JP2005313304A - Tilt table device - Google Patents

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tilting
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Naoki Kanayama
尚樹 金山
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Harmonic Drive Systems Inc
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To propose a precision tilt table device with a clamp mechanism for a positioned table. <P>SOLUTION: The table 6 of the precision tilt table device 1 is kept in a clamped state by a spring force of a clamp actuator 20. At the time of positioning, the clamp actuator 20 is driven to drive a clamp force release mechanism consisting of a piezoelectric element and the like, thereby releasing the clamp of the table 6. In this state, the table 6 is oscillated vertically around a main shaft 4 by a positioning actuator 10 with an eccentric cam 12, thereby positioning the table 6 at a prescribed tilt position. After the positioning, the drive of the clamp force release mechanism of the clamp actuator 20 is released. As a result, a state where the positioned table 6 is clamped at the position is formed. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、工作機械の切削加工時などにおいてワークを所定の傾斜角度に保持するために用いるのに適した傾斜テーブル装置に関するものである。   The present invention relates to a tilting table device suitable for use to hold a workpiece at a predetermined tilting angle when cutting a machine tool.

所定の傾斜角度にワークなどを保持するための傾斜テーブル装置は、一般に計測用途を前提として設計されている。計測用途の場合には位置決めされたテーブルに負荷が作用することがないので、位置決めされたテーブルが移動しないようにクランプするための機能が備わっていない。このため、従来の傾斜テーブル装置は負荷の掛かる切削加工などの用途には適していなかった。   An inclination table device for holding a workpiece or the like at a predetermined inclination angle is generally designed on the premise of measurement applications. In the case of a measurement application, a load is not applied to the positioned table, and therefore a function for clamping the positioned table so as not to move is not provided. For this reason, the conventional inclination table apparatus was not suitable for uses, such as cutting which requires load.

本発明の課題は、切削加工などの用途に適したクランプ機構を備えた傾斜テーブル装置を提案することにある。   An object of the present invention is to propose an inclined table device provided with a clamp mechanism suitable for applications such as cutting.

上記の課題を解決するために、本発明の傾斜テーブル装置は:主軸と;テーブルと;前記テーブルを位置決めするための位置決め機構と;位置決めされた前記テーブルをクランプするクランプ機構とを有し;前記位置決め機構は、回転出力軸と、当該回転出力軸に偏心状態で取り付けた偏心カムと、偏心回転する前記偏心カムによって押されて前記主軸を中心として揺動可能なテーブル支持部材とを備え、当該テーブル支持部材によって前記テーブルが支持されており;前記クランプ機構は、所定の揺動位置に前記テーブル支持部材を固定するためのクランプ力を発生するばね部材と、駆動されると前記クランプ力を解除するためのクランプ解除力を発生する油圧機構、圧電素子などからなるクランプ解除機構とを備えていることを特徴としている。   In order to solve the above problems, an inclined table device of the present invention includes: a main shaft; a table; a positioning mechanism for positioning the table; and a clamping mechanism for clamping the positioned table; The positioning mechanism includes a rotation output shaft, an eccentric cam attached to the rotation output shaft in an eccentric state, and a table support member that is pushed by the eccentric cam that rotates eccentrically and can swing about the main shaft. The table is supported by a table support member; the clamp mechanism releases a clamp force when driven by a spring member that generates a clamp force for fixing the table support member at a predetermined swing position. A hydraulic release mechanism that generates a release force for clamping, and a release mechanism that includes a piezoelectric element. There.

ここで、前記テーブル支持部材が上下方向に揺動可能の場合には、当該テーブル支持部材と前記偏心カムの当接状態を、前記テーブルおよびテーブル支持部材の重力によって形成することができる。重力を利用できない場合には、前記テーブル支持部材と前記偏心カムを当接させるための油圧機構、ばね部材などの機構を配置すればよい。   Here, when the table support member can swing in the vertical direction, the contact state between the table support member and the eccentric cam can be formed by the gravity of the table and the table support member. When gravity cannot be used, a mechanism such as a hydraulic mechanism or a spring member for bringing the table support member into contact with the eccentric cam may be disposed.

次に、テーブルを異なる主軸回りに異なる方向に傾斜させるためには、換言すると、2自由度テーブルを実現するためには、上記構成の傾斜テーブル装置を多段に組付ければよい。   Next, in order to incline the table in different directions around different main axes, in other words, in order to realize a two-degree-of-freedom table, the inclined table device having the above-described configuration may be assembled in multiple stages.

この場合、一つの傾斜テーブル装置のテーブルによって、別の傾斜テーブル装置を支持するように多段化することができる。この代わりに、一方の傾斜テーブル装置のテーブル支持部材を、他方の傾斜テーブル装置によって直接に支持するように多段化してもよい。いずれの場合においても、一般には、双方の傾斜テーブル装置の主軸が直交するように多段化して、2自由度の傾斜テーブルを構築すればよい。   In this case, the table of one tilt table device can be multi-staged so as to support another tilt table device. Alternatively, the table support member of one tilt table device may be multi-staged so as to be directly supported by the other tilt table device. In either case, in general, a two-degree-of-freedom tilt table may be constructed by multistage such that the main axes of both tilt table devices are orthogonal to each other.

本発明の傾斜テーブル装置は、所定の傾斜状態に位置決めされたテーブルをクランプ機構によってクランプ可能となっている。したがって、切削加工などのようにテーブルに負荷が作用する用途に適している。   The tilt table device of the present invention can clamp a table positioned in a predetermined tilt state by a clamp mechanism. Therefore, it is suitable for an application where a load acts on the table such as cutting.

以下に、図面を参照して、本発明を適用した精密傾斜テーブル装置の例を説明する。   Below, with reference to drawings, the example of the precision inclination table apparatus to which this invention is applied is demonstrated.

(実施の形態1)
図1(a)は実施の形態1に係る精密傾斜テーブル装置を斜め前方から見た場合の斜視図であり、図1(b)はその正面図である。図2(a)は精密傾斜テーブル装置を斜め前方から水平方向に見た場合の立面図であり、図2(b)はそれを斜め後方から見た場合の斜視図である。
(Embodiment 1)
Fig.1 (a) is a perspective view at the time of seeing the precision inclination table apparatus based on Embodiment 1 from diagonally forward, FIG.1 (b) is the front view. FIG. 2A is an elevational view when the precision tilting table device is viewed in the horizontal direction from diagonally forward, and FIG. 2B is a perspective view when viewed from the diagonally rear.

精密傾斜テーブル装置1は、矩形のベース板2を備え、この上面に支持ブロック3が搭載されている。支持ブロック3には、前後方向に向けて主軸4が水平に取り付けられており、この主軸4の前端部分には、幅方向に延びているテーブル支持板5が当該主軸4を中心として上下方向に揺動可能な状態で取り付けられている。テーブル支持板5は支持ブロック3の前端に対峙している垂直板部分5aと、この上端から前方に直角に折れ曲がって延びている水平板部分5bとを備えており、垂直板部分5aにおける一方の端に寄った部位が、主軸4による揺動中心4aとされている。この形状のテーブル支持板5の水平板部分5bの上面に矩形のテーブル6が固定されている。テーブル6の上面には前後方向に向けて平行に延びる5本の溝が形成されている。   The precision tilting table device 1 includes a rectangular base plate 2 on which a support block 3 is mounted. A main shaft 4 is horizontally attached to the support block 3 in the front-rear direction, and a table support plate 5 extending in the width direction is vertically arranged around the main shaft 4 at a front end portion of the main shaft 4. It is attached in a swingable state. The table support plate 5 includes a vertical plate portion 5a facing the front end of the support block 3, and a horizontal plate portion 5b that is bent at a right angle forward from the upper end and extends in one of the vertical plate portions 5a. A portion close to the end is a swing center 4 a by the main shaft 4. A rectangular table 6 is fixed to the upper surface of the horizontal plate portion 5b of the table support plate 5 having this shape. Five grooves extending in parallel in the front-rear direction are formed on the upper surface of the table 6.

支持ブロック3には、主軸4と共に、テーブル6を所定の傾斜位置に位置決めするための位置決めアクチュエータ10と、位置決めされたテーブル6をクランプするためのクランプアクチュエータ20が取り付けられている。位置決めアクチュエータ10は、支持ブロック3の幅方向のほぼ中央において前後方向に向けて水平に取り付けられ、その回転出力軸11の先端には偏心状態に円盤状の偏心カム12が固定されている。テーブル支持板5の垂直板部分5bの幅方向の中央部分には、下端から矩形に切り取った状態の矩形溝5cが形成されており、ここに、偏心カム12が位置している。   A positioning actuator 10 for positioning the table 6 at a predetermined inclined position and a clamp actuator 20 for clamping the positioned table 6 are attached to the support block 3 together with the main shaft 4. The positioning actuator 10 is mounted horizontally in the front-rear direction at the approximate center in the width direction of the support block 3, and a disc-shaped eccentric cam 12 is fixed to the tip of the rotation output shaft 11 in an eccentric state. A rectangular groove 5c is formed in a central portion in the width direction of the vertical plate portion 5b of the table support plate 5 so as to be rectangularly cut from the lower end, and the eccentric cam 12 is located here.

偏心カム12が偏心回転すると、その外周面によって矩形溝5cの水平な上端面部分5dが押し上げられる。この結果、テーブル支持板5は主軸4を中心として上方に回転し、この上に取り付けられているテーブル6が所定角度だけ傾斜する。偏心カム12の偏心量、主軸4から偏心カム12までの距離などを適切に設定しておくことにより、テーブル6を所定の角度範囲内の傾斜位置に位置決めすることができる。   When the eccentric cam 12 rotates eccentrically, the horizontal upper end surface portion 5d of the rectangular groove 5c is pushed up by the outer peripheral surface thereof. As a result, the table support plate 5 rotates upward about the main shaft 4, and the table 6 mounted thereon is inclined by a predetermined angle. By appropriately setting the eccentric amount of the eccentric cam 12, the distance from the main shaft 4 to the eccentric cam 12, and the like, the table 6 can be positioned at an inclined position within a predetermined angle range.

次に、支持ブロック3に取り付けられているクランプアクチュエータ20は、主軸4とは反対側の位置において前後方向に水平に配置されており、そのクランプ軸21は前後方向に往復移動可能となっている。クランプ軸21の先端部分は、支持ブロック3の前方に位置しているテーブル支持板5の垂直板部分5aに形成した上下に長い軸孔5eをスライド自在の状態で貫通して前方に突出している。突出している先端部にはワッシャ22が同軸状態に取り付けられ、その前端側には抜け止め23が固定されている。ワッシャ22は軸孔5eの幅よりも十分に大きな直径のものである。位置決めアクチュエータ10によってテーブル6が所定の傾斜位置に位置決めされた後に、当該クランプ機構20のクランプ軸21を引き込むと、クランプ軸21の先端のワッシャ22によって、テーブル支持板5の垂直板部分5aが支持ブロック3の前端面に押し付けられ、テーブルクランプ状態が形成される。   Next, the clamp actuator 20 attached to the support block 3 is horizontally disposed in the front-rear direction at a position opposite to the main shaft 4, and the clamp shaft 21 can reciprocate in the front-rear direction. . The tip end portion of the clamp shaft 21 protrudes forward through a vertically slidable shaft hole 5e formed in the vertical plate portion 5a of the table support plate 5 positioned in front of the support block 3. . A washer 22 is coaxially attached to the projecting tip, and a stopper 23 is fixed to the front end. The washer 22 has a diameter sufficiently larger than the width of the shaft hole 5e. When the clamp shaft 21 of the clamp mechanism 20 is retracted after the table 6 is positioned at a predetermined inclined position by the positioning actuator 10, the vertical plate portion 5 a of the table support plate 5 is supported by the washer 22 at the tip of the clamp shaft 21. It is pressed against the front end face of the block 3 to form a table clamp state.

図3には位置決めアクチュエータ10を取り出して示してあり、(a)は平面図、(b)はA−Aで切断した部分の縦断面図、および(c)は斜め前方から見た場合の斜視図である。位置決めアクチュエータ10は、モータ13と、この前端に同軸状態に取り付けられている減速機14を備えており、この減速機14の回転出力軸11の先端部分に偏心カム12が取り付けられ、当該偏心カム12の外周にカムフォロワリング15が回転自在の状態で取り付けられている。減速機14は例えば波動歯車減速機であり、モータ出力軸13aに固定された楕円形の波動発生器14aと、この波動発生器14aによって、外歯形成部分が楕円状に撓められているカップ状の可撓性外歯歯車14bと、この外歯歯車14bの外歯形成部分を取り囲んでいるリング状の剛性内歯歯車14cとを備えている。両歯車は楕円形の長軸方向の両端部分で相互に噛み合っており、剛性内歯歯車14cがアクチュエータハウジング16に固定されている。モータ13の回転によって両歯車の噛み合い位置が方向に移動すると、両歯車の歯数差(通常は2枚)に応じてモータ回転が減速され、減速回転が回転出力軸11から出力される。   FIG. 3 shows the positioning actuator 10 taken out, (a) is a plan view, (b) is a longitudinal sectional view of a portion cut along AA, and (c) is a perspective view when viewed obliquely from the front. FIG. The positioning actuator 10 includes a motor 13 and a speed reducer 14 that is coaxially attached to the front end thereof, and an eccentric cam 12 is attached to a tip portion of the rotation output shaft 11 of the speed reducer 14. A cam follower ring 15 is rotatably attached to the outer periphery of 12. The reducer 14 is, for example, a wave gear reducer, and an elliptical wave generator 14a fixed to the motor output shaft 13a, and a cup in which the external tooth forming portion is bent in an elliptical shape by the wave generator 14a. A flexible external gear 14b having a ring shape and a ring-shaped rigid internal gear 14c surrounding an external tooth forming portion of the external gear 14b. Both gears mesh with each other at both ends of the elliptical long axis, and a rigid internal gear 14 c is fixed to the actuator housing 16. When the meshing position of the two gears moves in the direction due to the rotation of the motor 13, the motor rotation is decelerated according to the difference in the number of teeth of the two gears (normally two), and the decelerated rotation is output from the rotation output shaft 11.

図4にはクランプアクチュエータ20を取り出して示してあり、(a)は平面図、(b)はB−B線で切断した部分の縦断面図、および(c)は斜め前方から見た場合の斜視図である。クランプアクチュエータ20は、円筒状のハウジング24に同軸状態でクランプ軸21が通っており、クランプ軸21の後端部分21aは大径となっており、複数枚重ね合わせた皿ばね25によってクランプ軸21は常に引き込み方向に引張られている。したがって、ばね力がテーブルクランプ力として作用する。   FIG. 4 shows the clamp actuator 20 taken out, (a) is a plan view, (b) is a longitudinal sectional view of a portion cut along the line BB, and (c) is a view when viewed obliquely from the front. It is a perspective view. In the clamp actuator 20, the clamp shaft 21 passes coaxially with the cylindrical housing 24, and the rear end portion 21a of the clamp shaft 21 has a large diameter. Is always pulled in the retracting direction. Therefore, the spring force acts as a table clamping force.

クランプ軸21の後端21aと、ハウジング24の後端側に取り付けた支持板26との間には、圧電素子27が挿入されている。圧電素子27に電圧を印加すると、当該圧電素子27がクランプ軸21の軸線方向に伸長して、クランプ力とは逆方向の力がクランプ軸21に作用し、クランプ力を解除できるようになっている。   A piezoelectric element 27 is inserted between the rear end 21 a of the clamp shaft 21 and the support plate 26 attached to the rear end side of the housing 24. When a voltage is applied to the piezoelectric element 27, the piezoelectric element 27 extends in the axial direction of the clamp shaft 21, and a force opposite to the clamping force acts on the clamp shaft 21 so that the clamping force can be released. Yes.

図5は精密傾斜テーブル装置1の制御システムを示す概略ブロック図である。制御システム30は、精密傾斜テーブル装置1のテーブル6の傾斜角度を検出するためのセンサ31とコントローラ32を備えている。コントローラ32では、センサ31から得られる傾き情報と、上位装置(図示せず)から供給される目標値とを比較して、実際の傾斜角が目標値に一致するように位置決めアクチュエータ10をフィードバック制御する。また、テーブル6の位置決め動作中においては、クランプアクチュエータ20の圧電素子27を駆動して皿ばね25によるクランプ力を解除した状態に保持し、位置決め終了後には、圧電素子27への電圧印加を解除して、皿ばね25のばね力によるクランプ状態に戻す。   FIG. 5 is a schematic block diagram showing a control system of the precision tilt table apparatus 1. The control system 30 includes a sensor 31 and a controller 32 for detecting the tilt angle of the table 6 of the precision tilt table apparatus 1. The controller 32 compares the tilt information obtained from the sensor 31 with a target value supplied from a host device (not shown), and feedback controls the positioning actuator 10 so that the actual tilt angle matches the target value. To do. Further, during the positioning operation of the table 6, the piezoelectric element 27 of the clamp actuator 20 is driven and held in a state where the clamping force by the disc spring 25 is released, and after the positioning is completed, the voltage application to the piezoelectric element 27 is released. Then, the clamped state is restored by the spring force of the disc spring 25.

このように構成した本例の精密傾斜テーブル装置1は、クランプアクチュエータ20を備え、位置決めアクチュエータ10によって所定の傾斜位置に位置決めされたテーブル6をその位置にクランプ可能である。したがって、切削加工などにおいてテーブル6に負荷の掛かる場合において用いるのに適している。   The precision tilt table device 1 of this example configured as described above includes the clamp actuator 20 and can clamp the table 6 positioned at a predetermined tilt position by the positioning actuator 10 at that position. Therefore, it is suitable for use when a load is applied to the table 6 in cutting or the like.

また、クランプアクチュエータ20では、皿ばね25のばね力によりクランプ力を発生させ、このクランプ力を解除する場合にのみ圧電素子27を駆動している。テーブル位置決め期間は短く、短い期間のみクランプアクチュエータ20を駆動すればよいので、省電力化に極めて有利である。   Further, in the clamp actuator 20, a clamping force is generated by the spring force of the disc spring 25, and the piezoelectric element 27 is driven only when the clamping force is released. Since the table positioning period is short and the clamp actuator 20 only needs to be driven for a short period, it is extremely advantageous for power saving.

さらに、本例では、偏心カム12とテーブル支持板5との当接状態が、テーブル支持板5およびテーブル6の自重によって保持される。よって、これらを当接状態に保持するための機構が不要である。勿論、図6に示すように、これらを当接状態に保持するために、テーブル支持板5を偏心カム12に対してコイルばね41などによって押し付けてもよい。特に、精密傾斜テーブル装置1を縦置きで使用する場合には、コイルばねなどの付勢手段を取り付けることが必要である。   Furthermore, in this example, the contact state between the eccentric cam 12 and the table support plate 5 is held by the weight of the table support plate 5 and the table 6. Therefore, a mechanism for holding them in contact is unnecessary. Of course, as shown in FIG. 6, the table support plate 5 may be pressed against the eccentric cam 12 by a coil spring 41 or the like in order to keep them in contact. In particular, when the precision tilting table device 1 is used in a vertical position, it is necessary to attach a biasing means such as a coil spring.

なお、本例のクランプアクチュエータ20は圧電素子27を用いてクランプ力を解除しているが、油圧機構などの別の機構を用いることも可能である。また、クランプアクチュエータ20を複数台設置して、テーブル6を複数箇所でクランプすれば、クランプ時の剛性を向上させることができる。   The clamp actuator 20 of this example uses the piezoelectric element 27 to release the clamping force, but another mechanism such as a hydraulic mechanism can also be used. Further, if a plurality of clamp actuators 20 are installed and the table 6 is clamped at a plurality of locations, the rigidity at the time of clamping can be improved.

(実施の形態2)
図7は2自由度の精密傾斜テーブル装置を示す斜視図である。この図に示す精密傾斜テーブル装置50は、実施の形態1の精密傾斜テーブル装置1を二段に重ねた構造となっている。すなわち、第1の精密傾斜テーブル装置51と、このテーブル6(1)の上に直交する状態に積み重ねた第2の精密傾斜テーブル装置52とを備えている。双方の装置51、52のテーブル6が直交する水平な主軸中心線4a(1)、4a(2)を中心としてそれぞれ傾斜するので、上側のテーブル6(2)は、直交する中心線4a(1)、4a(2)を中心とした傾斜位置に位置決めできる。
(Embodiment 2)
FIG. 7 is a perspective view showing a precision tilt table device having two degrees of freedom. The precision tilt table apparatus 50 shown in this figure has a structure in which the precision tilt table apparatus 1 of the first embodiment is stacked in two stages. That is, a first precision tilt table device 51 and a second precision tilt table device 52 stacked in an orthogonal state on the table 6 (1) are provided. Since the tables 6 of the two devices 51 and 52 are inclined with respect to the horizontal main axis center lines 4a (1) and 4a (2) that are orthogonal to each other, the upper table 6 (2) is orthogonal to the center line 4a (1 ) And can be positioned at an inclined position centered on 4a (2).

(実施の形態3)
図8は2自由度の精密傾斜テーブル装置の別の例を示す図であり、(a)は斜め前方から水平に見た場合の立面図であり、(b)は斜め後方から見た場合の斜視図である。本例の精密傾斜テーブル装置60も、基本的には、実施の形態1のテーブル装置1を二段に積み上げた構成となっているが、下側の第1の精密傾斜テーブル装置61にはテーブルが備わっていない。また、上側の第2の精密傾斜テーブル装置62にはベース板が備わっておらず、その支持ブロック3(2)が直接に、第1の精密傾斜テーブル装置61のテーブル支持板5(1)によって支持されている。本例においても、第1の精密傾斜テーブル装置61の主軸中心線4a(1)と第2の精密傾斜テーブル装置62の主軸中心線4a(2)とが直交している。したがって、上側のテーブル6(2)を2自由度の傾斜位置に位置決め可能である。
(Embodiment 3)
FIG. 8 is a view showing another example of a precision tilt table device with two degrees of freedom, (a) is an elevation view when viewed horizontally from diagonally forward, and (b) is when viewed from diagonally rear. FIG. The precision tilting table device 60 of this example is basically configured by stacking the table devices 1 of the first embodiment in two stages, but the lower first precision tilting table device 61 has a table. Is not provided. Further, the upper second precision tilt table device 62 is not provided with a base plate, and the support block 3 (2) is directly supported by the table support plate 5 (1) of the first precision tilt table device 61. It is supported. Also in this example, the spindle center line 4a (1) of the first precision tilt table device 61 and the spindle center line 4a (2) of the second precision tilt table device 62 are orthogonal to each other. Therefore, the upper table 6 (2) can be positioned at an inclined position with two degrees of freedom.

(a)は本発明を適用した実施の形態1に係る精密傾斜テーブル装置を斜め前方から見た場合の斜視図であり、(b)はその正面図である。(A) is a perspective view at the time of seeing the precision inclination table apparatus based on Embodiment 1 which applied this invention from diagonally forward, (b) is the front view. (a)は精密傾斜テーブル装置を斜め前方から水平方向に見た場合の立面図であり、(b)はそれを斜め後方から見た場合の斜視図である。(A) is an elevational view when the precision tilting table device is viewed in the horizontal direction from diagonally forward, and (b) is a perspective view when viewed from the diagonally rear. (a)は位置決めアクチュエータの平面図であり、(b)はA−Aで切断した部分の縦断面図であり、(c)は斜め前方から見た場合の斜視図である。(A) is a top view of a positioning actuator, (b) is a longitudinal cross-sectional view of the part cut | disconnected by AA, (c) is a perspective view at the time of seeing from diagonally forward. (a)はクランプアクチュエータの平面図であり、(b)はB−B線で切断した部分の縦断面図であり、(c)は斜め前方から見た場合の斜視図である。(A) is a top view of a clamp actuator, (b) is a longitudinal cross-sectional view of the part cut | disconnected by the BB line, (c) is a perspective view at the time of seeing from diagonally forward. 精密傾斜テーブル装置の制御システムを示す概略ブロック図である。It is a schematic block diagram which shows the control system of a precision inclination table apparatus. 精密傾斜テーブルの別の例を示す立面図である。It is an elevation view which shows another example of a precision inclination table. 2自由度の精密傾斜テーブル装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the precision inclination table apparatus of 2 degrees of freedom. (a)は2自由度の精密傾斜テーブル装置の別の例を示す斜め前方から水平に見た場合の立面図であり、(b)はその斜視図である。(A) is the elevation view at the time of seeing horizontally from the diagonal front which shows another example of the precision inclination table apparatus of 2 degrees of freedom, (b) is the perspective view.

符号の説明Explanation of symbols

1、50、60 精密傾斜テーブル装置
2 ベース板
3 支持ブロック
4 主軸
5 テーブル支持板
5a 垂直板部分
5b 水平板部分
5d 上端面部分
5e 軸孔
6 テーブル
10 位置決めアクチュエータ
11 出力回転軸
12 偏心カム
20 クランプアクチュエータ
21 クランプ軸
22 ワッシャ
30 制御システム
31 センサ
32 コントローラ
51、52、61、62 精密傾斜テーブル装置
1, 50, 60 Precision tilting table device 2 Base plate 3 Support block 4 Spindle 5 Table support plate 5a Vertical plate portion 5b Horizontal plate portion 5d Upper end surface portion 5e Shaft hole 6 Table 10 Positioning actuator 11 Output rotating shaft 12 Eccentric cam 20 Clamp Actuator 21 Clamp shaft 22 Washer 30 Control system 31 Sensor 32 Controller 51, 52, 61, 62 Precision tilt table device

Claims (7)

主軸と、
テーブルと、
前記テーブルを位置決めするための位置決め機構と、
位置決めされた前記テーブルをクランプするクランプ機構と、
前記位置決め機構は、回転出力軸と、当該回転出力軸に偏心状態で取り付けた偏心カムと、偏心回転する前記偏心カムによって押されて前記主軸を中心として揺動可能なテーブル支持部材とを備え、当該テーブル支持部材によって前記テーブルが支持されており、
前記クランプ機構は、所定の揺動位置に前記テーブル支持部材を固定するためのクランプ力を発生するばね部材と、駆動されると前記クランプ力を解除するためのクランプ解除力を発生する油圧機構、圧電素子などからなるクランプ解除機構とを備えている傾斜テーブル装置。
The spindle,
Table,
A positioning mechanism for positioning the table;
A clamping mechanism for clamping the positioned table;
The positioning mechanism includes a rotation output shaft, an eccentric cam attached to the rotation output shaft in an eccentric state, and a table support member that is pivoted about the main shaft by being pushed by the eccentric cam that rotates eccentrically. The table is supported by the table support member,
The clamp mechanism includes a spring member that generates a clamp force for fixing the table support member at a predetermined swing position, and a hydraulic mechanism that generates a clamp release force for releasing the clamp force when driven. An inclined table device comprising a clamp release mechanism made of a piezoelectric element or the like.
請求項1において、
前記テーブル支持部材は上下方向に揺動可能であり、
当該テーブル支持部材と前記偏心カムの当接状態が、前記テーブルおよびテーブル支持部材の重力によって形成されていることを特徴とする傾斜テーブル装置。
In claim 1,
The table support member can swing in the vertical direction,
A tilting table device, wherein the table support member and the eccentric cam are in contact with each other by gravity of the table and the table support member.
請求項1において、
前記テーブル支持部材と前記偏心カムを当接させるための油圧機構、ばね部材などの機構を有していることを特徴とする傾斜テーブル装置。
In claim 1,
An inclined table device having a mechanism such as a hydraulic mechanism and a spring member for bringing the table support member into contact with the eccentric cam.
第1および第2の傾斜テーブル装置を有し、
前記第1傾斜テーブル装置は、請求項1、2または3に記載の傾斜テーブル装置から前記テーブルを省略した構成であり、
前記第2傾斜テーブル装置は、請求項1、2または3に記載の傾斜テーブル装置であり、
前記第1の傾斜テーブル装置の前記テーブル支持部材によって、前記第2の傾斜テーブル装置が支持されている傾斜テーブル装置。
Having first and second tilting table devices;
The first tilting table device has a configuration in which the table is omitted from the tilting table device according to claim 1, 2, or 3.
The second tilt table device is the tilt table device according to claim 1, 2, or 3.
A tilt table device in which the second tilt table device is supported by the table support member of the first tilt table device.
第1および第2の傾斜テーブル装置を有し、
これら第1および第2の傾斜テーブル装置は請求項1、2または3に記載の傾斜テーブル装置であり、
前記第1傾斜テーブル装置の前記テーブルによって、前記第2傾斜テーブル装置が支持されている傾斜テーブル装置。
Having first and second tilting table devices;
These first and second tilting table devices are tilting table devices according to claim 1, 2, or 3,
A tilt table device in which the second tilt table device is supported by the table of the first tilt table device.
請求項4または5において、
前記第1および第2の傾斜テーブル装置のそれぞれの主軸は直交していることを特徴とする傾斜テーブル装置。
In claim 4 or 5,
The main table of each of the first and second tilt table devices is orthogonal to the tilt table device.
請求項1ないし6のうちのいずれかの項に記載の傾斜テーブル装置と、
前記傾斜テーブル装置のテーブルの傾きを検出するためのセンサと、
前記センサ出力に基づき、前記テーブルの傾きをフィードバック制御するコントローラとを有している傾斜テーブルシステム。
An inclined table device according to any one of claims 1 to 6,
A sensor for detecting the tilt of the table of the tilt table device;
And a controller that feedback-controls the tilt of the table based on the sensor output.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103962850A (en) * 2014-05-29 2014-08-06 河北三达模具标准件有限公司 Rotary table
KR101808700B1 (en) * 2015-07-29 2017-12-15 (주)이엠씨 Tilting Table Apparatus for Machining Large Ship Engine Block and Machining Method of Large Ship Engine Block Using the Same
JP2018192553A (en) * 2017-05-16 2018-12-06 株式会社デンソー Work posture adjusting device

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