JP2005308444A - 金属の表面状態解析方法及び同表面状態計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】低エネルギー紫外線照射による金属表面からの光電子放出現象を用いた仕事関数値を含む表面状態解析方法において、式(1)と式(2)から得た式(3)を用いて解析する。式(1)において、x=(hv−φ)/kT(k:ボルツマン定数、h:プランク定数、v:光の振動数、T:測定を行った時の絶対温度)である。式(2)は、吸着などの状態密度の光電子放出への寄与分をガウス関数Gで表したものである。式(3)において、I:光電子強度、hv:光子エネルギー、φ:仕事関数、E0:吸着など物質表面に生じたクラスター状態のイオン化エネルギー、σ:同状態の標準偏差、CG/CF:同状態の相対的な状態密度である。
【選択図】図7
Description
従来、光電子放出の紫外線照射波長依存性の測定から金属の仕事関数を決定する方法は、ファウラー(Fowler)が提唱した理論式(1)に基づく近似的方法によってなされてきた(非特許文献1参照)。
ファウラーの理論式(1)[数]4を下記に示す。
仕事関数の測定法としては、光電子放出法、熱電子放出法、電界放出法と接触電位差法などがあるが、大気圧下から超高真空中までの様々な環境下で測定ができるという点において、特に光電子放出法が優れている。
光電子放出の低エネルギ−紫外線照射波長依存性を測定する装置は既に商品化なされているが、その解析原理は、例えば図1に従っている。すなわち、測定された結果を、光子エネルギ−対光電子放出強度の平方根にプロットし直し、図1に示されるように2本の直線を引き、その交点から仕事関数を決定するというものである。
しかしながら、有限温度における測定値において、上述の近似が成立するのはむしろ、しきい値近傍より高エネルギ−側の方であり、この点においても従来の方法には誤りがあったことがわかる。
他方、このことは紫外線照射波長依存性グラフの形が重要な情報を含んでいることを意味している。従来の市販品では、この情報を落としているため、表面計測装置としての機能が充分に発揮されないという問題があった。
本発明は、この知見に基づいて、
1)低エネルギー紫外線照射による金属表面からの光電子放出現象を用いた仕事関数値を含む表面状態解析方法において、下記式(1)[数5]と式(2)[数6]から得た式(3)[数7]を用いて解析することを特徴とする金属の表面状態解析方法を提供する。
式(1)において、x=(hv−φ)/kT(k:ボルツマン定数、h:プランク定数、v:光の振動数、T:測定を行った時の絶対温度)である。
式(2)は、吸着などで表面に新たに発生した状態密度の光電子放出への寄与分をガウス関数Gで表したものである。比例定数は全状態数を含む。
式(3)において、I:光電子強度、hv:光子エネルギー、φ:仕事関数、E0:吸着など物質表面に生じたクラスター状態のイオン化エネルギー、σ:同状態の標準偏差、CG/CF:同状態の相対的な状態密度である。
2)上記金属の表面状態解析方法による計算プログラムを組み込んだ表面状態計測装置を提供する。
図1は、室温、Qガスフロー中で測定されたAl板(洗浄のみ)の光電子の照射紫外線エネルギ−依存性のグラフを、上記ファウラー理論による式(1)の近似に従ってプロットし直したものである。縦軸には、電子強度の平方根をとっている。
図1に示される2本の直線のうち、横方向に引かれた直線はこのノイズを引き去るためである。この直線を、A hv +B(hはプランク定数,vは光の振動数)として扱う。その二は、金属表面から放出される本来の光電子成分である。これは、前記ファウラーの式(1)で表されることが既に分かっている。2本の直線の交点から、この試料の仕事関数を5.05eVと読むことができる。
図2に示すようなデ−タは、表面処理によって生じた吸着物質や金属のクラスタ−が出現するためであると考えられる。これらの状態のイオン化エネルギーは、クラスターサイズに依存する。これが、前記金属からの光電子放出に関わる三つめの成分である。
室温から340°Cまで紫外線照射下で温度上昇させることによって、Al表面には何らかの状態変化が生じることが容易に予想される。図2に示されるグラフは、傾きを表す直線を二通りの方法で引くことができる、ということを表している。すなわち、これは取扱者の恣意が入ることでもある。
しかし、従来の方法では、そのグラフの形の変化を定量的に扱うことができなかったため、仕事関数測定が可能であっても、表面状態を計測することができなかった。
そこで、この状態密度を、ガウス関数を使って表すと、光電子放出への寄与分は上記式(2)[数6]に比例することになる。比例定数は全状態数を含む。
すなわち、本発明は、波長可変紫外線照射光電子放出測定装置で得られた光電子強度Iの光子エネルギーhv依存性のグラフを、式(3)[数8]を使って解析するものである。
ここで、表面計測法として意味を持つパラメ−タは、仕事関数f、吸着など金属表面に生じたクラスタ−状態のイオン化エネルギ−E0、その状態の標準偏差σ、その状態の相対的な状態密度CG /CFである。
図3は、図1に対応するもので、この試料の光電子放射が金属表面からの放射を表すファウラー関数のみで表されること、かつ、その仕事関数は4.97 eVであることを表している。すなわち、測定された光電子放出の照射波長依存性グラフは、ファウラー関数(1)式のみで再現可能であることを示す。
一方、図4は、図2に対応する測定値をファウラー関数のみで解析した場合である(本プログラムはファウラー関数のみで解析する場合と、式(3)を使って解析する場合を選ぶことができる)。この場合, 5.7eVあたりで測定値と計算値の間にズレを観察することができる。
これが、図2において、2本の直線を引くことができた理由である。すなわち、測定された光電子放出の照射波長依存性グラフは、式(1)のみでは再現できないことを示し、さらにこのことは、金属からの光電子放射以外の成分が含まれていることを示している。
図5においては、ファウラー関数からのズレがガウス関数を使って定量化されている。すなわち、表面処理によって金属表面に新たに発生した状態は、その平均のイオン化エネルギ−が5.68 eV であることを示している。
このように、測定された光電子放出の照射波長依存性グラフは式(3)を使うとうまくフィットされることを示している。このことは低エネルギ−紫外線照射による光電子放出現象は、式(3)の理論式でよく記述できることを意味している。
その平均イオン化エネルギ−は、図5に示された試料と同程度であることがわかる。このことは、紫外線照射下、Qガスフロ−中での温度上昇によって生じる新たな表面状態は、室温で表面を傷つけた場合にも生じるということを意味しており、表面状態の計測が可能であることを示している。
図6と図7を比較すれば明らかに、ガウス関数で表される曲線が表面処理によって大きくなっていることが分かる。このことは、ダイアモンドカッタ−で傷つけたことによって生じた表面の新しい状態は、表面処理によってさらに成長することを示している。この量はCG/CFの値によって定量化される。
さらに、各種のガスを吸着させて実験を繰り返し、データを集め、その都度、金属表面の観察を他の表面測定装置で測定し、両者の結果を比較、更正を行うことにより、仕事関数以外のパラメータに物理的な意味づけを与えることができる。従って、これらの作業を終了した後には、仕事関数を含む表面状態計測装置として機能させることができる。
なお、上記においてはAlを使用した例を示したが、Fe等の他の金属においても同様に本願発明を適用することができる。
Claims (2)
- 低エネルギー紫外線照射による金属表面からの光電子放出現象を用いた仕事関数値を含む表面状態解析方法において、下記式(1)[数1]と式(2)[数2]から得た式(3)[数3]を用いて解析することを特徴とする金属の表面状態解析方法。
式(1)において、x=(hv−φ)/kT(k:ボルツマン定数、h:プランク定数、v:光の振動数、T:測定を行った時の絶対温度)である。
式(2)は、状態密度の光電子放出への寄与分をガウス関数Gで表したものである。比例定数は全状態数を含む。
式(3)において、I:光電子強度、hv:光子エネルギー、φ:仕事関数、E0:吸着など物質表面に生じたクラスター状態のイオン化エネルギー、σ:同状態の標準偏差、CG/CF:同状態の相対的な状態密度である。
- 上記金属の表面状態解析方法による計算プログラムを組み込んだ表面状態計測装置。
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