JP2005292022A - Manufacturing method for reference electrode - Google Patents

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哲男 行政
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for an inexpensive and easily manufactured reference electrode of high performance for electrochemical measurement, and to provide a manufacturing method for an electrochemical sensor provided with the reference electrode. <P>SOLUTION: In this manufacturing method for the reference electrode in an electrode array for the electrochemical measurement, having two or more of electrode pairs including at least the reference electrode and a measuring electrode, the reference electrode is manufactured by applying a silver paste on a reference electrode portion of a conductive pattern, and by treating a surface with hypochlorous acid to form silver chloride. The is also provided the reference electrode manufactured by the method, and an electrochemical measuring device provided with the reference electrode. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電気化学測定に用いる参照電極の製造方法、およびバイオセンサなどの電気化学センサの製造方法に関する。本発明はさらに、本発明の方法によって得られる参照電極、及び本発明の参照電極を備えた電気化学測定デバイスに関する。   The present invention relates to a method for producing a reference electrode used for electrochemical measurement, and a method for producing an electrochemical sensor such as a biosensor. The present invention further relates to a reference electrode obtained by the method of the present invention, and an electrochemical measurement device comprising the reference electrode of the present invention.

電極を検出する素子として、被測定物質により電極界面で起こる電流変化あるいは電位変化を検知する電気化学センサは、現在では様々な分野に応用され、実用化に至っている。特に近年では、小型・マルチ化が容易であるという理由から、生体中に存在するタンパク質や酵素、低分子複合体などの物質を測定するバイオセンサとしての需要が高まってきている。電気化学センサでは、通常、絶縁基板上に作用極、対極、参照電極などの電極が形成される。電位検出の場合は、作用極と参照電極との電位差を測定し、電流検出の場合は、作用極と参照電極との電位差を外部回路によって一定とし、そのときに作用極と対極との間に流れる電流を測定する。このように参照電極は、電位を印加する場合、もしくは電位を測定する場合などの基準となる電極であって、電気化学センサとして欠かすことのできない電極である。電気化学測定においては、参照電極は標準水素電極を基準としているが、水素ガスを使用するなど取り扱いが厄介なので、電気化学センサなどでは、一般に銀塩化銀電極を参照電極として使用している。   As an element for detecting an electrode, an electrochemical sensor for detecting a current change or a potential change that occurs at an electrode interface due to a substance to be measured has been applied to various fields and has been put into practical use. In particular, in recent years, the demand for biosensors for measuring substances such as proteins, enzymes, and low-molecular complexes existing in living bodies has been increasing because they are small and easy to multiplex. In an electrochemical sensor, electrodes such as a working electrode, a counter electrode, and a reference electrode are usually formed on an insulating substrate. In the case of potential detection, the potential difference between the working electrode and the reference electrode is measured, and in the case of current detection, the potential difference between the working electrode and the reference electrode is made constant by an external circuit, and at that time, between the working electrode and the counter electrode Measure the flowing current. As described above, the reference electrode is a reference electrode for applying a potential or measuring a potential, and is an electrode indispensable as an electrochemical sensor. In the electrochemical measurement, the reference electrode is based on a standard hydrogen electrode. However, since handling is difficult such as using hydrogen gas, a silver-silver chloride electrode is generally used as a reference electrode in an electrochemical sensor or the like.

従来の参照電極の製造方法しては、金や白金などで形成された電極パターンの参照電極部位上に、ジシアノ銀(I)酸イオン等を含むメッキ液中で、白金電極に対し−1.0V程度を印加することによって所定の部位に銀メッキを施し、さらに3MのNaCl中で+1.2V程度の電圧を印加して表面を塩化銀化するものがあった。しかしながら、この方法では、製造工程が複雑となるばかりでなく、メッキ液の処理などの問題もあり、低コスト化や量産化が困難であった。   As a conventional method of manufacturing a reference electrode, a platinum electrode is used in a plating solution containing dicyano silver (I) acid ions on a reference electrode portion of an electrode pattern formed of gold, platinum, or the like. In some cases, silver plating was applied to a predetermined portion by applying about 0 V, and the surface was silver chloride by applying a voltage of about +1.2 V in 3 M NaCl. However, this method not only complicates the manufacturing process but also has problems such as the treatment of the plating solution, which makes it difficult to reduce the cost and mass production.

これらの欠点を克服する方法として、銀塩化銀ペースト材料で電極本体を構成するものが開示されている(例えば、特許文献1参照)。これは、銀の脱脂洗浄や、塩化銀処理、洗浄・乾燥工程などを省略し、低コスト化を図ることを目的としている。しかしながら、銀塩化銀ペースト自体のコストがかかり、また電極自体を銀塩化銀ペーストを印刷することによって構成しているため、微細な電極パターンを得ることが難しく、またパターンが細くなれば抵抗が高くなるという問題があった。
特開2001−242115号公報
As a method for overcoming these drawbacks, a method in which an electrode body is composed of a silver-silver chloride paste material is disclosed (for example, see Patent Document 1). The purpose of this is to reduce the cost by eliminating the degreasing cleaning of silver, the silver chloride treatment, the cleaning / drying step and the like. However, the cost of the silver-silver chloride paste itself is high, and since the electrode itself is configured by printing the silver-silver chloride paste, it is difficult to obtain a fine electrode pattern, and if the pattern is thin, the resistance is high. There was a problem of becoming.
JP 2001-242115 A

このように、従来の電気化学センサにおいて、低コスト、かつ信頼の高い参照電極の製造方法は確立されておらず、センサの小型化、低コスト化の課題の一つとなっていた。そこで本発明は上記の問題点に鑑み、安価で製造しやすく、かつ高性能な参照電極を備えた電気化学センサの製造方法を提供することを目的とする。   Thus, in a conventional electrochemical sensor, a method for manufacturing a reference electrode with low cost and high reliability has not been established, which has been one of the problems of downsizing and cost reduction of the sensor. In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an electrochemical sensor including a low-cost, easy-to-manufacture and high-performance reference electrode.

上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する。すなわち、本発明は少なくとも参照電極と測定電極を含む2つ以上の電極対を持つ電気化学測定用電極アレイにおける参照電極の製造方法であって、絶縁基板上に参照電極を含む導電性パターンを形成する工程と、前記導電性パターンの参照電極部位上に銀を含む複合体を形成する工程と、前記銀を含む複合体を塩化銀化する工程とを含むことを特徴とする、参照電極の製造方法を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration. That is, the present invention is a method of manufacturing a reference electrode in an electrode array for electrochemical measurement having two or more electrode pairs including at least a reference electrode and a measurement electrode, and forms a conductive pattern including the reference electrode on an insulating substrate Manufacturing a reference electrode, comprising: a step of forming a composite containing silver on a reference electrode portion of the conductive pattern; and a step of chlorinating the composite containing silver Provide a method.

本発明はさらに、サンプルおよび試薬が注入される穴部と、前記サンプルおよび試薬が移動可能な流路部と、少なくとも参照電極と測定電極を含む2つ以上の電極対を有する電極アレイを有する検出部とで構成された電気化学測定デバイスの製造方法において、前記検出部における参照電極が上記本発明の方法で製造されることを特徴とする、電気化学測定デバイスの製造方法を提供する。   The present invention further includes a detection unit having a hole part into which a sample and a reagent are injected, a channel part through which the sample and the reagent can move, and an electrode array having two or more electrode pairs including at least a reference electrode and a measurement electrode. In the manufacturing method of the electrochemical measuring device comprised by the part, the reference electrode in the said detection part is manufactured by the method of the said invention, The manufacturing method of the electrochemical measuring device characterized by the above-mentioned is provided.

本発明はまた、少なくとも参照電極と測定電極を含む2つ以上の電極対を持つ電気化学測定用電極アレイに用いられる参照電極であって、参照電極が銀を含む複合体で形成されており、その表面が塩化銀化されている、電気化学測定用参照電極を提供する。本発明の参照電極は上記方法で調製することができる。   The present invention is also a reference electrode used in an electrochemical measurement electrode array having two or more electrode pairs including at least a reference electrode and a measurement electrode, wherein the reference electrode is formed of a composite containing silver, Provided is a reference electrode for electrochemical measurement whose surface is silver chloride. The reference electrode of the present invention can be prepared by the above method.

本発明はさらに、サンプルおよび試薬が注入される穴部と、前記サンプルおよび試薬が移動可能な流路部と、少なくとも参照電極と測定電極を含む2つ以上の電極対を有する電極アレイを有する検出部とで構成された電気化学測定デバイスにおいて、参照電極が銀を含む複合体で形成されており、その表面が塩化銀されているものであることを特徴とする、電気化学測定デバイスを提供する。本発明はさらに、本発明の電気化学測定デバイスを備えた、サンプル中に含まれる物質を電気化学的に測定する電気化学センサを提供する。本発明のセンサは、測定対象物質が生体由来物質であるバイオセンサとして好適に用いることができる。   The present invention further includes a detection unit having a hole part into which a sample and a reagent are injected, a channel part through which the sample and the reagent can move, and an electrode array having two or more electrode pairs including at least a reference electrode and a measurement electrode. An electrochemical measurement device comprising: a reference electrode is formed of a composite containing silver, and the surface thereof is silver chloride. . The present invention further provides an electrochemical sensor that electrochemically measures a substance contained in a sample, comprising the electrochemical measurement device of the present invention. The sensor of the present invention can be suitably used as a biosensor whose measurement target substance is a biological substance.

本発明によれば、安価で製造しやすく、かつ高性能な参照電極を備えた電気化学センサ、およびその製造方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an electrochemical sensor including a low-cost, easy-to-manufacture and high-performance reference electrode, and a manufacturing method thereof.

以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の一実施の形態を示す工程図である。
工程1は、絶縁基板上への導電性パターンの形成である。絶縁基板上への導電性パターンの形成方法としては、例えば絶縁基板1上への導電性材料の印刷、導電性材料のスパッタリングもしくは蒸着後のエッチングもしくはレーザーによる除去加工、マスクを用いた電極パターンの直接スパッタリング、等が考えられる。図2は、電極を含む導電性パターンが形成された電極基板である。絶縁基板1上には、作用極2、対極3、参照電極4が形成されている。それぞれの電極は、金、白金、パラジウムなどの貴金属やカーボンなどから選択することが可能であるが、表面状態の安定性などの観点から金を選択することが望ましい。各電極は、導電性パターン5によって、外部回路との接続部分である端子部6と電気的に結合されている。導電性パターン5および端子部6もまた、電極部分と同様の材料で形成されることが、製造工程から見ても望ましい。絶縁基板1としては、シリコン、ゲルマニウム等の半導体、石英ガラス、鉛ガラス、ホウ珪酸ガラスなどのガラス、セラミック、樹脂等を選択することができるが、ディスポーザブルのバイオセンサとしての用途を考えると、加工のしやすさやコスト面から考えて、樹脂材料を選択することが望ましい。樹脂材料としては、ポリスチレン(PS)、ポリプロピレン(PP)、ポリイミド(PI)、ポリ四フッ化エチレン(PTFE)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチレン−2,6−ナフタレート(PEN)などを選択することができる。中でも、スパッタリングによる金電極形成の場合は、金との密着性の観点等から、ポリエチレンテレフタレートを選択することが好ましい。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a process diagram showing an embodiment of the present invention.
Step 1 is formation of a conductive pattern on an insulating substrate. As a method for forming a conductive pattern on an insulating substrate, for example, printing of a conductive material on the insulating substrate 1, etching after sputtering or vapor deposition of the conductive material or removal processing by a laser, electrode pattern using a mask Direct sputtering, etc. can be considered. FIG. 2 shows an electrode substrate on which a conductive pattern including electrodes is formed. On the insulating substrate 1, a working electrode 2, a counter electrode 3, and a reference electrode 4 are formed. Each electrode can be selected from noble metals such as gold, platinum and palladium, carbon, and the like, but it is desirable to select gold from the viewpoint of surface state stability. Each electrode is electrically coupled by a conductive pattern 5 to a terminal portion 6 which is a connection portion with an external circuit. From the viewpoint of the manufacturing process, it is desirable that the conductive pattern 5 and the terminal portion 6 are also formed of the same material as the electrode portion. As the insulating substrate 1, a semiconductor such as silicon or germanium, glass such as quartz glass, lead glass, or borosilicate glass, ceramic, or resin can be selected. It is desirable to select a resin material in view of ease of handling and cost. Resin materials include polystyrene (PS), polypropylene (PP), polyimide (PI), polytetrafluoroethylene (PTFE), polyphenylene sulfide (PPS), polyetheretherketone (PEEK), polyethylene terephthalate (PET), poly Methyl methacrylate (PMMA), polyethylene-2,6-naphthalate (PEN) and the like can be selected. Among them, in the case of forming a gold electrode by sputtering, it is preferable to select polyethylene terephthalate from the viewpoint of adhesion with gold.

電極基板は、このままでも使用可能であるが、図3に示すように、電極部分の面積の規定および導電性パターン5の絶縁・保護の観点から、絶縁膜21でコーティングされていてもよい。絶縁膜21としては、たとえばポリイミド等の樹脂材料薄膜をもちいることが可能である。   The electrode substrate can be used as it is, but as shown in FIG. 3, it may be coated with an insulating film 21 from the viewpoint of defining the area of the electrode portion and insulating / protecting the conductive pattern 5. As the insulating film 21, for example, a resin material thin film such as polyimide can be used.

工程2は、絶縁基板上に形成された参照電極部位への銀を含む複合体の形成である。図4は、電極を含む導電性パターンが形成された電極基板において、参照電極部位の表面に銀を含む複合体が形成された電極基板である。参照電極4上には、銀を含む複合体31が被覆されている。銀を含む複合体31は、銀を含みかつ導電性を持ち、参照電極4との接着性がよく、さらに水や有機溶媒など測定サンプルと反応しない材料であることが好ましい。このような銀を含む複合体31として、樹脂材料中に銀粒子が分散された銀ペーストを挙げることができる。   Process 2 is formation of the composite containing silver to the reference electrode part formed on the insulating substrate. FIG. 4 is an electrode substrate in which a composite containing silver is formed on the surface of a reference electrode portion in an electrode substrate on which a conductive pattern including electrodes is formed. A composite 31 containing silver is coated on the reference electrode 4. The composite 31 containing silver is preferably a material that contains silver, has conductivity, has good adhesion to the reference electrode 4, and does not react with a measurement sample such as water or an organic solvent. Examples of the composite 31 containing silver include a silver paste in which silver particles are dispersed in a resin material.

銀ペースト中に含まれる銀粒子の粒子径は、通常使用されている0.5〜20μm程度であれば特に限定されるものではない。また、近年においては、粒子径が5〜10nmの銀ナノ粒子を用いた銀ペーストも開発されているが、このようなナノ粒子ペーストの使用も特に制限されない。   The particle diameter of the silver particles contained in the silver paste is not particularly limited as long as it is about 0.5 to 20 μm which is usually used. In recent years, a silver paste using silver nanoparticles having a particle diameter of 5 to 10 nm has been developed, but the use of such a nanoparticle paste is not particularly limited.

銀ペースト中の銀粒子の含有率は50〜95%程度であるのが好適である。残りの含有成分は、樹脂材料や溶剤およびその他従来から知られている銀ペーストの成分であり得る。本発明に用いられる銀ペーストのバインダ成分となる樹脂材料としては、通常銀ペーストの樹脂材料として用いられているものを特に制限無く用いても良いが、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル、PVC、セルロース等が好適に用いられる。溶剤は、樹脂材料によって選択すればよく、一般にトルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、ノルマルブタノール、エタノール、メタノール等のアルコール類などから選択される。基板1が樹脂材料の場合、比較的低温で硬化するアクリル樹脂をバインダとして用いた銀ペーストは、特に好ましい。   The silver particle content in the silver paste is preferably about 50 to 95%. The remaining components may be resin materials, solvents, and other conventionally known silver paste components. As a resin material used as the binder component of the silver paste used in the present invention, those usually used as the resin material of the silver paste may be used without any particular limitation. For example, epoxy resin, phenol resin, acrylic resin, polyester , PVC, cellulose and the like are preferably used. The solvent may be selected depending on the resin material, and is generally selected from aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, ketones such as methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, alcohols such as normal butanol, ethanol and methanol. When the substrate 1 is a resin material, a silver paste using an acrylic resin that is cured at a relatively low temperature as a binder is particularly preferable.

本発明の方法において、銀ペーストの塗布方法としては、印刷、吐出、刷毛塗り等を選択することができる。銀ペーストの乾燥後の膜厚は塗布方法にも依存し、特に限定されるものではないが、1μm〜100μm程度、特に好ましくは2〜25μm、さらに好ましくは5〜15μm程度であればよい。   In the method of the present invention, printing, discharging, brushing, and the like can be selected as the silver paste application method. The film thickness after drying of the silver paste depends on the coating method and is not particularly limited, but is about 1 μm to 100 μm, particularly preferably 2 to 25 μm, and more preferably about 5 to 15 μm.

工程3は、銀を含む複合体の塩化銀化である。銀を含む複合体31は、化学反応により、塩化銀化される。化学反応に用いられる試薬は、塩素を含む酸化剤であればどのようなものでもよいが、取り扱いの観点やコストから考えて、次亜塩素酸を用いることが好ましい。   Step 3 is silver chloride of the composite containing silver. The composite 31 containing silver is converted into silver chloride by a chemical reaction. The reagent used for the chemical reaction may be any oxidant containing chlorine, but hypochlorous acid is preferably used from the viewpoint of handling and cost.

本発明の一態様においては、5%程度の次亜塩素酸ナトリウムの水溶液と銀を含む複合体31を接触させる、銀を含む複合体31の表面から塩化銀化の反応を進行させる。このとき、次亜塩素酸を安定化させるため、0.5%から1%程度の水酸化ナトリウムを添加し、アルカリ性にしておくことが安全性の観点からも好ましい。次亜塩素酸ナトリウム水溶液のpHは、次亜塩素酸から発生する塩素を低減させ、かつ基板材料等に対する影響が少ない範囲であれば特に限定されるものではないが、pH11〜12程度に調整され得る。   In one embodiment of the present invention, a silver chloride reaction is allowed to proceed from the surface of the silver-containing composite 31 in which an aqueous solution of about 5% sodium hypochlorite and the silver-containing composite 31 are brought into contact. At this time, in order to stabilize hypochlorous acid, it is preferable from the viewpoint of safety to add about 0.5% to 1% sodium hydroxide to make it alkaline. The pH of the aqueous sodium hypochlorite solution is not particularly limited as long as it reduces the chlorine generated from hypochlorous acid and has little influence on the substrate material, etc., but is adjusted to about pH 11-12. obtain.

次亜塩素酸ナトリウム水溶液を銀ペースト表面に接触させる時間としては、銀ペーストの表面部分の塩化銀化反応が進行すればよく、特に限定されるものではないが、次亜塩素酸水溶液がアルカリ性であることから、基板材料等への影響を考慮し、望ましくは30秒から30分、さらに望ましくは1分から15分程度であればよい。   The time for bringing the aqueous sodium hypochlorite solution into contact with the surface of the silver paste is not particularly limited as long as the silver chloride reaction on the surface portion of the silver paste proceeds, but the aqueous hypochlorous acid solution is alkaline. For this reason, the influence on the substrate material or the like is taken into consideration, preferably 30 seconds to 30 minutes, and more preferably about 1 minute to 15 minutes.

図5は、本発明の一実施の形態に係る電気化学測定デバイスである。本発明による電気化学測定デバイスに用いられるハウジング材料41は、サンプル液と反応しなければどのような材料でもよく、シリコン、ゲルマニウム等の半導体、石英ガラス、鉛ガラス、ホウ珪酸ガラスなどのガラス、セラミック、樹脂等を選択することができるが、ディスポーザブルのバイオセンサとしての用途を考えると、加工のしやすさやコスト面から考えて、樹脂材料を選択することが望ましい。樹脂材料としては、ポリスチレン(PS)、ポリプロピレン(PP)、ポリイミド(PI)、ポリ四フッ化エチレン(PTFE)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチレン−2,6−ナフタレート(PEN)、環状オレフィン共重合体(COC)、ポリジメチルシルオキサン(PDMS)などを選択することができる。ポリメチルメタクリレートは、透明性がよく、微細な切削加工等が容易なため、特に好ましい。ハウジング材料41上に形成されるキャビティ42や流路43の形成方法は、ハウジング材料41が樹脂材料の場合、切削加工の他、金型による成型、熱転写によるエンボス加工などを用いることができる。また、貫通孔を持つシートを張り合わせることでも可能である。   FIG. 5 shows an electrochemical measurement device according to an embodiment of the present invention. The housing material 41 used in the electrochemical measurement device according to the present invention may be any material as long as it does not react with the sample solution, such as a semiconductor such as silicon or germanium, a glass such as quartz glass, lead glass, or borosilicate glass, or a ceramic. However, considering the use as a disposable biosensor, it is desirable to select a resin material in view of ease of processing and cost. Resin materials include polystyrene (PS), polypropylene (PP), polyimide (PI), polytetrafluoroethylene (PTFE), polyphenylene sulfide (PPS), polyetheretherketone (PEEK), polyethylene terephthalate (PET), poly Methyl methacrylate (PMMA), polyethylene-2,6-naphthalate (PEN), cyclic olefin copolymer (COC), polydimethylsiloxane (PDMS) and the like can be selected. Polymethyl methacrylate is particularly preferable because of its good transparency and easy fine cutting. As a method of forming the cavity 42 and the flow path 43 formed on the housing material 41, when the housing material 41 is a resin material, in addition to cutting, molding by a mold, embossing by thermal transfer, or the like can be used. It is also possible to stick sheets having through holes.

こうして形成したキャビティ42や流路43を含むハウジング材料41は、電極を含む基板43と接着される。このとき、ハウジング材料41と電極を含む基板43は、完全に接着もしくは密着し、キャビティ2内部のサンプルを封止することが好ましい。例えば、アクリル系やエポキシ系、シリコーンなどの接着剤、両面テープなどを用いることができる。   The housing material 41 including the cavity 42 and the flow path 43 thus formed is bonded to the substrate 43 including the electrodes. At this time, it is preferable that the housing 43 and the substrate 43 including the electrodes are completely adhered or closely adhered to seal the sample inside the cavity 2. For example, an acrylic, epoxy, silicone adhesive, double-sided tape, or the like can be used.

ハウジング材料41にはキャビティ42や流路43内部にサンプルを注入するためのサンプル注入孔44が設けられている。サンプル注入孔44は少なくとも1つあれば良いが、2つ以上設けておくと、サンプルの注入時に使用した以外のサンプル注入孔44がキャビティ42および流路43内部の空気の逃げ道として機能し、サンプルを速やかに注入することができるので好ましい。キャビティ42や流路43内部は、既知の親水性処理が施されている方が、よりサンプルが速やかに導入されるため好ましい。注入孔44は、サンプルを注入した後は、任意の方法で封止され得るが、短時間の測定であれば開口状態でも使用され得る。   The housing material 41 is provided with a sample injection hole 44 for injecting a sample into the cavity 42 and the flow path 43. At least one sample injection hole 44 suffices. However, if two or more sample injection holes 44 are provided, the sample injection holes 44 other than those used at the time of sample injection function as air escape paths inside the cavity 42 and the flow path 43, and the sample Is preferable because it can be injected quickly. The inside of the cavity 42 and the flow path 43 is preferably subjected to a known hydrophilic treatment because the sample is introduced more quickly. The injection hole 44 can be sealed by any method after injecting the sample, but can be used in an open state for a short time measurement.

以下、本発明の電極および電気化学デバイスについてさらに具体的に説明する。なお、本発明は以下の実施例によって限定されるものではない。   Hereinafter, the electrode and electrochemical device of the present invention will be described more specifically. The present invention is not limited to the following examples.

(実施例1)以下、本発明の一実施の形態に係る電極を用いて、基本的な電気化学測定であるサイクリックボルタンメトリの測定を行った実施例について説明する。   (Example 1) An example in which cyclic voltammetry, which is a basic electrochemical measurement, was performed using an electrode according to an embodiment of the present invention will be described below.

絶縁基板として厚さ188μmのポリエチレンテレフタレートのシートを用いて、電極を作製した。
まず、ポリエチレンテレフタレートのシートに、スパッタリングによって700オングストロームの金薄膜を形成した。次に、エッチングによって図2に示すごとき作用極、対極、参照電極、導電性パターン、端子を同時に形成し、所定の大きさに切り出して、電極板を作製した。作用極の電極面積は、2.0mmであった。
An electrode was prepared using a polyethylene terephthalate sheet having a thickness of 188 μm as an insulating substrate.
First, a 700 Å gold thin film was formed on a polyethylene terephthalate sheet by sputtering. Next, a working electrode, a counter electrode, a reference electrode, a conductive pattern, and a terminal as shown in FIG. 2 were simultaneously formed by etching, and cut into a predetermined size to produce an electrode plate. The electrode area of the working electrode was 2.0 mm 2 .

次に、上記に従って作製した電極板の参照電極表面に、導電性ペーストa(D−550 藤倉化成株式会社製)、導電性ペーストb(D−723S 藤倉化成株式会社製)をそれぞれ塗布し、それぞれの乾燥条件のもとで乾燥し、参照電極表面に、銀を含む複合体を形成した。それぞれの導電性ペーストに含まれる樹脂材料と乾燥条件および乾燥後の膜厚を表1に示す。   Next, the conductive paste a (D-550 manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.) and the conductive paste b (D-723S manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.) are respectively applied to the reference electrode surface of the electrode plate prepared according to the above. The composite containing silver was formed on the surface of the reference electrode. Table 1 shows the resin materials, drying conditions, and film thickness after drying contained in each conductive paste.

Figure 2005292022
Figure 2005292022

その後、銀を含む複合体の表面に5%次亜塩素酸ナトリウム、0.5%水酸化ナトリウムを滴下し、10分間放置することによって、銀を含む複合体表面の塩化銀化を行った。このようにして作製した電極をそれぞれ、電極A、電極Bとした。   Thereafter, 5% sodium hypochlorite and 0.5% sodium hydroxide were dropped onto the surface of the composite containing silver, and left for 10 minutes, whereby the surface of the composite containing silver was converted to silver chloride. The electrodes thus prepared were referred to as an electrode A and an electrode B, respectively.

また、上記に従って作製した電極板の参照電極表面に、塩化銀ペースト(DB2275 日本アチソン株式会社製)を塗布し、80℃×0.5hの条件で乾燥した。このようにして作製した電極を、従来例aとした。   Further, a silver chloride paste (DB2275 manufactured by Nippon Atson Co., Ltd.) was applied to the surface of the reference electrode of the electrode plate produced according to the above, and dried under the condition of 80 ° C. × 0.5 h. The electrode thus produced was designated as Conventional Example a.

一方、参照電極4の表面部分のみに、銀メッキ液(SILVREX JS−2基本液 田中貴金属工業株式会社製、シアン化銀カリウム 和光純薬工業株式会社製)を滴下し、銀メッキ液表面に白金線を浸して、参照電極側をマイナス、白金線側をプラスとして、1.0Vの電圧を10秒間印加することによって、参照電極表面に銀メッキを施した。純水で銀メッキ液を十分洗い流した後、銀メッキが施された参照電極表面部分のみに、3M塩化ナトリウム水溶液を滴下し、塩化ナトリウム水溶液表面に白金線を浸した。参照電極側をプラス、白金線側をマイナスとして、1.2Vの電圧を10秒間印加することによって、銀メッキ表面を塩化銀化した。このようにして作製した電極を従来例bとした。   On the other hand, a silver plating solution (SILVREX JS-2 basic solution, Tanaka Kikinzoku Kogyo Co., Ltd., silver potassium cyanide, Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) is dropped only on the surface portion of the reference electrode 4, and platinum is applied to the surface of the silver plating solution. The surface of the reference electrode was silver plated by immersing the wire and applying a voltage of 1.0 V for 10 seconds with the reference electrode side minus and the platinum wire side plus. After sufficiently washing the silver plating solution with pure water, a 3M sodium chloride aqueous solution was dropped only on the surface of the reference electrode on which the silver plating was applied, and a platinum wire was immersed in the surface of the sodium chloride aqueous solution. The surface of the silver plating was converted to silver chloride by applying a voltage of 1.2 V for 10 seconds with the reference electrode side being plus and the platinum wire side being minus. The electrode thus fabricated was designated as Conventional Example b.

上記のように作製した電極を用いて、10mMフェリシアン化カリウム/50mM塩化カリウム水溶液のサイクリックボルタンメトリを掃引速度100mV/secで測定した。そのときのサイクリックボルタモグラムを図6に示す。図6では、フェリシアン化物イオンの酸化還元ピークが良好に測定されており、従来例aおよび従来例bと比較し、電極Aおよび電極Bにおけるフェリシアン化物イオンの酸化還元ピークは、ほぼ同じ電位を示している。このように、本実施例による参照電極の製造方法によって作製した電極Aおよび電極Bにおける参照電極が、良好な参照電極として機能していることが示された。   Using the electrode prepared as described above, cyclic voltammetry of 10 mM potassium ferricyanide / 50 mM potassium chloride aqueous solution was measured at a sweep rate of 100 mV / sec. A cyclic voltammogram at that time is shown in FIG. In FIG. 6, the redox peak of ferricyanide ion is measured well, and the redox peak of ferricyanide ion at electrode A and electrode B is almost the same potential as in conventional example a and conventional example b. Is shown. Thus, it was shown that the reference electrode in the electrode A and the electrode B produced by the reference electrode manufacturing method according to this example functions as a good reference electrode.

(実施例2)以下、一実施の形態に係る電極を用いて、生体中の低分子であるピロリン酸の測定を行った実施例について説明する。   (Example 2) An example in which pyrophosphoric acid, which is a small molecule in a living body, was measured using the electrode according to one embodiment will be described below.

基板1として厚さ188μmのポリエチレンテレフタレートのシートを用いて、電極を作製した。   An electrode was prepared using a polyethylene terephthalate sheet having a thickness of 188 μm as the substrate 1.

まず、ポリエチレンテレフタレートのシートに、スパッタリングによって700オングストロームの金薄膜を形成した。次に、図2に示すごとくエッチングによって作用極2、対極3、参照電極4、導電性パターン5、端子6を同時に形成し、所定の大きさに切り出して、電極板を作製した。作用極の電極面積は、7.1mmであった。 First, a 700 Å gold thin film was formed on a polyethylene terephthalate sheet by sputtering. Next, as shown in FIG. 2, the working electrode 2, the counter electrode 3, the reference electrode 4, the conductive pattern 5, and the terminal 6 were simultaneously formed by etching and cut into a predetermined size to produce an electrode plate. The electrode area of the working electrode was 7.1 mm 2 .

次に、上記に従って作製した電極板の参照電極表面に、実施例1で用いた導電性ペーストaを塗布し、表1に示す条件のもとで乾燥し、参照電極表面に銀を含む複合体を形成した。   Next, the conductive paste a used in Example 1 was applied to the surface of the reference electrode of the electrode plate prepared according to the above, dried under the conditions shown in Table 1, and a composite containing silver on the surface of the reference electrode Formed.

その後、銀を含む複合体の表面に5%次亜塩素酸ナトリウム、0.5%水酸化ナトリウム、0.01%アルキルエーテル硫酸エステルナトリウムを滴下し、10分間放置することによって、銀を含む複合体表面の塩化銀化を行った。このようにして作製した電極をFとした。   Thereafter, 5% sodium hypochlorite, 0.5% sodium hydroxide, 0.01% sodium alkyl ether sulfate is dropped on the surface of the composite containing silver, and the composite containing silver is allowed to stand for 10 minutes. The body surface was converted to silver chloride. The electrode thus fabricated was designated as F.

また、ポリメタクリル酸メチルを切削加工することにより、ハウジング材を作製した。   Moreover, the housing material was produced by cutting polymethyl methacrylate.

上記のように作製した電極Fとハウジング材は、シリコーン(KE44 信越シリコーン株式会社製)を用いて接着させ、図5に示すごとき電気化学測定デバイスを作製した。   The electrode F and the housing material produced as described above were bonded using silicone (KE44 manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.) to produce an electrochemical measurement device as shown in FIG.

このようにして作製した電気化学測定デバイスを用いて、生体中の低分子であるピロリン酸の測定を行った。   Using the electrochemical measurement device thus produced, pyrophosphoric acid, which is a small molecule in the living body, was measured.

まず、以下の手順で反応溶液を調整した。100mMニコチンアミドアデニンジヌクレオチド(酸化型)10μl(終濃度1mM)、100mMフェリシアン化カリウム10μl(終濃度1mM)、100mM塩化マグネシウム16μl(終濃度1.6mM)、および30mMグリセルアルデヒド3−リン酸35μl(終濃度1mM)を45mM Tricine−NaOH緩衝液に溶解し、pH8.8に調整して総量を145μlとした。上記溶液14.5μlを別の容器に移し、200unit/mlピロフォスファターゼ0.5μl(終濃度1unit/ml)、800unit/mlグリセルアルデヒド−3−リン酸デヒドロゲナーゼ 4.0μl(32unit/ml)、1000unit/mlジアホラーゼ1μl(10unit/ml)および50μMピロリン酸80μl(終濃度40μM)を加え総量を100μlとし、ピペット等で十分に攪拌後、30℃雰囲気中で5分間静置した。
次に、上記電気化学測定デバイスを用いて、上記のようにして調整した反応溶液をサンプルとし、作用極に、参照極に対して+600mVの電位を印加し、そのときに作用極に流れる電流を測定した。また、上記50μMピロリン酸を、それぞれ100μM(終濃度80μM)、150μM(終濃度120μM)、200μM(終濃度160μM)、および0μM(終濃度0μM)としたときに観察される電流値をそれぞれ同様に測定した。
このようにして測定した、ピロリン酸の量を変化させたときの反応開始100秒後の電流値を図7に示す。図7中、縦軸に電流値(μA)および横軸にサンプル中のピロリン酸濃度(μM)を示し、各ピロリン酸濃度における電流値を黒丸で示す。図7に示すように、加えたピロリン酸の量と反応開始100秒後の電流値は良好な相関関係を示した。このように、本実施例により製造した電極によって、生体中の低分子であるピロリン酸の定量的測定が可能であることが示された。
First, the reaction solution was prepared according to the following procedure. 10 μl of 100 mM nicotinamide adenine dinucleotide (oxidized form) (final concentration 1 mM), 10 μl of 100 mM potassium ferricyanide (final concentration 1 mM), 16 μl of 100 mM magnesium chloride (final concentration 1.6 mM), and 35 μl of 30 mM glyceraldehyde 3-phosphate (final concentration 1 mM) (Final concentration 1 mM) was dissolved in 45 mM Tricine-NaOH buffer and adjusted to pH 8.8 to a total volume of 145 μl. 14.5 μl of the above solution was transferred to another container, 0.5 μl of 200 unit / ml pyrophosphatase (final concentration 1 unit / ml), 800 unit / ml glyceraldehyde-3-phosphate dehydrogenase 4.0 μl (32 unit / ml), 1000 unit 1 μl / ml diaphorase (10 units / ml) and 80 μl of 50 μM pyrophosphoric acid (final concentration 40 μM) were added to make a total volume of 100 μl.
Next, using the electrochemical measurement device as a sample, the reaction solution prepared as described above is used as a sample, and a potential of +600 mV is applied to the working electrode with respect to the reference electrode. It was measured. Similarly, the current values observed when the above 50 μM pyrophosphate was 100 μM (final concentration 80 μM), 150 μM (final concentration 120 μM), 200 μM (final concentration 160 μM), and 0 μM (final concentration 0 μM), respectively. It was measured.
FIG. 7 shows the current value measured 100 seconds after the start of the reaction when the amount of pyrophosphate was changed. In FIG. 7, the vertical axis represents the current value (μA), the horizontal axis represents the pyrophosphate concentration (μM) in the sample, and the current value at each pyrophosphate concentration is indicated by a black circle. As shown in FIG. 7, the amount of added pyrophosphoric acid and the current value 100 seconds after the start of the reaction showed a good correlation. Thus, it was shown that the quantitative measurement of pyrophosphoric acid, which is a small molecule in the living body, can be performed with the electrode manufactured according to this example.

本発明にかかる電気化学センサの製造方法は,安価で製造しやすく、かつ高性能な参照電極を備えた電気化学センサの製造方法を提供することができ、生体中に存在するタンパク質や酵素、低分子複合体などの物質を測定するバイオセンサの製造方法等として有用である。   The method for producing an electrochemical sensor according to the present invention can provide a method for producing an electrochemical sensor having a high-performance reference electrode that is inexpensive and easy to produce. This is useful as a method for producing a biosensor for measuring a substance such as a molecular complex.

本発明の一実施の形態を示す工程図である。It is process drawing which shows one embodiment of this invention. 本発明の工程における電極の構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the electrode in the process of this invention. 本発明の工程における電極の構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the electrode in the process of this invention. 本発明の工程における電極の構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the electrode in the process of this invention. 本発明の一実施の形態に係る電気化学デバイスの構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the electrochemical device which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の電極を用いて測定したサイクリックボルタモグラムである。It is a cyclic voltammogram measured using the electrode of the present invention. 本発明の電気化学デバイスを用いて測定した結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result measured using the electrochemical device of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 作用極
3 対極
4 参照電極
5 導電性パターン
6 端子部
21 絶縁膜
31 銀を含む複合体
41 ハウジング材料
42 キャビティ
43 流路
44 注入孔
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate 2 Working electrode 3 Counter electrode 4 Reference electrode 5 Conductive pattern 6 Terminal part 21 Insulating film 31 Composite containing silver 41 Housing material 42 Cavity 43 Channel 44 Injection hole

Claims (12)

少なくとも参照電極と測定電極を含む2つ以上の電極対を持つ電気化学測定用電極アレイにおける参照電極の製造方法であって、絶縁基板上に参照電極を含む導電性パターンを形成する工程と、前記導電性パターンの参照電極部位上に銀を含む複合体を形成する工程と、前記銀を含む複合体を塩化銀化する工程とを含むことを特徴とする、参照電極の製造方法。   A method of manufacturing a reference electrode in an electrode array for electrochemical measurement having two or more electrode pairs including at least a reference electrode and a measurement electrode, the step of forming a conductive pattern including the reference electrode on an insulating substrate, A method for producing a reference electrode, comprising: a step of forming a composite containing silver on a reference electrode portion of a conductive pattern; and a step of chlorinating the composite containing silver. 前記銀を含む複合体が、樹脂材料および銀粒子を含む銀ペーストであることを特徴とする、請求項1記載の参照電極の製造方法。   The method for producing a reference electrode according to claim 1, wherein the composite containing silver is a silver paste containing a resin material and silver particles. 前記樹脂材料が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステルの中から選択されることを特徴とする、請求項2記載の参照電極の製造方法。   The method for manufacturing a reference electrode according to claim 2, wherein the resin material is selected from an epoxy resin, a phenol resin, an acrylic resin, and polyester. 前記銀を含む複合体を塩化銀化する工程が、塩素を含む酸化剤を参照電極表面と接触させることにより成されることを特徴とする、請求項1記載の参照電極の製造方法。   The method for producing a reference electrode according to claim 1, wherein the step of converting the silver-containing composite to silver chloride is performed by bringing a chlorine-containing oxidizing agent into contact with the surface of the reference electrode. 前記塩素を含む酸化剤が次亜塩素酸であることを特徴とする、請求項4記載の参照電極の製造方法。   The method for manufacturing a reference electrode according to claim 4, wherein the oxidizing agent containing chlorine is hypochlorous acid. サンプルおよび試薬が注入される穴部と、前記サンプルおよび試薬が移動可能な流路部と、少なくとも参照電極と測定電極を含む2つ以上の電極対を有する電極アレイを有する検出部とで構成された電気化学測定デバイスの製造方法であって、前記検出部における参照電極が請求項1から5いずれかに記載の方法により製造されることを特徴とする、電気化学測定デバイスの製造方法。   A hole portion into which a sample and a reagent are injected, a flow path portion to which the sample and the reagent can move, and a detection portion having an electrode array having at least two electrode pairs including a reference electrode and a measurement electrode. A method for producing an electrochemical measurement device, wherein the reference electrode in the detection unit is produced by the method according to claim 1. 少なくとも参照電極と測定電極を含む2つ以上の電極対を持つ電気化学測定用電極アレイに用いられる参照電極であって、参照電極が銀を含む複合体で形成されており、その表面が塩化銀化されている、電気化学測定用参照電極。   A reference electrode used in an electrode array for electrochemical measurement having at least two electrode pairs including a reference electrode and a measurement electrode, wherein the reference electrode is formed of a composite containing silver, and the surface thereof is silver chloride A reference electrode for electrochemical measurement. 前記銀を含む複合体が、樹脂材料および銀粒子を含む銀ペーストの硬化物であることを特徴とする、請求項7記載の参照電極。   The reference electrode according to claim 7, wherein the composite containing silver is a cured product of a silver paste containing a resin material and silver particles. 前記樹脂材料が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステルの中から選択されることを特徴とする、請求項7記載の参照電極。   The reference electrode according to claim 7, wherein the resin material is selected from epoxy resin, phenol resin, acrylic resin, and polyester. サンプルおよび試薬が注入される穴部と、前記サンプルおよび試薬が移動可能な流路部と、少なくとも参照電極と測定電極を含む2つ以上の電極対を有する電極アレイを有する検出部とで構成された電気化学測定デバイスにおいて、前記参照電極が請求項7から9いずれかに記載の参照電極である、電気化学測定デバイス。   A hole portion into which a sample and a reagent are injected, a flow path portion to which the sample and the reagent can move, and a detection portion having an electrode array having at least two electrode pairs including a reference electrode and a measurement electrode. An electrochemical measurement device, wherein the reference electrode is the reference electrode according to claim 7. 請求項10記載の電気化学測定デバイスを備えた電気化学センサ。   An electrochemical sensor comprising the electrochemical measurement device according to claim 10. 生体由来物質を定量的に測定するためのものである、請求項11記載の電気化学センサ。
The electrochemical sensor according to claim 11, which is for quantitatively measuring a biological substance.
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