1に記載の光走査用ミラー。   2. The optical scanning mirror according to claim 1, wherein the optical scanning mirror has at least one hole or notch on a side surface of the mirror. 前記光走査用ミラーにおいて、ミラー側面の片面に少なくとも1ヶ所の凹部があり、反対側側面の同一位置に同数の凸部を持ち、かつ、前記凹部と前記凸部は互いに嵌まる形状であることを特徴とする請求項1に記載の光走査用ミラー。   In the optical scanning mirror, at least one concave portion is provided on one side of the mirror side surface, the same number of convex portions are provided at the same position on the opposite side surface, and the concave portion and the convex portion are fitted to each other. The optical scanning mirror according to claim 1. 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光走査用ミラーをその回転中心軸を中心として回転させ、その回転軸方向複数ミラーの各ミラー面の前記円周上に、回転中心軸と垂直な平面に対して平行な方向からそれぞれ光ビームを照射し、前記各ミラー面で反射された光ビームにより前記回転中心軸と平行な被走査面を走査することを特徴とする光走査方法。   10. The optical scanning mirror according to claim 1, wherein the optical scanning mirror is rotated about its rotation center axis, and is perpendicular to the rotation center axis on the circumference of each mirror surface of the plurality of mirrors in the rotation axis direction. An optical scanning method comprising irradiating a light beam from a direction parallel to a flat surface and scanning a surface to be scanned parallel to the rotation center axis with the light beam reflected by each mirror surface. 請求項4、5又は6に記載の光走査用ミラーをその回転中心軸を中心として回転させ、前記光走査用ミラーの回転軸方向複数ミラー各々にある円周方向複数ミラーの面に複数の光ビームを回転中心軸と垂直な平面に対して平行な方向から同時に照射し、前記の各円周方向複数ミラー面により反射された複数の光ビームにより前記回転中心軸と平行な被走査面を走査することを特徴とする光走査方法。   The optical scanning mirror according to claim 4, wherein the optical scanning mirror is rotated about its rotation center axis, and a plurality of light beams are arranged on the surfaces of the plurality of circumferential direction mirrors in each of the plurality of mirrors in the rotation axis direction of the optical scanning mirror. Simultaneously irradiate a beam from a direction parallel to a plane perpendicular to the rotation center axis, and scan the surface to be scanned parallel to the rotation center axis with a plurality of light beams reflected by the plurality of mirror surfaces in each circumferential direction. An optical scanning method characterized by: 前記光走査用ミラーの回転軸方向複数ミラー各々のミラー面に、その長さ方向より幅方向に広がった強度分布形状を持つ光ビームを照射することを特徴とする請求項10又は11に記載の光走査方法。   The light beam having an intensity distribution shape spreading in the width direction from the length direction is irradiated on the mirror surface of each of the plurality of mirrors in the rotation axis direction of the optical scanning mirror. Optical scanning method. 前記光走査用ミラーを複数、同軸上で同時に回転させ、前記複数の光走査用ミラーの各ミラー面により反射された複数の光ビームにより前記被走査面を走査することを特徴とする請求項10、11又は12に記載の光走査方法   11. The surface to be scanned is scanned with a plurality of light beams reflected by the mirror surfaces of the plurality of light scanning mirrors by simultaneously rotating a plurality of the light scanning mirrors on the same axis. , 11 or 12 Optical scanning method 隣り合う前記光走査用ミラーにおいて、各光走査用ミラーが有する回転軸方向複数ミラーにより反射された光ビームによる走査範囲を一部オーバーラップさせることを特徴とする請求項13に記載の光走査方法。   14. The optical scanning method according to claim 13, wherein in the adjacent optical scanning mirrors, the scanning ranges of the light beams reflected by the plurality of mirrors in the rotation axis direction of the respective optical scanning mirrors are partially overlapped. . 前記光走査用ミラーの回転軸方向複数ミラーにおいて、隣り合うミラーのミラー面により反射された光ビームによる走査範囲を一部オーバーラップさせることを特徴とする請求項10に記載の光走査方法。   11. The optical scanning method according to claim 10, wherein in the plurality of mirrors in the rotation axis direction of the optical scanning mirror, a scanning range by a light beam reflected by a mirror surface of an adjacent mirror is partially overlapped. 前記光走査用ミラーを定速回転させ、前記被走査面を等速走査することを特徴とする請求項10乃至15のいずれか1項に記載の光走査方法。   The optical scanning method according to any one of claims 10 to 15, wherein the optical scanning mirror is rotated at a constant speed to scan the surface to be scanned at a constant speed. 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光走査用ミラーと、前記光走査用ミラーをその回転中心軸を中心として回転させる駆動手段と、前記光走査用ミラーが有する回転軸方向複数ミラー各々のミラー面に光ビームを照射する手段とを有し、前記各ミラー面により反射された光ビームにより前記回転中心軸と平行な被走査面を走査することを特徴とする光走査装置。   10. The optical scanning mirror according to claim 1, driving means for rotating the optical scanning mirror around its rotation center axis, and a plurality of rotation axis direction mirrors included in the optical scanning mirror And a means for irradiating each mirror surface with a light beam, and scanning the surface to be scanned parallel to the rotation center axis with the light beam reflected by each mirror surface. 請求項11乃至16のいずれか1項に記載の光走査用方法を搭載したことを特徴とする請求項17に記載の光走査装置。   The optical scanning device according to claim 17, wherein the optical scanning method according to claim 11 is mounted. 前記光走査用ミラーが有する回転軸方向複数ミラーのミラー面と光源との間に光学系が配され、かつ、回転軸方向複数ミラーのミラー面と被走査面との間にfθレンズを含む光学系が配されていることを特徴とする請求項17又は18に記載の光走査装置。   An optical system in which an optical system is disposed between a mirror surface of a plurality of mirrors in the rotation axis direction of the optical scanning mirror and a light source, and an fθ lens is provided between the mirror surface of the plurality of mirrors in the rotation axis direction and the surface to be scanned. The optical scanning device according to claim 17, wherein a system is arranged. 前記光走査用ミラーが有する回転軸方向複数ミラーのミラー面と被走査面との間に、集光レンズを含む光学系が配されていることを特徴とする請求項19に記載の光走査装置。   20. The optical scanning device according to claim 19, wherein an optical system including a condensing lens is disposed between a mirror surface of a plurality of mirrors in the rotation axis direction of the optical scanning mirror and a surface to be scanned. . 像担持体と、この像担持体の表面を帯電させる手段と、帯電された前記像担持体の表面を被走査面として、画信号により変調された光ビームで走査して静電潜像を形成するための請求項17乃至20のいずれか1項に記載の光走査装置と、前記像担持体上に形成される静電潜像を顕像化する手段とを有することを特徴とする画像形成装置。   An electrostatic latent image is formed by scanning an image carrier, means for charging the surface of the image carrier, and scanning with a light beam modulated by an image signal, using the charged surface of the image carrier as a scanning surface. 21. An image forming apparatus comprising: the optical scanning device according to claim 17; and means for visualizing an electrostatic latent image formed on the image carrier. apparatus. 媒体と、この媒体を搬送する手段と、搬送状態にある媒体に対し画信号により変調された光ビームを走査して媒体上に画像を形成するための請求項17乃至20のいずれか1項に記載の光走査装置とを有することを特徴とする画像形成装置。   21. The method according to claim 17, further comprising: a medium; means for conveying the medium; and scanning the light beam modulated by the image signal with respect to the medium in a conveying state to form an image on the medium. An image forming apparatus comprising the optical scanning device described above. 請求項22に記載の画像形成装置と、前記媒体にインク画像を形成する手段と、該インク画像を記録用紙に転写する手段を搭載したことを特徴とする画像形成装置。   23. An image forming apparatus comprising: the image forming apparatus according to claim 22; means for forming an ink image on the medium; and means for transferring the ink image to a recording sheet.
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