JPH0619494B2 - Optical scanning device - Google Patents

Optical scanning device

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JPH0619494B2
JPH0619494B2 JP59248528A JP24852884A JPH0619494B2 JP H0619494 B2 JPH0619494 B2 JP H0619494B2 JP 59248528 A JP59248528 A JP 59248528A JP 24852884 A JP24852884 A JP 24852884A JP H0619494 B2 JPH0619494 B2 JP H0619494B2
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lens
optical
laser light
scanning device
anamorphic
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明佳 浜田
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体レーザからのレーザ光を光走査装置に
よって走査方向に偏向して露光体上を走査する光走査装
置に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical scanning device that deflects laser light from a semiconductor laser in a scanning direction by an optical scanning device to scan an exposed body.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

レーザ光走査技術を用いたレーザビームプリンタ等の装
置は、処理速度及び解像度を共に大幅に上げることがで
きることから、開発が急速に進んでいる。これらの装置
において、扱う情報量の増大や画質の向上をもたらす要
因である高い解像度を得るためには、結像レンズによっ
て露光体上に結像するレーザ光のスポットを、任意の大
きさに設定制御する必要がある。
Devices such as laser beam printers using the laser beam scanning technology are rapidly developing because both the processing speed and the resolution can be significantly increased. In these devices, in order to obtain high resolution, which is a factor that increases the amount of information handled and improves image quality, the spot of the laser light imaged on the exposure body by the imaging lens is set to an arbitrary size. Need to control.

一方、近年、半導体レーザが、レーザビームプリンタや
レーザディスク等のレーザ光走査技術を用いた装置の光
源として多用されている。半導体レーザは、小型、高効
率、高速、安定であり、自己変調も可能であるという大
きな利点のある反面、次のような特性を有している。
On the other hand, in recent years, a semiconductor laser has been widely used as a light source of an apparatus using a laser beam scanning technique such as a laser beam printer or a laser disk. The semiconductor laser has the following advantages while being small, highly efficient, fast, stable, and capable of self-modulation.

即ち、半導体レーザから発振されるレーザ光は、その活
性領域(T)が接合面に直交する方向に対して極めて狭い
ため、第2図に示すように、ファーフィールドパターン
が接合面に直交する方向(図中Y方向)に長い楕円形状
を呈している。
That is, since the active region (T) of the laser light emitted from the semiconductor laser is extremely narrow with respect to the direction orthogonal to the joint surface, as shown in FIG. 2, the far field pattern is orthogonal to the joint surface. It has a long elliptical shape (Y direction in the figure).

また、半導体レーザの活性領域を形成するに際し、接合
面に平行な方向に対しては、エッチング技術によって比
較的容易に精度を高めることができるのに比して、接合
面に直交する方向に対する精度は、成長条件に依存し、
しかもサブミクロンオーダでこの成長条件を制御するこ
とは極めて困難である。従って、特に、接合面に直交す
る方向に対して、個体間で、発振レーザ光の拡がり角が
大きくバラツクこととなる。
Further, when forming the active region of the semiconductor laser, the accuracy in the direction parallel to the bonding surface can be relatively easily improved by etching technology, while the accuracy in the direction orthogonal to the bonding surface can be improved. Depends on the growth conditions,
Moreover, it is extremely difficult to control this growth condition on the order of submicron. Therefore, the spread angle of the oscillated laser light greatly varies among the individuals, particularly in the direction orthogonal to the joint surface.

そこで、上述したような特性を持つ半導体レーザからの
レーザ光を、露光体上に結像させて得られるスポットの
大きさを最適にするために、種々の提案がなされてい
る。
Therefore, various proposals have been made in order to optimize the size of a spot obtained by imaging a laser beam from a semiconductor laser having the above-mentioned characteristics on an exposure body.

例えば、レーザ光源と光走査器との間にシリンドリカル
ズームレンズを配したものがある。このものは、シリン
ドリカルズームレンズによってレーザ光の接合面に直交
する方向に対してのみ形状変換を行って、スポット形状
を適切な楕円比を持ったものにするとともに、ズーム作
用によって、接合面に直交する方向に対する変換率を変
化させて、半導体レーザ個体間でのこの方向に対するバ
ラツキに拘らず、常に最適なスポット形状が得られるよ
うにしたものである(特開昭57-35824号公報参照)。
For example, there is one in which a cylindrical zoom lens is arranged between a laser light source and an optical scanner. With this lens, the cylindrical zoom lens transforms the shape only in the direction orthogonal to the laser beam joining surface to make the spot shape have an appropriate ellipticity ratio. By changing the conversion rate with respect to this direction, the optimum spot shape can always be obtained regardless of variations in this direction among the individual semiconductor lasers (see Japanese Patent Laid-Open No. 57-35824).

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

一方、レーザビームプリンタ等のレーザ光走査技術を用
いた装置においては、解決すべき今一つの課題がある。
即ち、結像されたレーザ光を露光体上に走査させる光走
査路は、一般的に高速回転するポリゴンミラーが使われ
る事が多い。例えば、このポリゴンミラーにおいて、各
反射面の回転中心に対する傾き誤差があると、露光体上
で走査ムラが生じる。走査ムラを防止するためには、鏡
面の加工精度を上げて傾き誤差をなくせばよいが、コス
ト高となりがちであることから、種々の方式によって補
正する事が多い。例えば、レーザ光の光路内にレンズ群
を設けて補正する方式や、偏向器によって入射角度を変
えて補正する方式等、種々の方式が既に知られている。
On the other hand, an apparatus using a laser beam scanning technique such as a laser beam printer has another problem to be solved.
That is, a polygon mirror that rotates at a high speed is often used as an optical scanning path for scanning the imaged laser light on the exposed body. For example, in this polygon mirror, if there is a tilt error with respect to the rotation center of each reflecting surface, scanning unevenness occurs on the exposed body. In order to prevent the scanning unevenness, it is sufficient to improve the processing accuracy of the mirror surface to eliminate the tilt error, but since it tends to increase the cost, it is often corrected by various methods. For example, various methods are already known, such as a method in which a lens group is provided in the optical path of laser light for correction, and a method in which an incident angle is changed by a deflector to perform correction.

つまり、上述した従来構成によるものにおいては、シリ
ンドリカルズームレンズによってレーザ光に対する形状
変換を行った後、さらに、光走査器に対する補正を行う
必要がある。そのため、光走査装置全体として、コンパ
クト化が防げられるとともに、レンズ等の部品数増加に
よってコスト高となっていた。
That is, in the above-described conventional configuration, it is necessary to perform shape conversion on the laser light by the cylindrical zoom lens and then perform correction on the optical scanner. Therefore, the optical scanning device as a whole is prevented from being made compact, and the cost is increased due to an increase in the number of parts such as lenses.

本発明の目的は、上述の実情に鑑み、半導体レーザから
発振されるレーザ光が露光体上でのスポット形状を常に
適切に変換するための構成、及び、光走査器の傾き誤差
を補正するための構成を、光走査装置全体がコンパクト
で、かつ、コストダウンの計れるものにすることにあ
る。
In view of the above-mentioned circumstances, an object of the present invention is to constantly correct the spot shape on the exposed body by the laser light emitted from the semiconductor laser, and to correct the tilt error of the optical scanner. The purpose of the present invention is to make the entire optical scanning device compact and to reduce the cost.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

半導体レーザからのレーザ光を光走査器によって走査方
向に偏向して露光体上を走査する光走査装置において、
前記走査方向と直交する方向について、前記光走査器の
偏向面及び前記露光体上においてレーザ光を収束するよ
うに構成されたアナモフィックズームレンズを備え、こ
のアナモフィックズームレンズが、レーザ光の伝播方向
に対して可動であって前記走査方向と直交する方向に屈
折力を有する複数枚のアナモフィックレンズを有する可
動レンズユニットを含み、この可動レンズユニットが、
前記半導体レーザから前記光走査器に至る光路上、また
は、前記光走査器から前記露光体に至る光路上に配置さ
れているとともに、前記半導体レーザの接合面と直交す
る方向と、前記アナモフィックズームレンズによる屈折
力の大きい方向と、前記走査方向と直交する方向とが一
致されている点にある。
In an optical scanning device that deflects a laser beam from a semiconductor laser in a scanning direction by an optical scanner to scan on an exposed body,
In a direction orthogonal to the scanning direction, an anamorphic zoom lens configured to converge the laser light on the deflection surface of the optical scanner and the exposed body, the anamorphic zoom lens, in the propagation direction of the laser light A movable lens unit having a plurality of anamorphic lenses that are movable with respect to each other and have a refractive power in a direction orthogonal to the scanning direction is included.
The anamorphic zoom lens is disposed on the optical path from the semiconductor laser to the optical scanner or on the optical path from the optical scanner to the exposure body, and is orthogonal to the bonding surface of the semiconductor laser. The direction in which the refracting power is large and the direction orthogonal to the scanning direction coincide with each other.

〔作用〕[Action]

本発明の光走査装置によれば、光走査器の傾き誤差の影
響を受ける走査方向と直交する方向と、レーザ光の拡が
り角のバラツキが大きい半導体レーザの接合面と直交す
る方向を一致させ、さらにこの一致された方向とアナモ
フィックズームレンズによる屈折力が大きい方向とを一
致させることによって、光走査器の傾き誤差の補正とレ
ーザ光の拡がり角のバラツキの補正とを一度に実行す
る。すなわち、アナモフィックズームレンズが、走査方
向と直交する方向に屈折力を有し、光走査器の偏向面及
び露光体上においてレーザ光を収束することにより、光
走査器の傾き誤差が補正できる。そして、可動レンズユ
ニットが、レーザ光の伝播方向に対して可動で走査方向
と直交する方向に屈折力を有する複数枚のアナモフィッ
クレンズを有していることにより、傾き誤差を補正しつ
つレーザ光の形状が補正できる。
According to the optical scanning device of the present invention, the direction orthogonal to the scanning direction affected by the tilt error of the optical scanner and the direction orthogonal to the bonding surface of the semiconductor laser having a large variation in the divergence angle of the laser light are matched, Furthermore, by matching the matched direction with the direction in which the anamorphic zoom lens has a large refractive power, the tilt error of the optical scanner and the divergence of the laser light are corrected at once. That is, the anamorphic zoom lens has a refractive power in the direction orthogonal to the scanning direction and converges the laser light on the deflecting surface of the optical scanner and the exposure body, whereby the tilt error of the optical scanner can be corrected. The movable lens unit includes a plurality of anamorphic lenses that are movable with respect to the propagation direction of the laser light and have a refractive power in a direction orthogonal to the scanning direction. The shape can be corrected.

〔実施例〕〔Example〕

以下に、図面に基づいて、本発明の実施例を説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は、レーザビームプリンタにおける光走査装置の
概略構成を示している。入力映像信号に応じたパルス変
調により、半導体レーザ(1)からレーザ光(BO)が発振さ
れる。この時レーザ光(BO)は第2図に示すようなファー
フィールドパターンを持ったものであり、半導体レーザ
(1)は、接合面と直交する方向(図中Y方向)が感光体
ドラム(4)上での副走査方向(第1図中S方向)と一致
するようにセットされている。発振されたレーザ光(BO)
は、コリメータレンズ(2)によって平行光にされ、高速
回転するポリゴンミラー(3)の1つの鏡面で反射され
る。光走査器の1例であるこのポリゴンミラー(3)の回
転で、鏡面のレーザ光(BO)に対する傾きが変化し、それ
に伴って、反射後のレーザ光(BR)は、露光体の一例であ
る感光体ドラム(4)の長手方向に向かって走査される。
このレーザ光(BR)は、結像レンズの一例であるfθレン
ズ(5)によって収束され、一様に帯電された感光体ドラ
ム(4)上に結像してその位置の帯電電位を減少させる。
そして、上記の動作の繰り返しによって感光体ドラム
(4)上に静電潜像が形成される。図中(6)は、ドラム(4)
の回転方向に対して、各走査開始位置に揃えるためのレ
ーザ光検出用光センサである。
FIG. 1 shows a schematic configuration of an optical scanning device in a laser beam printer. Laser light (B O ) is oscillated from the semiconductor laser (1) by pulse modulation according to the input video signal. At this time, the laser beam (B O ) has a far-field pattern as shown in FIG.
(1) is set so that the direction (Y direction in the drawing) orthogonal to the joining surface coincides with the sub-scanning direction (S direction in FIG. 1) on the photosensitive drum (4). Generated laser light (B O )
Is collimated by the collimator lens (2) and reflected by one mirror surface of the polygon mirror (3) rotating at high speed. The rotation of the polygon mirror (3), which is an example of an optical scanner, changes the tilt of the mirror surface with respect to the laser light (B O ), and the reflected laser light (B R ) is reflected from the exposed body. Scanning is performed in the longitudinal direction of the photosensitive drum (4) which is an example.
The laser beam (B R) is converged by the fθ lens which is an example of the imaging lens (5), and forms an image on the uniformly charged photosensitive drum (4) reducing the charging potential of the location Let
Then, by repeating the above operation, the photosensitive drum
(4) An electrostatic latent image is formed on it. In the figure (6) is the drum (4)
It is an optical sensor for laser light detection for aligning each scanning start position with respect to the rotation direction of.

その後、図示は省略するが、着色顔料であるトナーをこ
の静電潜像部分に選択付着させて現像し、出力用紙をト
ナー像面に接触させて紙面上にトナー像を転写し、この
紙を加熱することによってトナーを融解して紙に定着さ
せ、出力画像を得るのである。
After that, although not shown in the figure, toner, which is a color pigment, is selectively adhered to the electrostatic latent image portion and developed, and the output paper is brought into contact with the toner image surface to transfer the toner image onto the paper surface. By heating, the toner is melted and fixed on the paper, and an output image is obtained.

本発明による光走査装置においては、上述したレーザ光
の光路に、アナモフィックズームレンズ(Z)を設けてあ
る。第1図に示すように、このアナモフィックズームレ
ンズ(Z)は、各別がレーザ光(BO)の伝播方向(図中P方
向)に対して位置変更固定自在な、アナモフィックレン
ズの一例である第1と第2のシリンドリカルレンズ
(L1),(L2)からなる可動レンズユニット(UM)、及び、位
置固定された、アナモフィックレンズの一例である第3
のシリンドリカルレンズ(L3)からなる固定レンズユニッ
ト(UF)によって構成されている。可動レンズユニット(U
M)は、コリメータレンズ(2)とポリゴンミラー(3)との間
に介装され、固定レンズユニット(UF)は、fθレンズ
(5)と感光体ドラム(4)との間の光路に介装されている。
また、各レンズ(L1),(L2),(L3)は、アナモフィックズー
ムレンズ(Z)としての屈折力の大きい方向(図中R方
向)が感光体ドラム(4)上での副走査方向(図中S方
向)に一致するように配置されている。
In the optical scanning device according to the present invention, the anamorphic zoom lens (Z) is provided in the optical path of the laser beam described above. As shown in FIG. 1, the anamorphic zoom lens (Z) is an example of an anamorphic lens in which the position of each anamorphic zoom lens (Z) is freely changeable and fixed with respect to the propagation direction of the laser light (B O ) (P direction in the drawing). First and second cylindrical lens
(L 1), (L 2 ) movable lens unit consisting of (U M), and was fixed in position, the third is an example of the anamorphic lens
It is composed of a fixed lens unit (U F ) including a cylindrical lens (L 3 ). Movable lens unit (U
M ) is interposed between the collimator lens (2) and the polygon mirror (3), and the fixed lens unit (U F ) is the fθ lens.
It is interposed in the optical path between (5) and the photoconductor drum (4).
Further, each lens (L 1 ), (L 2 ), (L 3 ) has a sub-direction on the photoconductor drum (4) in the direction with a large refracting power (R direction in the figure) as the anamorphic zoom lens (Z). They are arranged so as to coincide with the scanning direction (S direction in the figure).

そして、このアナモフィックズームレンズ(Z)により、
レーザ光の形状変換とポリゴンミラー(3)の反射面(3a)
の傾き補正とを一度に行えるようになっている。つま
り、第3図(イ),(ロ)に示すように、第1と第2のシリン
ドリカルレンズ(L1),(L2)は、夫々入射レーザ光(BO)
を、その径(DO)に応じて常にポリゴンミラー(3)の反射
面(3a)上で走査方向に平行な直線状に結像させるような
位置関係を保ったまま、即ち、両レンズ(L1),(L2)によ
る合成焦点がこの反射面(3a)にあるような位置関係を保
ったまま、レーザ光の伝播方向(図中P方向)に移動す
るようになっている。反射面(3a)で反射されたレーザ光
(BR)は、fθレンズ(5)、及び、第3シリンドリカルレ
ンズ(L3)により収束されて感光体ドラム(4)上に径(DS)
を持つスポットとして照射される。つまり、この反射面
(3a)と感光体ドラム(4)表面とは、常に物点と像点との
関係にあり、反射面(3a)の傾きに拘らず、反射されたレ
ーザ光(BR)を常に副走査方向(図中S方向)に対して同
一位置に収束させるのである。
And with this anamorphic zoom lens (Z),
Shape conversion of laser light and reflection surface (3a) of polygon mirror (3)
The tilt correction of can be done at the same time. That is, as shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), the first and second cylindrical lenses (L 1 ) and (L 2 ) are incident laser beams (B O ), respectively.
While maintaining the positional relationship such that the image is always formed in a straight line parallel to the scanning direction on the reflecting surface (3a) of the polygon mirror (3) according to its diameter (D O ), that is, both lenses ( The combined focal point of L 1 ) and (L 2 ) is moved in the propagation direction of the laser light (P direction in the figure) while maintaining the positional relationship as on the reflecting surface (3a). Laser light reflected by the reflecting surface (3a)
(B R ) is converged by the fθ lens (5) and the third cylindrical lens (L 3 ), and the diameter (D S ) is formed on the photoconductor drum (4).
Is illuminated as a spot with. In other words, this reflective surface
(3a) and the surface of the photoconductor drum (4) are always in a relationship between an object point and an image point, and the reflected laser beam ( BR ) is always sub-scanned regardless of the inclination of the reflecting surface (3a). It is converged at the same position with respect to the direction (S direction in the figure).

また、この時、入射レーザ光径(DO)と照射スポット径(D
S)とは の関係を有している。ここに(f3)は第3のシリンドリカ
ルレンズの焦点距離、また、(f12)は第1と第2のシリ
ンドリカルレンズによる合成焦点距離であり、夫々のレ
ンズの焦点距離を(f1),(f2)、両レンズ間の距離を(d)と
すると、 で表されるものである。つまり、第1と第2のシリンド
リカルレンズ(L1),(L2)間の距離を変える事によって、
スポット径(DS)を入射レーザ光径(DO)に対して変化させ
ることができる。例えば、第3図(イ)に示すように入射
レーザ光径(DO)が(DO1)の場合にも、第3図(ロ)に示すよ
うに入射レーザ光径(DO)が(DO2)の場合にも、共に感光
体ドラム(4)上でのスポット径(DS)を一定にすることが
できるのである。
At this time, the incident laser beam diameter (D O ) and irradiation spot diameter (D
What is S ) Have a relationship. Here, (f 3 ) is the focal length of the third cylindrical lens, and (f 12 ) is the combined focal length of the first and second cylindrical lenses, and the focal length of each lens is (f 1 ), (f 2 ) and the distance between both lenses is (d), It is represented by. That is, by changing the distance between the first and second cylindrical lenses (L 1 ) and (L 2 ),
The spot diameter (D S ) can be changed with respect to the incident laser light diameter (D O ). For example, even when the incident laser light diameter (D O ) is (D O1 ) as shown in FIG. 3 (a), the incident laser light diameter (D O ) is (( O ) as shown in FIG. 3 (B). Also in the case of D O2 ), the spot diameter (D S ) on the photosensitive drum (4) can be made constant.

従って、以上のような構成及び特性を持つアナモフィッ
クズームレンズ(Z)を、その屈折力の大きい方向(図中
R方向)が副走査方向(図中S方向)と一致するように
設けてあるから、接合面と直交する方向(第2図中Y方
向)を副走査方向(図中S方向)に一致させた半導体レ
ーザ(1)からのレーザ光(BO)の形状を、個体間でのこの
方向に対するバラツキに見合って第1と第2のシリンド
リカルレンズ(L1),(L2)を適宜移動させることによっ
て、常に一定の形状に変換することができるのである。
Therefore, the anamorphic zoom lens (Z) having the above configuration and characteristics is provided so that the direction in which the refracting power is large (R direction in the drawing) coincides with the sub-scanning direction (S direction in the drawing). , The direction of the laser beam (B O ) from the semiconductor laser (1) in which the direction (Y direction in FIG. 2) orthogonal to the bonding surface is matched with the sub-scanning direction (S direction in the drawing) By appropriately moving the first and second cylindrical lenses (L 1 ) and (L 2 ) in accordance with the variation in this direction, it is possible to always convert the lens into a constant shape.

第4図に示すものは別の実施例であり、このものにおい
ては、コリメータレンズ(2)とポリゴンミラー(3)との間
に固定レンズユニット(UF)があり、fθレンズ(5)と感
光体ドラム(4)との間に可動レンズユニット(UM)を位置
させてある。この場合のアナモフィックズームレンズ
(Z)としての作用を第5図(イ),(ロ)に示す。つまり、第3
のシリンドリカルレンズ(L3)によって入射レーザ光(BO)
はポリゴンミラー(3)の反射面(3a)上に収束される。そ
して、反射後のレーザ光(BR)に対して、第1と第2のシ
リンドリカルレンズ(L1),(L2)の移動によるズーム作用
で、常にスポット径(DS)が一定になるような形状変換を
行うのである。この時、第1と第2のシリンドリカルレ
ンズ(L1),(L2)は、夫々、両レンズ(L1),(L2)による合成
焦点がポリゴンミラー(3)の反射面(3a)上にあるように
位置関係を保ったまま移動する。
FIG. 4 shows another embodiment, in which there is a fixed lens unit (U F ) between the collimator lens (2) and the polygon mirror (3) and the fθ lens (5) The movable lens unit ( UM ) is located between the photoconductor drum (4). Anamorphic zoom lens in this case
The action as (Z) is shown in Fig. 5 (a) and (b). That is, the third
Incident laser light (B O ) by the cylindrical lens (L 3 )
Are converged on the reflecting surface (3a) of the polygon mirror (3). Then, the laser beam after reflection (B R), the first and second cylindrical lens (L 1), move the zoom action by always spot diameter (D S) is a constant (L 2) Such shape conversion is performed. At this time, the first and second cylindrical lenses (L 1 ) and (L 2 ) respectively have a combined focal point of both lenses (L 1 ) and (L 2 ) as the reflecting surface (3a) of the polygon mirror (3). Move while maintaining the positional relationship as shown above.

従って、第5図(イ)に示すように入射レーザ光径(DO)が
(DO3)の場合にも、第5図(ロ)に示すように入射レーザ光
径(DO)が(DO4)の場合にも、共に感光体ドラム(4)上での
スポット径(DS)を一定にすることができるのである。
Therefore, as shown in FIG. 5 (a), the incident laser beam diameter (D O ) is
In the case of (D O3 ), as shown in FIG. 5 (B), when the incident laser beam diameter (D O ) is (D O4 ), the spot diameter on the photosensitive drum (4) ( D S ) can be kept constant.

つまり、アナモフィックズームレンズ(Z)における可動
レンズユニット(UM)と固定レンズユニット(UF)との、ポ
リゴンミラー(3)に対する位置関係は、前後逆であって
もよく、要するに、ポリゴンミラー(3)等の光走査器が
両レンズユニット(UM),(UF)の間に位置するようにすれ
ばよい。
In other words, the positional relationship between the movable lens unit (U M ) and the fixed lens unit (U F ) of the anamorphic zoom lens (Z) with respect to the polygon mirror (3) may be reversed in the front and rear. The optical scanner such as 3) may be located between both lens units (U M ) and (U F ).

可動レンズユニット(UM)を構成するアナモフィックレン
ズの枚数は、2枚以上であれば任意である。また、各レ
ンズの形状、形式、特性等は適宜変更自在であり、例え
ば同一形状の複数枚のレンズを用いて、コストダウンを
計ることも可能である。さらに、凸レンズ許りの組み合
わせに変えて凹レンズを用いて占有スペースを小さくす
ることもできる。一方、固定レンズユニット(UF)を構成
するアナモフィックレンズの枚数は任意であり、各レン
ズの形状形式、特性等も適宜変更可能である。
Number of anamorphic lenses constituting the movable lens unit (U M) is arbitrary as long as two or more. Further, the shape, type, characteristics, etc. of each lens can be changed as appropriate, and for example, it is possible to reduce the cost by using a plurality of lenses having the same shape. Furthermore, the occupied space can be reduced by using a concave lens instead of the combination of convex lenses. On the other hand, the number of anamorphic lenses forming the fixed lens unit (U F ) is arbitrary, and the shape type, characteristics, etc. of each lens can be appropriately changed.

〔発明の効果〕 以上の説明から明らかなように、本発明の光走査装置に
よれば、光走査器の傾き誤差の補正とレーザ光の拡がり
角のバラツキの補正とがアナモフィックズームレンズに
よって一度に実行される。この結果、光学系の構成の単
純化が可能となり、光走査装置全体のコンパクト化及び
コストダウンを図ることができる。
[Advantages of the Invention] As is apparent from the above description, according to the optical scanning device of the present invention, the correction of the tilt error of the optical scanner and the correction of the variation of the divergence angle of the laser beam are performed at once by the anamorphic zoom lens. To be executed. As a result, the configuration of the optical system can be simplified, and the entire optical scanning device can be made compact and the cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

図面は本発明に係る光走査装置の実施例を示し、第1図
は光走査装置の概略図、第2図は半導体レーザからのレ
ーザ光発振を示す斜視図、第3図(イ),(ロ)は夫々アナモ
フィックズームレンズの作用を示す説明図である。第4
図は別の実施例を示す第1図に相当する概略図、第5図
(イ),(ロ)は別の実施例における第3図(イ),(ロ)に相当する
説明図である。 (1)……半導体レーザ、(3)……光走査器、(4)……露光
体、(5)……結像レンズ、(Z)……アナモフィックズーム
レンズ、(UM)……可動レンズユニット、(UF)……固定レ
ンズユニット、(P)……レーザ光の伝播方向、(R)……ア
ナモフィックズームレンズの屈折力の大きい方向、(S)
……副走査方向、(Y)……半導体レーザの接合面に直交
する方向。
The drawings show an embodiment of an optical scanning device according to the present invention. FIG. 1 is a schematic view of the optical scanning device, FIG. 2 is a perspective view showing laser light oscillation from a semiconductor laser, and FIGS. (B) is an explanatory diagram showing the operation of the anamorphic zoom lens. Fourth
FIG. 5 is a schematic view corresponding to FIG. 1 showing another embodiment, and FIG.
(A) and (B) are explanatory views corresponding to FIG. 3 (A) and (B) in another embodiment. (1) …… Semiconductor laser, (3) …… Optical scanner, (4) …… Exposure body, (5) …… Imaging lens, (Z) …… Anamorphic zoom lens, (U M ) …… Movable Lens unit, (U F ) ... Fixed lens unit, (P) ... Laser beam propagation direction, (R) ... Anamorphic zoom lens with large refracting power, (S)
…… Sub-scanning direction, (Y) …… Direction orthogonal to the bonding surface of the semiconductor laser.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】半導体レーザからのレーザ光を光走査器に
よって走査方向に偏向して露光体上を走査する光走査装
置において、 前記走査方向と直交する方向について、前記光走査器の
偏向面及び前記露光体上においてレーザ光を収束するよ
うに構成されたアナモフィックズームレンズを備え、 このアナモフィックズームレンズが、レーザ光の伝播方
向に対して可動であって前記走査方向と直交する方向に
屈折力を有する複数枚のアナモフィックレンズを有する
可動レンズユニットを含み、 この可動レンズユニットが、前記半導体レーザから前記
光走査器に至る光路上、または、前記光走査器から前記
露光体に至る光路上に配置されているとともに、 前記半導体レーザの接合面と直交する方向と、前記アナ
モフィックズームレンズによる屈折力の大きい方向と、
前記走査方向と直交する方向とが一致されていることを
特徴とする光走査装置。
1. An optical scanning device which deflects laser light from a semiconductor laser in a scanning direction by an optical scanning device to scan on an exposure body, wherein a deflection surface of the optical scanning device and a deflection surface of the optical scanning device are orthogonal to the scanning direction. An anamorphic zoom lens configured to converge the laser light on the exposed body is provided, and the anamorphic zoom lens is movable with respect to the propagation direction of the laser light and has a refractive power in a direction orthogonal to the scanning direction. And a movable lens unit having a plurality of anamorphic lenses, the movable lens unit being arranged on an optical path from the semiconductor laser to the optical scanner or on an optical path from the optical scanner to the exposure body. In addition, the direction orthogonal to the bonding surface of the semiconductor laser and the refractive power of the anamorphic zoom lens With the larger direction of
An optical scanning device, wherein a direction orthogonal to the scanning direction is matched.
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