JP2005288688A - チップ・チルト・ピストン動作アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポスト109と中心ポスト111のそれぞれに第1のばね107を介して基板117から浮かせて取り付けられた少なくとも3枚の回転可能なプレート105と、たとえばミラーとして働く1枚の可動プレート103と、回転可能なプレート105と可動プレート103との間にあって電極121によって第1のばねの軸回りに回転する回転可能なプレート105の動きを可動プレート103に伝達する第2のばね119と動作結合ポスト115とで構成される。
【選択図】図1
Description
図4は、回転可能なプレート105の1つを基板117に連結する第1のばね107の少なくとも1つが折り返しビーム441である、本発明の実施形態で使用される構成を示している。このようなばねは、従来からMEMSデバイスに使用されている。
Claims (12)
- 自由に回転可能なマイクロメカニカル・プレート装置であって、
それぞれの第1のばねを介して基板から浮かせて取り付けられた少なくとも3枚の回転可能なプレートと、
可動プレートと、
少なくとも3つの可動プレート取付け点とを含み、前記可動プレート取付け点の各々は、前記回転可能なそれぞれのプレートの軸周りでの回転によって動作が前記可動プレート取付け点に伝わるように、第2のばねのそれぞれを介して前記回転可能なプレートのうちのそれぞれに連結されており、前記装置はさらに、
前記各可動プレート取付け点の動作を前記回転可能なプレートに伝える、少なくとも3本のポストとを含む装置。 - 前記ばねが、変形可能な弾性要素である、請求項1に記載の装置。
- 前記第1のばねの少なくとも1つが、関連する回転可能なプレートに沿って配置され、その回転軸として働く、請求項1に記載の装置。
- 前記回転可能なプレートの少なくとも1つの下に配置された少なくとも1つの電極をさらに含む、請求項1に記載の装置。
- 前記回転可能なプレートの少なくとも1つに連結され、前記回転可能なプレートを回転させるようになされた、追加のプレートをさらに含む、請求項1に記載の装置。
- 前記追加のプレートが、前記回転可能なプレートに少なくとも1つのばねによって連結されている、請求項5に記載の装置。
- 前記追加のプレートが、前記回転可能なプレートを、角度増幅を使用して回転させるようになされている、請求項5に記載の装置。
- 前記追加のプレートを動かすように動作可能な少なくとも1つの電極をさらに含む、請求項5に記載の装置。
- 前記追加のプレートを動かすように動作可能な少なくとも1つのコーム・ドライブをさらに含む、請求項5に記載の装置。
- 前記回転可能なプレートのうちの少なくとも1つが、コーム・ドライブの一部分である複数のフィンガを組み込んでいる、請求項1に記載の装置。
- 前記回転可能なプレートのうちの少なくとも1つが、回転可能な痕跡プレートである、請求項1に記載の装置。
- 自由に回転可能なマイクロメカニカル・プレート装置を作成する方法であって、
第1組のばねのそれぞれを介して少なくとも3枚の回転可能なプレートのそれぞれを基板から浮かせて取り付ける工程と、
前記回転可能なそれぞれのプレートの軸周りでの回転によって動作が可動プレート取付け点に伝わるように、少なくとも3つの可動プレート取付け点のそれぞれを、第2組のばねのそれぞれを介して前記回転可能なプレートのそれぞれに連結する工程と、
少なくとも3本のポストのそれぞれを介して、可動プレートを前記可動プレート取付け点のそれぞれに連結し、前記ポストのそれぞれが、前記可動プレート取付け点それぞれの動作を前記可動プレートに伝える工程と
を含む方法。
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