JP2005331432A - Thermal analyzer - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal analyzer capable of preventing measuring sensitivity from getting worse by heat radiation from a sample, and having high strength for supporting a sample mounting part such as a thermosensitive sheet. <P>SOLUTION: This thermal analyzer has the thermosensitive sheet 21 for mounting the sample, a balance beam 19 for supporting the thermosensitive sheet 21, and a thermocouple 15 with a temperature measuring part fixed to the thermosensitive sheet 21. In the thermal analyzer, the thermosensitive sheet 21 is supported with the balance beam 19 by a wire 16 having one end fixed to the thermosensitive sheet 21 and having the other end engaged with the balance beam 19, and a space T is provided between the thermosensitive sheet 21 and the balance beam 19. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、支持棒に設けた感熱板上に試料を載せた状態で、当該試料の熱的な特性を測定する熱分析装置に関する。   The present invention relates to a thermal analyzer that measures the thermal characteristics of a sample in a state where the sample is placed on a heat sensitive plate provided on a support rod.

熱分析装置には、TG(Thermogravimetry:熱重量測定)装置、DTA(Differential Thermal Analysis:示差熱分析)装置、DSC(Differential Scanning Calorimeter:示差走査熱量測定)装置、その他種々の型式のものがある。TG装置とは、温度の変化あるいは時間の経過に対して、試料である化合物の重量変化を測定する装置である。DTA装置とは、試料と熱的に安定な標準物質を同時に加熱して試料が熱に反応した際に両者の間に現れた温度差を測定し、その温度差から試料に発生した熱変化を知る装置である。また、DSC装置とは、加熱、冷却または一定温度下にある試料が、吸収または発散する熱量を測定する装置である。   Thermal analysis apparatuses include a TG (Thermogravimetry) apparatus, a DTA (Differential Thermal Analysis) apparatus, a DSC (Differential Scanning Calorimeter) apparatus, and various other types. A TG device is a device that measures a change in weight of a compound as a sample with respect to a change in temperature or the passage of time. A DTA device measures the temperature difference that occurs between a sample and a thermally stable standard substance at the same time when the sample reacts to heat, and measures the heat change generated in the sample from the temperature difference. A device to know. A DSC apparatus is an apparatus that measures the amount of heat absorbed or dissipated by a sample under heating, cooling, or constant temperature.

これらの熱分析装置の中には、支持棒に設けた感熱板上に試料を載せた状態で測定を行うものがある。例えば、TG装置は、支持棒として天秤用ビームを用いて、その天秤用ビームの回転振れに基づいて試料の熱的な特性を測定する熱分析装置として知られている(例えば、特許文献1参照)。   Some of these thermal analyzers perform measurement with a sample placed on a heat sensitive plate provided on a support rod. For example, a TG device is known as a thermal analysis device that uses a balance beam as a support rod and measures the thermal characteristics of a sample based on rotational shake of the balance beam (see, for example, Patent Document 1). ).

特開平5−052732号公報(第2〜3頁、図1)JP-A-5-052732 (pages 2 and 3, FIG. 1)

ところで、上記特許文献1に開示された支持棒を用いた熱分析装置では、例えば図7(a)に示すように、熱電対115が支持棒119の中を貫通していた。そして、その熱電対115の先端、すなわち測温部は感熱板121の底面にスポット溶接によって固着されていた。これにより、感熱板121の温度が熱電対115によって検出されていた。また、熱電対115は、それのみによって感熱板121を所定の測定位置Yに置くという機能も果たしていた。つまり、支持棒119は、熱電対115を介して感熱板121を測定位置Yに支持していた。測定対象である試料を収容した試料容器104は、感熱板121の上に置かれる。   By the way, in the thermal analysis apparatus using the support rod disclosed in Patent Document 1, the thermocouple 115 penetrates through the support rod 119 as shown in FIG. The tip of the thermocouple 115, that is, the temperature measuring unit, was fixed to the bottom surface of the heat sensitive plate 121 by spot welding. Thereby, the temperature of the heat sensitive plate 121 was detected by the thermocouple 115. Moreover, the thermocouple 115 also fulfilled the function of placing the heat sensitive plate 121 at a predetermined measurement position Y by itself. That is, the support bar 119 supported the heat sensitive plate 121 at the measurement position Y via the thermocouple 115. A sample container 104 containing a sample to be measured is placed on a heat sensitive plate 121.

また、感熱板121を支持するためのその他の構造として、図7(b)に示すように、感熱板121にパイプ117を溶接し、そのパイプ117に支持棒119を挿入して感熱板121を支持していたものもあった。   Further, as another structure for supporting the heat sensitive plate 121, as shown in FIG. 7B, a pipe 117 is welded to the heat sensitive plate 121, and a support bar 119 is inserted into the pipe 117 so that the heat sensitive plate 121 is attached. Some supported it.

図7(a)のように、熱電対115のみによって感熱板121を支持する構造では、熱電対115の強度が低いために感熱板121を支持する強度が不足していた。そのため、試料容器104を感熱板121に対して着脱する際に、感熱板121の位置が動いてしまったり、感熱板121が傾いてしまうおそれがあった。また、図7(b)のように、パイプ117を用いて感熱板121を支持する構造では、感熱板121を支持する強度は十分であるが、感熱板121の上に載置された試料容器104の内部にある試料が熱的変化を起こした際に、感熱板121からパイプ117、そして支持棒119を通して熱が逃げていた。これにより、測定の感度が低下するおそれがあった。   As shown in FIG. 7A, in the structure in which the heat sensitive plate 121 is supported only by the thermocouple 115, the strength of supporting the heat sensitive plate 121 is insufficient because the strength of the thermocouple 115 is low. Therefore, when the sample container 104 is attached to or detached from the heat sensitive plate 121, the position of the heat sensitive plate 121 may move or the heat sensitive plate 121 may be inclined. Further, as shown in FIG. 7B, the structure for supporting the thermal plate 121 using the pipe 117 has sufficient strength to support the thermal plate 121, but the sample container placed on the thermal plate 121. When the sample inside 104 caused a thermal change, heat escaped from the heat sensitive plate 121 through the pipe 117 and the support bar 119. As a result, the sensitivity of the measurement may be reduced.

本発明は上記の問題点に鑑みて成されたものであって、試料の熱が逃げることによる測定感度の低下を防止し、且つ、感熱板等といった試料載置部を支持する強度が強い熱分析装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and prevents a decrease in measurement sensitivity due to the escape of the heat of the sample, and a strong heat that supports the sample mounting portion such as a heat sensitive plate. An object is to provide an analyzer.

上記の目的を達成するため、本発明に係る熱分析装置は、試料を載せる感熱板と、該感熱板に測温部が固着される熱電対と、該熱電対を支持する支持棒と、一端が前記感熱板に固着され他端が前記支持棒に係合するワイヤとを有し、前記感熱板と前記支持棒との間には空間が設けられることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a thermal analysis apparatus according to the present invention includes a thermosensitive plate on which a sample is placed, a thermocouple to which a temperature measuring unit is fixed to the thermosensitive plate, a support rod that supports the thermocouple, and one end. Has a wire fixed to the heat sensitive plate and the other end engaged with the support rod, and a space is provided between the heat sensitive plate and the support rod.

ここでいう固着とは、ワイヤと感熱板とが互いに相対移動しないように、例えば、溶接や接着剤等により接合されている状態のことである。また、ここでいう係合とは、ワイヤが支持棒に対して相対的に位置変動しようとするときに、支持棒がそのワイヤの位置変動を阻止するように機能するような、ワイヤと支持棒との関係のことである。例えば、ワイヤが支持棒に対して位置不動に固定された状態や、支持棒に緩く又は比較的きつく嵌合するパイプの外周面にワイヤを固着させる状態等が上記の係合として考えられる。   The term “fixed” as used herein refers to a state in which the wire and the heat sensitive plate are joined by welding, an adhesive, or the like so as not to move relative to each other. The term “engagement” as used herein means that the wire and the support rod function so that the support rod functions to prevent the wire from changing its position when the wire is about to move relative to the support rod. Is the relationship. For example, a state where the wire is fixed in a fixed position with respect to the support rod, a state where the wire is fixed to the outer peripheral surface of a pipe which is loosely or relatively tightly fitted to the support rod, and the like are considered as the above-mentioned engagement.

また、熱電対は、異なった材料から成る導電線を2点で接合したものである。この熱電対においては、接合した2点をそれぞれ異なった温度雰囲気に保つと起電力が生じる。この起電力の大きさは、導電線を形成する材料の種類と導電線の接合点における温度差によって左右される。従って、一つの接合点の温度を一定に保った状態で起電力を検出すれば、他方の接合点における温度を測定することができる。本発明において熱電対の測温部とは、上記2つの接合点のうちの1つである。この測温部を感熱板に固着すれば、感熱板に載置した試料の温度変化を測定することができる。また、熱電対は、その測温部を感熱板に固着させることにより、感熱板を支持棒に支持する役割も併せ持っている。   The thermocouple is formed by joining conductive wires made of different materials at two points. In this thermocouple, an electromotive force is generated when two joined points are maintained in different temperature atmospheres. The magnitude of this electromotive force depends on the type of material forming the conductive wire and the temperature difference at the junction of the conductive wire. Therefore, if the electromotive force is detected with the temperature at one junction point kept constant, the temperature at the other junction point can be measured. In the present invention, the temperature measuring portion of the thermocouple is one of the two junction points. If this temperature measuring unit is fixed to the heat sensitive plate, the temperature change of the sample placed on the heat sensitive plate can be measured. The thermocouple also has a role of supporting the heat sensitive plate on the support rod by fixing the temperature measuring part to the heat sensitive plate.

上記構成の熱分析装置においては、熱電対に加えてワイヤを用いて感熱板を支持棒に支持する構造にした。これにより、熱電対のみを用いて感熱板を支持する構造に比べて感熱板を支持する強度が高くなるので、試料を着脱するときに感熱板の位置が動いたり、感熱板が傾いたりすることがなくなる。また、感熱板と支持棒とを接合するワイヤは線径が小さくて長い部材であるので熱容量が小さく、それ故、感熱板からワイヤを通じて支持棒へ逃げる熱の量を低減できる。これにより、測定の感度が低下することを防止できる。   In the thermal analysis apparatus having the above-described configuration, a heat sensitive plate is supported by a support rod using a wire in addition to a thermocouple. This increases the strength of supporting the heat sensitive plate compared to a structure that supports the heat sensitive plate using only a thermocouple, so the position of the heat sensitive plate moves or the heat sensitive plate tilts when attaching or detaching the sample. Disappears. Further, since the wire joining the heat sensitive plate and the support rod is a long member having a small wire diameter, the heat capacity is small. Therefore, the amount of heat escaping from the heat sensitive plate to the support rod through the wire can be reduced. Thereby, it can prevent that the sensitivity of a measurement falls.

本発明に係る熱分析装置においては、前記支持棒の端部にパイプを有し、該パイプを介して前記ワイヤが前記支持棒に係合することが望ましい。そしてこの場合には、前記パイプの前記支持棒の軸線方向に沿った長さは3mm以下であることが望ましい。こうすれば、ワイヤと支持棒との接触面積を小さくすることができる。これにより、感熱板からワイヤを通じて支持棒へ逃げる熱の量を低減できるので、測定の感度が低下することを防止できる。   In the thermal analysis apparatus according to the present invention, it is desirable that a pipe is provided at an end of the support bar, and the wire is engaged with the support bar via the pipe. In this case, the length of the pipe along the axial direction of the support rod is preferably 3 mm or less. If it carries out like this, the contact area of a wire and a support bar can be made small. As a result, the amount of heat escaping from the heat sensitive plate to the support rod through the wire can be reduced, so that the measurement sensitivity can be prevented from being lowered.

本発明に係る熱分析装置において、前記感熱板には、外方へ突出すると共に前記支持棒の軸線に対応する部分が間隔部分となるように並べられた複数の突片が設けられることが望ましい。そしてこの場合には、前記ワイヤは、前記支持棒の軸線を挟んで両側に設けられ、各ワイヤは前記複数の突片の1つに固着されることが望ましい。感熱板に突片を設ければ、感熱板の上に載せた試料が、その感熱板から落ちることを防止できる。   In the thermal analysis apparatus according to the present invention, it is desirable that the thermal plate is provided with a plurality of projecting pieces arranged so as to protrude outward and have portions corresponding to the axis of the support rod as spacing portions. . In this case, it is preferable that the wires are provided on both sides of the axis of the support rod, and each wire is fixed to one of the plurality of projecting pieces. If a protrusion is provided on the heat sensitive plate, it is possible to prevent the sample placed on the heat sensitive plate from falling off the heat sensitive plate.

また、複数の突片を、支持棒の軸線に対応する部分が間隔部分となるように設ければ、間隔部分において突片に触れることなく試料を把持することができるので、感熱板に対する試料の着脱を容易に行うことができる。さらに、ワイヤを支持棒の軸線を挟んで両側に設け、各ワイヤを1つの突片に固着させるようにすれば、感熱板は、自らの両側であって略左右対称である位置においてワイヤによって支持される。その結果、感熱板をより安定に支持することができる。   In addition, if a plurality of projecting pieces are provided so that the portion corresponding to the axis of the support rod is an interval portion, the sample can be gripped without touching the projecting piece at the interval portion. It can be easily attached and detached. Furthermore, if the wires are provided on both sides of the axis of the support rod and each wire is fixed to one projecting piece, the heat sensitive plate is supported by the wires at positions that are substantially symmetrical on both sides of the plate. Is done. As a result, the heat sensitive plate can be supported more stably.

本発明に係る熱分析装置においては、感熱板に突片を4個設け、前記支持棒から見て手前側2個の突片に前記ワイヤが固着されることが望ましい。突片が4個であれば、感熱板上において、支持棒の軸線に対応する部分に間隔部分を確実に設けることができる。こうすれば、試料の着脱を容易に行うことができる。また、手前側2個の突片にワイヤを固着すれば、ワイヤの形状、および感熱板を支持する部分の構造を簡単にすることができる。   In the thermal analyzer according to the present invention, it is desirable that four protrusions are provided on the heat sensitive plate, and the wire is fixed to the two protrusions on the near side as viewed from the support rod. If there are four projecting pieces, a spacing portion can be reliably provided on a portion corresponding to the axis of the support bar on the heat sensitive plate. In this way, the sample can be easily attached and detached. Further, if the wire is fixed to the two front projecting pieces, the shape of the wire and the structure of the portion that supports the heat sensitive plate can be simplified.

本発明に係る熱分析装置において、前記ワイヤは前記熱電対と同じ材料であることが望ましい。こうすれば、新たな材料を用いてワイヤを形成する必要がないので、材料を節約できる。   In the thermal analysis apparatus according to the present invention, the wire is preferably made of the same material as the thermocouple. In this way, it is not necessary to form a wire using a new material, so that the material can be saved.

本発明に係る熱分析装置において、前記ワイヤは前記熱電対と同じ断面形状を有することが望ましい。こうすれば、熱電対を構成する導電線をワイヤとして用いることができるので、材料を節約できる。   In the thermal analysis apparatus according to the present invention, it is desirable that the wire has the same cross-sectional shape as the thermocouple. By doing so, the conductive wire constituting the thermocouple can be used as a wire, so that material can be saved.

本発明に係る熱分析装置において、前記ワイヤはロジウム(Rh)の含有率が5〜40%である白金ロジウム(PtRh)合金によって形成されることが望ましい。白金ロジウム合金においてロジウムの含有率が5%未満であると、白金ロジウム合金は軟らかくなり過ぎる。このような白金ロジウム合金を用いてワイヤを形成すれば、ワイヤが軟らかくなり過ぎるので、感熱板を支持する強度が低くなるおそれがある。一方、ロジウムの含有率が40%より高いと、白金ロジウム合金は硬くなり過ぎる。このような白金ロジウム合金を用いてワイヤを形成すれば、ワイヤが硬くなり過ぎるのでワイヤを加工し難くなる。ロジウムの含有率が5〜40%であれば、ワイヤが加工し易く、且つ感熱板を支持する強度を高くできる。   In the thermal analysis apparatus according to the present invention, the wire is preferably formed of a platinum rhodium (PtRh) alloy having a rhodium (Rh) content of 5 to 40%. If the rhodium content in the platinum rhodium alloy is less than 5%, the platinum rhodium alloy becomes too soft. If a wire is formed using such a platinum rhodium alloy, the wire becomes too soft, and the strength for supporting the heat sensitive plate may be lowered. On the other hand, if the rhodium content is higher than 40%, the platinum rhodium alloy becomes too hard. If a wire is formed using such a platinum rhodium alloy, the wire becomes too hard and it becomes difficult to process the wire. If the rhodium content is 5 to 40%, the wire can be easily processed and the strength for supporting the heat-sensitive plate can be increased.

また、白金ロジウム合金は、酸化し難い耐高熱材料の1つである。従って、感熱板から伝わる熱によってワイヤが酸化することを防止できる。なお、ワイヤは白金ロジウム合金以外の、酸化し難い耐高熱材料によって形成しても良い。   In addition, platinum rhodium alloy is one of high heat resistant materials that are difficult to oxidize. Therefore, it is possible to prevent the wire from being oxidized by the heat transmitted from the heat sensitive plate. Note that the wire may be formed of a heat resistant material that is difficult to oxidize other than a platinum rhodium alloy.

本発明に係る熱分析装置によれば、熱電対に加えてワイヤを用いて感熱板を支持棒に支持する構造にした。これにより、熱電対のみを用いて感熱板を支持する構造に比べて感熱板を支持する強度を高くできるので、感熱板に対して試料を着脱するときに感熱板の位置が動いたり、感熱板が傾いたりしなくなる。また、感熱板と支持棒とを接合するワイヤは熱容量が小さいので、感熱板からワイヤを通じて支持棒へ逃げる熱の量を低減できる。これにより、測定の感度が低下することを防止できる。   According to the thermal analyzer of the present invention, the heat sensitive plate is supported by the support rod using a wire in addition to the thermocouple. As a result, the strength of supporting the heat sensitive plate can be increased compared to a structure that supports the heat sensitive plate using only a thermocouple, so that the position of the heat sensitive plate moves when the sample is attached to or detached from the heat sensitive plate. Will not tilt. In addition, since the wire joining the heat sensitive plate and the support rod has a small heat capacity, the amount of heat escaping from the heat sensitive plate to the support rod through the wire can be reduced. Thereby, it can prevent that the sensitivity of a measurement falls.

以下、本発明に係る熱分析装置をTG装置に適用した場合を例に挙げて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されるものでないことは、もちろんである。   Hereinafter, the case where the thermal analysis apparatus according to the present invention is applied to a TG apparatus will be described as an example. Of course, the present invention is not limited to this embodiment.

図2は、本発明に係る熱分析装置の一実施形態であるTG装置を示している。図3は、図2に示す熱分析装置における天秤装置に関する部分を具体的に示している。また、図1は図2において矢印Pで示す試料載置部分を拡大して示している。図1(a)は図2の矢印Qに従って試料載置部を横方向から見た図であり、図1(b)は図2の矢印Sに従って試料載置部を平面的に見た図である。   FIG. 2 shows a TG device which is an embodiment of a thermal analysis device according to the present invention. FIG. 3 specifically shows a portion related to the balance device in the thermal analyzer shown in FIG. FIG. 1 is an enlarged view of the sample placement portion indicated by the arrow P in FIG. FIG. 1A is a diagram of the sample mounting unit viewed from the side according to the arrow Q in FIG. 2, and FIG. 1B is a diagram of the sample mounting unit viewed in plan according to the arrow S in FIG. is there.

図2に示すTG装置1は、試料の交換を自動的に行うサンプルチェンジャ2と、TG測定を行う天秤装置3とを有する。サンプルチェンジャ2は、複数の試料容器4が置かれる場所であるターンテーブル6と、試料容器4を搬送する搬送アーム7とを有する。測定対象である試料は、その適量が試料容器4の中に収容される。ターンテーブル6にはテーブル回転装置8が付設される。このテーブル回転装置8はターンテーブル6を中心軸線X0を中心として間欠的に回転させるための装置である。この間欠回転は、異なる試料容器4を順々に取出し位置P0へ運ぶための動作である。   A TG device 1 shown in FIG. 2 includes a sample changer 2 that automatically performs sample replacement and a balance device 3 that performs TG measurement. The sample changer 2 includes a turntable 6 where a plurality of sample containers 4 are placed, and a transport arm 7 that transports the sample containers 4. An appropriate amount of the sample to be measured is accommodated in the sample container 4. A table rotating device 8 is attached to the turntable 6. The table rotating device 8 is a device for rotating the turntable 6 intermittently about the central axis X0. This intermittent rotation is an operation for sequentially transporting different sample containers 4 to the removal position P0.

テーブル回転装置8は従来から周知の任意の回転駆動装置によって構成できるが、例えば、モータ等といった回転装置の回転を、ギヤ等といった動力伝達要素によってターンテーブル6へ伝達する構造を採用できる。この場合、ターンテーブル6の間欠的な回転を実現するために、動力源であるモータとしてステッピングモータやサーボモータを用いることが望ましい。また、ターンテーブル6の回転角度を測定するために、パルス発生器をターンテーブル6の回転軸に付設したり、あるいは、ターンテーブル6の回転軸の周りにフォトセンサを配置したりすることが望ましい。   The table rotating device 8 can be configured by any conventionally known rotary driving device. For example, a structure in which the rotation of a rotating device such as a motor is transmitted to the turntable 6 by a power transmission element such as a gear can be employed. In this case, in order to realize intermittent rotation of the turntable 6, it is desirable to use a stepping motor or a servo motor as a motor that is a power source. In order to measure the rotation angle of the turntable 6, it is desirable to attach a pulse generator to the rotation axis of the turntable 6 or to arrange a photo sensor around the rotation axis of the turntable 6. .

搬送アーム7は支軸9によって支持される。また、この支軸9にはアーム回転装置11及びアーム昇降装置12が付設される。アーム回転装置11は搬送アーム7を支軸9を中心として矢印Aのように回転させるための装置である。このアーム回転装置11は従来から周知の任意の回転駆動装置によって構成できるが、例えば、モータ等といった回転装置の回転を、ギヤ等といった動力伝達要素によって支軸9へ伝達する構造を採用できる。この場合、搬送アーム7の回転角度を希望の値に制御するために、動力源であるモータとしてステッピングモータやサーボモータを用いることが望ましい。また、搬送アーム7の回転角度を検知するために、パルス発生器を支軸9に付設したり、あるいは、支軸9の周りにフォトセンサを配置したりすることが望ましい。   The transfer arm 7 is supported by a support shaft 9. An arm rotating device 11 and an arm elevating device 12 are attached to the support shaft 9. The arm rotating device 11 is a device for rotating the transport arm 7 as shown by an arrow A around the support shaft 9. The arm rotation device 11 can be configured by any conventionally known rotary drive device. For example, a structure in which the rotation of a rotation device such as a motor is transmitted to the support shaft 9 by a power transmission element such as a gear can be employed. In this case, in order to control the rotation angle of the transfer arm 7 to a desired value, it is desirable to use a stepping motor or a servo motor as a motor that is a power source. Further, in order to detect the rotation angle of the transfer arm 7, it is desirable to attach a pulse generator to the support shaft 9 or arrange a photosensor around the support shaft 9.

次に、アーム昇降装置12は搬送アーム7を矢印Bのように昇降移動させるための装置である。このアーム昇降装置12は従来から周知の任意の往復直線駆動装置によって構成できるが、例えば、モータ等といった回転装置の回転を直線運動に変換する動力伝達要素を用いて構成できる。このように回転運動を直線運動に変換する要素としては、例えば、モータ等といった回転源に固定されたネジ軸と、支軸9に固定されると共にそのネジ軸にネジ嵌合するスライド部材とによって構成できる。この構成によれば、回転源が回転するとそれに固定されたネジ軸が回転し、そのとき、ネジ軸にネジ嵌合するスライド部材がネジ軸の軸線方向にスライド移動し、これにより、そのスライド部材が固定されている支軸9が直線移動して昇降移動する。なお、ウオームとウオームホイールとから成る動力変換要素を用いることもできる。   Next, the arm lifting device 12 is a device for moving the transport arm 7 up and down as indicated by an arrow B. The arm elevating device 12 can be configured by any conventionally known reciprocating linear drive device, but can be configured by using a power transmission element that converts rotation of a rotating device such as a motor into linear motion. As elements for converting the rotational motion into linear motion in this manner, for example, a screw shaft fixed to a rotation source such as a motor, and a slide member fixed to the support shaft 9 and screwed to the screw shaft. Can be configured. According to this configuration, when the rotation source rotates, the screw shaft fixed to the rotation source rotates, and at that time, the slide member that is screw-fitted to the screw shaft slides in the axial direction of the screw shaft. The support shaft 9 on which is fixed moves linearly and moves up and down. A power conversion element composed of a worm and a worm wheel can also be used.

次に、搬送アーム7の先端部分には、試料容器4をその左右の両側から把持するための一対のフィンガ13,13が矢印Cのように往復平行移動可能に、すなわち開閉移動可能に設けられている。また、搬送アーム7の内部にはフィンガ13,13を矢印Cのように開閉移動させるための開閉駆動装置14が設けられている。この開閉駆動装置14は従来から周知の任意の開閉駆動機構によって構成できる。   Next, a pair of fingers 13 and 13 for gripping the sample container 4 from both the left and right sides thereof are provided at the front end portion of the transfer arm 7 so as to be reciprocally movable in parallel as indicated by an arrow C, that is, to be able to open and close. ing. In addition, an opening / closing driving device 14 for opening and closing the fingers 13 and 13 as indicated by an arrow C is provided inside the transfer arm 7. The opening / closing drive device 14 can be constituted by any conventionally known opening / closing drive mechanism.

次に、天秤装置3は、支点を構成するトーションバンド18によって回転自在に支持された天秤用ビーム19と、試料の温度を変化させるための電気炉24とを有する。本実施形態では、標準物質を用いないで測定を行う場合を考えるものとし、従って、天秤用ビーム19は測定対象としての試料を載せるための1本だけが用いられる。仮に、標準物質を用いた測定を行う場合には、天秤用ビーム19は測定対象である試料のための1本と、標準物質のための1本の合計2本が用いられる。天秤用ビーム19は、図3に示すように、試料側ビーム19aと検出側ビーム19bとをソケット20を用いて連結することによって形成されている。この天秤用ビーム19は、例えばアルミナ(Al)によって形成される。 Next, the balance apparatus 3 includes a balance beam 19 rotatably supported by a torsion band 18 constituting a fulcrum, and an electric furnace 24 for changing the temperature of the sample. In the present embodiment, it is assumed that measurement is performed without using a standard substance, and therefore, only one balance beam 19 is used for placing a sample as a measurement target. If a measurement using a standard substance is performed, a total of two balance beams 19 are used, one for the sample to be measured and one for the standard substance. As shown in FIG. 3, the balance beam 19 is formed by connecting a sample side beam 19 a and a detection side beam 19 b using a socket 20. The balance beam 19 is made of alumina (Al 2 O 3 ), for example.

図1(a)および(b)に示すように、天秤用ビーム19は、その先端に感熱板21を有する。すなわち、天秤用ビーム19は感熱板21を支持する支持棒として働く。測定対象である試料を収容した試料容器4は、この感熱板21の上に載置されて測定に供される。また、天秤用ビーム19の内部には熱電対15が配設される。具体的には、天秤用ビーム19の内部に熱電対15より少し大きい径の貫通穴Zが設けられ、熱電対15はこの貫通穴Zに挿入される。   As shown in FIGS. 1A and 1B, the balance beam 19 has a heat sensitive plate 21 at the tip thereof. That is, the balance beam 19 serves as a support rod for supporting the heat sensitive plate 21. A sample container 4 containing a sample to be measured is placed on the heat sensitive plate 21 and used for measurement. Further, a thermocouple 15 is disposed inside the balance beam 19. Specifically, a through hole Z having a diameter slightly larger than that of the thermocouple 15 is provided in the balance beam 19, and the thermocouple 15 is inserted into the through hole Z.

本実施形態では、白金(Pt)線と白金ロジウム合金線を接合して成る熱電対15を用いている。この熱電対15では白金線と白金ロジウム線との接合部が測温部を構成する。この熱電対15の測温部を、例えば溶接によって感熱板21の底面に固着することにより、感熱板21に載置した試料に関する温度変化を測定することができる。   In this embodiment, a thermocouple 15 formed by joining a platinum (Pt) wire and a platinum rhodium alloy wire is used. In this thermocouple 15, the junction between the platinum wire and the platinum rhodium wire constitutes a temperature measuring unit. By fixing the temperature measuring part of the thermocouple 15 to the bottom surface of the heat sensitive plate 21 by welding, for example, the temperature change relating to the sample placed on the heat sensitive plate 21 can be measured.

感熱板21は、熱電対15を構成する導電線のうちの一方と同様に白金ロジウム合金によって形成される。さらに、感熱板21には複数個、例えば4個の突片25が設けられる。これらの突片25は、図1(a)に示すように、感熱板21の外周上であって、感熱板21の上面方向に突出するように設けられる。また、図1(b)に示すように、突片25は天秤用ビーム19の軸線X1に対応する部分が間隔部分D0になるように設けられる。   The heat sensitive plate 21 is formed of a platinum rhodium alloy in the same manner as one of the conductive wires constituting the thermocouple 15. Further, a plurality of, for example, four projecting pieces 25 are provided on the heat sensitive plate 21. As shown in FIG. 1A, these protrusions 25 are provided on the outer periphery of the heat sensitive plate 21 so as to protrude in the upper surface direction of the heat sensitive plate 21. Further, as shown in FIG. 1B, the projecting piece 25 is provided such that a portion corresponding to the axis X1 of the balance beam 19 is a spacing portion D0.

天秤用ビーム19における感熱板21を設けた側の端部には、パイプ17が嵌合する。このパイプ17は、天秤用ビーム19の軸線方向に沿った長さL0が3mm以下である。また、パイプ17の肉厚L1は0.1mm〜0.3mmである。そして、パイプ17の天秤用ビーム19の軸線X1を挟んだ両側には、ワイヤ16の一端が、例えば溶接によって固着される。また、ワイヤ16の他端は、天秤用ビーム19から見て手前側、すなわち、図1(a)および(b)において感熱板21の右側に位置する2個の突片25aに、例えば溶接によって固着される。   The pipe 17 is fitted to the end of the balance beam 19 on the side where the heat sensitive plate 21 is provided. The pipe 17 has a length L0 along the axial direction of the balance beam 19 of 3 mm or less. The wall thickness L1 of the pipe 17 is 0.1 mm to 0.3 mm. Then, one end of the wire 16 is fixed by welding, for example, on both sides of the axis 17 of the balance beam 19 of the pipe 17. In addition, the other end of the wire 16 is connected to two protrusions 25a positioned on the near side as viewed from the balance beam 19, that is, on the right side of the heat sensitive plate 21 in FIGS. It is fixed.

このワイヤ16は、熱電対15と同様に白金ロジウム合金によって形成され、その断面形状は熱電対15として用いる導電線と同じである。すなわち、熱電対15の導電線をワイヤ16として用いることができる。例えば、熱電対15の一方の導電線として直径0.3mm〜0.5mmの円形断面の白金ロジウム線を用い、ワイヤ16を同じ断面形状の白金ロジウム線によって形成できる。   The wire 16 is formed of a platinum rhodium alloy in the same manner as the thermocouple 15, and the cross-sectional shape thereof is the same as the conductive wire used as the thermocouple 15. That is, the conductive wire of the thermocouple 15 can be used as the wire 16. For example, a platinum rhodium wire having a circular cross section with a diameter of 0.3 mm to 0.5 mm is used as one conductive wire of the thermocouple 15, and the wire 16 can be formed of a platinum rhodium wire having the same cross sectional shape.

上記のように、本実施形態においては、熱電対15を感熱板21の底面に固着すると共に、天秤用ビーム19に嵌合するパイプ17を介してワイヤ16の一端を天秤用ビーム19に係合させ、そのワイヤ16の他端を感熱板21の突片25aに固着する。このようにして、感熱板21を天秤用ビーム19によって支持する。このとき感熱板21は、熱電対15とワイヤ16以外には接触しないように、すなわち感熱板21と天秤用ビーム19との間に空間Tを設けるように支持される。   As described above, in the present embodiment, the thermocouple 15 is fixed to the bottom surface of the heat sensitive plate 21 and one end of the wire 16 is engaged with the balance beam 19 via the pipe 17 fitted to the balance beam 19. The other end of the wire 16 is fixed to the protruding piece 25a of the heat sensitive plate 21. In this way, the heat sensitive plate 21 is supported by the balance beam 19. At this time, the heat sensitive plate 21 is supported so as not to contact other than the thermocouple 15 and the wire 16, that is, to provide a space T between the heat sensitive plate 21 and the balance beam 19.

図2に戻って、天秤用ビーム19の支点18の近傍には電磁補償装置22が設けられる。また、天秤用ビーム19の後端には振れ検知装置23が設けられる。電気炉24は通電によって発熱するヒータを内蔵すると共に感熱板21を収容できる容積を有する空間Rを有する。また、電気炉24には炉移動装置26が付設される。この炉移動装置26は、電気炉24を、感熱板21を覆う位置と感熱板21を外部へ開放する位置との間で平行移動させる装置である。図2では電気炉24が感熱板21を外部へ開放する位置に置かれた状態を示している。   Returning to FIG. 2, an electromagnetic compensator 22 is provided in the vicinity of the fulcrum 18 of the balance beam 19. In addition, a shake detection device 23 is provided at the rear end of the balance beam 19. The electric furnace 24 incorporates a heater that generates heat when energized, and has a space R having a volume that can accommodate the heat sensitive plate 21. In addition, a furnace moving device 26 is attached to the electric furnace 24. The furnace moving device 26 is a device that translates the electric furnace 24 between a position that covers the heat sensitive plate 21 and a position that opens the heat sensitive plate 21 to the outside. FIG. 2 shows a state where the electric furnace 24 is placed at a position where the heat sensitive plate 21 is opened to the outside.

炉移動装置26は、従来から周知の任意の平行移動装置によって構成できるが、例えば、レール等といったガイド要素によって電気炉24を直線移動自在に支持すると共に、直進駆動装置によって電気炉24を直線的に往復移動させるといった構成を採用できる。この場合、直進駆動装置は、例えば、ネジ軸にスライダをネジ嵌合させて、ネジ軸の軸回転によってスライダを直線移動させるようにした直進駆動装置や、周回移動するワイヤを用いた直進駆動装置等が考えられる。   The furnace moving device 26 can be configured by any conventionally known parallel moving device. For example, the electric furnace 24 is supported by a guide element such as a rail so as to be linearly movable, and the electric furnace 24 is linearly driven by a linear drive device. It is possible to adopt a configuration such as reciprocating. In this case, the linear drive device is, for example, a linear drive device in which a slider is screwed to a screw shaft and the slider is linearly moved by rotating the screw shaft, or a linear drive device using a wire that moves around. Etc. are considered.

電磁補償装置22は、例えば図3に示すように、支点18の近傍の天秤用ビーム19に固定された永久磁石27と、その永久磁石27の磁界領域内に配置されたコイル28と、電圧検出用の抵抗29とを有する。抵抗29の一端はTG出力信号を出力するために外部へ取り出され、そのTG出力信号はTG演算回路36へ入力される。このTG演算回路36は電磁補償装置22からのTG信号に基づいて、試料の温度変化に対する試料の重量変化を演算する。この演算結果は必要に応じて表示装置37によって視覚的に認識できるように表示される。この表示装置37としては、例えば、CRT(cathode ray tube)ディスプレイ、液晶ディスプレイ等といった映像表示装置や、プリンタ等といった印字表示装置が用いられる。   For example, as shown in FIG. 3, the electromagnetic compensator 22 includes a permanent magnet 27 fixed to a balance beam 19 near the fulcrum 18, a coil 28 disposed in the magnetic field region of the permanent magnet 27, and voltage detection. And a resistor 29 for use. One end of the resistor 29 is taken out to output a TG output signal, and the TG output signal is input to the TG arithmetic circuit 36. The TG calculation circuit 36 calculates a change in the weight of the sample with respect to a change in the temperature of the sample based on the TG signal from the electromagnetic compensator 22. The calculation result is displayed so that it can be visually recognized by the display device 37 as necessary. As the display device 37, for example, a video display device such as a CRT (cathode ray tube) display or a liquid crystal display, or a print display device such as a printer is used.

図2の振れ検知装置23は、例えば図3に示すように、天秤用ビーム19の後端に固定された光遮蔽板31と、その光遮蔽版31へ向けて光を放射する光源32と、その光源32に対して光遮蔽版31の反対側に配置された受光素子33とを有する。受光素子33の出力端子はPID(比例、積分、微分)制御回路34に接続される。そして、PID制御回路34の出力端子は電力増幅器43に接続される。   2 includes, for example, a light shielding plate 31 fixed to the rear end of the balance beam 19, a light source 32 that emits light toward the light shielding plate 31, as shown in FIG. And a light receiving element 33 disposed on the opposite side of the light shielding plate 31 with respect to the light source 32. The output terminal of the light receiving element 33 is connected to a PID (proportional, integral, derivative) control circuit 34. The output terminal of the PID control circuit 34 is connected to the power amplifier 43.

PID制御回路34は、周知の通り、フィードバック制御において偏差をゼロに近付けるP動作(Proportional action/比例動作)と、偏差を完全にゼロにするI動作(Integral action/積分動作)と、偏差を速やかに収束させるD動作(Derivative action/微分動作)とを組み合わせた制御を行うものである。このPID制御回路34は、例えば、図6に示すように、比例要素46、積分要素47及び微分要素48を有し、偏差入力をVeとし、PID出力をVoとしたとき、
Vo=Kp{1+(1/Ti)∫Vedt+Td・dVe/dt}
ここで、Kpは比例ゲイン、
Tiは積分時間
Tdは微分時間
の制御を行う。
As is well known, the PID control circuit 34 quickly performs the P action (Proportional action) that makes the deviation close to zero in feedback control, the I action (Integral action) that makes the deviation completely zero, and the deviation quickly. Control is performed in combination with a D action (Derivative action / differential action) that converges to. For example, as shown in FIG. 6, the PID control circuit 34 includes a proportional element 46, an integral element 47, and a differential element 48. When the deviation input is Ve and the PID output is Vo,
Vo = Kp {1+ (1 / Ti) ∫Vedt + Td · dVe / dt}
Where Kp is the proportional gain,
Ti is the integration time
Td controls the derivative time.

図3において、支点18を挟んで感熱板21の反対側の適所には、天秤用ビーム19の過剰な回転振れ、すなわち過剰な傾斜振れを防止するための一対のストッパ44が設けられる。天秤用ビーム19はこれらのストッパ44に当接するまでの角度範囲内で支点18を中心として回転できる。   In FIG. 3, a pair of stoppers 44 are provided at appropriate positions on the opposite side of the heat sensitive plate 21 with the fulcrum 18 interposed therebetween to prevent excessive rotation vibration of the balance beam 19, that is, excessive inclination vibration. The balance beam 19 can rotate around the fulcrum 18 within an angle range until it comes into contact with these stoppers 44.

図4に示すサンプルチェンジ制御回路39は、図2に示すサンプルチェンジャ2を用いて天秤用ビーム19の先端の感熱板21上に異なる試料容器4を交換して載せる処理を実現するための制御を行う。このサンプルチェンジ制御回路39は、熱分析装置の全体的な制御を司るホストコンピュータに接続される単独の制御回路、あるいは、そのホストコンピュータの一部を成す制御回路等として構成される。また、このサンプルチェンジ制御回路39は、例えば、コンピュータを用いないシーケンス回路や、一種のコンピュータであるプログラマブルコントローラや、一般的なコンピュータ等を用いて構成することができる。   The sample change control circuit 39 shown in FIG. 4 performs control for realizing a process of exchanging and placing different sample containers 4 on the heat sensitive plate 21 at the tip of the balance beam 19 using the sample changer 2 shown in FIG. Do. The sample change control circuit 39 is configured as a single control circuit connected to a host computer that controls the overall control of the thermal analyzer, or a control circuit that forms part of the host computer. The sample change control circuit 39 can be configured using, for example, a sequence circuit that does not use a computer, a programmable controller that is a kind of computer, a general computer, or the like.

サンプルチェンジ制御回路39の入力ポートには、試料交換信号S1が適時に入力される。この試料交換信号S1は、試料を交換すべきタイミングが到来したことをサンプルチェンジ制御回路39に指示するための信号であり、例えば、ホストコンピュータから送られたり、あるいは、キーボードや、その他の入力装置を通してオペレータから送られたりする。   The sample exchange signal S1 is input to the input port of the sample change control circuit 39 in a timely manner. This sample exchange signal S1 is a signal for instructing the sample change control circuit 39 that the timing for exchanging the sample has arrived. For example, the sample exchange signal S1 is sent from a host computer, or is sent from a host computer or other input device. Sent from the operator.

また、サンプルチェンジ制御回路39の出力ポートには、図2のテーブル回転装置8、アーム回転装置11、アーム昇降装置12、フィンガ開閉装置14、そして炉移動装置26が接続されている。サンプルチェンジ制御回路39は、決められたシーケンスに従ってこれらの機器を動作させることにより、所望の試料交換処理を実行する。   2 is connected to the output port of the sample change control circuit 39. The table rotating device 8, the arm rotating device 11, the arm lifting device 12, the finger opening / closing device 14, and the furnace moving device 26 shown in FIG. The sample change control circuit 39 executes a desired sample exchange process by operating these devices according to a predetermined sequence.

以下、上記構成より成るTG装置の動作を説明する。このTG装置はTG測定機能及び試料自動交換機能を有するので、それらを個別に説明する。   The operation of the TG device having the above configuration will be described below. Since this TG apparatus has a TG measurement function and a sample automatic exchange function, they will be described individually.

(TG測定機能)
TG測定を行う場合、図3において、トーションバンド18を支点として支持された天秤用ビーム19は、そのトーションバンド18を中心として矢印D−D’方向に自由に回転して傾斜移動できる状態にある。天秤用ビーム19の先端の感熱板21上には試料容器4が載置され、その試料容器4の中に測定対象である試料が収容される。TG測定を行う場合、電気炉24は破線で示す測定位置に置かれるので、試料容器4は電気炉24内に配置される。
(TG measurement function)
When performing TG measurement, in FIG. 3, the balance beam 19 supported with the torsion band 18 as a fulcrum is in a state of being able to freely rotate and tilt in the direction of arrow DD ′ around the torsion band 18. . A sample container 4 is placed on the heat sensitive plate 21 at the tip of the balance beam 19, and a sample to be measured is accommodated in the sample container 4. When performing the TG measurement, the electric furnace 24 is placed at a measurement position indicated by a broken line, so that the sample container 4 is disposed in the electric furnace 24.

天秤用ビーム19の後端に設けた遮蔽板31は光源32から受光素子33へ至る光路を遮っている。天秤用ビーム19が水平位置、すなわち平衡位置から傾くと受光素子33の出力信号は基準信号から変化するので、この信号変化を検知することにより、天秤用ビーム19の位置を検出できる。受光素子33の出力信号はPID制御回路34及び電力増幅器43を通して電磁補償装置22のコイル28へ制御信号として加えられる。コイル電流i0は検出用抵抗29によって電圧に変換され、その電圧はTG出力信号として出力される。   A shielding plate 31 provided at the rear end of the balance beam 19 blocks an optical path from the light source 32 to the light receiving element 33. When the balance beam 19 is tilted from the horizontal position, that is, from the equilibrium position, the output signal of the light receiving element 33 changes from the reference signal. Therefore, the position of the balance beam 19 can be detected by detecting this signal change. The output signal of the light receiving element 33 is applied as a control signal to the coil 28 of the electromagnetic compensator 22 through the PID control circuit 34 and the power amplifier 43. The coil current i0 is converted into a voltage by the detection resistor 29, and the voltage is output as a TG output signal.

電気炉24は所定の温度制御プログラムに従って温度変化し、それに応じて試料容器4内の試料の温度が変化する。この温度変化の際、試料に重量変化が生じると、天秤用ビーム19はD方向又はD’方向に振れる。この振れは受光素子33によって検出され、PID制御回路34及び電力増幅器43は天秤用ビーム19の振れを元に戻すための電流をコイル28に流す。コイル28に電流が流れると電磁力が発生し、この電磁力により磁石27が元の基準位置へ移動し、これにより、天秤用ビーム19の振れが補償される。   The temperature of the electric furnace 24 changes according to a predetermined temperature control program, and the temperature of the sample in the sample container 4 changes accordingly. When the weight changes in the sample during the temperature change, the balance beam 19 swings in the D direction or the D ′ direction. This shake is detected by the light receiving element 33, and the PID control circuit 34 and the power amplifier 43 cause the coil 28 to pass a current for returning the shake of the balance beam 19. When an electric current flows through the coil 28, an electromagnetic force is generated, and the magnet 27 moves to the original reference position by this electromagnetic force, and thereby the shake of the balance beam 19 is compensated.

この補償動作の際、コイル28に供給された電流i0は、天秤用ビーム19に作用した戻しモーメントに相当し、さらにその戻しモーメントは試料の重量の増減量に相当する。従って、電流i0に対応するTG出力電圧を測定することにより、試料の重量変化が測定、すなわち秤量される。この測定結果は表示装置37によって表示される。例えば、横軸に温度変化をとり、縦軸に重量変化をとったグラフの形で表示される。測定者はこのグラフを観察することにより、試料の温度特性を判定できる。   During this compensation operation, the current i0 supplied to the coil 28 corresponds to a return moment acting on the balance beam 19, and the return moment corresponds to an increase / decrease amount of the weight of the sample. Therefore, by measuring the TG output voltage corresponding to the current i0, the weight change of the sample is measured, ie, weighed. The measurement result is displayed by the display device 37. For example, it is displayed in the form of a graph in which the horizontal axis represents temperature change and the vertical axis represents weight change. The measurer can determine the temperature characteristic of the sample by observing this graph.

(試料自動交換機能)
以上のようにして、1つの試料に対してTG測定が終了すると、次いで、異なる試料に関してTG測定が行われる。この場合には、感熱板21上の試料を交換する必要がある。本実施形態ではその交換を図2のサンプルチェンジャ2を用いて自動的に、且つ連続して行うことができるようにしてある。
(Automatic sample exchange function)
As described above, when the TG measurement is completed for one sample, the TG measurement is performed for a different sample. In this case, the sample on the heat sensitive plate 21 needs to be exchanged. In this embodiment, the replacement can be performed automatically and continuously using the sample changer 2 of FIG.

図5はサンプルチェンジャ2によって自動的に試料を交換する際の動作の流れを示している。図4においてサンプルチェンジ制御回路39に試料交換信号S1が送られると、サンプルチェンジ制御回路39は図5に示す試料自動交換動作を実行する。すなわち、工程P1において、図2の炉移動装置26が作動して図3の電気炉24が鎖線で示す測定位置から実線で示す試料開放位置へ移動する。   FIG. 5 shows a flow of operation when the sample changer 2 automatically changes the specimen. In FIG. 4, when the sample change signal S1 is sent to the sample change control circuit 39, the sample change control circuit 39 executes the automatic sample change operation shown in FIG. That is, in the process P1, the furnace moving device 26 in FIG. 2 is operated, and the electric furnace 24 in FIG. 3 is moved from the measurement position indicated by the chain line to the sample opening position indicated by the solid line.

次に、図5の工程P2において試料の把持及び搬送作業が行われる。詳しくは、図2においてアーム昇降装置12が作動して搬送アーム7が降下し、フィンガ13の下端が試料容器4の左右両側まで降下する。次いで、開閉駆動装置14が作動してフィンガ13が閉移動し、試料容器4を把持する。次いで、アーム昇降装置12が作動して搬送アーム7が上昇し、さらにアーム回転装置11が作動して搬送アーム7が矢印Aのように回転移動する。これにより、試料容器4を把持したフィンガ13が天秤装置3の天秤用ビーム19の先端の感熱板21の上方位置まで運ばれる。   Next, in step P2 of FIG. 5, the sample is held and transported. Specifically, in FIG. 2, the arm lifting / lowering device 12 is operated to lower the transfer arm 7, and the lower end of the finger 13 is lowered to the left and right sides of the sample container 4. Next, the opening / closing drive device 14 is actuated to close the finger 13 and grip the sample container 4. Next, the arm elevating device 12 is operated to raise the transfer arm 7, and the arm rotating device 11 is further operated to rotate the transfer arm 7 as indicated by an arrow A. Accordingly, the finger 13 holding the sample container 4 is carried to a position above the heat sensitive plate 21 at the tip of the balance beam 19 of the balance device 3.

次に、図5の工程P3において、図2のアーム昇降装置12が作動して搬送アーム7が降下する。このようにして、フィンガ13,13によって把持された試料容器4は感熱板21の直上位置に置かれる。   Next, in the process P3 of FIG. 5, the arm lifting / lowering device 12 of FIG. 2 operates and the transfer arm 7 is lowered. In this way, the sample container 4 held by the fingers 13 and 13 is placed at a position directly above the heat sensitive plate 21.

次に、図5の工程P4において、図2のフィンガ13,13が開閉駆動装置14によって駆動されて開き、これにより、試料容器4が感熱板12上へ載せられる。さらに、図5の工程P5において、図2のアーム昇降装置12が作動して搬送アーム7が上昇し、さらに、アーム回転装置11が作動して搬送アーム7をターンテーブル6へ戻す。この後、既に説明したTG測定動作が適時に実行される。そして、上述した一連の動作を繰り返すことにより、複数の試料に対して自動的にTG測定が行なわれる。   Next, in step P4 of FIG. 5, the fingers 13 and 13 of FIG. 2 are driven and opened by the opening / closing drive device 14, whereby the sample container 4 is placed on the heat sensitive plate 12. Further, in step P5 of FIG. 5, the arm lifting device 12 of FIG. 2 operates to raise the transfer arm 7, and the arm rotation device 11 operates to return the transfer arm 7 to the turntable 6. Thereafter, the TG measurement operation already described is executed in a timely manner. Then, by repeating the series of operations described above, TG measurement is automatically performed on a plurality of samples.

ところで、熱分析装置では、感熱板21と感熱板21に載置された試料容器4とが何らかの原因により互いに付着してしまう現象が起きる場合がある。このような場合には、図1において試料容器4を感熱板21から持ち上げるときに試料容器4と共に、それに付着した感熱板21を持ち上げてしまうおそれがあり、その結果、感熱板21の位置がずれたり、感熱板21が傾いてしまうおそれがある。また、感熱板21上に試料容器4を載置する際においても、試料容器4または試料容器4を把持しているフィンガ13が感熱板21に触れることで、感熱板21の位置がずれたり、感熱板21が傾いてしまうおそれがある。   By the way, in the thermal analyzer, there may be a phenomenon in which the thermal plate 21 and the sample container 4 placed on the thermal plate 21 adhere to each other for some reason. In such a case, when the sample container 4 is lifted from the heat sensitive plate 21 in FIG. 1, the heat sensitive plate 21 attached to the sample container 4 may be lifted together. As a result, the position of the heat sensitive plate 21 is shifted. Or the heat sensitive plate 21 may be inclined. Further, when the sample container 4 is placed on the heat sensitive plate 21, the position of the heat sensitive plate 21 is shifted by the finger 13 holding the sample container 4 or the sample container 4 touching the heat sensitive plate 21. There is a possibility that the heat sensitive plate 21 is inclined.

特に、本実施形態のように、感熱板21に対して試料容器4を着脱することを、図2のようなサンプルチェンジャ2を用いて自動的に行なう場合には、一度、感熱板21の位置がずれると、サンプルチェンジャ2が誤動作を起こすおそれがある。具体的には、感熱板21の位置がずれたり、感熱板21が傾いたりすると、その後の動作においてサンプルチェンジャ2のフィンガ13が誤って感熱板21をつかんでしまったり、感熱板21を押してしまうおそれがあった。このことに関し、本実施形態では、熱電対15に加えて、ワイヤ16によって感熱板21を支持したので、感熱板21を支持するための機械的な強度が高くなり、それ故、上記のような感熱板21の位置ずれや傾きを防止できる。   In particular, when the sample container 4 is automatically attached to and detached from the thermal plate 21 using the sample changer 2 as shown in FIG. 2 as in this embodiment, the position of the thermal plate 21 is once. If they are shifted, the sample changer 2 may malfunction. Specifically, if the position of the heat sensitive plate 21 is shifted or the heat sensitive plate 21 is inclined, the finger 13 of the sample changer 2 erroneously grabs the heat sensitive plate 21 or pushes the heat sensitive plate 21 in the subsequent operation. There was a fear. In this regard, in this embodiment, since the heat sensitive plate 21 is supported by the wire 16 in addition to the thermocouple 15, the mechanical strength for supporting the heat sensitive plate 21 is increased. It is possible to prevent displacement and inclination of the heat sensitive plate 21.

また、図7(b)に示すように、感熱板121とパイプ117とを固着させた従来の構造では、感熱板121の底面がパイプ117に直接に接触していた。このような場合には、感熱板121とパイプ117との接触面積が大きいので、感熱板121からパイプ117を介して天秤用ビーム119へ熱が逃げてしまい、測定の感度が低下してしまうおそれがあった。   Further, as shown in FIG. 7B, in the conventional structure in which the heat sensitive plate 121 and the pipe 117 are fixed, the bottom surface of the heat sensitive plate 121 is in direct contact with the pipe 117. In such a case, since the contact area between the heat sensitive plate 121 and the pipe 117 is large, heat may escape from the heat sensitive plate 121 to the balance beam 119 via the pipe 117, and the sensitivity of measurement may be reduced. was there.

このことに関し、本実施形態では、図1(a)に示すように、感熱板21と天秤用ビーム19との間に空間Tを設けた。こうすることにより、感熱板21と天秤用ビーム19が直接に接触しないようにして感熱板21からの熱の逃げを防止している。また、パイプ17の天秤用ビーム19の軸線X1方向に沿った長さL0は3mm以下に設定されている。こうすることにより、ワイヤ16と天秤用ビーム19との接触面積を小さくすることができるので、感熱板21からワイヤ16を通じて天秤用ビーム19へ逃げる熱の量を低減できる。これにより、測定の感度が低下することを防止できる。   In this regard, in the present embodiment, a space T is provided between the heat sensitive plate 21 and the balance beam 19 as shown in FIG. In this way, heat escape from the heat sensitive plate 21 is prevented so that the heat sensitive plate 21 and the balance beam 19 are not in direct contact with each other. Further, the length L0 of the pipe 17 along the axis X1 direction of the balance beam 19 is set to 3 mm or less. By doing so, the contact area between the wire 16 and the balance beam 19 can be reduced, so that the amount of heat escaping from the heat sensitive plate 21 through the wire 16 to the balance beam 19 can be reduced. Thereby, it can prevent that the sensitivity of a measurement falls.

次に、本実施形態では、感熱板21から試料容器4が落下することを防止するための突片25を4個設けた。これらの突片25は、図1(a)に示すように、感熱板21の外周上であって、感熱板21の上面方向に突出するように設けられる。また、図1(b)に示すように、突片25は天秤用ビーム19の軸線X1に対応する部分が間隔部分D0になるように設けられる。複数の突片25をこのように設ければ、間隔部分D0において試料容器4を把持することができるので、試料容器4の着脱を容易に行うことができる。   Next, in the present embodiment, four projecting pieces 25 for preventing the sample container 4 from falling from the heat sensitive plate 21 are provided. As shown in FIG. 1A, these protrusions 25 are provided on the outer periphery of the heat sensitive plate 21 so as to protrude in the upper surface direction of the heat sensitive plate 21. Further, as shown in FIG. 1B, the projecting piece 25 is provided such that a portion corresponding to the axis X1 of the balance beam 19 is a spacing portion D0. If the plurality of projecting pieces 25 are provided in this manner, the sample container 4 can be gripped at the interval portion D0, so that the sample container 4 can be easily attached and detached.

また、ワイヤ16は、4個の突片25のうち、天秤用ビーム19から見て手前側に位置する2個の突片25aに固着するようにした。こうすれば、パイプ17に最も近い突片25aにワイヤ16を固着することになるので、短くて簡単な形状のワイヤ16を用いることができる。これにより、感熱板21を天秤用ビーム19に支持する構造を簡単にすることができる。また、ワイヤ16を天秤用ビーム19の軸線に関して対称の位置に設けることができるので、感熱板21を安定に支持することができる。   Further, the wire 16 is fixed to the two protruding pieces 25 a located on the near side as viewed from the balance beam 19 among the four protruding pieces 25. By doing so, the wire 16 is fixed to the projecting piece 25a closest to the pipe 17, so that the wire 16 having a short and simple shape can be used. Thereby, the structure which supports the thermal plate 21 to the balance beam 19 can be simplified. Moreover, since the wire 16 can be provided in a symmetrical position with respect to the axis of the balance beam 19, the heat sensitive plate 21 can be supported stably.

次に、感熱板21を支持するワイヤ16は、天秤用ビーム19の内部に配設された熱電対15と同じ材料を用いて形成できる。こうすれば、新たな材料を用いてワイヤ16を形成する必要がないので材料を節約できる。   Next, the wire 16 that supports the heat sensitive plate 21 can be formed using the same material as the thermocouple 15 disposed inside the balance beam 19. In this way, it is not necessary to form the wire 16 using a new material, so that the material can be saved.

本実施形態においては、熱電対15を構成する導電線の材料に白金ロジウム合金を用いた。白金ロジウム合金は耐高熱材料であり、高温の状態においても酸化しにくい材料である。従って、ワイヤ16を熱電対15と同じ白金ロジウム合金を用いて形成すれば、図3の電気炉24から発せられる熱、または感熱板21から伝わる熱によってワイヤ16が酸化することを防止できる。また、白金ロジウム合金は、ロジウムの含有率を低くすれば加工し易い材料にすることができるので、感熱板21を支持する部分を簡単に構成することができる。   In the present embodiment, a platinum rhodium alloy is used as the material of the conductive wire constituting the thermocouple 15. Platinum rhodium alloy is a high heat resistant material, and is a material that is not easily oxidized even at high temperatures. Therefore, if the wire 16 is formed using the same platinum rhodium alloy as the thermocouple 15, it is possible to prevent the wire 16 from being oxidized by the heat generated from the electric furnace 24 of FIG. 3 or the heat transmitted from the heat sensitive plate 21. Moreover, since the platinum rhodium alloy can be made into a material that can be easily processed if the rhodium content is lowered, the portion that supports the heat sensitive plate 21 can be easily configured.

次に、ワイヤ16に用いる白金ロジウム合金のロジウムの含有率は5〜40%であることが望ましい。その理由は、5%未満であると、白金ロジウム合金が軟らかくなり過ぎてしまい、この白金ロジウム合金を用いてワイヤ16を形成すると、感熱板21を天秤用ビーム19に支持する強度が低く、感熱板21から試料容器4を着脱する際に感熱板21の位置が動いてしまったり、感熱板21が傾いてしまうおそれがあるからである。また、40%を超えると、白金ロジウム合金が硬くなり過ぎてしまい、ワイヤ16を加工し難くなるからである。白金ロジウム合金のロジウムの含有率を5〜40%にすれば、加工し易いワイヤ16を形成でき、且つ、感熱板21を天秤用ビーム19に支持する強度を強くすることができる。   Next, it is desirable that the rhodium content of the platinum rhodium alloy used for the wire 16 is 5 to 40%. The reason is that if it is less than 5%, the platinum rhodium alloy becomes too soft. When the wire 16 is formed using this platinum rhodium alloy, the strength of supporting the heat sensitive plate 21 to the balance beam 19 is low, and the heat sensitive This is because when the sample container 4 is attached to or detached from the plate 21, the position of the heat sensitive plate 21 may move or the heat sensitive plate 21 may tilt. Further, if it exceeds 40%, the platinum rhodium alloy becomes too hard and it becomes difficult to process the wire 16. If the rhodium content of the platinum rhodium alloy is 5 to 40%, the wire 16 that can be easily processed can be formed, and the strength of supporting the heat sensitive plate 21 on the balance beam 19 can be increased.

(その他の実施形態)
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
(Other embodiments)
The present invention has been described with reference to the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the embodiments, and various modifications can be made within the scope of the invention described in the claims.

例えば、以上に説明した実施形態では、図1(a)および(b)に示したように、感熱板21の突片25を4個設けた。しかしながら、天秤用ビーム19の軸線X1に対応する部分に間隔部分D0を設けることができれば、4個以外の複数個の突片25を設けても良い。   For example, in the embodiment described above, as shown in FIGS. 1A and 1B, the four protruding pieces 25 of the heat sensitive plate 21 are provided. However, a plurality of projecting pieces 25 other than four may be provided as long as the spacing portion D0 can be provided in the portion corresponding to the axis X1 of the balance beam 19.

また、上記の実施形態では、ワイヤ16を天分用ビーム19に係合させるための要素としてパイプ17を用いた。しかしながら、このような要素はパイプ以外の要素によって実現することもできる。例えば、パイプ17と同じ金属材料を蒸着やメッキ加工によって天秤用ビーム19に付着させ、この付着要素にワイヤ16を固着させても良い。この場合には、付着要素の厚さは0.1mm未満にすることもできる。   Further, in the above embodiment, the pipe 17 is used as an element for engaging the wire 16 with the beam for heaven. However, such elements can also be realized by elements other than pipes. For example, the same metal material as that of the pipe 17 may be attached to the balance beam 19 by vapor deposition or plating, and the wire 16 may be fixed to the attachment element. In this case, the thickness of the attachment element can be less than 0.1 mm.

また、上記の実施形態では、断面形状が円形を成すワイヤ16を用いたが、円形以外に方形、三角形、楕円形またはその他の形状を成すワイヤ16を用いても良い。   In the above-described embodiment, the wire 16 having a circular cross-sectional shape is used. However, a wire 16 having a square shape, a triangular shape, an elliptical shape, or other shapes other than the circular shape may be used.

また、上記の実施形態では、試料容器4を交換する際に、図2に示すサンプルチェンジャ2を用いて自動的に交換作業を行う場合を示した。この場合には、試料容器4はフィンガ13によって把持され、感熱板21に対する着脱を行う。しかしながら、試料容器4の交換作業は、手動によって行うこともできる。この場合には、フィンガ13に代えてピンセットを用いて試料容器4を把持し、感熱板21に対して試料容器4を着脱することができる。   Moreover, in said embodiment, when replacing | exchanging the sample container 4, the case where the replacement | exchange operation | work was automatically performed using the sample changer 2 shown in FIG. 2 was shown. In this case, the sample container 4 is held by the finger 13 and is attached to and detached from the heat sensitive plate 21. However, the exchange operation of the sample container 4 can also be performed manually. In this case, the sample container 4 can be gripped by using tweezers instead of the finger 13, and the sample container 4 can be attached to and detached from the thermal plate 21.

また、上記の実施形態では、天秤用ビーム19を1本用いる方式のTG装置を例示した。しかしながら、本発明は、測定試料用の天秤用ビームと標準物質用の天秤用ビームの2本を用いる方式のTG装置にも適用できる。また、本発明は、天秤用ビームを用いる構造であって、天秤用ビームに試料を載置する、あらゆる種類の熱分析装置に対しても適用できる。また、天秤用ビーム以外の部材を支持棒とするあらゆる種類の熱分析装置に対しても適用できる。   Moreover, in said embodiment, the TG apparatus of the system which uses one balance beam 19 was illustrated. However, the present invention can also be applied to a TG apparatus using a balance beam for a measurement sample and a balance beam for a standard material. Further, the present invention has a structure using a balance beam, and can be applied to any kind of thermal analysis apparatus in which a sample is placed on the balance beam. Further, the present invention can also be applied to any kind of thermal analysis apparatus that uses a member other than the balance beam as a support rod.

本発明は、天秤用ビーム等といった支持棒を用いる構造の熱分析装置、例えばTG装置において試料を着脱する必要がある場合に好適に用いられる。また、本発明は、試料を自動的に交換する機能を奏するサンプルチェンジャを用いる場合においても有用である。   The present invention is preferably used when it is necessary to attach and detach a sample in a thermal analysis apparatus having a structure using a support rod such as a balance beam, for example, a TG apparatus. The present invention is also useful when using a sample changer that has a function of automatically exchanging samples.

本発明に係る熱分析装置の試料載置部を示す図であり、(a)は側面図を示し、(b)は平面図を示している。It is a figure which shows the sample mounting part of the thermal analyzer which concerns on this invention, (a) shows the side view, (b) has shown the top view. 本発明に係る熱分析装置の一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Embodiment of the thermal analyzer which concerns on this invention. 図2の熱分析装置の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of thermal analyzer of FIG. 図3の熱分析装置に用いられる電気制御系の一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of the electric control system used for the thermal analyzer of FIG. 図2の熱分析装置の動作の一例を示す工程図である。It is process drawing which shows an example of operation | movement of the thermal analyzer of FIG. 図3の熱分析装置で用いるPID制御回路の内部構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the internal structure of the PID control circuit used with the thermal analyzer of FIG. 従来の熱分析装置の2つの例を示す図である。It is a figure which shows two examples of the conventional thermal analyzer.

符号の説明Explanation of symbols

1.TG装置(熱分析装置)、 2.サンプルチェンジャ、 3.天秤装置、
4.試料容器、 6.ターンテーブル、 7.搬送アーム、 9.支軸、
13.フィンガ、 14.フィンガ開閉駆動装置、 15.熱電対、 16.ワイヤ、
17.パイプ、 18.トーションバンド、
19,19a,19b.天秤用ビーム(支持棒)、 20.ソケット、 21.感熱板、 24.電気炉、 25,25a.突片、 27.永久磁石、 28.コイル、
31.光遮蔽板、 32.光源、 33.受光素子、 44.ストッパ、
i0.コイル電流、 P0.試料取出し位置、 T.空間
1. 1. TG device (thermal analysis device) 2. Sample changer Balance device,
4). Sample container, 6. 6. turntable 8. transfer arm; Spindle,
13. Fingers, 14. 15. Finger opening / closing drive device, Thermocouple, 16. Wire,
17. Pipes, 18. Torsion band,
19, 19a, 19b. Balance beam (support bar), 20. Socket, 21. Thermal plate, 24. Electric furnace, 25, 25a. Protrusion, 27. Permanent magnets, 28. coil,
31. Light shielding plate, 32. Light source, 33. Light receiving element, 44. Stopper,
i0. Coil current, P0. Sample removal position, T.P. space

Claims (7)

試料を載せる感熱板と、
該感熱板に測温部が固着される熱電対と、
該熱電対を支持する支持棒と、
一端が前記感熱板に固着され他端が前記支持棒に係合するワイヤとを有し、
前記感熱板と前記支持棒との間には空間が設けられること
を特徴とする熱分析装置。
A thermal plate on which the sample is placed;
A thermocouple having a temperature measuring part fixed to the heat sensitive plate;
A support rod for supporting the thermocouple;
A wire having one end fixed to the heat sensitive plate and the other end engaged with the support rod;
A thermal analyzer, wherein a space is provided between the heat sensitive plate and the support rod.
請求項1記載の熱分析装置において、前記支持棒の端部に嵌合するパイプを有し、該パイプを介して前記ワイヤが前記支持棒に係合し、前記パイプの前記支持棒の軸線方向に沿った長さは3mm以下であることを特徴とする熱分析装置。   The thermal analysis apparatus according to claim 1, further comprising: a pipe that is fitted to an end portion of the support rod, wherein the wire is engaged with the support rod through the pipe, and the axial direction of the support rod of the pipe The thermal analysis apparatus characterized by the length along 3 being 3 mm or less. 請求項1または請求項2記載の熱分析装置において、前記感熱板には外方へ突出すると共に前記支持棒の軸線に対応する部分が間隔部分となるように並べられた複数の突片が設けられ、前記ワイヤは前記支持棒の軸線を挟んで該支持棒の両側に設けられ、各ワイヤは前記複数の突片の1つに固着されることを特徴とする熱分析装置。   3. The thermal analysis apparatus according to claim 1, wherein the thermal plate is provided with a plurality of projecting pieces arranged so as to project outward and a portion corresponding to the axis of the support bar is an interval portion. The wire is provided on both sides of the support rod across the axis of the support rod, and each wire is fixed to one of the plurality of projecting pieces. 請求項3記載の熱分析装置において、前記突片は4個設けられ、前記支持棒から見て手前側2個の突片に前記ワイヤが固着されることを特徴とする熱分析装置。   4. The thermal analysis apparatus according to claim 3, wherein four protrusions are provided, and the wires are fixed to two protrusions on the front side when viewed from the support rod. 請求項1から請求項4のいずれか1つに記載の熱分析装置において、前記ワイヤは前記熱電対と同じ材料であることを特徴とする熱分析装置。   5. The thermal analysis apparatus according to claim 1, wherein the wire is made of the same material as the thermocouple. 6. 請求項1から請求項5のいずれか1つに記載の熱分析装置において、前記ワイヤは前記熱電対と同じ断面形状を有することを特徴とする熱分析装置。   The thermal analyzer according to any one of claims 1 to 5, wherein the wire has the same cross-sectional shape as the thermocouple. 請求項1から請求項6のいずれか1つに記載の熱分析装置において、前記ワイヤはロジウムの含有率が5〜40%である白金ロジウム合金によって形成されることを特徴とする熱分析装置。

The thermal analyzer according to any one of claims 1 to 6, wherein the wire is made of a platinum rhodium alloy having a rhodium content of 5 to 40%.

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