JP2005294128A - エネルギーフィルタおよび電子顕微鏡ならびにスリット移動機構 - Google Patents

Abstract

【課題】 スリット選択のために電子線を偏向させることなく、しかも簡単な構造のフィルタを備えたエネルギーフィルタを提供する。
【解決手段】 スリットホルダ３５のｙ軸方向への移動は、Ｙ動レバー４７を軸３９まわりに回転させることにより行われる。ホルダ３３の回転は、回転レバー３８を軸３９まわりに回転させることにより行われる。ホルダ３３のｘ軸方向への移動は、アクチュエータ２９ａに接続されたシャフト２９ｂをｘ軸方向に移動させて、ベース２３をｘ軸方向に移動させることにより行われる。
【選択図】 図２

Description

本発明は、特定のエネルギーを持つ荷電粒子のみを選択するためのエネルギーフィルタ、およびそのエネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡、ならびにスリットを移動させるためのスリット移動機構に関する。

最近の透過電子顕微鏡の中には、電子銃と試料間にエネルギーフィルタ（モノクロメータ）を配置しているものがある。このエネルギーフィルタは、特定のエネルギーを持つ電子のみを選択するためのものであり、電子銃からの電子線を単色化して試料に照射するためのものである。
このようなエネルギーフィルタを備えた透過電子顕微鏡は、試料を照射する電子線のエネルギー幅を小さくすることができ、それによって色収差を小さくすることができる。その結果、高空間分解能の透過電子顕微鏡像を得ることができる。
また、電子エネルギー損失分光（ＥＥＬＳ:electron energy-loss spectroscopy）による固体試料の電子状態解析を行える透過電子顕微鏡において、前記エネルギーフィルタを電子銃と試料間に配置して電子線を単色化するようにすれば、ＥＥＬＳにおけるエネルギー分解能を向上させることができる。
さて、上述したエネルギーフィルタは、フィルタ（たとえばウィーンフィルタ）とエネルギー選択スリットを備えている。このフィルタは、電子銃からの電子線を所定方向にエネルギー分散させるためのものである。また、エネルギー選択スリットは、フィルタによってエネルギー分散された電子線の一部を通過させるためのスリットであり、試料を照射する電子線のエネルギーを選択するためのスリットである。このようなエネルギーフィルタに関する特許文献として、特開２００３−３３１７６４号公報（特許文献１）が知られている。
この特許文献１には、上記スリットの改良について記載されている。すなわち特許文献１には、それまでのＶ字形（楔形）スリットや、スリット巾を機械的に調整するタイプのものに代えて、巾の異なる複数のスリットを有したスリット板をウィーンフィルタ後段に固定配置することが記載されている。そして、このようなスリット板を備えた特許文献１のエネルギーフィルタにおいては、試料を照射する電子線のエネルギーを選択する際、ウィーンフィルタの電場または磁場強度が増減されて電子線が偏向され、エネルギー分散された電子線がスリット板の所望スリット上に位置される。

特開２００３−３３１７６４号公報

上述したように特許文献１においては、ウィーンフィルタの中心軸から外れた位置にあるスリットを使用する場合、電子線はウィーンフィルタの電子線偏向場によって適宜偏向される。しかしながら、このようにスリット選択のために電子線を偏向させると、その偏向された電子線の収差は大きくなり、最終的に得られる像に歪みなどが発生してしまう。
また、上述した電子線偏向場をウィーンフィルタで発生させようとすると、そのウィーンフィルタの構造は複雑になってしまう。
本発明はこのような点に鑑みて成されたもので、その目的は、スリット選択のために電子線を偏向させることなく、しかも簡単な構造のフィルタを備えたエネルギーフィルタを提供することにある。

上記目的を達成する本発明のエネルギーフィルタは、
（ａ）フィルタに入射した荷電粒子線を、その入射方向とほぼ直交する所定方向にエネルギー分散させる前記フィルタと、
（ｂ）前記フィルタによってエネルギー分散された荷電粒子線の一部を通過させるためのスリットを有するスリット部材と、
（ｃ）前記スリット部材を、前記荷電粒子線のフィルタへの入射方向とほぼ直交する方向に移動させるためのスリット移動機構
を備えたことを特徴としている。

したがって本発明によれば、スリット選択のために電子線を偏向させることなく、しかも簡単な構造のフィルタを備えたエネルギーフィルタを提供できる。

以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。

図１は本発明のエネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡を示した図である。図１において１は本発明のエネルギーフィルタ（モノクロメータ）であり、エネルギーフィルタ１は電子銃２の内部に配置されている。このエネルギーフィルタ１は、電場と磁場を組み合わせたウィーンフィルタ３ａ，３ｂと、そのウィーンフィルタ３ａ，３ｂを外乱磁場や電場からシールドするシールドケース４と、エネルギー選択スリット板５を保持したスリット移動機構６とを備えており、このスリット移動機構６は前記シールドケース４に保持されている。前記ウィーンフィルタ３ａ，３ｂは絶縁碍子を介してシールドケース４にそれぞれ固定されている。なお、スリット移動機構６の構造については後で図２と図３を用いて詳しく説明する。

図１において７は電子銃の外筒であり、外筒７の内部には内筒８が配置されている。内筒８は絶縁碍子９を介して前記外筒７に接続されており、内筒８と絶縁碍子９と外筒７とで密閉された空間１０はたとえばＳＦ６のような絶縁ガスで満たされている。一方、内筒８の内部は図示しない排気装置により高真空に排気されている。

前記内筒８の内部には、上から順に、電子を発生する電子源１１、電子源１１から射出する電子線を収束させるための第１電極１２、電子源１１から電子を引き出すための第２電極１３、前記エネルギーフィルタ１が配置されている。それらの構成要素（１１，１２，１３，１）は、絶縁碍子１４を介して内筒８にそれぞれ固定されている。そして、前記エネルギーフィルタ１の後段には加速電極１５が配置されており、加速電極１５は前記絶縁碍子９に固定されている。

さらに加速電極１５の後段には、上から順に、集束レンズ１６、対物レンズ１７、中間レンズ１８、投影レンズ１９、蛍光板２０が配置されている。なお、試料２１は対物レンズ１７のポールピース間に配置されている。

このような構成において、前記外筒７はアース電位に保たれ、内筒８はたとえば−２００ｋＶ、シールドケース４は−２００ｋＶ＋αｋＶ、スリット板５はシールドケース４と同電位（−２００ｋＶ＋αｋＶ）、ウィーンフィルタ３ａ，３ｂは−２００ｋＶ＋βｋＶに保たれる。そして、電子源１１から射出して電極１２，１３を通過した電子線は、シールドケース４の電子線通過孔４ａを通り、光軸Ｏ（ｚ軸）に沿ってウィーンフィルタ３ａに入射する。上段のウィーンフィルタ３ａは、入射した電子線をその入射方向（−ｚ方向）と直交する所定方向にエネルギー分散させてスリット板５上に集束させる。この場合、電子線はｙ方向にエネルギー分散されるものとする。

そして、スリット板５のスリットＳを通過した電子線は、下段のウィーンフィルタ３ｂにより分散が戻されて円形の電子線となり、シールドケース４の電子線通過孔４ｂから出射する。その後、前記スリットＳを通過した電子線、すなわちスリットＳによって選択された特定のエネルギーを持つ電子線は、加速電極１５で加速されて集束レンズ１６に入射する。
集束レンズ１６は入射電子線を試料２１上に集束させる。この電子線照射によって試料２１を透過した電子線は、対物レンズ１７と中間レンズ１８と投影レンズ１９により結像拡大され、蛍光板２０上に試料２１の拡大像が投影される。

以上、図１の電子顕微鏡の動作について説明した。以下、図１におけるスリット移動機構６の構造を図２と図３を用いて詳しく説明する。なお、図２および図３において、図１と同じ構成要素に対しては図１と同じ番号が付けられている。

さて、図２（ａ）はスリット移動機構６を前記ウィーンフィルタ３ａ側から見た図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。また、図３（ａ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図３（ｂ）は前記スリット板５を示した図である。

図２において、２２は円板状の支持部材であり、支持部材２２は２段のウィーンフィルタ３ａ，３ｂの中間に位置し、シールドケース４に固定されている。支持部材２２の中央部分には電子線通過孔２２ａが設けられている。
この支持部材２２上には円板状のベース２３が配置されており、ベース２３の中央部分には電子線通過孔２３ａが設けられている。図２（ａ）および図３（ａ）に示すように、ベース２３にはｘ軸方向に延びる長穴２３ｂ，２３ｃが設けられており、バネ（２４）付きのガイドネジ２５が長穴２３ｂ，２３ｃを通されて支持部材２２にねじ込まれている。このようなネジ止めにより、ベース２３は支持部材２２上をｘ軸方向にのみ移動可能であり、ベース２３はバネ２４によって支持部材２２に押し付けられている。
また、図２に示すように、前記ベース２３にはピン２６が立てられている。そして、前記支持部材２２にもピン２７が立てられており、それらのピン２６，２７間にはバネ２８が張られている。このバネ２８によって前記ベース２３はｘ方向に引っ張られているが、そのベース２３のｘ方向への移動はＸ動移動機構２９によって受け止められている。
Ｘ動移動機構２９は前記内筒８に固定されており、Ｘ動移動機構２９はアクチュエータ（たとえば圧電素子体）２９ａとシャフト２９ｂを備えている。シャフト２９ｂの先端は前記ベース２３に当接しており、アクチュエータ２９ａが動作されると、そのアクチュエータ２９ａに接続されたシャフト２９ｂがｘ軸方向に移動するように構成されている。なお、シャフト２９ｂの周りに配置されたベローズ２９ｃにより、内筒８内部の気密が保たれている。
また、図２において３０〜３２はローラであり、ローラ３０〜３２は前記ベース２３上に等間隔に取り付けられている。これら３つのローラ３０〜３２の内側にはホルダ３３が配置されており、円板状のホルダ３３は前記ベース２３上に配置されている。このホルダ３３の外周には溝３３ａが形成されており、溝３３ａには前記ローラ３０〜３２がはまっている。このようなローラ３０〜３２により、ホルダ３３は回転軸Ｒまわりに回動可能である。なお、図２（ａ）の状態においては、回転軸Ｒは光軸Ｏと一致している。
今説明したホルダ３３はホルダ本体（３４）部分とスリットホルダ（３５）部分とに分かれており、電子線通過孔３５ａを有するスリットホルダ３５は、蛇腹部分３６ａ，３６ｂを介してホルダ本体３４に接続されている。このような蛇腹構造により、スリットホルダ３５はホルダ本体３４に対して一方向にのみ移動可能である。すなわち、図２（ａ）の状態においては、スリットホルダ３５はホルダ本体３４に対してｙ軸方向にのみ移動可能である。なお、このような蛇腹構造を持つホルダ３３は、貫通孔３７が開けられることによって作製される。
そして、スリットホルダ３５上には前記スリット板（スリット部材）５がセットされている。図３（ｂ）に示すように、スリット板５には４つのスリットＳ_１〜Ｓ_４が一列に設けられており、隣り合うスリット間の距離はΔである。この距離Δは、エネルギー分散された電子線が隣り合う２つのスリットを同時に通過しないように設定されている。スリットＳ_１〜Ｓ_４の形状は長方形であり、各スリットは平行な２つの直線部分ａ_１，ａ_２を有している。また、スリット巾ｄはスリット毎に異なっており、スリットＳ_１，Ｓ_２，Ｓ_３，Ｓ_４のスリット巾はそれぞれｄ_１，ｄ_２，ｄ_３，ｄ_４である。なお、図３（ｂ）に示すように、現在のスリットＳ_１〜Ｓ_４の並びは前記ウィーンフィルタ３のエネルギー分散方向Ｅに一致しており、各スリットの直線部分ａ_１，ａ_２はそのエネルギー分散方向Ｅに直交している。
また、図２において３８は回転レバーである。回転レバー３８は、光軸Ｏに平行な軸３９まわりに回動可能に支持部材４０に取り付けられている。この支持部材４０は前記支持部材２２に固定されている。そして、回転レバー３８の一端には凹部３８ａが形成されており、前記ホルダ本体３４に固定されたピン４１が凹部３８ａにはまっている。一方、回転レバー３８の他端にも凹部３８ｂが形成されており、シャフト４２の先端に固定されたピン４２ａが凹部３８ｂにはまっている。シャフト４２は、光軸Ｏに平行な軸４３まわりに回動可能に前記内筒８に取り付けられている。
４４はアクチュエータ固定台であり、アクチュエータ固定台４４は内筒８の外側に固定されている。アクチュエータ固定台４４と前記シャフト４２の端部４２ｂ間にはバネ４５が張られている。このバネ４５によりシャフト端部４２ｂは固定台４４側に引っ張られているが、そのシャフト端部４２ｂの固定台方向（−ｙ方向）への移動は、固定台４４上に取り付けられたアクチュエータ４６によって受け止められている。アクチュエータ４６の先端はシャフト４２に当接しており、アクチュエータ４６が動作されてアクチュエータ先端がｙ軸方向に移動されると、シャフト４２は軸４３まわりに回動するように構成されている。また、シャフト４２の周りに配置されたベローズ４２ｃにより、内筒８内部の気密が保たれている。
なお、前記ホルダ本体３４を前記回転軸Ｒまわりに回動させるための本発明の回転機構は、回転レバー３８と支持部材４０とシャフト４２とアクチュエータ固定台４４とバネ４５とアクチュエータ４６とで構成されている。
また、図２において４７はＹ動レバーである。Ｙ動レバー４７は、上述した軸３９まわりに回動可能に前記支持部材４０に取り付けられている。そして、Ｙ動レバー４７の一端には凹部４７ａが形成されており、前記スリットホルダ３５が凹部４７ａにはまっている。一方、Ｙ動レバー４７の他端にも凹部４７ｂが形成されており、シャフト４８の先端に固定されたピン４８ａが凹部４７ｂにはまっている。シャフト４８は、光軸Ｏに平行な軸４９まわりに回動可能に前記内筒８に取り付けられている。
前記シャフト４８の端部４８ｂと前記アクチュエータ固定台４４間にはバネ５０が張られている。このバネ５０によりシャフト端部４８ｂは固定台４４側に引っ張られているが、そのシャフト端部４８ｂの固定台方向（ｙ方向）への移動は、固定台４４上に取り付けられたアクチュエータ５１によって受け止められている。アクチュエータ５１の先端はシャフト４８に当接しており、アクチュエータ５１が動作されてアクチュエータ先端がｙ軸方向に移動されると、シャフト４８は軸４９まわりに回動するように構成されている。また、シャフト４８の周りに配置されたベローズ４８ｃにより、内筒８内部の気密が保たれている。
なお、前記スリットホルダ３５を前記回転軸Ｒに垂直な方向（図２の状態ではｙ軸方向）に移動させるための本発明の移動機構は、Ｙ動レバー４７と支持部材４０とシャフト４８とアクチュエータ固定台４４とバネ５０とアクチュエータ５１とで構成されている。
以上、図１におけるスリット移動機構６の構造を図２と図３を用いて説明した。以下、このスリット移動機構６の動作説明を行う。
まず、スリットＳ_１〜Ｓ_４の選択について説明する。
今、図３（ｂ）に示すように、スリットＳ_１が選択されて光軸Ｏ上に配置されているものとする。この状態からスリットＳ_２を光軸Ｏ上に位置させるときには、アクチュエータ５１（図２（ａ）参照）が動作される。この場合、シャフト４８に当接しているアクチュエータ（５１）先端が−ｙ方向に移動するように、アクチュエータ５１は動作される。こうしてシャフト４８がアクチュエータ５１で押されると、シャフト４８は軸４９を中心として時計回り（電子源１１側から見て時計回り）に回転される。
このシャフト４８の回転に伴い、シャフト４８のピン４８ａと係合するＹ動レバー４７は軸３９を中心として反時計回りに回転される。このＹ動レバー４７の回転により、Ｙ動レバー４７の凹部４７ａにはまっているスリットホルダ３５は、そのＹ動レバー４７の先端部分で−ｙ方向に押される。そして、蛇腹部分３６ａが伸びて蛇腹部分３６ｂが縮むため、スリットホルダ３５は−ｙ方向に移動する。この移動に伴い、スリットホルダ３５に保持されたスリット板５は−ｙ方向に移動する。その結果、図４に示すように、スリット板５中のスリットＳ_２が光軸Ｏ上に配置される。
なお、このスリットＳ_２の光軸Ｏ上への位置合わせは、蛍光板２０（図１参照）上においてスリット像が確認されながら行われる。すなわち、オペレータは、スリットＳ_２を通過した電子線によるスリット像が蛍光板２０上の所定位置に来るように、アクチュエータ５１を動作させてスリットＳ_２をｙ軸方向に移動させる。
以上、スリットＳ_２を光軸Ｏ上に配置する場合について説明した。他のスリットＳ_３，Ｓ_４を光軸Ｏ上に配置する場合にも、アクチュエータ５１が適宜動作され、選択されたスリットが光軸Ｏ上に配置される。
次に、スリット板５の回転について説明する。
今、たとえば図５（ａ）に示すように、スリットＳ_１が光軸Ｏ上に位置しているものの、スリットＳ_１の前記直線部分ａ_１，ａ_２が前記エネルギー分散方向Ｅに直交していないものとする。このままでは、スリットＳ_１を通過して試料２１を照射する電子線のエネルギー幅は、所望のエネルギー幅よりも大きくなってしまう。すなわち、試料を照射する電子線のエネルギー幅は、スリット巾ｄ_１に相当するエネルギー幅よりも大きくなってしまう。このようなときには、スリットＳ_１の直線部分ａ_１，ａ_２がエネルギー分散方向Ｅに直交するように、スリット板５を回転させる必要がある。
そこで、このときには、アクチュエータ４６（図２（ａ）参照）が動作される。この場合、シャフト４２に当接しているアクチュエータ（４６）先端が−ｙ方向に移動するように、アクチュエータ４６は動作される。こうしてアクチュエータ４６が縮められると、シャフト４２は軸４３を中心として時計回りに回転される。
このシャフト４２の回転に伴い、シャフト４２のピン４２ａと係合する回転レバー３８は軸３９を中心として反時計回りに回転される。この回転レバー３８の凹部３８ａには、ホルダ３３に固定されたピン４１がはまっている。このため、回転レバー３８の回転に伴い、ホルダ３３は前記回転軸Ｒ（図５（ａ）の状態では回転軸Ｒと光軸Ｏは一致している）を中心として時計回りに回転する。このホルダ３３の回転により、ホルダ３３に保持されたスリット板５は回転する。その結果、図５（ｂ）に示すように、スリットＳ_１の直線部分ａ_１，ａ_２がエネルギー分散方向Ｅに直交する。
次に、スリット板５のｘ軸方向への移動について説明する。
さて、電子線を同じスリット位置に照射し続けると、そのスリット周縁部は次第に汚れてくる。そこで本発明のスリット移動機構６においては、スリット板５をｘ軸方向へ移動させて、清浄なスリット部分を光軸Ｏ上に配置できるように構成されている。
今、図３（ｂ）に示すように、スリットＳ_１の中央部分が光軸Ｏ上に位置しているものとする。このような状態において、スリットＳ_１を−ｘ方向に移動させて清浄なスリット部分を光軸Ｏ上に配置させる場合には、アクチュエータ２９ａ（図２（ａ）参照）が動作される。この場合、シャフト２９ｂが−ｘ方向に移動するように、アクチュエータ２９ａは動作される。こうしてシャフト２９ｂが−ｘ方向に移動すると、そのシャフト（２９ｂ）先端に当接しているベース２３も同じ量だけ−ｘ方向に移動する。このベース２３の移動に伴い、ベース２３上のホルダ３３に保持されたスリット板５は−ｘ方向へ移動する。その結果、図６に示すように、スリットＳ_１は−ｘ方向に移動する。
以上、図２に示した本発明のスリット移動機構６の動作を説明した。
このようなスリット移動機構を備えた本発明のエネルギーフィルタにおいては、スリット選択はそのスリット移動機構によって行われる。このため本発明では、スリット選択のために電子線をフィルタで偏向させなくて済み、そのフィルタの構造を従来よりも簡単にすることができる。しかも本発明では、スリット選択のために電子線はフィルタで偏向されないので、電子線偏向による収差を抑えることができ、歪みなどのない良好な試料像を得ることができる。
なお、本発明は上記例に限定されるものではない。上記例では、巾の異なるスリットを一列にスリット板上に設けたが、そのスリットの並びは真っ直ぐでなくても良い。たとえば、巾の異なるスリットを放射状にスリット板上に設けるようにしても良い。また、電子源からの電子線をすべて通過させるための開放スリットをスリット板上に追加して設けるようにしても良い。

また、電子エネルギー損失分光（ＥＥＬＳ）による固体試料の電子状態解析を行える透過電子顕微鏡に本発明を適用するようにしても良い。すなわち、試料の後段に順に、結像レンズ系、第１スリット、アナライザ、第２スリット、結像レンズ系、撮像装置を備えた透過電子顕微鏡において、上述した本発明のエネルギーフィルタを電子源と試料間に配置して電子線を単色化するようにしても良い。また、そのＥＥＬＳによる固体試料の電子状態解析を行える透過電子顕微鏡において、本発明のエネルギーフィルタを、前記アナライザと第２スリットに代えて配置するようにして良い。

本発明のエネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡を示した図。 図１におけるスリット移動機構を示した図。 図１におけるスリット移動機構を示した図。 図１におけるスリット移動機構の動作を説明するために示した図。 図１におけるスリット移動機構の動作を説明するために示した図。 図１におけるスリット移動機構の動作を説明するために示した図。

符号の説明

１…エネルギーフィルタ、２…電子銃、３ａ，３ｂ…ウィーンフィルタ、４…シールドケース、５…スリット板、６…スリット移動機構、７…外筒、８…内筒、９…絶縁碍子、１０…空間、１１…電子源、１２…第１電極、１３…第２電極、１４…絶縁碍子、１５…加速電極、１６…集束レンズ、１７…対物レンズ、１８…中間レンズ、１９…投影レンズ、２０…蛍光板、２１…試料、２２…支持部材、２３…ベース、２４…バネ、２５…ガイドネジ、２６…ピン、２７…ピン、２８…バネ、２９…Ｘ動移動機構、３０、３１、３２…ローラ、３３…ホルダ、３４…ホルダ本体、３５…スリットホルダ、３６ａ、３６ｂ…蛇腹部、３７…貫通孔、３８…回転レバー、３９…軸、４０…支持部材、４１…ピン、４２…シャフト、４３…軸、４４…アクチュエータ固定台、４５…バネ、４６…アクチュエータ、４７…Ｙ動レバー、４８…シャフト、４９…軸、５０…バネ、５１…アクチュエータ

Claims (8)

1. 特定のエネルギーを持つ荷電粒子のみを選択するためのエネルギーフィルタであって、以下の（ａ）〜（ｃ）の構成要素を備えたことを特徴とするエネルギーフィルタ
   （ａ）フィルタに入射した荷電粒子線を、その入射方向とほぼ直交する所定方向にエネルギー分散させる前記フィルタ
   （ｂ）前記フィルタによってエネルギー分散された荷電粒子線の一部を通過させるためのスリットを有するスリット部材
   （ｃ）前記スリット部材を、前記荷電粒子線のフィルタへの入射方向とほぼ直交する方向に移動させるためのスリット移動機構。
2. 前記スリット部材には複数のスリットが設けられており、各スリットは平行な２つの直線部分を有しており、その２つの直線部分間の距離はスリット毎に異なっていることを特徴とする請求項１記載のエネルギーフィルタ。
3. 前記スリット移動機構は、前記スリット部材を、前記荷電粒子線のフィルタへの入射方向とほぼ平行な軸まわりに回動させるための回転機構を備えていることを特徴とする請求項１記載のエネルギーフィルタ。
4. 前記スリット移動機構は、以下の（ｄ）〜（ｈ）の構成要素を備えていることを特徴とする請求項１記載のエネルギーフィルタ
   （ｄ）荷電粒子線通過部を有するベース
   （ｅ）荷電粒子線通過部を有し、前記荷電粒子線のフィルタへの入射方向とほぼ平行な回転軸まわりに回動可能に前記ベース上に配置されたホルダ本体
   （ｆ）荷電粒子線通過部を有し、前記回転軸にほぼ垂直な所定方向に移動可能に前記ホルダ本体上に配置されたスリットホルダ
   （ｇ）前記ホルダ本体を前記回転軸まわりに回動させるための回転機構
   （ｈ）前記スリットホルダを前記回転軸にほぼ垂直な所定方向に移動させるための移動機構。
5. 前記ベースは、荷電粒子線通過部を有する支持部材上に配置されており、前記ベースを前記回転軸にほぼ垂直な所定方向に移動させるための移動機構を更に備えたことを特徴とする請求項４記載のエネルギーフィルタ。
6. 電子を発生する電子源と観察試料との間に、前記請求項１から５の何れかに記載のエネルギーフィルタを配置したことを特徴とする電子顕微鏡。
7. 荷電粒子線の一部を通過させるためのスリットを有するスリット部材を、前記荷電粒子線のスリットへの入射方向とほぼ直交する方向に移動させるためのスリット移動機構であって、以下の（ｉ）〜（ｍ）の構成要素を備えていることを特徴とするスリット移動機構
   （ｉ）荷電粒子線通過部を有するベース
   （ｊ）荷電粒子線通過部を有し、前記荷電粒子線のスリットへの入射方向とほぼ平行な回転軸まわりに回動可能に前記ベース上に配置されたホルダ本体
   （ｋ）荷電粒子線通過部を有し、前記回転軸にほぼ垂直な所定方向に移動可能に前記ホルダ本体上に配置されたスリットホルダ
   （ｌ）前記ホルダ本体を前記回転軸まわりに回動させるための回転機構
   （ｍ）前記スリットホルダを前記回転軸にほぼ垂直な所定方向に移動させるための移動機構。
8. 前記ベースは、荷電粒子線通過部を有する支持部材上に配置されており、前記ベースを前記回転軸にほぼ垂直な所定方向に移動させるための移動機構を更に備えたことを特徴とする請求項７記載のスリット移動機構。

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