JP2005344155A - 成膜方法、光学素子及びそれが搭載された投影露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
本発明は、紫外領域において曇りにくくかつ光学特性にも優れた光学素子を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、基板を真空蒸着装置にて成膜する第1の成膜工程と、前記第1の成膜工程にて成膜された基板を、スパッタリング装置に真空状態で搬送する搬送工程と、前記搬送された基板をスパッタリング装置にて成膜する第2の成膜工程とからなる成膜方法を特徴とする。
【選択図】
図1
本発明は、紫外領域において曇りにくくかつ光学特性にも優れた光学素子を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、基板を真空蒸着装置にて成膜する第1の成膜工程と、前記第1の成膜工程にて成膜された基板を、スパッタリング装置に真空状態で搬送する搬送工程と、前記搬送された基板をスパッタリング装置にて成膜する第2の成膜工程とからなる成膜方法を特徴とする。
【選択図】
図1
Description
本発明は、光学素子に関するものであり、特に、紫外領域で、汚れ物質が吸収しにくい光学素子の製造方法に関する。
光学素子には多くの光学薄膜が施されている。例えば、反射防止膜は好ましくない反射を低減するために光学基板に施され、反射膜は入射光を光学基板の表面で効率よく反射させ、所望の光学特性で光量を低下させることなく施される。光学素子の例としては、レンズ、プリズム等が挙げられる。
現在、半導体露光装置における光学システムは、ULSIの高集積化及び高機能化が進み、加工線幅0.18μmを可能にするために、その投影レンズには、高い解像度と深い焦点深度とが要求されている。この解像度と焦点深度は、露光に使用される波長(λ)とレンズの開口数(N.A.)によって決まる。
細かいパターンほど回折光の角度が大きくなり、レンズのN.A.が大きくなれば回折光を取り込めなくなる。またλが短いほど同じパターンでの回折光の角度が小さくなる。
解像度と焦点深度とは、次式のように表される。
解像度=k1・λ/N.A.
焦点深度=k2・λ/(N.A.)2
(但し、k1及びk2は比例定数である)
したがって、解像度を向上させるために、N.A.を大きくするか、λを短波長化すればよい。上式から明らかなように、λを小さくした方が、焦点深度の点で有利である。このような観点から、光源の波長は、g線(436nm)からi線(365nm)へ、さらにKrF(248nm)やArF(193nm)エキシマレーザーへと短波長化が進められている。
解像度と焦点深度とは、次式のように表される。
解像度=k1・λ/N.A.
焦点深度=k2・λ/(N.A.)2
(但し、k1及びk2は比例定数である)
したがって、解像度を向上させるために、N.A.を大きくするか、λを短波長化すればよい。上式から明らかなように、λを小さくした方が、焦点深度の点で有利である。このような観点から、光源の波長は、g線(436nm)からi線(365nm)へ、さらにKrF(248nm)やArF(193nm)エキシマレーザーへと短波長化が進められている。
しかしながら短波長化が進んでくると、薄膜表面にわずかに吸着した大気中の水分や有機物質などの汚れ物質による透過率低下が大きくなっていく。さらに吸着した汚れ物質に紫外光を照射しつづけると分解反応及び化学反応が起き、光学素子表面に固着して拭き取り不可能な曇りとなって透過率低下が更に進んでいく。特に、深紫外域、例えば、193nmにおいては、この問題が深刻なものになっている。
また、成膜方法に目を向けると、真空蒸着よりもマグネトロンスパッタリングやイオンビームスパッタリング等のスパッタリングで作製した方が、薄膜表面が平滑かつ緻密な光学薄膜ができることが知られている。図4に真空蒸着で作成されたフッ化マグネシウム薄膜及びイオンビームスパッタリングで作製された酸化アルミニウム薄膜の原子間力顕微鏡像を示す。比較しやすいように、高さを表す濃淡をどちらも10nmにしている。イオンビームスパッタリングで作製された薄膜の方が、非常に平坦でかつ緻密であることが判る。
薄膜表面が平滑かつ緻密な光学薄膜は、表面積が非常に小さいために、膜表面への大気中の水分や有機物質の吸着が小さく、光照射による光学特性の変化が少ない。即ち、長期耐久性及び安定性を持つ光学薄膜を得ることができる。
薄膜表面が平滑かつ緻密な光学薄膜は、表面積が非常に小さいために、膜表面への大気中の水分や有機物質の吸着が小さく、光照射による光学特性の変化が少ない。即ち、長期耐久性及び安定性を持つ光学薄膜を得ることができる。
しかしながら、一般にイオンビームスパッタリングで作製された光学薄膜は、真空蒸着で作製された光学薄膜よりも、膜損失が大きく光学特性が劣ってしまう。これは、焼結体ターゲットに含まれる不純物がそのまま薄膜に転写されてしまうことや、プラズマプロセスであるが故に、成膜中に堆積した膜にどうしてもプラズマダメージが起きてしまうためである。
これに反して、真空蒸着膜は蒸着材料を蒸発させて成膜するために蒸着材料に不純物の混入が少なく、プラズマダメージとは無縁であるために、深紫外域でも優れた光学特性を示す。さらに、均一性がよく、成膜速度も速いために、イオンビームスパッタリングよりも生産性の面でも優れている。
特開2002−115047号公報
真空蒸着膜は光学特性が優れているが曇りやすい。スパッタ膜は光学特性が劣っているが曇りにくい。特にこの傾向は、深紫外域になればなるほど、顕著になっていく。そのため光学特性も優れ、かつ曇りにくい光学素子を作製することは難しかった。
本発明は、上記の問題点を解決し、紫外領域において曇りにくくかつ光学特性にも優れた光学素子を提供することにある。
請求項1に記載の発明は、基板を真空蒸着装置にて成膜する第1の成膜工程と、前記第1の成膜工程にて成膜された基板を、スパッタリング装置に真空状態で搬送する搬送工程と、前記搬送された基板をスパッタリング装置にて成膜する第2の成膜工程とからなる成膜方法を提供する。
請求項2に記載の発明は、前記第2の成膜工程は、マグネトロンスパッタリングまたは、イオンビームスパッタリングであることを特徴とする請求項1に記載の成膜方法を提供する。
請求項3に記載の発明は、基板と、前記基板上に積層された多層膜とを備えた光学素子において、前記多層膜の最上層がスパッタリングで成膜されたことを特徴とする光学素子を提供する。
請求項4に記載の発明は、前記スパッタリングは、マグネトロンスパッタリングまたは、イオンビームスパッタリングであることを特徴とする請求項3に記載の光学素子を提供する。
請求項5に記載の発明は、請求項3または4に記載の光学素子が搭載された投影露光装置を提供する。
高い光学特性を持ちかつ曇りにくい光学素子を作ることができたので、本光学素子を搭載した投影露光装置は、長時間にわたって光学性能を維持できるので、光学部品を交換する時期を大幅に伸ばすことができる。
本発明に係わる紫外用光学素子の製造方法を以下に説明するが、本発明はこの例に限定されるものではない。
図1は、蛍石の基板上に193nm用の反射防止膜が成膜された光学素子の断面構成図である。3層からなる多層の反射防止膜で、基板側から第1層は真空蒸着で作製したフッ化マグネシウム膜、第2層は真空蒸着で作製したフッ化ランタン膜、最上層の第3層はマグネトロンスパッタで作製したフッ化アルミニウム膜である。真空蒸着は、10-7Pa以下に減圧された真空チャンバー内で白金製蒸着ボートで蒸着物質を加熱して行われた。第1層及び第2層が真空蒸着装置ないで成膜された後、真空運搬装置を介して光学素子をマグネトロンスパッタリング装置に移動させる。第3層を成膜するマグネトロンスパッタリングは、10-6Pa以下に減圧された真空チャンバー内にAr/F2混合ガスを増すフローコントローラーで5×10-2Paまで導入し、直径6インチのフッ化アルミニウム焼結体ターゲットに600WのRFパワーを印可して行った。Ar/F2混合ガスの割合は、モル比で、80/20である。
上記のように3層の反射防止膜を蛍石基板の両面に成膜した光学素子の透過率測定及び本光学素子を2週間クリーンルーム内に放置した後の透過率測定をした。
図2は、波長(λ)における透過率を表す図である。図中、線Aは、成膜後の本光学素子の透過率を表し、線Bは、成膜2週間後クリーンルーム内に放置した本光学素子の透過率を表す。図2に示すように、成膜後の本光学素子は、波長193nmにおいて透過率99.5%以上と非常に良好な光学特性を示した。さらに2週間、クリーンルーム内に放置した後の波長193nmにおける透過率劣化も2.1%であった。この数値は、従来の真空蒸着のみで成膜した同様の膜構成の反射防止膜に対しての同様の透過率劣化に対して約2/3程度に抑えることができた。
図2は、波長(λ)における透過率を表す図である。図中、線Aは、成膜後の本光学素子の透過率を表し、線Bは、成膜2週間後クリーンルーム内に放置した本光学素子の透過率を表す。図2に示すように、成膜後の本光学素子は、波長193nmにおいて透過率99.5%以上と非常に良好な光学特性を示した。さらに2週間、クリーンルーム内に放置した後の波長193nmにおける透過率劣化も2.1%であった。この数値は、従来の真空蒸着のみで成膜した同様の膜構成の反射防止膜に対しての同様の透過率劣化に対して約2/3程度に抑えることができた。
図3は、基板上に真空蒸着とイオンビームスパッタとを組み合わせて248nm用の高反射膜が成膜された光学素子(ミラー)の断面構成図である。基板の形状は平行平板であり、その材質は合成石英ガラスである。膜総数は31層で、基板側から29層目までは真空蒸着で酸化ハフニウム層と酸化珪素層とが交互に積層されている。30層目及び31層目はそれぞれ酸化珪素層、酸化ハフニウム層、であり、2つの層はイオンビームスパッタで成膜されている。
イオンビームスパッタリング装置は、イオン源、イオン源から出てきた希ガスイオンを電気的に中性化するニュートラライザー、薄膜材料の原料となるターゲットから構成される。イオン源にArやXe等の希ガスを導入させて電離させプラスイオン(Ar+やXe+)を発生させる。このプラスイオンは、真空チャンバー内に設けられたマイナスに印可されたグリッドに引き寄せられる。プラスイオンは、グリッドに設けられた穴を介して、真空チャンバー内に高速で導入される。導入されたプラスイオンは、電子またはマイナスイオン(Ar-やXe-)を発生させるニュートラライザーによって電気的に中性化される。中性化された高速希ガス粒子(ArやXe)はターゲットに衝突し、ターゲットはスパッタリングされる。対向した位置に配置された基板の表面に薄膜が形成されていく。
次に具体的な成膜方法を開示する。
真空蒸着は、10-7Pa以下に減圧された真空チャンバー内で白金製蒸着ボートにて蒸着物質を加熱して行われた。第29層までを真空蒸着装置で成膜した後、真空搬送機を介してイオンビームスパッタリング装置に光学素子を移動させる。所定の位置に移動が完了した光学素子にイオンビームスパッタで酸化珪素層、酸化ハフニウム層を成膜する。
真空蒸着は、10-7Pa以下に減圧された真空チャンバー内で白金製蒸着ボートにて蒸着物質を加熱して行われた。第29層までを真空蒸着装置で成膜した後、真空搬送機を介してイオンビームスパッタリング装置に光学素子を移動させる。所定の位置に移動が完了した光学素子にイオンビームスパッタで酸化珪素層、酸化ハフニウム層を成膜する。
完成した光学素子の波長248nm、入射角度45度における反射率は、S波及びP波のいずれも99.5%以上と高い反射率であった。
本光学素子を実施例1と同様にクリーンルーム内に2週間、放置した後、波長248nm、入射角度45度における反射率を測定した。S波及びP波のいずれも98.5%以上であり、汚れや曇りによる光学特性の低下は少なかった。
本光学素子を実施例1と同様にクリーンルーム内に2週間、放置した後、波長248nm、入射角度45度における反射率を測定した。S波及びP波のいずれも98.5%以上であり、汚れや曇りによる光学特性の低下は少なかった。
図5は、本発明の光学系を用いた投影露光装置の概念図である。投影露光装置は、フォトレジストを表面に塗布したウェハ上にレチクルのマスクパターンを縮小投影露光する装置である。
図5で、100はエキシマレーザ等の真空紫外光を射出する光源、Rはマスクパターンを備えたレチクル、200は光源100からの光をレチクルRに照射する照明光学系、Wはフォトレジストを表面に塗布したウェハ、500はレチクルRのマスクパターンをウェハW上に縮小投影露光する投影光学系、401はウェハWを移動させるウェハステージ、301はレチクルRを移動させるレチクルステージである。光源100、レチクルステージ301およびウェハステージ401は、制御装置600によって制御される。
光源100から射出された真空紫外光は、照明光学系200で整形・均一化された後、レチクルRに照射され、レチクルRを透過する。投影光学系500は、レチクルRを透過した光をウェハWに照射することによって、レチクルRのマスクパターンをウェハWの表面に縮小投影露光する。
投影光学系500は、レチクルRのパターンを非常に正確にウェハW上に縮小投影露光する光学系であり、高い解像度が必要である。高い解像度の投影光学系500を製造するためには、投影光学系500を構成する光学素子が、面変化等の歪みのないもので無ければならない。本発明の光学素子は、面変化等の歪みが無いので、その光学素子を用いた投影露光装置は高い結像性能を確保できる。
また、投影光学系500以外の光学系を構成する光学素子についても、本発明によるもので構成すれば、高い結像性能を有する投影露光装置となることは言うまでもない。
100・・・光源
R・・・レチクル
200・・・照明光学系
W・・・ウェハ
500・・・投影光学系
401・・・ウェハステージ
301・・・レチクルステージ
600・・・制御装置
R・・・レチクル
200・・・照明光学系
W・・・ウェハ
500・・・投影光学系
401・・・ウェハステージ
301・・・レチクルステージ
600・・・制御装置
Claims (5)
- 基板を真空蒸着装置にて成膜する第1の成膜工程と、
前記第1の成膜工程にて成膜された基板を、スパッタリング装置に真空状態で搬送する搬送工程と、
前記搬送された基板をスパッタリング装置にて成膜する第2の成膜工程とからなる成膜方法。 - 前記第2の成膜工程は、マグネトロンスパッタリングまたは、イオンビームスパッタリングであることを特徴とする請求項1に記載の成膜方法。
- 基板と、
前記基板上に積層された多層膜とを備えた光学素子において、
前記多層膜の最上層がスパッタリングで成膜されたことを特徴とする光学素子。 - 前記スパッタリングは、マグネトロンスパッタリングまたは、イオンビームスパッタリングであることを特徴とする請求項3に記載の光学素子。
- 請求項3または4に記載の光学素子が搭載された投影露光装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2004164462A JP2005344155A (ja) | 2004-06-02 | 2004-06-02 | 成膜方法、光学素子及びそれが搭載された投影露光装置 |
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