JP2005331961A - Liquid crystal display, manufacturing method of liquid crystal display, and electronic device - Google Patents

Liquid crystal display, manufacturing method of liquid crystal display, and electronic device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter substrate wherein tapers having a plurality of angles are provided in the same layer and enhancement of contrast, color reproducibility and patterning properties can be attained, to provide its manufacturing method, and to provide an electrooptical device and an electronic device using the color filter substrate. <P>SOLUTION: In the substrate for the electrooptical device having a substrate and a first resin layer provided on the substrate, the tapers of the first resin layer are formed so as to have the plurality of different angles. In the case of a transflective liquid crystal display of a multi-gap type, the gradient of the taper of an overcoat film formed on a color filter is made large in a display pixel region to enhance contrast and is made small in an electrode wiring drawn-around part to prevent wiring disconnection and the like. In the case of the substrate for the liquid crystal display having alignment controlling protrusions, shapes of the alignment controlling protrusions formed in every color pixel region of red, green and blue are optimized to enhance characteristics of display colors. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶表示装置およびその製造方法に関する。また本発明は、前記液晶表示装置を備える電子機器に関する。   The present invention relates to a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same. The present invention also relates to an electronic apparatus including the liquid crystal display device.

近年、携帯電話、携帯型パーソナルコンピュータなどの電子機器に液晶表示装置が搭載されており、特に、透過表示モード及び反射表示モードの双方で画像を表示可能とした半透過反射型液晶表示装置は、広く使用されている。   In recent years, liquid crystal display devices are mounted on electronic devices such as mobile phones and portable personal computers, and in particular, transflective liquid crystal display devices that can display images in both transmissive display mode and reflective display mode are Widely used.

上記半透過反射型液晶表示装置は、第1の透明電極が形成された第1の基板と、第1の基板と対向する側に、第2の透明電極が形成された第2の基板により、TN(ツイストネマティック)モードの液晶層を挟持して、主に構成されている。第1の基板には、第1の透明電極と第2の透明電極とが対向する画素領域内に、反射表示領域を構成する光反射膜が形成され、上記光反射膜に設けられた開口に相当する領域が透過表示領域となっている。第1の基板及び第2の基板の各々の外側には、偏光板や位相差板などが配置されている。また、光反射膜が形成されている第1の基板側には、偏光板のさらに外側に透過表示用のバックライトユニットが配置されている。   The transflective liquid crystal display device includes: a first substrate on which a first transparent electrode is formed; and a second substrate on which a second transparent electrode is formed on a side facing the first substrate, It is mainly composed of a TN (twisted nematic) mode liquid crystal layer. On the first substrate, a light reflecting film constituting a reflective display area is formed in a pixel area where the first transparent electrode and the second transparent electrode are opposed to each other, and an opening provided in the light reflecting film is formed. The corresponding area is a transmissive display area. A polarizing plate, a phase difference plate, and the like are disposed outside each of the first substrate and the second substrate. Further, a backlight unit for transmissive display is disposed on the outer side of the polarizing plate on the first substrate side where the light reflecting film is formed.

上記半透過反射型液晶表示装置では、バックライトユニットから出射された光のうち、透過表示領域に入射した光は、第1の基板側から液晶層に入射し、液晶層で光変調された後、第2の基板側から透過表示光として出射されて画像を表示する(透過表示モード)。   In the transflective liquid crystal display device, light incident on the transmissive display area out of light emitted from the backlight unit is incident on the liquid crystal layer from the first substrate side and is modulated by the liquid crystal layer. The light is emitted as transmissive display light from the second substrate side to display an image (transmissive display mode).

また、第2の基板側から入射した外光のうち、反射表示領域に入射した光は、液晶層を通って光反射膜に至り、光反射膜で反射されて再び液晶層を通って第2の基板側から反射表示光として出射されて画像を表示する(反射表示モード)。   Of the external light incident from the second substrate side, the light incident on the reflective display region passes through the liquid crystal layer, reaches the light reflecting film, is reflected by the light reflecting film, and passes again through the liquid crystal layer to the second. An image is displayed by being emitted as reflected display light from the substrate side (reflective display mode).

ここで、第1の基板上には、反射表示領域と透過表示領域の各々に反射表示用カラーフィルタ及び透過表示用カラーフィルタが形成されているので、透過表示モード及び反射表示モードのいずれにおいてもカラー表示が可能なのである。   Here, since the reflective display color filter and the transmissive display color filter are formed on each of the reflective display region and the transmissive display region on the first substrate, both in the transmissive display mode and the reflective display mode. Color display is possible.

上述したように、液晶層によって光変調が行われる場合、偏光状態の変化が屈折率差Δnと液晶の層厚dの積(リタデーション:Δn・d)の関数に基づくため、この値を適正化しておけば、視認性の良い表示を行うことができる。しかしながら、半透過反射型液晶表示装置において、透過表示光は液晶層を一度だけ通過して出射されることに対して、反射表示光は液晶層を二度通過することになる。そのため、透過表示光及び反射表示光の双方において、同時にリタデーションの最適化を図ることは困難である。つまり、反射表示モードにおいて、液晶表示装置の視認性が向上するように、液晶の層厚dを設定すると、透過表示モードでの表示が犠牲となる。逆に、透過表示モードにおいて、視認性が向上するように、液晶の層厚dを設定すると、反射表示モードでの表示が犠牲となってしまう。   As described above, when light modulation is performed by the liquid crystal layer, the change in the polarization state is based on a function of the product of the refractive index difference Δn and the liquid crystal layer thickness d (retardation: Δn · d). If so, a display with good visibility can be performed. However, in the transflective liquid crystal display device, the transmissive display light passes through the liquid crystal layer and is emitted only once, whereas the reflective display light passes through the liquid crystal layer twice. For this reason, it is difficult to optimize retardation for both transmissive display light and reflective display light at the same time. That is, if the layer thickness d of the liquid crystal is set so that the visibility of the liquid crystal display device is improved in the reflective display mode, the display in the transmissive display mode is sacrificed. Conversely, if the layer thickness d of the liquid crystal is set so that the visibility is improved in the transmissive display mode, the display in the reflective display mode is sacrificed.

上記問題点を鑑みて、反射表示領域における液晶の層厚を透過表示領域における層厚よりも小さくした構造の半透過反射型液晶表示装置が開示されている。このような液晶表示装置は、マルチギャップタイプと呼ばれている。   In view of the above problems, a transflective liquid crystal display device having a structure in which the liquid crystal layer thickness in the reflective display region is smaller than the layer thickness in the transmissive display region is disclosed. Such a liquid crystal display device is called a multi-gap type.

マルチギャップタイプの半透過反射型液晶表示装置は、上記反射表示領域、より具体的には、液晶の層厚dを調整するため、反射表示用カラーフィルタ上にオーバーコート層を形成することにより実現できる。このとき、透過表示用カラーフィルタ上には、オーバーコート層を形成しない。要するに、透過表示領域では、反射表示領域と比較して、オーバーコート層が配置されていない分だけ、液晶の層厚dが大きくなるので、透過表示光及び反射表示光の双方に対して、リタデーションを最適化することができ、透過表示モードと反射表示モードの双方において、視認性の良い画像表示が可能となる(例えば、特許文献1参照)。   The multi-gap type transflective liquid crystal display device is realized by forming an overcoat layer on the reflective display color filter in order to adjust the reflective display region, more specifically, the liquid crystal layer thickness d. it can. At this time, no overcoat layer is formed on the color filter for transmissive display. In short, in the transmissive display area, the layer thickness d of the liquid crystal is increased by the amount that the overcoat layer is not disposed as compared with the reflective display area, so that both the transmissive display light and the reflective display light are retarded. Therefore, it is possible to display an image with high visibility in both the transmissive display mode and the reflective display mode (see, for example, Patent Document 1).

特開平11−242226号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-242226

上記マルチギャップタイプの半透過反射型液晶表示装置では、基板上にオーバーコート膜を形成することによって、反射表示領域と透過表示領域とにおける液晶の層厚dを最適化している。   In the multi-gap type transflective liquid crystal display device, the liquid crystal layer thickness d in the reflective display region and the transmissive display region is optimized by forming an overcoat film on the substrate.

しかし、上述したようにマルチギャップタイプの半透過反射型液晶表示装置は、透過表示領域と反射表示領域における液晶の層厚dの調節のために、画素電極(透明電極)の下層部分にオーバーコート膜が形成されている。つまり、反射表示領域には、反射表示用カラーフィルタ上に、オーバーコート層が形成されているため、上記オーバーコート層上に、画素電極(透明電極)が形成されることになる。そして、透過表示領域には、オーバーコート層が形成されていないため、透過表示用カラーフィルタ上の画素電極(透明電極)は、オーバーコート膜を介さずに形成されることになる。また、透過表示領域にオーバーコート膜が形成されている場合でも、反射表示領域の膜厚と比較すると、かなり薄い膜厚のオーバーコート膜が形成されることになる。そして、オーバーコート層の厚さの変化のために、表示領域におけるオーバーコート膜にテーパーが形成されることとなる。   However, as described above, the multi-gap type transflective liquid crystal display device overcoats the lower layer portion of the pixel electrode (transparent electrode) in order to adjust the layer thickness d of the liquid crystal in the transmissive display area and the reflective display area. A film is formed. That is, since the overcoat layer is formed on the reflective display color filter in the reflective display region, the pixel electrode (transparent electrode) is formed on the overcoat layer. Since no overcoat layer is formed in the transmissive display region, the pixel electrode (transparent electrode) on the transmissive display color filter is formed without an overcoat film. Even when the overcoat film is formed in the transmissive display region, the overcoat film having a considerably smaller thickness than the reflective display region is formed. Then, due to the change in the thickness of the overcoat layer, a taper is formed on the overcoat film in the display region.

一般的に、マルチギャップタイプの半透過反射型液晶表示装置の表示領域におけるオーバーコート膜のテーパーは、コントラストの向上を図るために、反射表示領域上にあるオーバーコート膜の表面からの勾配が大きいテーパーが求められる。これは、オーバーコート膜のテーパー部分、つまり斜面表面に位置する液晶の層厚dが、液晶表示装置のコントラストに大きく影響するためである。   Generally, the taper of the overcoat film in the display region of the multi-gap type transflective liquid crystal display device has a large gradient from the surface of the overcoat film on the reflective display region in order to improve contrast. Taper is required. This is because the layer thickness d of the liquid crystal located on the taper portion of the overcoat film, that is, the inclined surface, greatly affects the contrast of the liquid crystal display device.

上述したように、マルチギャップタイプの半透過反射型液晶表示装置の光学設計は、リタデーションの最適値を検討することによって行われる。つまり、液晶の層厚dは、リタデーションの値に大きく関係するため、反射型表示領域および透過型表示領域において、それぞれの最適値を求め、パネル設計が行われている。したがって、オーバーコート膜のテーパーを勾配が大きいテーパーにし、液晶の層厚dに関する最適値からのずれが、極力少なくなるように、オーバーコート膜のパターニングを実施する必要がある。   As described above, the optical design of the multi-gap type transflective liquid crystal display device is performed by examining the optimum retardation value. That is, since the layer thickness d of the liquid crystal is greatly related to the retardation value, the respective optimum values are obtained in the reflective display area and the transmissive display area, and the panel design is performed. Therefore, it is necessary to pattern the overcoat film so that the taper of the overcoat film has a large gradient and the deviation from the optimum value regarding the layer thickness d of the liquid crystal is minimized.

しかし、液晶表示装置は、一般的に、オーバーコート膜の上部に透明電極が配置されていることが多い。上記透明電極は、反射表示領域および透過表示領域の双方の上部に形成され、隣接している他のドット領域にわたり連続して形成されている。つまり、上記透明電極は、液晶分子を駆動するための電極配線となる。   However, in general, a liquid crystal display device often has a transparent electrode disposed on an overcoat film. The transparent electrode is formed on both the reflective display area and the transmissive display area, and is continuously formed over other adjacent dot areas. That is, the transparent electrode serves as an electrode wiring for driving liquid crystal molecules.

ここで、オーバーコート膜のテーパーの勾配が大きいものであるならば、透明電極をスパッタなどで成膜すると、テーパー表面の傾斜がきついために透明電極が成膜されにくくなり透明電極が上記勾配の大きいテーパー部分で断線してしまう可能性がある。これは、特に、表示領域外に形成されるオーバーコート膜のテーパー部の電極配線引き回し部分で問題となる。液晶表示装置用基板上には、表示画素部分に対応する上記透明電極と駆動ICなどを電気的に接続するために、基板の外周部分に電極配線の引き回し部分が形成されるが、この部分で断線不良が発生すると、1ライン分の走査線全体に、信号が伝わらず、表示不良となる。   Here, if the taper gradient of the overcoat film is large, forming the transparent electrode by sputtering or the like makes it difficult to form the transparent electrode because the taper surface is so inclined that the transparent electrode has the above gradient. There is a possibility of disconnection at a large taper portion. This becomes a problem particularly in the electrode wiring routing portion of the taper portion of the overcoat film formed outside the display region. On the substrate for the liquid crystal display device, in order to electrically connect the transparent electrode corresponding to the display pixel portion and the driving IC, an electrode wiring routing portion is formed on the outer peripheral portion of the substrate. When a disconnection failure occurs, a signal is not transmitted to the entire scanning line for one line, resulting in a display failure.

したがって、半透過反射型液晶表示装置において、上記オーバーコート膜は、コントラストおよびパターニング性の向上を目的とすると、少なくとも、勾配が大きいテーパーおよびそれよりも勾配が小さいテーパーを含んだ2種類以上のテーパーを有することが好ましい。   Therefore, in the transflective liquid crystal display device, the overcoat film has at least two types of taper including a taper having a large gradient and a taper having a smaller gradient for the purpose of improving contrast and patternability. It is preferable to have.

本発明は、以上の点を鑑みてなされたものであり、同一層内において複数の角度を有するテーパーを設け、コントラストなどの表示品質の向上およびパターニング性の改善を図ることのできるカラーフィルタ基板およびその製造方法、ならびに上記カラーフィルタ基板を用いた電気光学装置ならびに電子機器を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and is provided with a taper having a plurality of angles in the same layer, and a color filter substrate capable of improving display quality such as contrast and improving patternability, and An object of the present invention is to provide a manufacturing method thereof, and an electro-optical device and an electronic apparatus using the color filter substrate.

本発明の1つの観点では、一対の基板と、前記一対の基板間にシール材を介して挟持される電気光学物質と、前記一対の基板の少なくとも一方の基板上に設けられた樹脂層とを備える電気光学装置において、上記樹脂層のテーパーが、複数の異なる角度を有する。上記樹脂層は、例えば、マルチギャップ方式による半透過反射型液晶表示装置に用いられる基板上のセルギャップ(基板間隙間)調整用オーバーコート膜とすることができる。また、複数配向分割型垂直配向モード液晶表示装置の液晶分子を配向させる配向制御突起とすることもできる。上記オーバーコート膜が複数の異なる角度を有することにより、電極配線切れの低減やコントラストの向上を図ることができる。また、上記配向制御突起が複数の異なる角度を有することにより、液晶表示装置の色特性を向上することができる。   In one aspect of the present invention, a pair of substrates, an electro-optical material sandwiched between the pair of substrates via a sealant, and a resin layer provided on at least one of the pair of substrates In the electro-optical device provided, the taper of the resin layer has a plurality of different angles. The resin layer can be, for example, an overcoat film for adjusting a cell gap (inter-substrate gap) on a substrate used in a multi-gap transflective liquid crystal display device. Moreover, it can also be set as the alignment control protrusion which aligns the liquid crystal molecule of a multiple alignment division type | mold vertical alignment mode liquid crystal display device. When the overcoat film has a plurality of different angles, it is possible to reduce electrode wiring breakage and improve contrast. In addition, since the alignment control protrusion has a plurality of different angles, the color characteristics of the liquid crystal display device can be improved.

上記電気光学装置によれば、上記樹脂層が、透明樹脂層であることが好ましい。上記樹脂層は、例えば、アクリル系の透明樹脂材料を用いることができる。   According to the electro-optical device, the resin layer is preferably a transparent resin layer. For example, an acrylic transparent resin material can be used for the resin layer.

上記電気光学装置の一態様では、前記樹脂層は、表示領域と、前記表示領域の周辺領域に形成され、前記テーパーは、前記表示領域と前記表示領域の周辺領域に形成され、表示領域に形成されたテーパーの勾配は、前記表示領域の周辺領域に形成されたテーパーの勾配より大きいことがよい。   In one aspect of the electro-optical device, the resin layer is formed in a display region and a peripheral region of the display region, and the taper is formed in the display region and a peripheral region of the display region. The taper gradient formed may be larger than the taper gradient formed in the peripheral region of the display region.

上記電気光学装置の他の一態様では、前記表示領域は、透過表示領域と反射表示領域を有し、前記表示領域に形成されたテーパーは、前記透過表示領域と前記反射表示領域の境界部分に形成されるとよい。   In another aspect of the electro-optical device, the display area includes a transmissive display area and a reflective display area, and a taper formed in the display area is formed at a boundary portion between the transmissive display area and the reflective display area. It may be formed.

また、前記表示領域の周辺領域のテーパーは、電極配線が形成される領域に形成されるとよい。これにより、前記電極配線の段切れを防止することができる。   The taper in the peripheral region of the display region may be formed in a region where the electrode wiring is formed. Thereby, disconnection of the electrode wiring can be prevented.

上記電気光学装置の他の一態様では、前記表示領域のテーパーは、少なくとも底辺と高さの比が4:1から2:1の間を有する第1の角度であり、前記表示領域の周辺領域のテーパーは、少なくとも底辺と高さの比が8:1から4:1の間を有する第2の角度であることが望ましい。上記樹脂層は、例えば、上記オーバーコート膜とすることができる。そして、上記第1の角度は、勾配が大きいテーパーであり、上記第2の角度は、勾配が小さいテーパーとすることができる。上記勾配が大きいテーパーは、例えば、マルチギャップ方式による半透過反射型液晶表示装置の表示領域内に設けることによって、リタデーションの最適化を図ることができるため、コントラストの向上につながる。また、勾配が小さいテーパーは、例えば、マルチギャップ方式による半透過反射型液晶表示装置の電極配線引き回し領域内に設けることによって、電極配線切れを防止することができる。   In another aspect of the electro-optical device, the taper of the display region is at least a first angle having a base to height ratio of between 4: 1 and 2: 1, and the peripheral region of the display region The taper is preferably a second angle having a base to height ratio of at least between 8: 1 and 4: 1. The resin layer can be, for example, the overcoat film. The first angle may be a taper having a large gradient, and the second angle may be a taper having a small gradient. The taper having a large gradient can be optimized, for example, by providing it in the display region of a transflective liquid crystal display device using a multi-gap method, which leads to an improvement in contrast. In addition, the taper having a small gradient can be prevented from being broken by providing the electrode wiring in a multi-gap transflective liquid crystal display device in the electrode wiring routing region.

上記電気光学装置の他の一態様では、表示領域に赤カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、青カラーフィルタが形成され、前記各々のカラーフィルタ上に前記樹脂層でなる配向制御突起を備えるとよい。これにより、カラーフィルタの色ごとに、上記配向制御突起のテーパーを最適化することができる。要するに、液晶分子の初期チルト角を、カラーフィルタの色ごとに最適化することができる。したがって、本発明は、カラーフィルタの調整のみでは改善できなかった液晶表示装置の色特性を改善することができる。   In another aspect of the electro-optical device, a red color filter, a green color filter, and a blue color filter may be formed in a display region, and an alignment control protrusion formed of the resin layer may be provided on each color filter. Thereby, the taper of the orientation control protrusion can be optimized for each color of the color filter. In short, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules can be optimized for each color of the color filter. Therefore, the present invention can improve the color characteristics of the liquid crystal display device that could not be improved only by adjusting the color filter.

そして、前記赤カラーフィルタ上にある樹脂層のテーパーの勾配は、他のカラーフィルタ上にある樹脂層のテーパーの勾配よりも大きいのが好ましい。さらに、前記緑カラーフィルタ上にある樹脂層のテーパーの勾配は、青カラーフィルタ上にある樹脂層のテーパーの勾配よりも大きいのが好ましい。   The taper gradient of the resin layer on the red color filter is preferably larger than the taper gradient of the resin layers on the other color filters. Further, the taper gradient of the resin layer on the green color filter is preferably larger than the taper gradient of the resin layer on the blue color filter.

また、前記表示領域の周辺領域に電極配線を形成するテーパーを持つ下地層が形成され、前記下地層のテーパーは、少なくとも前記赤カラーフィルタ上の樹脂層のテーパーより小さいのが好ましい。   Preferably, a base layer having a taper for forming electrode wiring is formed in a peripheral region of the display region, and the taper of the base layer is preferably at least smaller than the taper of the resin layer on the red color filter.

本発明の他の観点では、電気光学装置用基板において、基板と、前記基板上に設けられた樹脂層とを備える電気光学装置用基板において、前記樹脂層のテーパーが、複数の異なる角度を有することが好ましい。   In another aspect of the invention, in the electro-optical device substrate, the electro-optical device substrate including a substrate and a resin layer provided on the substrate, the taper of the resin layer has a plurality of different angles. It is preferable.

上記電気光学装置の一態様では、上記電気光学装置用基板は、上記電気光学物質の配向を制御する配向制御突起を有することができる。そして、電気光学装置は、例えば、複数配向分散型垂直配向モード液晶表示装置とすることができる。   In one aspect of the electro-optical device, the electro-optical device substrate may include an alignment control protrusion that controls the alignment of the electro-optical material. The electro-optical device can be, for example, a multi-alignment dispersion type vertical alignment mode liquid crystal display device.

本発明の他の観点では、電子機器において、上記電気光学装置を備えることができる。   In another aspect of the invention, an electronic apparatus can include the electro-optical device.

本発明の他の観点では、電気光学装置用基板の製造方法において、基板上に、樹脂層を、当該樹脂層のテーパーが複数の異なる角度を有するように形成する樹脂層形成工程を有することが好ましい。上記樹脂層形成工程により、例えば、マルチギャップ方式の半透過反射型液晶表示装置の基板に設けられるオーバーコート膜の形成や、複数配向分散型垂直配向モード液晶表示装置の配向制御突起の形成を実施することができる。   In another aspect of the present invention, the method for manufacturing a substrate for an electro-optical device may include a resin layer forming step of forming a resin layer on the substrate so that the taper of the resin layer has a plurality of different angles. preferable. Through the above resin layer formation process, for example, the formation of an overcoat film provided on the substrate of a multi-gap transflective liquid crystal display device or the formation of alignment control protrusions in a multi-alignment dispersion type vertical alignment mode liquid crystal display device can do.

上記電気光学装置用基板の製造方法によれば、上記樹脂形成工程は、全透過領域、複数の中間透過領域、遮光領域を有するフォトリソマスクを使用することが好ましい。上記フォトリソマスクを使用することにより、一度の露光処理にて、電気光学装置用基板に種々の露光量を照射することができるため、マルチギャップ方式の半透過反射型液晶表示装置の基板に設けられるオーバーコート膜の形成や、複数配向分散型垂直配向モード液晶表示装置の配向制御突起の形成を、効率良く実施することができる。   According to the method for manufacturing a substrate for an electro-optical device, the resin forming step preferably uses a photolithographic mask having a total transmission region, a plurality of intermediate transmission regions, and a light shielding region. By using the photolithography mask, it is possible to irradiate the electro-optical device substrate with various exposure amounts in a single exposure process, so that it is provided on the substrate of the multi-gap transflective liquid crystal display device. The formation of the overcoat film and the formation of the alignment control protrusion of the multi-alignment dispersion type vertical alignment mode liquid crystal display device can be performed efficiently.

上記電気光学装置用基板の製造方法の一態様では、上記樹脂層形成工程は、全透過領域及び遮光領域を有するフォトリソマスクを使用し、上記樹脂層を複数回にわたり露光してパターニングを実施することが好ましい。つまり、上記フォトリソマスクを用いて、各露光時におけるプロキシミテイ・ギャップおよび露光量の最適条件にて、複数回露光を実施することにより、マルチギャップ方式の半透過反射型液晶表示装置の基板に設けられるオーバーコート膜や、複数配向分散型垂直配向モード液晶表示装置の配向制御突起を形成することができる。また、同一フォトリソマスクにて、プロキシミテイ・ギャップおよび露光量の条件を、さらに検討することにより、各テーパーを変更することも可能であるため、低コスト化にもつながる。   In one aspect of the method for manufacturing a substrate for an electro-optical device, the resin layer forming step uses a photolithography mask having a total transmission region and a light shielding region, and performs patterning by exposing the resin layer a plurality of times. Is preferred. In other words, using the photolithographic mask, the exposure is performed a plurality of times under the optimum conditions of the proximity gap and the exposure amount at the time of each exposure, so that it is provided on the substrate of a multi-gap transflective liquid crystal display device. And an alignment control protrusion of a multi-alignment dispersion type vertical alignment mode liquid crystal display device can be formed. Further, it is possible to change each taper by further studying the proximity gap and exposure amount conditions with the same photolithography mask, leading to cost reduction.

上記電気光学装置用基板の製造方法の他の一態様では、上記樹脂層形成工程は、回折露光用のフォトリソマスクを使用し、上記樹脂層を回折露光してパターニングを実施することが好ましい。上記フォトリソマスクを使用することにより、一度の露光処理にて、電気光学装置用基板に種々の露光量を照射することができるため、マルチギャップ方式の半透過反射型液晶表示装置の基板に設けられるオーバーコート膜の形成や、複数配向分散型垂直配向モード液晶表示装置の配向制御突起の形成を、効率良く実施することができる。   In another aspect of the method for manufacturing the substrate for an electro-optical device, it is preferable that the resin layer forming step uses a photolithographic mask for diffraction exposure, and performs patterning by performing diffraction exposure on the resin layer. By using the photolithography mask, it is possible to irradiate the electro-optical device substrate with various exposure amounts in a single exposure process, so that it is provided on the substrate of the multi-gap transflective liquid crystal display device. The formation of the overcoat film and the formation of the alignment control protrusion of the multi-alignment dispersion type vertical alignment mode liquid crystal display device can be performed efficiently.

以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、下記の実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、本発明を限定するものでなく、本発明の範囲内で任意に変更可能である。本発明は、液晶表示装置に用いられる基板に形成されるオーバーコート膜などの層を形成するにあたり、その形状の端部のテーパーを単一ではなく、異なるテーパー角を有するように形成することを1つの特徴とする。   Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, the following embodiment shows one aspect of the present invention and does not limit the present invention, and can be arbitrarily changed within the scope of the present invention. According to the present invention, when forming a layer such as an overcoat film formed on a substrate used in a liquid crystal display device, the end of the shape is not formed with a single taper but with a different taper angle. One feature.

[ハーフトーンマスク]
まず、1つのオーバーコート膜などの膜内に異なるテーパーを形成する際に使用されるハーフトーンマスクについて説明しておく。
[Halftone mask]
First, a halftone mask used when different tapers are formed in a film such as one overcoat film will be described.

ハーフトーンマスクは、位相シフタ方式を利用している。位相シフタ方式について、下記に説明する。   The halftone mask uses a phase shifter method. The phase shifter method will be described below.

光は、物質を通過する際に、伝播速度が遅れ、その分だけ、位相が変わる。そこで、透明な薄膜をマスク上に設けると、局所的に位相を変えることができる。
上記透明膜は、位相を変換するという意味で位相シフタと呼ぶ。この方法は、転写すべきパターンが形成されているマスクに光の位相を変化させる部分(シフタ)を設け、シフタを通過して位相が変わった光とシフタを通過せずに位相の変わっていない光の干渉を利用するものであり、位相シフタ方式と呼ばれる。
When light passes through a substance, the propagation speed is delayed, and the phase changes accordingly. Therefore, when a transparent thin film is provided on the mask, the phase can be locally changed.
The transparent film is called a phase shifter in the sense that the phase is converted. In this method, a portion (shifter) that changes the phase of light is provided on a mask on which a pattern to be transferred is formed, and the phase is changed without passing through the shifter and the phase changed. It uses light interference and is called a phase shifter system.

上述したようにハーフトーンマスクは、上記位相シフタ方式を利用している。ハーフトーンマスクは、遮光部に相当する吸収体によって、一部光を通過させることを可能としている。この一部通過した光と、そのまま通過した光とは、位相が反転している。このため、位相反転による光強度の低下が起こり、従来とは、異なるフォトリソグラフィ工程を実施することができる。例えば、ネガ型レジストを使用して露光を実施する場合について説明する。ハーフトーンマスクでは、完全にフォトレジストを硬化させる露光量を照射させる領域(全透過領域)と、フォトレジストを不十分な硬化状態にさせる露光量を照射させる領域(中間透過領域)を、フォトレジストを硬化させない遮光領域とを、1枚のマスクで形成することができる。そして、上記ハーフトーンマスクは、露光を実施した後、現像処理を行うことにより、フォトレジストを所望の傾斜を有した構造に形成することができる。つまり、全透過領域では、フォトレジストの厚みは厚く、中間透過領域では、露光量に応じて薄くなり、遮光領域では、フォトレジストは、すべて剥離され、所望の傾斜構造が作製される。   As described above, the halftone mask uses the phase shifter method. The halftone mask allows a part of light to pass through an absorber corresponding to the light shielding portion. The phase of the partially transmitted light and the light that has passed as it is are reversed. For this reason, the light intensity is reduced due to phase inversion, and a photolithography process different from the conventional one can be performed. For example, a case where exposure is performed using a negative resist will be described. In a halftone mask, the photoresist is divided into a region that is irradiated with an exposure amount that completely cures the photoresist (total transmission region) and a region that is irradiated with an exposure amount that causes the photoresist to be in an insufficiently cured state (intermediate transmission region). The light shielding region that does not cure the film can be formed with a single mask. The halftone mask can be formed into a structure having a desired inclination by performing development after performing exposure. That is, in the total transmission region, the thickness of the photoresist is thick, and in the intermediate transmission region, the photoresist is thinned according to the exposure amount. In the light shielding region, the photoresist is completely peeled off, and a desired inclined structure is produced.

上記ハーフトーンマスクは、一回の露光処理にて、種々の露光量を基板に照射することができるマスクである。つまり、本発明は、上記ハーフトーンマスクを用いることにより、液晶表示装置を構成する基板上の同一層内に複数の異なる角度を作製することができるのである。   The halftone mask is a mask that can irradiate the substrate with various exposure amounts in one exposure process. In other words, in the present invention, by using the halftone mask, a plurality of different angles can be produced in the same layer on the substrate constituting the liquid crystal display device.

例えば、上記ハーフトーンマスクは、マルチギャップ構造を採用した半透過反射型液晶表示パネルにおいて、カラーフィルタ上のオーバーコート膜を良好に形成することができる。詳しくは、アクティブエリア(表示画素領域)におけるオーバーコート膜のテーパーは、勾配が大きいテーパーを有することにより、液晶表示装置のコントラストを向上することができる。また、表示領域の周辺領域にある電極配線引き回し部分におけるオーバーコート膜のテーパーは、勾配が小さいテーパーを有することにより、その上方に積層する電極配線などを良好に作製することができる。したがって、本発明は、表示品位の高い半透過反射型液晶表示パネルを作製することができる。なお、これについては、第1実施形態において詳しく説明する。   For example, the halftone mask can satisfactorily form an overcoat film on a color filter in a transflective liquid crystal display panel employing a multi-gap structure. Specifically, the taper of the overcoat film in the active area (display pixel region) has a taper with a large gradient, so that the contrast of the liquid crystal display device can be improved. Further, since the taper of the overcoat film in the electrode wiring routing portion in the peripheral region of the display region has a taper with a small gradient, it is possible to satisfactorily produce an electrode wiring or the like laminated thereon. Therefore, the present invention can produce a transflective liquid crystal display panel with high display quality. This will be described in detail in the first embodiment.

また、上記ハーフトーンマスクは、複数配向分割型垂直配向モード液晶表示パネルにおいて、赤・緑・青のカラーフィルタ上に設けられた配向制御突起のテーパーを調節することができる。垂直配向モードでは、上記配向制御突起のテーパーを調節することにより、液晶分子の初期チルト角を最適化することができる。   The halftone mask can adjust the taper of the alignment control protrusions provided on the red, green, and blue color filters in the multiple alignment division type vertical alignment mode liquid crystal display panel. In the vertical alignment mode, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules can be optimized by adjusting the taper of the alignment control protrusion.

つまり、液晶分子の初期チルト角(プレチルト角)を調節することにより、電圧―透過率曲線の急峻性を変更することができるため、カラーフィルタでは、不十分な色特性を改善することができる。詳しくは、液晶の持つ波長依存性のため、液晶層を通過する光の波長によって、光学特性が異なってしまう。つまり、カラーフィルタの色ごとに、電圧―透過率曲線が異なるのである。この電圧―透過率曲線のずれを、液晶分子の初期チルト角の最適化により、調節し、液晶表示装置の色再現性を改善することができるのである。なお、これについては、第2実施形態において詳しく説明する。   That is, by adjusting the initial tilt angle (pretilt angle) of the liquid crystal molecules, the steepness of the voltage-transmittance curve can be changed, so that the color filter can improve insufficient color characteristics. Specifically, due to the wavelength dependence of the liquid crystal, the optical characteristics vary depending on the wavelength of light passing through the liquid crystal layer. In other words, the voltage-transmittance curve is different for each color of the color filter. This deviation of the voltage-transmittance curve can be adjusted by optimizing the initial tilt angle of the liquid crystal molecules to improve the color reproducibility of the liquid crystal display device. This will be described in detail in the second embodiment.

[第1実施形態]
本実施形態は、マルチギャップ方式の半透過反射型液晶表示パネルに設けられたカラーフィルタ基板に関する。上記カラーフィルタ基板は、ガラスやプラスチックなどの基板の上にカラーフィルタを配置し、上記カラーフィルタの上方に保護膜としてのオーバーコート膜を配置し、上記オーバーコート膜の上方に、さらに透明電極を配置する構成をとっている。上記オーバーコート膜のテーパーは、複数の異なる角度を有し、上記角度は、勾配が大きいテーパーと勾配が小さいテーパーであることを特徴としている。
[First Embodiment]
The present embodiment relates to a color filter substrate provided in a multi-gap transflective liquid crystal display panel. In the color filter substrate, a color filter is disposed on a substrate such as glass or plastic, an overcoat film as a protective film is disposed above the color filter, and a transparent electrode is further disposed above the overcoat film. The arrangement is taken. The taper of the overcoat film has a plurality of different angles, and the angle is characterized by a taper having a large gradient and a taper having a small gradient.

[液晶表示パネル例1]
本実施形態のカラーフィルタ基板を有した液晶表示パネルの構成について図1、図2及び図3を用いて説明する。図1は、1ドット内の透過表示領域と反射表示領域の間で液晶の層厚を適正な値に換えたマルチギャップ方式の半透過反射型液晶表示パネルの断面図を示す。図2は、カラーフィルタ基板の平面図を示し、図3(a)はカラーフィルタ基板の一部の拡大図、図3(b)はカラーフィルタ基板の一部の斜視図、図3(c)はカラーフィルタ基板の一部の拡大断面図を示す。
[LCD panel example 1]
The configuration of the liquid crystal display panel having the color filter substrate of this embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a cross-sectional view of a multi-gap transflective liquid crystal display panel in which a liquid crystal layer thickness is changed to an appropriate value between a transmissive display area and a reflective display area within one dot. FIG. 2 is a plan view of the color filter substrate, FIG. 3A is an enlarged view of a part of the color filter substrate, FIG. 3B is a perspective view of a part of the color filter substrate, and FIG. Shows an enlarged sectional view of a part of the color filter substrate.

液晶表示パネル100Aは、ガラスやプラスチック基板などからなる基板1aと基板1bとが、シール材3を介して貼り合わせられ、内部に液晶4が封入されて構成されている。また、基板1aの外面上には、位相差板6a及び偏光板5aが順に配置され、基板1bの外面上には、位相差板6b及び偏光板5bが順に配置されている。また、偏光板5bの下方には、透過型表示を行う際に照明光を発するためのバックライト(図示せず)が配置されている。   The liquid crystal display panel 100A is configured such that a substrate 1a and a substrate 1b made of glass, a plastic substrate, or the like are bonded to each other through a sealing material 3, and a liquid crystal 4 is sealed inside. Moreover, the phase difference plate 6a and the polarizing plate 5a are sequentially arranged on the outer surface of the substrate 1a, and the phase difference plate 6b and the polarizing plate 5b are sequentially arranged on the outer surface of the substrate 1b. Further, a backlight (not shown) for emitting illumination light when performing transmissive display is disposed below the polarizing plate 5b.

基板1bには、本発明に関するカラーフィルタ基板100aが配置される。上記カラーフィルタ基板100aは、基板1b上に、部分的にアルミニウムや、アルミニウム合金または銀合金などの光反射膜8が形成される。光反射膜8が形成される領域は、反射型表示に利用される領域(以下、反射表示領域と呼ぶ)である。この領域により、外光を利用して反射型表示を行う場合には、外光が光反射膜8で反射され、観察者に視認されるのである。   A color filter substrate 100a according to the present invention is disposed on the substrate 1b. In the color filter substrate 100a, a light reflecting film 8 such as aluminum, aluminum alloy or silver alloy is partially formed on the substrate 1b. The region where the light reflecting film 8 is formed is a region used for reflective display (hereinafter referred to as a reflective display region). In this area, when reflection type display is performed using external light, the external light is reflected by the light reflecting film 8 and is visually recognized by the observer.

上記光反射膜8には、所定間隔で開口が形成されている。即ち、開口の部分には、光反射膜8が形成されておらず、この開口の領域が、透過表示領域となる。そして、光反射膜8が形成されている領域、即ち、開口以外の領域が反射表示領域となる。   Openings are formed in the light reflecting film 8 at predetermined intervals. That is, the light reflection film 8 is not formed in the opening portion, and the area of the opening becomes a transmissive display area. A region where the light reflecting film 8 is formed, that is, a region other than the opening is a reflective display region.

反射表示領域においては、光反射膜8上に反射表示用カラーフィルタが形成される。一方、透過表示領域においては、光反射膜8が設けられていない領域、図1では、基板1b上に透過表示用カラーフィルタが形成される。図1では、同材料を用い、異なる膜厚にて、カラーフィルタの色度および透過率の調節を行い、反射表示用カラーフィルタと透過表示用カラーフィルタが形成されている。すなわち、カラーフィルタ材料が光反射膜8の開口領域内にも形成されることで、透過表示用カラーフィルタ層の厚さを反射表示用カラーフィルタの厚さより厚くしている。なお、反射表示カラーフィルタと透過表示用カラーフィルタを個々に形成し、反射表示時と透過表示時における表示色を個別に調節することも可能である。   In the reflective display area, a color filter for reflective display is formed on the light reflective film 8. On the other hand, in the transmissive display area, a color filter for transmissive display is formed on the area where the light reflecting film 8 is not provided, that is, on the substrate 1b in FIG. In FIG. 1, the chromaticity and transmittance of a color filter are adjusted using the same material and with different film thicknesses to form a reflective display color filter and a transmissive display color filter. That is, since the color filter material is also formed in the opening region of the light reflecting film 8, the thickness of the color filter layer for transmissive display is made larger than the thickness of the color filter for reflective display. It is also possible to individually form a reflective display color filter and a transmissive display color filter and individually adjust display colors during reflective display and transmissive display.

そして、図1には、反射表示用カラーフィルタ上には、オーバーコート膜10が形成され、透過表示用カラーフィルタ上に、オーバーコート膜10は形成されていない例を示している。これにより、液晶の層厚を調整し、透過表示モードと反射表示モードの双方に、視認性の良い画像表示が可能なマルチギャップ構造が構成される。なお、反射表示用カラーフィルタ上のオーバーコート膜10の膜厚と透過表示用カラーフィルタ上のオーバーコート膜の膜厚差を最適化するならば、透過表示用カラーフィルタ上に、オーバーコート膜を形成したマルチギャップ構造の構成も可能である。   FIG. 1 shows an example in which the overcoat film 10 is formed on the color filter for reflective display and the overcoat film 10 is not formed on the color filter for transmissive display. As a result, a multi-gap structure capable of adjusting the liquid crystal layer thickness and displaying images with high visibility in both the transmissive display mode and the reflective display mode is configured. If the difference in film thickness between the overcoat film 10 on the reflective display color filter and the overcoat film on the transmissive display color filter is optimized, an overcoat film is formed on the transmissive display color filter. A formed multi-gap structure is also possible.

本発明のカラーフィルタ基板100aに設けられた上記オーバーコート膜10のテーパーは、複数の異なる角度を有し、上記角度は、勾配が大きいテーパーと勾配が小さいテーパーを有している。上記勾配が小さいテーパーを有する領域は、図3(c)に示す表示領域の周辺領域にある電極配線引き回し部分、つまり領域Xであり、上記勾配が小さいテーパーは、底辺と高さの比が、8:1から4:1であることが好ましい。例えば、勾配が小さいテーパーの角度αは、約14°程度とすることができる。また、上記勾配が大きいテーパーを有する領域は、画素内における反射表示領域と透過表示領域の境界部分、つまり領域Yであり、上記勾配が大きいテーパーは、底辺と高さの比が、4:1から2:1であることが好ましい。上記勾配が大きいテーパーの角度βは、約26°程度とすることができる。ここで、電極配線引き回し部分とは、表示領域に形成された電極に接続された配線と駆動回路を構成するICや接続端子等とを接続するための配線の形成領域をいう。   The taper of the overcoat film 10 provided on the color filter substrate 100a of the present invention has a plurality of different angles, and the angle has a taper with a large gradient and a taper with a small gradient. The region having a taper with a small gradient is the electrode wiring routing portion in the peripheral region of the display region shown in FIG. 3C, that is, the region X. The taper with the small gradient has a ratio of the base to the height, It is preferably 8: 1 to 4: 1. For example, the angle α of the taper having a small gradient can be set to about 14 °. The region having a taper having a large gradient is a boundary portion between the reflective display region and the transmissive display region in the pixel, that is, the region Y. The taper having the large gradient has a base to height ratio of 4: 1. To 2: 1. The angle β of the taper having a large gradient can be about 26 °. Here, the electrode wiring routing portion refers to a wiring formation region for connecting a wiring connected to an electrode formed in the display region and an IC, a connection terminal, or the like constituting a driving circuit.

本発明のカラーフィルタ基板100aにおいて、表示領域の周辺領域に形成された電極配線引き回し部分、つまり領域Xでは、勾配が小さいテーパーにすることが好ましい。例えば、勾配が小さいテーパーの角度αは、約14°程度とすることができる。電極配線引き回し部分(領域X)を勾配が小さいテーパーにすることにより、電極配線などの配線切れが発生せず、良好に透明電極2bのパターニング化を実施することができる。また、表示領域であるアクティブエリア内の領域Yでは、勾配が大きいテーパーにすることが好ましい。例えば、勾配が大きいテーパーの角度βは、約26°程度とすることができる。本発明は、アクティブエリア内を勾配が大きいテーパーにすることにより、液晶表示パネル100Aのコントラストを向上することができる。   In the color filter substrate 100a of the present invention, it is preferable that the electrode wiring routing portion formed in the peripheral region of the display region, that is, the region X, has a taper with a small gradient. For example, the angle α of the taper having a small gradient can be set to about 14 °. By forming the electrode wiring routing portion (region X) with a taper having a small gradient, the electrode wiring and the like are not cut off, and the transparent electrode 2b can be patterned well. Further, it is preferable that the region Y in the active area which is the display region is tapered with a large gradient. For example, the angle β of the taper having a large gradient can be set to about 26 °. In the present invention, the contrast of the liquid crystal display panel 100A can be improved by making the inside of the active area a taper having a large gradient.

なお、上記オーバーコート膜10のテーパーの角度は、光学顕微鏡あるいは電子顕微鏡で観察することにより、測定することができる。また、上記以外の測定方法として、段差計やAFMでも測定することができる。   The taper angle of the overcoat film 10 can be measured by observing with an optical microscope or an electron microscope. Further, as a measuring method other than the above, it can be measured with a step meter or AFM.

さらに、反射表示領域においては、オーバーコート膜10の上に、ITO(インジウム錫酸化物)などの透明電極2bが形成される。また、透過表示領域においては、透過表示用カラーフィルタの上に、透明電極2bが形成される。上記透明電極2bは、基板1b上に、複数並列したストライプ状に形成されている。また、上記透明電極2bは、基板1a上に設けられた透明電極2aに対して直交する方向に延び、透明電極2aと透明電極2bとの交差領域内に含まれる液晶表示パネル100Aの構成部分が、1ドットを構成する。そして、1ドットに対応する1色のカラーフィルタにおいて、赤カラーフィルタ7a、緑カラーフィルタ7b、青カラーフィルタ7cの3色により1つの画素が構成される。なお、本発明によるカラーフィルタ7の配列は、図2に示しているストライプ構造に限定されず、デルタ配列やダイヤゴナル配列などの各種配列に適用することも可能である。   Further, a transparent electrode 2b such as ITO (indium tin oxide) is formed on the overcoat film 10 in the reflective display region. In the transmissive display area, the transparent electrode 2b is formed on the transmissive display color filter. The transparent electrode 2b is formed in a stripe shape in which a plurality of transparent electrodes 2b are arranged in parallel. The transparent electrode 2b extends in a direction orthogonal to the transparent electrode 2a provided on the substrate 1a, and the liquid crystal display panel 100A included in the intersecting region of the transparent electrode 2a and the transparent electrode 2b 1 dot is formed. In one color filter corresponding to one dot, one pixel is constituted by three colors of the red color filter 7a, the green color filter 7b, and the blue color filter 7c. Note that the arrangement of the color filters 7 according to the present invention is not limited to the stripe structure shown in FIG. 2, and can be applied to various arrangements such as a delta arrangement and a diagonal arrangement.

このように、本発明のマルチギャップ用カラーフィルタ基板100aは、コントラストを向上させ、配線切れ不良の少ない、高画質・高品位な半透過反射型液晶表示装置を提供することができる。   As described above, the multi-gap color filter substrate 100a of the present invention can provide a high-quality, high-quality transflective liquid crystal display device with improved contrast and reduced wiring breakage.

(マスク例1)
図4は、本実施形態においてオーバーコート膜の形成に使用されるマスク例を示す。図4(a)は、グラデーションスリットフォトリソマスクを示し、図4(b)は、両面フォトリソマスクを示す。
(Mask example 1)
FIG. 4 shows an example of a mask used for forming an overcoat film in the present embodiment. 4A shows a gradation slit photolithography mask, and FIG. 4B shows a double-sided photolithography mask.

図4(a)は、グラデーションスリットフォトリソマスク200を示している。グラデーションスリットフォトリソマスクとは、スリット幅とスリット間のギャップピッチを調節したフォトリソマスクである。また、上記グラデーションスリットフォトリソマスク200と同じ光学濃度設計を用いたハーフトーンマスクを用いても良い。   FIG. 4A shows a gradation slit photolithographic mask 200. The gradation slit photolitho mask is a photolitho mask in which the slit width and the gap pitch between the slits are adjusted. A halftone mask using the same optical density design as the gradation slit photolithography mask 200 may be used.

第1実施形態の半透過反射型液晶表示パネルでは、1ドット内の透過表示領域と反射表示領域の間で液晶の層厚を適正な値に換えたマルチギャップ方式を採用している。そのため、カラーフィルタ基板100aにおける透過表示領域は、オーバーコート膜10を設けず、反射表示領域には、オーバーコート膜10を配置されている。上記オーバーコート膜10の膜厚は、約2μm程度が好ましい。また、1ドット内におけるオーバーコート膜10のエッジ部のテーパーは、大きな勾配を持つテーパーが好ましい。   The transflective liquid crystal display panel of the first embodiment employs a multi-gap method in which the liquid crystal layer thickness is changed to an appropriate value between the transmissive display area and the reflective display area within one dot. Therefore, the overcoat film 10 is not provided in the transmissive display area in the color filter substrate 100a, and the overcoat film 10 is disposed in the reflective display area. The overcoat film 10 preferably has a thickness of about 2 μm. Further, the taper of the edge portion of the overcoat film 10 within one dot is preferably a taper having a large gradient.

オーバーコート膜10のアクティブエリアにおける反射表示領域と透過表示領域の境界部分(領域Y)における液晶の層厚は、適正な設計値を有した透過表示領域や反射表示領域の液晶の層厚と異なっている。つまり、上記オーバーコート膜10の透過表示領域と反射表示領域の境界部分(領域Y)は、リタデーションも異なるため、上記領域Yの範囲が大きいと、液晶表示パネルのコントラストの低下の原因となる。したがって、上記領域Yの範囲を最小限にするために、オーバーコート膜10のアクティブエリアのエッジ部は、勾配が大きいテーパーにすることが好ましい。上記勾配が大きいテーパーの角度βは、例えば、約26°程度とすることができる。   The liquid crystal layer thickness at the boundary portion (region Y) between the reflective display region and the transmissive display region in the active area of the overcoat film 10 is different from the liquid crystal layer thickness in the transmissive display region and reflective display region having appropriate design values. ing. That is, since the boundary portion (region Y) between the transmissive display region and the reflective display region of the overcoat film 10 is also different in retardation, a large range of the region Y causes a decrease in contrast of the liquid crystal display panel. Therefore, in order to minimize the range of the region Y, the edge portion of the active area of the overcoat film 10 is preferably tapered with a large gradient. The taper angle β having a large gradient can be set to about 26 °, for example.

また、電極配線引き回し部分(領域X)では、オーバーコート膜10の上方に設置する透明電極2bのパターニング性を改善するため、オーバーコート膜10のエッジ部は、勾配が小さいテーパーが好ましい。上記勾配が小さいテーパーの角度αは、例えば、約14°程度とすることができる。勾配が小さいテーパーにすることにより、透明電極の配線切れ不良が低減し、透明電極のパターニング性を良好に実施することができる。   In addition, in the electrode wiring routing portion (region X), in order to improve the patterning property of the transparent electrode 2b disposed above the overcoat film 10, the edge portion of the overcoat film 10 is preferably tapered with a small gradient. The taper angle α having a small gradient can be set to about 14 °, for example. By using a taper with a small gradient, the disconnection failure of the transparent electrode can be reduced, and the patterning property of the transparent electrode can be favorably implemented.

上記の点により、例えば、ネガ型レジストを使用して、露光を実施するならば、図4(a)に示すグラデーションスリットフォトリソマスク200は、反射表示領域には全透過領域を、透過表示領域には遮光領域を設け、さらに電極配線引き回し部分では中間透過領域を設けたマスク設計を採用することができる。要するに、電極配線引き回し部分(領域X)では、グラデーションスリットフォトリソマスク200の中間透過領域による露光を実施する。中間透過領域では、オーバーコート膜10が、十分に硬化するための露光量を照射しない条件となる。つまり、中間透過領域の未硬化な樹脂材料および遮光領域の樹脂材料が、現像処理によって剥離される。したがって、緩やかなテーパー、つまり勾配が小さいテーパーを作製することができる。また、反射表示領域と透過表示領域の間(領域Y)は、グラデーションスリットフォトリソマスク200の全透過領域と遮光領域による露光を実施する。全透過領域では、オーバーコート膜10が、十分に硬化するための露光量を照射しているため、遮光領域の樹脂材料のみが、現像処理によって剥離される。したがって、急峻なテーパー、つまり勾配が大きいテーパーを作製することができる。   From the above points, for example, if exposure is performed using a negative resist, the gradation slit photolithographic mask 200 shown in FIG. 4A has a totally transmissive area in the reflective display area and a transmissive display area. Can adopt a mask design in which a light shielding region is provided and an intermediate transmission region is provided in an electrode wiring routing portion. In short, in the electrode wiring routing portion (region X), exposure is performed in the intermediate transmission region of the gradation slit photolithography mask 200. In the intermediate transmission region, the overcoat film 10 is in a condition not to irradiate an exposure amount for sufficient curing. That is, the uncured resin material in the intermediate transmission region and the resin material in the light shielding region are peeled off by the development process. Therefore, a gentle taper, that is, a taper with a small gradient can be produced. Further, between the reflective display area and the transmissive display area (area Y), exposure is performed with the entire transmissive area and the light shielding area of the gradation slit photolithography mask 200. In the entire transmission region, since the overcoat film 10 is irradiated with an exposure amount for sufficient curing, only the resin material in the light shielding region is peeled off by the development process. Therefore, a steep taper, that is, a taper with a large gradient can be manufactured.

図4(b)は、回折光を利用した両面フォトリソマスク300である。上記両面フォトリソマスク300は、光の回折を利用することにより、従来とは異なるフォトリソグラフィ工程を実施することができる。例えば、ネガ型レジストを使用して露光を実施する場合について説明する。両面フォトリソマスク300は、基板の両面にパターンが形成され、例えば、フォトリソマスクの上面、つまり光照射側に光回折用のパターンが形成されている。上述したように、マルチギャップ方式を採用した半透過反射型液晶表示装置は、アクティブエリア内における反射表示領域と透過表示領域とにおけるオーバーコート膜10のエッジ部(領域Y)は、勾配が大きいテーパーが好ましい。また、電極配線引き回し部分のオーバーコート膜10のエッジ部(領域X)は、勾配が小さいテーパーが好ましい。したがって、両面フォトリソマスク300は、反射表示領域には全透過領域を、透過表示領域には遮光領域を設け、さらに電極配線引き回し部分では中間透過領域(光の回折を利用した両面パターン領域)を設けたマスク設計を採用することができる。中間透過領域では、オーバーコート膜10が、十分に硬化するための露光量を照射しない条件となる。つまり、中間透過領域の未硬化な樹脂材料および遮光領域の樹脂材料が、現像処理によって剥離される。したがって、緩やかなテーパー、つまり勾配が小さいテーパーを作製することができる。また、反射表示領域と透過表示領域の間(領域Y)は、両面フォトリソマスク300の全透過領域と遮光領域による露光を実施する。全透過領域では、オーバーコート膜10が、十分に硬化するための露光量を照射しているため、遮光領域の樹脂材料のみが、現像処理によって剥離される。したがって、急峻なテーパー、つまり勾配が大きいテーパーを作製することができる。   FIG. 4B shows a double-sided photolithographic mask 300 using diffracted light. The double-sided photolithographic mask 300 can perform a photolithography process different from the conventional one by utilizing light diffraction. For example, a case where exposure is performed using a negative resist will be described. The double-sided photolithographic mask 300 has a pattern formed on both sides of the substrate. For example, a light diffraction pattern is formed on the upper surface of the photolithographic mask, that is, on the light irradiation side. As described above, in the transflective liquid crystal display device adopting the multi-gap method, the edge portion (region Y) of the overcoat film 10 in the reflective display region and the transmissive display region in the active area is tapered with a large gradient. Is preferred. Further, the edge portion (region X) of the overcoat film 10 in the electrode wiring routing portion is preferably a taper having a small gradient. Accordingly, the double-sided photolithographic mask 300 is provided with a totally transmissive area in the reflective display area, a light-shielding area in the transmissive display area, and an intermediate transmissive area (double-sided pattern area utilizing light diffraction) in the portion where the electrode wiring is routed. Mask design can be adopted. In the intermediate transmission region, the overcoat film 10 is in a condition not to irradiate an exposure amount for sufficient curing. That is, the uncured resin material in the intermediate transmission region and the resin material in the light shielding region are peeled off by the development process. Therefore, a gentle taper, that is, a taper with a small gradient can be produced. In addition, between the reflective display area and the transmissive display area (area Y), exposure is performed with the entire transmissive area and the light shielding area of the double-sided photolithographic mask 300. In the entire transmission region, since the overcoat film 10 is irradiated with an exposure amount for sufficient curing, only the resin material in the light shielding region is peeled off by the development process. Therefore, a steep taper, that is, a taper with a large gradient can be manufactured.

上述したように、グラデーションスリットフォトリソマスク200と両面フォトリソマスク300のように、全透過領域、中間透過領域、遮光領域を有するフォトリソマスクを使用することによって、本発明によるカラーフィルタ基板100aを効率良く作製することができる。   As described above, the color filter substrate 100a according to the present invention is efficiently manufactured by using a photolithographic mask having a total transmission region, an intermediate transmission region, and a light shielding region, such as the gradation slit photolithographic mask 200 and the double-sided photolithographic mask 300. can do.

(マルチギャップ用カラーフィルタ基板の製造工程)
図5および図6は、本発明のマルチギャップ用カラーフィルタの製造工程の例について示す。
(Manufacturing process of multi-gap color filter substrate)
5 and 6 show an example of the manufacturing process of the multi-gap color filter of the present invention.

まず、図5の工程P01において、光反射膜8を形成する。光反射膜材料は、例えば、Al(アルミニウム)膜をスパッタ法などによって、例えば、0.2μm程度の一様な厚さで成膜する。そして、必要に応じて、フォトリソグラフィ法およびエッチング処理を行って、所望の光反射膜8を作製する。   First, in step P01 of FIG. 5, the light reflecting film 8 is formed. As the light reflecting film material, for example, an Al (aluminum) film is formed with a uniform thickness of, for example, about 0.2 μm by sputtering or the like. Then, if desired, a desired light reflecting film 8 is produced by performing a photolithography method and an etching process.

次に、工程P02において、カラーフィルタ7を形成する。基板1bの全面を覆うようにカラーレジスト(赤)を塗布する。このカラーレジスト(赤)は、顔料によって着色されたアクリル系やエポキシ系などの樹脂材料によって、例えば、2μm程度の厚さに形成される。なお、ここでは、露光に伴う光反応で硬化するネガ型のカラーレジスト(赤)によって赤カラーフィルタ7aを所望の位置に形成する。次に、基板1bの全面を覆うようにカラーレジスト(緑)を塗布する。このカラーレジスト(緑)は、ネガ型のレジストであり、例えば、2μm程度の厚さに形成されている。そして、ネガ型のカラーレジスト(緑)によって緑カラーフィルタ7bを所望の位置に形成する。さらに、カラーレジスト(青)を塗布する。このカラーレジスト(青)は、ネガ型のレジストであり、例えば、2μm程度の厚さに形成されている。そして、ネガ型のカラーレジスト(青)によって青カラーフィルタ7cを所望の位置に形成する。   Next, in the process P02, the color filter 7 is formed. A color resist (red) is applied so as to cover the entire surface of the substrate 1b. The color resist (red) is formed to a thickness of, for example, about 2 μm by using an acrylic or epoxy resin material colored with a pigment. Here, the red color filter 7a is formed at a desired position with a negative color resist (red) that is hardened by a photoreaction associated with exposure. Next, a color resist (green) is applied so as to cover the entire surface of the substrate 1b. This color resist (green) is a negative resist, and is formed to a thickness of about 2 μm, for example. Then, the green color filter 7b is formed at a desired position with a negative color resist (green). Further, a color resist (blue) is applied. This color resist (blue) is a negative resist and is formed to a thickness of about 2 μm, for example. Then, a blue color filter 7c is formed at a desired position with a negative color resist (blue).

この結果、図1、図2または図3に示すように、赤カラーフィルタ7a、緑カラーフィルタ7b、青カラーフィルタ7cのそれぞれが、ストライプ配列を有し形成されている。   As a result, as shown in FIG. 1, FIG. 2, or FIG. 3, each of the red color filter 7a, the green color filter 7b, and the blue color filter 7c has a stripe arrangement.

次に、工程P03において、オーバーコート膜10を塗布する。カラーフィルタ7を配置させた基板1bの全面を覆うように、オーバーコート膜10を塗布する。このオーバーコート膜10は、アクリル系などの透明樹脂材料によって、例えば、2μm程度の厚さに塗布される。   Next, in step P03, the overcoat film 10 is applied. An overcoat film 10 is applied so as to cover the entire surface of the substrate 1b on which the color filter 7 is disposed. The overcoat film 10 is applied to a thickness of, for example, about 2 μm by using a transparent resin material such as acrylic.

次に、工程P04において、オーバーコート膜10をパターニングする。例えば、グラデーションスリットフォトリソマスク200を用いて、露光を行う。このとき、反射表示領域と透過表示領域上のオーバーコート膜10の膜厚を異ならせ、液晶表示パネル100Aの液晶の層厚dを最適化している。   Next, in step P04, the overcoat film 10 is patterned. For example, exposure is performed using a gradation slit photolithography mask 200. At this time, the thickness of the overcoat film 10 on the reflective display region and the transmissive display region is made different to optimize the liquid crystal layer thickness d of the liquid crystal display panel 100A.

さらに、上記グラデーションスリットフォトリソマスク200を用いることにより、画素内の反射表示領域と透過表示領域の間のオーバーコート膜10のエッジ部(領域Y)は、勾配が大きいテーパーを有することが好ましい。上記勾配が大きいテーパーは、底辺と高さの比が、4:1から2:1であることが好ましい。上記勾配が大きいテーパーの角度βは、26°程度とすることができる。勾配が大きいテーパーにすることにより、反射表示領域および透過表示領域の境界部分におけるリタデーションのずれを最小限にすることができ、半透過反射型液晶表示装置100Aのコントラストを向上することができる。   Further, by using the gradation slit photolithography mask 200, it is preferable that the edge portion (region Y) of the overcoat film 10 between the reflective display region and the transmissive display region in the pixel has a taper with a large gradient. The taper having a large gradient preferably has a base to height ratio of 4: 1 to 2: 1. The angle β of the taper having a large gradient can be set to about 26 °. By using a taper having a large gradient, it is possible to minimize retardation shift at the boundary between the reflective display region and the transmissive display region, and to improve the contrast of the transflective liquid crystal display device 100A.

また、上記グラデーションスリットフォトリソマスク200を用いることにより、表示領域の周辺にある電極配線引き回し部分上のオーバーコート膜10のエッジ部(領域X)は、勾配が小さいテーパーにすることができる。上記勾配が小さいテーパーは、底辺と高さの比が、8:1から4:1であることが好ましい。例えば、勾配が小さいテーパーの角度αは、約14°程度とすることができる。上記勾配が小さいテーパーにすることにより、オーバーコート膜10の上方に設けられる透明電極2bのパターニング性は良好となる。そのため、液晶表示パネル100Aの透明電極の配線切れ(線欠陥不良)は低減し、良好な画面表示を提供することができる。   Further, by using the gradation slit photolithography mask 200, the edge portion (region X) of the overcoat film 10 on the electrode wiring routing portion around the display region can be tapered. The taper having a small gradient preferably has a base to height ratio of 8: 1 to 4: 1. For example, the angle α of the taper having a small gradient can be set to about 14 °. By making the taper with a small gradient, the patternability of the transparent electrode 2b provided above the overcoat film 10 becomes good. Therefore, the wiring breakage (line defect defect) of the transparent electrode of the liquid crystal display panel 100A is reduced, and a good screen display can be provided.

そして、工程P05において、透明電極2bを形成する。そして、図1に示すマルチギャップ方式を採用したカラーフィルタ基板100aが形成されるのである。   In step P05, the transparent electrode 2b is formed. Then, the color filter substrate 100a adopting the multi-gap method shown in FIG. 1 is formed.

したがって、本発明に係るカラーフィルタ基板100a上のオーバーコート膜10は、アクティブエリア内のエッジ部(領域Y)では勾配が大きいテーパーを有し、電極配線引き回しのエッジ部(領域X)では勾配が小さいテーパーを有することが好ましい。上記勾配が大きいテーパーおよび上記勾配が小さいテーパーを有するカラーフィルタ基板100aによって、本発明は、高コントラストで、かつ、線欠陥不良の少ない、マルチギャップ方式を採用した半透過反射型液晶表示パネルを提供することができる。   Therefore, the overcoat film 10 on the color filter substrate 100a according to the present invention has a taper having a large gradient at the edge portion (region Y) in the active area, and the gradient at the edge portion (region X) of the electrode wiring routing. It is preferable to have a small taper. The present invention provides a transflective liquid crystal display panel employing a multi-gap method with high contrast and few line defect defects, by using the color filter substrate 100a having a taper with a large gradient and a taper with a small gradient. can do.

[第2実施形態]
本実施形態は、液晶表示装置用基板上に形成される特定の層が異なるテーパーを有するという特徴を持つ、配向制御突起を有するカラーフィルタ基板に関する。配向制御突起は、複数の斜面を有し、カラーフィルタ上に配置されている。そして、赤カラーフィルタ、緑カラーフィルタおよび青カラーフィルタの各ドット上に位置する配向制御突起は、異なるテーパー角を持つ三角形状(または楕円形状)であることを特徴としている。各カラーフィルタ上の突起の形状において、赤カラーフィルタ上の突起が一番大きな勾配が大きいテーパーを有し、次に、緑カラーフィルタ上の突起のテーパーがやや小さくなり、そして、青カラーフィルタ上の突起のテーパーが最も小さい角度を有していることが好ましい。
[Second Embodiment]
The present embodiment relates to a color filter substrate having alignment control protrusions, which is characterized in that a specific layer formed on a substrate for a liquid crystal display device has a different taper. The orientation control protrusion has a plurality of slopes and is disposed on the color filter. The alignment control protrusions located on each dot of the red color filter, the green color filter, and the blue color filter are characterized by a triangular shape (or an elliptical shape) having different taper angles. In the shape of the protrusion on each color filter, the protrusion on the red color filter has a taper with the largest gradient, then the taper of the protrusion on the green color filter becomes slightly smaller, and on the blue color filter It is preferable that the protrusion taper has the smallest angle.

[垂直配向モード]
複数配向分割型垂直配向モード液晶表示装置(MVA-LCD:Multi-domain Vertical Alignment mode-LCD)は、電圧印加時に全ての液晶分子が配向膜上に垂直に立った状態で配列しており、電圧印加時に液晶分子が倒れることで表示制御を行う方法である。さらに、液晶分子が倒れる方向が1ドット内において、隣接する領域ごとに異なるように設計されており、液晶の配向が1ドット内において、複数に分割された構成を採用している。上記分割方式は、液晶パネルを構成する基板上において、液晶分子の配向を制御する突起(配向制御突起)を設けることにより、ラビング処理を実施することなく、液晶分子の配向を制御する技術である。すなわち、上記配向制御突起により、1ドット内において、液晶分子の配向方向を多分割し、その分割面積が個々に等しくなるように設計されている。上記配向制御突起は、カラーフィルタ側およびアレイ側の両方に設置され、セル化したときに、交互に配列するように形成されている。また、どちらか一方の基板に配向制御突起が形成されていても良い。
[Vertical alignment mode]
Multi-domain vertical alignment mode-LCD (MVA-LCD) is a multi-alignment vertical alignment mode liquid crystal display (MVA-LCD) in which all liquid crystal molecules are aligned vertically on the alignment film when voltage is applied. In this method, the liquid crystal molecules are tilted when applied to perform display control. Furthermore, the direction in which the liquid crystal molecules are tilted is designed to be different for each adjacent region within one dot, and a configuration in which the orientation of the liquid crystal is divided into a plurality of portions within one dot is employed. The division method is a technique for controlling the alignment of liquid crystal molecules without performing a rubbing process by providing protrusions (alignment control protrusions) for controlling the alignment of liquid crystal molecules on a substrate constituting the liquid crystal panel. . That is, the alignment control protrusions are designed so that the alignment direction of the liquid crystal molecules is divided into multiples within one dot and the divided areas are equal to each other. The orientation control protrusions are installed on both the color filter side and the array side, and are formed so as to be alternately arranged when formed into cells. Further, an alignment control protrusion may be formed on either one of the substrates.

上述したように、MVA−LCDは、垂直配向モードと配向分割型方式を用いることにより、液晶表示装置の広視野角化を実現している技術である。   As described above, MVA-LCD is a technology that realizes a wide viewing angle of a liquid crystal display device by using a vertical alignment mode and an alignment division type.

本発明では、同一層内に複数の異なるテーパー角度を作製することができるため、上記配向制御突起は、赤カラーフィルタ、緑カラーフィルタおよび青カラーフィルタごとに、最適な形状を作製することができる。配向制御突起のテーパー形状を各色別に調節することにより、液晶分子の初期チルト角の最適化することができる。つまり、液晶分子の初期チルト角を調節することにより、電圧―透過率曲線の急峻性を変更することができるため、カラーフィルタでは、不十分な色特性を改善することができる。   In the present invention, since a plurality of different taper angles can be produced in the same layer, the orientation control protrusion can produce an optimum shape for each of the red color filter, the green color filter, and the blue color filter. . By adjusting the taper shape of the alignment control protrusion for each color, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules can be optimized. That is, since the steepness of the voltage-transmittance curve can be changed by adjusting the initial tilt angle of the liquid crystal molecules, the color filter can improve insufficient color characteristics.

例えば、青カラーフィルタの突起のテーパーを小さくすることにより、その上方に位置する液晶分子の初期チルト角を小さくする。そして、緑カラーフィルタの突起のテーパーをやや大きくすることにより、その上方に位置する液晶分子の初期チルト角をやや大きめにする。そして、赤カラーフィルタの突起のテーパーをさらに大きくすることにより、その上方に位置する液晶分子の初期チルト角をさらに大きくする。このように、各カラーフィルタ上の初期チルト角を、最適化することにより、同一セルギャップだったときに発生してしまう電圧―透過率曲線のずれを調節し、液晶表示装置の色再現性を改善することができるのである。   For example, by reducing the taper of the protrusion of the blue color filter, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules positioned above it is reduced. Then, by slightly increasing the taper of the protrusion of the green color filter, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules located above it is slightly increased. Then, by further increasing the taper of the protrusion of the red color filter, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules positioned above it is further increased. In this way, by optimizing the initial tilt angle on each color filter, the deviation of the voltage-transmittance curve that occurs when the cell gap is the same is adjusted, and the color reproducibility of the liquid crystal display device is improved. It can be improved.

したがって、上記液晶分子のチルト角が、青カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、赤カラーフィルタの順番で大きくなるように、突起形状を最適化することが好ましい。   Therefore, it is preferable to optimize the protrusion shape so that the tilt angle of the liquid crystal molecules increases in the order of the blue color filter, the green color filter, and the red color filter.

つまり、本発明は、液晶分子の初期チルト角を最適化することにより、液晶表示パネルの色味を改善することができる。したがって、本発明は、高画質の複数配向分散型垂直配向モード液晶表示パネルを提供することができる。   That is, the present invention can improve the color of the liquid crystal display panel by optimizing the initial tilt angle of the liquid crystal molecules. Therefore, the present invention can provide a multi-alignment dispersion type vertical alignment mode liquid crystal display panel with high image quality.

[液晶表示パネル例2]
本実施形態のカラーフィルタ基板を有した液晶表示パネルの構成について、図7、図8および図9を用いて説明する。図7は、複数配向分散型垂直配向モード液晶表示パネルの断面図を示す。図8は、カラーフィルタ基板の平面図を示し、図9(a)には、カラーフィルタ基板の一部の拡大図、図3(b)には、カラーフィルタ基板の一部の断面図、及び図3(c)には、カラーフィルタ基板の一部の斜視図を示す。なお、本発明によるカラーフィルタの配列は、図8に示しているストライプ構造に限定されず、デルタ配列やダイヤゴナル配列などの各種配列に適用することも可能である。
[LCD panel example 2]
The configuration of the liquid crystal display panel having the color filter substrate of the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a cross-sectional view of a multi-alignment dispersion type vertical alignment mode liquid crystal display panel. FIG. 8 is a plan view of the color filter substrate, FIG. 9A is an enlarged view of a part of the color filter substrate, FIG. 3B is a sectional view of a part of the color filter substrate, and FIG. FIG. 3C shows a perspective view of a part of the color filter substrate. Note that the arrangement of the color filters according to the present invention is not limited to the stripe structure shown in FIG. 8, and can be applied to various arrangements such as a delta arrangement and a diagonal arrangement.

図7に示した液晶表示パネル100Bは、反射型液晶表示パネルを示している。液晶表示パネル100Bは、例えば、透明電極2aが形成された基板1aと、基板1aの対向側に配向制御突起11を有し、カラーフィルタ7が配置された基板1bを有する場合を示している。詳しくは、基板1b上には、光反射膜8を設け、上記光反射膜8上にオーバーコート膜9を配置している。そして、上記オーバーコート膜9上に、赤カラーフィルタ7a、緑カラーフィルタ7b、青カラーフィルタ7cの3色のカラーフィルタ7が設けられている。   A liquid crystal display panel 100B shown in FIG. 7 is a reflective liquid crystal display panel. The liquid crystal display panel 100B shows, for example, the case where the substrate 1a on which the transparent electrode 2a is formed and the substrate 1b having the alignment control protrusion 11 on the opposite side of the substrate 1a and the color filter 7 being disposed. Specifically, a light reflecting film 8 is provided on the substrate 1b, and an overcoat film 9 is disposed on the light reflecting film 8. On the overcoat film 9, three color filters 7 of a red color filter 7a, a green color filter 7b, and a blue color filter 7c are provided.

上記カラーフィルタ7上には、各色に、垂直配向制御用に、複数の斜面を持つ突起(配向制御突起)11を有している。本発明は、赤カラーフィルタ7a、緑カラーフィルタ7bおよび青カラーフィルタ7cの各ドット上に位置する配向制御突起11は、異なるテーパーを有することができる。好適なテーパー角の値としては、例えば赤カラーフィルタが25〜35°、緑カラーフィルタが15〜25°、青カラーフィルタが9〜19°程度である。   On the color filter 7, each color has protrusions (alignment control protrusions) 11 having a plurality of inclined surfaces for vertical alignment control. In the present invention, the alignment control protrusions 11 positioned on the dots of the red color filter 7a, the green color filter 7b, and the blue color filter 7c can have different tapers. Suitable taper angle values are, for example, about 25 to 35 ° for the red color filter, 15 to 25 ° for the green color filter, and about 9 to 19 ° for the blue color filter.

赤カラーフィルタ7a、緑カラーフィルタ7b及び青カラーフィルタ7cの3色を通過した各着色光が、液晶層を通過すると、液晶の波長依存性の影響により、色味調節が困難であるという問題がある。しかし、本発明により、上記配向制御突起11の形状の最適化を図ることにより、液晶分子の初期チルト角の最適化を図り、色味の良い液晶表示装置を提供することができる。詳しくは、上記配向制御突起10において、赤カラーフィルタ7a上の配向制御突起11aが最も勾配が大きいテーパーを有し、次に緑カラーフィルタ7b上の配向制御突起11bのテーパーは、やや小さくなり、そして、青カラーフィルタ7c上の配向制御突起11cのテーパーが、最も小さい角度を有していることが好ましい。つまり、赤カラーフィルタ7a上の液晶分子の初期チルト角が一番大きく、緑カラーフィルタ7b上の液晶分子の初期チルト角は、やや小さくなり、そして、青カラーフィルタ7c上の液晶分子の初期チルト角は、最も小さい角度になる。液晶分子の初期チルト角の最適化により、液晶の持つ波長依存性により発生する、光波長によって透過率(または反射率)がずれる現象は、改善される。要するに、カラーフィルタの色ごとに異なってしまう透過率(反射率)−電圧曲線のずれ量が、上記の初期チルトの最適化によって補正され、色バランスが調整され、液晶表示装置のホワイトバランスが良好となる。   When each colored light that has passed through the three colors of the red color filter 7a, the green color filter 7b, and the blue color filter 7c passes through the liquid crystal layer, it is difficult to adjust the color due to the influence of the wavelength dependence of the liquid crystal. is there. However, according to the present invention, by optimizing the shape of the alignment control protrusion 11, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules can be optimized, and a liquid crystal display device with good color can be provided. Specifically, in the alignment control protrusion 10, the alignment control protrusion 11 a on the red color filter 7 a has a taper with the largest gradient, and then the taper of the alignment control protrusion 11 b on the green color filter 7 b becomes slightly smaller, The taper of the orientation control protrusion 11c on the blue color filter 7c preferably has the smallest angle. That is, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules on the red color filter 7a is the largest, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules on the green color filter 7b is slightly smaller, and the initial tilt of the liquid crystal molecules on the blue color filter 7c is small. The corner is the smallest angle. By optimizing the initial tilt angle of the liquid crystal molecules, the phenomenon in which the transmittance (or reflectivity) shifts depending on the light wavelength, which occurs due to the wavelength dependence of the liquid crystal, is improved. In short, the deviation of the transmittance (reflectance) -voltage curve, which differs for each color of the color filter, is corrected by the above-mentioned optimization of the initial tilt, the color balance is adjusted, and the white balance of the liquid crystal display device is good. It becomes.

したがって、本発明は、各カラーフィルタの配向制御突起11のテーパーの最適化を図ることにより、液晶表示パネルの色味を改善することができる。以下、詳細について、理由を説明する。   Therefore, the present invention can improve the color of the liquid crystal display panel by optimizing the taper of the alignment control protrusion 11 of each color filter. Hereinafter, the reason will be described in detail.

液晶には波長分散性があり、光の波長により液晶の複屈折Δnは、異なる。したがって、リタデーション(Δn・d)をx軸、透過率(または反射率)をy軸とした場合の曲線は、入射光の波長によって、少しずつずれるのである。つまり、赤カラーフィルタ7a、緑カラーフィルタ7b及び青カラーフィルタ7cの各々を通過した透過光(反射光)は、液晶の複屈折Δnのため、各波長(各着色光)において、少しずつずれてしまう。しかし、この現象、要するに、各カラーフィルタ7を通過した透過光(反射光)の各波長(各着色光)における透過率(反射率)のずれは、各カラーフィルタ7上における液晶の層厚dを、それぞれ調節することにより、改善することができる。また、各カラーフィルタ7上における液晶分子の初期チルト角を調節することを用いても、改善することができる。つまり、複数配向分散型垂直配向モードの場合、各カラーフィルタ7上に形成されている配向制御突起11の形状、つまり、テーパーを調節することにより、その上方に存在する液晶分子の初期チルト角を最適化することができるのである。   The liquid crystal has wavelength dispersibility, and the birefringence Δn of the liquid crystal varies depending on the wavelength of light. Therefore, the curve when the retardation (Δn · d) is the x axis and the transmittance (or reflectance) is the y axis is slightly shifted depending on the wavelength of the incident light. That is, the transmitted light (reflected light) that has passed through each of the red color filter 7a, the green color filter 7b, and the blue color filter 7c is slightly shifted at each wavelength (each colored light) due to the birefringence Δn of the liquid crystal. End up. However, this phenomenon, in short, the deviation of the transmittance (reflectance) at each wavelength (each colored light) of the transmitted light (reflected light) that has passed through each color filter 7 is the layer thickness d of the liquid crystal on each color filter 7. Can be improved by adjusting each of them. It can also be improved by adjusting the initial tilt angle of the liquid crystal molecules on each color filter 7. That is, in the case of the multi-alignment dispersion type vertical alignment mode, by adjusting the shape of the alignment control protrusion 11 formed on each color filter 7, that is, the taper, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules existing thereabove is adjusted. It can be optimized.

従来のフォトリソグラフィ技術では、同一層内におけるパターンエッジ部分は、ほぼ同じ角度になる。そのため、配向制御突起のテーパーのパターニング実施時、一度の露光処理で、個々のテーパーの最適化を図ることは困難であった。   In the conventional photolithography technique, the pattern edge portions in the same layer have substantially the same angle. Therefore, at the time of patterning the taper of the alignment control protrusion, it is difficult to optimize the individual taper by a single exposure process.

しかし、本発明は、同一層内において、複数の異なる角度を有することができる、つまり、各カラーフィルタ7上の配向制御突起11のテーパーを調節することができる。このように、配向制御突起11のテーパーの最適化を図ることは、液晶分子の初期チルト角の最適化を図ることにつながり、液晶表示パネルの光学特性を改善することができる。   However, the present invention can have a plurality of different angles in the same layer, that is, the taper of the alignment control protrusion 11 on each color filter 7 can be adjusted. Thus, optimization of the taper of the alignment control protrusion 11 leads to optimization of the initial tilt angle of the liquid crystal molecules, and the optical characteristics of the liquid crystal display panel can be improved.

ここで、例えば、ノーマリブラック(無印加時に黒表示の液晶表示装置)において、赤色光、緑色光、青色光のリタデーションと透過率の関係で説明する。赤色光、緑色光、青色光の透過率は、透過率の極小値は、Δn・d=0.5の付近において、ほとんどゼロの値を示すが、赤色光、緑色光、青色光によってずれてしまう。したがって、緑色光の透過率が極小値になるように液晶の層厚dを選択すると、赤色光と青色光が漏れてしまい、例えば、黒表示が全体として、紫がかった色味となってしまう。そのため、各色の透過率が極小値になるように、液晶の層厚dを調節することが好ましい。また、他の方法として、液晶分子の初期チルト角を調節する方法を用いても改善することができる。つまり、液晶の初期チルト角を、青カラーフィルタ7c、緑カラーフィルタ7b、赤カラーフィルタ7aの順番に大きくなるように、配向制御突起11のテーパーを調節し、色味の良い液晶表示装置100Bを作製することができる。   Here, for example, in a normally black (a liquid crystal display device that displays black when no voltage is applied), the relationship between the retardation of red light, green light, and blue light and the transmittance will be described. The transmittance of red light, green light, and blue light is almost zero in the vicinity of Δn · d = 0.5, but is shifted by red light, green light, and blue light. End up. Accordingly, if the layer thickness d of the liquid crystal is selected so that the transmittance of green light becomes a minimum value, red light and blue light leak, and, for example, the black display as a whole has a purple color. . Therefore, it is preferable to adjust the layer thickness d of the liquid crystal so that the transmittance of each color becomes a minimum value. As another method, it can be improved by using a method of adjusting the initial tilt angle of the liquid crystal molecules. That is, the taper of the alignment control protrusion 11 is adjusted so that the initial tilt angle of the liquid crystal increases in the order of the blue color filter 7c, the green color filter 7b, and the red color filter 7a, and the liquid crystal display device 100B with good color is obtained. Can be produced.

なお、上記配向制御突起11のテーパーの角度は、光学顕微鏡あるいは電子顕微鏡で観察することにより、測定することができる。また、上記以外の測定方法として、段差計やAFMでも測定することができる。   The taper angle of the orientation control protrusion 11 can be measured by observing with an optical microscope or an electron microscope. Further, as a measuring method other than the above, it can be measured with a step meter or AFM.

さらに、上記配向制御突起11の上方に、透明電極2bを配置している。   Further, the transparent electrode 2b is disposed above the orientation control protrusion 11.

そして、液晶表示装置100Bは、上記基板1aと、本発明の配向制御突起11が配置された基板1bとが、シール材3を介して貼り合わせられ、液晶表示装置100Bの内部に液晶4が封入されている。また、基板1aの外面上には、位相差板6aおよび偏光板5aが順に配置される。   In the liquid crystal display device 100B, the substrate 1a and the substrate 1b on which the alignment control projections 11 of the present invention are disposed are bonded to each other through the sealing material 3, and the liquid crystal 4 is sealed inside the liquid crystal display device 100B. Has been. Moreover, the phase difference plate 6a and the polarizing plate 5a are arrange | positioned in order on the outer surface of the board | substrate 1a.

なお、本発明に係る液晶表示装置100Bは、例えば、TFD(薄膜ダイオード)素子やTFT(薄膜トランジスタ)素子などのスイッチング素子が、基板1aに設けられていても良いし、また、上記スイッチング素子が形成された基板側に光反射膜8を設けた構成についても適用可能である。   In the liquid crystal display device 100B according to the present invention, for example, a switching element such as a TFD (thin film diode) element or a TFT (thin film transistor) element may be provided on the substrate 1a, or the switching element is formed. A configuration in which the light reflecting film 8 is provided on the substrate side is also applicable.

上述したように、液晶表示装置100Bは、複数の異なる角度を有する配向制御突起11を設けたカラーフィルタ基板により構成されている。そして、本発明は、上記配向制御突起11の形状を、カラーフィルタの色ごとによって調節し、液晶の波長依存性の影響によるホワイトバランスのずれを改善することができるのである。   As described above, the liquid crystal display device 100B includes the color filter substrate provided with the alignment control protrusions 11 having a plurality of different angles. In the present invention, the shape of the alignment control protrusion 11 can be adjusted for each color of the color filter, and the white balance shift due to the influence of the wavelength dependence of the liquid crystal can be improved.

(マスク例2)
図10は、本発明に関するマスク例を示す。図10(a)は、ハーフトーンマスクを示し、図10(b)は、グラデーションスリットフォトリソマスクを示し、図10(c)は、光回折を利用し、中間透過領域に細孔を施したフォトリソマスク(以下、細孔フォトリソマスクと記す)を示している。
(Mask example 2)
FIG. 10 shows an example mask according to the present invention. FIG. 10A shows a halftone mask, FIG. 10B shows a gradation slit photolithographic mask, and FIG. 10C shows a photolithography using light diffraction and having pores in the intermediate transmission region. A mask (hereinafter referred to as a pore photolithographic mask) is shown.

図4(a)は、ハーフトーンマスク400を示している。上述したように、ハーフトーンマスクは、全透過領域、中間透過領域および遮光領域を有することができる。そのため、本発明は、ハーフトーンマスク400の光学濃度を調節することにより、同一樹脂層内のテーパー角について、複数の異なる角度を有することができる。   FIG. 4A shows a halftone mask 400. As described above, the halftone mask can have a total transmission region, an intermediate transmission region, and a light shielding region. Therefore, the present invention can have a plurality of different angles with respect to the taper angle in the same resin layer by adjusting the optical density of the halftone mask 400.

第2実施形態の液晶表示パネル100Bは、複数配向分割型垂直配向モード液晶表示装置であり、垂直配向制御突起11を1ドット内に設けることにより、ラビング処理を用いることなく、液晶分子の配向制御を実施することができる。   The liquid crystal display panel 100B of the second embodiment is a multi-alignment division type vertical alignment mode liquid crystal display device, and by providing the vertical alignment control protrusions 11 in one dot, the alignment control of liquid crystal molecules is performed without using a rubbing process. Can be implemented.

上述したように、本発明による垂直配向制御突起11のテーパーは、カラーフィルタ7の各色に応じて調節することができる。上記垂直配向制御突起11のテーパーの調節をすることにより、液晶分子の初期チルト角の最適化を図ることができる。そして、液晶表示パネルのホワイトバランスを良好にすることができる。   As described above, the taper of the vertical alignment control protrusion 11 according to the present invention can be adjusted according to each color of the color filter 7. By adjusting the taper of the vertical alignment control protrusion 11, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules can be optimized. And the white balance of a liquid crystal display panel can be made favorable.

詳しくは、図9(b)に示すように、赤カラーフィルタ7a上の配向制御突起11aが最も勾配が大きいテーパーを有し、緑カラーフィルタ7b上の配向制御突起11bのテーパーは、やや小さくなり、そして、青カラーフィルタ7c上の配向制御突起11cのテーパーは最も小さい角度を有することが好ましい。言い換えれば、赤カラーフィルタ7a上の液晶分子の初期チルト角が最も大きくなるように、配向制御突起11aのテーパーを大きくする。次に、緑カラーフィルタ7b上の液晶分子の初期チルト角がやや小さくなるように、配向制御突起11bのテーパーをやや小さくする。そして、青カラーフィルタ上の液晶分子の初期チルト角が一番小さくなるように、配向制御突起11cのテーパーを一番小さくすることが好ましい。なお、第1の実施形態の如く、表示領域の周辺領域の電極配線引き回し部分を形成するテーパーを有する下地層を設けても良い。この場合、下地層のテーパーの勾配は、少なくとも赤のカラーフィルタ上の樹脂層のテーパーより小さく、赤、緑、青の各カラーフィルタ上の樹脂層のテーパーより小さくすることが望ましい。   Specifically, as shown in FIG. 9B, the alignment control protrusion 11a on the red color filter 7a has a taper with the largest gradient, and the taper of the alignment control protrusion 11b on the green color filter 7b becomes slightly smaller. The taper of the orientation control protrusion 11c on the blue color filter 7c preferably has the smallest angle. In other words, the taper of the alignment control protrusion 11a is increased so that the initial tilt angle of the liquid crystal molecules on the red color filter 7a is maximized. Next, the taper of the alignment control protrusion 11b is slightly reduced so that the initial tilt angle of the liquid crystal molecules on the green color filter 7b is slightly reduced. It is preferable to make the taper of the alignment control protrusion 11c the smallest so that the initial tilt angle of the liquid crystal molecules on the blue color filter becomes the smallest. Note that, as in the first embodiment, a base layer having a taper that forms an electrode wiring routing portion in the peripheral region of the display region may be provided. In this case, it is desirable that the taper gradient of the base layer is at least smaller than the taper of the resin layer on the red color filter and smaller than the taper of the resin layer on each of the red, green, and blue color filters.

上記の内容を鑑みて、ハーフトーンマスク400の光学濃度設計について、下記に説明する。ただし、配向制御突起11の樹脂材料として、ネガ型レジストを用いて説明するが、本発明は、ポジ型レジストを用いて作製することも可能である。   In view of the above contents, the optical density design of the halftone mask 400 will be described below. However, although a negative resist is used as the resin material for the orientation control protrusions 11, the present invention can also be manufactured using a positive resist.

図10(a)に示す400Rの領域では、赤カラーフィルタ7a上の配向制御突起11aを作製し、400Gの領域では、緑カラーフィルタ7b上の配向制御突起11bを作製し、400Bの領域では、青カラーフィルタ7c上の配向制御突起11cを作製することができる。上記配向制御突起11の断面は、三角形状(または楕円形状)を有する突起のため、配向制御突起の頂点部において、全透過領域または比較的高い透過率領域が使用され、そして、傾斜部にかけて中間透過領域、平面領域は遮光領域が使用されている。   In the region of 400R shown in FIG. 10A, the alignment control protrusion 11a on the red color filter 7a is manufactured, in the region of 400G, the alignment control protrusion 11b on the green color filter 7b is manufactured, and in the region of 400B, An alignment control protrusion 11c on the blue color filter 7c can be produced. Since the cross section of the alignment control protrusion 11 is a protrusion having a triangular shape (or an elliptical shape), a total transmission region or a relatively high transmittance region is used at the apex of the alignment control protrusion, and an intermediate portion is formed between the inclined portions. A light shielding area is used for the transmission area and the planar area.

上述したように、配向制御突起11は、赤カラーフィルタ7a上の配向制御突起11aのテーパーが、一番勾配が大きいテーパーを有し、緑カラーフィルタ7b上の配向制御突起11bのテーパーは、やや小さくなり、そして、青カラーフィルタ7c上の配向制御突起11cのテーパーが、最も小さい角度を有している。そのため、400R領域全体の透過率が一番高く設計される。400G領域全体の透過率は、やや低くなり、そして、400B領域全体の透過率は、最も低くなる。つまり、400R、400G、400Bの順番に露光量は小さくなるため、現像処理を実施すると、各露光量に応じた膜厚が形成され、所望のテーパー角を得ることができる。要するに、400Rの領域で形成される配向制御突起11aが、最も大きな角度を有する勾配が大きいテーパーを有し、400Bの領域で形成される配向制御突起11cは、一番小さな角度を有するテーパーを有することができる。   As described above, the alignment control protrusion 11 has a taper in which the alignment control protrusion 11a on the red color filter 7a has the largest slope, and the alignment control protrusion 11b on the green color filter 7b has a slight taper. Then, the taper of the orientation control protrusion 11c on the blue color filter 7c has the smallest angle. Therefore, the transmittance of the entire 400R region is designed to be the highest. The transmittance of the entire 400G region is slightly lower, and the transmittance of the entire 400B region is the lowest. That is, since the exposure amounts are reduced in the order of 400R, 400G, and 400B, when the development process is performed, a film thickness corresponding to each exposure amount is formed, and a desired taper angle can be obtained. In short, the alignment control protrusion 11a formed in the 400R region has a taper with the largest angle and a large gradient, and the alignment control protrusion 11c formed in the 400B region has a taper with the smallest angle. be able to.

図10(b)は、グラデーションスリットフォトリソマスク500を示している。このグラデーションスリットフォトリソマスク500は、上記ハーフトーンマスク400と同じ光学濃度設計パターンを有することができる。したがって、400Rの領域で形成される配向制御突起11aが、最も大きな角度を有する勾配が大きいテーパーを有し、400Bの領域で形成される配向制御突起11cは、一番小さな角度を有するテーパーを有することができる。   FIG. 10B shows a gradation slit photolithographic mask 500. The gradation slit photolithographic mask 500 can have the same optical density design pattern as the halftone mask 400. Therefore, the orientation control protrusion 11a formed in the region of 400R has a taper having the largest angle and a large gradient, and the orientation control protrusion 11c formed in the region of 400B has a taper having the smallest angle. be able to.

図10(c)は、回折光を利用した細孔フォトリソマスク600である。従来とは異なるフォトリソグラフィ工程を実施することができる。例えば、ネガ型レジストを使用して露光を実施する場合について説明する。細孔フォトリソマスク600は、中間透過領域において、細孔が形成されている。上記細孔(円形開口)を有するフォトリソマスク600は、円形開口部において、光の回折が起こり、光の減衰が生じる。つまり、上記細孔フォトリソマスク600においても、上記ハーフトーンマスク等と同様に、中間透過領域を有し、また、全透過領域及び遮光領域を有することができる。例えば、同一樹脂層のエッジ部分に、上記円形開口パターンを設け、中間透過領域を作製することができる。要するに、細孔フォトリソマスク600は、ハーフトーンマスク400とグラデーションスリットフォトリソマスク500と同じ光学濃度設計パターンを有することができる。したがって、400Rの領域で形成される配向制御突起11aが、最も大きな角度を有する勾配が大きいテーパーを有し、400Bの領域で形成される配向制御突起11cは、一番小さな角度を有するテーパーを有することができる。   FIG. 10C shows a pore photolithographic mask 600 using diffracted light. A photolithography process different from the conventional one can be performed. For example, a case where exposure is performed using a negative resist will be described. The pore photolithographic mask 600 has pores formed in the intermediate transmission region. In the photolithographic mask 600 having the pores (circular openings), light is diffracted and light is attenuated in the circular openings. That is, the fine hole photolithographic mask 600 can also have an intermediate transmission region, a total transmission region, and a light shielding region, like the halftone mask and the like. For example, the intermediate transmission region can be produced by providing the circular opening pattern at the edge portion of the same resin layer. In short, the pore photolithographic mask 600 can have the same optical density design pattern as the halftone mask 400 and the gradation slit photolithographic mask 500. Therefore, the orientation control protrusion 11a formed in the region of 400R has a taper having the largest angle and a large gradient, and the orientation control protrusion 11c formed in the region of 400B has a taper having the smallest angle. be able to.

本発明は、上記ハーフトーンマスク400、グラデーションスリットマスク500又は細孔フォトリソマスク600を使用し、上記配向制御突起11のエッジ部におけるテーパーを、各カラーフィルタの色ごとに最適化することができる。   In the present invention, the halftone mask 400, gradation slit mask 500 or fine hole photolithographic mask 600 is used, and the taper at the edge portion of the alignment control projection 11 can be optimized for each color filter.

例えば、各カラーフィルタ7上の配向制御突起11の形状は、三角形状(楕円形状)を有することができる。そして、上記配向制御突起11の形状は、赤カラーフィルタ7a上の突起が、一番大きな勾配が大きいテーパーを有し、緑カラーフィルタ7b上の突起のテーパーは、やや小さくなり、そして、青カラーフィルタ7c上の突起のテーパーが、最も小さな角度を有していることが好まく、所望のテーパーの角度を作製することができる。   For example, the shape of the orientation control protrusion 11 on each color filter 7 can have a triangular shape (elliptical shape). The shape of the alignment control protrusion 11 is such that the protrusion on the red color filter 7a has a taper with the largest gradient, the taper of the protrusion on the green color filter 7b becomes slightly smaller, and the blue color It is preferable that the taper of the protrusion on the filter 7c has the smallest angle, and a desired taper angle can be produced.

(垂直配向制御用カラーフィルタ基板の製造工程)
図11および図12は、本発明の垂直配向制御用カラーフィルタ基板の製造工程の例について示す。
(Manufacturing process of color filter substrate for vertical alignment control)
11 and 12 show an example of the manufacturing process of the color filter substrate for vertical alignment control according to the present invention.

まず、図11の工程T01において、光反射膜8を形成する。光反射膜材料は、例えば、Al(アルミニウム)膜をスパッタ法などによって、例えば、0.2μm程度の一様な厚さで成膜する。そして、必要に応じて、フォトリソグラフィ法及びエッチング処理を行って、所望のパターンを形成する。   First, in step T01 of FIG. 11, the light reflecting film 8 is formed. As the light reflecting film material, for example, an Al (aluminum) film is formed with a uniform thickness of, for example, about 0.2 μm by sputtering or the like. Then, if necessary, a desired pattern is formed by performing a photolithography method and an etching process.

次に、工程T02において、絶縁膜9を形成する。この絶縁膜9は、SiO2などの無機膜をスパッタ法などによって成膜しても良いし、また、有機樹脂材料をスピナーなどで塗布しても良い。   Next, in step T02, the insulating film 9 is formed. As the insulating film 9, an inorganic film such as SiO2 may be formed by sputtering or the like, or an organic resin material may be applied by a spinner or the like.

次に、工程T03において、カラーフィルタを形成する。基板1bの全面を覆うようにカラーレジスト(赤)を塗布する。このカラーレジスト(赤)は、顔料によって着色されたアクリル系やエポキシ系などの樹脂材料によって、例えば、2μm程度の厚さに形成される。なお、ここでは、露光に伴う光反応で硬化するネガ型のカラーレジスト(赤)によって赤カラーフィルタ7aを所望の位置に形成する。次に基板1bの全面を覆うようにカラーレジスト(緑)を塗布する。このカラーレジスト(緑)は、ネガ型のカラーレジストであり、例えば、2μm程度の厚さに形成されている。そして、ネガ型のカラーレジスト(緑)によって緑カラーフィルタ7bを所望の位置に形成する。さらに、カラーレジスト(青)を塗布する。このカラーレジスト(青)は、ネガ型のレジストであり、例えば、2μm程度の厚さに形成されている。そして、ネガ型のカラーレジスト(青)によって青カラーフィルタ7cを所望の位置に形成する。   Next, in step T03, a color filter is formed. A color resist (red) is applied so as to cover the entire surface of the substrate 1b. The color resist (red) is formed to a thickness of, for example, about 2 μm by using an acrylic or epoxy resin material colored with a pigment. Here, the red color filter 7a is formed at a desired position with a negative color resist (red) that is hardened by a photoreaction associated with exposure. Next, a color resist (green) is applied so as to cover the entire surface of the substrate 1b. This color resist (green) is a negative type color resist, and is formed to a thickness of about 2 μm, for example. Then, the green color filter 7b is formed at a desired position with a negative color resist (green). Further, a color resist (blue) is applied. This color resist (blue) is a negative resist, and is formed to a thickness of about 2 μm, for example. Then, a blue color filter 7c is formed at a desired position with a negative color resist (blue).

この結果、図8および図9に示すように、赤カラーフィルタ7a、緑カラーフィルタ7b、青カラーフィルタ7cのそれぞれが、ストライプ配列を有し形成されている。   As a result, as shown in FIGS. 8 and 9, each of the red color filter 7a, the green color filter 7b, and the blue color filter 7c has a stripe arrangement.

次に、工程T04において、配向制御突起材料を塗布する。カラーフィルタ7を配置させた基板1bの全面を覆うように、配向制御突起材料を塗布する。この配向制御突起材料は、アクリルなどの透明樹脂材料を用いることが好ましい。   Next, in step T04, an orientation control protrusion material is applied. An orientation control protrusion material is applied so as to cover the entire surface of the substrate 1b on which the color filter 7 is disposed. It is preferable to use a transparent resin material such as acrylic as the orientation control protrusion material.

次に、工程T05において、配向制御突起11をパターニングする。上述したハーフトーンマスク400を用いて、露光を行う。上記ハーフトーンマスク400を用いることにより、カラーフィルタ7上の配向制御突起11のテーパーを所望の角度にし、最適化を図ることができる。つまり、赤カラーフィルタ7a、緑カラーフィルタ7b、青カラーフィルタ7c上に設けられた配向制御突起11のテーパーの角度を、個々に調節し、液晶分子の初期チルト角の最適化を図ることができる。つまり、本発明は、液晶の持つ波長依存性の影響によって発生するホワイトバランスのずれを、カラーフィルタ7の色ごとに液晶分子の初期チルト角の最適化を図ることにより、液晶表示装置の色味を改善することができる。   Next, in step T05, the alignment control protrusion 11 is patterned. Exposure is performed using the halftone mask 400 described above. By using the halftone mask 400, the taper of the alignment control protrusion 11 on the color filter 7 can be set to a desired angle for optimization. That is, the initial tilt angle of the liquid crystal molecules can be optimized by individually adjusting the taper angles of the alignment control protrusions 11 provided on the red color filter 7a, the green color filter 7b, and the blue color filter 7c. . In other words, the present invention optimizes the initial tilt angle of the liquid crystal molecules for each color of the color filter 7 to prevent the white balance shift caused by the wavelength dependency of the liquid crystal, thereby changing the color of the liquid crystal display device. Can be improved.

そして、工程T06において、透明電極(ITO)2bを形成することにより、図7に示す複数配向分割型垂直配向モードに採用することができるカラーフィルタ基板100b形成されるのである。   Then, in step T06, by forming the transparent electrode (ITO) 2b, the color filter substrate 100b that can be employed in the multi-orientation division type vertical alignment mode shown in FIG. 7 is formed.

したがって、本発明による配向制御用カラーフィルタ基板100bは、広視野角化液晶表示装置を提供するだけでなく、色味の良い、高画質な液晶表示装置を提供することができる。   Therefore, the color filter substrate 100b for orientation control according to the present invention can provide not only a wide viewing angle liquid crystal display device but also a liquid crystal display device with good color and high image quality.

尚、カラーフィルタ7または配向制御突起11と、透明電極2bの間には、保護膜が設けられていても良い。ただし、上記保護膜は、配向制御突起層の形状を損なわない薄膜が好ましい。   A protective film may be provided between the color filter 7 or the alignment control protrusion 11 and the transparent electrode 2b. However, the protective film is preferably a thin film that does not impair the shape of the orientation control protrusion layer.

[他の実施形態]
上記配向制御突起11の形状は、これに限定されるものではない。つまり、液晶分子の配向状態が、これ以外のものであっても良く、所望の配向状態に応じて、配向制御突起11の形状が選定されることが望ましい。
[Other Embodiments]
The shape of the orientation control protrusion 11 is not limited to this. That is, the alignment state of the liquid crystal molecules may be other than this, and it is desirable that the shape of the alignment control protrusion 11 is selected according to the desired alignment state.

[液晶表示パネルの製造方法]
次に、図1に示す液晶表示パネル100Aを製造する方法について、図13を参照して説明する。図13は、液晶表示パネル100Aの製造工程を示すフローチャートである。尚、液晶表示パネル100Bは、ラビング工程を省略できる以外、図13に示すフローチャートと同様に製造することができる。
[Method of manufacturing liquid crystal display panel]
Next, a method for manufacturing the liquid crystal display panel 100A shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG. FIG. 13 is a flowchart showing a manufacturing process of the liquid crystal display panel 100A. The liquid crystal display panel 100B can be manufactured in the same manner as the flowchart shown in FIG. 13 except that the rubbing process can be omitted.

まず、上述した方法により、同一層において複数の異なるテーパーを有するオーバーコート膜10を設けたマルチギャップ用カラーフィルタ基板100aが製造される(工程S1)。さらに、赤カラーフィルタ7a、緑カラーフィルタ7b、青カラーフィルタ7c、オーバーコート膜10の上に透明導電2bをスパッタリング法により成膜し、フォトリソグラフィ方式によってパターニングを実施し、透明電極膜2bを形成する(工程S2)。   First, the multi-gap color filter substrate 100a provided with the overcoat film 10 having a plurality of different tapers in the same layer is manufactured by the above-described method (step S1). Further, a transparent conductive film 2b is formed on the red color filter 7a, the green color filter 7b, the blue color filter 7c, and the overcoat film 10 by a sputtering method, and patterned by a photolithography method to form a transparent electrode film 2b. (Step S2).

上記オーバーコート膜10のテーパーは、複数の異なる角度を有し、この角度は、勾配が大きいテーパーと勾配が小さいテーパーを有している。上記勾配が大きいテーパーは、アクティブエリア内の透過表示領域と反射表示領域の境界部(領域Y)である。上記勾配が大きいテーパーを用いることにより、マルチギャップ方式を採用した半透過反射型液晶表示装置のコントラストを向上することができる。また、上記勾配が小さいテーパーは、電極配線引き回し部分(領域X)である。上記勾配が小さいテーパーを用いることにより、オーバーコート膜10上に設けられる透明電極2bの配線切れは発生しにくくなり、高品位の液晶表示装置を提供することができる。   The taper of the overcoat film 10 has a plurality of different angles, and this angle has a taper with a large gradient and a taper with a small gradient. The taper having a large gradient is a boundary portion (region Y) between the transmissive display region and the reflective display region in the active area. By using a taper with a large gradient, the contrast of a transflective liquid crystal display device employing a multi-gap method can be improved. Further, the taper having a small gradient is an electrode wiring routing portion (region X). By using a taper with a small gradient, it is difficult for the transparent electrode 2b provided on the overcoat film 10 to be disconnected, and a high-quality liquid crystal display device can be provided.

その後、透明電極膜2b上に図示しないポリイミド樹脂などからなる配向膜を形成する(工程S3)。   Thereafter, an alignment film made of polyimide resin or the like (not shown) is formed on the transparent electrode film 2b (step S3).

一方、対向基板1aを製作し(工程S4)、同様の方法で透明電極膜2aを形成し(工程S5)、さらに透明電極上に図示しない配向膜を形成する(工程S6)。   On the other hand, the counter substrate 1a is manufactured (step S4), the transparent electrode film 2a is formed by the same method (step S5), and an alignment film (not shown) is formed on the transparent electrode (step S6).

そして、シール材3を介して、上記の基板1aと基板1bを貼り合わせて、パネル構造を構成する(工程S7)。基板1aと基板1bとは、基板間に分散配置された図示しないスペーサーなどによって、ほぼ規定の基板間隔となるように貼り合わせられる。   And said board | substrate 1a and the board | substrate 1b are bonded together through the sealing material 3, and a panel structure is comprised (process S7). The substrate 1a and the substrate 1b are bonded to each other with a substantially prescribed substrate interval by a spacer (not shown) distributed between the substrates.

その後、シール材3の図示しない開口部から液晶4を注入し、シール材の開口部を紫外線硬化性樹脂などの封止材によって封止する(工程S8)。こうして主要なパネル構造が完成した後に、位相差板や偏光板などを必要に応じてパネル構造の外面上に貼着などの方法によって取り付け(工程S9)、図1に示すマルチギャップ方式を採用した半透過反射型液晶表示パネル100Aが完成する。   Thereafter, the liquid crystal 4 is injected from an opening (not shown) of the sealing material 3, and the opening of the sealing material is sealed with a sealing material such as an ultraviolet curable resin (step S8). After the main panel structure is completed in this way, a retardation plate, a polarizing plate, etc. are attached to the outer surface of the panel structure as needed by a method such as sticking (step S9), and the multi-gap method shown in FIG. 1 is adopted. A transflective liquid crystal display panel 100A is completed.

[電子機器]
次に、本発明によるカラーフィルタ基板を用いた液晶表示パネル100A、100Bを、電子機器の表示装置として用いる場合の実施形態について説明する。
[Electronics]
Next, an embodiment in which the liquid crystal display panels 100A and 100B using the color filter substrate according to the present invention are used as a display device of an electronic apparatus will be described.

図14は、本実施形態の全体構成を示す概略構成図である。ここに示す電子機器は、上記の液晶表示パネル100A、100Bと、これを制御する制御手段110を有する。ここでは、液晶表示パネル100A、100Bを、パネル構造体101と、半導体ICなどで構成される駆動回路102とに概念的に分けて描いてある。また、制御手段110は、表示情報出力源111と、表示情報処理回路112と、電源回路113と、タイミングジェネレータ114と、を有する。   FIG. 14 is a schematic configuration diagram showing the overall configuration of the present embodiment. The electronic apparatus shown here includes the liquid crystal display panels 100A and 100B and a control unit 110 that controls the liquid crystal display panels 100A and 100B. Here, the liquid crystal display panels 100A and 100B are conceptually divided into a panel structure 101 and a drive circuit 102 composed of a semiconductor IC or the like. Further, the control unit 110 includes a display information output source 111, a display information processing circuit 112, a power supply circuit 113, and a timing generator 114.

表示情報出力源111は、ROM(Read Only Memory)やRAM(Random Access Memory)などからなるメモリと、磁気記録ディスクや光記録ディスクなどからなるストレージユニットと、デジタル画像信号を同調出力する同調回路とを備え、タイミングジェネレータ114によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号などの形で表示情報を表示情報処理回路112に供給するように構成されている。   The display information output source 111 includes a memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory), a storage unit such as a magnetic recording disk or an optical recording disk, and a tuning circuit that tunes and outputs a digital image signal. The display information is supplied to the display information processing circuit 112 in the form of an image signal of a predetermined format based on various clock signals generated by the timing generator 114.

表示情報処理回路112は、シリアル−パラレル変換回路、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路などの周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像情報をクロック信号CLKとともに駆動回路102へ供給する。駆動回路102は、走査線駆動回路、データ線駆動回路及び検査回路を含む。また、電源回路113は、上述の各構成要素にそれぞれ所定の電圧を供給する。   The display information processing circuit 112 includes various known circuits such as a serial-parallel conversion circuit, an amplification / inversion circuit, a rotation circuit, a gamma correction circuit, and a clamp circuit, executes processing of input display information, and outputs image information thereof. Are supplied to the drive circuit 102 together with the clock signal CLK. The driving circuit 102 includes a scanning line driving circuit, a data line driving circuit, and an inspection circuit. The power supply circuit 113 supplies a predetermined voltage to each component described above.

次に、本発明に係る液晶表示パネルを適用可能な電子機器の具体例について図15を参照して説明する。   Next, specific examples of electronic devices to which the liquid crystal display panel according to the present invention can be applied will be described with reference to FIG.

まず、本発明に係る液晶表示パネルを、可搬型のパーソナルコンピュータ(いわゆるノート型パソコン)の表示部に適用した例について説明する。図15(a)は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュータ710は、キーボード711を備えた本体部712と、本発明に係る液晶表示パネルを適用した表示部713とを備えている。   First, an example in which the liquid crystal display panel according to the present invention is applied to a display unit of a portable personal computer (so-called notebook computer) will be described. FIG. 15A is a perspective view showing the configuration of this personal computer. As shown in the figure, the personal computer 710 includes a main body 712 having a keyboard 711 and a display 713 to which the liquid crystal display panel according to the present invention is applied.

続いて、本発明に係る液晶表示パネルを、携帯電話機の表示部に適用した例について説明する。図15(b)は、この携帯電話機の構成を示す斜視図である。   Next, an example in which the liquid crystal display panel according to the present invention is applied to a display unit of a mobile phone will be described. FIG. 15B is a perspective view showing the configuration of this mobile phone.

同図に示すように、携帯電話機720は、複数の操作ボタン721のほか、受話口722、送話口723とともに、本発明に係る液晶表示パネルを適用した表示部724を備える。   As shown in the figure, the mobile phone 720 includes a plurality of operation buttons 721, a receiver 722, a transmitter 723, and a display unit 724 to which the liquid crystal display panel according to the present invention is applied.

なお、本発明に係る液晶表示パネルを適用可能な電子機器としては、図15(a)に示したパーソナルコンピュータや図15(b)に示した携帯電話機の他にも、液晶テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、ディジタルスチルカメラなどが挙げられる。   Note that, as an electronic device to which the liquid crystal display panel according to the present invention can be applied, in addition to the personal computer shown in FIG. 15A and the mobile phone shown in FIG. Monitor direct-view video tape recorders, car navigation devices, pagers, electronic notebooks, calculators, word processors, workstations, videophones, POS terminals, digital still cameras, etc.

[変形例1]
また、本発明の電気光学装置は、パッシブマトリクス型の液晶表示パネルだけではなく、アクティブマトリクス型の液晶表示パネル(例えば、TFT(薄膜トランジスタ)やTFD(薄膜ダイオード)をスイッチング素子として備えた液晶表示パネル)にも同様に適用することが可能である。また、液晶表示パネルだけでなく、エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、Field Emission Display 及び Surface-Conduction Electron-Emitter Display などの電界放出表示装置などの各種の電気光学装置においても本発明を同様に適用することが可能である。
[Modification 1]
The electro-optical device of the present invention is not limited to a passive matrix type liquid crystal display panel, but also an active matrix type liquid crystal display panel (for example, a TFT (thin film transistor) or a TFD (thin film diode)) as a switching element. ) Can be applied in the same manner. In addition to liquid crystal display panels, various electro-optical devices such as electroluminescence devices, organic electroluminescence devices, plasma display devices, electrophoretic display devices, field emission displays such as Field Emission Display and Surface-Conduction Electron-Emitter Display The present invention can be similarly applied to an apparatus.

[変形例2]
本発明は、上述したフォトリソマスクを用いる方法以外にも、他の方法として、通常の遮光領域と全透過領域からなるフォトリソマスクを用いて、プロキシミテイ・ギャップおよび露光量の条件の最適化を図り、複数回露光を実施することにより、製造することができる。また、同一マスクにて、プロキシミテイ・ギャップおよび露光量の条件の変更することにより、同一層におけるテーパーの角度を、さらに変更することも可能であるため、低コストにもつながる。
[Modification 2]
In addition to the method using the photolithography mask described above, the present invention uses, as another method, a photolithography mask composed of a normal light-shielding region and a total transmission region to optimize the proximity gap and exposure amount conditions. It can be manufactured by performing multiple exposures. Further, by changing the proximity gap and exposure amount conditions with the same mask, it is possible to further change the taper angle in the same layer, leading to low cost.

以上のように、本発明の電気光学装置は視認性を向上することができる。   As described above, the electro-optical device of the present invention can improve visibility.

本発明に関する液晶表示パネルの断面図を示す。1 is a cross-sectional view of a liquid crystal display panel according to the present invention. 本発明のカラーフィルタ基板の平面図を示す。The top view of the color filter board | substrate of this invention is shown. (a)本発明のカラーフィルタ基板の拡大図を示す、(b)本発明のカラーフィルタの斜視図を示す、(c)本発明のカラーフィルタ基板の断面図を示す。(A) An enlarged view of the color filter substrate of the present invention is shown, (b) A perspective view of the color filter of the present invention is shown, (c) A sectional view of the color filter substrate of the present invention is shown. (a)本発明に関するフォトリソマスク例を示す、(b)本発明に関するフォトリソマスク例を示す。(A) A photolithographic mask example related to the present invention is shown. (B) A photolithographic mask example related to the present invention is shown. 本発明のカラーフィルタ基板の製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the color filter substrate of this invention. 本発明のカラーフィルタ基板の製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the color filter substrate of this invention. 本発明に関する液晶表示パネルの断面図を示す。1 is a cross-sectional view of a liquid crystal display panel according to the present invention. 本発明のカラーフィルタ基板の平面図を示す。The top view of the color filter board | substrate of this invention is shown. (a)本発明のカラーフィルタ基板の拡大図を示す、(b)本発明のカラーフィルタ基板の断面図を示す、(c)本発明のカラーフィルタ基板の斜視図を示す。(A) An enlarged view of the color filter substrate of the present invention is shown, (b) A sectional view of the color filter substrate of the present invention is shown, (c) A perspective view of the color filter substrate of the present invention is shown. (a)本発明に関するフォトリソマスク例を示す、(b)本発明に関するフォトリソマスク例を示す、(c)本発明に関するフォトリソマスク例を示す。(A) A photolitho mask example related to the present invention is shown, (b) a photolitho mask example related to the present invention is shown, and (c) a photolitho mask example related to the present invention is shown. 本発明のカラーフィルタ基板の製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the color filter substrate of this invention. 本発明のカラーフィルタ基板の製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the color filter substrate of this invention. 本発明を適用した液晶表示パネルの製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the liquid crystal display panel to which this invention is applied. 本発明を適用した液晶表示パネルを利用する電子機器の構成を示す。1 illustrates a configuration of an electronic device using a liquid crystal display panel to which the present invention is applied. 本発明を適用した液晶表示パネルを備えた電子機器の例を示す。The example of the electronic device provided with the liquid crystal display panel to which this invention is applied is shown.

符号の説明Explanation of symbols

1a、1b 基板 、 2a、2b 透明電極 、4 液晶層 、
7 カラーフィルタ 、 7a 赤カラーフィルタ 、
7b 緑カラーフィルタ 、 7c 緑カラーフィルタ 、
8 光反射膜 、 9 絶縁膜 、
10 オーバーコート膜 、11 配向制御突起 、
100A、100B 液晶表示パネル 、
100a、100b カラーフィルタ基板 、
200、300、400、500、600 フォトリソマスク 、
1a, 1b substrate, 2a, 2b transparent electrode, 4 liquid crystal layer,
7 color filter, 7a red color filter,
7b Green color filter, 7c Green color filter,
8 Light reflecting film, 9 Insulating film,
10 overcoat film, 11 orientation control protrusion,
100A, 100B liquid crystal display panel,
100a, 100b color filter substrate,
200, 300, 400, 500, 600 photolithography mask,

Claims (7)

一対の基板と、前記一対の基板上に設けられた電極と、前記一対の基板間に挟持される液晶と、
前記電極よりなる画素領域と、複数の前記画素領域からなる表示領域とを備える液晶表示装置であって、
前記表示領域に赤カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、青カラーフィルタが形成され、前記各々のカラーフィルタ上に配向制御突起を具備し、
前記配向制御突起の各々が有するテーパーの勾配が互いに異なっていることを特徴とする液晶表示装置。
A pair of substrates, an electrode provided on the pair of substrates, a liquid crystal sandwiched between the pair of substrates,
A liquid crystal display device comprising a pixel region composed of the electrodes and a display region composed of a plurality of the pixel regions,
A red color filter, a green color filter, and a blue color filter are formed in the display region, and each of the color filters has an alignment control protrusion.
2. A liquid crystal display device according to claim 1, wherein the alignment control protrusions have different taper gradients.
前記赤カラーフィルタ上にある配向制御突起のテーパーの勾配は、他のカラーフィルタ上にある配向制御突起のテーパーの勾配よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。   2. The electro-optical device according to claim 1, wherein a taper gradient of the alignment control protrusion on the red color filter is larger than a taper gradient of the alignment control protrusion on the other color filter. 前記緑カラーフィルタ上にある配向制御突起のテーパーの勾配は、青カラーフィルタ上にある樹脂層のテーパーの勾配よりも大きいことを特徴とする請求項7に記載の電気光学装置。   8. The electro-optical device according to claim 7, wherein a taper gradient of the alignment control protrusion on the green color filter is larger than a taper gradient of the resin layer on the blue color filter. 一対の基板と、前記一対の基板上に設けられた電極と、前記一対の基板間に挟持される液晶と、
前記電極よりなる画素領域と、複数の前記画素領域からなる表示領域とを備える液晶表示装置のし製造方法であって、
前記表示領域に赤カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、青カラーフィルタを形成する工程と、前記各々のカラーフィルタ上に配向制御突起を形成する工程を有し、
前記配向制御突起を形成する工程では、前記配向制御突起の各々が有するテーパーの勾配を互いに異なるように形成する
ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
A pair of substrates, an electrode provided on the pair of substrates, a liquid crystal sandwiched between the pair of substrates,
A method for manufacturing a liquid crystal display device comprising a pixel region comprising the electrodes and a display region comprising a plurality of the pixel regions,
Forming a red color filter, a green color filter, and a blue color filter in the display area; and forming an alignment control protrusion on each of the color filters,
The method of manufacturing a liquid crystal display device, wherein in the step of forming the alignment control protrusion, the taper gradients of the alignment control protrusions are different from each other.
前記配向制御突起を形成する工程では、全透過領域、複数の中間透過領域、遮光領域を有するフォトリソマスクを使用することを特徴とする請求項4に記載の液晶表示装置の製造方法。   5. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 4, wherein in the step of forming the alignment control protrusion, a photolithography mask having a total transmission region, a plurality of intermediate transmission regions, and a light shielding region is used. 前記配向制御突起を形成する工程では、回折露光用のフォトリソマスクを使用し、前記配向制御突起を回折露光してパターニングを実施することを特徴とする請求項4に記載の液晶表示装置の製造方法。   5. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 4, wherein, in the step of forming the alignment control protrusion, patterning is performed by diffracting and exposing the alignment control protrusion using a photolithography mask for diffraction exposure. . 請求項1乃至3のいずれかに記載の液晶表示装置を備えることを特徴とする電子機器。
An electronic apparatus comprising the liquid crystal display device according to claim 1.
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