JP2005340187A - Light emitting device, its manufacturing method, and light emitting device using it - Google Patents

Light emitting device, its manufacturing method, and light emitting device using it Download PDF

Info

Publication number
JP2005340187A
JP2005340187A JP2005129021A JP2005129021A JP2005340187A JP 2005340187 A JP2005340187 A JP 2005340187A JP 2005129021 A JP2005129021 A JP 2005129021A JP 2005129021 A JP2005129021 A JP 2005129021A JP 2005340187 A JP2005340187 A JP 2005340187A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
light
electrode
emitting element
charge generation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005129021A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4610408B2 (en
JP2005340187A5 (en
Inventor
Yasuo Nakamura
康男 中村
Toshio Ikeda
寿雄 池田
Junichiro Sakata
淳一郎 坂田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd filed Critical Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority to JP2005129021A priority Critical patent/JP4610408B2/en
Publication of JP2005340187A publication Critical patent/JP2005340187A/en
Publication of JP2005340187A5 publication Critical patent/JP2005340187A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4610408B2 publication Critical patent/JP4610408B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light emitting element and a light emitting device wherein a charge generating layer can be formed on an electroluminescent layer by using a spattering method, without giving a damage to the electroluminescent layer, as to the light emitting element wherein a plurality of the electroluminescent layers are laminated so as to sandwich the charge generating layer between a pair of electrodes facing each other. <P>SOLUTION: A material which is not easily etched is used for the layer among the electroluminescent layers, which is located closest to the charge generating layer formed on the electroluminescent layer by the spattering method. To be concrete, a benzooxazole derivative or a pyridine derivative is used. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、発光素子およびその作製方法、並びに前記発光素子を用いた発光装置に関するものである。   The present invention relates to a light emitting element, a manufacturing method thereof, and a light emitting device using the light emitting element.

発光材料を用いた発光素子は、薄型軽量、高速応答性、直流低電圧駆動などの特徴を有しており、次世代のフラットパネルディスプレイへの応用が期待されている。また、発光素子をマトリクス状に配置した発光装置は、従来の液晶表示装置と比較して、視野角が広く視認性が優れる点に優位性があると言われている。   A light-emitting element using a light-emitting material has features such as thin and light weight, high-speed response, and direct-current low-voltage driving, and is expected to be applied to a next-generation flat panel display. Further, it is said that a light-emitting device in which light-emitting elements are arranged in a matrix has an advantage in that it has a wide viewing angle and excellent visibility as compared with a conventional liquid crystal display device.

発光素子の発光機構は、一対の電極間に電界発光層を挟んで電圧を印加することにより、陰極から注入された電子および陽極から注入された正孔が電界発光層の発光中心で再結合して分子励起子を形成し、その分子励起子が基底状態に戻る際にエネルギーを放出して発光するといわれている。励起状態には一重項励起と三重項励起が知られ、発光はどちらの励起状態を経ても可能であると考えられている。   The light-emitting mechanism of the light-emitting element is that a voltage is applied between a pair of electrodes with an electroluminescent layer sandwiched between them, so that electrons injected from the cathode and holes injected from the anode recombine at the emission center of the electroluminescent layer. It is said that a molecular exciton is formed, and when the molecular exciton returns to the ground state, energy is emitted and light is emitted. Singlet excitation and triplet excitation are known as excited states, and light emission is considered to be possible through either excited state.

このような発光素子に関しては、その素子特性を向上させる上で、材料に依存した問題が多く、これらを克服するために素子構造の改良や材料開発等が行われている。   With respect to such a light emitting element, there are many problems depending on the material in improving the element characteristics, and improvement of the element structure, material development, and the like have been performed in order to overcome these problems.

一方、素子構造の1つとして、高輝度発光時での長寿命を実現するために、対向する陽極電極と、陰極電極の間に複数の発光ユニットが電荷発生層で仕切られて積層されている構造を有する発光素子が報告されている(特許文献1および非特許文献1参照)。この電荷発生層はキャリアを注入する役割を持ち、透光性の高い材料であることが必要である。   On the other hand, as one of the element structures, a plurality of light emitting units are divided and stacked by a charge generation layer between an opposing anode electrode and a cathode electrode in order to realize a long life at high luminance light emission. A light-emitting element having a structure has been reported (see Patent Document 1 and Non-Patent Document 1). This charge generation layer has a role of injecting carriers and needs to be a highly light-transmitting material.

特開2003−45676号JP 2003-45676 A

Toshio Matsumoto,Takeshi Nakada,Jun Endo,Koichi Mori,Norihumi Kawamura,Akira Tokoi,Junji Kido,IDW’03,1285−1288Toshio Matsumoto, Takeshi Nakada, Jun Endo, Koichi Mori, Norihumi Kawamura, Akira Tokoi, Junji Kido, IDW'03, 1285-1288

特許文献1および非特許文献1では、電荷発生層として透光性の高い透明性導電膜を用いているが、インジウム錫酸化物(ITO)に代表される透明導電膜をスパッタリング法で電界発光層上に形成すると、電界発光層が損傷(スパッタダメージ)を受けてしまうという問題があった。また、蒸着法を用いて透明導電膜を形成する場合、形成される電極の透過率、抵抗率が低くなってしまい、好ましくない。よって、電界発光層に損傷を与えることなく、スパッタリング法を用いて電界発光層上に電極を形成することができる、発光素子および発光装置の提案が望まれている。   In Patent Document 1 and Non-Patent Document 1, a transparent conductive film with high translucency is used as the charge generation layer, but a transparent conductive film typified by indium tin oxide (ITO) is formed by an electroluminescent layer by sputtering. If formed on the electroluminescent layer, the electroluminescent layer is damaged (sputter damage). Moreover, when forming a transparent conductive film using a vapor deposition method, the transmittance | permeability and resistivity of the electrode which are formed become low, and are not preferable. Therefore, a proposal of a light-emitting element and a light-emitting device that can form electrodes on an electroluminescent layer using a sputtering method without damaging the electroluminescent layer is desired.

本発明では、上述した問題に鑑み、スパッタリング法を用いた膜形成に起因した電界発光層の損傷を低減できる発光素子の作製方法を提供することを目的とする。また、スパッタリング法を用いた膜形成に起因した損傷が低減された発光素子および発光装置を提供することを目的とする。   In view of the above-described problems, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a light-emitting element that can reduce damage to an electroluminescent layer due to film formation using a sputtering method. It is another object of the present invention to provide a light-emitting element and a light-emitting device in which damage due to film formation using a sputtering method is reduced.

本発明の発光素子は、第1の電極と第2の電極との間に、複数の電界発光層と、一または複数の電荷発生層とを有する。電界発光層と電荷発生層は交互に積層しており、電界発光層はスパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を含む層を有する。そして、エッチングされにくい材料を含む層は電荷発生層よりも先に形成されるように積層されていることを特徴とする。   The light-emitting element of the present invention includes a plurality of electroluminescent layers and one or a plurality of charge generation layers between the first electrode and the second electrode. The electroluminescent layer and the charge generation layer are alternately stacked, and the electroluminescent layer includes a layer containing a material that is difficult to be etched by plasma during film formation by a sputtering method. The layer containing a material that is difficult to be etched is laminated so as to be formed before the charge generation layer.

つまり、電界発光層のうち、電界発光層上にスパッタリング法で形成される電荷発生層に接する層に、スパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を用いる。より具体的には、第2の電極よりも第1の電極を先に形成する場合、電荷発生層の第1の電極側に電荷発生層と接するように、ベンゾオキサゾール誘導体、またはピリジン誘導体を含む層を形成することを特徴とする。   That is, among the electroluminescent layers, a material that is not easily etched by plasma at the time of film formation by the sputtering method is used for a layer in contact with the charge generation layer formed on the electroluminescent layer by the sputtering method. More specifically, when the first electrode is formed before the second electrode, a benzoxazole derivative or a pyridine derivative is included so as to be in contact with the charge generation layer on the first electrode side of the charge generation layer. A layer is formed.

以下、本明細書中では、発光素子の一対の電極のうち、先に形成される電極を第1の電極、後に形成される電極を第2の電極という。   Hereinafter, in the present specification, of the pair of electrodes of the light-emitting element, the electrode formed first is referred to as a first electrode, and the electrode formed later is referred to as a second electrode.

本発明で用いるベンゾオキサゾール誘導体の構造を、一般式(1)に示す。   The structure of the benzoxazole derivative used in the present invention is shown in the general formula (1).

Figure 2005340187
(式中、Arはアリール基を示し、R1〜R4は、それぞれ独立に水素、ハロゲン、シアノ基、アルキル基(ただし、炭素数1〜10)、ハロアルキル基(ただし、炭素数1〜10)、アルコキシル基(ただし、炭素数1〜10)を示す。もしくは、置換または無置換のアリール基、置換または無置換の複素環残基を示す。)。
Figure 2005340187
(In the formula, Ar represents an aryl group, and R1 to R4 each independently represent hydrogen, halogen, cyano group, alkyl group (however, having 1 to 10 carbon atoms), haloalkyl group (however, having 1 to 10 carbon atoms), An alkoxyl group (wherein the carbon number is 1 to 10), or a substituted or unsubstituted aryl group or a substituted or unsubstituted heterocyclic residue);

本発明で用いるピリジン誘導体の構造を、一般式(2)に示す。   The structure of the pyridine derivative used in the present invention is shown in the general formula (2).

Figure 2005340187
(式中、二つのXは同じであっても異なる構造であってもよい。R1〜R8は、それぞれ独立に水素、ハロゲン、シアノ基、アルキル基(ただし、炭素数1〜10)、ハロアルキル基(ただし、炭素数1〜10)、アルコキシル基(ただし、炭素数1〜10)、を示す。もしくは、置換または無置換のアリール基、置換または無置換の複素環残基を示す。)。
Figure 2005340187
(In the formula, two Xs may be the same or different structures. R1 to R8 are each independently hydrogen, halogen, cyano group, alkyl group (however, having 1 to 10 carbon atoms), haloalkyl group. (However, C1-C10) and an alkoxyl group (C1-C10) are shown, or a substituted or unsubstituted aryl group and a substituted or unsubstituted heterocyclic residue are shown.

そして本発明の発光素子は、第1の電極と、第2の電極と、第1の電極と第2の電極の間に、複数の電界発光層が電荷発生層で仕切られて積層されている構造を有し、実際に発光が得られる層(発光層)の他に、キャリア(電子・正孔)輸送性の高い材料を含む層や、キャリア注入性の高い材料を含む層などを組み合わせて構成されていてもよい。   In the light-emitting element of the present invention, a plurality of electroluminescent layers are partitioned by the charge generation layer and stacked between the first electrode, the second electrode, and the first electrode and the second electrode. In addition to a layer that has a structure and can actually emit light (light-emitting layer), a layer containing a material with a high carrier (electron / hole) transporting property or a layer containing a material with a high carrier-injecting property is combined. It may be configured.

そして例えば、陰極を第1の電極、陽極を第2の電極とした場合、電界発光層のうち最も電荷発生層に近い、ホール注入性またはホール輸送性を有する層として、上述したエッチングされにくい材料を用いる。具体的に、ベンゾオキサゾール誘導体を用いる場合は、ベンゾオキサゾール誘導体と、テトラシアノキノジメタン(以下、TCQnと示す)、FeCl3、フラーレン(以下、C60と示す)、またはテトラフルオロテトラシアノキノジメタン(以下、F4TCNQと示す)のいずれか一または複数の材料とを含む層を、電荷発生層の第1の電極側に電荷発生層と接するように形成する。 For example, when the cathode is the first electrode and the anode is the second electrode, the above-described material that is not easily etched as a layer having a hole injecting property or a hole transporting property closest to the charge generation layer among the electroluminescent layers. Is used. Specifically, when a benzoxazole derivative is used, a benzoxazole derivative and tetracyanoquinodimethane (hereinafter referred to as TCQn), FeCl 3 , fullerene (hereinafter referred to as C 60 ), or tetrafluorotetracyanoquinodi. A layer containing any one or more materials of methane (hereinafter referred to as F 4 TCNQ) is formed on the first electrode side of the charge generation layer so as to be in contact with the charge generation layer.

また例えば、陽極を第1の電極、陰極を第2の電極とした場合、電界発光層のうち最も電荷発生層に近い、電子注入性または電子輸送性を有する層として、上述したエッチングされにくい材料を用いる。具体的に、ベンゾオキサゾール誘導体を用いる場合は、ベンゾオキサゾール誘導体と、アルカリ金属、アルカリ土類金属、または遷移金属のいずれか一または複数の材料とを含む層を、電荷発生層の第1の電極側に電荷発生層と接するように形成する。   Further, for example, when the anode is the first electrode and the cathode is the second electrode, the above-described material that is not easily etched as an electron-emitting layer or an electron-transporting layer closest to the charge generation layer among the electroluminescent layers. Is used. Specifically, when a benzoxazole derivative is used, a layer including the benzoxazole derivative and one or more materials of an alkali metal, an alkaline earth metal, or a transition metal is used as the first electrode of the charge generation layer. It is formed in contact with the charge generation layer on the side.

上記構成により、電荷発生層として、スパッタリング法で形成した透明導電膜、例えばインジウム錫酸化物(ITO)、または珪素を含有したインジウム錫酸化物、2〜20%の酸化亜鉛(ZnO)を含む酸化インジウム等を用いた場合でも、電界発光層へのスパッタダメージを抑えることができる。そのため、電荷発生層を形成するための物質の選択性が広がる。   With the above structure, a transparent conductive film formed by a sputtering method, for example, indium tin oxide (ITO) or indium tin oxide containing silicon, and an oxide containing 2 to 20% zinc oxide (ZnO) as a charge generation layer. Even when indium or the like is used, sputtering damage to the electroluminescent layer can be suppressed. Therefore, the selectivity of the substance for forming the charge generation layer is expanded.

また、本発明において、第2の電極にスパッタリング法で形成した透明導電膜を用いても、電界発光層のうち第2の電極に接する層に、上述したスパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を含む層を形成することにより、電界発光層へのスパッタダメージを抑えることができる。   In the present invention, even when a transparent conductive film formed by a sputtering method is used for the second electrode, the layer in contact with the second electrode in the electroluminescent layer is etched into the plasma during the film formation by the sputtering method described above. By forming a layer including a material that is difficult to be formed, sputtering damage to the electroluminescent layer can be suppressed.

なお本発明の発光装置は、アクティブマトリクス型に限定されず、パッシブマトリクス型であっても良い。   Note that the light-emitting device of the present invention is not limited to the active matrix type, and may be a passive matrix type.

上述したように本発明では、スパッタリング法を用いて電界発光層上に電荷発生層または第2の電極を形成する場合に、電界発光層が受ける損傷を低減することができる発光素子の作製方法を得ることができる。また、これにより、スパッタリング法による膜形成に起因した不良が抑制される発光素子および発光装置を提供することができる。よって、電界発光層上に形成される電荷発生層の材料の選択性を広げることができる。   As described above, the present invention provides a method for manufacturing a light-emitting element that can reduce damage to an electroluminescent layer when a charge generation layer or a second electrode is formed over the electroluminescent layer by a sputtering method. Can be obtained. Accordingly, it is possible to provide a light-emitting element and a light-emitting device in which defects due to film formation by sputtering are suppressed. Therefore, the selectivity of the material for the charge generation layer formed on the electroluminescent layer can be expanded.

以下、本発明の実施の態様について図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following description, and it is easily understood by those skilled in the art that modes and details can be variously changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the present invention should not be construed as being limited to the description of the embodiments below.

図1を用いて、本発明の発光素子の構成について説明する。図1に、本発明における発光素子の素子構成を模式的に示す。本発明の発光素子108は、基板100上に形成され、第1の電極101と第2の電極105間に、電荷発生層103を挟んで、電界発光層が複数積層した構成を有する。なお実際には、基板100と発光素子108間には各種の層または半導体素子などが設けられている。   The structure of the light emitting element of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 1, the element structure of the light emitting element in this invention is typically shown. The light-emitting element 108 of the present invention is formed over a substrate 100 and has a structure in which a plurality of electroluminescent layers are stacked with a charge generation layer 103 interposed between a first electrode 101 and a second electrode 105. Actually, various layers or semiconductor elements are provided between the substrate 100 and the light emitting element 108.

第1の電極101と第2の電極105は、いずれか一方が陽極、他方が陰極に相当する。そして本発明では、電界発光層102のうち、電界発光層102上に形成される電荷発生層に最も近い層106に、ベンゾオキサゾール誘導体またはピリジン誘導体などの、スパッタリング法による成膜時のプラズマによりエッチングされにくい材料を含ませる。具体的に、第1の電極101が陽極、第2の電極105が陰極である場合は、電荷発生層103に最も近い層106に電子注入性をもたせるために、ベンゾオキサゾール誘導体を用いる場合は、ベンゾオキサゾール誘導体と、アルカリ金属、アルカリ土類金属、または遷移金属のいずれか一または複数の材料を含ませる。   One of the first electrode 101 and the second electrode 105 corresponds to an anode and the other corresponds to a cathode. In the present invention, among the electroluminescent layers 102, the layer 106 closest to the charge generation layer formed on the electroluminescent layer 102 is etched by plasma during film formation by sputtering, such as a benzoxazole derivative or a pyridine derivative. Include materials that are difficult to handle. Specifically, when the first electrode 101 is an anode and the second electrode 105 is a cathode, a benzoxazole derivative is used in order to provide the layer 106 closest to the charge generation layer 103 with an electron injecting property. A benzoxazole derivative and one or more materials of an alkali metal, an alkaline earth metal, or a transition metal are included.

なお、逆に第1の電極101が陰極、第2の電極105が陽極である場合、電荷発生層に最も近い層106にホール注入性をもたせるために、ベンゾオキサゾール誘導体を用いる場合は、ベンゾオキサゾール誘導体と、TCQn、FeCl3、C60またはF4TCNQのいずれか一または複数の材料とを含ませる。 On the contrary, when the first electrode 101 is a cathode and the second electrode 105 is an anode, a benzoxazole derivative is used when a benzoxazole derivative is used in order to provide the layer 106 closest to the charge generation layer with hole injection properties. A derivative and one or more materials of TCQn, FeCl 3 , C 60 or F 4 TCNQ are included.

また、電荷発生層103と同様に、第2の電極105を形成する際にスパッタリング法を用いる場合は、第2の電極105に最も近い層107に、上記の材料を用いることにより、電界発光層へのスパッタダメージを抑える効果を得ることができる。具体的には、第2の電極が透明導電膜で形成されている上面出射型素子、第1の電極及び第2の電極が透明導電膜で形成されている両面出射型素子に本発明を適用することで、スパッタダメージに起因する不良を抑制することができる。   Similarly to the charge generation layer 103, when a sputtering method is used to form the second electrode 105, the electroluminescent layer can be obtained by using the above material for the layer 107 closest to the second electrode 105. The effect which suppresses the sputter | spatter damage to can be acquired. Specifically, the present invention is applied to a top emission type element in which the second electrode is formed of a transparent conductive film, and a dual emission type element in which the first electrode and the second electrode are formed of a transparent conductive film. By doing so, defects due to sputter damage can be suppressed.

また、電界発光層102(104)は、それぞれ発光層およびスパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を含む層107(109)を少なくとも有し、その他、正孔注入層、正孔輸送層、正孔阻止層(ホールブロッキング層)、電子輸送層、電子注入層等を適宜組み合わせて構成される。なお、エッチングされにくい材料を含む層はこれらの役割を兼ねている構成としてもよい。また、電界発光層102(104)は、単層であっても複数の層を積層した構造であってもよい。   The electroluminescent layer 102 (104) includes at least a light emitting layer and a layer 107 (109) containing a material that is difficult to be etched by plasma at the time of film formation by a sputtering method. A layer, a hole blocking layer (hole blocking layer), an electron transport layer, an electron injection layer, and the like are appropriately combined. Note that the layer containing a material that is difficult to be etched may serve as these functions. Further, the electroluminescent layer 102 (104) may be a single layer or a structure in which a plurality of layers are stacked.

本発明の1つめの構成として、スパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を含む層は、下記一般式(1)に示すベンゾオキサゾール誘導体を含み、電荷発生層と接して設けられる。   As a first configuration of the present invention, a layer including a material that is difficult to be etched by plasma during film formation by sputtering includes a benzoxazole derivative represented by the following general formula (1) and is provided in contact with the charge generation layer.

Figure 2005340187
(式中、Arはアリール基を示し、R1〜R4は、それぞれ独立に水素、ハロゲン、シアノ基、アルキル基(ただし、炭素数1〜10)、ハロアルキル基(ただし、炭素数1〜10)、アルコキシル基(ただし、炭素数1〜10)を示す。もしくは、置換または無置換のアリール基、置換または無置換の複素環残基を示す。)。
Figure 2005340187
(In the formula, Ar represents an aryl group, and R1 to R4 each independently represent hydrogen, halogen, cyano group, alkyl group (however, having 1 to 10 carbon atoms), haloalkyl group (however, having 1 to 10 carbon atoms), An alkoxyl group (wherein the carbon number is 1 to 10), or a substituted or unsubstituted aryl group or a substituted or unsubstituted heterocyclic residue);

なお、一般式(1)に示されるベンゾオキサゾール誘導体に含まれる具体的な材料としては、構造式(3)〜(5)に示す物質が挙げられる。   Note that specific materials included in the benzoxazole derivative represented by the general formula (1) include substances represented by the structural formulas (3) to (5).

Figure 2005340187
Figure 2005340187

Figure 2005340187
Figure 2005340187

Figure 2005340187
Figure 2005340187

また、本発明の別の構成として、スパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を含む層は、下記一般式(2)に示すピリジン誘導体を含み、電荷発生層と接して設けられる。   As another structure of the present invention, a layer including a material that is difficult to be etched by plasma during film formation by sputtering includes a pyridine derivative represented by the following general formula (2) and is provided in contact with the charge generation layer.

Figure 2005340187
(式中、二つのXは同じであっても異なる構造であってもよい。R1〜R8は、それぞれ独立に水素、ハロゲン、シアノ基、アルキル基(ただし、炭素数1〜10)、ハロアルキル基(ただし、炭素数1〜10)、アルコキシル基(ただし、炭素数1〜10)を示す。もしくは、置換または無置換のアリール基、置換または無置換の複素環残基を示す。)。
Figure 2005340187
(In the formula, two Xs may be the same or different structures. R1 to R8 are each independently hydrogen, halogen, cyano group, alkyl group (however, having 1 to 10 carbon atoms), haloalkyl group. (However, C1-C10) and an alkoxyl group (C1-C10 are shown. Or a substituted or unsubstituted aryl group, a substituted or unsubstituted heterocyclic residue is shown.).

なお、一般式(2)に示されるピリジン誘導体に含まれる具体的な材料としては、構造式(6)〜(9)に示す物質が挙げられる。   Note that specific materials included in the pyridine derivative represented by the general formula (2) include substances represented by the structural formulas (6) to (9).

Figure 2005340187
Figure 2005340187

Figure 2005340187
Figure 2005340187

Figure 2005340187
Figure 2005340187

Figure 2005340187
Figure 2005340187

本発明の発光素子において、電界発光層102、104におけるキャリアの再結合により生じる光は、第1の電極101または第2の電極105の両方から外部に出射される構成となる。すなわち、両電極を透明導電膜で形成する。   In the light-emitting element of the present invention, light generated by carrier recombination in the electroluminescent layers 102 and 104 is emitted from both the first electrode 101 and the second electrode 105 to the outside. That is, both electrodes are formed of a transparent conductive film.

また、電界発光層102、104には公知の材料を用いることができ、低分子系材料および高分子系材料のいずれを用いることもできる。なお、電界発光層102、104を形成する材料には、有機化合物材料のみから成るものだけでなく、無機化合物を一部に含む構成も含めるものとする。   Further, a known material can be used for the electroluminescent layers 102 and 104, and either a low molecular material or a high molecular material can be used. Note that the material for forming the electroluminescent layers 102 and 104 includes not only a material made of an organic compound material but also a structure containing an inorganic compound in part.

本発明において、一対の電極間に形成される電界発光層102、104を構成する正孔注入層、正孔輸送層、発光層、または、電子輸送層に用いる具体的な材料を以下に示す。   In the present invention, specific materials used for the hole injection layer, the hole transport layer, the light emitting layer, or the electron transport layer constituting the electroluminescent layers 102 and 104 formed between the pair of electrodes are shown below.

正孔注入層を形成する正孔注入性材料としては、有機化合物であればポルフィリン系の化合物が有効であり、フタロシアニン(以下、H2−Pcと示す)、銅フタロシアニン(以下、Cu−Pcと示す)等を用いることができる。また、導電性高分子化合物に化学ドーピングを施した材料もあり、ポリスチレンスルホン酸(以下、PSSと示す)をドープしたポリエチレンジオキシチオフェン(以下、PEDOTと示す)などを用いることもできる。また、ベンゾオキサゾール誘導体と、TCQn、FeCl3、C60またはF4TCNQのいずれか一または複数の材料とを含むようにしても良い。 As the hole-injecting material for forming the hole-injecting layer, a porphyrin-based compound is effective as long as it is an organic compound, and phthalocyanine (hereinafter referred to as H 2 -Pc), copper phthalocyanine (hereinafter referred to as Cu-Pc). Or the like can be used. In addition, there is a material in which a conductive polymer compound is chemically doped, and polyethylenedioxythiophene (hereinafter referred to as PEDOT) doped with polystyrene sulfonic acid (hereinafter referred to as PSS) can also be used. Further, a benzoxazole derivative and any one or a plurality of materials of TCQn, FeCl 3 , C 60 or F 4 TCNQ may be included.

また、正孔輸送層を形成する正孔輸送性材料としては、芳香族アミン系(すなわち、ベンゼン環−窒素の結合を有する化合物等)の化合物が好適である。広く用いられている材料として、例えば、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニル−[1,1’−ビフェニル]−4,4’−ジアミン(以下、TPDと示す)の他、その誘導体である4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニル−アミノ]−ビフェニル(以下、α−NPDと示す)や、4,4’,4’’−トリス(N−カルバゾリル)−トリフェニルアミン(以下、TCTAと示す)、4,4’,4’’−トリス(N,N−ジフェニル−アミノ)−トリフェニルアミン(以下、TDATAと示す)、4,4’,4’’−トリス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニル−アミノ]−トリフェニルアミン(以下、MTDATAと示す)などのスターバースト型芳香族アミン化合物が挙げられる。   As the hole transporting material for forming the hole transporting layer, an aromatic amine-based compound (that is, a compound having a benzene ring-nitrogen bond or the like) is suitable. Examples of widely used materials include N, N′-bis (3-methylphenyl) -N, N′-diphenyl- [1,1′-biphenyl] -4,4′-diamine (hereinafter referred to as TPD). 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenyl-amino] -biphenyl (hereinafter referred to as α-NPD) or 4,4′-4 ′, 4 ′ '-Tris (N-carbazolyl) -triphenylamine (hereinafter referred to as TCTA), 4,4', 4 ''-tris (N, N-diphenyl-amino) -triphenylamine (hereinafter referred to as TDATA) , 4,4 ′, 4 ″ -tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenyl-amino] -triphenylamine (hereinafter referred to as MTDATA) and the like. .

また、発光層を形成する発光性材料としては、具体的には、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(以下、Alq3と示す)、トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(以下、Almq3と示す)、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]−キノリナト)ベリリウム(以下、BeBq2と示す)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−(4−ヒドロキシ−ビフェニリル)−アルミニウム(以下、BAlqと示す)、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)−ベンゾオキサゾラト]亜鉛(以下、Zn(BOX)2と示す)、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)−ベンゾチアゾラト]亜鉛(以下、Zn(BTZ)2と示す)などの金属錯体の他、各種蛍光色素が有効である。 Specific examples of the light-emitting material for forming the light-emitting layer include tris (8-quinolinolato) aluminum (hereinafter referred to as Alq 3 ), tris (4-methyl-8-quinolinolato) aluminum (hereinafter referred to as Almq 3). ), Bis (10-hydroxybenzo [h] -quinolinato) beryllium (hereinafter referred to as BeBq 2 ), bis (2-methyl-8-quinolinolato)-(4-hydroxy-biphenylyl) -aluminum (hereinafter referred to as BAlq). ), Bis [2- (2-hydroxyphenyl) -benzoxazolate] zinc (hereinafter referred to as Zn (BOX) 2 ), bis [2- (2-hydroxyphenyl) -benzothiazolate] zinc (hereinafter referred to as In addition to metal complexes such as Zn (BTZ) 2 , various fluorescent dyes are effective.

なお、ゲスト材料と組み合わせて発光層を形成する場合には、キナクリドン、ジエチルキナクリドン(以下、DEQDと示す)、ジメチルキナクリドン(以下、DMQDと示す)、ルブレン、ペリレン、クマリン、クマリン545T(以下、C545Tと示す)、DPT、Co−6、PMDFB、BTX、ABTX、DCM、DCJTの他、トリス(2−フェニルピリジン)イリジウム(以下、Ir(ppy)3と示す)、2,3,7,8,12,13,17,18−オクタエチル−21H,23H−ポルフィリン−白金(以下、PtOEPと示す)等の三重項発光材料(燐光材料)をゲスト材料として用いることができる。 When a light emitting layer is formed in combination with a guest material, quinacridone, diethylquinacridone (hereinafter referred to as DEQD), dimethylquinacridone (hereinafter referred to as DMQD), rubrene, perylene, coumarin, coumarin 545T (hereinafter referred to as C545T). DPT, Co-6, PMDFB, BTX, ABTX, DCM, DCJT, tris (2-phenylpyridine) iridium (hereinafter referred to as Ir (ppy) 3 ), 2, 3, 7, 8, A triplet light-emitting material (phosphorescent material) such as 12,13,17,18-octaethyl-21H, 23H-porphyrin-platinum (hereinafter referred to as PtOEP) can be used as a guest material.

電子輸送層を形成する電子輸送性材料としては、先に述べたAlq3、Almq3、BeBq2などのキノリン骨格またはベンゾキノリン骨格を有する金属錯体や、混合配位子錯体であるBAlqなどが好適である。また、Zn(BOX)2などのオキサゾール系配位子、Zn(BTZ)2などのチアゾール系配位子を有する金属錯体もある。さらに、金属錯体以外にも、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール(以下、PBDと示す)、1,3−ビス[5−(p−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール−2−イル]ベンゼン(以下、OXD−7と示す)などのオキサジアゾール誘導体、3−(4−tert−ブチルフェニル)−4−フェニル−5−(4−ビフェニリル)−1,2,4−トリアゾール(以下、TAZと示す)、3−(4−tert−ブチルフェニル)−4−(4−エチルフェニル)−5−(4−ビフェニリル)−1,2,4−トリアゾール(以下、p−EtTAZと示す)などのトリアゾール誘導体を用いることができる。 As the electron transporting material for forming the electron transport layer, the above-described metal complexes having a quinoline skeleton or a benzoquinoline skeleton such as Alq 3 , Almq 3 , and BeBq 2, and BAlq that is a mixed ligand complex are preferable. It is. There are also metal complexes having an oxazole-based ligand such as Zn (BOX) 2 and a thiazole-based ligand such as Zn (BTZ) 2 . In addition to metal complexes, 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole (hereinafter referred to as PBD), 1,3-bis [ Oxadiazole derivatives such as 5- (p-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazol-2-yl] benzene (hereinafter referred to as OXD-7), 3- (4-tert-butyl Phenyl) -4-phenyl-5- (4-biphenylyl) -1,2,4-triazole (hereinafter referred to as TAZ), 3- (4-tert-butylphenyl) -4- (4-ethylphenyl)- A triazole derivative such as 5- (4-biphenylyl) -1,2,4-triazole (hereinafter referred to as p-EtTAZ) can be used.

電子注入層を形成する電子注入性材料をしては、具体的には、LiF、CsFなどのアルカリ金属ハロゲン化物や、CaF2のようなアルカリ土類ハロゲン化物、Li2Oなどのアルカリ金属酸化物のような絶縁体の薄膜がよく用いられる。また、リチウムアセチルアセトネート(略称:Li(acac)や8−キノリノラト−リチウム(略称:Liq)などのアルカリ金属錯体も有効である。
また、ベンゾオキサゾール誘導体と、アルカリ金属、アルカリ土類金属、または遷移金属のいずれか一または複数の材料とを含むようにしても良い。
Specific examples of the electron injecting material for forming the electron injecting layer include alkali metal halides such as LiF and CsF, alkaline earth halides such as CaF 2 , and alkali metal oxides such as Li 2 O. Insulator thin films such as objects are often used. In addition, alkali metal complexes such as lithium acetylacetonate (abbreviation: Li (acac) and 8-quinolinolato-lithium (abbreviation: Liq) are also effective.
Moreover, you may make it contain a benzoxazole derivative and any one or more materials of an alkali metal, an alkaline-earth metal, or a transition metal.

なお、図1では、電界発光層が2つの場合を示したが、これに限定されず、3層以上であってもよい。また、積層する電界発光層はそれぞれ同じ構成である必要はなく、異なる材料で構成されている電界発光層を積層してもよい。   Although FIG. 1 shows a case where there are two electroluminescent layers, the present invention is not limited to this, and three or more layers may be used. Further, the electroluminescent layers to be stacked do not have to have the same configuration, and electroluminescent layers made of different materials may be stacked.

本実施例では、第1の電極を陽極とし、第2の電極を陰極とした例について、図2を用いて説明する。   In this embodiment, an example in which the first electrode is an anode and the second electrode is a cathode will be described with reference to FIG.

まず、基板200上に発光素子の第1の電極201が形成される。なお、本実施例では、第1の電極201は陽極として機能する。材料として透明導電膜であるITOを用い、スパッタリング法により110nmの膜厚で形成する。   First, the first electrode 201 of the light emitting element is formed over the substrate 200. Note that in this embodiment, the first electrode 201 functions as an anode. The material is ITO, which is a transparent conductive film, and is formed with a film thickness of 110 nm by a sputtering method.

次に、陽極として機能する第1の電極201上に電界発光層202が形成される。なお、本実施例における電界発光層202は、正孔注入層211、正孔輸送層212、発光層213、電子輸送層214、電子注入層215からなる積層構造を有している。   Next, the electroluminescent layer 202 is formed over the first electrode 201 functioning as an anode. Note that the electroluminescent layer 202 in this embodiment has a stacked structure including a hole injection layer 211, a hole transport layer 212, a light emitting layer 213, an electron transport layer 214, and an electron injection layer 215.

第1の電極201が形成された基板を市販の真空蒸着装置の基板ホルダーに第1の電極201が形成された面を下方にして固定し、真空蒸着装置の内部に備えられた蒸発源に銅フタロシアニン(以下、Cu−Pcと示す)を入れ、抵抗加熱法を用いた蒸着法により20nmの膜厚で正孔注入層211を形成する。なお、正孔注入層211を形成する材料としては、公知の正孔注入性材料を用いることができる。   The substrate on which the first electrode 201 is formed is fixed to a substrate holder of a commercially available vacuum deposition apparatus with the surface on which the first electrode 201 is formed facing downward, and copper is attached to an evaporation source provided inside the vacuum deposition apparatus. Phthalocyanine (hereinafter referred to as Cu—Pc) is added, and the hole injection layer 211 is formed with a thickness of 20 nm by a vapor deposition method using a resistance heating method. Note that a known hole injecting material can be used as a material for forming the hole injecting layer 211.

次に正孔輸送性に優れた材料により正孔輸送層212を形成する。正孔輸送層212を形成する材料としては、公知の正孔輸送性材料を用いることができるが、本実施例では、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニル−アミノ]−ビフェニル(以下、α−NPDと示す)を同様の方法により、40nmの膜厚で形成する。   Next, the hole transport layer 212 is formed using a material having excellent hole transport properties. As a material for forming the hole transport layer 212, a known hole transport material can be used. In this embodiment, 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenyl- Amino] -biphenyl (hereinafter referred to as α-NPD) is formed to a thickness of 40 nm by the same method.

次に発光層213を形成する。なお、発光層213において正孔と電子が再結合し、発光を生じる。本実施例では、発光層213を形成する材料のうちホスト材料となるトリス(8−キノリノラト)アルミニウム(以下、Alq3と示す)と、ゲスト材料となるジメチルキナクリドン(以下、DMQDと示す)とを用い、DMQDが1質量%となるように共蒸着法により40nmの膜厚で形成する。 Next, the light emitting layer 213 is formed. Note that holes and electrons recombine in the light-emitting layer 213 to emit light. In this example, tris (8-quinolinolato) aluminum (hereinafter referred to as Alq 3 ) serving as a host material among materials forming the light emitting layer 213 and dimethylquinacridone (hereinafter referred to as DMQD) serving as a guest material are used. The film is formed with a film thickness of 40 nm by co-evaporation so that DMQD is 1% by mass.

次に、電子輸送層214を形成する。電子輸送層214を形成する材料としては、公知の電子輸送性材料を用いることができるが、本実施例では、Alq3を用い、20nmの膜厚で蒸着法により形成する。 Next, the electron transport layer 214 is formed. As a material for forming the electron transport layer 214, a known electron transport material can be used. In this embodiment, Alq 3 is used and a film thickness of 20 nm is formed by a vapor deposition method.

次に、電子注入層215を形成する。電子注入層215は、一般式(1)で示されるベンゾオキサゾール誘導体を用いて形成する。これによって、電荷発生層または電極から電界発光層への電子の注入を促すと共に、電荷発生層または電極の形成に伴う電界発光層への損傷を防ぐことができる。具体的には、電子注入性を高めるため、一般式(1)で示されるベンゾオキサゾール誘導体を用い、アルカリ金属、アルカリ土類金属、または遷移金属のいずれか一とを含有する層を形成する。なお、本実施例では、下記構造式(3)で示される4,4’−Bis(5−methyl benzoxazol−2−yl)stilbeneとアルカリ金属であるLiとを用い、Liが1質量%となるようにして、20nmの膜厚で共蒸着法により形成する。   Next, the electron injection layer 215 is formed. The electron injection layer 215 is formed using a benzoxazole derivative represented by the general formula (1). This facilitates the injection of electrons from the charge generation layer or electrode into the electroluminescent layer and prevents damage to the electroluminescent layer due to the formation of the charge generation layer or electrode. Specifically, a layer containing any one of an alkali metal, an alkaline earth metal, and a transition metal is formed using the benzoxazole derivative represented by the general formula (1) in order to improve electron injectability. In this example, 4,4′-Bis (5-methyl benzazol-2-yl) stilbene represented by the following structural formula (3) and Li which is an alkali metal are used, and Li becomes 1% by mass. Thus, it forms by a co-evaporation method with the film thickness of 20 nm.

Figure 2005340187
Figure 2005340187

このようにして、正孔注入層211、正孔輸送層212、発光層213、電子輸送層214、および電子注入層(スパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を含む層)215を積層して形成される電界発光層202を形成した後、電荷発生層203をスパッタリング法により形成する。なお、電荷発生層203は透光性の物質であることが望ましく、本実施例では電界発光層202上にITO(10nm)をスパッタリング法により形成し、電荷発生層203を得る。   In this manner, the hole injection layer 211, the hole transport layer 212, the light-emitting layer 213, the electron transport layer 214, and the electron injection layer (a layer containing a material that is difficult to be etched by plasma during film formation by sputtering) 215 After the electroluminescent layer 202 formed by stacking is formed, the charge generation layer 203 is formed by a sputtering method. Note that the charge generation layer 203 is preferably a light-transmitting substance. In this embodiment, the charge generation layer 203 is obtained by forming ITO (10 nm) on the electroluminescent layer 202 by a sputtering method.

電荷発生層203上に電界発光層204を形成する。電界発光層204は、上記した電界発光層202と同様に形成すればよい。本実施例では、正孔注入層216としてCu−Pc(20nm)、正孔輸送層217としてα―NPD(40nm)、発光層218としてDMQDを1質量%含むAlq3(40nm)、電子輸送層219としてAlq3(20nm)、電子注入層(スパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を含む層)220としてLiを1質量%含むベンゾオキサゾール誘導体(20nm)を形成する。 An electroluminescent layer 204 is formed on the charge generation layer 203. The electroluminescent layer 204 may be formed in the same manner as the electroluminescent layer 202 described above. In this example, Cu—Pc (20 nm) as the hole injection layer 216, α-NPD (40 nm) as the hole transport layer 217, Alq 3 (40 nm) containing 1% by mass of DMQD as the light emitting layer 218, an electron transport layer A benzoxazole derivative (20 nm) containing 1% by mass of Li is formed as Alq 3 (20 nm) as 219 and an electron injection layer (a layer containing a material that is difficult to be etched by plasma during film formation by a sputtering method) 220.

そして、電界発光層204を形成した後、陰極として機能する第2の電極205としてITOをスパッタリング法により110nmの膜厚で形成する。   Then, after the electroluminescent layer 204 is formed, ITO is formed with a thickness of 110 nm as a second electrode 205 functioning as a cathode by a sputtering method.

本実施例で作製した発光素子は、電界発光層のうち、電荷発生層に最も近い層にスパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を含む層を形成することにより、スパッタリング法で膜形成するときに電界発光層が受ける損傷を低減することができる。なお、ベンゾオキサゾール誘導体の他、ピリジン誘導体を用いた場合にも同様の効果を得ることできる。   The light-emitting element manufactured in this example is a film formed by a sputtering method by forming a layer containing a material that is difficult to be etched by plasma at the time of film formation by a sputtering method in a layer closest to the charge generation layer among the electroluminescent layers. Damage to the electroluminescent layer when formed can be reduced. Similar effects can be obtained when a pyridine derivative is used in addition to the benzoxazole derivative.

電界発光層のうち、スパッタリング法により形成される透明導電膜に最も近い層にエッチングされにくい材料を含む層を形成することにより、電界発光層に与える損傷を低減することができるか確認するため、実験を行った。   In order to confirm whether or not damage to the electroluminescent layer can be reduced by forming a layer containing a material that is difficult to be etched in the layer closest to the transparent conductive film formed by the sputtering method among the electroluminescent layers, The experiment was conducted.

第1の電極であるITO上に、正孔注入層としてCu−Pc(20nm)正孔輸送層としてα―NPD(40nm)、発光層としてDMQDを1質量%含むAlq3(40nm)、電子輸送層としてAlq3(20nm)を形成した。そして、アルカリ金属であるLiと上記構造式(3)で示される4,4’−Bis(5−methyl benzoxazol−2−yl)stilbene(20nm)と用い、Liが1質量%となるようにして電子注入層を形成し、その後、スパッタリング法によりITO(110nm)を形成した。本実験で作製した素子を素子1とする。
[比較例1]
On the first electrode, ITO, Alq 3 (40 nm) containing Cu-Pc (20 nm) as a hole injection layer, α-NPD (40 nm) as a hole transport layer, 1% by mass of DMQD as a light emitting layer, electron transport Alq 3 (20 nm) was formed as a layer. Then, Li that is an alkali metal and 4,4′-Bis (5-methylbenzoxol-2-yl) stilbene (20 nm) represented by the above structural formula (3) are used so that Li becomes 1% by mass. An electron injection layer was formed, and then ITO (110 nm) was formed by sputtering. The element manufactured in this experiment is referred to as element 1.
[Comparative Example 1]

比較例1として、電界発光層のうち、スパッタリング法により形成された透明導電膜に最も近い層に、スパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を用いていない素子を作製した。   As Comparative Example 1, an element that does not use a material that is not easily etched by plasma at the time of film formation by a sputtering method is manufactured as a layer closest to a transparent conductive film formed by a sputtering method among electroluminescent layers.

第1の電極であるITO上に、電子注入層としてLiを1質量%含む上記構造式(3)で示される4,4’−Bis(5−methyl benzoxazol−2−yl)stilbene(20nm)、電子輸送層としてAlq3(20nm)、発光層としてDMQDを1質量%含むAlq3(40nm)、正孔輸送層としてα―NPD(40nm)、正孔注入層としてCu−Pc(20nm)を形成した。その後、スパッタリング法によりITO(110nm)を形成した。本比較例で形成した素子を素子2とする。
[比較例2]
4,4′-Bis (5-methylbenzoxol-2-yl) stilbene (20 nm) represented by the above structural formula (3) containing 1% by mass of Li as an electron injection layer on the first electrode ITO. Alq 3 (20 nm) as an electron transporting layer, forming a Alq 3 containing DMQD 1 mass% as a light-emitting layer (40 nm), a hole transport layer α-NPD (40nm), Cu -Pc as a hole injection layer (20 nm) did. Thereafter, ITO (110 nm) was formed by sputtering. The element formed in this comparative example is referred to as element 2.
[Comparative Example 2]

比較例2として、電界発光層のうち、スパッタリング法により形成された透明導電膜に最も近い層に、スパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を用いていない素子を作製した。本比較例で作製した素子は、比較例1で作製した素子と同様にα―NPDまで形成した後、正孔注入層として形成したCu−Pcの膜厚を40nmとし、その後、スパッタリング法によりITO(110nm)を形成した。本比較例で形成した素子を素子3とする。     As Comparative Example 2, an element that does not use a material that is not easily etched by plasma at the time of film formation by a sputtering method was manufactured as the layer closest to the transparent conductive film formed by the sputtering method among the electroluminescent layers. The device fabricated in this comparative example was formed up to α-NPD in the same manner as the device fabricated in comparative example 1, and then the film thickness of Cu-Pc formed as the hole injection layer was set to 40 nm. (110 nm) was formed. The element formed in this comparative example is referred to as element 3.

素子1、素子2、素子3の輝度―電流密度特性を図6に、電流効率―輝度特性を図7に、輝度―電圧特性を図8に、電流―電圧特性を図9に示す。図6〜図9をみてわかるように、素子1は素子2および素子3に比べて、素子特性が良くなっている。     FIG. 6 shows the luminance-current density characteristics of the element 1, element 2 and element 3, FIG. 7 shows the current efficiency-luminance characteristics, FIG. 8 shows the luminance-voltage characteristics, and FIG. 9 shows the current-voltage characteristics. As can be seen from FIGS. 6 to 9, the element 1 has better element characteristics than the elements 2 and 3.

素子1の構成は実施例1で作成した発光素子の構成に含まれており、実施例1で作製した発光素子においても、スパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を用いることにより電界発光層へのスパッタダメージが防ぐ効果があることが確認された。   The structure of the element 1 is included in the structure of the light-emitting element prepared in Example 1. Even in the light-emitting element manufactured in Example 1, an electric field can be obtained by using a material that is not easily etched by plasma during film formation by sputtering. It was confirmed that the sputter damage to the light emitting layer was prevented.

本実施例では、第1の電極を陰極とし、第2の電極を陽極とした例について、図3を用いて説明する。   In this embodiment, an example in which the first electrode is a cathode and the second electrode is an anode will be described with reference to FIG.

まず、基板300上に発光素子の第1の電極301が形成される。なお、本実施例では、第1の電極301は陰極として機能する。材料として透明導電膜であるITOを用い、スパッタリング法により110nmの膜厚で形成する。   First, the first electrode 301 of the light emitting element is formed over the substrate 300. Note that in this embodiment, the first electrode 301 functions as a cathode. The material is ITO, which is a transparent conductive film, and is formed with a film thickness of 110 nm by a sputtering method.

次に、陰極として機能する第1の電極301上に電界発光層302が形成される。なお、本実施例における電界発光層302は、電子注入層311、電子輸送層312、発光層313、正孔輸送層314、正孔注入層315からなる積層構造を有している。   Next, an electroluminescent layer 302 is formed over the first electrode 301 functioning as a cathode. Note that the electroluminescent layer 302 in this embodiment has a stacked structure including an electron injection layer 311, an electron transport layer 312, a light emitting layer 313, a hole transport layer 314, and a hole injection layer 315.

第1の電極301上に、電子注入性に優れた材料により電子注入層311を形成する。電子注入層を形成する材料としては、公知の電子注入性材料を用いることができるが、本実施例では、ベンゾオキサゾール誘導体とアルカリ金属であるLiとを用い、Liが1質量%となるようにして、20nmの膜厚で共蒸着法により形成する。   An electron injection layer 311 is formed over the first electrode 301 with a material having excellent electron injection properties. As a material for forming the electron injecting layer, a known electron injecting material can be used. In this embodiment, a benzoxazole derivative and an alkali metal Li are used so that Li is 1% by mass. Then, it is formed by a co-evaporation method with a film thickness of 20 nm.

次に、電子輸送層312を形成する。電子輸送層312を形成する材料としては、公知の電子輸送性材料を用いることができるが、本実施例では、Alq3を用い、20nmの膜厚で蒸着法により形成する。 Next, the electron transport layer 312 is formed. As a material for forming the electron transporting layer 312, a known electron transporting material can be used. In this embodiment, Alq 3 is used and a film thickness of 20 nm is formed by a vapor deposition method.

次に発光層313を形成する。なお、発光層313において正孔と電子が再結合し、発光を生じる。本実施例では、発光層313を形成する材料のうちホスト材料となるAlq3と、ゲスト材料となるDMQDとを用い、DMQDが、10質量%となるように共蒸着法により40nmの膜厚で形成する。 Next, the light emitting layer 313 is formed. Note that holes and electrons recombine in the light-emitting layer 313 to emit light. In this example, Alq 3 serving as a host material and DMQD serving as a guest material among the materials forming the light emitting layer 313 and DMQD serving as a guest material are used, and the film thickness is 40 nm by co-evaporation so that DMQD is 10% by mass. Form.

次に正孔輸送性に優れた材料により正孔輸送層314を形成する。正孔輸送層314を形成する材料としては、公知の正孔輸送性材料を用いることができるが、本実施例では、α−NPDを蒸着法により、40nmの膜厚で形成する。   Next, the hole transport layer 314 is formed using a material having excellent hole transport properties. As a material for forming the hole transport layer 314, a known hole transport material can be used. In this embodiment, α-NPD is formed to a thickness of 40 nm by a vapor deposition method.

次に、正孔注入層315を形成する。正孔注入層315は、一般式(1)で占められるベンゾオキサゾール誘導体を用いて形成する。これによって、電荷発生層または電極から電界発光層への正孔の注入を促すと共に、電荷発生層または電極の形成に伴う電界発光層の損傷を防ぐことができる。具体的には、正孔注入性を高めるため、一般式(1)で示されるベンゾオキサゾール誘導体を用い、TCQn、FeCl3、C60またはF4TCNQのいずれか一または複数の材料を含有する層を形成する。なお、本実施例では、下記構造式(3)で示される4,4’−Bis(5−methyl benzoxazol−2−yl)stilbeneとTCQnを含む層を、20nmの膜厚で共蒸着法により形成する。 Next, the hole injection layer 315 is formed. The hole injection layer 315 is formed using a benzoxazole derivative occupied by the general formula (1). This facilitates the injection of holes from the charge generation layer or electrode into the electroluminescent layer, and prevents damage to the electroluminescent layer due to the formation of the charge generation layer or electrode. Specifically, a layer containing one or more materials of TCQn, FeCl 3 , C 60, or F 4 TCNQ using a benzoxazole derivative represented by the general formula (1) in order to enhance hole injection properties. Form. In this example, a layer containing 4,4′-Bis (5-methylbenzoxol-2-yl) stilbene and TCQn represented by the following structural formula (3) is formed by a co-evaporation method with a thickness of 20 nm. To do.

Figure 2005340187
Figure 2005340187

このようにして、電子注入層311、電子輸送層312、発光層313、正孔輸送層314、および正孔注入層315を積層して形成される電界発光層302を形成した後、電荷発生層303をスパッタリング法により形成する。なお、電荷発生層303は透光性の物質であることが望ましく、本実施例では電界発光層302上にITO(10nm)をスパッタリング法により形成し、電荷発生層303を得る。   Thus, after forming the electroluminescent layer 302 formed by stacking the electron injection layer 311, the electron transport layer 312, the light emitting layer 313, the hole transport layer 314, and the hole injection layer 315, the charge generation layer is formed. 303 is formed by a sputtering method. Note that the charge generation layer 303 is preferably a light-transmitting substance. In this embodiment, the charge generation layer 303 is obtained by forming ITO (10 nm) on the electroluminescent layer 302 by a sputtering method.

電荷発生層303上に電界発光層304を形成する。電界発光層304は、上記した電界発光層302と同様に形成すればよい。本実施例では、電子注入層316としてLiを1質量%含むベンゾオキサゾール誘導体(20nm)、電子輸送層317としてAlq3(20nm)、発光層318としてDMQDを1質量%含むAlq3(40nm)、正孔輸送層319としてα―NPD(40nm)、正孔注入層320としてベンゾオキサゾール誘導体とTCQnを含む層を20nmの膜厚で形成する。 An electroluminescent layer 304 is formed on the charge generation layer 303. The electroluminescent layer 304 may be formed in the same manner as the electroluminescent layer 302 described above. In this example, a benzoxazole derivative (20 nm) containing 1% by mass of Li as the electron injection layer 316, Alq 3 (20 nm) as the electron transport layer 317, Alq 3 (40 nm) containing 1% by mass of DMQD as the light emitting layer 318, Α-NPD (40 nm) is formed as the hole transport layer 319, and a layer containing a benzoxazole derivative and TCQn is formed as the hole injection layer 320 with a thickness of 20 nm.

そして、電界発光層304を形成した後、陽極として機能する第2の電極305としてITOをスパッタリング法より110nmの膜厚で形成する。   Then, after the electroluminescent layer 304 is formed, ITO is formed to a thickness of 110 nm by a sputtering method as the second electrode 305 that functions as an anode.

本実施例で作製した発光素子は、電界発光層のうち、電荷発生層に最も近い層にスパッタリング法による成膜時のプラズマにエッチングされにくい材料を含む層を形成することにより、スパッタリング法で膜形成するときに電界発光層が受ける損傷を低減することができる。なお、ベンゾオキサゾール誘導体の他、ピリジン誘導体を用いた場合にも同様の効果を得ることできる。   The light-emitting element manufactured in this example is a film formed by a sputtering method by forming a layer containing a material that is difficult to be etched by plasma at the time of film formation by a sputtering method in a layer closest to the charge generation layer among the electroluminescent layers. Damage to the electroluminescent layer when formed can be reduced. Similar effects can be obtained when a pyridine derivative is used in addition to the benzoxazole derivative.

本実施例では、実施例1および実施例2で作製した発光素子を用いた発光装置の構成について図4および図11〜図14を用いて説明する。   In this example, a structure of a light-emitting device using the light-emitting element manufactured in Example 1 and Example 2 will be described with reference to FIGS. 4 and 11 to 14.

複数の電界発光層を積層した発光素子を用いた発光装置において、例えば白色発光を得る場合、従来は、全ての発光素子において第1色の電界発光層(例えば赤色発光する電界発光層)、第2色の電界発光層(例えば緑色発光する電界発光層)、第3色の電界発光層(例えば青色発光する電界発光層)を同じ順序で積層していた。しかし、全ての発光素子が同一の積層構造を持っていると、全ての発光素子で白色発光が得られなくてはならず、光の干渉効果や各層の抵抗値の違いなどにより、着色していない白色発光が得られるよう調整することが困難であった。つまり、所望の発光色を得るためには、各層の膜厚等を厳密に調整する必要があった。また、各発光材料によって特性の経時変化が異なるため、時間が経つと白色ではなくなり、ある特定の色の発光が目立ってしまう場合があった。全ての発光素子が同じ積層構造を持っている場合、特性の経時変化による発光色の変化に対応することができなかった。   In a light-emitting device using a light-emitting element in which a plurality of electroluminescent layers are stacked, for example, when white light emission is obtained, conventionally, in all the light-emitting elements, the first color electroluminescent layer (for example, electroluminescent layer emitting red light), the first A two-color electroluminescent layer (for example, an electroluminescent layer emitting green light) and a third color electroluminescent layer (for example, an electroluminescent layer emitting blue light) were laminated in the same order. However, if all the light-emitting elements have the same laminated structure, all the light-emitting elements must emit white light, and they are colored due to light interference effects and differences in resistance values of the layers. It was difficult to adjust so that no white light emission was obtained. That is, in order to obtain a desired emission color, it is necessary to strictly adjust the film thickness of each layer. In addition, since the time-dependent change in characteristics varies depending on each light emitting material, the light is not white over time, and light emission of a specific color may be noticeable. When all the light-emitting elements have the same laminated structure, it was impossible to cope with a change in emission color due to a change in characteristics over time.

そこで、本実施例では、各発光素子の積層構造を図4のような構成にすることにより、白色発光を得る。図4において、基板上に3つの発光素子(501、502、503)が形成されている。そして、3つの発光素子で一画素を形成している。それぞれの発光素子は第1の電極551上に電界発光層が電荷発生層552を挟んで積層されており、最上層に第2の電極553が形成されている。   Therefore, in this embodiment, white light emission is obtained by making the laminated structure of each light emitting element as shown in FIG. In FIG. 4, three light emitting elements (501, 502, 503) are formed on a substrate. One pixel is formed by three light emitting elements. In each light-emitting element, an electroluminescent layer is stacked on a first electrode 551 with a charge generation layer 552 interposed therebetween, and a second electrode 553 is formed as the uppermost layer.

発光素子501では、第1色の電界発光層511、第2色の電界発光層512、第3色の電界発光層513の順に積層し、発光素子502では、第2色の電界発光層521、第3色の電界発光層522、第1色の電界発光層523の順に積層し、発光素子503では、第3色の電界発光層531、第1色の電界発光層532、第2色の電界発光層533の順に積層する。このように各発光素子の電界発光層の積層順序を変えることにより、1つ1つの発光素子では白色発光を得られなくても、画素全体として白色発光を得ることができるようになる。なお、発光素子501では第1の発光色が強く発光し、発光素子502では第2の発光色が強く発光し、発光素子503では第3の発光色が強く発光している。   In the light emitting element 501, a first color electroluminescent layer 511, a second color electroluminescent layer 512, and a third color electroluminescent layer 513 are stacked in this order. In the light emitting element 502, the second color electroluminescent layer 521, The electroluminescent layer 522 of the third color and the electroluminescent layer 523 of the first color are stacked in this order. In the light emitting element 503, the electroluminescent layer 531 of the third color, the electroluminescent layer 532 of the first color, and the electric field of the second color are stacked. The light emitting layer 533 is stacked in this order. Thus, by changing the stacking order of the electroluminescent layers of each light emitting element, it is possible to obtain white light emission as a whole pixel even if each light emitting element cannot obtain white light emission. Note that the light-emitting element 501 emits light with a strong first emission color, the light-emitting element 502 emits light with a strong second emission color, and the light-emitting element 503 emits light with a strong third emission color.

また、アクティブマトリクス型の場合、各発光素子を独立に駆動することができるため、各発光材料の特性の経時変化に対応することが可能になり、より長時間白色発光を得ることが可能になる。   In the case of the active matrix type, since each light emitting element can be driven independently, it is possible to cope with a change in characteristics of each light emitting material with time, and to obtain white light emission for a longer time. .

例えば、経時変化により第1色の発光色が目立つようになってきた場合、図11に示すように、第1のコントローラ561により、第1色の発光色が強く発光している第1の発光素子に流れる電流を少なくし、第2のコントローラ562により第2色の発光色が強く発光している第2の発光素子に流れる電流を多くし、第3のコントローラ563により第3色の発光色が強く発光している第3の発光素子に流れる電流を多くし、全体として白色発光を保つようにする。このようにコントローラにより各発光素子に流れる電流量を変化させ、画素全体としての発光色を制御することが可能となる。   For example, when the first emission color becomes conspicuous due to changes over time, the first controller 561 emits the first emission color strongly as shown in FIG. The current flowing through the element is reduced, the current flowing through the second light emitting element in which the second emission color is strongly emitted by the second controller 562 is increased, and the third emission color is obtained by the third controller 563. Increases the current flowing through the third light emitting element which emits light strongly, and keeps white light emission as a whole. In this way, the controller can control the emission color of the entire pixel by changing the amount of current flowing through each light emitting element.

なお、図4および図11では、第2の電極が陽極の場合を示したが、第2の電極が陰極である構成としてもよい。また、本実施例では、白色発光の場合を示したが、所望の色の発光を得る場合にも本発明を適用することができる。また、本実施例では電界発光層が3層積層した例を示したが、これに限定されず、2層以上であれば同様の効果を得ることができる。具体的には、本実施例のように、3つの電界発光層を積層した3つの発光素子で一画素を形成していてもよいし、2つの電界発光層を積層した2つの発光素子で一画素を形成していてもよい。また、3つ以上の電界発光層を積層した発光素子で一画素を形成していてもよい。また、3つの電界発光層を積層した2つ発光素子で一画素を形成していてもよいし、3つの電界発光層を積層した4つの発光素子で一画素を形成していてもよい。   4 and 11 show the case where the second electrode is an anode, the second electrode may be a cathode. In this embodiment, the case of white light emission is shown, but the present invention can also be applied to obtain light emission of a desired color. Further, although an example in which three electroluminescent layers are laminated is shown in this embodiment, the present invention is not limited to this, and the same effect can be obtained as long as two or more layers are formed. Specifically, as in this embodiment, one pixel may be formed by three light emitting elements in which three electroluminescent layers are stacked, or two light emitting elements in which two electroluminescent layers are stacked. Pixels may be formed. One pixel may be formed of a light emitting element in which three or more electroluminescent layers are stacked. One pixel may be formed by two light emitting elements in which three electroluminescent layers are stacked, or one pixel may be formed by four light emitting elements in which three electroluminescent layers are stacked.

さらに、電界発光層の膜厚は、各発光素子毎に異なっていてもよい。例えば、本実施例において、第1色の電界発光層511、523、532はそれぞれ膜厚が異なっていてもよい。これにより、各発光素子毎に発光色の特徴が異なるため、より所望の発光色に近づけることができるようになる。 Further, the thickness of the electroluminescent layer may be different for each light emitting element. For example, in this embodiment, the first color electroluminescent layers 511, 523, and 532 may have different thicknesses. Thereby, since the characteristics of the light emission color are different for each light emitting element, the light emission color can be made closer to the desired light emission color.

なお、同一画素内の各発光素子に与える電流量を変化させるためには、電源線の電位を変化させる方法、または、電源線の電位を同一にしソース線駆動回路からの信号を変化させる方法がある。   Note that in order to change the amount of current applied to each light-emitting element in the same pixel, a method of changing the potential of the power supply line or a method of changing the signal from the source line driver circuit by making the potential of the power supply line the same is used. is there.

図12に、同一画素内の各発光素子に電気的に接続された電源線を独立したものにし、各発光素子に与える電位を変化させることができる発光装置の等価回路を示す。   FIG. 12 shows an equivalent circuit of a light-emitting device in which a power supply line electrically connected to each light-emitting element in the same pixel is independent and a potential applied to each light-emitting element can be changed.

図12において、各画素1101にはそれぞれ3つの発光素子が設けられ、その発光素子に供給される電位を伝達する電源線は、3つの素子で独立して設けられている。よって、電源回路1106よりそれぞれ独立した電位を各発光素子に供給することができ、3つの発光素子の輝度を独立して制御することが可能となる。   In FIG. 12, each pixel 1101 is provided with three light emitting elements, and power supply lines for transmitting a potential supplied to the light emitting elements are independently provided with the three elements. Accordingly, independent potentials can be supplied to the light emitting elements from the power supply circuit 1106, and the luminance of the three light emitting elements can be controlled independently.

また、各画素は、ソース線駆動回路1104およびゲート線駆動回路1105に接続しており、ソース線駆動回路1104およびゲート線駆動回路1105から与えられる信号により、制御される。   Each pixel is connected to the source line driver circuit 1104 and the gate line driver circuit 1105, and is controlled by signals supplied from the source line driver circuit 1104 and the gate line driver circuit 1105.

各発光素子の経時変化による発光色の変化は、モニター用の発光素子を用いる、または、発光素子の点灯時間の結果とあらかじめ測定していた発光素子の劣化特性を用いて算出する。モニター回路1108により算出された経時変化の度合いは電源回路1106に入力され、各発光素子に供給される電位が決定される。   The change in light emission color due to the time-dependent change of each light-emitting element is calculated using a light-emitting element for monitoring, or using the result of the lighting time of the light-emitting element and the degradation characteristics of the light-emitting element measured in advance. The degree of change with time calculated by the monitor circuit 1108 is input to the power supply circuit 1106, and the potential supplied to each light emitting element is determined.

コントローラ1107は、ソース線駆動回路1104、ゲート線駆動回路1105および電源回路1106を制御する。なお、複数の電位の供給を電源回路1106だけで行い、コントローラ1107はソース線駆動回路1104およびゲート線駆動回路1105を制御するようにしてもよい。   The controller 1107 controls the source line driver circuit 1104, the gate line driver circuit 1105, and the power supply circuit 1106. Note that a plurality of potentials may be supplied only by the power supply circuit 1106, and the controller 1107 may control the source line driver circuit 1104 and the gate line driver circuit 1105.

以上により、一画素内の3つの発光素子の輝度をそれぞれ独立に制御することが可能となる。また、図12において、画素1101Rに対して赤色のカラーフィルターを、画素1101Gに対して緑色のカラーフィルターを、画素1101Bに対して青色のカラーフィルターをそれぞれ設けることにより、ディスプレイとして用いることも可能である。本発明の発光装置は、経時変化による色の変化を抑制することができ、高輝度で長寿命であるため、ディスプレイとして用いた場合にも、経時変化による色の変化を抑制することができ、高輝度で長寿命なディスプレイを得ることができる。   As described above, the luminance of the three light emitting elements in one pixel can be controlled independently. In FIG. 12, a red color filter can be provided for the pixel 1101R, a green color filter can be provided for the pixel 1101G, and a blue color filter can be provided for the pixel 1101B. is there. The light emitting device of the present invention can suppress a change in color due to a change with time, and has high luminance and a long lifetime, so even when used as a display, it can suppress a change in color due to a change with time. A display with high brightness and long life can be obtained.

図13は、電源線の電位を同一にしソース線駆動回路1204から画素に供給するビデオ信号を変化させる場合の発光装置の等価回路である。   FIG. 13 is an equivalent circuit of a light-emitting device in the case where the video signal supplied from the source line driver circuit 1204 to the pixels is changed with the same potential of the power supply line.

図13において、各画素1201にはそれぞれ3つの発光素子が設けられ、その発光素子に供給される電位を伝達する電源線は、3つの素子で共通である。よって、電源回路1206から各発光素子に供給される電位は同一の電位である。   In FIG. 13, each pixel 1201 is provided with three light emitting elements, and a power supply line for transmitting a potential supplied to the light emitting elements is common to the three elements. Therefore, the potential supplied from the power supply circuit 1206 to each light-emitting element is the same potential.

図13において、各画素は、ソース線駆動回路1204およびゲート線駆動回路1205に接続しており、ソース線駆動回路1204およびゲート線駆動回路1205から与えられる信号により、制御される。     In FIG. 13, each pixel is connected to a source line driver circuit 1204 and a gate line driver circuit 1205, and is controlled by signals supplied from the source line driver circuit 1204 and the gate line driver circuit 1205.

また、各発光素子の輝度は、ソース線駆動回路1204から供給されるビデオ信号により制御される。ビデオ信号を変化させることにより、ゲート線駆動回路1205からの信号により第1のTFT1211がオンなったときに第2のTFT1212のゲートに印加される電圧が変化し、電源線から発光素子に供給される電流量が変化する。     In addition, the luminance of each light-emitting element is controlled by a video signal supplied from the source line driver circuit 1204. By changing the video signal, the voltage applied to the gate of the second TFT 1212 when the first TFT 1211 is turned on by a signal from the gate line driver circuit 1205 is changed and is supplied from the power supply line to the light emitting element. The amount of current that changes.

各発光素子の経時変化による発光色の変化は、モニター用の発光素子を用いる、または、発光素子の点灯時間の結果とあらかじめ測定していた発光素子の劣化特性を用いて算出する。モニター回路1208により算出された経時変化の度合いは電源回路1206に入力され、各発光素子に供給される電位が決定される。   The change in light emission color due to the time-dependent change of each light-emitting element is calculated using a light-emitting element for monitoring, or using the result of the lighting time of the light-emitting element and the degradation characteristics of the light-emitting element measured in advance. The degree of change with time calculated by the monitor circuit 1208 is input to the power supply circuit 1206, and the potential supplied to each light emitting element is determined.

コントローラ1207は、ソース線駆動回路1204、ゲート線駆動回路1205および電源回路1206を制御する。なお、複数の電位の供給を電源回路1206だけで行い、コントローラ1207はソース線駆動回路1204およびゲート線駆動回路1205を制御するようにしてもよい。   The controller 1207 controls the source line driver circuit 1204, the gate line driver circuit 1205, and the power supply circuit 1206. Note that a plurality of potentials may be supplied only by the power supply circuit 1206, and the controller 1207 may control the source line driver circuit 1204 and the gate line driver circuit 1205.

以上により、一画素内の3つの発光素子の輝度をそれぞれ独立に制御することが可能となる。また、図13において、画素1201Rに対して赤色のカラーフィルターを、画素1201Gに対して緑色のカラーフィルターを、画素1201Bに対して青色のカラーフィルターをそれぞれ設けることにより、ディスプレイとして用いることも可能である。本発明の発光装置は、経時変化による色の変化を抑制することができ、高輝度で長寿命であるため、ディスプレイとして用いた場合にも、経時変化による色の変化を抑制することができ、高輝度で長寿命なディスプレイを得ることができる。   As described above, the luminance of the three light emitting elements in one pixel can be controlled independently. In FIG. 13, a red color filter is provided for the pixel 1201R, a green color filter is provided for the pixel 1201G, and a blue color filter is provided for the pixel 1201B. is there. The light emitting device of the present invention can suppress a change in color due to a change with time, and has high luminance and a long lifetime, so even when used as a display, it can suppress a change in color due to a change with time. A display with high brightness and long life can be obtained.

また、本発明は、アクティブマトリクス型の発光装置だけでなく、パッシブマトリクス型の発光装置にも適用することが可能である。パッシブマトリクス型の発光装置に本発明を適用した場合の等価回路を図14に示す。   The present invention can be applied not only to an active matrix light-emitting device but also to a passive matrix light-emitting device. FIG. 14 shows an equivalent circuit in the case where the present invention is applied to a passive matrix light-emitting device.

図14において、画素1301は3つの発光素子を有している。各発光素子は、ソース線駆動回路1304およびゲート線駆動回路1305から入力される信号に基づき制御される。また、各発光素子の輝度は、ソース線駆動回路1304から供給される電流の値によって決定される。ソース線駆動回路1304から供給される電流の値は、電源回路1306およびコントローラ1307により制御される。電源回路1306は、モニター回路1308により算出された発光素子の経時変化の度合いにより、発光素子に与える電流量を決定する。   In FIG. 14, a pixel 1301 has three light emitting elements. Each light emitting element is controlled based on signals input from the source line driver circuit 1304 and the gate line driver circuit 1305. The luminance of each light emitting element is determined by the value of current supplied from the source line driver circuit 1304. The value of the current supplied from the source line driver circuit 1304 is controlled by the power supply circuit 1306 and the controller 1307. The power supply circuit 1306 determines the amount of current applied to the light emitting element based on the degree of change over time of the light emitting element calculated by the monitor circuit 1308.

以上により、一画素内の3つの発光素子の輝度をそれぞれ独立に制御することが可能となる。また、図14において、画素1301Rに対して赤色のカラーフィルターを、画素1301Gに対して緑色のカラーフィルターを、画素1301Bに対して青色のカラーフィルターをそれぞれ設けることにより、ディスプレイとして用いることも可能である。本発明の発光装置は、経時変化による色の変化を抑制することができ、高輝度で長寿命であるため、ディスプレイとして用いた場合にも、経時変化による色の変化を抑制することができ、高輝度で長寿命なディスプレイを得ることができる。   As described above, the luminance of the three light emitting elements in one pixel can be controlled independently. In FIG. 14, a red color filter is provided for the pixel 1301R, a green color filter is provided for the pixel 1301G, and a blue color filter is provided for the pixel 1301B. is there. The light emitting device of the present invention can suppress a change in color due to a change with time, and has high luminance and a long lifetime, so even when used as a display, it can suppress a change in color due to a change with time. A display with high brightness and long life can be obtained.

本実施例では、画素部に本発明の発光素子を有する発光装置について図5を用いて説明する。なお、図5(A)は、発光装置を示す上面図、図5(B)は図5(A)をA−A’で切断した断面図である。点線で示された801は駆動回路部(ソース側駆動回路)、802は画素部、803は駆動回路部(ゲート側駆動回路)である。また、804は封止基板、805はシール材であり、シール材805で囲まれた内側は、空間807になっている。   In this embodiment, a light-emitting device having the light-emitting element of the present invention in a pixel portion will be described with reference to FIG. 5A is a top view illustrating the light-emitting device, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line A-A ′ in FIG. 5A. Reference numeral 801 indicated by a dotted line denotes a drive circuit portion (source side drive circuit), 802 denotes a pixel portion, and 803 denotes a drive circuit portion (gate side drive circuit). Further, reference numeral 804 denotes a sealing substrate, and 805 denotes a sealing material. An inner side surrounded by the sealing material 805 is a space 807.

なお、808はソース側駆動回路801及びゲート側駆動回路803に入力される信号を伝送するための配線であり、外部入力端子となるFPC(フレキシブルプリントサーキット)809からビデオ信号、クロック信号、スタート信号、リセット信号等を受け取る。なお、ここではFPCしか図示されていないが、このFPCにはプリント配線基盤(PWB)が取り付けられていても良い。本明細書における発光装置には、発光装置本体だけでなく、それにFPCもしくはPWBが取り付けられた状態をも含むものとする。   Reference numeral 808 denotes a wiring for transmitting signals input to the source side driver circuit 801 and the gate side driver circuit 803, and a video signal, a clock signal, and a start signal from an FPC (flexible printed circuit) 809 serving as an external input terminal. Receive a reset signal, etc. Although only the FPC is shown here, a printed wiring board (PWB) may be attached to the FPC. The light-emitting device in this specification includes not only a light-emitting device body but also a state in which an FPC or a PWB is attached thereto.

次に、断面構造について図5(B)を用いて説明する。素子基板810上には駆動回路部及び画素部が形成されているが、ここでは、駆動回路部であるソース側駆動回路801と、画素部802が示されている。   Next, a cross-sectional structure is described with reference to FIG. A driver circuit portion and a pixel portion are formed over the element substrate 810. Here, a source side driver circuit 801 which is a driver circuit portion and a pixel portion 802 are shown.

なお、ソース側駆動回路801はnチャネル型TFT823とpチャネル型TFT824とを組み合わせたCMOS回路が形成される。また、駆動回路を形成するTFTは、公知のCMOS回路、PMOS回路もしくはNMOS回路で形成しても良い。また、本実施の形態では、基板上に駆動回路を形成したドライバー一体型を示すが、必ずしもその必要はなく、駆動回路を基板上ではなく外部に形成することもできる。   Note that the source side driver circuit 801 is a CMOS circuit in which an n-channel TFT 823 and a p-channel TFT 824 are combined. The TFT forming the driving circuit may be formed by a known CMOS circuit, PMOS circuit or NMOS circuit. In this embodiment mode, a driver integrated type in which a driver circuit is formed over a substrate is shown; however, this is not always necessary, and the driver circuit can be formed outside the substrate.

また、画素部802はスイッチング用TFT811と、電流制御用TFT812とそのドレインに電気的に接続された第1の電極813とを含む複数の画素により形成される。なお、第1の電極813の端部を覆って絶縁層814が形成されている。ここでは、ポジ型の感光性アクリル樹脂膜を用いることにより形成する。   The pixel portion 802 is formed of a plurality of pixels including a switching TFT 811, a current control TFT 812, and a first electrode 813 electrically connected to the drain thereof. Note that an insulating layer 814 is formed to cover an end portion of the first electrode 813. Here, a positive photosensitive acrylic resin film is used.

また、カバレッジを良好なものとするため、絶縁層814の上端部または下端部に曲率を有する曲面が形成されるようにする。例えば、絶縁層814の材料としてポジ型の感光性アクリルを用いた場合、絶縁層814の上端部のみに曲率半径(0.2μm〜3μm)を有する曲面を持たせることが好ましい。また、絶縁層814として、光の照射によってエッチャントに不溶解性となるネガ型、或いは光の照射によってエッチャントに溶解性となるポジ型のいずれも使用することができる。   In order to improve the coverage, a curved surface having a curvature is formed at the upper end portion or the lower end portion of the insulating layer 814. For example, in the case where positive photosensitive acrylic is used as a material for the insulating layer 814, it is preferable that only the upper end portion of the insulating layer 814 has a curved surface with a curvature radius (0.2 μm to 3 μm). As the insulating layer 814, either a negative type that becomes insoluble in an etchant by light irradiation or a positive type that becomes soluble in an etchant by light irradiation can be used.

第1の電極813上には、第1の電界発光層815、電荷発生層816、第2の電界発光層817および第2の電極818がそれぞれ形成されている。第1の電界発光層815および第2の電界発光層817は、蒸着マスクを用いた蒸着法、またはインクジェット法によって形成される。電荷発生層816はスパッタ法により形成される。また、第2の電極818は透明導電膜で形成される。発光素子819の構成は、例えば実施例1や実施例2で示した電界発光層の構成とすればよい。   A first electroluminescent layer 815, a charge generation layer 816, a second electroluminescent layer 817, and a second electrode 818 are formed over the first electrode 813, respectively. The first electroluminescent layer 815 and the second electroluminescent layer 817 are formed by an evaporation method using an evaporation mask or an inkjet method. The charge generation layer 816 is formed by a sputtering method. The second electrode 818 is formed using a transparent conductive film. The structure of the light-emitting element 819 may be the structure of the electroluminescent layer described in Example 1 or Example 2, for example.

さらにシール材805で封止基板804を素子基板810と貼り合わせることにより、素子基板810、封止基板804、およびシール材805で囲まれた空間に発光素子819が備えられた構造になっている。なお、空間807には、充填材が充填されており、不活性気体(窒素やアルゴン等)が充填される場合の他、シール材で充填される場合もある。   Further, the sealing substrate 804 is bonded to the element substrate 810 with the sealant 805, whereby the light-emitting element 819 is provided in a space surrounded by the element substrate 810, the sealing substrate 804, and the sealant 805. . Note that the space 807 is filled with a filler and may be filled with a sealing material in addition to the case of being filled with an inert gas (such as nitrogen or argon).

なお、シール材805にはエポキシ系樹脂を用いるのが好ましい。また、これらの材料はできるだけ水分や酸素を透過しない材料であることが望ましい。また、封止基板804に用いる材料としてガラス基板や石英基板の他、FRP(Fiberglass−Reinforced Plastics)、PVF(ポリビニルフロライド)、マイラー、ポリエステルまたはアクリル等からなるプラスチック基板を用いることができる。   Note that an epoxy-based resin is preferably used for the sealant 805. Moreover, it is desirable that these materials are materials that do not transmit moisture and oxygen as much as possible. In addition to a glass substrate and a quartz substrate, a plastic substrate made of FRP (Fiberglass-Reinforced Plastics), PVF (polyvinyl fluoride), Mylar, polyester, acrylic, or the like can be used as a material used for the sealing substrate 804.

以上のようにして、本発明の発光素子を有する発光装置を得ることができる。なお、本実施例では、電界発光層を2層積層させた構成としたが、3層以上積層させた構成としてもよい。   As described above, a light-emitting device having the light-emitting element of the present invention can be obtained. In this embodiment, two electroluminescent layers are stacked, but three or more layers may be stacked.

本実施例では、本発明の発光素子を用いて作製された発光装置をその一部に含む様々な電気器具について説明する。   In this example, various electric appliances including a light-emitting device manufactured using the light-emitting element of the present invention as a part thereof will be described.

本発明を用いて形成される発光装置を用いて作製された電気器具として、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、オーディオコンポ等)、パーソナルコンピュータ、ゲーム機器、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲーム機または電子書籍等)、記録媒体を備えた画像再生装置(具体的にはDigital Versatile Disc(DVD)等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうる表示装置を備えた装置)などが挙げられる。これらの電気器具の具体例を図10に示す。   Video appliances, digital cameras, goggle-type displays, navigation systems, sound playback devices (car audio, audio components, etc.), personal computers, game machines as electrical appliances manufactured using light-emitting devices formed using the present invention , A portable information terminal (mobile computer, cellular phone, portable game machine, electronic book, etc.), an image reproducing device (specifically, a digital versatile disc (DVD)) provided with a recording medium, and the image And the like). Specific examples of these electric appliances are shown in FIG.

図10(A)は表示装置であり、筐体2001、支持台2002、表示部2003、スピーカー部2004、ビデオ入力端子2005等を含む。本発明を用いて形成される発光装置をその表示部2003に用いることにより作製される。なお、表示装置は、コンピュータ用、TV放送受信用、広告表示用などの全ての情報表示用装置が含まれる。   FIG. 10A illustrates a display device, which includes a housing 2001, a support base 2002, a display portion 2003, a speaker portion 2004, a video input terminal 2005, and the like. It is manufactured by using a light emitting device formed using the present invention for the display portion 2003. The display device includes all information display devices such as a computer, a TV broadcast receiver, and an advertisement display.

図10(B)はパーソナルコンピュータであり、本体2201、筐体2202、表示部2203、キーボード2204、外部接続ポート2205、ポインティングマウス2206等を含む。本発明を用いて形成される発光装置をその表示部2203に用いることにより作製される。   FIG. 10B illustrates a personal computer, which includes a main body 2201, a housing 2202, a display portion 2203, a keyboard 2204, an external connection port 2205, a pointing mouse 2206, and the like. It is manufactured by using a light emitting device formed using the present invention for the display portion 2203.

図10(C)はモバイルコンピュータであり、本体2301、表示部2302、スイッチ2303、操作キー2304、赤外線ポート2305等を含む。本発明を用いて形成される発光装置をその表示部2302に用いることにより作製される。   FIG. 10C illustrates a mobile computer, which includes a main body 2301, a display portion 2302, a switch 2303, operation keys 2304, an infrared port 2305, and the like. The display device 2302 is manufactured using a light-emitting device formed using the present invention.

図10(D)は記録媒体を備えた携帯型の画像再生装置(具体的にはDVD再生装置)であり、本体2401、筐体2402、表示部A2403、表示部B2404、記録媒体(DVD等)読み込み部2405、操作キー2406、スピーカー部2407等を含む。表示部A2403は主として画像情報を表示し、表示部B2404は主として文字情報を表示するが、本発明を用いて形成される発光装置をこれら表示部A2403、表示部B2404に用いることにより作製される。なお、記録媒体を備えた画像再生装置には家庭用ゲーム機器なども含まれる。   FIG. 10D illustrates a portable image reproducing device (specifically, a DVD reproducing device) provided with a recording medium, which includes a main body 2401, a housing 2402, a display portion A2403, a display portion B2404, and a recording medium (DVD or the like). A reading unit 2405, operation keys 2406, a speaker unit 2407, and the like are included. Although the display portion A 2403 mainly displays image information and the display portion B 2404 mainly displays character information, the light-emitting device formed using the present invention is used for the display portion A 2403 and the display portion B 2404. Note that an image reproducing device provided with a recording medium includes a home game machine and the like.

図10(E)はゴーグル型ディスプレイであり、本体2501、表示部2502、アーム部2503を含む。本発明を用いて形成される発光装置をその表示部2502に用いることにより作製される。   FIG. 10E illustrates a goggle type display, which includes a main body 2501, a display portion 2502, and an arm portion 2503. The display device 2502 is manufactured using a light-emitting device formed using the present invention.

図10(F)はビデオカメラであり、本体2601、表示部2602、筐体2603、外部接続ポート2604、リモコン受信部2605、受像部2606、バッテリー2607、音声入力部2608、操作キー2609、接眼部2610等を含む。本発明を用いて形成される発光装置をその表示部2602に用いることにより作製される。   FIG. 10F illustrates a video camera, which includes a main body 2601, a display portion 2602, a housing 2603, an external connection port 2604, a remote control receiving portion 2605, an image receiving portion 2606, a battery 2607, an audio input portion 2608, operation keys 2609, and an eyepiece. Part 2610 and the like. The display device 2602 is manufactured using a light-emitting device formed using the present invention.

ここで図10(G)は携帯電話であり、本体2701、筐体2702、表示部2703、音声入力部2704、音声出力部2705、操作キー2706、外部接続ポート2707、アンテナ2708等を含む。本発明を用いて形成される発光装置をその表示部2703に用いることにより作製される。   Here, FIG. 10G shows a mobile phone, which includes a main body 2701, a housing 2702, a display portion 2703, an audio input portion 2704, an audio output portion 2705, operation keys 2706, an external connection port 2707, an antenna 2708, and the like. It is manufactured by using a light emitting device formed using the present invention for the display portion 2703.

本発明の発光素子を用いることにより、高輝度発光時で長寿命を実現し、かつ、スパッタダメージに起因する不良が少ない発光素子および発光装置を提供することができる。   By using the light-emitting element of the present invention, it is possible to provide a light-emitting element and a light-emitting device that achieve a long life at the time of high-luminance light emission and have few defects due to sputtering damage.

本発明の発光素子について説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting element of the present invention. 本発明の発光素子について説明する図FIG. 6 illustrates a light-emitting element of the present invention. 本発明の発光素子について説明する図FIG. 6 illustrates a light-emitting element of the present invention. 本発明の発光装置について説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光素子を用いた発光装置の一例を示す図。FIG. 14 illustrates an example of a light-emitting device using a light-emitting element of the present invention. 輝度―電流密度特性を示した図。The figure which showed the luminance-current density characteristic. 電流効率―輝度特性を示した図。The figure which showed the current efficiency-luminance characteristic. 輝度―電圧特性を示した図。The figure which showed the luminance-voltage characteristic. 電流―電圧特性を示した図。The figure which showed the current-voltage characteristic. 本発明の発光装置を用いた電気器具の例を示す図。The figure which shows the example of the electric appliance using the light-emitting device of this invention. 本発明の発光装置について説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置について説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置について説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置について説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

100 基板
101 第1の電極
102 電界発光層
103 電荷発生層
105 第2の電極
106 電荷発生層に最も近い層
107 第2の電極に最も近い層
108 発光素子

100 Substrate 101 First electrode 102 Electroluminescent layer 103 Charge generation layer 105 Second electrode 106 Layer 107 closest to the charge generation layer 107 Layer 108 closest to the second electrode

Claims (18)

第1の電極と第2の電極との間に、複数の電界発光層と、一または複数の電荷発生層を有し、
前記複数の電界発光層の間には、前記電荷発生層が一または複数形成されており、
前記電界発光層は、ベンゾオキサゾール誘導体を含む層を有し、
前記ベンゾオキサゾール誘導体を含む層は前記電荷発生層と接し、かつ、前記電荷発生層の前記第1の電極側に形成されていることを特徴とする発光素子。
A plurality of electroluminescent layers and one or a plurality of charge generation layers between the first electrode and the second electrode;
One or more charge generation layers are formed between the plurality of electroluminescent layers,
The electroluminescent layer has a layer containing a benzoxazole derivative,
The layer including the benzoxazole derivative is in contact with the charge generation layer, and is formed on the first electrode side of the charge generation layer.
第1の電極と第2の電極との間に、複数の電界発光層と、一または複数の電荷発生層を有し、
前記複数の電界発光層の間には、前記電荷発生層が一または複数形成されており、
前記電界発光層は、ピリジン誘導体を含む層を有し、
前記ピリジン誘導体を含む層は前記電荷発生層と接し、かつ、前記電荷発生層の前記第1の電極側に形成されていることを特徴とする発光素子。
A plurality of electroluminescent layers and one or a plurality of charge generation layers between the first electrode and the second electrode;
One or more charge generation layers are formed between the plurality of electroluminescent layers,
The electroluminescent layer has a layer containing a pyridine derivative,
The layer containing the pyridine derivative is in contact with the charge generation layer and is formed on the first electrode side of the charge generation layer.
請求項1または請求項2において、前記電荷発生層はスパッタリング法で形成されていることを特徴とする発光素子。 3. The light emitting element according to claim 1, wherein the charge generation layer is formed by a sputtering method. 請求項1乃至請求項3において、前記第2の電極はスパッタリング法で形成されていることを特徴とする発光素子。 4. The light-emitting element according to claim 1, wherein the second electrode is formed by a sputtering method. 請求項1乃至請求項4において、前記電荷発生層は透明導電膜であることを特徴とする発光素子。 5. The light-emitting element according to claim 1, wherein the charge generation layer is a transparent conductive film. 請求項1乃至請求項5において、前記第2の電極は透明導電膜であることを特徴とする発光素子。 6. The light-emitting element according to claim 1, wherein the second electrode is a transparent conductive film. 請求項1乃至請求項6において、前記第1の電極は透明導電膜であることを特徴とする発光素子。 7. The light-emitting element according to claim 1, wherein the first electrode is a transparent conductive film. 第1の電極を形成する工程と、
前記第1の電極上に、複数の電界発光層と、一または複数の電荷発生層とを形成する工程と、
前記第1の電極の上方に第2の電極を形成する工程とを有し、
前記電界発光層の最上層にベンゾオキサゾール誘導体を含む層を形成し、
前記ベンゾオキサゾール誘導体を含む層上に接して前記電荷発生層を形成することを特徴とする発光素子の作製方法。
Forming a first electrode;
Forming a plurality of electroluminescent layers and one or more charge generation layers on the first electrode;
Forming a second electrode above the first electrode,
Forming a layer containing a benzoxazole derivative on the uppermost layer of the electroluminescent layer;
A method for manufacturing a light-emitting element, wherein the charge generation layer is formed in contact with a layer containing the benzoxazole derivative.
第1の電極を形成する工程と、
前記第1の電極上に、複数の電界発光層と、一または複数の電荷発生層とを形成する工程と、
第1の電極の上方に第2の電極を形成する工程とを有し、
前記電界発光層の最上層にピリジン誘導体を含む層を形成し、
前記ピリジン誘導体を含む層上に接して前記電荷発生層を形成することを特徴とする発光素子の作製方法。
Forming a first electrode;
Forming a plurality of electroluminescent layers and one or more charge generation layers on the first electrode;
Forming a second electrode above the first electrode,
Forming a layer containing a pyridine derivative on the uppermost layer of the electroluminescent layer;
A method for manufacturing a light-emitting element, wherein the charge generation layer is formed in contact with a layer containing the pyridine derivative.
請求項8または請求項9において、前記電荷発生層はスパッタリング法で形成されていることを特徴とする発光素子の作製方法。 10. The method for manufacturing a light-emitting element according to claim 8, wherein the charge generation layer is formed by a sputtering method. 請求項8乃至請求項10において、前記第2の電極はスパッタリング法で形成されていることを特徴とする発光素子の作製方法。 The method for manufacturing a light-emitting element according to claim 8, wherein the second electrode is formed by a sputtering method. 請求項8乃至請求項11において、前記電荷発生層は透明導電膜であることを特徴とする発光素子の作製方法。 The method for manufacturing a light-emitting element according to claim 8, wherein the charge generation layer is a transparent conductive film. 請求項8乃至請求項12において、前記第2の電極は透明導電膜であることを特徴とする発光素子の作製方法。 The method for manufacturing a light-emitting element according to claim 8, wherein the second electrode is a transparent conductive film. 請求項8乃至請求項13において、前記第1の電極は透明導電膜であることを特徴とする発光素子の作製方法。 14. The method for manufacturing a light-emitting element according to claim 8, wherein the first electrode is a transparent conductive film. 請求項1乃至請求項7に記載の発光素子を用いた発光装置。 A light-emitting device using the light-emitting element according to claim 1. 一画素内に複数の発光素子を有し、
前記発光素子は、一対の電極間に複数種の電界発光層が、一または複数の電荷発生層を挟んで積層されており、
前記電界発光層は、ベンゾオキサゾール誘導体を含む層を有し、
前記ベンゾオキサゾール誘導体を含む層は前記電荷発生層と接し、かつ、前記電荷発生層の前記第1の電極側に形成されており、
前記複数種の電界発光層の積層順は、一画素内の各発光素子ごとに異なることを特徴とする発光装置。
Having a plurality of light emitting elements in one pixel,
In the light emitting element, a plurality of types of electroluminescent layers are stacked with one or more charge generation layers interposed between a pair of electrodes,
The electroluminescent layer has a layer containing a benzoxazole derivative,
The layer containing the benzoxazole derivative is in contact with the charge generation layer and formed on the first electrode side of the charge generation layer;
2. The light emitting device according to claim 1, wherein the order of stacking the plurality of types of electroluminescent layers is different for each light emitting element in one pixel.
一画素内に複数の発光素子を有し、
前記発光素子は、一対の電極間に複数種の電界発光層が、一または複数の電荷発生層を挟んで積層されており、
前記電界発光層は、ピリジン誘導体を含む層を有し、
前記ピリジン誘導体を含む層は前記電荷発生層と接し、かつ、前記電荷発生層の前記第1の電極側に形成されており、
前記複数種の電界発光層の積層順は、一画素内の各発光素子ごとに異なることを特徴とする発光装置。
Having a plurality of light emitting elements in one pixel,
In the light emitting element, a plurality of types of electroluminescent layers are stacked with one or more charge generation layers interposed between a pair of electrodes,
The electroluminescent layer has a layer containing a pyridine derivative,
The layer containing the pyridine derivative is in contact with the charge generation layer and formed on the first electrode side of the charge generation layer;
2. The light emitting device according to claim 1, wherein the order of stacking the plurality of types of electroluminescent layers is different for each light emitting element in one pixel.
請求項16または請求項17において、前記発光装置は、前記複数の発光素子に流れる電流量をそれぞれ独立に制御することができる制御手段を有していることを特徴とする発光装置。

18. The light emitting device according to claim 16, wherein the light emitting device includes a control unit capable of independently controlling an amount of current flowing through the plurality of light emitting elements.

JP2005129021A 2004-04-28 2005-04-27 LIGHT EMITTING ELEMENT, ITS MANUFACTURING METHOD, AND LIGHT EMITTING DEVICE Expired - Fee Related JP4610408B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005129021A JP4610408B2 (en) 2004-04-28 2005-04-27 LIGHT EMITTING ELEMENT, ITS MANUFACTURING METHOD, AND LIGHT EMITTING DEVICE

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004134915 2004-04-28
JP2005129021A JP4610408B2 (en) 2004-04-28 2005-04-27 LIGHT EMITTING ELEMENT, ITS MANUFACTURING METHOD, AND LIGHT EMITTING DEVICE

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2005340187A true JP2005340187A (en) 2005-12-08
JP2005340187A5 JP2005340187A5 (en) 2008-05-01
JP4610408B2 JP4610408B2 (en) 2011-01-12

Family

ID=35493482

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005129021A Expired - Fee Related JP4610408B2 (en) 2004-04-28 2005-04-27 LIGHT EMITTING ELEMENT, ITS MANUFACTURING METHOD, AND LIGHT EMITTING DEVICE

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4610408B2 (en)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100729737B1 (en) 2006-01-06 2007-06-20 삼성전자주식회사 Metallic compound and organic electroluminescence device comprising the same
US7868538B2 (en) 2006-12-15 2011-01-11 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of fabricating the same
JP2011029108A (en) * 2009-07-29 2011-02-10 Rohm Co Ltd Organic el element
JP2012227118A (en) * 2011-04-04 2012-11-15 Rohm Co Ltd Organic el device
WO2013141057A1 (en) 2012-03-21 2013-09-26 コニカミノルタ株式会社 Organic electroluminescence element
JP2013545249A (en) * 2010-12-09 2013-12-19 ▲海▼洋王照明科技股▲ふん▼有限公司 Double-sided light emitting organic electroluminescence device and manufacturing method thereof
WO2014030666A1 (en) 2012-08-24 2014-02-27 コニカミノルタ株式会社 Transparent electrode, electronic device, and method for manufacturing transparent electrode
JP2014089972A (en) * 2006-06-02 2014-05-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light emitting element, light emitting module, lighting system, and electronic device
WO2014157610A1 (en) 2013-03-29 2014-10-02 コニカミノルタ株式会社 Organic electroluminescent element, lighting device, display device, light-emitting thin film and composition for organic electroluminescent element, and light-emitting method
WO2014157618A1 (en) 2013-03-29 2014-10-02 コニカミノルタ株式会社 Organic electroluminescent element, and lighting device and display device which are provided with same
US9419241B2 (en) 2012-10-31 2016-08-16 Konica Minolta, Inc. Organic electroluminescent element
EP3200255A2 (en) 2016-01-06 2017-08-02 Konica Minolta, Inc. Organic electroluminescent element, method for producing organic electroluminescent element, display, and lighting device
WO2017138179A1 (en) 2016-02-10 2017-08-17 コニカミノルタ株式会社 Organic electroluminescent light emitting device
WO2018037791A1 (en) 2016-08-24 2018-03-01 コニカミノルタ株式会社 Organic electro-luminescence emission device
KR20190050460A (en) * 2017-11-03 2019-05-13 엘지디스플레이 주식회사 Light Emitting Display Device
EP4271160A2 (en) 2015-02-13 2023-11-01 Merck Patent GmbH Aromatic heterocyclic derivative, and organic electroluminescent element, illumination device, and display device using aromatic heterocyclic derivative

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11329748A (en) * 1998-05-20 1999-11-30 Idemitsu Kosan Co Ltd Organic el(electroluminescent) element and light emitting device using it
JP2000517469A (en) * 1996-09-04 2000-12-26 ケンブリッジ ディスプレイ テクノロジー リミテッド Electrode deposition for organic light emitting devices
JP2003249353A (en) * 2002-02-26 2003-09-05 Sharp Corp Active matrix driven organic led display device and its manufacturing method
JP2003303681A (en) * 2002-04-09 2003-10-24 Sharp Corp Organic led element and its manufacturing method as well as organic led display device
JP2004127740A (en) * 2002-10-03 2004-04-22 Dainippon Printing Co Ltd Organic electroluminescent image display device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000517469A (en) * 1996-09-04 2000-12-26 ケンブリッジ ディスプレイ テクノロジー リミテッド Electrode deposition for organic light emitting devices
JPH11329748A (en) * 1998-05-20 1999-11-30 Idemitsu Kosan Co Ltd Organic el(electroluminescent) element and light emitting device using it
JP2003249353A (en) * 2002-02-26 2003-09-05 Sharp Corp Active matrix driven organic led display device and its manufacturing method
JP2003303681A (en) * 2002-04-09 2003-10-24 Sharp Corp Organic led element and its manufacturing method as well as organic led display device
JP2004127740A (en) * 2002-10-03 2004-04-22 Dainippon Printing Co Ltd Organic electroluminescent image display device

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100729737B1 (en) 2006-01-06 2007-06-20 삼성전자주식회사 Metallic compound and organic electroluminescence device comprising the same
JP2015111584A (en) * 2006-06-02 2015-06-18 株式会社半導体エネルギー研究所 Light-emitting element, light-emitting module, illuminating device, and electronic equipment
US11631826B2 (en) 2006-06-02 2023-04-18 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting element, light-emitting device, and electronic device
US10937981B2 (en) 2006-06-02 2021-03-02 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting element, light-emitting device, and electronic device
US9608222B2 (en) 2006-06-02 2017-03-28 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting element having electron-trapping layer
JP2014089972A (en) * 2006-06-02 2014-05-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light emitting element, light emitting module, lighting system, and electronic device
US7868538B2 (en) 2006-12-15 2011-01-11 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of fabricating the same
JP2011029108A (en) * 2009-07-29 2011-02-10 Rohm Co Ltd Organic el element
JP2013545249A (en) * 2010-12-09 2013-12-19 ▲海▼洋王照明科技股▲ふん▼有限公司 Double-sided light emitting organic electroluminescence device and manufacturing method thereof
JP2012227118A (en) * 2011-04-04 2012-11-15 Rohm Co Ltd Organic el device
WO2013141057A1 (en) 2012-03-21 2013-09-26 コニカミノルタ株式会社 Organic electroluminescence element
WO2014030666A1 (en) 2012-08-24 2014-02-27 コニカミノルタ株式会社 Transparent electrode, electronic device, and method for manufacturing transparent electrode
US9419241B2 (en) 2012-10-31 2016-08-16 Konica Minolta, Inc. Organic electroluminescent element
WO2014157618A1 (en) 2013-03-29 2014-10-02 コニカミノルタ株式会社 Organic electroluminescent element, and lighting device and display device which are provided with same
WO2014157610A1 (en) 2013-03-29 2014-10-02 コニカミノルタ株式会社 Organic electroluminescent element, lighting device, display device, light-emitting thin film and composition for organic electroluminescent element, and light-emitting method
EP4271160A2 (en) 2015-02-13 2023-11-01 Merck Patent GmbH Aromatic heterocyclic derivative, and organic electroluminescent element, illumination device, and display device using aromatic heterocyclic derivative
EP3200255A2 (en) 2016-01-06 2017-08-02 Konica Minolta, Inc. Organic electroluminescent element, method for producing organic electroluminescent element, display, and lighting device
WO2017138179A1 (en) 2016-02-10 2017-08-17 コニカミノルタ株式会社 Organic electroluminescent light emitting device
WO2018037791A1 (en) 2016-08-24 2018-03-01 コニカミノルタ株式会社 Organic electro-luminescence emission device
KR20190050460A (en) * 2017-11-03 2019-05-13 엘지디스플레이 주식회사 Light Emitting Display Device
KR102511045B1 (en) * 2017-11-03 2023-03-16 엘지디스플레이 주식회사 Light Emitting Display Device

Also Published As

Publication number Publication date
JP4610408B2 (en) 2011-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4610408B2 (en) LIGHT EMITTING ELEMENT, ITS MANUFACTURING METHOD, AND LIGHT EMITTING DEVICE
KR101197688B1 (en) Light-emitting element and method of manufacturing the same, and light-emitting device using the light-emitting element
JP5031111B2 (en) Light emitting element
US7737630B2 (en) Electroluminescence element and a light emitting device using the same
US7659556B2 (en) Electron injection composition for light emitting element, light emitting element, and light emitting device
US7750560B2 (en) Light-emitting-element
US8502210B2 (en) Light-emitting element and light-emitting device
US20080135858A1 (en) Light Emitting Element and Light Emitting Device Using the Element
US7514159B2 (en) Electron injection composition for light emitting element, light emitting element, and light emitting device
JP4637510B2 (en) LIGHT EMITTING ELEMENT AND LIGHT EMITTING DEVICE
JP4817755B2 (en) Light emitting element and light emitting device
JPWO2004068913A1 (en) Light emitting device and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080314

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080314

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100811

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100817

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100902

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101005

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101012

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4610408

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees