JP2005289679A - Jig for heat treatment - Google Patents
Jig for heat treatment Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005289679A JP2005289679A JP2004104247A JP2004104247A JP2005289679A JP 2005289679 A JP2005289679 A JP 2005289679A JP 2004104247 A JP2004104247 A JP 2004104247A JP 2004104247 A JP2004104247 A JP 2004104247A JP 2005289679 A JP2005289679 A JP 2005289679A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate glass
- setter
- heat treatment
- thermal expansion
- spacer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、板ガラスを焼成炉内で載置するための熱処理用治具に関し、特に、熱処理用治具の性質及び形状に関する。 The present invention relates to a heat treatment jig for placing a plate glass in a firing furnace, and more particularly to the properties and shape of the heat treatment jig.
プラズマディスプレイパネル(PDP)等における厚膜電極、蛍光体層、電極被覆用および隔壁用のガラス層はガラス基板上にスクリーン印刷等で形成後焼成することで完成体となる。このようなガラス基板である板ガラスを焼成炉内で載置するための従来の熱処理用治具は、図10(a)(b)に示すように、板ガラス30を載置する略平坦な載置部を有するセッター10と、当該セッター10を複数段として各セッター10間に板ガラス30を載置する空間を確保するためにセッター10を支持するスペーサ20とを備える構成である。この熱処理用治具を用いて、セッター10の載置部に熱処理対象となる板ガラス30を載置し、セッターの載置面の四隅付近にそれぞれスペーサ20を、すなわち、4つのスペーサ20を配置する。さらに、別のセッター10をこれら4つのスペーサ20の上に乗せ、別のセッター10の載置部に板ガラス30を載置する。以降同じ動作を繰り返し所望の段数に組み上げ、焼成炉に搬入する。焼成炉への搬入後、焼成を行う。
Thick film electrodes, phosphor layers, glass layers for covering electrodes and partition walls in a plasma display panel (PDP) or the like are formed on a glass substrate by screen printing or the like and then fired to form a finished product. As shown in FIGS. 10 (a) and 10 (b), a conventional heat treatment jig for placing a plate glass as such a glass substrate in a firing furnace is a substantially flat placement. The
このような板ガラスを焼成炉内で載置するための熱処理用治具としては、特開2002−160931号公報に開示されるものもある。この開示される熱処理用治具は、図11に示すように、セッター10及びスペーサ20が熱膨張係数が15×10−7/℃以下の結晶化ガラスからなり、多段に組み上げられた場合に上下段のセッター10間に介在するスペーサ20の長手方向の上面が上段のセッター10の下面の平行辺の両端端部に面当接して上段のセッター10を支持する構成である。この構成によれば、セッター10及びスペーサ20が熱膨張係数が15×10−7/℃以下の結晶化ガラスからなって焼成炉内で高温に曝されてもセッター10及びスペーサ20に熱変形がなく、また、上下段のセッター10間に介在するスペーサ20の長手方向の上面が上段のセッター10の下面の平行辺の両端端部に面当接して上段のセッター10を支持しており、長時間上段のセッター10の平坦性を維持させることができる。
しかしながら、前記従来の熱処理用治具では、焼成前のセッター10をスペーサ20を介して複数段に積み上げて焼成炉に搬入する等の移動時に、セッター10間を支えているガラス製のスペーサ20に局所的に力が加わり、スペーサ20が欠けてチップを生じる場合があり、このチップ(ガラスチップ)は焼成炉内のエアーにより移動する。一方、焼成時には、板ガラスの上面・下面の温度差により当該板ガラスが上面方向に反り返り、板ガラス30とセッター10間に隙間による空間が生じる。この隙間空間に前記エアーにより移動可能となっているチップやその他のスクラップが侵入すると、熱膨張係数の低いセッターも高温となって反り返るか、又は、板ガラスの内部の温度差がなくなって反り返りが減じてきて、前記板ガラス30とセッター10間に空間が収束してきて当該チップが板ガラス30とセッター10とに挟まれた状態となるため、セッター10と板ガラス30の伸縮差によってセッター10がほとんど伸縮しない過程で板ガラス30が伸びる時と縮む時に当該スクラップによるスクラッチキズを生じる課題を有する。
However, in the conventional heat treatment jig, when the
そこで本発明は前記課題を解決するためになされたものであり、スペーサのチップその他のスクラップが板ガラスとセッター間の隙間に侵入して生じるキズを作ることなく板ガラスを焼成中に適切に載置する熱処理用治具を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and appropriately placing the plate glass during firing without creating scratches caused by spacer chips and other scraps entering the gap between the plate glass and the setter. An object is to provide a jig for heat treatment.
本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記セッターの熱膨張係数と載置される板ガラスの熱膨張係数との差が10×10−7以下であるものである。このように本発明においては、前記セッターの熱膨張係数と載置される板ガラスの熱膨張係数とが略同一であるので、板ガラスを焼成すると始めは板ガラス内の温度分布が異なって反りが生じるが、この反りに対応するように同じ熱膨張係数を有するセッターも同様な反りが生じて密着性を維持したまま焼成が完了するため、板ガラスの反りによる板ガラスとセッターの離間がそれほど広がらず、仮にスペーサのチップが生じて熱風により焼成時に移動したとしてもかかる離間空間にチップが入りこむ可能性が極めて小さくなり、板ガラスの損傷を極めて高い確率で防止することができる。また、スペーサのチップが仮に板ガラスとセッター間に混入したとしても両部材の伸縮性に差がないため当該伸縮によるスクラッチキズの発生を低減できる。 A jig for heat treatment according to the present invention has a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of a plate glass to be placed, and a plurality of setters having a substantially flat plate glass placement portion on the plate glass placement surface. A spacer for supporting the setter to secure a space for placing the plate glass between the setters as a step, and the difference between the coefficient of thermal expansion of the setter and the plate glass to be placed is 10 × 10 − 7 or less. As described above, in the present invention, since the thermal expansion coefficient of the setter and the thermal expansion coefficient of the plate glass to be placed are substantially the same, when the plate glass is fired, the temperature distribution in the plate glass is different and warpage occurs. Since the setter having the same thermal expansion coefficient corresponding to this warpage also causes the same warp and firing is completed while maintaining adhesion, the separation between the plate glass and the setter due to the warpage of the plate glass does not spread so much, and the spacer Even if such a chip is generated and moved by firing with hot air, the possibility of the chip entering the space is extremely small, and damage to the plate glass can be prevented with a very high probability. Moreover, even if the spacer chip is mixed between the glass sheet and the setter, there is no difference in stretchability between the two members, so that the generation of scratches due to the stretch can be reduced.
また、本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記セッターの外周縁及び外周縁周辺を薄く形成するものである。このように本発明においては、前記セッターの外周縁及び外周縁周辺を薄く形成するので、板ガラスを焼成すると始めは板ガラス内の温度分布が異なって反りが生じるが、この反りに対応するように外周縁及び外周縁周辺を薄く形成されたセッターも同様な反りが生じて密着性を維持したまま焼成が完了するため、板ガラスの反りによる板ガラスとセッターの離間がそれほど広がらず、スペーサのチップが生じて熱風により焼成中に移動したとしてもかかる離間空間にチップが入りこむ可能性が極めて小さくなり、板ガラスの損傷を極めて高い確率で防止することができる。 Moreover, the jig for heat treatment according to the present invention has a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be placed, and a setter having a substantially flat plate glass placement portion on the plate glass placement surface, and the setter And a spacer for supporting the setter in order to secure a space for placing the glass plate between the setters, and the outer periphery of the setter and the periphery of the outer periphery are formed thin. As described above, in the present invention, since the outer periphery and the periphery of the outer periphery of the setter are formed thin, when the plate glass is fired, the temperature distribution in the plate glass is different at the beginning, and warpage occurs. Since the setter formed thinly around the periphery and the outer periphery also has the same warp and firing is completed while maintaining adhesion, the separation between the plate glass and the setter due to the warp of the plate glass does not spread so much, and a spacer chip is generated. Even if it moves during firing by hot air, the possibility that the chip enters the space is extremely small, and damage to the plate glass can be prevented with a very high probability.
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記セッターの板ガラス載置面と対向する面の外周縁及び外周縁周辺を薄く形成するものである。このように本発明においては、前記セッターの外周縁及び外周縁周辺の内載置面の対向面を薄く形成しており、離間空間にチップが入り込み難くしつつ、板ガラス載置面の平坦を維持している。 Moreover, the jig | tool for heat processing which concerns on this invention forms thinly the outer periphery and outer periphery periphery of the surface facing the plate glass mounting surface of the said setter as needed. As described above, in the present invention, the outer peripheral edge of the setter and the opposing surface of the inner mounting surface around the outer peripheral edge are formed thin, and the flatness of the plate glass mounting surface is maintained while making it difficult for the chip to enter the separated space. doing.
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記セッターの板ガラス載置面の外周縁及び外周縁周辺を薄く形成するものである。このように本発明においては、前記セッターの外周縁及び外周縁周辺の内載置面を薄く形成しており、離間空間にチップが入り込み難くしつつ、さらに、傾斜を設けて薄く形成した場合にはスペーサのチップがセッターの載置面から転がり落ちるため板ガラスの損傷をより防止することができる。 Moreover, the jig | tool for heat processing which concerns on this invention forms thinly the outer periphery and outer periphery periphery of the plate glass mounting surface of the said setter as needed. As described above, in the present invention, when the outer peripheral edge of the setter and the inner mounting surface around the outer peripheral edge are formed thin, it is difficult to insert the chip into the separation space, and further, when the inclined surface is formed thin. Since the spacer chip rolls off from the setter mounting surface, the plate glass can be further prevented from being damaged.
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記セッターの外周縁及び外周縁周辺の板ガラス載置面と対向する面に凹みを複数形成するものである。 In addition, the jig for heat treatment according to the present invention has a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be mounted, if necessary, and a setter having a substantially flat mounting portion on the plate glass mounting surface; A spacer for supporting the setter in order to secure a space for placing the plate glass between the setters in a plurality of stages, and on the outer peripheral edge of the setter and the surface facing the plate glass mounting surface around the outer peripheral edge. A plurality of dents are formed.
また、本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、セッターの板ガラス載置部は板ガラスを嵌装可能な凹部からなり、該凹部の深さが熱変形して反りを生じた状態の板ガラスを収納できる深さに形成されているものである。このように本発明においては、板ガラスを収納できる嵌装可能な凹部を形成するので、板ガラスをかかる凹部で焼成した場合に、板ガラスに反りが生じて板ガラスと載置面との隙間空間が形成されていても、かかる隙間空間にスペーサのチップの侵入するための入り口が板ガラスと凹部との小さな隙間であって事実上当該チップが侵入することができない。 Moreover, the jig for heat treatment according to the present invention has a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be placed, and a setter having a substantially flat plate glass placement portion on the plate glass placement surface, and the setter And a spacer for supporting the setter in order to secure a space for placing the plate glass between the setters, and the plate glass placement portion of the setter comprises a recess capable of fitting the plate glass, and the depth of the recess Is formed to a depth that can accommodate the plate glass in a state of being warped due to thermal deformation. As described above, in the present invention, an indentable recess that can accommodate a sheet glass is formed. Therefore, when the sheet glass is baked in such a recess, the sheet glass is warped to form a gap space between the sheet glass and the mounting surface. However, the entrance for the spacer chip to enter the gap space is a small gap between the plate glass and the recess, and the chip cannot actually enter.
また、本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記板ガラス載置面上におけるスペーサの配設位置と板ガラス載置部との間で当該スペーサの高さより低い平面形状をL型とした障壁を設けているものである。このように本発明においては、前記スペーサと板ガラス載置部との間でスペーサの高さより低い平面形状をL型とした障壁を形成しているので、焼成時の板ガラスとセッターの板ガラス載置面間の隙間の中で最も大きな隙間となる部分からのスペーサのチップの侵入を防止すべく障壁を形成しており、かかる隙間空間へのチップの侵入を大幅に低減することができる。 Moreover, the jig for heat treatment according to the present invention has a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be placed, and a setter having a substantially flat plate glass placement portion on the plate glass placement surface, and the setter And a spacer for supporting the setter to secure a space for placing the plate glass between the setters, and the space between the arrangement position of the spacer on the plate glass placement surface and the plate glass placement portion. A barrier having an L-shaped planar shape lower than the height of the spacer is provided. In this way, in the present invention, since a barrier having an L shape with a planar shape lower than the height of the spacer is formed between the spacer and the plate glass placement portion, the plate glass placement surface of the plate glass and setter during firing is formed. A barrier is formed to prevent the spacer chip from entering from the portion of the gap that becomes the largest gap, and the chip penetration into the gap space can be greatly reduced.
また、本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記板ガラス載置部の外周にスペーサの高さより低い板ガラス載置部を包囲する形状の障壁を設けているものである。このように本発明においては、載置部の周りに連続して包囲する形状の障壁を設けることで、あるL型障壁と他のL型障壁との間の障壁が形成されていない部分にも障壁が形成されよりチップが侵入することなく、チップの侵入を防止することができる。 Moreover, the jig for heat treatment according to the present invention has a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be placed, and a setter having a substantially flat plate glass placement portion on the plate glass placement surface, and the setter And a spacer for supporting the setter to secure a space for placing the plate glass between the setters, and a shape surrounding the plate glass placement portion lower than the height of the spacer on the outer periphery of the plate glass placement portion. There is a barrier. As described above, in the present invention, by providing a barrier having a shape that continuously surrounds the mounting portion, a portion between a certain L-type barrier and another L-type barrier is not formed. Since the barrier is formed, the chip can be prevented from entering without the chip entering further.
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記障壁が多重に設けられているものである。このように本発明においては、ある部分の障壁の一部が破損した場合であってもチップの侵入を防止することができる。 Moreover, the heat treatment jig according to the present invention is provided with the barriers in multiple layers as required. As described above, in the present invention, it is possible to prevent the intrusion of the chip even when a part of the barrier is broken.
また、本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記板ガラス載置部の周辺に凸部と凹部とからなるトラップパターンを設けたものである。このように本発明においては、前記板ガラス載置部の周辺に凸部と凹部とからなるトラップパターンを設けているので、焼成により板ガラスに反りが生じたとしても、トラップパターンによりスペーサのチップが拘止されるためトラップパターン以外の載置面上にチップが存在せず、板ガラスと載置面とに生じる隙間空間に侵入可能なチップがなく、板ガラスにキズが生じない。 Moreover, the jig for heat treatment according to the present invention has a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be placed, and a setter having a substantially flat plate glass placement portion on the plate glass placement surface, and the setter And a spacer for supporting the setter in order to secure a space for placing the plate glass between the setters, and a trap pattern composed of convex portions and concave portions is provided around the plate glass placing portion. is there. As described above, in the present invention, since the trap pattern composed of the convex portion and the concave portion is provided around the plate glass placing portion, even if the plate glass is warped by firing, the trap chip restricts the spacer chip. Since it is stopped, there is no chip on the mounting surface other than the trap pattern, there is no chip that can enter the gap space formed between the plate glass and the mounting surface, and the glass plate is not damaged.
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記トラップパターンが板ガラス載置部周辺に凸部を複数形成してなるものである。このように本発明においては、板ガラス載置部周辺に凸部を複数形成してなるようにトラップパターンを構成しているので、スペーサのチップを板ガラス方向に移動することを抑制しつつ、スペーサのチップを拘止することができる。 Further, the heat treatment jig according to the present invention is formed by forming a plurality of convex portions around the plate glass placing portion, as necessary. As described above, in the present invention, the trap pattern is formed so as to form a plurality of convex portions around the plate glass placement portion, so that it is possible to suppress the movement of the spacer chip in the direction of the glass plate while suppressing the movement of the spacer. Tip can be detained.
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記トラップパターンが載置部周辺に凹部を少なくとも1つ形成してなるものである。このように本発明においては、凹部を少なくとも1つ形成してトラップパターンを構成するので、凸部を形成するのとは異なり、板ガラスの配置・取り外しを容易に行えることができると共に、スペーサのチップの侵入を防止することができる。 In addition, the heat treatment jig according to the present invention is such that the trap pattern forms at least one concave portion around the placement portion as required. As described above, in the present invention, since the trap pattern is formed by forming at least one concave portion, unlike the case where the convex portion is formed, it is possible to easily place and remove the plate glass and to insert the spacer chip. Can be prevented from entering.
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記トラップパターンが板ガラス載置部周辺に凸部及び凹部を形成してなるものである。このように本発明においては、凸部及び凹部とからなるトラップパターンを構成することもでき、凸部及び凹部の長所を兼ね備えることができる。板ガラス載置部の内側外周に凹部を複数設け、板ガラス載置部の外側外周に凸部を複数設けることで、載置部への配置は容易にしつつ、外側外周の複数の凸部によりスペーサのチップを板ガラス方向に移動することを抑制し、スペーサのチップを拘止し、たとえ、外側外周の凸部によりチップが防止することができなかった場合であっても内側外周の凹部により確実にチップを拘止することができる。 Moreover, the jig | tool for heat processing which concerns on this invention forms the said convex pattern and a recessed part in the surroundings of a plate glass mounting part as needed. Thus, in this invention, the trap pattern which consists of a convex part and a recessed part can also be comprised, and it can have the advantage of a convex part and a recessed part. By providing a plurality of recesses on the inner periphery of the plate glass placement part and providing a plurality of projections on the outer periphery of the plate glass placement part, the arrangement of the spacers is facilitated by the plurality of protrusions on the outer periphery while facilitating placement on the placement part. Suppresses the movement of the chip in the direction of the glass sheet, holds the chip of the spacer, and even if the chip cannot be prevented by the convex part on the outer periphery, the chip is surely secured by the concave part on the inner periphery. Can be detained.
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記凸部及び/又は凹部を前記スペーサ周辺に形成してトラップパターンとするものである。このように本発明においては、スペーサに対しても前記凸部及び/又は凹部を形成してトラップパターンを構成することもでき、積極的にスペーサのチップを拘止することができる。 In addition, the heat treatment jig according to the present invention forms the convex portion and / or the concave portion around the spacer as necessary to form a trap pattern. As described above, in the present invention, the convex portion and / or the concave portion can be formed also on the spacer to form the trap pattern, and the spacer chip can be positively restrained.
(本発明の第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態に係る熱処理用治具について図1に基づき説明する。図1は本実施形態に係る複数段に積み上げられた複数の熱処理用治具の任意の1つの熱処理用治具の各状態を示す。なお、使用する図面では説明の便宜上実際のセッター、スペーサ及びPDP用ガラス基板である板ガラスと異なる縮尺で記載している(以下の図面でも同様)。
(First embodiment of the present invention)
A heat treatment jig according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 shows each state of one arbitrary heat treatment jig among a plurality of heat treatment jigs stacked in a plurality of stages according to the present embodiment. In the drawings to be used, for convenience of explanation, the actual setters, spacers, and plate glass which is a glass substrate for PDP are described in a different scale (the same applies to the following drawings).
本実施形態に係る熱処理用治具は、載置される板ガラス30の熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッター10と、このセッター10を複数段として各セッター10間に板ガラス30を載置する空間を確保するためにセッター10を支持するスペーサ20とを備え、前記セッター10の熱膨張係数と載置される板ガラス30の熱膨張係数とが略同一の構成である。本実施形態に係る熱処理用治具も、従来の熱処理用治具を示した図10と同様に示される。
The jig for heat treatment according to the present embodiment has a thermal expansion coefficient equal to or lower than that of the
前記セッター10は従来のセッターと比べ特に形状面で特別な差異はなく、熱膨張係数が熱処理の対象となる板ガラス30の熱膨張係数と略同一である点が特徴となる。このセッター10は、結晶化ガラスからなり、この結晶化ガラスは一般的には特殊な組成のガラスを溶融、成形した後制御された条件のもとで再加熱を行い所望の微細結晶を均一に析出させて、もとのガラス状態では得られない優れた特性をもたせたものである。優れた特性の1つとして強度特性が挙げられ、他の特性として耐酸性、耐アルカリ性を有しており、焼成炉で焼成する板ガラス30を載置する熱処理用治具として繰り返し使用できる。
The
前記スペーサ20は、セッター10を支持しており、直接セッター10と当接している接触部分は平坦に形成されている。また、このスペーサ20は、図10に示すように、セッター10の板ガラス載置面の四隅付近にそれぞれ配置されてセッター10を支持している。スペーサ20もセッター10と同一の結晶化ガラスからなる。
The
次に、本実施形態に係る熱処理用治具を用いて板ガラス30を載置し実際に焼成した場合について説明する。セッター10の板ガラス載置部に熱処理対象となる板ガラス30を載置し、セッター10の載置面の四隅付近にそれぞれスペーサ20を、すなわち、4つのスペーサ20を配置する。さらに、別のセッター10をこれら4つのスペーサ20の上に乗せ、別のセッター10の板ガラス載置部に板ガラス30を載置する。以降同じ動作を繰り返し所望の段数に積み上げ、焼成炉に搬入する。ここで、積み上げ及び搬入に際しては、でき得る限りスペーサ20にチップが生じないように慎重に行う。焼成炉への搬入には一般的にはベルトコンベアが用いられている。焼成炉への搬入後、焼成を行う。図1(a)は複数段に積み上げられた複数の熱処理用治具の任意の1つの熱処理用治具の焼成前の状態を示す。焼成により、板ガラス30のセッター10と接触していない面から加熱され板ガラス30の内部やセッター10に接している部分は中々温度上昇がなされず同一板ガラス30において温度分布が異なるといった現象が生じて板ガラス30の外周が上面方向に反りが生じる。同時に熱膨張係数が略同一なセッター10も内部の温度差により変形していき反りが生じる。図1(b)(c)は複数段に積み上げられた複数の熱処理用治具の任意の1つの熱処理用治具の焼成中の時間経過に沿った2つの状態を示す。この図1(b)と図1(c)との比較から分かるように、本実施形態形態においては前記セッター10の熱膨張係数と載置される板ガラス30の熱膨張係数とが略同一となっているため、板ガラス30に反りが生じれば、板ガラス30の反りと同様な反りがセッター10にも生じる。なお、板ガラス30は加工対象物であり、セッター10はこの加工対象物である板ガラス30を焼成処理中載置するものであるため、通常であれば、板ガラス30の熱膨張係数は要求仕様により制限され、セッター10の熱膨張係数を調整することとなる。熱膨張係数を調整するには、ガラスの組成を変更すれば実現することができる。
Next, the case where the
このように本実施形態に係る熱処理用治具によれば、前記セッター10の熱膨張係数と載置される板ガラス30の熱膨張係数とが略同一にある構成であるので、板ガラス30を焼成すると始めは板ガラス30内の温度分布が異なって反りが生じるが、この反りに対応するように同じ熱膨張係数を有するセッター10も同様な反りが生じて密着性を維持したまま焼成が完了するため、板ガラス30の反りによる板ガラス30とセッター10の離間がそれほど広がらず、仮に、スペーサ20のチップが生じて熱風により焼成時に移動したとしてもかかる離間空間にチップが入りこむ可能性が極めて小さくなり、板ガラス30の損傷を極めて高い確率で防止することができる。また、スペーサ20のチップが仮に板ガラス30とセッター10の隙間に混入しても両部材の熱膨張係数がほとんど同一であることから、伸縮性にも差がないため、スクラッチキズとして認識できないレベルのキズに緩和できる。
As described above, according to the jig for heat treatment according to the present embodiment, the thermal expansion coefficient of the
(本発明の第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態に係る熱処理用治具について図2または図3に基づき説明する。図2は本実施形態に係る熱処理用治具の部分斜視図及び要部拡大図、図3は図2の熱処理用治具の要部拡大図の他の例を示す。なお、図2ではセッター10と板ガラス30との位置関係を明確にすべくセッター10を一部切断して作図がなされている。
(Second embodiment of the present invention)
A heat treatment jig according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 2 or FIG. 2 is a partial perspective view and an enlarged view of a main part of the heat treatment jig according to the present embodiment, and FIG. 3 is another example of an enlarged view of the main part of the heat treatment jig of FIG. In FIG. 2, the
前記図2において本実施形態に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッター10と、このセッター10を複数段として各セッター10間に板ガラス30を載置する空間を確保するためにセッター10を支持するスペーサ20とを備え、前記セッター10の板ガラス載置面の対向面の内、板ガラス載置領域の外側領域であるセッターの外周縁及び外周縁周辺10aを薄く形成する構成である。
In FIG. 2, the jig for heat treatment according to the present embodiment has a thermal expansion coefficient equal to or lower than that of the plate glass to be placed, and a
前記セッター10の板ガラス載置面の対向面を薄く形成するとは、セッター10の板ガラス載置面となる表面は従前どおり平坦を維持し、載置面の対向面となる裏面を削って薄く形成することである。
The formation of the thin surface facing the plate glass placement surface of the
次に、本実施形態に係る熱処理用治具を用いて板ガラス30を載置し実際に焼成した場合について説明する。なお、セッター10を複数段積み上げて焼成炉へ搬入する工程については前記第1の実施形態と同じなので説明を省略する。焼成炉への搬入後、焼成を行う。焼成により、板ガラス30は内部の温度差により変形していき反りが生じる。一方、セッター10は熱膨張係数が板ガラスより低いけれでも板ガラス載置領域の外側領域である外周縁及び外周縁周辺が薄く形成されているため、セッター10も内部の温度差により変形していき反りが生じる。従って、板ガラス30とセッター10に同様な反りが生じて密着性を維持したまま焼成が完了するため、板ガラス30の反りによる板ガラス30とセッター10の離間がそれほど広がらず、この間に仮にスペーサ20のチップが生じて熱風により焼成中に移動したとしてもかかる隙間空間にチップが入りこむ可能性が極めて小さくなり、板ガラス30の損傷を極めて高い確率で防止することができる。
Next, the case where the
なお、本実施形態に係る熱処理用治具は、前記セッター10の板ガラス載置面の対向面の内セッター10の外周縁及び外周縁周辺10aを薄く形成したが、前記セッター10の板ガラス載置面を薄く形成することもできる。この場合もセッター10の板ガラス載置面の対向面を薄く形成した場合と同様に、板ガラス30の損傷を極めて高い確率で防止することができると共に、板ガラス載置領域の外側領域に傾斜面が形成されることになりスペーサ20のチップが当該傾斜面から転がり落ちるようになるため板ガラス30の損傷をより防止することができる。
In addition, although the jig | tool for heat processing which concerns on this embodiment formed thinly the outer periphery of the
また、本実施形態に係る熱処理用治具は図2に示すように傾斜を設けてセッター10の板ガラス載置面の対向面を薄く形成したが、図3(a)又は(b)に示すように、セッター10の板ガラス載置面の対向面にストライプ状の凹み101を形成してセッター10の板ガラス載置面の対向面を薄く形成することもでき、この場合も同様な効果を得ることができる。
In addition, the heat treatment jig according to the present embodiment is provided with an inclination as shown in FIG. 2 to form a thin opposing surface of the plate glass mounting surface of the
以上のように本実施形態では、セッター10の外周縁及び外周縁周辺10aを薄く形成することにより板ガラス30の反りに対応してセッター10を反るようにしたが、薄くすることだけでなく、厚く形成し、又は薄く形成することと厚く形成することとを組み合わせることにより柔軟にセッター10の反りを調整することができる。セッター10を薄く形成するためには、例えば、同一厚さのセッターに対して研磨を施すことにより薄く形成することができる。また、前記図3(a)ではセッター10の外周縁及び外周縁周辺10aのみに凹み101を形成したが、図3(b)のように外周縁及び外周縁周辺10a以外の部分に凹みを形成してセッター10の反りを調整することもできる。但し、この場合は凹みの大きさを異ならせる必要がある。
As described above, in the present embodiment, the
(本発明の第3の実施形態)
本発明の第3の実施形態に係る熱処理用治具について図4に基づき説明する。図4は本実施形態に係る板ガラスを載置した熱処理用治具の断面図を示す。
(Third embodiment of the present invention)
A heat treatment jig according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view of a heat treatment jig on which a plate glass according to the present embodiment is placed.
前記図4の本実施形態に係る熱処理用治具は、載置される板ガラス30の熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッター10と、当該セッター10を複数段として各セッター10間に板ガラス30を載置する空間を確保するためにセッター10を支持するスペーサ20とを備え、セッター10の板ガラス載置面に板ガラス30を嵌装可能な凹みである嵌装部12を形成する構成である。
The heat treatment jig according to the present embodiment shown in FIG. 4 has a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the
前記嵌装部12は板ガラス載置部に相当するもので、板ガラス30が嵌装可能に板ガラス30より若干大きめに縦横を形成され、深さも反りが生じた状態の板ガラス30を完全に収納できる深さに形成されている。具体的には板ガラス30が加熱により反りが生じた場合で板ガラス全体の高さが反りのない通常の板ガラス全体の高さよりも大きくなった場合でもその高さ寸法をカバーできる大きさの深さとなるように形成されている。嵌装部12の深さが小さいと板ガラス30に反りが生じた時板ガラス30の外周部が嵌装部12から突出状態となるので、セッター10の嵌装部12周辺部分が嵌装部12と板ガラス30との間に形成される隙間空間へのガイドとなってスペーサ20のチップが転がり落ちる可能性が生じるため、反りが生じた状態の板ガラス全体の高さより深い嵌装部12とした。また、嵌装部12の底面は、前記板ガラス載置部を構成する。
The
次に、本実施形態に係る熱処理用治具を用いて板ガラス30を載置し実際に焼成した場合について説明する。複数段のセッター10の積み上げ及び焼成炉への搬入については前記第1の実施形態と同じなので説明を省略する。図4(a)は複数段に積み上げられた複数の熱処理用治具の任意の1つの熱処理用治具の焼成前の断面図を示す。焼成炉への搬入後、焼成を行う。図4(b)に示すように焼成により、板ガラス30は内部の温度差により変形していき反りが生じる。反りが生じても板ガラス30で最高位置となる上面の各辺ですら嵌装部12に完全に埋没した状態となっている。従って、スペーサ20のチップがセッター10の板ガラス載置面と板ガラス30との間に侵入するための入り口は極小となる。図4(b)は複数段に組み上げられた複数の熱処理用治具の任意の1つの熱処理用治具の焼成中の断面図を示す。
Next, the case where the
このように本実施形態に係る熱処理用治具によれば、セッター10の板ガラス載置面に板ガラス30を嵌装可能な凹みである嵌装部12を形成するので、板ガラス30をかかる嵌装部12内に載置して焼成した場合に、板ガラス30に反りが生じて板ガラス30とセッター10のガラス載置面との間に隙間空間が形成されていても、かかる空間にスペーサ20のチップの侵入するための入り口が板ガラス30と嵌装部12との小さな隙間であって事実上当該チップが侵入することがない。
Thus, according to the jig for heat treatment concerning this embodiment, since fitting
(本発明の第4の実施形態)
本発明の第4の実施形態に係る熱処理用治具について図5ないし図7に基づき説明する。図5は本実施形態に係る熱処理用治具の上面図、要部拡大斜視図及び要部拡大図、図6は本実施形態に係る熱処理用治具の要部斜視図、図7は本実施形態に係る熱処理用治具の要部斜視図である。
(Fourth embodiment of the present invention)
A heat treatment jig according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a top view of the heat treatment jig according to the present embodiment, an enlarged perspective view of the main part and an enlarged view of the main part, FIG. 6 is a perspective view of the main part of the heat treatment jig according to the present embodiment, and FIG. It is a principal part perspective view of the jig for heat processing concerning a form.
前記図5において前記本実施形態に係る熱処理用治具は、載置される板ガラス30の熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部(板ガラス載置領域)を有するセッター10と、このセッター10を複数段として各セッター10間に板ガラス30を載置する空間を確保するためにセッター10を支持するスペーサ20とを備え、さらにセッター10の板ガラス載置面には前記スペーサ20と板ガラス載置部との間の位置にスペーサ20の高さより低い平面形状をL型とした障壁41を形成している。
In FIG. 5, the jig for heat treatment according to the present embodiment has a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the
前記L型障壁41は、図5においては、板ガラスを保護するように形状がL型で高さが板ガラスの厚みよりも大きな構造に形成されている。ここで、L型障壁41の高さがスペーサ20の高さより低いのはスペーサ20と同一又はそれよりも高い場合には、かかるL型障壁41によりチップが生じるようになるからである。
In FIG. 5, the L-
次に、本実施形態に係る熱処理用治具を用いて板ガラス30を載置し実際に焼成した場合について説明する。複数段のセッター10の積み上げ及び焼成炉への搬入については前記第1の実施形態と同じなので説明を省略する。焼成炉への搬入後、焼成を行う。焼成により、板ガラス30は内部の温度差により変形していき反りが生じる。反りが生じる場合に板ガラス30で最高位置となる上面の各辺の内特に各頂点が他の部分より高くなり、すなわち、この部分がスペーサ20のチップの反りにより形成される板ガラス30とセッター10の板ガラス載置面との隙間空間となってチップが侵入し易い部分となるが、この部分の板ガラス30を保護するようにL型障壁41が形成され、チップの侵入を阻止する。
Next, the case where the
このように実施形態に係る熱処理用治具によれば、焼成時の板ガラス30の反りによって生じる板ガラス30とセッター10の板ガラスが載置面間の隙間の中で最も大きな隙間となる部分からのスペーサ20のチップの侵入を防止すべくL型障壁41を形成しており、かかる隙間空間へのチップの侵入を大幅に低減させることができる。
As described above, according to the jig for heat treatment according to the embodiment, the spacer from the portion where the
なお、このL型障壁41は、板ガラス載置部の周りを包囲するような枠型に形成して板ガラス全周でのチップ侵入を防止することも可能である。さらには、図6に示すように、この枠型障壁42を多重に形成することにより上方から飛来したチップの侵入を防止することもできる。また、このように複数重に枠型障壁42を形成した場合には、1つの枠型隔壁42が一部破損した状態であっても他の枠型障壁42によってチップ侵入を防止することができる。
The L-shaped
また、図7に示すようにスペーサ20を包囲するような環状パターンで障壁43を形成することもでき、この場合直接的にスペーサ20のチップの移動を制限することができる。なお、このようなスペーサ20を包囲するパターンの障壁43については、スペーサ20のチップが障壁パターン内で貯まるので、セッタ10ーの側面方向等に排出口を形成することが望ましい。
Further, as shown in FIG. 7, the
(本発明の第5の実施形態)
本発明の第5の実施形態に係る熱処理用治具について図8または図9に基づき説明する。図8は本実施形態に係る熱処理用治具の部分斜視図及びその要部拡大図、図9は図8の熱処理用治具の要部拡大図の他の例を示す。
(Fifth embodiment of the present invention)
A heat treatment jig according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 8 or FIG. FIG. 8 is a partial perspective view of the heat treatment jig according to the present embodiment and an enlarged view of a main part thereof. FIG. 9 is another example of an enlarged view of the main part of the heat treatment jig of FIG.
本実施形態に係る熱処理用治具は、載置される板ガラス30の熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッター10と、このセッター10を複数段として各セッター10間に板ガラス30を載置する空間を確保するためにセッター10を支持するスペーサ20とを備え、載置対象物でないスペーサ20のチップ等のスクラップを拘止するためのトラップパターンを形成している構成である。
The jig for heat treatment according to the present embodiment has a thermal expansion coefficient equal to or lower than that of the
前記トラップパターンは、例えば図8に示すように板ガラス載置部周辺に板ガラスの厚さ寸法よりも低い高さの凸部51を複数形成して構成することができる。この凸部51は、別途凸部を作成しておきセッター10に配置することでも形成することができる。
For example, as shown in FIG. 8, the trap pattern can be formed by forming a plurality of
次に、本実施形態に係る熱処理用治具を用いて板ガラス30を載置し実際に焼成した場合について説明する。複数段のセッター10の積み上げ及び焼成炉への搬入につていは前記第1の実施形態と同じなので説明を省略する。焼成炉への搬入後、焼成を行う。焼成により、板ガラス30は内部の温度差により変形していき反りが生じる。焼成により板ガラス30に反りが発生することで、板ガラス30とセッター10の板ガラス載置面に隙間が生じたとしても、トラップパターン51によりスペーサ20のチップが拘止されるため、板ガラス30とセッター10の板ガラス載置面との隙間空間に侵入可能なチップがなくなる。従って、チップによって板ガラス30にキズが生じるのを防止できる。なお、トラップパターンは1本だけでもよいが複数本形成した場合には、スペーサ20のチップを板ガラス30方向に移動することを抑制しつつ、スペーサ20のチップを拘止することができる。
Next, the case where the
なお、凸部51に代えて、図9(a)に示すような板ガラス載置部周辺に凹部52を形成してトラップパターンを構成することもできる。この場合は、板ガラス30の配置・取り外しを容易に行えることができると共に、スペーサ20のチップ侵入を防止することができる。この凹部52は、例えば、セッター10の凹部52の相当部分を切削することにより形成することができる。
Instead of the
また、本実施形態に係る熱処理用治具においては、板ガラス載置部周辺に凸部51及び凹部52を形成してなるようにトラップパターンを構成することもでき、凸部51及び凹部52の長所を兼ね備えることができ、例えば、図9(b)に示すように板ガラス載置部の内側外周に凸部51を1本設け、板ガラス載置部の外側外周に凹部52を複数設けることで、外側外周の複数の凹部52により確実にチップを拘止し、仮にこの凹部52より拘止できない場合であっても内側外周の凸部51により凹部52で拘止できなかったチップを板ガラス30方向に移動させないようにできる。
Further, in the heat treatment jig according to the present embodiment, the trap pattern can be configured so that the
また、本実施形態に係る熱処理用治具においては、載置部の内側外周に凹部52を複数本設け、板ガラス載置部の外側外周に凸部51を1本設けることで、外側外周の凸部51によりチップが板ガラス30方向に移動することを抑止し、仮にこの凸部51を乗り越えてきた場合であっても内側外周の凹部52によりチップが拘止できる。さらに、この場合には凸部51が外側に形成されているため、板ガラス30の板ガラス載置部への配置が容易となる。
Moreover, in the jig for heat treatment according to the present embodiment, a plurality of
10 セッター
10a 外周縁及び外周縁周辺
12 嵌装部
20 スペーサ
30 板ガラス
41 L型障壁
42 枠型障壁
43 環状障壁
51 凸部
52 凹部
101 凹み
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記セッターの熱膨張係数と載置される板ガラスの熱膨張係数との差が10×10−7以下であることを
特徴とする熱処理用治具。 A setter having a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be mounted and having a substantially flat plate glass mounting portion on the plate glass mounting surface, and mounting the plate glass between the setters using the setter as a plurality of stages In a heat treatment jig comprising a spacer that supports a setter in order to secure a space to perform,
The difference between the coefficient of thermal expansion of the setter and the coefficient of thermal expansion of the plate glass to be placed is 10 × 10 −7 or less.
前記セッターの外周縁及び外周縁周辺を薄く形成することを
特徴とする熱処理用治具。 A setter having a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be mounted and having a substantially flat plate glass mounting portion on the plate glass mounting surface, and mounting the plate glass between the setters using the setter as a plurality of stages In a heat treatment jig comprising a spacer that supports a setter in order to secure a space to perform,
A heat treatment jig, characterized in that an outer periphery and an outer periphery of the setter are thinly formed.
前記セッターの板ガラス載置面と対向する面の外周縁及び外周縁周辺を薄く形成することを
特徴とする熱処理用治具。 The heat treatment jig according to claim 2, wherein the outer peripheral edge and the outer peripheral edge of the surface of the setter facing the plate glass placement surface are formed thin.
前記セッターの板ガラス載置面の外周縁及び外周縁周辺を薄く形成することを
特徴とする熱処理用治具。 The heat treatment jig according to claim 2, wherein the outer periphery and the periphery of the outer periphery of the plate glass mounting surface of the setter are formed thin.
前記セッターの外周縁及び外周縁周辺の板ガラス載置面と対向する面に凹みを複数形成することを
特徴とする熱処理用治具。 A setter having a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be placed and having a substantially flat placement portion on the plate glass placement surface, and placing the plate glass between the setters using the setter as a plurality of stages. In a heat treatment jig comprising a spacer that supports a setter to secure a space,
A heat treatment jig, wherein a plurality of recesses are formed on an outer periphery of the setter and a surface facing the plate glass mounting surface around the outer periphery.
前記セッターの板ガラス載置部は、板ガラスを嵌装可能な凹部からなり、該凹部の深さが熱変形して反りを生じた状態の板ガラスを収容できる深さに形成されていることを
特徴とする熱処理用治具。 A setter having a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be mounted and having a substantially flat plate glass mounting portion on the plate glass mounting surface, and mounting the plate glass between the setters using the setter as a plurality of stages In a heat treatment jig comprising a spacer that supports a setter in order to secure a space to perform,
The set glass platen portion of the setter is formed of a concave portion into which the plate glass can be fitted, and the depth of the concave portion is formed to a depth capable of accommodating the plate glass in a state of being warped due to thermal deformation. A jig for heat treatment.
前記板ガラス載置面上におけるスペーサの配設位置と板ガラス載置部との間に当該スペーサの高さより低い平面形状をL型とした障壁を設けたことを
特徴とする熱処理用治具。 A setter having a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be mounted and having a substantially flat plate glass mounting portion on the plate glass mounting surface, and mounting the plate glass between the setters using the setter as a plurality of stages In a heat treatment jig comprising a spacer that supports a setter in order to secure a space to perform,
A heat treatment jig, wherein a barrier having an L shape with a planar shape lower than the height of the spacer is provided between the position of the spacer on the plate glass mounting surface and the plate glass mounting portion.
前記板ガラス載置部の外周にスペーサの高さより低い板ガラス載置部を包囲する形状の障壁を設けたことを
特徴とする熱処理用治具。 A setter having a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be mounted and having a substantially flat plate glass mounting portion on the plate glass mounting surface, and mounting the plate glass between the setters using the setter as a plurality of stages In a heat treatment jig comprising a spacer that supports a setter in order to secure a space to perform,
A heat treatment jig, characterized in that a barrier having a shape surrounding the plate glass mounting portion lower than the height of the spacer is provided on the outer periphery of the plate glass mounting portion.
前記障壁が多重に設けられていることを
特徴とする熱処理用治具。 In the jig for heat treatment according to claim 8,
A heat treatment jig comprising a plurality of the barriers.
前記板ガラス載置部の周辺に凸部と凹部とからなるトラップパターンを設けたことを
特徴とする熱処理用治具。 A setter having a thermal expansion coefficient equal to or lower than the thermal expansion coefficient of the plate glass to be mounted and having a substantially flat plate glass mounting portion on the plate glass mounting surface, and mounting the plate glass between the setters using the setter as a plurality of stages In a heat treatment jig comprising a spacer that supports a setter in order to secure a space to perform,
A heat treatment jig, wherein a trap pattern comprising a convex portion and a concave portion is provided around the plate glass placement portion.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004104247A JP2005289679A (en) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | Jig for heat treatment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004104247A JP2005289679A (en) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | Jig for heat treatment |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005289679A true JP2005289679A (en) | 2005-10-20 |
Family
ID=35323067
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004104247A Pending JP2005289679A (en) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | Jig for heat treatment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005289679A (en) |
-
2004
- 2004-03-31 JP JP2004104247A patent/JP2005289679A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006293257A (en) | Glass cassette for loading glass substrate of display panel | |
JP2006066079A5 (en) | ||
JP5013039B2 (en) | Heat treatment method, heat treatment apparatus and heat treatment jig for plate glass | |
JP2005289679A (en) | Jig for heat treatment | |
JP2000142876A (en) | Base storage cassette | |
JP2007333272A (en) | Rack, rack system, heat treatment device, and heat treatment system | |
KR101285358B1 (en) | Heat treatment apparatus | |
JP3412548B2 (en) | Plasma display panel | |
JP6473974B2 (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
JP2012158507A (en) | Setter for firing electronic component | |
JP4752462B2 (en) | Manufacturing method of display panel | |
JP3620610B2 (en) | Thin glass heat treatment jig | |
KR102406644B1 (en) | Integrated Plate and Apparatus for Processing a Substrate having the same | |
JP2009298697A (en) | Setter for heat treatment of glass substrate | |
JP3868933B2 (en) | Atmospheric pressure CVD equipment | |
JP2006318854A (en) | Manufacturing method of plasma display panel | |
JP2006093283A (en) | Wafer support | |
JP2005174669A (en) | Setter glass, positioning pin, and manufacturing method of plasma display panel | |
KR101572379B1 (en) | Facility for slow cooling steel plate | |
EP3647281B1 (en) | Method of forming glass plate | |
JP2009151164A (en) | Display apparatus | |
KR20100065100A (en) | Heat treatment equipment | |
KR100922023B1 (en) | Plasma display panel | |
KR100672546B1 (en) | Jig for Plasticizing Substrate of Plasma Display Panel Device | |
JP2001358191A (en) | Substrate support plate for semiconductor manufacturing apparatus |