JP2005302919A - Component attaching apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To make the speed of the attachment of a component drastically faster and achieve a better processing cycle time by reducing operating time for suction nozzle replacement to a minimum with the structure of a head kept small and simple. <P>SOLUTION: A component transfer head 37 is provided for allowing an electronic component supplied by a component supply unit 35 to be suctioned by a suction nozzle and attached to a circuit substrate 15. The component transfer head 37 is constituted by a first head unit and a second head unit each comprising a revolver type sub head 67. In the revolver type sub head 67, a nozzle unit is circularly provided for the attachment of the suction nozzle. The revolver type sub head is supported such that it can be rotated upon an axis along the direction of the arrangement of a component supply position 33 in the component supply unit 35. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電子部品等の部品を基板上に装着する部品装着装置に関する。   The present invention relates to a component mounting apparatus for mounting a component such as an electronic component on a substrate.

近年のめざましい電子技術の進歩により、電子部品の形状や大きさが多種多様となり、極めて微細なチップ部品から大型部品までを組み合わせて、目的の電子回路を構成することが多くなっている。そのための部品装着装置には、高速性及び高信頼性が一層強く求められてきている。
従来、電子部品等の部品を回路基板等の基板上に装着する部品装着装置として、部品を吸着保持する吸着ユニットを複数個備え、部品の同時吸着等を行う装着ヘッドを備えたもの等、種々の形態のものが提案され実用に供されている。このような装着ヘッドとしては、例えば、図40に示すような、吸着ノズル1を装着するノズルユニット2を一列或いは多列状に配列した横列型の部品移載ヘッド3(特許文献1参照)や、円環状にノズルユニットを配置したロータリー型の部品装着ヘッド等が多く採用されている。
Due to remarkable advances in electronic technology in recent years, the shapes and sizes of electronic components have become diverse, and a desired electronic circuit is often configured by combining extremely fine chip components to large components. For such a component mounting apparatus, high speed and high reliability have been strongly demanded.
Conventionally, as a component mounting apparatus for mounting components such as electronic components on a substrate such as a circuit board, a variety of devices including a plurality of suction units that suck and hold components and a mounting head that performs simultaneous suction of components, etc. The thing of this form is proposed and used for practical use. As such a mounting head, for example, as shown in FIG. 40, a row type component transfer head 3 (see Patent Document 1) in which nozzle units 2 for mounting the suction nozzles 1 are arranged in a single row or multiple rows is used. Many rotary-type component mounting heads in which nozzle units are arranged in an annular shape are used.

横列型の部品移載ヘッド3では、各種の吸着ノズルが格納されたノズルホルダ5から各ノズルユニット2に異なるサイズの吸着ノズルを取り付けることで、微小サイズのチップ部品から、大型のIC部品までを自動的に基板上へ装着可能にしている。また、ロータリー型の部品装着ヘッドでは、部品吸着から部品装着までの動作が回転軌道内で行われ、高速な部品装着を可能にしている。
また、ロータリー型の部品装着ヘッドと同様に、図41に示すように、複数の吸着ノズル1を放射状に配置した部品移載ヘッド7を回転させて、所望の吸着ノズル1に切り替える構成(特許文献3参照)や、複数の吸着ノズルを円弧状に配置したリボルバ型の部品移載ヘッドの構成も知られている(特許文献4参照)。
In the horizontal type component transfer head 3, by attaching suction nozzles of different sizes from the nozzle holder 5 in which various suction nozzles are stored to each nozzle unit 2, from a chip component of a small size to a large IC component. It can be automatically mounted on the board. In addition, in the rotary type component mounting head, operations from component adsorption to component mounting are performed in a rotating track, enabling high-speed component mounting.
Similarly to the rotary type component mounting head, as shown in FIG. 41, the component transfer head 7 in which a plurality of suction nozzles 1 are arranged radially is rotated to switch to a desired suction nozzle 1 (Patent Literature). 3) and a configuration of a revolver type component transfer head in which a plurality of suction nozzles are arranged in an arc shape is also known (see Patent Document 4).

特開2001−191288号公報JP 2001-191288 A 特開2000−36696JP 2000-36696 A 米国特許明細書 第4875285号U.S. Pat. No. 4,875,285

しかしながら、従来の横列型の部品移載ヘッド3では、基板上で部品移載ヘッド3を移動させるためのXYロボットが、一軸に対して1つの部品移載ヘッド3が移動自在に取り付けられているのみの、所謂、1ビーム1ヘッドの構成であった。そのため、部品移載ヘッド3に取り付ける吸着ノズルの種類(大小)を、大型の吸着ノズルとすると、小型の吸着ノズルを取り付けるノズルユニットが必要数確保できなくなる等の制約を生じさせていた。その結果、部品装着装置は実質的に、チップ装着機或いは異形部品装着機のどちらかの専用機となってしまい、生産形態に対応した素早い機種切り換えに対応することが困難であった。   However, in the conventional row-type component transfer head 3, an XY robot for moving the component transfer head 3 on the substrate is mounted so that one component transfer head 3 is movable with respect to one axis. This is a so-called 1-beam 1-head configuration. For this reason, if the type (large or small) of the suction nozzle attached to the component transfer head 3 is a large suction nozzle, there is a restriction that the necessary number of nozzle units to which a small suction nozzle is attached cannot be secured. As a result, the component mounting apparatus is practically a dedicated machine that is either a chip mounting machine or an odd-shaped part mounting machine, and it is difficult to respond to quick model switching corresponding to the production form.

また、部品移載ヘッドのノズルユニットを交換自在な構成にした場合は、各ノズルユニットの交換時や電源投入時等に、部品移載ヘッド3の各部(認識カメラ、ノズル等)の相対位置を検出して初期調整を行うキャリブレーションを実施している。このため、機種切り換えを頻繁に行うときにはキャリブレーションをその都度行う必要があり、生産ロスが発生することとなる。さらに、部品移載ヘッド3自体を交換すると、各ノズルユニットの使用頻度の管理が不能となり、メンテナンスのタイミングが分からなくなる等の問題があった。   When the nozzle unit of the component transfer head is configured to be replaceable, the relative position of each part (recognition camera, nozzle, etc.) of the component transfer head 3 is changed when each nozzle unit is replaced or when the power is turned on. Calibration to detect and perform initial adjustment is performed. For this reason, when the model switching is frequently performed, calibration must be performed each time, resulting in production loss. Further, if the component transfer head 3 itself is replaced, there is a problem that the use frequency of each nozzle unit cannot be managed and the maintenance timing cannot be understood.

また、基板に装着しようとする部品の種類に応じて、吸着ノズル1の種類を選択する必要があるが、このノズル交換の作業には、特許文献1記載の構成では、部品移載ヘッド3がノズルホルダ5の位置に移動して、吸着ノズル1の脱着やノズルホルダ5内における入れ換えを行うこととなり、時間ロスが発生してしまう。また、特許文献2記載の構成では、部品移載ヘッド7の構造自体に回転動作のためのギア機構が必要となり、部品移載ヘッド7が複雑化してコストアップを招くばかりか、大型化のため高速駆動に不利となる。   Further, it is necessary to select the type of the suction nozzle 1 in accordance with the type of component to be mounted on the substrate. In this nozzle replacement operation, the component transfer head 3 is used in the configuration described in Patent Document 1. Moving to the position of the nozzle holder 5 will cause the suction nozzle 1 to be detached and replaced within the nozzle holder 5, resulting in time loss. In the configuration described in Patent Document 2, a gear mechanism for rotational operation is required for the structure of the component transfer head 7, and the component transfer head 7 becomes complicated and causes an increase in cost. This is disadvantageous for high-speed driving.

ここで、複数の吸着ノズルを円弧状に設けた特許文献3記載のリボルバ型の部品移載ヘッドでは、各吸着ノズルに吸着した複数の電子部品を基板へ順次装着することができるが、さらなる装着の高速化に対応することが困難となる。つまり、サイズ等の大きく異なる電子部品を基板上へ装着するためには、その度に部品移載ヘッドを交換しなければならず、作業効率の向上を図ることができなかった。
また、このヘッドには、吸着ノズルに吸着保持された電子部品の吸着姿勢を検出するカメラが設けられている。このカメラを用いて、部品の向きを所定方向に回転させてから(例えば90゜回転や180゜回転等)基板へ装着する場合、カメラによる吸着姿勢の確認後に部品の回転を行うため、この回転動作による部品の位置ずれが生じることがある。この部品の位置ずれは、回転動作の回転中心と吸着ノズルの中心軸との位置ずれ等の機構的な寸法誤差や、経時的な温度変化等の環境条件の変化に伴う誤差等によって発生する。これにより、正確な部品装着が行えないことがあった。
Here, in the revolver-type component transfer head described in Patent Document 3 in which a plurality of suction nozzles are provided in an arc shape, a plurality of electronic components sucked by each suction nozzle can be sequentially mounted on the substrate. It becomes difficult to cope with the higher speed. In other words, in order to mount electronic components having greatly different sizes or the like on the substrate, the component transfer head must be replaced each time, and the work efficiency cannot be improved.
Further, the head is provided with a camera that detects the suction posture of the electronic component sucked and held by the suction nozzle. When using this camera to rotate a component in a predetermined direction (for example, 90 ° rotation or 180 ° rotation) and then mounting it on a board, the rotation of the component is performed after the suction posture is confirmed by the camera. Misalignment of parts due to operation may occur. This positional deviation of the components is caused by a mechanical dimensional error such as a positional deviation between the rotation center of the rotation operation and the central axis of the suction nozzle, or an error accompanying a change in environmental conditions such as a temperature change over time. As a result, accurate component mounting may not be performed.

本発明は、このような状況に鑑みてなされたもので、その目的は次の点にある。
(1)チップ部品、異形部品等の異種部品に対する装着が同時に対応可能で、且つ高速な部品装着を可能とし、いかなる生産形態にも高速且つ高効率で対応可能にすること。
(2)部品移載ヘッドの構成を小型で簡素のままに、吸着ノズル交換のための動作時間を最小限にしてタクトアップを図ること。
(3)吸着ノズルを交換する必要のある機種切り替え時であっても、短時間で正確な交換作業が行えるようにすること。
(4)部品供給部から吸着ノズルに吸着保持した部品を基板上に装着するまでの部品装着動作の円滑化を図ること。
The present invention has been made in view of such circumstances, and the object thereof is as follows.
(1) It is possible to simultaneously mount different types of components such as chip components and odd-shaped components, and to enable high-speed component mounting so that any production form can be handled at high speed and with high efficiency.
(2) To keep the configuration of the component transfer head small and simple and minimize the operation time for exchanging the suction nozzle, thereby improving the tact time.
(3) It is possible to perform an accurate replacement operation in a short time even when switching the model that requires replacement of the suction nozzle.
(4) To smooth the component mounting operation from the component supply unit to mounting the component sucked and held by the suction nozzle on the substrate.

上記目的は下記構成により達成される。
(1)複数配列された該部品供給位置からそれぞれ部品を供給する部品供給部と、該部品供給部から供給される部品を吸着ノズルに吸着保持する複数のノズルユニットを有する部品移載ヘッドとを備え、該部品移載ヘッドを基板上の装着位置に相対移動させて、前記吸着保持された部品を基板上に装着する部品装着装置であって、前記部品移載ヘッドが、前記吸着ノズルをサブヘッド回転軸を中心とする円周状に該吸着ノズルの部品吸着側を前記円周の外側に向けて前記複数のノズルユニットを配置したサブヘッドと、該サブヘッドを前記回転軸回りに回転駆動する回転駆動手段と、を有するヘッドユニットを複数具備し、前記サブヘッドが、前記ヘッドユニット内に前記サブヘッド回転軸を前記部品供給部の部品供給位置の配列方向に沿う方向にして配置されていることを特徴とする部品装着装置。
The above object is achieved by the following configuration.
(1) A component supply unit that supplies components from a plurality of the component supply positions that are arranged, and a component transfer head that includes a plurality of nozzle units that hold the components supplied from the component supply unit to the suction nozzle. A component mounting apparatus for mounting the component held by suction on the substrate by moving the component transfer head relative to a mounting position on the substrate, wherein the component transfer head moves the suction nozzle to the sub head. A sub-head in which the plurality of nozzle units are arranged with the component suction side of the suction nozzle facing the outside of the circumference in a circular shape around the rotation axis, and a rotary drive that rotationally drives the sub-head around the rotation axis A plurality of head units, and the sub head is arranged along the arrangement direction of the component supply position of the component supply unit with the sub head rotation axis in the head unit. Component mounting apparatus characterized by being arranged in the direction.

この部品装着装置によれば、吸着ノズルが円周状に装着された回転可能なサブヘッドを有するヘッドユニットを複数備えたので、これら複数の吸着ノズルを用いて部品装着を行うことで、部品装着動作の大幅な高速化を図ることができる。また、これら複数のサブヘッドに異なる種類の吸着ノズルが装着可能であるため、生産する基板の機種変更時であっても吸着ノズル交換のための動作時間を最小限にしてタクトアップが図れ、円滑に機種変更に対応することができる。さらに、サブヘッドがサブヘッド回転軸を部品供給位置の配列方向に沿う方向に配置しているため、サブヘッドを複数備えた構成としても部品移載ヘッドを小型で簡素のままにでき、高速駆動を可能にできる。   According to this component mounting apparatus, since the suction nozzles are provided with a plurality of head units having rotatable sub-heads mounted circumferentially, the component mounting operation is performed by mounting the components using the plurality of suction nozzles. Can be greatly speeded up. In addition, since different types of suction nozzles can be mounted on these multiple sub heads, even when changing the model of the substrate to be produced, the operation time for replacement of the suction nozzles can be minimized and the tact time can be increased smoothly. Can support model changes. Furthermore, since the sub head has the sub head rotation axis arranged in the direction along the arrangement direction of the component supply positions, the component transfer head can be kept small and simple even with a configuration including a plurality of sub heads, enabling high-speed driving. it can.

(2)前記部品移載ヘッドが、前記サブヘッド間の吸着ノズルの間隔を、前記部品供給部における前記部品供給位置の隣接間隔の整数倍となる距離で前記ヘッドユニットに設置されていることを特徴とする(1)記載の部品装着装置。   (2) The component transfer head is installed in the head unit at a distance that makes the interval between the suction nozzles between the sub-heads an integer multiple of the adjacent interval of the component supply position in the component supply unit. The component mounting apparatus according to (1).

この部品装着装置によれば、サブヘッド間の吸着ノズルの間隔を部品供給位置の隣接間隔の整数倍とすることで、部品供給部から吸着ノズルに部品を吸着する際に、各サブヘッドの吸着ノズルに同時に部品吸着が行え、部品吸着動作の所要時間を短縮できる。   According to this component mounting apparatus, the suction nozzle interval between the sub-heads is set to an integral multiple of the adjacent interval of the component supply position, so that when suctioning the component from the component supply unit to the suction nozzle, At the same time, parts can be picked up and the time required for picking up parts can be shortened.

(3)前記各サブヘッドに装着される前記吸着ノズルが、前記サブヘッド毎に異なるサイズの吸着ノズルであることを特徴とする(1)又は(2)記載の部品装着装置。   (3) The component mounting apparatus according to (1) or (2), wherein the suction nozzles mounted on the sub heads are suction nozzles having different sizes for the sub heads.

この部品装着装置によれば、サブヘッド毎に異なるサイズの吸着ノズルが装着されることで、サブヘッド毎に小型の吸着ノズル、大型の吸着ノズルをそれぞれ装着して使用することができる。これにより、各サブヘッドをチップ部品装着用のサブヘッド、異形部品装着用のサブヘッド等として、適宜組み合わせて使用することができ、種々の生産形態に効率良く対応することができる。   According to this component mounting apparatus, by mounting suction nozzles of different sizes for each sub head, a small suction nozzle and a large suction nozzle can be mounted and used for each sub head. Thereby, each subhead can be used in appropriate combination as a subhead for chip component mounting, a subhead for mounting odd-shaped components, etc., and can efficiently cope with various production forms.


(4)前記ヘッドユニットが、前記部品移載ヘッドに対して着脱自在に装着されることを特徴とする(1)〜(3)のいずれか1項記載の部品装着装置。
s
(4) The component mounting apparatus according to any one of (1) to (3), wherein the head unit is detachably mounted to the component transfer head.

この部品装着装置によれば、ヘッドユニットが部品移載ヘッドに対して着脱自在であることにより、生産形態に即したサブヘッドが取り付けられたヘッドユニットを部品移載ヘッドに付け替えることが容易にでき、生産性が向上する。   According to this component mounting apparatus, since the head unit is detachable from the component transfer head, it is possible to easily replace the head unit to which the sub head according to the production form is attached to the component transfer head, Productivity is improved.

(5)前記ヘッドユニットが、前記サブヘッドの前記吸着ノズルに吸着保持した部品の姿勢を検出する撮像部を備えたことを特徴とする(1)〜(4)のいずれか1項記載の部品装着装置。   (5) The component mounting according to any one of (1) to (4), wherein the head unit includes an imaging unit that detects a posture of a component sucked and held by the suction nozzle of the sub head. apparatus.

この部品装着装置によれば、ヘッドユニットに撮像部を設けることで、サブヘッドの吸着ノズルに吸着保持された部品をヘッドユニット側で撮像できるので、装着前の部品に対する部品認識処理をサブヘッドの部品装着位置以外の位置で実施できる。これにより、部品認識処理に要する時間を最小限に抑えることができ、タクトアップが図られる。   According to this component mounting apparatus, by providing an imaging unit in the head unit, the component sucked and held by the suction nozzle of the sub head can be imaged on the head unit side, so component recognition processing for the component before mounting is performed by the component mounting of the sub head. It can be carried out at a position other than the position. As a result, the time required for the component recognition process can be minimized and the tact time can be increased.

(6)前記撮像部が、前記サブヘッドの上端に位置した吸着ノズルに吸着保持された部品を撮像することを特徴とする(5)記載の部品装着装置。   (6) The component mounting apparatus according to (5), wherein the imaging unit images a component sucked and held by a suction nozzle located at an upper end of the sub head.

この部品装着装置によれば、撮像部がサブヘッドの上端に位置する部品を撮像することで、撮像部のコンパクトにヘッドユニットに収めることができる。
(7)前記ノズルユニットのそれぞれに設けられ、前記ノズルユニットの吸着ノズルを回転駆動するノズル回転駆動手段と、前記ノズル回転駆動手段への回転駆動指令を、前記サブヘッドの下端位置及び前記サブヘッド上端位置における前記サブヘッド回転方向手前側の所定回転角内でそれぞれ出力するノズル回転制御手段とを備えたことを特徴とする(6)記載の部品装着装置。
According to this component mounting apparatus, the imaging unit captures a component located at the upper end of the sub head, so that the imaging unit can be accommodated in the head unit in a compact manner.
(7) A nozzle rotation driving unit that is provided in each of the nozzle units and rotationally drives the suction nozzle of the nozzle unit, and a rotation drive command to the nozzle rotation driving unit is sent to the lower end position of the sub head and the upper end position of the sub head. (6) The component mounting apparatus according to (6), further comprising nozzle rotation control means for outputting within a predetermined rotation angle on the near side in the sub head rotation direction.

この部品装着装置によれば、サブヘッドの下端位置と上端位置の回転方向手前側の所定回転角内だけで吸着ノズルの回転駆動指令を出力するので、サブヘッドに備わる全ての吸着ノズルに対する回転駆動用の信号線を配線する必要がなくなり、サブヘッドの構成を簡略化できる。   According to this component mounting apparatus, since the suction nozzle rotation drive command is output only within a predetermined rotation angle on the front side in the rotation direction of the lower end position and the upper end position of the sub head, the rotation drive command for all the suction nozzles provided in the sub head is provided. There is no need to wire signal lines, and the sub-head configuration can be simplified.

(8)前記ノズル回転制御手段が、前記サブヘッドの上端側の吸着ノズルに対して、前記基板への装着方向が予め設定された方向となるように前記吸着ノズルに吸着保持された部品を回転させる回転駆動指令を出力し、前記サブヘッドの下端側の吸着ノズルに対して、前記撮像部による撮像結果に基づいて前記吸着保持された部品の吸着姿勢を補正する回転駆動指令を出力することを特徴とする(7)記載の部品装着装置。   (8) The nozzle rotation control means rotates the component sucked and held by the suction nozzle so that the mounting direction to the substrate is a preset direction with respect to the suction nozzle at the upper end side of the sub head. A rotation drive command is output, and a rotation drive command is output to the suction nozzle on the lower end side of the sub head to correct the suction posture of the component held by suction based on the imaging result of the imaging unit. The component mounting apparatus according to (7).

この部品装着装置によれば、サブヘッドの上端側で吸着保持された部品を予め所定の方向に回転させた状態で、撮像部により吸着姿勢を撮像して、この撮像結果に基づいて吸着姿勢の補正を行うため、回転による誤差成分の影響を受けることがなくなる。従って、部品を所定の方向に回転させる前に撮像して吸着姿勢を補正する場合と比較して、高精度な吸着姿勢の補正処理が行える。   According to this component mounting apparatus, the suction posture is imaged by the imaging unit with the component held by suction on the upper end side of the sub head rotated in a predetermined direction in advance, and the suction posture is corrected based on the imaging result. Therefore, it is not affected by an error component due to rotation. Therefore, the suction posture correction process can be performed with higher accuracy than in the case where the suction posture is corrected by imaging before rotating the component in a predetermined direction.

(9)前記ヘッドユニットが、前記円周状に前記吸着ノズルを配置したノズルユニットに対峙する環状のカム溝を備え、該カム溝の下部が分断されて昇降自在とされる一方、前記サブヘッドの各ノズルユニットが、前記ヘッドユニットに固設された環状のカム溝に係合するカムフォロアをそれぞれ備え、前記部品供給部から前記吸着ノズルに部品を吸着保持する場合と前記吸着ノズルに吸着保持された部品を前記基板上に装着する場合に、前記サブヘッドの下端に位置したノズルユニットのカムフォロアに係合する前記分断されたカム溝の下部を昇降動作させるノズル昇降手段を具備したことを特徴とする(1)〜(8)のいずれか1項記載の部品装着装置。   (9) The head unit includes an annular cam groove facing the nozzle unit in which the suction nozzle is arranged in the circumferential shape, and a lower portion of the cam groove is divided to be freely raised and lowered. Each nozzle unit is provided with a cam follower that engages with an annular cam groove fixed to the head unit. When the component is sucked and held by the suction nozzle from the component supply unit, the nozzle unit is sucked and held by the suction nozzle. When mounting a component on the board, it comprises nozzle lifting means for moving up and down a lower portion of the divided cam groove that engages with a cam follower of a nozzle unit located at the lower end of the sub head. The component mounting apparatus according to any one of 1) to (8).

この部品装着装置によれば、サブヘッドが回転することでノズルユニットのカムフォロアが環状のカム溝内を移動する。そして、分断されたカム溝の下部がノズル昇降手段により昇降駆動されると、この昇降動作に従動してサブヘッド下端のノズルユニットが昇降動作する。   According to this component mounting device, the cam follower of the nozzle unit moves in the annular cam groove as the sub head rotates. When the divided lower part of the cam groove is driven up and down by the nozzle lifting / lowering means, the nozzle unit at the lower end of the sub head moves up and down following this lifting and lowering operation.

(10)前記ヘッドユニットが、該ヘッドユニットの識別情報を含む情報記憶部をそれぞれ備えていることを特徴とする(1)〜(9)のいずれか1項記載の部品装着装置。   (10) The component mounting apparatus according to any one of (1) to (9), wherein each of the head units includes an information storage unit including identification information of the head unit.

この部品装着装置によれば、ヘッドユニットが情報記憶部を備えることで、ヘッドユニットに関連する情報がヘッドユニット毎に記憶可能となり、例えば、生産に必要とされる諸情報を情報記憶部から簡単にして得ることで、生産性を向上させることができる。   According to this component mounting device, since the head unit includes the information storage unit, information related to the head unit can be stored for each head unit. For example, various information required for production can be easily stored from the information storage unit. Thus, productivity can be improved.

(11)前記情報記憶部が情報の書き換えが可能なメモリタグであり、前記部品移載ヘッドが前記メモリタグに対する情報の読み書きを行うタグ読み書き部を備えたことを特徴とする(10)記載の部品装着装置。   (11) The information storage unit is a memory tag capable of rewriting information, and the component transfer head includes a tag read / write unit that reads and writes information from and to the memory tag. Component mounting device.

この部品装着装置によれば、ヘッドユニットが部品移載ヘッドに取り付けられると、タグ読み書き部が情報記憶部に対して情報の入出力が可能となる。   According to this component mounting apparatus, when the head unit is attached to the component transfer head, the tag read / write unit can input / output information to / from the information storage unit.

(12)前記メモリタグが、無線通信により情報の読み書きを行う無線タグであることを特徴とする(11)記載の部品装着装置。   (12) The component mounting apparatus according to (11), wherein the memory tag is a wireless tag that reads and writes information by wireless communication.

この部品装着装置によれば、メモリタグが無線タグであることで、メモリタグとタグ読み書き部と間の結線が不要となり、非接触で情報の入出力が可能となって構成が簡略化される。   According to this component mounting apparatus, since the memory tag is a wireless tag, connection between the memory tag and the tag read / write unit is not required, and information can be input / output without contact, thereby simplifying the configuration. .

(13)前記メモリタグに記憶される前記ヘッドユニットの識別情報が、吸着ノズルとノズルユニットとの相対位置の情報を有するキャリブレーションデータを含むことを特徴とする(11)又は(12)記載の部品装着装置。   (13) The identification information of the head unit stored in the memory tag includes calibration data having information on a relative position between the suction nozzle and the nozzle unit. Component mounting device.

この部品装着装置によれば、メモリタグに記憶される識別情報にキャリブレーションデータが含まれることで、このキャリブレーションデータを読み込むことにより、部品移載ヘッドへのヘッドユニットの取り付けの度にキャリブレーションを実行する必要がなくなり、生産開始までの時間を短縮できる。   According to this component mounting apparatus, the calibration data is included in the identification information stored in the memory tag, and the calibration data is read to perform calibration every time the head unit is attached to the component transfer head. It is no longer necessary to execute the process, and the time to start production can be shortened.

(14)前記メモリタグに記憶される前記ヘッドユニットの識別情報が、部品装着動作の稼動時間データを含むことを特徴とする(11)〜(13)のいずれか1項記載の部品装着装置。   (14) The component mounting apparatus according to any one of (11) to (13), wherein the identification information of the head unit stored in the memory tag includes operation time data of a component mounting operation.

この部品装着装置によれば、メモリタグに記憶される識別情報に稼動時間データが含まれることで、ヘッドユニットを交換しても、そのヘッドユニットの使用頻度を正確に把握することができ、メンテナンス等の管理作業を容易にできる。   According to this component mounting apparatus, since the operating time data is included in the identification information stored in the memory tag, even if the head unit is replaced, the usage frequency of the head unit can be accurately grasped, and maintenance can be performed. Etc. can be easily managed.

(15)前記メモリタグに記憶される前記ヘッドユニットの識別情報が、前記ヘッドユニットの構成部品を識別する部品種データを含むことを特徴とする(11)〜(14)のいずれか1項記載の部品装着装置。   (15) The identification information of the head unit stored in the memory tag includes component type data for identifying a component of the head unit, according to any one of (11) to (14). Parts mounting device.

この部品装着装置によれば、メモリタグに記憶される識別情報に部品種データが含まれることで、仮にヘッドユニットに故障が生じた場合でも、交換を要する部品を即座に特定して作業者等に報知することができる。   According to this component mounting apparatus, the component type data is included in the identification information stored in the memory tag, so that even if a failure occurs in the head unit, the component that needs to be replaced can be immediately identified. Can be notified.

(16)前記ノズルユニットが、下端に細径部を有するとともに上端に太径部を有し、中段に前記細径部より太くかつ太径部より細い支持部を有して中央に吸排孔を設けた第1ノズルと、前記第1ノズルの支持部の外周に上下方向へ摺動可能に支持され該第1ホルダと同心状に配設された第2ノズルと、を有し、前記第1ノズルは、前記支持部の外周の上下方向に異なる位置に上方ロック部と下方ロック部とを有し、前記第2ノズルは、前記第1ノズルの支持部に対面する内周側に前記2つのロック部のいずれかと係合する係合部を有し、前記第2ノズルが、前記係合部と前記上方ロック部とが係合する上方位置にある場合に、前記第1ノズルによる吸引動作により前記第2ノズルによる部品吸着動作を行い、前記第2ノズルが、前記係合部と前記下方ロック部とが係合する下方位置にある場合に、前記第2ノズルによる部品吸着を無効にして前記第1ノズルだけで部品吸着を行うように構成したことを特徴とする(1)〜(15)のいずれか1項記載の部品装着装置。   (16) The nozzle unit has a small diameter portion at the lower end and a large diameter portion at the upper end, and has a support portion that is thicker than the thin diameter portion and thinner than the large diameter portion in the middle, and has an intake / exhaust hole in the center. A first nozzle provided, and a second nozzle supported on an outer periphery of a support portion of the first nozzle so as to be slidable in a vertical direction, and disposed concentrically with the first holder. The nozzle has an upper lock portion and a lower lock portion at different positions in the vertical direction of the outer periphery of the support portion, and the second nozzle is arranged on the inner peripheral side facing the support portion of the first nozzle. When the second nozzle is at an upper position where the engagement portion and the upper lock portion engage with each other, the suction operation by the first nozzle is performed. The component suction operation by the second nozzle is performed, and the second nozzle is connected to the engaging portion. In the lower position where the lower lock portion is engaged, the component suction by the second nozzle is disabled and the component suction is performed only by the first nozzle (1) to (15) The component mounting apparatus according to any one of (15).

この部品装着装置によれば、第1ノズルと第2ノズルとの相対位置の変化により、部品吸着のためのノズル先端の状態を変化させて、吸着ノズル自体の交換を要せずに比較的小さな部品と比較的大きな部品といった吸着対象の切り替えが簡単に行える。   According to this component mounting device, the state of the nozzle tip for component suction is changed by the change in the relative position between the first nozzle and the second nozzle, and the suction nozzle itself is relatively small without requiring replacement. Switching between suction targets such as parts and relatively large parts can be easily performed.

(17)前記第2ノズルが下方位置にあるとき、該第2ノズルの下端面が前記第1ノズルの下端面より下方に位置し、前記第1ノズルと前記第2ノズルとの間に吸着用空間が画成されることを特徴とする(16)記載の部品装着装置。   (17) When the second nozzle is in a lower position, the lower end surface of the second nozzle is positioned below the lower end surface of the first nozzle, and is used for suction between the first nozzle and the second nozzle. The component mounting apparatus according to (16), wherein a space is defined.

この部品装着装置によれば、第2ノズルが下方位置にあるときに吸着用空間が画成されて、部品吸着に寄与する吸引面積が増加し、その結果、比較的大きな部品が吸着可能となる。   According to this component mounting apparatus, the suction space is defined when the second nozzle is in the lower position, and the suction area contributing to the component suction is increased. As a result, relatively large components can be sucked. .

(18)前記第2ノズルが、該第2ノズルの外周にフランジ部を備え、前記ヘッドユニットに設けたフランジ固定手段により前記フランジ部を固定したまま、前記第1ノズルを昇降動作させることで前記第1ノズルに対する相対位置を変更することを特徴とする(16)又は(17)記載の部品装着装置。   (18) The second nozzle includes a flange portion on an outer periphery of the second nozzle, and the first nozzle is moved up and down while the flange portion is fixed by a flange fixing means provided in the head unit. The component mounting apparatus according to (16) or (17), wherein the relative position with respect to the first nozzle is changed.

この部品装着装置によれば、フランジ固定手段により第2ノズルのフランジ部を固定し、この状態で第1ノズルを昇降動作させることで、第2ノズルの第1ノズルに対する相対位置が変更される。   According to this component mounting apparatus, the relative position of the second nozzle relative to the first nozzle is changed by fixing the flange portion of the second nozzle by the flange fixing means and moving the first nozzle up and down in this state.

(19)前記フランジ部が上下一対のフランジからなり、前記フランジ固定手段が、前記一対のフランジ間にストッパを挿入することを特徴とする(18)記載の部品装着装置。   (19) The component mounting device according to (18), wherein the flange portion includes a pair of upper and lower flanges, and the flange fixing means inserts a stopper between the pair of flanges.

この部品装着装置によれば、第2ノズルを上方位置と下方位置とのいずれの方向に移動させる場合にも、一対のフランジ間にストッパを挿入することで簡単に行える。   According to this component mounting apparatus, even when the second nozzle is moved in either the upper position or the lower position, it can be easily performed by inserting a stopper between the pair of flanges.

(20)前記サブヘッドが、前記複数のノズルユニットそれぞれに、前記吸着ノズルによる部品の吸着保持を行う負圧源と、前記部品の吸着保持を解除する正圧源に選択的に接続されるバルブ機構を備えたことを特徴とする(1)〜(19)のいずれか1項記載の部品装着装置。   (20) A valve mechanism in which the sub head is selectively connected to each of the plurality of nozzle units to a negative pressure source that performs suction holding of the component by the suction nozzle and a positive pressure source that releases suction holding of the component. The component mounting apparatus according to any one of (1) to (19), wherein:

この部品装着装置によれば、バルブ機構の動作により、サブヘッドの吸着ノズルに部品を吸着保持させたり、部品の吸着保持を解除させることができる。   According to this component mounting device, the operation of the valve mechanism can cause the suction nozzle of the sub head to suck and hold the component or release the suction of the component.

(21)前記バルブ機構が、圧力差に応じて流路切り替え用のスプールを移動させ、前記吸着バルブへ接続される前記負圧源及び前記正圧源からの流路を変更するエアオペレートバルブにより構成されていることを特徴とする(20)記載の部品装着装置。   (21) The valve mechanism moves the spool for switching the flow path according to the pressure difference, and the air operated valve that changes the flow path from the negative pressure source and the positive pressure source connected to the adsorption valve. The component mounting apparatus according to (20), wherein the component mounting apparatus is configured.

この部品装着装置によれば、スプールを圧力に応じて動作させるエアオペレートバルブを用いるので、省スペース化に優れた構成にできる。   According to this component mounting apparatus, since the air operated valve that operates the spool according to the pressure is used, a configuration excellent in space saving can be achieved.

(22)前記サブヘッドが、前記複数のノズルユニットと該ノズルユニットのそれぞれに対応する複数の前記バルブ機構とが支持されたフランジ部に中空の軸部が接続されてなるノズル固定用回転部材を備え、前記回転駆動手段が、前記ノズル固定用回転部材の軸部の外周に配置されて、この軸部を回転駆動することを特徴とする(20)又は(21)記載の部品装着装置。   (22) The sub-head includes a nozzle fixing rotating member in which a hollow shaft portion is connected to a flange portion where the plurality of nozzle units and the plurality of valve mechanisms corresponding to the nozzle units are supported. The component mounting apparatus according to (20) or (21), wherein the rotation driving means is disposed on an outer periphery of a shaft portion of the nozzle fixing rotation member and rotationally drives the shaft portion.

この部品装着装置によれば、ノズル固定用回転部材のフランジ部にノズルユニットとバルブ機構を支持し、軸部の外周に回転駆動手段を配設することにより、サブヘッドの回転機構を薄型にできる。   According to this component mounting apparatus, the nozzle unit and the valve mechanism are supported on the flange portion of the nozzle fixing rotation member, and the rotation driving means is disposed on the outer periphery of the shaft portion, whereby the sub head rotation mechanism can be made thin.

(23)前記サブヘッドが前記ノズルユニット及び前記バルブ機構を制御する制御回路基板を搭載し、前記ノズル固定用回転部材の軸部の内側空間に、前記制御回路基板からスリップリングを介して取り出した信号線を敷設するとともに、前記ノズル機構への吸気通路を形成したことを特徴とする(22)記載の部品装着装置。   (23) A signal taken out from the control circuit board via a slip ring in the inner space of the shaft portion of the nozzle fixing rotary member, on which the sub head is mounted with a control circuit board for controlling the nozzle unit and the valve mechanism. The component mounting device according to (22), wherein a line is laid and an intake passage to the nozzle mechanism is formed.

この部品装着装置によれば、ノズル固定用回転部材の軸部の内側空間を有効利用して、信号線を敷設するとともに吸気通路を形成することで、サブヘッドの回転機構を一層小型化できる。   According to this component mounting device, the sub-head rotating mechanism can be further reduced in size by laying the signal line and forming the intake passage by effectively using the inner space of the shaft portion of the nozzle fixing rotating member.

本発明の部品装着装置は、部品移載ヘッドが複数のヘッドユニットを具備し、このヘッドユニットが、吸着ノズルをサブヘッド回転軸を中心とする円周状に該吸着ノズルの部品吸着側を前記円周の外側に向けて複数のノズルユニットを配置したサブヘッドと、このサブヘッドをサブヘッド回転軸回りに回転駆動する回転駆動手段とを有し、さらにこのサブヘッドを、ヘッドユニット内にサブヘッド回転軸を部品供給部の部品供給位置の配列方向に沿う方向に配置した構成としている。このため、サブヘッド毎に異なる種類の吸着ノズルを取り付けることで、チップ部品、異形部品等の異種部品に対する装着が同時に対応可能で、且つ高速な部品装着を可能とし、いかなる生産形態にも高速且つ高効率で対応可能にすることができる。また、部品移載ヘッドの構成を小型で簡素のままに、吸着ノズル交換のための動作時間を最小限にしてタクトアップを図ることができる。さらに、吸着ノズルを交換する必要のある機種切り替え時であっても、短時間で正確な交換作業が行えるようにすることができる。そしてさらに、部品供給部から吸着ノズルに吸着保持した部品を基板上に装着するまでの部品装着動作の円滑化を図ることができる。   In the component mounting apparatus of the present invention, the component transfer head includes a plurality of head units, and the head unit is configured such that the suction nozzle has a circular shape around the rotation axis of the sub head, and the suction side of the suction nozzle is set to the circular shape. It has a sub head in which a plurality of nozzle units are arranged toward the outside of the circumference, and a rotation driving means for driving the sub head to rotate about the sub head rotation axis. Further, the sub head is supplied with the sub head rotation axis as a component in the head unit. It is set as the structure arrange | positioned in the direction along the arrangement direction of the component supply position of a part. For this reason, by attaching different types of suction nozzles to each sub head, it is possible to simultaneously mount different types of parts such as chip parts and odd-shaped parts, and also enables high-speed part mounting. It can be made available with efficiency. In addition, while the configuration of the component transfer head is small and simple, the operation time for exchanging the suction nozzle can be minimized and the tact time can be increased. Furthermore, even when the model needs to be replaced, it is possible to perform an accurate replacement operation in a short time. Further, it is possible to facilitate the component mounting operation from the component supply unit to mounting the component sucked and held by the suction nozzle on the substrate.

以下、本発明に係る部品装着装置の好適な実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図1は本発明に係る部品装着装置の概略構成を示す平面図、図2は部品装着装置における部品移載ヘッドの動きを説明する平面図である。
部品装着装置100は、基台11と、この基台11上に複数(図では一例として2つ)の部品装着ステージ13a,13bを備えている。基台11は、その中央に、回路基板15を所定位置に支持する基板固定部17を備えており、この基板固定部17は、回路基板15を所定の部品装着動作位置(図1に示す部品装着装置の略中央)に搬入して位置決めする基板搬送部19を有する。基板搬送部19は、一対のプーリ21a,21bの間に巻回された搬送ベルト23を有する固定側搬送レール24aと、この固定側搬送レール24aに対してレール間幅を可変に平行移動自在に配置された可動側搬送レール24bとを有する。各搬送レール24a,24bの搬送ベルト23を駆動することで、基台11の側部に設けられたローダ25から送り込まれる回路基板15を、この搬送ベルト23に載置させて搬送し、回路基板15を基板固定部17の所定位置へ搬入する。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of a component mounting apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a component mounting apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a plan view for explaining the movement of a component transfer head in the component mounting apparatus.
The component mounting apparatus 100 includes a base 11 and a plurality of (two by way of example) component mounting stages 13 a and 13 b on the base 11. The base 11 is provided with a substrate fixing portion 17 at the center for supporting the circuit board 15 at a predetermined position. The substrate fixing portion 17 places the circuit board 15 at a predetermined component mounting operation position (the component shown in FIG. 1). It has a substrate transfer section 19 that is carried into and positioned in the approximate center of the mounting apparatus. The substrate transport unit 19 has a fixed-side transport rail 24a having a transport belt 23 wound between a pair of pulleys 21a and 21b, and a rail-to-rail width variably movable with respect to the fixed-side transport rail 24a. It has the movable conveyance rail 24b arranged. By driving the conveyor belt 23 of each of the conveyor rails 24a and 24b, the circuit board 15 fed from the loader 25 provided on the side of the base 11 is placed on the conveyor belt 23 to be conveyed, and the circuit board 15 is carried into a predetermined position of the substrate fixing unit 17.

部品装着ステージ13a,13bは、それぞれ略同一の機能を有しており、基台11上に対称的に配置されている。以下、部品装着ステージ13aを主に説明することにする。部品装着ステージ13aは、主に、電子部品を連続的に供給するパーツフィーダ31等が複数取り付けられて多品種の電子部品を部品供給位置33において吸着可能にする部品供給部35を備えている。
また、部品装着ステージ13は、部品供給部35の所定の部品供給位置33で電子部品を保持してこの電子部品を回路基板15に装着する部品移載ヘッド37を備えている。この部品移載ヘッド37は、XYロボット39に支持されており、このXYロボット39は、部品移載ヘッド37を、図1中のXY方向へ移動させて部品供給位置33や回路基板15の上方に移動させる。
The component mounting stages 13 a and 13 b have substantially the same function, and are arranged symmetrically on the base 11. Hereinafter, the component mounting stage 13a will be mainly described. The component mounting stage 13 a mainly includes a component supply unit 35 to which a plurality of parts feeders 31 and the like for continuously supplying electronic components are attached, so that various types of electronic components can be sucked at the component supply position 33.
The component mounting stage 13 includes a component transfer head 37 that holds an electronic component at a predetermined component supply position 33 of the component supply unit 35 and mounts the electronic component on the circuit board 15. The component transfer head 37 is supported by an XY robot 39. The XY robot 39 moves the component transfer head 37 in the XY direction in FIG. Move to.

XYロボット39は、基台11の両側部のシャフト41に支持されたX軸ビーム43を有し、このX軸ビーム43に部品移載ヘッド37が、X方向へ移動可能に支持されている。X軸ビーム43は、シャフト41に沿ってY方向へ移動可能とされており、シャフト41と平行に設けられたボールネジシャフト45がY軸移動用モータ47によって回転されることにより、Y軸方向へ移動される。   The XY robot 39 has an X-axis beam 43 supported by shafts 41 on both sides of the base 11, and a component transfer head 37 is supported by the X-axis beam 43 so as to be movable in the X direction. The X-axis beam 43 is movable in the Y direction along the shaft 41, and the ball screw shaft 45 provided in parallel with the shaft 41 is rotated by the Y-axis moving motor 47, so that the X-axis beam 43 is moved in the Y-axis direction. Moved.

基台11上には、部品供給部35と基板固定部17との間に、ノズルチェンジユニット49、部品認識部51、及び廃棄トレイ52が配設されている。ノズルチェンジユニット49は、部品移載ヘッド37に装着させる各種部品装着用の吸着ノズル65を保持したもので、部品移載ヘッド37は、このノズルチェンジユニット49により、吸着ノズル65の交換を行うことができる。なお、このノズルチェンジユニット49には、生産形態に応じて大きさや種類の異なる各種吸着ノズル65を備えたものが設置される。また、部品認識部51は、ラインセンサ等からなる光学センサを備え、部品移載ヘッド37の吸着ノズル65が吸着している電子部品の姿勢(部品位置や回転角度等)を認識する。廃棄トレイ52には、部品移載ヘッド37の吸着ノズル65が吸着している電子部品に種類の誤りや不具合がある際に、その電子部品が廃棄される。   On the base 11, a nozzle change unit 49, a component recognition unit 51, and a waste tray 52 are disposed between the component supply unit 35 and the board fixing unit 17. The nozzle change unit 49 holds a suction nozzle 65 for mounting various components to be mounted on the component transfer head 37, and the component transfer head 37 exchanges the suction nozzle 65 by the nozzle change unit 49. Can do. The nozzle change unit 49 is provided with various suction nozzles 65 of different sizes and types depending on the production form. The component recognizing unit 51 includes an optical sensor such as a line sensor, and recognizes the posture (component position, rotation angle, and the like) of the electronic component sucked by the suction nozzle 65 of the component transfer head 37. In the disposal tray 52, when the electronic component attracted by the suction nozzle 65 of the component transfer head 37 has a type error or malfunction, the electronic component is discarded.

上記構成の部品移載ヘッド37は、図2(a)〜(c)にその動作を示すように、部品供給位置33で電子部品を吸着すると(図2(a))、XYロボット39によって部品認識部51上を水平に移動されて、吸着している電子部品のXY方向の位置及び回転方向(θ方向)の位置から姿勢が認識され(図2(b))、その後、基板固定部17に支持されている回路基板15上へ移動され、回路基板15への電子部品の装着を行う(図2(c))。   As shown in FIGS. 2A to 2C, the component transfer head 37 having the above-described configuration attracts an electronic component at the component supply position 33 (FIG. 2A). The posture is recognized from the position in the XY direction and the position in the rotation direction (θ direction) of the electronic component that is moved horizontally on the recognition unit 51 (FIG. 2B), and then the board fixing unit 17. The electronic component is mounted on the circuit board 15 (FIG. 2C).

次に、部品移載ヘッド37について説明する。
図3は部品移載ヘッドの外観斜視図、図4は部品移載ヘッドを構成するヘッドユニットの斜視図、図5は吸着ノズルが取り付けられたリボルバ型サブヘッドの要部拡大斜視図、図6はヘッドユニットの一部分解斜視図、図7はヘッドユニットの一側部側から視た側面図、図8はヘッドユニットの他側部側から視た側面図、図9は撮像部の構造を説明する要部断面図である。
Next, the component transfer head 37 will be described.
3 is an external perspective view of the component transfer head, FIG. 4 is a perspective view of a head unit constituting the component transfer head, FIG. 5 is an enlarged perspective view of a main part of a revolver type subhead to which a suction nozzle is attached, and FIG. FIG. 7 is a side view seen from one side of the head unit, FIG. 8 is a side view seen from the other side of the head unit, and FIG. 9 illustrates the structure of the imaging unit. It is principal part sectional drawing.

図3に示すように、部品移載ヘッド37は、第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63を着脱自在に備えている。各ヘッドユニット61,63は、左右対称の構造で並設された略同一機能のユニットである。そのため、ここでは、第1ヘッドユニット61の構造を例にとり説明する。   As shown in FIG. 3, the component transfer head 37 includes a first head unit 61 and a second head unit 63 detachably. Each of the head units 61 and 63 is a unit having substantially the same function arranged side by side with a symmetrical structure. Therefore, here, the structure of the first head unit 61 will be described as an example.

第1ヘッドユニット61は、図3及び図4に示すように、複数の吸着ノズル65を、サブヘッド回転中心であるR軸回りに回転可能に配置したリボルバ型のサブヘッド67と、このサブヘッド67を回転駆動する回転駆動手段としてのサブヘッド回転モータ69と、サブヘッド67の下端位置の吸着ノズル65を下降動作させるノズル昇降手段としての押し下げ機構71と、サブヘッド67の上端位置の吸着ノズル65に吸着された電子部品を撮像する撮像部73とを有する。
そして、これらリボルバ型サブヘッド67、サブヘッド回転モータ69、押し下げ機構71及び撮像部73は、縦断面視でL字状となるヘッドユニット外枠75に組み付けられている。
As shown in FIGS. 3 and 4, the first head unit 61 includes a revolver-type sub head 67 in which a plurality of suction nozzles 65 are rotatably arranged around the R axis that is the sub head rotation center, and the sub head 67 rotates. A sub-head rotation motor 69 as a rotational drive means for driving, a push-down mechanism 71 as a nozzle raising / lowering means for lowering the suction nozzle 65 at the lower end position of the sub head 67, and an electron adsorbed by the suction nozzle 65 at the upper end position of the sub head 67 And an imaging unit 73 that images the component.
The revolver-type sub head 67, the sub head rotating motor 69, the push-down mechanism 71, and the imaging unit 73 are assembled to a head unit outer frame 75 that is L-shaped in a longitudinal sectional view.

リボルバ型のサブヘッド67は、図5に示すように、吸着ノズル65をサブヘッド回転軸であるR軸を中心とする円周上に、この吸着ノズル65の部品吸着側を円周の外側に向けて複数(本実施形態では一例として8個)のノズルユニット77を配置している。このように、周方向へ間隔をあけて放射状に配置された複数のノズルユニット77が備えられ、これらノズルユニット77は、詳細は後述するノズル固定用回転部材としての円盤形状のフランジ部78に取り付けられている。
これらノズルユニット77は、その先端部に吸着ノズル65のチャック機構79を有し、このチャック機構79により、電子部品を吸着させて保持する吸着ノズル65を着脱自在に保持している。
ノズルユニット77は、その基端部側に、中心軸であるθ軸を中心として吸着ノズル65を回動させるノズル回転駆動手段としてのθ軸モータ81を備えており、一方の側面(図5では手前側の側面)には、カムフォロア83が突出して設けてある。そして、これらノズルユニット77は、フランジ部78に固定されたガイドレール80に、サブヘッド67の径方向へ移動可能に支持されている。
As shown in FIG. 5, the revolver-type sub head 67 has the suction nozzle 65 on the circumference centering on the R axis that is the sub head rotation axis, with the component suction side of the suction nozzle 65 facing the outside of the circumference. A plurality (eight as an example in the present embodiment) of nozzle units 77 are arranged. In this way, a plurality of nozzle units 77 arranged radially at intervals in the circumferential direction are provided, and these nozzle units 77 are attached to a disk-shaped flange portion 78 as a nozzle fixing rotating member, which will be described in detail later. It has been.
These nozzle units 77 have a chuck mechanism 79 for the suction nozzle 65 at the tip, and the chuck mechanism 79 detachably holds the suction nozzle 65 for sucking and holding electronic components.
The nozzle unit 77 is provided with a θ-axis motor 81 as nozzle rotation driving means for rotating the suction nozzle 65 around the θ-axis that is the center axis on the base end side, and one side surface (in FIG. 5). A cam follower 83 protrudes from the front side surface. These nozzle units 77 are supported by a guide rail 80 fixed to the flange portion 78 so as to be movable in the radial direction of the sub head 67.

ノズルユニット77のカムフォロア83が突出されたサブヘッド67の一側面側には、図4に示すように、押し下げ機構71の一構成部材である回転案内板85が配設されている。この回転案内板85は、ユニット外枠75に固定されている。回転案内板85を図4の裏側から見た状態を表す図6に示すように、この回転案内板85には、サブヘッド67側に、円環状のカム溝87を有する円筒カム部材88を備えている。
カム溝87には、サブヘッド67の各ノズルユニット77に設けられたカムフォロア83が転動可能に配置されており、サブヘッド67がR軸を中心として回転することにより、カムフォロア83がカム溝87内を案内されつつ移動する。
As shown in FIG. 4, a rotation guide plate 85, which is a constituent member of the push-down mechanism 71, is disposed on one side of the sub head 67 from which the cam follower 83 of the nozzle unit 77 protrudes. The rotation guide plate 85 is fixed to the unit outer frame 75. As shown in FIG. 6 showing the state of the rotation guide plate 85 as viewed from the back side of FIG. 4, the rotation guide plate 85 includes a cylindrical cam member 88 having an annular cam groove 87 on the sub head 67 side. Yes.
A cam follower 83 provided in each nozzle unit 77 of the sub head 67 is rotatably disposed in the cam groove 87, and the cam follower 83 is moved in the cam groove 87 by rotating about the R axis. Move while being guided.

回転案内板85は、その下部に、上下方向へ移動可能な昇降カム部材89を備えている。この昇降カム部材89は、サブヘッド67側に、カム溝87の一部を構成する昇降カム溝91を有している。そして、この昇降カム部材89は、図7及び図8に示すように、昇降カム溝91が、実線で示される上方位置でカム溝87の一部として他の部分と連続され、二点鎖線で示される下方位置でカム溝87の他の部分と分断される。   The rotation guide plate 85 includes an elevating cam member 89 that is movable in the vertical direction at the lower portion thereof. The elevating cam member 89 has an elevating cam groove 91 constituting a part of the cam groove 87 on the sub head 67 side. As shown in FIGS. 7 and 8, the elevating cam member 89 includes an elevating cam groove 91 that is continuous with other parts as a part of the cam groove 87 at an upper position indicated by a solid line, and is indicated by a two-dot chain line. It is divided from the other portion of the cam groove 87 at the lower position shown.

これにより、サブヘッド67の下端に位置するノズルユニット77のカムフォロア83が昇降カム溝91内に配置された状態にて、昇降カム部材89が下方へ移動することにより、カムフォロア83が下方へ移動され、そのノズルユニット77がカムフォロア83とともに下方へ向かって移動され、吸着ノズル65による部品供給部35からの電子部品の受け取りあるいは回路基板15への電子部品の装着等が行われる。   Thereby, in the state where the cam follower 83 of the nozzle unit 77 located at the lower end of the sub head 67 is disposed in the lift cam groove 91, the lift cam member 89 moves downward, thereby moving the cam follower 83 downward, The nozzle unit 77 is moved downward together with the cam follower 83 so that the suction nozzle 65 receives the electronic component from the component supply unit 35 or mounts the electronic component on the circuit board 15.

上記の昇降カム部材89には、図7に示すように、サブヘッド67と反対側に突出する係合ピン93が設けられている。この係合ピン93には、中間部が回転案内板85に回動可能に連結されたノズル昇降駆動アーム95の一端部に形成された切り欠き部97が係合されている。
ノズル昇降駆動アーム95は、他端部にも切り欠き部101が形成されており、この切り欠き部101には、回転案内板85の一側部にて上下方向へ移動可能に支持された昇降用ロッド103の下端に設けられたロッド下端ピン105が係合されている。
昇降用ロッド103は、図4に示すように、その上端部が、連結アーム107に連結されている。この連結アーム107は、サブヘッド67の上方に設けられたノズル昇降用モータ109の回転軸に固定されている。
As shown in FIG. 7, the lift cam member 89 is provided with an engagement pin 93 that protrudes on the opposite side of the sub head 67. The engagement pin 93 is engaged with a notch 97 formed at one end of a nozzle lifting / lowering drive arm 95 whose intermediate portion is rotatably connected to the rotation guide plate 85.
The nozzle lifting / lowering drive arm 95 is also formed with a notch 101 at the other end. The notch 101 is supported by one side of the rotation guide plate 85 so as to be movable up and down. A rod lower end pin 105 provided at the lower end of the rod 103 for engagement is engaged.
As shown in FIG. 4, the lifting rod 103 has an upper end connected to the connecting arm 107. The connecting arm 107 is fixed to a rotating shaft of a nozzle lifting / lowering motor 109 provided above the sub head 67.

そして、ノズル昇降用モータ109が駆動されて連結アーム107が回動されると、その回動によって昇降用ロッド103が上下に移動する。これにより、ノズル昇降駆動アーム95が、回転案内板85との連結支点96を中心として回動し、昇降カム部材89が昇降され、これに伴い、サブヘッド67の下端に位置されたノズルユニット77が昇降駆動される。   When the nozzle lifting / lowering motor 109 is driven and the connecting arm 107 is rotated, the lifting / lowering rod 103 is moved up and down by the rotation. As a result, the nozzle raising / lowering drive arm 95 rotates about the connection fulcrum 96 with the rotation guide plate 85, and the raising / lowering cam member 89 is raised / lowered. Accordingly, the nozzle unit 77 positioned at the lower end of the sub head 67 is moved. It is driven up and down.

図4及び図9に示すように、サブヘッド67の上部には、照明部111が設けられている。この照明部111は、側方照明用LED群113及び上方照明用LED群115を有している。これら側方照明用LED群113及び上方照明用LED群115は、それぞれ周方向に配置された複数の発光源(例えばLED)からなるもので、側方照明用LED群113は、側方から中心に向かってLEDの光を照射し、上方照明用LED群115は、斜め上方から下方中心に向かってLEDの光を照射する。   As shown in FIGS. 4 and 9, an illumination unit 111 is provided on the upper portion of the sub head 67. The illumination unit 111 includes a side illumination LED group 113 and an upper illumination LED group 115. The side illumination LED group 113 and the upper illumination LED group 115 are each composed of a plurality of light emitting sources (for example, LEDs) arranged in the circumferential direction, and the side illumination LED group 113 is centered from the side. The LED light 115 for upper illumination irradiates the light of the LED from diagonally upward to the lower center.

これにより、サブヘッド67の上端位置のノズルユニット77の吸着ノズル65に吸着された電子部品が、照明部111の直下に配置され、この照明部111の側方照明用LED群113及び上方照明用LED群115によって照明される。   Thereby, the electronic component sucked by the suction nozzle 65 of the nozzle unit 77 at the upper end position of the sub head 67 is arranged immediately below the illumination unit 111, and the side illumination LED group 113 and the upper illumination LED of the illumination unit 111 are arranged. Illuminated by group 115.

さらに、照明部111の上方には、撮像部73が配設されている。この撮像部73は、内部にレンズ群117を備えた筐体119を有し、この筐体119の上端には、CMOS等の撮像素子121及び撮像素子121を駆動させる基板123が順に設けられている。
そして、この撮像部73は、照明部111によって照明された電子部品の画像を撮像素子121にて電気信号からなる撮像信号に変換して出力し、吸着ノズル65に吸着された電子部品の姿勢を検出する。
Further, an imaging unit 73 is disposed above the illumination unit 111. The imaging unit 73 includes a housing 119 having a lens group 117 therein, and an imaging device 121 such as a CMOS and a substrate 123 for driving the imaging device 121 are sequentially provided on the upper end of the housing 119. Yes.
The imaging unit 73 converts the image of the electronic component illuminated by the illumination unit 111 into an imaging signal composed of an electrical signal by the imaging element 121 and outputs the image, and the posture of the electronic component sucked by the suction nozzle 65 is changed. To detect.

また、図10に示すように、隣接する第1ヘッドユニット61と第2ヘッドユニット63の各撮像部を一つに統合した構成としてもよい。つまり、最上位置の吸着ノズル65の上方に、ミラー76,82を設けて、光路を偏向させることにより、一つの撮像部74で各ヘッドユニット61,63の吸着部品を一度に撮像する。上記構成のミラー76、82は、プリズムであってもよい。また、光ファイバー等のフレキシブルな光伝達手段を介して一つの撮像部74に画像を統合させる構成としてもよい。   Moreover, as shown in FIG. 10, it is good also as a structure which integrated each imaging part of the adjacent 1st head unit 61 and the 2nd head unit 63 into one. That is, by providing mirrors 76 and 82 above the uppermost suction nozzle 65 and deflecting the optical path, one imaging unit 74 images the suction components of the head units 61 and 63 at a time. The mirrors 76 and 82 configured as described above may be prisms. Moreover, it is good also as a structure which integrates an image in the one imaging part 74 via flexible light transmission means, such as an optical fiber.

ところで、リボルバ型サブヘッド67には、各ノズルユニット77同士の間に、それぞれのノズルユニット77に対応するメカニカルバルブ131を備えている。
このメカニカルバルブ131は、吸着ノズル65に電子部品を着脱させるためのバルブである。
By the way, the revolver type sub head 67 is provided with mechanical valves 131 corresponding to the respective nozzle units 77 between the respective nozzle units 77.
The mechanical valve 131 is a valve for attaching / detaching an electronic component to / from the suction nozzle 65.

ここで、ノズルユニット77の詳細構造及び吸着ノズル65における電子部品の吸着構造について説明する。
図11はリボルバ型サブヘッドの正面図、図12はメカニカルバルブ及びノズルユニットにおける流路を説明する要部断面図、図12はメカニカルバルブにおける流路の切り換えを説明する断面図、図14はメカニカルバルブの流路構成を説明する等価回路図である。
Here, a detailed structure of the nozzle unit 77 and an electronic component suction structure in the suction nozzle 65 will be described.
11 is a front view of the revolver-type subhead, FIG. 12 is a cross-sectional view of the main part for explaining the flow path in the mechanical valve and the nozzle unit, FIG. 12 is a cross-sectional view for explaining the switching of the flow path in the mechanical valve, and FIG. It is an equivalent circuit diagram explaining the flow-path structure of this.

ノズルユニット77のθ軸モータ81のモータシャフト133には、その先端部にエア通路135が形成されている。モータシャフト133の基端部には、開口部133aが形成されており、この開口部133aは、流路137に連通されている。また、ノズルユニット77には、パイプ139が接続されており、このパイプ139が流路137に連通されている。
メカニカルバルブ131は、第1ポートI、第2ポートII、第3ポートIII、第4ポートIV及び第5ポートVを有している。そして、パイプ139は、メカニカルバルブ131の第1ポートIに接続されている。
An air passage 135 is formed at the tip of the motor shaft 133 of the θ-axis motor 81 of the nozzle unit 77. An opening 133 a is formed at the base end of the motor shaft 133, and the opening 133 a communicates with the flow path 137. Further, a pipe 139 is connected to the nozzle unit 77, and the pipe 139 communicates with the flow path 137.
The mechanical valve 131 has a first port I, a second port II, a third port III, a fourth port IV, and a fifth port V. The pipe 139 is connected to the first port I of the mechanical valve 131.

メカニカルバルブ131には、シリンダ室151が形成されており、このシリンダ室151には、スプール153が摺動可能に設けられている。スプール153は、その中間部が小径部153aとされ、この小径部153aとシリンダ室151との間に、環状流路155が形成されている。
また、メカニカルバルブ131は、シリンダ室151に対して第1ポートI、第2ポートII、第3ポートIIIを連通させる流路157、159、161を有している。
ここで、流路157は、スプール153の摺動に関わらず、常に環状流路155に連通されている。また、流路159は、スプール153が下方に配置されているときのみ環状流路155に連通され、流路161は、スプール153が上方に配置されているときのみ環状流路155に連通される。
A cylinder chamber 151 is formed in the mechanical valve 131, and a spool 153 is slidably provided in the cylinder chamber 151. An intermediate portion of the spool 153 is a small diameter portion 153 a, and an annular flow path 155 is formed between the small diameter portion 153 a and the cylinder chamber 151.
The mechanical valve 131 has flow paths 157, 159, and 161 that allow the first port I, the second port II, and the third port III to communicate with the cylinder chamber 151.
Here, the flow path 157 always communicates with the annular flow path 155 regardless of the sliding of the spool 153. The channel 159 communicates with the annular channel 155 only when the spool 153 is disposed below, and the channel 161 communicates with the annular channel 155 only when the spool 153 is disposed above. .

また、メカニカルバルブ131は、シリンダ室151の上端と第4ポートIVとを連通させる流路163及びシリンダ室151の下端と第5ポートVとを連通させる流路165を有している。
第2ポートIIは、フランジ部78に形成されて真空引きされている負圧流路167に連通されており、常に負圧とされている。この負圧流路167は、各ノズルユニット77のメカニカルバルブ131に対応して、フランジ部78に、放射状に形成されている。また、第3ポートIII、第4ポートIV、第5ポートVは、メカニカルバルブ131の表面側にて開口されている。
The mechanical valve 131 has a flow path 163 that communicates the upper end of the cylinder chamber 151 and the fourth port IV and a flow path 165 that communicates the lower end of the cylinder chamber 151 and the fifth port V.
The second port II communicates with a negative pressure flow path 167 formed in the flange portion 78 and evacuated, and is always at a negative pressure. The negative pressure channel 167 is formed radially in the flange portion 78 corresponding to the mechanical valve 131 of each nozzle unit 77. Further, the third port III, the fourth port IV, and the fifth port V are opened on the surface side of the mechanical valve 131.

リボルバ型サブヘッド67の下方位置には、給気ユニット169が設けられている。この給気ユニット169は、円周最下位置のノズルユニット77に対応するメカニカルバルブ131の表面に当接し、空気が送り込まれて正圧とされている流路171を、第3ポートIII、第4ポートIV、第5ポートVの開口部に連通させてこれら第3ポートIII、第4ポートIV、第5ポートVを正圧としたり、また、その切り換えを行う。
ここで、この給気ユニット169は、第3ポートIIIを常に正圧とするとともに、第4ポートIVあるいは第5ポートVのいずれか一方を正圧とする。
An air supply unit 169 is provided below the revolver type sub head 67. This air supply unit 169 abuts the surface of the mechanical valve 131 corresponding to the nozzle unit 77 at the lowest position on the circumference, and passes the flow path 171 that is supplied with positive air pressure through the third port III, The third port III, the fourth port IV, and the fifth port V are connected to the openings of the 4 port IV and the fifth port V to make positive pressure, and the switching is performed.
Here, the air supply unit 169 always sets the third port III to positive pressure, and sets either the fourth port IV or the fifth port V to positive pressure.

そして、この給気ユニット169によって第4ポートIVが正圧とされると、図13(a)、図14(a)に示すように、流路163を介してシリンダ室151の上端が正圧となり、スプール153が下方へ移動する。これにより、環状流路155を介して第2ポートIIと第1ポートIとが連通され、第1ポートIが負圧とされる。したがって、パイプ139を介してノズルユニット77のモータシャフト133内のエア通路135内が負圧となり、チャック機構79に把持された吸着ノズル65の先端部に電子部品が吸着される。   When the fourth port IV is set to a positive pressure by the air supply unit 169, the upper end of the cylinder chamber 151 is set to a positive pressure via the flow path 163 as shown in FIGS. 13 (a) and 14 (a). Thus, the spool 153 moves downward. As a result, the second port II and the first port I communicate with each other via the annular flow path 155, and the first port I is set to a negative pressure. Therefore, a negative pressure is generated in the air passage 135 in the motor shaft 133 of the nozzle unit 77 through the pipe 139, and the electronic component is adsorbed to the tip of the adsorption nozzle 65 held by the chuck mechanism 79.

これに対して、給気ユニット169によって第5ポートVが正圧とされると、図13(b)、図14(b)に示すように、流路165を介してシリンダ室151の下端が正圧となり、スプール153が上方へ移動する。これにより、環状流路155を介して第3ポートIIIと第1ポートIとが連通され、第1ポートIが正圧とされる。したがって、パイプ139を介してノズルユニット77のモータシャフト133内のエア通路135内が正圧となり、チャック機構79に把持された吸着ノズル65の先端部の電子部品の吸着が解除される。   On the other hand, when the fifth port V is set to a positive pressure by the air supply unit 169, the lower end of the cylinder chamber 151 passes through the flow path 165 as shown in FIGS. 13 (b) and 14 (b). Positive pressure is applied, and the spool 153 moves upward. As a result, the third port III and the first port I communicate with each other via the annular flow path 155, and the first port I is set to a positive pressure. Therefore, the pressure in the air passage 135 in the motor shaft 133 of the nozzle unit 77 becomes positive via the pipe 139, and the suction of the electronic components at the tip of the suction nozzle 65 held by the chuck mechanism 79 is released.

次に、リボルバ型サブヘッド67の周辺構造について説明する。
図15はリボルバ型サブヘッド及びその周辺部分における断面図、図16はサブヘッド回転モータの断面図(a)及び正面図(b)、図17はフランジ部の負圧流路を示す正面図、図18は制御回路基板の構成図である。
各ノズルユニット77を支持するフランジ部78には、その中心に、回転筒部181が形成されており、この回転筒部181がサブヘッド回転モータ69に固定され、このサブヘッド回転モータ69が固定されたヘッドユニット外枠75に支持されている。
Next, the peripheral structure of the revolver type sub head 67 will be described.
15 is a cross-sectional view of the revolver-type subhead and its peripheral portion, FIG. 16 is a cross-sectional view (a) and a front view (b) of the subhead rotating motor, FIG. 17 is a front view showing a negative pressure flow path of the flange portion, and FIG. It is a block diagram of a control circuit board.
A rotary cylinder 181 is formed at the center of the flange 78 that supports each nozzle unit 77, and this rotary cylinder 181 is fixed to the sub head rotary motor 69, and the sub head rotary motor 69 is fixed. It is supported by the head unit outer frame 75.

サブヘッド回転モータ69は、ヘッドユニット外枠75に固定される固定部材183を有している。この固定部材183には、ステータ筒部185を有しており、このステータ筒部185内に、フランジ部78の回転筒部181がベアリング187によって回転可能に支持されている。ステータ筒部185には、その外周にコイル189を有している。また、フランジ部78には、ロータ筒部191が形成されており、このロータ筒部191の内周面には、コイル189に対向するマグネット193が設けられている。これにより、コイル189に電力が供給されることにより、マグネット193を有するロータ筒部191に回転力が生じ、ノズルユニット77を支持するフランジ部78が回転される。   The sub head rotation motor 69 has a fixing member 183 fixed to the head unit outer frame 75. The fixing member 183 has a stator tube portion 185, and the rotating tube portion 181 of the flange portion 78 is rotatably supported by the bearing 187 in the stator tube portion 185. The stator cylinder portion 185 has a coil 189 on its outer periphery. Further, the flange portion 78 is formed with a rotor cylinder portion 191, and a magnet 193 facing the coil 189 is provided on the inner peripheral surface of the rotor cylinder portion 191. Thereby, when electric power is supplied to the coil 189, a rotational force is generated in the rotor cylinder portion 191 having the magnet 193, and the flange portion 78 that supports the nozzle unit 77 is rotated.

フランジ部78のロータ筒部191には、その外周に、周方向へわたってスリット板部195が形成されており、このスリット板部195は、ロータ筒部191の外周を覆うエンコーダカバー197に形成された溝部199内に配設されている。スリット板部195には、複数のスリット201が周方向へ間隔をあけて形成されている。   A slit plate portion 195 is formed on the outer periphery of the rotor cylinder portion 191 of the flange portion 78 in the circumferential direction. The slit plate portion 195 is formed on the encoder cover 197 that covers the outer periphery of the rotor cylinder portion 191. The groove portion 199 is disposed. A plurality of slits 201 are formed in the slit plate portion 195 at intervals in the circumferential direction.

サブヘッド回転モータ69の外周の一部には、読み取りセンサ部203が設けられている。読み取りセンサ部203は、スリット板部195へ向かって光を照射する投光器205と、この投光器205から照射されてスリット板部195のスリット201を通過した光を受光して電気信号に変換する光検出器207とを有している。そして、この光検出器207からの検出信号に基づいて、リボルバ型サブヘッド67の回転量が検出される。   A reading sensor unit 203 is provided on a part of the outer periphery of the sub head rotation motor 69. The reading sensor unit 203 includes a projector 205 that emits light toward the slit plate unit 195, and a light detection that receives the light emitted from the projector 205 and passes through the slit 201 of the slit plate unit 195 and converts it into an electrical signal. And a container 207. Based on the detection signal from the photodetector 207, the amount of rotation of the revolver type sub head 67 is detected.

フランジ部78の回転筒部181には、円筒状の連結筒211が設けられている。この連結筒211は、その後端側における側部に、連結口213が形成されており、この連結口213には、図示しない真空ポンプに接続された減圧パイプ215が接続されている。 連結筒211は、その先端側における外周に、二つのOリング217が装着され、連結筒211と回転筒部181との間が気密されている。   A cylindrical connecting cylinder 211 is provided on the rotating cylinder part 181 of the flange part 78. The connecting cylinder 211 has a connecting port 213 formed in the side portion on the rear end side thereof, and a pressure reducing pipe 215 connected to a vacuum pump (not shown) is connected to the connecting port 213. The connecting cylinder 211 is provided with two O-rings 217 on the outer periphery on the tip side thereof, and the space between the connecting cylinder 211 and the rotating cylinder portion 181 is hermetically sealed.

連結筒211は、二つのOリング217同士の間に、開口部219を有しており、これら開口部219を介して、フランジ部78の負圧流路167と連結筒211内とが連通されている。
また、Oリング217同士の間における連結筒211の外周には、開口部219を覆うフィルタ221が設けられている。連結筒211は、その先端部に雌ねじが形成されており、この雌ねじには、蓋部材223が螺合されて気密状態に閉鎖されている。
そして、上記連結筒211内が真空ポンプを作動させることにより減圧されると、この連結筒211内と連通されているフランジ部78のそれぞれの負圧流路167内が負圧とされる。負圧流路167は、図17に示すように、フランジ部40内で放射状に形成されている。
The connecting cylinder 211 has an opening 219 between the two O-rings 217, and the negative pressure flow path 167 of the flange 78 and the inside of the connecting cylinder 211 are communicated with each other through the opening 219. Yes.
A filter 221 that covers the opening 219 is provided on the outer periphery of the connecting cylinder 211 between the O-rings 217. The connecting cylinder 211 is formed with a female screw at the tip, and a lid member 223 is screwed into the female screw and is closed in an airtight state.
When the inside of the connecting cylinder 211 is depressurized by operating a vacuum pump, the inside of each negative pressure flow path 167 of the flange portion 78 communicating with the inside of the connecting cylinder 211 is set to a negative pressure. As shown in FIG. 17, the negative pressure channel 167 is formed radially in the flange portion 40.

連結筒211の先端部に取り付けられた蓋部材223には、スリップリング225が設けられている。このスリップリング225は、中心の給電軸227と、この給電軸227の外周を覆う受電筒229とを有し、受電筒229が回動可能に設けられている。給電軸227には、蓋部材223を通して信号線及び電力線からなる給電線231が接続されている。
スリップリング225の給電軸227と受電筒229との間には、図示しない摺動接点が設けられており、給電軸227と受電筒229との間にて、信号及び駆動電力の授受が行われる。なお、給電線231は、連結筒211内を通り、この連結筒211の後端側における側部から引き出されている。なお、この連結筒211からの給電線231の引き出し部分は気密されている。
A slip ring 225 is provided on the lid member 223 attached to the distal end portion of the connecting cylinder 211. The slip ring 225 includes a central power feeding shaft 227 and a power receiving cylinder 229 that covers the outer periphery of the power feeding shaft 227, and the power receiving cylinder 229 is rotatably provided. A power supply line 231 including a signal line and a power line is connected to the power supply shaft 227 through a lid member 223.
A sliding contact (not shown) is provided between the power feeding shaft 227 and the power receiving cylinder 229 of the slip ring 225, and signals and driving power are exchanged between the power feeding shaft 227 and the power receiving cylinder 229. . The power supply line 231 passes through the connecting cylinder 211 and is drawn from a side portion on the rear end side of the connecting cylinder 211. Note that the lead-out portion of the power supply line 231 from the connecting cylinder 211 is airtight.

スリップリング225の先端部には、円板状の制御回路基板241が設けられている。 この制御回路基板241は、ステー242によってフランジ部78に支持されている。
この制御回路基板241には、各ノズルユニット77に対応する電力スイッチ243と回転制御素子245とが装着されている。また、この制御回路基板241には、内周側の2カ所にサーボ切替回路247が設けられており、これらサーボ切替回路247にスリップリング225の受電筒229が電気的に接続されている。そして、これらサーボ切替回路247に、4つのノズルユニット77に対応する分の電力スイッチ243及び回転制御素子245が電気的に接続されている。
A disc-shaped control circuit board 241 is provided at the tip of the slip ring 225. The control circuit board 241 is supported on the flange portion 78 by the stay 242.
A power switch 243 and a rotation control element 245 corresponding to each nozzle unit 77 are mounted on the control circuit board 241. Further, the control circuit board 241 is provided with servo switching circuits 247 at two locations on the inner peripheral side, and a power receiving cylinder 229 of a slip ring 225 is electrically connected to these servo switching circuits 247. The servo switch circuit 247 is electrically connected to power switches 243 and rotation control elements 245 corresponding to the four nozzle units 77.

また、図18に示すように、制御回路基板241には、それぞれの電力スイッチ243及び回転制御素子245に対応するコネクタ244が設けられている。これらコネクタ244には、各ノズルユニット77に接続されたケーブル246が接続され、このケーブル246を介して、各ノズルユニット77に信号及び駆動電力が供給される。   Further, as shown in FIG. 18, the control circuit board 241 is provided with connectors 244 corresponding to the respective power switches 243 and the rotation control element 245. A cable 246 connected to each nozzle unit 77 is connected to these connectors 244, and signals and driving power are supplied to each nozzle unit 77 via this cable 246.

次に、リボルバ型サブヘッド67のノズルユニット77に装着される吸着ノズル65の詳細について説明する。
図19は吸着ノズルを説明する部品移載ヘッドのサブヘッド部分における正面図、図20は吸着ノズルの詳細構造を説明する断面図、図21は吸着ノズルの先端部の部品装着部分を説明する平面図、図22は図21のQ−Q断面を示す概略横断面図、図23は吸着ノズルの動きを説明する吸着ノズルの概略断面図である。
Next, details of the suction nozzle 65 mounted on the nozzle unit 77 of the revolver type sub head 67 will be described.
19 is a front view of the sub-head portion of the component transfer head for explaining the suction nozzle, FIG. 20 is a sectional view for explaining the detailed structure of the suction nozzle, and FIG. 21 is a plan view for explaining the component mounting portion at the tip of the suction nozzle. 22 is a schematic cross-sectional view showing the QQ cross section of FIG. 21, and FIG. 23 is a schematic cross-sectional view of the suction nozzle for explaining the movement of the suction nozzle.

リボルバ型サブヘッド67は、その下方に、ノズルサイズ変更機構251を備えている。このノズルサイズ変更機構251は、内部にピストンを備え、このピストンによってストッパ253を出没させるものである。
そして、このストッパ253を突出させて、円周最下位置のノズルユニット77に装着された吸着ノズル65のフランジ255へ係合させ、吸着ノズル65をθ軸方向へ変位させることにより、吸着ノズル65の先端形状を変更させて吸着する電子部品のサイズを2段階に変化させる。
The revolver-type sub head 67 includes a nozzle size changing mechanism 251 below it. The nozzle size changing mechanism 251 includes a piston inside, and causes the stopper 253 to appear and disappear by the piston.
Then, the stopper 253 is projected and engaged with the flange 255 of the suction nozzle 65 mounted on the nozzle unit 77 at the lowest circumferential position, and the suction nozzle 65 is displaced in the θ-axis direction, thereby causing the suction nozzle 65 to be displaced. The size of the electronic component to be picked up is changed in two stages by changing the shape of the tip.

吸着ノズル65は、ノズルユニット77のチャック機構79に結合されるノズルホルダ261を有している。このノズルホルダ261は、円筒状に形成されており、その内周側には、第1ノズル263及び第2ノズル265が収納されている。
第1ノズル263は、円筒状の第2ノズル265内に摺動可能に層通されている。第1ノズル263は、その中心にエア通路267を有し、このエア通路267は、ノズルユニット77のモータシャフト133のエア通路135と連通される。また、第2ノズル265は、その外周に、前述したフランジ255を有している。
The suction nozzle 65 has a nozzle holder 261 coupled to the chuck mechanism 79 of the nozzle unit 77. The nozzle holder 261 is formed in a cylindrical shape, and a first nozzle 263 and a second nozzle 265 are accommodated on the inner peripheral side thereof.
The first nozzle 263 is slidably passed through the cylindrical second nozzle 265. The first nozzle 263 has an air passage 267 at the center thereof, and the air passage 267 communicates with the air passage 135 of the motor shaft 133 of the nozzle unit 77. Moreover, the 2nd nozzle 265 has the flange 255 mentioned above on the outer periphery.

第1ノズル263は、その先端部に、小型部品ノズル269が取り付けられている。また、第2ノズル265は、その先端部に、小型部品ノズル269の外周を覆う中・大型部品ノズル271が取り付けられている。   The first nozzle 263 has a small component nozzle 269 attached to the tip thereof. The second nozzle 265 has a middle / large component nozzle 271 that covers the outer periphery of the small component nozzle 269 at the tip.

第1ノズル263には、その外周面に、周方向へわたって形成された断面V字状の第1係合溝273及び第2係合溝275が軸方向に間隔をあけて設けられている。また、第2ノズル265は、その外周側に周方向へわたって嵌合溝277が形成されており、この嵌合溝277の底部には、3つの孔部279が周方向に間隔をあけて形成されている。
これら孔部279には、係合玉281が入れられており、さらに、嵌合溝277には、環状バネ283が装着されている。これにより、係合玉281は、環状バネ283によって内周方向へ付勢され、一部が第2ノズル265の内周面から突出される。
そして、これら第2ノズル265の内周面から突出される係合玉281が、第1ノズル263の第1係合溝273あるいは第2係合溝275のいずれかに嵌合し、第1ノズル263に対して第2ノズル265が保持される。
The first nozzle 263 is provided with a first engagement groove 273 and a second engagement groove 275 having a V-shaped cross section formed in the circumferential direction on the outer peripheral surface thereof with a gap in the axial direction. . Further, the second nozzle 265 has a fitting groove 277 formed on the outer peripheral side thereof in the circumferential direction. Three holes 279 are spaced apart in the circumferential direction at the bottom of the fitting groove 277. Is formed.
Engaging balls 281 are placed in these holes 279, and an annular spring 283 is mounted in the fitting groove 277. As a result, the engagement ball 281 is urged in the inner circumferential direction by the annular spring 283, and a part thereof protrudes from the inner circumferential surface of the second nozzle 265.
Then, the engagement balls 281 protruding from the inner peripheral surface of the second nozzle 265 are fitted into either the first engagement groove 273 or the second engagement groove 275 of the first nozzle 263, and the first nozzle A second nozzle 265 is held with respect to H.263.

小型部品ノズル269は、その中心に流路285を有しており、この流路285は、第1ノズル263のエア通路267と連通している。また、中・大型部品ノズル271と小型部品ノズル269との間にも、流路287が形成されており、この流路287は、第1ノズル263に形成された連通孔289を介して第1ノズル263のエア通路267と連通している。   The small component nozzle 269 has a flow path 285 at the center thereof, and the flow path 285 communicates with the air passage 267 of the first nozzle 263. Further, a flow path 287 is also formed between the medium / large component nozzle 271 and the small component nozzle 269, and this flow path 287 is connected to the first through a communication hole 289 formed in the first nozzle 263. The air passage 267 of the nozzle 263 communicates with the air passage 267.

そして、上記吸着ノズル65では、図20(a)に示すように、第2ノズル265が前方に移動されると、係合玉281が第1ノズル263の第1係合溝273に嵌合した中・大型部品吸着状態とされる。これにより、小型部品ノズル269及び中・大型部品ノズル271の先端部が面一とされて、図21(a)に示すように、流路285の開口部285aと流路287の開口部287aとが開口した状態とされ、これら開口部285a、287aにおける吸引力により中・大型電子部品が吸着される。   In the suction nozzle 65, as shown in FIG. 20A, when the second nozzle 265 is moved forward, the engagement ball 281 is fitted in the first engagement groove 273 of the first nozzle 263. Medium and large parts are absorbed. As a result, the tip portions of the small component nozzle 269 and the medium / large component nozzle 271 are flush with each other, and as shown in FIG. 21A, the opening 285a of the flow channel 285 and the opening 287a of the flow channel 287 Are opened, and medium- and large-sized electronic components are adsorbed by the suction force in the openings 285a and 287a.

また、図20(b)に示すように、第2ノズル265が後方に移動されると、係合玉281が第1ノズル263の第2係合溝275に嵌合した小型部品吸着状態とされる。これにより、小型部品ノズル269に対して中・大型部品ノズル271が後方へ移動されて小型部品ノズル269の先端部だけが突出されるとともに、中・大型部品ノズル271の先端部における内周面が小型部品ノズル269の外周面に密着して流路287が閉鎖され、図21(b)に示すように、小型部品ノズル269の開口部285aのみが開口した状態とされ、小型部品ノズル269の先端部に、開口部285aにおける吸引力により小型電子部品が吸着される。   Further, as shown in FIG. 20B, when the second nozzle 265 is moved rearward, a small component adsorption state in which the engagement ball 281 is fitted in the second engagement groove 275 of the first nozzle 263 is set. The As a result, the medium / large component nozzle 271 is moved backward relative to the small component nozzle 269 so that only the tip of the small component nozzle 269 protrudes, and the inner peripheral surface at the tip of the medium / large component nozzle 271 is The flow path 287 is closed in close contact with the outer peripheral surface of the small component nozzle 269, and only the opening 285a of the small component nozzle 269 is opened as shown in FIG. The small electronic component is attracted to the portion by the suction force in the opening 285a.

ここで、中・大型部品吸着状態から小型部品吸着状態へ移行させる場合について説明する。
まず、図23(a)に示すように、中・大型部品吸着状態の吸着ノズル65に対してストッパ253が突出され、図23(b)に示すように、フランジ255よりも先端側にストッパ253が配置される。
この状態にて、吸着ノズル65がθ軸に沿って先端方向へ移動されると、図23(c)に示すように、係合玉281が第1係合溝273から外され、第1ノズル263に対して第2ノズル265が後方に移動される。
Here, a case where the medium / large component adsorption state is shifted to the small component adsorption state will be described.
First, as shown in FIG. 23A, the stopper 253 protrudes from the suction nozzle 65 in the middle / large component suction state, and as shown in FIG. Is placed.
In this state, when the suction nozzle 65 is moved in the distal direction along the θ axis, the engagement ball 281 is removed from the first engagement groove 273 as shown in FIG. The second nozzle 265 is moved rearward with respect to H.263.

吸着ノズル65がさらに先端方向へ移動されると、図23(d)に示すように、係合玉281が第2係合溝275に係合し、小型部品ノズル269の開口部285aのみが開口した小型部品吸着状態とされる。そして、吸着ノズル65が小型部品吸着状態とされると、ストッパ253が引き込まれる。   When the suction nozzle 65 is further moved in the distal direction, the engagement ball 281 engages with the second engagement groove 275 and only the opening 285a of the small component nozzle 269 opens, as shown in FIG. The small parts are in a sucked state. When the suction nozzle 65 is brought into the small component suction state, the stopper 253 is pulled.

また、小型部品吸着状態から中・大型部品吸着状態へ移行させる場合は、フランジ255よりも後端側にストッパ253を配置させた状態にて吸着ノズル65をθ軸に沿って後端方向へ移動させる。
このようにすると、係合玉281が第2係合溝275から外され、第1ノズル263に対して第2ノズル265が前方に移動され、係合玉281が第1係合溝273に係合し、小型部品ノズル269及び中・大型部品ノズル271の先端部が面一とされて開口部285a、287aが開口した中・大型部品吸着状態とされる。
ここで、図24に、部品の吸装着前に吸着ノズル65の先端形状を変更させ、吸着可能な電子部品のサイズを変化させるタイムチャートを示した。
リボルバ型サブヘッド67の回転は、45゜ピッチでして形成してあるが、各部の動作は複数が同時になされる。具体的には、切り替え用のストッパ253はR軸の回転によりインデックス移動する吸着ノズルが、45゜刻みの位置よりも15゜手前から繰り出しを開始している。そして、ストッパ253を繰り出した状態で、Z軸が下方に駆動され、吸着ノズル65の先端形状を変更する。その後、吸着ノズル65は基準高さに下降され、部品の吸装着位置にて、吸装着高さにまで下降される。そして、吸着ノズル65を上昇させて基準高さに達したときに、R軸のインデックス回転を再開する。
When shifting from the small component adsorption state to the medium / large component adsorption state, the adsorption nozzle 65 is moved along the θ axis in the rear end direction with the stopper 253 disposed on the rear end side of the flange 255. Let
As a result, the engagement ball 281 is removed from the second engagement groove 275, the second nozzle 265 is moved forward with respect to the first nozzle 263, and the engagement ball 281 is engaged with the first engagement groove 273. In this case, the small and large component nozzles 269 and the medium and large component nozzles 271 are flush with each other, and the medium and large component adsorption state in which the openings 285a and 287a are opened.
Here, FIG. 24 shows a time chart in which the tip shape of the suction nozzle 65 is changed before the component is sucked and mounted, and the size of the electronic component that can be sucked is changed.
The revolver-type sub head 67 is rotated at a 45 ° pitch, but a plurality of operations of each part are performed simultaneously. More specifically, the switching stopper 253 starts to feed out the suction nozzle, which is index-moved by the rotation of the R axis, from 15 ° before the position in increments of 45 °. Then, with the stopper 253 extended, the Z-axis is driven downward to change the tip shape of the suction nozzle 65. Thereafter, the suction nozzle 65 is lowered to the reference height, and is lowered to the suction mounting height at the component suction mounting position. When the suction nozzle 65 is raised to reach the reference height, the index rotation of the R axis is resumed.

また、図25には、部品吸装着を行った後に吸着ノズル65の先端形状を変更するタイムチャートを示した。この場合には、部品吸装着後にストッパ253を繰り出して、その後、吸着ノズル65はノズル先端切り替え高さに達したときに、吸着ノズル65の先端形状を変更する。   FIG. 25 shows a time chart in which the tip shape of the suction nozzle 65 is changed after the component suction / attachment is performed. In this case, the stopper 253 is extended after sucking and mounting the components, and thereafter, when the suction nozzle 65 reaches the nozzle tip switching height, the tip shape of the suction nozzle 65 is changed.

吸着ノズルの他の例として、図26に吸着ノズルの概略断面図を示した。
図26に示すように、小型部品吸着状態と中・大型部品吸着状態との切り替えを行うためのフランジ255を2枚形成しても良い。そして、このように2枚のフランジ255を形成した場合、これらフランジ255間にストッパ253を差し込んで、吸着ノズル65を先端あるいは後端側へ移動させることにより、第1ノズル263に対して第2ノズル265を容易に移動させて小型部品吸着状態と中・大型部品吸着状態の切り替えを行うことができる。
As another example of the suction nozzle, FIG. 26 shows a schematic sectional view of the suction nozzle.
As shown in FIG. 26, two flanges 255 for switching between the small component adsorption state and the middle / large component adsorption state may be formed. When the two flanges 255 are formed in this way, the stopper 253 is inserted between the flanges 255 and the suction nozzle 65 is moved to the front end or the rear end side. The nozzle 265 can be easily moved to switch between the small component adsorption state and the medium / large component adsorption state.

次に、上記構造の第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63の識別方式について説明する。
図27は第1ヘッドユニット及び第2ヘッドユニットを備えた部品移載ヘッドの正面図及び断面図、図28は第1ヘッドユニット及び第2ヘッドユニットのリボルバ型サブヘッドの概略斜視図である。
図27に示すように、部品移載ヘッド37を構成する第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63は、取り付け板291に着脱可能に取り付けられている。取り付け板291は、XYロボット39を構成するX軸ビーム43に支持されたもので、X軸ビーム43のレール293に沿ってX方向へ移動可能とされている。
Next, an identification method of the first head unit 61 and the second head unit 63 having the above structure will be described.
FIG. 27 is a front view and a sectional view of a component transfer head including a first head unit and a second head unit, and FIG. 28 is a schematic perspective view of a revolver type subhead of the first head unit and the second head unit.
As shown in FIG. 27, the first head unit 61 and the second head unit 63 constituting the component transfer head 37 are detachably attached to the attachment plate 291. The mounting plate 291 is supported by the X-axis beam 43 constituting the XY robot 39, and is movable in the X direction along the rail 293 of the X-axis beam 43.

また、それぞれの第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63の上端部には、タグ取り付け台295が設けられ、このタグ取り付け台295には、RFID等からなるメモリタグ297が取り付けられている。
さらに、取り付け板291には、その上端部に、タグ読み書き部299が取り付けられ、これらタグ読み書き部299が第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63のメモリタグ297の対向位置に配置されている。
A tag mounting base 295 is provided at the upper end of each of the first head unit 61 and the second head unit 63, and a memory tag 297 made of RFID or the like is mounted on the tag mounting base 295.
Further, a tag read / write unit 299 is attached to the upper end of the mounting plate 291, and these tag read / write units 299 are arranged at positions facing the memory tags 297 of the first head unit 61 and the second head unit 63. .

第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63のそれぞれに設けられたメモリタグ297には、これら第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63の情報が記録されている。
この記録されている第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63の情報としては、ヘッドユニット61、63の動作時間等の稼働履歴、リボルバ型サブヘッド67の大きさ等のタイプ、ノズルユニット77に装着された吸着ノズル65の種類及び組み合わせ、さらには、吸着ノズル65の相対位置等のデータからなるキャリブレーションデータ、ヘッドユニット61、63を構成する各部品の品番や型番等からなるパーツリストがある。
Information on the first head unit 61 and the second head unit 63 is recorded in the memory tag 297 provided in each of the first head unit 61 and the second head unit 63.
The recorded information of the first head unit 61 and the second head unit 63 includes the operation history such as the operating time of the head units 61 and 63, the type such as the size of the revolver type sub head 67, and the nozzle unit 77. There is a parts list including types and combinations of the suction nozzles 65, calibration data composed of data such as relative positions of the suction nozzles 65, and part numbers and model numbers of the components constituting the head units 61 and 63.

そして、第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63を取り付け板291に取り付けると、各第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63のメモリタグ297に記憶された情報がタグ読み書き部299によって読み取られ、生産形態への適合、吸着ノズル65の位置補正が行われる。
また、生産開始後は、稼働時間がメモリタグ297に書き込まれるとともに、さらに、寿命に達した部品や故障等の不具合を生じた部品の品番や型番が表示部に表示される。
When the first head unit 61 and the second head unit 63 are attached to the attachment plate 291, information stored in the memory tags 297 of the first head unit 61 and the second head unit 63 is read by the tag read / write unit 299. The production mode is adjusted and the position of the suction nozzle 65 is corrected.
In addition, after the start of production, the operation time is written in the memory tag 297, and further, the part number and model number of the part that has reached the end of its life and the part that has failed such as a failure are displayed on the display unit.

なお、メモリタグ297を取り付ける場所としては、第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63の上端に限らない、
図28に示すものは、各第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63のリボルバ型サブヘッド67に、メモリタグ297を取り付けたものである。そして、このようにリボルバ型サブヘッド67に取り付けたそれぞれのメモリタグ297に対して一つの読み書き部299が情報の読み取り、書き込みを行うようにしている。
つまり、このように、二つのメモリタグ297に対して一つの読み書き部299によって情報の読み取り、書き込みを行うようにすれば、構造の簡略化が図られる。
The place where the memory tag 297 is attached is not limited to the upper ends of the first head unit 61 and the second head unit 63.
In FIG. 28, a memory tag 297 is attached to the revolver type sub head 67 of each of the first head unit 61 and the second head unit 63. In addition, one read / write unit 299 reads and writes information with respect to each memory tag 297 attached to the revolver type sub head 67 in this way.
That is, the structure can be simplified by reading and writing information with respect to the two memory tags 297 by one read / write unit 299.

次に、上記構造の部品装着装置100の制御系について説明する。
図29は部品装着装置100の制御系を示すブロック図である。
図に示すように、この部品装着装置100は、制御部301を備えている。
この制御部301には、基板搬送部19、部品供給部35及びXYロボット39が接続されており、制御部301は、これら基板搬送部19、部品供給部35及びXYロボット39に制御信号を送信してそれぞれの駆動を制御する。
Next, a control system of the component mounting apparatus 100 having the above structure will be described.
FIG. 29 is a block diagram showing a control system of the component mounting apparatus 100.
As shown in the figure, the component mounting apparatus 100 includes a control unit 301.
The control unit 301 is connected to the substrate transfer unit 19, the component supply unit 35, and the XY robot 39. The control unit 301 transmits control signals to the substrate transfer unit 19, the component supply unit 35, and the XY robot 39. Thus, each drive is controlled.

また、この制御部301には、部品認識部51及びタグ読み書き部299が接続されている。そして、制御部301は、部品認識部51からの撮像データが入力される。さらに、制御部301は、第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63のメモリタグ297のデータの読み込み及びメモリタグ297へのデータの書き込みを行う。
さらに、制御部301には、部品移載ヘッド37の駆動機構等にも接続されている。
In addition, a component recognition unit 51 and a tag read / write unit 299 are connected to the control unit 301. The control unit 301 receives image data from the component recognition unit 51. Further, the control unit 301 reads data from the memory tag 297 of the first head unit 61 and the second head unit 63 and writes data to the memory tag 297.
Further, the control unit 301 is connected to a drive mechanism of the component transfer head 37 and the like.

具体的に、制御部301には、サブヘッド回転モータ69、撮像部73、チャック機構79、θ軸モータ81、ノズル昇降用モータ109、給気ユニット169及びノズルサイズ変更機構251が接続されており、制御部301は、これらサブヘッド回転モータ69、撮像部73、チャック機構79、θ軸モータ81、ノズル昇降用モータ109、給気ユニット169及びノズルサイズ変更機構251に制御信号を送信してそれぞれの駆動を制御する。   Specifically, a sub head rotation motor 69, an imaging unit 73, a chuck mechanism 79, a θ-axis motor 81, a nozzle lifting / lowering motor 109, an air supply unit 169, and a nozzle size changing mechanism 251 are connected to the control unit 301. The control unit 301 transmits control signals to the sub head rotation motor 69, the imaging unit 73, the chuck mechanism 79, the θ-axis motor 81, the nozzle lifting / lowering motor 109, the air supply unit 169, and the nozzle size changing mechanism 251 to drive them. To control.

また、この制御部301には、読み取りセンサ部203が接続されており、この読み取りセンサ部203からの検出信号に基づいて、リボルバ型サブヘッド67の回転角度を演算する。
さらに、この制御部301には、例えば、エアーの漏れ等を検出する各機構部等に設けられた各種センサ303が接続されており、それぞれのセンサ303からの検出信号が入力される。
Further, a reading sensor unit 203 is connected to the control unit 301, and the rotation angle of the revolver type sub head 67 is calculated based on a detection signal from the reading sensor unit 203.
Further, for example, various sensors 303 provided in each mechanism unit that detects air leakage and the like are connected to the control unit 301, and detection signals from the respective sensors 303 are input.

また、制御部301には、ディスプレイ等からなる表示部305、キーボードやタッチパネルからなる入力部307及び記憶部309が接続されている。そして、制御部301は、表示部305に各種表示を行うとともに、入力部307から各種の設定データ等が入力され、さらに、記憶部309に対して各種データの読み込み及び書き込みを行う。   The control unit 301 is connected to a display unit 305 including a display, an input unit 307 including a keyboard and a touch panel, and a storage unit 309. The control unit 301 performs various displays on the display unit 305, receives various setting data from the input unit 307, and further reads and writes various data to and from the storage unit 309.

次に、上記部品装着装置100による電子部品の装着動作について説明する。
部品装着装置100は、基板搬送部19によって基板固定部17に回路基板15が送り込まれると、この回路基板15への電子部品の装着動作を開始する。
装着動作が開始されると、部品移載ヘッド37は、XYロボット39によって所定の電子部品を吸着ノズル65に吸着させるべく、吸着させる電子部品の部品供給位置33の上方へ移動する。
Next, an electronic component mounting operation by the component mounting apparatus 100 will be described.
When the circuit board 15 is sent to the board fixing unit 17 by the board conveying unit 19, the component mounting apparatus 100 starts an operation of mounting the electronic component on the circuit board 15.
When the mounting operation is started, the component transfer head 37 moves above the component supply position 33 of the electronic component to be sucked so that the XY robot 39 sucks the predetermined electronic component to the suction nozzle 65.

次に、この部品供給位置33にて、それぞれのリボルバ型サブヘッド67をサブヘッド回転モータ69によって順次回動させるとともに、ノズル昇降用モータ109を駆動させ、円周最下位置のノズルユニット77をZ方向である下方へ移動させ、この吸着ノズル65に電子部品を順次吸着させる。   Next, at the component supply position 33, the respective revolver-type sub heads 67 are sequentially rotated by the sub head rotating motor 69 and the nozzle lifting / lowering motor 109 is driven to move the nozzle unit 77 at the lowest circumferential position in the Z direction. The electronic components are sequentially picked up by the suction nozzle 65.

ここで、部品移載ヘッド37は、部品供給部35の部品供給位置33に対してその配列方向であるX方向へ移動可能とされていることより、図30(a)、(b)に示すように、第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63のそれぞれのリボルバ型サブヘッド67によって全ての部品供給位置33における部品の吸着を行うことができる。   Here, since the component transfer head 37 is movable in the X direction which is the arrangement direction with respect to the component supply position 33 of the component supply unit 35, it is shown in FIGS. 30 (a) and 30 (b). As described above, the components can be adsorbed at all the component supply positions 33 by the revolver type sub heads 67 of the first head unit 61 and the second head unit 63.

その後、部品移載ヘッド37は、XYロボット39によって認識部51上を水平に移動される。これにより、吸着している電子部品のXY方向の位置及び回転方向(θ方向)の位置が認識部51によって検出され、その検出データが制御部301へ送信される。   Thereafter, the component transfer head 37 is moved horizontally on the recognition unit 51 by the XY robot 39. As a result, the position of the sucked electronic component in the XY direction and the position in the rotation direction (θ direction) is detected by the recognition unit 51, and the detection data is transmitted to the control unit 301.

その後、部品移載ヘッド37は、XYロボット39によって基板固定部17に支持されている回路基板15上の所定の装着位置へ移動される。そして、この状態にて、ノズル昇降用モータ109が駆動され、円周最下位置のノズルユニット77がZ方向である下方へ移動され、この吸着ノズル65に吸着されている電子部品が回路基板15の所定の位置に装着される。   Thereafter, the component transfer head 37 is moved to a predetermined mounting position on the circuit board 15 supported by the board fixing unit 17 by the XY robot 39. In this state, the nozzle lifting / lowering motor 109 is driven, the nozzle unit 77 at the lowest position in the circumference is moved downward in the Z direction, and the electronic component sucked by the suction nozzle 65 is moved to the circuit board 15. Is mounted at a predetermined position.

吸着ノズル65を引き上げる際には、制御部301によって給気ユニット169が制御されることにより、吸着ノズル65内が正圧とされ、電子部品の吸着が確実に解除される。
以降は、リボルバ型サブヘッド67がサブヘッド回転モータ69によって順次回転され、吸着ノズル65に吸着している電子部品が回路基板15の所定の装着位置に順次装着される。
なお、制御部301は、認識部51からの検出データに基づいて、吸着している電子部品に不具合があると判断した場合は、XYロボット39を駆動させて部品移載ヘッド37を廃棄トレイ52上へ移動させ、吸着ノズル65に吸着している電子部品を廃棄トレイ52へ廃棄させる。
When pulling up the suction nozzle 65, the control unit 301 controls the air supply unit 169, so that the suction nozzle 65 has a positive pressure, and the suction of the electronic components is reliably released.
Thereafter, the revolver type sub head 67 is sequentially rotated by the sub head rotating motor 69, and the electronic components sucked by the suction nozzle 65 are sequentially mounted at predetermined mounting positions of the circuit board 15.
If the control unit 301 determines that the sucked electronic component is defective based on the detection data from the recognition unit 51, the control unit 301 drives the XY robot 39 to move the component transfer head 37 to the disposal tray 52. The electronic component sucked by the suction nozzle 65 is moved to the disposal tray 52.

上記装着動作において、部品移載ヘッド37の第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63では、吸着した電子部品を、装着向きを合わせるために回転させて装着する場合は、電子部品を円周最下位置にて吸着した後、その電子部品を吸着した吸着ノズル65が円周最上位置へ移動する前にθ軸モータ81によって回転される。   In the above mounting operation, in the first head unit 61 and the second head unit 63 of the component transfer head 37, when the sucked electronic component is mounted to be rotated in order to match the mounting direction, the electronic component is placed at the outermost circumference. After sucking at the lower position, the suction nozzle 65 that sucks the electronic component is rotated by the θ-axis motor 81 before moving to the uppermost circumferential position.

ここで、部品移載ヘッド37の第1ヘッドユニット61及び第2ヘッドユニット63では、リボルバ型サブヘッド67を順次回動させて、円周最下位置の吸着ノズル65に電子部品を吸着させるとともに、円周最上位置の吸着ノズル65に吸着されている電子部品の姿勢を撮像部73にて撮影する。
そして、この撮像部73からの撮像データは、制御部301に送信され、この制御部301が、電子部品の姿勢のズレを演算し、回路基板15へ装着する前にθ軸モータ81を駆動させてズレを補正する。
Here, in the first head unit 61 and the second head unit 63 of the component transfer head 37, the revolver-type sub head 67 is sequentially rotated so that the electronic component is adsorbed to the adsorption nozzle 65 at the lowest circumferential position, The posture of the electronic component sucked by the suction nozzle 65 at the uppermost circumferential position is photographed by the imaging unit 73.
The imaging data from the imaging unit 73 is transmitted to the control unit 301. The control unit 301 calculates the deviation of the posture of the electronic component and drives the θ-axis motor 81 before mounting on the circuit board 15. Correct the misalignment.

次に、部品移載ヘッド37の動きの詳細について説明する。
図31はR軸回転後に部品移載ヘッドが目標位置に到達した場合の部品移載ヘッドの動きを示す説明図である。
部品移載ヘッド37は、サブヘッド回転モータ69によるR軸周りの回転、ノズル昇降用モータ109によるZ軸(θ軸方向)への移動及びXYロボット39によるXY方向への移動のタイミングが、図に示すようにされている。
Next, details of the movement of the component transfer head 37 will be described.
FIG. 31 is an explanatory diagram showing the movement of the component transfer head when the component transfer head reaches the target position after rotating the R axis.
The component transfer head 37 is shown in the figure with the timing of rotation around the R axis by the sub head rotation motor 69, movement in the Z axis (θ axis direction) by the nozzle lifting / lowering motor 109, and movement in the XY direction by the XY robot 39. As shown.

つまり、図31に示すように、XY方向への移動がR軸の回転終了前に完了している場合、電子部品の吸着あるいは装着のための吸着ノズル65のZ軸方向下方側への移動開始のタイミングは、その吸着あるいは装着を行う吸着ノズル65が45°回転して円周最下位置に配置するためのリボルバ型サブヘッド67のR軸周りの回転終了よりも少し前とされている。また、吸着ノズル65のZ軸方向上方側への移動終了のタイミングは、リボルバ型サブヘッド67のR軸周りの回転の開始開始よりも少し後とされている。   That is, as shown in FIG. 31, when the movement in the XY direction is completed before the end of the rotation of the R axis, the movement of the suction nozzle 65 for sucking or mounting the electronic component starts downward in the Z axis direction. This timing is set slightly before the end of the rotation of the revolver-type sub head 67 around the R axis for the suction nozzle 65 that performs the suction or mounting to be rotated by 45 ° and disposed at the lowest position on the circumference. In addition, the timing of the end of the movement of the suction nozzle 65 upward in the Z-axis direction is slightly later than the start of the rotation of the revolver-type subhead 67 around the R-axis.

また、少なくとも吸着ノズル65がZ軸方向下方へ移動されて電子部品の吸着あるいは装着を行う時点の前後20msでは、サブヘッド回転モータ69によるリボルバ型サブヘッド67の回転及びXYロボット39による部品移載ヘッド37の移動は停止される。   Further, at least 20 ms before and after the suction nozzle 65 is moved downward in the Z-axis direction to pick up or mount the electronic component, the revolver type sub head 67 is rotated by the sub head rotation motor 69 and the component transfer head 37 by the XY robot 39 is used. The movement of is stopped.

これにより、吸着ノズル65による電子部品の吸着あるいは装着時に、サブヘッド回転モータ69によるリボルバ型サブヘッド67の回転及びXYロボット39による部品移載ヘッド37の移動から生じる振動がなくされ、電子部品の良好な吸着あるいは装着を行うことができる。   This eliminates vibrations caused by the rotation of the revolver-type sub head 67 by the sub head rotating motor 69 and the movement of the component transfer head 37 by the XY robot 39 when the electronic component is sucked or mounted by the suction nozzle 65. Adsorption or mounting can be performed.

図32はR軸回転前に部品移載ヘッドが目標位置に到達した場合の部品移載ヘッドの動きを示す説明図である。
XY方向への移動がR軸の回転終了前に完了していない場合、電子部品の吸着あるいは装着のため、吸装着高さに吸着ノズル65を移動させるタイミングは、部品移載ヘッドの移動完了後であって、少なくとも吸着ノズル65がZ軸方向下方へ移動されて電子部品の吸着あるいは装着を行う時点の前後20msでは、R軸とXYロボット39の駆動は停止される。
FIG. 32 is an explanatory diagram showing the movement of the component transfer head when the component transfer head reaches the target position before rotating the R axis.
If the movement in the XY direction is not completed before the rotation of the R axis is completed, the timing for moving the suction nozzle 65 to the suction mounting height for the suction or mounting of the electronic component is after the movement of the component transfer head is completed. The driving of the R axis and the XY robot 39 is stopped at least 20 ms before and after the suction nozzle 65 is moved downward in the Z-axis direction to suck or mount electronic components.

次に、リボルバ型サブヘッド67に設けられたノズルユニット77の動作の詳細について説明する。
図33はノズルユニットのθ軸モータへの電力供給のタイミングを示す概略正面図、図34はノズルユニットの動作を示す説明図である。
図33に示すように、リボルバ型サブヘッド67では、各ノズルユニット77のサーボモータであるθ軸モータ81への電力供給が、円周最下位置の手前45°から円周最下位置まで及び円周最上位置の手間45°から円周最上位置までの範囲にて行われる。これにより、リボルバ型サブヘッド67の各ノズルユニット77への電力供給を大幅に削減することができ、接点数に限度があるスリップリング225による給電を行うことができる。
Next, details of the operation of the nozzle unit 77 provided in the revolver type sub head 67 will be described.
FIG. 33 is a schematic front view showing the timing of power supply to the θ-axis motor of the nozzle unit, and FIG. 34 is an explanatory diagram showing the operation of the nozzle unit.
As shown in FIG. 33, in the revolver type sub head 67, the power supply to the θ-axis motor 81 which is the servo motor of each nozzle unit 77 extends from 45 ° before the lowest position of the circumference to the lowest position of the circumference. It is performed in the range from the 45 ° effort at the circumferential top position to the circumferential top position. Thereby, the power supply to each nozzle unit 77 of the revolver-type sub head 67 can be greatly reduced, and power can be supplied by the slip ring 225 having a limited number of contacts.

そして、このθ軸モータ81への電力供給区間であるサーボON区間にて、θ軸モータ81の駆動を制御して吸着ノズル65に吸着した電子部品のズレ補正及び電子部品の向きを合わせるプリ回転動作を次のように行っている。   Then, in the servo ON section, which is the power supply section to the θ-axis motor 81, the pre-rotation is performed by controlling the drive of the θ-axis motor 81 to correct the deviation of the electronic component sucked by the suction nozzle 65 and to align the electronic component. The operation is performed as follows.

(吸装着位置でのθ動作)
図34に示すように、制御部301(図29参照)は、吸装着側のサーボON区間内に入ったノズルユニット77のθ軸モータ81を駆動させて、撮像部73の撮像データから演算した補正データに基づいてθ軸周りのズレの補正を行う。なお、このズレ補正は、吸着ノズル65がZ軸方向最下点に達して電子部品の装着を行う以前に終了される。
これにより、電子部品の回路基板15への装着時には、ズレが確実に補正された状態となり、円滑かつ確実な装着を行うことができる。
なお、制御部301は、認識部53からの検出データに基づくXY方向へのズレの補正も同時に行う。
(Θ operation at suction mounting position)
As shown in FIG. 34, the control unit 301 (see FIG. 29) drives the θ-axis motor 81 of the nozzle unit 77 that enters the servo-on section on the suction mounting side, and calculates from the imaging data of the imaging unit 73. The deviation around the θ axis is corrected based on the correction data. This misalignment correction is terminated before the suction nozzle 65 reaches the lowest point in the Z-axis direction and the electronic component is mounted.
As a result, when the electronic component is mounted on the circuit board 15, the misalignment is reliably corrected, and smooth and reliable mounting can be performed.
Note that the control unit 301 simultaneously corrects the deviation in the XY directions based on the detection data from the recognition unit 53.

(認識位置でのθ動作)
制御部301は、吸着ノズル65に吸着した電子部品が、その向きを合わせるべく回転させる必要がある場合に、撮像部73による認識側のサーボON区間内に入ったノズルユニット77のθ軸モータ81を駆動させて、この電子部品が撮像部73により撮影される前に回転させておく。
そして、このように、撮像部73によって電子部品を撮影してθ軸回りの位置ズレの検出を行う前に、既に、電子部品を回転させておくことにより、位置ズレ検出後に回転させることによるズレの発生を防止することができる。
(Θ operation at recognition position)
When the electronic component sucked by the suction nozzle 65 needs to be rotated in order to match the orientation, the control unit 301 moves the θ-axis motor 81 of the nozzle unit 77 in the servo-on section on the recognition side by the imaging unit 73. And the electronic component is rotated before being imaged by the imaging unit 73.
As described above, the electronic component is photographed by the imaging unit 73 and before the position shift around the θ axis is detected, the electronic component is already rotated, so that the shift caused by the rotation after the position shift is detected. Can be prevented.

以上の制御部301による部品の吸装着動作を纏めると、図35,図36のようになる。
図35,図36は、吸着ノズル65への部品吸着動作と、吸着された部品の基板上への装着動作のタイムシーケンスを各軸毎に示した一例である。このように、部品供給部35で各軸の吸着ノズルに部品をそれぞれ順次吸着し、基板上の部品装着位置へ移動する。そして、部品装着位置で、吸着保持された部品を順次基板上に装着する。この動作はあくまでも一例であって、装着する部品や生産形態に応じて最適なシーケンスに適宜変更して部品の吸装着動作がなされる。
The above-described operation of sucking and mounting parts by the control unit 301 is summarized as shown in FIGS.
FIG. 35 and FIG. 36 show an example of the time sequence of the component suction operation to the suction nozzle 65 and the mounting operation of the sucked component on the substrate for each axis. In this way, the component supply unit 35 sequentially sucks the components to the suction nozzles of the respective axes, and moves to the component mounting position on the board. Then, the sucked and held components are sequentially mounted on the substrate at the component mounting position. This operation is merely an example, and the component insertion / removal operation is performed by appropriately changing the sequence according to the component to be mounted and the production form.

上記のリボルバ型サブヘッド67としては、生産形態に応じて各種の大きさ種類の電子部品に対応した各種吸着ノズル65が装着可能な様々なものを用いることができる。
例えば、図37(a)に示すものは、リボルバ型サブヘッド67の一方を小型の吸着ノズル65が装着可能なものとし、他方を大型の吸着ノズル65が装着可能なものとした例であり、また、図37(b)に示すものは、リボルバ型サブヘッド67の両方を、小型の吸着ノズル65が装着可能なものとした例である。
As the revolver-type sub head 67 described above, various types that can be mounted with various suction nozzles 65 corresponding to various types of electronic components can be used according to the production form.
For example, what is shown in FIG. 37 (a) is an example in which one of the revolver-type subheads 67 can be mounted with a small suction nozzle 65 and the other is mounted with a large suction nozzle 65. FIG. 37B shows an example in which both the revolver-type sub head 67 can be attached with a small suction nozzle 65.

特に、リボルバ型サブヘッド67の一方を小型の吸着ノズル65が装着可能なものとし、他方を大型の吸着ノズル65が装着可能なものとした場合は、図37(a)に示すように、それぞれのリボルバ型サブヘッド67にて、異なる大きさの電子部品を吸着ノズル65へ同時に吸着させることができる。
また、異なる大きさの電子部品を同時に吸着可能なパーツフィーダ31の配列を複数列セットすれば、パーツフィーダ31による電子部品の供給を待たずに、その配列間において、図38における(a)→(b)→(c)のように、部品移載ヘッド37を部品供給位置33に沿って移動させることにより、それぞれのリボルバ型サブヘッド67の吸着ノズル65への異なる大きさの電子部品の吸着を迅速に行うことができる。
In particular, when one of the revolver-type sub heads 67 can be fitted with a small suction nozzle 65 and the other can be fitted with a large suction nozzle 65, as shown in FIG. With the revolver-type sub head 67, electronic components of different sizes can be simultaneously sucked onto the suction nozzle 65.
Further, if a plurality of arrays of parts feeders 31 capable of simultaneously sucking electronic components of different sizes are set, without waiting for the supply of electronic parts by the parts feeder 31, (a) in FIG. By moving the component transfer head 37 along the component supply position 33 as shown in (b) → (c), the electronic components having different sizes are adsorbed to the adsorption nozzle 65 of each revolver type sub head 67. Can be done quickly.

また、上記部品装着装置100では、第1ヘッドユニット61あるいは第2ヘッドユニット63は、生産形態の変更等に応じて各種のものに交換される。
ここで、第1ヘッドユニット61あるいは第2ヘッドユニット63を交換する場合について、第1ヘッドユニット61の交換を例にとって、図39に示すフローチャート図に沿って説明する。
生産形態の変更等により、第1ヘッドユニット61を他の種類のものに交換する場合は、取り付け板291に装着されている第1ヘッドユニット61を取り外し、次いで、以降の生産形態に適合した第1ヘッドユニット61を取り付け板291に装着する(ステップS1)。
Further, in the component mounting apparatus 100, the first head unit 61 or the second head unit 63 is exchanged for various types according to a change in production form or the like.
Here, the case where the first head unit 61 or the second head unit 63 is replaced will be described with reference to the flowchart shown in FIG. 39, taking the replacement of the first head unit 61 as an example.
When replacing the first head unit 61 with another type due to a change in production mode, etc., the first head unit 61 mounted on the mounting plate 291 is removed, and then the first head unit 61 adapted to the subsequent production mode is removed. One head unit 61 is mounted on the mounting plate 291 (step S1).

このようにすると、取り付け板291に取り付けた新たな第1ヘッドユニット61のメモリタグ297に記憶されている情報が無線通信によってタグ読み書き部299に読み取られる(ステップS2)。
そして、このタグ読み書き部299にて読み取られた第1ヘッドユニット61の情報は、制御部301に送信される。
そして、この制御部301では、その情報のうち、吸着ノズル65の相対位置等のデータからなるキャリブレーションデータにより、各吸着ノズル65の位置補正を行い、部品装着による生産を開始する(ステップS3)。
As a result, information stored in the memory tag 297 of the new first head unit 61 attached to the attachment plate 291 is read by the tag read / write unit 299 by wireless communication (step S2).
The information of the first head unit 61 read by the tag read / write unit 299 is transmitted to the control unit 301.
The control unit 301 corrects the position of each suction nozzle 65 using calibration data including data such as the relative position of the suction nozzle 65 among the information, and starts production by component mounting (step S3). .

つまり、部品装着装置100は、第1ヘッドユニット61あるいは第2ヘッドユニット63の交換時に、改めて吸着ノズル65の位置を検出してその位置合わせを行うことなく、予めメモリタグ297に記憶されている情報を読み取り位置補正を行い、迅速かつ円滑に生産を開始する。   That is, the component mounting apparatus 100 is stored in advance in the memory tag 297 without detecting the position of the suction nozzle 65 again and performing the alignment when the first head unit 61 or the second head unit 63 is replaced. Information is read and position correction is performed, and production is started quickly and smoothly.

以上、説明したように、本実施形態に係る部品装着装置100によれば、吸着ノズル65が円弧状に装着された回転可能なリボルバ型サブヘッド67を複数備えたので、これら複数のリボルバ型サブヘッド67によって電子部品の装着の大幅な高速化を図ることができる。
特に、吸着ノズル65を円弧状に装着した構造であるので、ヘッドの構成を小型で簡素のままに、吸着ノズル65の交換のための動作時間を最小限にしてタクトアップを図ることができる。
As described above, according to the component mounting apparatus 100 according to the present embodiment, since the suction nozzle 65 includes a plurality of rotatable revolver-type subheads 67 mounted in an arc shape, the plurality of revolver-type subheads 67 are provided. As a result, the mounting speed of electronic parts can be greatly increased.
In particular, since the suction nozzle 65 is mounted in an arc shape, tact-up can be achieved by minimizing the operation time for replacing the suction nozzle 65 while keeping the configuration of the head small and simple.

また、複数のリボルバ型サブヘッド67を回転させながら部品供給位置33に沿って移動させることにより、極めて迅速に各吸着ノズル65へ電子部品を吸着させることができ、さらなるタクトアップを図ることができる。
さらに、チップ部品、異形部品等の各種電子部品に対して同時に対応可能とすることができ、いかなる生産形態にも高速且つ高効率で対応可能とすることができる。
Further, by moving the plurality of revolver-type sub heads 67 along the component supply position 33 while rotating, the electronic components can be adsorbed to each of the adsorbing nozzles 65 very quickly, and further tact-up can be achieved.
Furthermore, various electronic parts such as chip parts and odd-shaped parts can be supported simultaneously, and any production form can be handled at high speed and with high efficiency.

また、撮像部73による電子部品の姿勢の検出前に、電子部品の向きを回路基板15に対して装着する向きに合わせるので、姿勢の検出後に電子部品の向き調整を行うことによる位置ズレをなくすことができ、確実に電子部品の位置ズレを補正して回路基板15への円滑な装着を行うことができる。
また、リボルバ型サブヘッド67を交換する機種切り替え時においても、メモリタグ297からの情報により吸着ノズル65等の位置の補正を行うことができ、改めてキャリブレーション動作を行うことを不要とすることができる。
In addition, since the orientation of the electronic component is matched with the orientation to be mounted on the circuit board 15 before the orientation of the electronic component is detected by the imaging unit 73, positional deviation due to the orientation adjustment of the electronic component is detected after the orientation is detected. Thus, the positional displacement of the electronic component can be reliably corrected and smooth mounting on the circuit board 15 can be performed.
Further, even when the model is switched to replace the revolver type sub head 67, the position of the suction nozzle 65 and the like can be corrected based on the information from the memory tag 297, and it is unnecessary to perform a calibration operation again. .

また、タグ読み書き部299を備えたことにより、メモリタグ297に対する情報の読み書きを容易にかつ迅速に行うことが可能となり、特に、リボルバ型サブヘッド67を備えた第1ヘッドユニット61、第2ヘッドユニット63の交換後における生産開始の迅速化を図ることができる。
さらに、タグ読み書き部299が、複数のメモリタグ297に対して情報の読み書きを行う構造とすれば、構造の簡略化を図ることができ、これに伴い、コストを低減させることができる。
Further, the provision of the tag read / write unit 299 makes it possible to easily and quickly read / write information from / to the memory tag 297. In particular, the first head unit 61 and the second head unit having the revolver type sub head 67 are provided. The start of production after the replacement of 63 can be speeded up.
Furthermore, if the tag read / write unit 299 is configured to read / write information from / to the plurality of memory tags 297, the structure can be simplified, and the cost can be reduced accordingly.

また、制御部301が、メモリタグ297から読み取った情報に基づいて、リボルバ型サブヘッド67の管理を行うので、リボルバ型サブヘッド67の有する種々の管理データ等の情報を利用して、リボルバ型サブヘッド67の管理を適切に行い、装着作業の円滑化を図ることができる。   Further, since the control unit 301 manages the revolver-type subhead 67 based on the information read from the memory tag 297, the revolver-type subhead 67 is used by utilizing information such as various management data of the revolver-type subhead 67. Can be managed appropriately, and the installation work can be facilitated.

特に、生産開始後は、読み取った情報から、寿命に達した部品や故障等の不具合を生じた部品の品番や型番を表示部305に表示させて作業者に交換を促せることができる。なお、表示部305への表示としては、記号、文字あるいは文章による表示のみならず、立体的な全体表示において該当部品を赤色点灯させる等して視覚的に容易に認識可能な表示を行うことができる。   In particular, after the start of production, from the read information, it is possible to display on the display unit 305 the part number and model number of a part that has reached the end of its life or a part that has failed such as a failure, thereby prompting the operator to replace it. The display on the display unit 305 is not only a display using symbols, characters, or sentences, but also a display that can be easily recognized visually by lighting the relevant part in red in a three-dimensional overall display. it can.

さらに、制御部301が、メモリタグ297に、稼働時間を書き込ませるので、その後のリボルバ型サブヘッド67を備えた第1ヘッドユニット61や第2ヘッドユニット63の使用時におけるリボルバ型サブヘッド67の各吸着ノズル65等の寿命を極めて容易にかつ的確に把握することが可能となる。   Further, since the control unit 301 writes the operation time in the memory tag 297, each suction of the revolver type sub head 67 when the first head unit 61 or the second head unit 63 including the revolver type sub head 67 is used thereafter. It becomes possible to grasp the life of the nozzle 65 etc. very easily and accurately.

また、吸着ノズル65が、小型の電子部品の装着が可能な小型部品ノズル269と、中・大型の電子部品の装着が可能な中・大型部品ノズル271とから構成されているので、さらなる複数種類の電子部品の装着を行うことができ、多品種の生産形態にも容易に対応することができる。   Further, the suction nozzle 65 includes a small component nozzle 269 capable of mounting small electronic components and a medium / large component nozzle 271 capable of mounting medium / large electronic components. The electronic parts can be mounted, and it is possible to easily cope with a variety of production forms.

しかも、吸着ノズル65に対して軸方向へ相対移動することにより、中・大型部品ノズル271を軸方向へ移動させて吸着ノズル65における電子部品の吸着の切り替えを行うノズルサイズ変更機構251を備えたので、ノズルサイズ変更機構251によって吸着ノズル65における電子部品の吸着の切り替えを容易に行うことができ、複数種類の電子部品の装着を円滑かつ迅速に行うことができる。   In addition, a nozzle size changing mechanism 251 that switches the suction of the electronic components in the suction nozzle 65 by moving the medium / large component nozzle 271 in the axial direction by moving relative to the suction nozzle 65 in the axial direction is provided. Therefore, it is possible to easily switch the suction of the electronic component in the suction nozzle 65 by the nozzle size changing mechanism 251, and it is possible to smoothly and quickly mount a plurality of types of electronic components.

本発明に係る部品装着装置の概略構成を示す平面図である。It is a top view which shows schematic structure of the component mounting apparatus which concerns on this invention. 部品装着装置における部品移載ヘッドの動きを説明する平面図である。It is a top view explaining the movement of the component transfer head in a component mounting apparatus. 部品移載ヘッドの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of a component transfer head. 部品移載ヘッドを構成するヘッドユニットの斜視図である。It is a perspective view of the head unit which comprises a component transfer head. 吸着ノズルが取り付けられたリボルバ型サブヘッドの要部拡大斜視図である。It is a principal part expansion perspective view of the revolver type subhead to which the suction nozzle is attached. ヘッドユニットの一部分解斜視図である。It is a partial exploded perspective view of a head unit. ヘッドユニットの一側部側から視た側面図である。It is the side view seen from the one side part side of a head unit. ヘッドユニットの他側部側から視た側面図である。It is the side view seen from the other side part side of a head unit. 撮像部の構造を説明する要部断面図である。It is principal part sectional drawing explaining the structure of an imaging part. 一つの撮像部で各ヘッドユニットの吸着部品を一度に撮像する構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure which images the adsorption | suction component of each head unit at once with one imaging part. リボルバ型サブヘッドの正面図である。It is a front view of a revolver type sub head. メカニカルバルブ及びノズルユニットにおける流路を説明する要部断面図である。It is principal part sectional drawing explaining the flow path in a mechanical valve and a nozzle unit. メカニカルバルブにおける流路の切り換えを説明する断面図で、(a)はチャック機構に把持された吸着ノズルの先端部に電子部品が吸着される場合、(b)は吸着が解除される場合を示す図である。FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining switching of flow paths in a mechanical valve, where (a) shows a case where an electronic component is adsorbed to the tip of an adsorption nozzle held by a chuck mechanism, and (b) shows a case where adsorption is released. FIG. メカニカルバルブの流路構成を説明する等価回路図(a),(b)である。It is the equivalent circuit diagram (a), (b) explaining the channel composition of a mechanical valve. リボルバ型サブヘッド及びその周辺部分における断面図である。It is sectional drawing in a revolver type subhead and its peripheral part. サブヘッド回転モータの断面図(a)及び正面図(b)である。It is sectional drawing (a) and a front view (b) of a sub head rotation motor. フランジ部の負圧流路を示す正面図である。It is a front view which shows the negative pressure flow path of a flange part. 制御回路基板の構成図である。It is a block diagram of a control circuit board. 吸着ノズルを説明する部品移載ヘッドのサブヘッド部分における正面図である。It is a front view in the sub head part of the component transfer head explaining a suction nozzle. 吸着ノズルの詳細構造を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the detailed structure of a suction nozzle. 吸着ノズルの先端部の部品装着部分を説明する平面図で、(a)は中・大型電子部品用ノズル、(b)は小型部品ノズルを表す図である。It is a top view explaining the component mounting part of the front-end | tip part of a suction nozzle, (a) is a nozzle for medium and large sized electronic components, (b) is a figure showing a small component nozzle. 図20(a)のQ−Q断面を示す概略横断面図である。It is a schematic cross-sectional view showing the QQ cross section of FIG. 吸着ノズルの動きを説明する吸着ノズルの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the suction nozzle explaining the movement of a suction nozzle. 部品の吸装着前に吸着ノズルの先端形状を変更させ、吸着可能な電子部品のサイズを変化させるタイムチャートである。It is a time chart which changes the size of the electronic component which can be picked up by changing the tip shape of the suction nozzle before sucking and mounting of the component. 部品吸装着を行った後に吸着ノズルの先端形状を変更するタイムチャートである。It is a time chart which changes the front-end | tip shape of a suction nozzle after performing component suction mounting. 吸着ノズルの他の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the other example of a suction nozzle. 第1ヘッドユニット及び第2ヘッドユニットを備えた部品移載ヘッドの正面図(a)及び断面図(b)である。It is the front view (a) and sectional drawing (b) of a component transfer head provided with the 1st head unit and the 2nd head unit. 第1ヘッドユニット及び第2ヘッドユニットのリボルバ型サブヘッドの概略斜視図である。It is a schematic perspective view of the revolver type sub head of the first head unit and the second head unit. 部品装着装置の制御系を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control system of a component mounting apparatus. 第1ヘッドユニット及び第2ヘッドユニットのリボルバ型サブヘッドによる電子部品の吸着の仕方を説明する正面図(a),(b)である。It is a front view (a), (b) explaining the method of adsorption | suction of an electronic component by the revolver type sub head of a 1st head unit and a 2nd head unit. R軸回転後に部品移載ヘッドが目標位置に到達した場合の部品移載ヘッドの動きを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a motion of a component transfer head when a component transfer head reaches | attains a target position after R-axis rotation. R軸回転前に部品移載ヘッドが目標位置に到達した場合の部品移載ヘッドの動きを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a motion of the component transfer head when a component transfer head reaches | attains a target position before R-axis rotation. ノズルユニットのθ軸モータへの電力供給のタイミングを示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the timing of the electric power supply to the (theta) axis | shaft motor of a nozzle unit. ノズルユニットの動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows operation | movement of a nozzle unit. 吸着ノズルへの部品吸着動作と、吸着された部品の基板上への装着動作のタイムシーケンスを各軸毎に示した説明図(その1)である。It is explanatory drawing (the 1) which showed the time sequence of the components adsorption | suction operation | movement to an adsorption | suction nozzle, and the mounting | wearing operation | movement to the board | substrate of the adsorbed components for every axis | shaft. 吸着ノズルへの部品吸着動作と、吸着された部品の基板上への装着動作のタイムシーケンスを各軸毎に示した説明図(その2)である。It is explanatory drawing (the 2) which showed the time sequence of the components adsorption | suction operation | movement to an adsorption | suction nozzle, and the mounting | wearing operation | movement of the adsorbed components on the board | substrate for every axis | shaft. 各種のリボルバ型サブヘッドを説明するリボルバ型サブヘッドの概略斜視図(a),(b)である。It is a schematic perspective view (a), (b) of a revolver type subhead explaining various revolver type subheads. 各種のリボルバ型サブヘッドによる電子部品の吸着の仕方を説明する概略正面図(a),(b),(c)である。It is a schematic front view (a), (b), (c) explaining how to adsorb electronic components by various revolver type sub heads. ヘッドユニット交換時における作業の流れを説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the flow of work at the time of head unit exchange. 従来の1ヘッド横列型の装着ヘッドを示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the conventional 1 head row type mounting head. 従来のロータリー型の装着ヘッドを示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows the conventional rotary type mounting head.

符号の説明Explanation of symbols

15 回路基板(基板)
33 部品供給位置
35 部品供給部
37 部品移載ヘッド
65 吸着ノズル
67 リボルバ型サブヘッド(サブヘッド)
73 撮像部
100 部品装着装置
251 ノズルサイズ変更機構
269 小型部品ノズル
271 中・大型部品ノズル
297 メモリタグ
299 タグ読み書き部
301 制御部
15 Circuit board (board)
33 Component supply position 35 Component supply unit 37 Component transfer head 65 Suction nozzle 67 Revolver type sub head (sub head)
73 Imaging unit 100 Component mounting device 251 Nozzle size changing mechanism 269 Small component nozzle 271 Medium / large component nozzle 297 Memory tag 299 Tag read / write unit 301 Control unit

Claims (23)

複数配列された該部品供給位置からそれぞれ部品を供給する部品供給部と、該部品供給部から供給される部品を吸着ノズルに吸着保持する複数のノズルユニットを有する部品移載ヘッドとを備え、該部品移載ヘッドを基板上の装着位置に相対移動させて、前記吸着保持された部品を基板上に装着する部品装着装置であって、
前記部品移載ヘッドが、前記吸着ノズルをサブヘッド回転軸を中心とする円周状に該吸着ノズルの部品吸着側を前記円周の外側に向けて前記複数のノズルユニットを配置したサブヘッドと、該サブヘッドを前記回転軸回りに回転駆動する回転駆動手段と、を有するヘッドユニットを複数具備し、
前記サブヘッドが、前記ヘッドユニット内に前記サブヘッド回転軸を前記部品供給部の部品供給位置の配列方向に沿う方向にして配置されていることを特徴とする部品装着装置。
A component supply unit that supplies components from a plurality of the component supply positions arranged; and a component transfer head that has a plurality of nozzle units that suck and hold the components supplied from the component supply unit by suction nozzles, A component mounting apparatus for mounting the suction held component on the substrate by relatively moving the component transfer head to the mounting position on the substrate,
The component transfer head includes a sub head in which the plurality of nozzle units are arranged with the component nozzle side of the suction nozzle facing the outside of the circumference in a circumferential shape centering on the sub head rotation axis. A plurality of head units having a rotation driving means for rotating the sub head around the rotation axis,
The component mounting apparatus, wherein the sub-head is disposed in the head unit with the sub-head rotation axis in a direction along an arrangement direction of component supply positions of the component supply unit.
前記部品移載ヘッドが、前記サブヘッド間の吸着ノズルの間隔を、前記部品供給部における前記部品供給位置の隣接間隔の整数倍となる距離で前記ヘッドユニットに設置されていることを特徴とする請求項1記載の部品装着装置。   The component transfer head is installed in the head unit at a distance that makes an interval between suction nozzles between the sub-heads an integral multiple of an interval between adjacent component supply positions in the component supply unit. Item mounting apparatus according to Item 1. 前記各サブヘッドに装着される前記吸着ノズルが、前記サブヘッド毎に異なるサイズの吸着ノズルであることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の部品装着装置。   3. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein the suction nozzles mounted on the sub heads are suction nozzles having different sizes for the sub heads. 前記ヘッドユニットが、前記部品移載ヘッドに対して着脱自在に装着されることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項記載の部品装着装置。   The component mounting apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the head unit is detachably mounted on the component transfer head. 前記ヘッドユニットが、前記サブヘッドの前記吸着ノズルに吸着保持した部品の姿勢を検出する撮像部を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項記載の部品装着装置。   5. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein the head unit includes an imaging unit that detects an orientation of a component sucked and held by the suction nozzle of the sub head. 前記撮像部が、前記サブヘッドの上端に位置した吸着ノズルに吸着保持された部品を撮像することを特徴とする請求項5記載の部品装着装置。   The component mounting apparatus according to claim 5, wherein the imaging unit images a component sucked and held by a suction nozzle positioned at an upper end of the sub head. 前記ノズルユニットのそれぞれに設けられ、前記ノズルユニットの吸着ノズルを回転駆動するノズル回転駆動手段と、
前記ノズル回転駆動手段への回転駆動指令を、前記サブヘッドの下端位置及び前記サブヘッド上端位置における前記サブヘッド回転方向手前側の所定回転角内でそれぞれ出力するノズル回転制御手段とを備えたことを特徴とする請求項6記載の部品装着装置。
Nozzle rotation driving means that is provided in each of the nozzle units and rotationally drives the suction nozzle of the nozzle unit;
Nozzle rotation control means for outputting a rotation drive command to the nozzle rotation drive means within a predetermined rotation angle on the front side in the sub head rotation direction at the lower end position of the sub head and the upper end position of the sub head, respectively. The component mounting apparatus according to claim 6.
前記ノズル回転制御手段が、前記サブヘッドの上端側の吸着ノズルに対して、前記基板への装着方向が予め設定された方向となるように前記吸着ノズルに吸着保持された部品を回転させる回転駆動指令を出力し、前記サブヘッドの下端側の吸着ノズルに対して、前記撮像部による撮像結果に基づいて前記吸着保持された部品の吸着姿勢を補正する回転駆動指令を出力することを特徴とする請求項7記載の部品装着装置。   Rotation drive command for rotating the component sucked and held by the suction nozzle so that the nozzle rotation control means is attached to the substrate in a predetermined direction with respect to the suction nozzle on the upper end side of the sub head The rotation drive command for correcting the suction posture of the suction-held component based on the imaging result of the imaging unit is output to the suction nozzle on the lower end side of the sub head. 7. The component mounting apparatus according to 7. 前記ヘッドユニットが、前記円周状に前記吸着ノズルを配置したノズルユニットに対峙する環状のカム溝を備え、該カム溝の下部が分断されて昇降自在とされる一方、
前記サブヘッドの各ノズルユニットが、前記ヘッドユニットに固設された環状のカム溝に係合するカムフォロアをそれぞれ備え、
前記部品供給部から前記吸着ノズルに部品を吸着保持する場合と前記吸着ノズルに吸着保持された部品を前記基板上に装着する場合に、前記サブヘッドの下端に位置したノズルユニットのカムフォロアに係合する前記分断されたカム溝の下部を昇降動作させるノズル昇降手段を具備したことを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか1項記載の部品装着装置。
The head unit includes an annular cam groove facing the nozzle unit in which the suction nozzle is arranged in the circumferential shape, and a lower portion of the cam groove is divided to be freely raised and lowered.
Each nozzle unit of the sub head includes a cam follower that engages with an annular cam groove fixed to the head unit,
Engage with the cam follower of the nozzle unit located at the lower end of the sub head when the component is sucked and held by the suction nozzle from the component supply unit and when the component sucked and held by the suction nozzle is mounted on the substrate. The component mounting apparatus according to any one of claims 1 to 8, further comprising a nozzle lifting / lowering means for moving up and down a lower portion of the divided cam groove.
前記ヘッドユニットが、該ヘッドユニットの識別情報を含む情報記憶部をそれぞれ備えていることを特徴とする請求項1〜請求項9のいずれか1項記載の部品装着装置。   The component mounting apparatus according to claim 1, wherein each of the head units includes an information storage unit including identification information of the head unit. 前記情報記憶部が情報の書き換えが可能なメモリタグであり、
前記部品移載ヘッドが前記メモリタグに対する情報の読み書きを行うタグ読み書き部を備えたことを特徴とする請求項10記載の部品装着装置。
The information storage unit is a memory tag capable of rewriting information,
The component mounting apparatus according to claim 10, wherein the component transfer head includes a tag read / write unit that reads and writes information from and to the memory tag.
前記メモリタグが、無線通信により情報の読み書きを行う無線タグであることを特徴とする請求項11記載の部品装着装置。   The component mounting apparatus according to claim 11, wherein the memory tag is a wireless tag that reads and writes information by wireless communication. 前記メモリタグに記憶される前記ヘッドユニットの識別情報が、吸着ノズルとノズルユニットとの相対位置の情報を有するキャリブレーションデータを含むことを特徴とする請求項11又は請求項12記載の部品装着装置。   The component mounting apparatus according to claim 11 or 12, wherein the identification information of the head unit stored in the memory tag includes calibration data having information on a relative position between the suction nozzle and the nozzle unit. . 前記メモリタグに記憶される前記ヘッドユニットの識別情報が、部品装着動作の稼動時間データを含むことを特徴とする請求項11〜請求項13のいずれか1項記載の部品装着装置。   The component mounting apparatus according to claim 11, wherein the identification information of the head unit stored in the memory tag includes operation time data of a component mounting operation. 前記メモリタグに記憶される前記ヘッドユニットの識別情報が、前記ヘッドユニットの構成部品を識別する部品種データを含むことを特徴とする請求項11〜請求項14のいずれか1項記載の部品装着装置。   The component mounting according to any one of claims 11 to 14, wherein the identification information of the head unit stored in the memory tag includes component type data for identifying a component of the head unit. apparatus. 前記ノズルユニットが、下端に細径部を有するとともに上端に太径部を有し、中段に前記細径部より太くかつ太径部より細い支持部を有して中央に吸排孔を設けた第1ノズルと、前記第1ノズルの支持部の外周に上下方向へ摺動可能に支持され該第1ホルダと同心状に配設された第2ノズルと、を有し、
前記第1ノズルは、前記支持部の外周の上下方向に異なる位置に上方ロック部と下方ロック部とを有し、
前記第2ノズルは、前記第1ノズルの支持部に対面する内周側に前記2つのロック部のいずれかと係合する係合部を有し、
前記第2ノズルが、前記係合部と前記上方ロック部とが係合する上方位置にある場合に、前記第1ノズルによる吸引動作により前記第2ノズルによる部品吸着動作を行い、前記第2ノズルが、前記係合部と前記下方ロック部とが係合する下方位置にある場合に、前記第2ノズルによる部品吸着を無効にして前記第1ノズルだけで部品吸着を行うように構成したことを特徴とする請求項1〜請求項15のいずれか1項記載の部品装着装置。
The nozzle unit has a narrow-diameter portion at the lower end and a large-diameter portion at the upper end, and has a support portion that is thicker than the thin-diameter portion and thinner than the large-diameter portion in the middle, and has a suction / exhaust hole in the center. 1 nozzle, and a second nozzle supported on the outer periphery of the support portion of the first nozzle so as to be slidable in the vertical direction and disposed concentrically with the first holder,
The first nozzle has an upper lock portion and a lower lock portion at different positions in the vertical direction of the outer periphery of the support portion,
The second nozzle has an engagement portion that engages with one of the two lock portions on the inner peripheral side facing the support portion of the first nozzle,
When the second nozzle is in an upper position where the engagement portion and the upper lock portion are engaged, the component suction operation by the second nozzle is performed by the suction operation by the first nozzle, and the second nozzle However, when the engagement portion and the lower lock portion are in a lower position where the engagement portion and the lower lock portion are engaged, the component adsorption by the second nozzle is invalidated and the component adsorption is performed only by the first nozzle. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein the component mounting apparatus is characterized in that:
前記第2ノズルが下方位置にあるとき、該第2ノズルの下端面が前記第1ノズルの下端面より下方に位置し、前記第1ノズルと前記第2ノズルとの間に吸着用空間が画成されることを特徴とする請求項16記載の部品装着装置。   When the second nozzle is in the lower position, the lower end surface of the second nozzle is positioned below the lower end surface of the first nozzle, and an adsorption space is defined between the first nozzle and the second nozzle. The component mounting apparatus according to claim 16, wherein the component mounting apparatus is formed. 前記第2ノズルが、該第2ノズルの外周にフランジ部を備え、前記ヘッドユニットに設けたフランジ固定手段により前記フランジ部を固定したまま、前記第1ノズルを昇降動作させることで前記第1ノズルに対する相対位置を変更することを特徴とする請求項16又は請求項17記載の部品装着装置。   The second nozzle includes a flange portion on an outer periphery of the second nozzle, and the first nozzle is moved up and down while the flange portion is fixed by a flange fixing means provided in the head unit. The component mounting apparatus according to claim 16 or 17, wherein a relative position with respect to is changed. 前記フランジ部が上下一対のフランジからなり、前記フランジ固定手段が、前記一対のフランジ間にストッパを挿入することを特徴とする請求項18記載の部品装着装置。   19. The component mounting apparatus according to claim 18, wherein the flange portion includes a pair of upper and lower flanges, and the flange fixing means inserts a stopper between the pair of flanges. 前記サブヘッドが、前記複数のノズルユニットそれぞれに、前記吸着ノズルによる部品吸着を行う負圧源と、部品吸着を解除するための正圧源に選択的に接続されるバルブ機構を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項19のいずれか1項記載の部品装着装置。   The sub head includes, in each of the plurality of nozzle units, a negative pressure source that performs component suction by the suction nozzle and a valve mechanism that is selectively connected to a positive pressure source for releasing component suction. The component mounting apparatus according to any one of claims 1 to 19. 前記バルブ機構が、圧力差に応じて流路切り替え用のスプールを移動させ、前記吸着バルブへ接続される前記負圧源及び前記正圧源からの流路を変更するエアオペレートバルブにより構成されていることを特徴とする請求項20記載の部品装着装置。   The valve mechanism includes a negative pressure source connected to the adsorption valve and an air operated valve for changing the flow path from the positive pressure source by moving a flow path switching spool according to a pressure difference. 21. The component mounting apparatus according to claim 20, wherein 前記サブヘッドが、前記複数のノズルユニットと該ノズルユニットのそれぞれに対応する複数の前記バルブ機構とが支持されたフランジ部に中空の軸部が接続されてなるノズル固定用回転部材を備え、
前記回転駆動手段が、前記ノズル固定用回転部材の軸部の外周に配置されて、この軸部を回転駆動することを特徴とする請求項20又は請求項21記載の部品装着装置。
The sub head includes a nozzle fixing rotating member in which a hollow shaft portion is connected to a flange portion where the plurality of nozzle units and a plurality of the valve mechanisms corresponding to the nozzle units are supported,
The component mounting apparatus according to claim 20 or 21, wherein the rotation driving means is disposed on an outer periphery of a shaft portion of the nozzle fixing rotation member and rotationally drives the shaft portion.
前記サブヘッドが前記ノズルユニット及び前記バルブ機構を制御する制御回路基板を搭載し、
前記ノズル固定用回転部材の軸部の内側空間に、前記制御回路基板からスリップリングを介して取り出した信号線を敷設するとともに、前記ノズル機構への吸気通路を形成したことを特徴とする請求項22記載の部品装着装置。
The sub head is equipped with a control circuit board for controlling the nozzle unit and the valve mechanism,
The signal line taken out from the control circuit board via a slip ring is laid in the inner space of the shaft portion of the nozzle fixing rotating member, and an intake passage to the nozzle mechanism is formed. 22. The component mounting apparatus according to 22.
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