JP2005332186A - Quality control system for manufacturing line and quality control method for manufacturing line - Google Patents

Quality control system for manufacturing line and quality control method for manufacturing line Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive quality control system for a manufacturing line which realizes measurement of the operation condition of manufacturing equipment thereby facilitating detection of a step where defect occurs in a product and facilitating pursuit of failure of equipment causing the defect and which enables Ethernet (R) to be used. <P>SOLUTION: The quality control system for the manufacturing line is provided with: a plurality pieces of manufacturing equipment 2; sensors 3 provided for the manufacturing equipment, respectively and measuring the operation condition of the manufacturing equipment 2; a programmable logic controller 4 connected to each sensor 3 and capturing operation condition data; data collection means 5 converting the operation condition data captured to each programmable controller 4 into digital data and storing the digital data; and a data collecting server 7 connected, through the Ethernet (R) 6, to each of the data collection means 5, and receiving thinned prescribed operation condition data from each of the data collection means 5. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は製造ラインの品質管理システムおよび製造ラインの品質管理方法に係り、特に間引かれた所定の稼動状態データを活用する製造ラインの品質管理システムおよび製造ラインの品質管理方法に関する。   The present invention relates to a production line quality management system and a production line quality management method, and more particularly to a production line quality management system and a production line quality management method that utilize predetermined operating state data.

一般に半導体ウェーハの製造工程において、加工品の不良データ情報などを上位システムに送り、半導体ウェーハの品質管理を行っているが、製造装置の稼動状態を測定しておらず、あるいは、データベース化していないため、製品不良が発生した工程の早期発見や、原因となった装置不具合の追求が困難な状況である。   In general, in the manufacturing process of semiconductor wafers, defect data information on processed products is sent to the host system to control the quality of the semiconductor wafers, but the operating status of the manufacturing equipment is not measured or is not in the database For this reason, it is difficult to detect the process where the product defect has occurred at an early stage and to search for the cause of the device failure.

なお、従来、製造ラインの品質管理のために製造ラインの中間又は最終位置に配置された測定手段により、複数の加工工程で加工された複数の項目を集約して測定し、測定手段から上位のホストコンピュータに全ての測定データを送信する製造ラインの品質管理システムがある（特許文献１）。   Conventionally, a plurality of items processed in a plurality of processing steps are aggregated and measured by a measuring means arranged at the middle or final position of the manufacturing line for quality control of the manufacturing line, There is a production line quality control system that transmits all measurement data to a host computer (Patent Document 1).

また、半導体、ＬＳＩなどの半導体製品の品質管理などの分野では、品質管理データの異常に対応するためにデータの挙動を検出する機能と異常な挙動に対する対策を組み込んだデータ監視装置が用いられ、データ挙動の検出機能や対策を柔軟に組み換えることが可能なデータ監視手段が提案されている（特許文献２）。   In addition, in the field of quality control of semiconductor products such as semiconductors and LSIs, data monitoring devices incorporating a function for detecting data behavior and countermeasures against abnormal behavior are used in order to cope with abnormalities in quality control data, There has been proposed a data monitoring means capable of flexibly rearranging data behavior detection functions and countermeasures (Patent Document 2).

しかし、この特許文献１のシステムおよび特許文献２の装置は、測定データ量が多い場合、測定した全てのデータをホストコンピュータに上げるため、イーサネット（Ｅｔｈｅｒｎｅｔ）（登録商標）などのバス型ネットワークのＬＡＮを用いる場合にはネットワークに過大な負荷が生じるおそれがあり、さらに、この場合、通信速度の速いネットワークが必要となり、ネットワーク工事などが必要とされ、システム全体が高価になる。
特開平６−２８１４７９号公報（［００１０］、［００１８］、図１） 特開２０００−５６８２３号公報（［００２９］、図３） However, in the system of Patent Document 1 and the apparatus of Patent Document 2, when the amount of measurement data is large, a LAN of a bus type network such as Ethernet (registered trademark) is used to raise all measured data to the host computer. When using, there is a possibility that an excessive load is generated on the network. Further, in this case, a network having a high communication speed is required, network construction is required, and the entire system becomes expensive.
JP-A-6-281479 ([0010], [0018], FIG. 1) JP 2000-56823 A ([0029], FIG. 3)

本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、製造装置の稼動状態の測定が可能で、製品不良の発生した工程の発見や、不良原因となった装置不具合の追求が容易かつ、イーサネット（登録商標）の使用が可能で安価な製造ラインの品質管理システムおよび製造ラインの品質管理方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above-described circumstances, and can measure the operating state of a manufacturing apparatus, facilitate the discovery of a process in which a product failure has occurred, and the pursuit of a device failure that has caused the failure. An object of the present invention is to provide an inexpensive production line quality control system and a production line quality control method that can use (registered trademark).

上記目的を達成するため、本発明の１つの態様によれば、複数の製造装置と、この製造装置の稼動状態を測定するためにこれに設けられたセンサと、このセンサに接続されその稼動状態データを取り込みデジタル化データに変換するプログラマブルロジックコントローラと、このプログラマブルロジックコントローラからのデジタル化データを受信し保存するデータ収集手段と、このデータ収集手段にイーサネット（登録商標）を介して接続され前記データ収集手段から送信され間引かれた所定の稼動状態データを受信するデータ収集用サーバを具備することを特徴とする製造ラインの品質管理システムが提供される。   In order to achieve the above object, according to one aspect of the present invention, a plurality of manufacturing apparatuses, a sensor provided to measure an operating state of the manufacturing apparatus, and an operating state connected to the sensor Programmable logic controller for capturing data and converting it into digitized data, data collecting means for receiving and storing digitized data from the programmable logic controller, and the data connected to the data collecting means via Ethernet (registered trademark) There is provided a quality control system for a production line, comprising a data collection server for receiving predetermined operating state data transmitted from the collection means and thinned out.

これにより、製造装置の稼動状態の測定が可能で、製品不良の発生した工程の発見や、不良原因となった装置不具合の追求が容易かつ、イーサネット（登録商標）の使用が可能で安価な製造ラインの品質管理システムが実現される。   This makes it possible to measure the operating state of manufacturing equipment, easily find the process where a product failure has occurred, and easily pursue the equipment failure that caused the failure, and can use Ethernet (registered trademark) at low cost. A line quality control system is realized.

好適な一例では、前記間引かれた所定の稼動状態データは、定期的に抜き取られた稼動状態の正常値データと全ての異常値データである。   In a preferred example, the predetermined operating state data that is thinned out is normal value data and all abnormal value data that are periodically extracted.

また、本発明の他の態様によれば、複数の製造装置の稼動状態を測定し、この測定されたデータをデジタル変換して保存し、この保存されたデータのうち定期的に抜き取られた稼動状態の正常値データと全ての異常値データをイーサネット（登録商標）を介してデータ収集用サーバに送信することを特徴とする製造ラインの品質管理方法が提供される。   According to another aspect of the present invention, the operating states of a plurality of manufacturing apparatuses are measured, the measured data is digitally converted and stored, and the operation periodically extracted from the stored data. A quality control method for a production line is provided, wherein normal value data of a state and all abnormal value data are transmitted to a data collection server via Ethernet (registered trademark).

本発明に係わる製造ラインの品質管理システムおよび製造ラインの品質管理方法によれば、製造装置の稼動状態の測定が可能で、製品不良の発生した工程の発見や、不良原因となった装置不具合の追求が容易かつ、イーサネット（登録商標）の使用が可能で安価な製造ラインの品質管理システムおよび製造ラインの品質管理方法を提供することができる。   According to the production line quality control system and the production line quality control method according to the present invention, it is possible to measure the operating state of the production apparatus, find the process in which the product defect occurred, and trouble of the apparatus that caused the defect. It is possible to provide an inexpensive manufacturing line quality control system and a manufacturing line quality control method that can be easily pursued and can use Ethernet (registered trademark).

以下、本発明に係る製造ラインの品質管理システムおよび製造ラインの品質管理方法の一実施形態について添付図面を参照して説明する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a production line quality control system and a production line quality control method according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図１は本発明に係る製造ラインの品質管理システムの概念図である。   FIG. 1 is a conceptual diagram of a production line quality control system according to the present invention.

図１に示すように、本発明に係る製造ラインの品質管理システム１は、複数の製造装置例えば無機材料製品研磨装置２と、この無機材料製品研磨装置２の稼動状態を測定するためにこれに各々設けられたセンサ３と、このセンサ３に各々接続され、その稼動状態データを取り込みデジタル化データに変換するプログラマブルロジックコントローラ（以下、ＰＬＣという。）４と、このＰＬＣ４から送信される稼動状態のデジタル化データを受信して保存するデータ収集手段５と、このデータ収集手段５から送信される間引かれた所定の稼動状態データを工場内Ｎｅｔｗｏｒｋであるイーサネット（登録商標）６を介して受信するデータ収集用サーバ７と、このデータ収集用サーバ７と製品情報と装置稼動状態データを受け渡しする製品情報管理用サーバ８を具備し、さらに、製品情報管理用サーバ８にはＷｅｂ配信用サーバ１０が接続され、さらに、Ｗｅｂ配信用サーバ１０には事務棟Ｎｅｔｗｏｒｋ９を介して管理端末クライアントＰＣ１１が接続されている。なお、製品情報管理用サーバは、データ収集用サーバの記憶容量を大きくし、データ収集用サーバに製品情報管理用サーバを兼ねさせることにより、必ずしも独立して設ける必要はない。   As shown in FIG. 1, a production line quality control system 1 according to the present invention includes a plurality of manufacturing apparatuses, for example, an inorganic material product polishing apparatus 2 and an operation state of the inorganic material product polishing apparatus 2 for measuring the operating state. Each of the sensors 3 provided, a programmable logic controller (hereinafter referred to as PLC) 4 connected to the sensors 3 and taking the operation state data into digitalized data, and the operation state transmitted from the PLC 4 Data collection means 5 for receiving and storing digitized data, and predetermined operating state data sent from the data collection means 5 are received via Ethernet (registered trademark) 6 which is a network in the factory. Data collection server 7 and product information management unit for transferring product information and apparatus operating state data to / from this data collection server 7 And the product information management server 8 is connected to a Web distribution server 10, and the Web distribution server 10 is connected to a management terminal client PC 11 via an office building Network 9. . The product information management server is not necessarily provided independently by increasing the storage capacity of the data collection server and causing the data collection server to also serve as the product information management server.

センサ３は複数の無機材料製品研磨装置２の被測定部に取り付けられており、アナログ出力用のケーブルを有するものが使用される。   The sensor 3 is attached to the part to be measured of the plurality of inorganic material product polishing apparatuses 2, and a sensor having an analog output cable is used.

ＰＬＣ４はＡ／Ｄ変換回路、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどを備え、センサ３からの各測定値をアナログ（電流値や電圧）でデータを取り込み、変換処理し、保存し、デジタル化データをデータ収集手段５に送信する。   PLC4 is equipped with A / D conversion circuit, CPU, ROM, RAM, etc., and each measured value from sensor 3 is taken in analog (current value and voltage), converted, stored, and digitized data is collected. Transmit to means 5.

データ収集手段５は、データ保存用のハードディスクとＣＰＵなどを備え、Ｎｅｔｗｏｒｋ接続が可能なものが使用され、データ収集手段５からのデジタル化データを受信する。この構成により、データの測定・収集が可能となり、測定値を上位のサーバ例えばデータ収集用サーバ７に送り、データの管理を行う。なお、データ収集用機器５内には、装置稼動状態の管理値を設定し、管理値から外れた場合は、警報を出すようにするのが好ましい。   The data collecting means 5 includes a hard disk for storing data, a CPU, and the like, and is capable of network connection, and receives digitized data from the data collecting means 5. With this configuration, data can be measured and collected, and the measured values are sent to an upper server, for example, the data collection server 7 to manage the data. In addition, it is preferable to set a management value of the apparatus operating state in the data collection device 5 and to issue an alarm when it falls outside the management value.

イーサネット（登録商標）６は、伝送速度１０Ｍｂｉｔ／ｓの同軸ケーブルに端末を接続して任意の端末間でデータ転送を行うバス型ネットワークのＬＡＮで、低価格で技術的に成熟し普及している。   Ethernet (registered trademark) 6 is a bus-type network LAN in which a terminal is connected to a coaxial cable having a transmission speed of 10 Mbit / s to transfer data between arbitrary terminals, and is technically mature and popular at a low price. .

データ収集手段５から上位サーバであるデータ収集用サーバ７へのデータの送信は、イーサネット（登録商標）６を介して行われる。この送信の際、測定した全データを送ると膨大なデータ量を送信することとなり、イーサネット（登録商標）６に過大な負荷が生じる可能性があり、通常は全データを送信することなく、代表値として、間引かれた所定の稼動状態データを送信する。この間引かれた所定の稼動状態データとは、定期的に抜き取られた稼動状態の正常値データと全ての異常値データである。   Data is transmitted from the data collection means 5 to the data collection server 7 which is a host server via the Ethernet (registered trademark) 6. In this transmission, if all the measured data is transmitted, a huge amount of data is transmitted, which may cause an excessive load on the Ethernet (registered trademark) 6. Usually, representative data is not transmitted without transmitting all data. As the value, the thinned predetermined operating state data is transmitted. The predetermined operating state data that has been thinned out includes normal value data and all abnormal value data that are periodically extracted.

例えば、図２に示すように、常時一定の時間間隔ｔ１でデータ収集手段５に送信された稼動状態データは、このデータ値が管理限界上限値と下限値の間にあり正常状態であるときには、その送信（図２中◆印）の時間間隔ｔ２（測定値Ａと測定値Ｄの時間間隔）は、ｔ２＝ｎｔ１となり、正常状態でのデータ送信量は１／ｎとなり、測定点Ｆで異常値（×印）が検出された場合には、測定値Ｄの測定からｔ２秒を経過していなくとも、異常値のデータはデータ収集手段５からイーサネット（登録商標）６を介してデータ収集用サーバ７に送信される。 For example, as shown in FIG. 2, the operating state data transmitted to the data collecting means 5 at a constant time interval t 1 is always in a normal state when this data value is between the control limit upper limit value and the lower limit value. , The time interval t 2 (time interval between the measurement value A and the measurement value D) of the transmission (marked with ◆ in FIG. 2) is t 2 = nt 1 , and the data transmission amount in the normal state is 1 / n. When an abnormal value (x mark) is detected at the point F, even if t 2 seconds have not elapsed since the measurement of the measured value D, the abnormal value data is transferred from the data collecting means 5 to the Ethernet (registered trademark) 6. To the data collection server 7.

具体的には、図３に示すように、装置稼動状態データとして、無機材料製品研磨装置は砥石の回転数、研削液流量、研削液圧力、モータ負荷電流が、１０秒毎に測定される。   Specifically, as shown in FIG. 3, as the apparatus operating state data, the inorganic material product polishing apparatus measures the rotation speed of the grindstone, the grinding fluid flow rate, the grinding fluid pressure, and the motor load current every 10 seconds.

図３の数値はこれらの測定値である。   The numerical values in FIG. 3 are these measured values.

図４（ａ）〜（ｄ）は上記測定値を、管理限界上限値、下限値を記載した図にプロットしたものであり、図４（ａ）を例にとり説明すれば、砥石回転数の測定値が管理限界上限値と下限値間の正常値にある場合には、１０秒毎に測定されたデータのうち、測定値Ａ、この測定から例えばｎ＝３の３０秒経過した時点の測定値Ｄが、両測定値Ａ、Ｄ間の測定値（１０秒および２０秒経過時の測定値Ｂ、Ｃ）を間引いて、データ収集手段５からイーサネット（登録商標）６を介してデータ収集用サーバ７に送信される。また、異常値Ｆが検出された場合には、測定値Ｄの測定から３０秒を経過していない２０秒経過後であっても、異常値Ｃのデータはデータ収集手段５からイーサネット（登録商標）６を介してデータ収集用サーバ７に送信される。このように、この稼動状態データは、例えば定期的に抜き取られた稼動状態の正常値データと全ての異常値データであり、このような間引きされた稼動状態データのみがデータ収集用サーバ７に送信される。これにより、イーサネット（登録商標）６に生じる負荷を軽減することができるとともに全ての異常値データの収集が可能になる。図４（ｂ）〜（ｄ）に示す場合も図４（ａ）と同様である。   4 (a) to 4 (d) are plots of the above measured values in a diagram describing the control limit upper limit value and the lower limit value. FIG. 4 (a) will be described as an example. When the value is a normal value between the upper limit value and the lower limit value of the control limit, among the data measured every 10 seconds, the measured value A, for example, the measured value at the time when 30 seconds elapse from this measurement, for example, n = 3 D thins out the measured values between the measured values A and D (measured values B and C when 10 seconds and 20 seconds have passed), and the data collection server 5 sends the data via the Ethernet (registered trademark) 6 to the server for data collection. 7 is transmitted. Further, when the abnormal value F is detected, the data of the abnormal value C is transferred from the data collecting means 5 to the Ethernet (registered trademark) even after 20 seconds when 30 seconds have not elapsed since the measurement of the measured value D. ) Is transmitted to the data collection server 7 via 6. In this way, the operating state data is, for example, the normal value data of the operating state and all abnormal value data extracted periodically, and only the thinned operating state data is transmitted to the data collection server 7. Is done. As a result, the load generated on the Ethernet (registered trademark) 6 can be reduced, and all abnormal value data can be collected. The cases shown in FIGS. 4B to 4D are the same as those in FIG.

図４（ａ）〜（ｄ）のような測定値の場合には、砥石回転用モータ負荷電流の上昇、砥石回転数の減少、研削液流量および研削液圧力の低下が同時に発生しているため、研削液流量の低下によるワーク研削面の悪化が予想される。   In the case of the measured values as shown in FIGS. 4A to 4D, an increase in the wheel load motor load current, a decrease in the wheel rotation speed, and a decrease in the grinding fluid flow rate and the grinding fluid pressure occur simultaneously. The workpiece grinding surface is expected to deteriorate due to a decrease in the grinding fluid flow rate.

この稼動状態データは、例えば定期的に抜き取られた稼動状態の正常値データと全ての異常値データであり、この稼動状態データのみをデータ収集用サーバ７に送り、さらに、管理値から外れたデータが発生した場合は、このデータは全てデータ収集用サーバ７に送信される。これにより、イーサネット（登録商標）６に生じる負荷を軽減することが可能になる。   This operating state data is, for example, the normal value data and all abnormal value data of the operating state that are periodically extracted. Only the operating state data is sent to the data collection server 7, and further, the data deviating from the management value. When this occurs, all of this data is transmitted to the data collection server 7. Thereby, it is possible to reduce the load generated in the Ethernet (registered trademark) 6.

製品情報管理用サーバ８に送られた異常値データ（管理範囲外データ）を詳細に調査する場合は、各無機材料製品研磨装置２に取り付けられているデータ収集手段５内に保存されているデータを読み込み、必要に応じ、解析することが可能である。   When investigating abnormal value data (out-of-control data) sent to the product information management server 8 in detail, data stored in the data collection means 5 attached to each inorganic material product polishing apparatus 2 Can be read and analyzed if necessary.

無機材料製品品質と関連が大きい項目に対し測定を行うことで、無機材料製品品質と装置不具合の相関性を追求することが可能となり、製品状態と装置稼動状態の測定結果の結びつけを時間による管理で行っている。   By measuring items that are highly related to inorganic material product quality, it is possible to pursue the correlation between inorganic material product quality and equipment malfunction, and manage the connection between the product status and equipment operating status measurement results over time. Is going on.

また、データ収集用サーバ７と製品情報管理用サーバ８を接続することで、製品情報と装置稼動状態データの受け渡しが可能となり、両者の相関性を解析することが可能になる。これにより、不良の発生に直接関与した無機材料製品研磨装置２およびその部位を明確にし、不良が発生した無機材料製品研磨装置２に対し、迅速に対策を講じることが可能になる。   Further, by connecting the data collection server 7 and the product information management server 8, it is possible to exchange product information and apparatus operating state data, and to analyze the correlation between the two. As a result, it is possible to clarify the inorganic material product polishing apparatus 2 directly related to the occurrence of the defect and the portion thereof, and to quickly take measures against the inorganic material product polishing apparatus 2 in which the defect has occurred.

さらに、データ収集手段５に保存されたデータを読み込み、このデータを解析に使用することで、製品品質と無機材料製品研磨装置２の関係を詳細にすることが可能となり、データ量がハードディスク容量を超える場合は、古いデータに上書きしていく。   Furthermore, by reading the data stored in the data collection means 5 and using this data for analysis, it becomes possible to make detailed the relationship between product quality and the inorganic material product polishing apparatus 2, and the amount of data can reduce the hard disk capacity. If it exceeds, overwrite the old data.

Ｗｅｂ配信用サーバ１０を設置することで、同じＮｅｔＷｏｒｋ内なら管理端末クライアントＰＣ１１など任意の場所で、データを閲覧することが可能となる。   By installing the Web distribution server 10, data can be browsed at an arbitrary location such as the management terminal client PC 11 within the same network.

上記の他にも、製造ラインの品質管理システム自体のプログラムを製品情報管理用サーバ８で管理し、各無機材料製品研磨装置２に設けられたＰＬＣ４およびデータ収集手段５を統一することにより、プログラム変更の際は、無機材料製品研磨装置２毎に変更する必要がなく、製品情報管理用サーバ８のプログラム変更のみを行うだけで全ての無機材料製品研磨装置２のプログラムを変更することが可能である。   In addition to the above, the program of the production line quality control system itself is managed by the product information management server 8, and the PLC 4 and the data collection means 5 provided in each inorganic material product polishing apparatus 2 are unified to provide a program. When changing, it is not necessary to change every inorganic material product polishing apparatus 2, and it is possible to change the program of all inorganic material product polishing apparatuses 2 only by changing the program of the product information management server 8. is there.

上記のように本実施形態の製造ラインの品質管理システムを用いた製造ラインの品質管理方法によれば、無機材料製品製造装置の稼動状態を測定し、データベース化することで、製品品質と装置の相関を究明することが可能となり、また、各装置に取り付けたセンサからのアナログ値をＰＬＣに送信し、そのデータをデータ収集用機器に一時的に保存し、さらに、必要なデータ(異常値データなど)は、イーサネット（登録商標）６を介し製品情報管理用サーバ８側に取り込み、製品情報管理用サーバ８では製品データも取り込む形態となっており、製品データと装置稼動状態データと比較することで、製品不良の発生源となった装置を特定することが可能となる。また、間引かれた所定の稼動状態データを送信することで、イーサネット（登録商標）に生じる負荷を軽減することが可能になる。   As described above, according to the production line quality control method using the production line quality control system of the present embodiment, the operation state of the inorganic material product production apparatus is measured and databased, so that the product quality and the apparatus Correlation can be investigated, and analog values from sensors attached to each device are sent to the PLC, and the data is temporarily stored in the data collection device. Etc.) is imported to the product information management server 8 side via the Ethernet (registered trademark) 6 and the product information management server 8 also takes in the product data. Compare the product data with the device operating state data. Thus, it is possible to identify the device that is the source of product defects. Moreover, it is possible to reduce the load generated in the Ethernet (registered trademark) by transmitting the predetermined operating state data that has been thinned out.

本発明に係る製造ラインの品質管理システムの概念図。The conceptual diagram of the quality control system of the manufacturing line which concerns on this invention. 本発明に係る製造ラインの品質管理システムのデータ送信状態を示す概念図。The conceptual diagram which shows the data transmission state of the quality control system of the manufacturing line which concerns on this invention. 本発明に係る製造ラインの品質管理システムの装置稼動状態データを示す図。The figure which shows the apparatus operating state data of the quality control system of the manufacturing line which concerns on this invention. 図３に示す装置稼動状態データをプロットした図であり、（ａ）は時間―砥石回転数、（ｂ）は時間―研削液流量、（ｃ）は時間―研削液圧力、（ｄ）時間―モータ負荷電流の関係を示す。It is the figure which plotted the apparatus operation state data shown in FIG. 3, (a) is time-grinding wheel rotation speed, (b) is time-grinding fluid flow rate, (c) is time-grinding fluid pressure, (d) time- The relationship of motor load current is shown.

符号の説明Explanation of symbols

１ 製造ラインの品質管理システム
２ 無機材料製品研磨装置
３ センサ
４ プログラマブルロジックコントローラ
５ データ収集手段
６ イーサネット（登録商標）
７ データ収集用サーバ
８ 製品情報管理用サーバ
９ 事務棟Ｎｅｔｗｏｒｋ
１０ Ｗｅｂ配信用サーバ
１１ 管理端末クライアントＰＣ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Production line quality control system 2 Inorganic material product polishing apparatus 3 Sensor 4 Programmable logic controller 5 Data collection means 6 Ethernet (registered trademark)
7 Data collection server 8 Product information management server 9 Office building Network
10 Web distribution server 11 Management terminal client PC

Claims (3)

複数の製造装置と、この製造装置の稼動状態を測定するためにこれに設けられたセンサと、このセンサに接続されその稼動状態データを取り込みデジタル化データに変換するプログラマブルロジックコントローラと、このプログラマブルロジックコントローラからのデジタル化データを受信し保存するデータ収集手段と、このデータ収集手段にイーサネット（登録商標）を介して接続され前記データ収集手段から送信され間引かれた所定の稼動状態データを受信するデータ収集用サーバを具備することを特徴とする製造ラインの品質管理システム。 A plurality of manufacturing apparatuses, a sensor provided to measure the operating state of the manufacturing apparatus, a programmable logic controller connected to the sensor and taking the operating state data and converting it into digitized data, and the programmable logic Data collecting means for receiving and storing digitized data from the controller, and predetermined operating state data transmitted from the data collecting means connected to the data collecting means via Ethernet (registered trademark) and thinned out. A production line quality control system comprising a data collection server. 前記間引かれた所定の稼動状態データは、定期的に抜き取られた稼動状態の正常値データと全ての異常値データであることを特徴とする請求項１に記載の製造ラインの品質管理システム。 2. The production line quality management system according to claim 1, wherein the predetermined operating state data that has been thinned out includes normal value data and all abnormal value data that are periodically extracted. 複数の製造装置の稼動状態を測定し、この測定されたデータをデジタル変換して保存し、この保存されたデータのうち定期的に抜き取られた稼動状態の正常値データと全ての異常値データをイーサネット（登録商標）を介してデータ収集用サーバに送信することを特徴とする製造ラインの品質管理方法。 Measure the operating status of multiple manufacturing devices, digitally convert the measured data and save it, and periodically extract normal value data and all abnormal value data from the stored data. A quality control method for a production line, which is transmitted to a data collection server via Ethernet (registered trademark).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102945024A (en) * 2012-10-12 2013-02-27 中国航空工业空气动力研究院 Acquisition system and acquisition method for wind tunnel continuous variable-angle movement force measurement data
CN103399551A (en) * 2013-08-09 2013-11-20 广东海洋大学 Automatic control system and method for light intensity of plastic-covered greenhouse aquaculture pond
CN104765345A (en) * 2015-03-24 2015-07-08 厦门理工学院 Full-automatic noodle assembly line station piece counting system and method

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