JP2005276667A - Organic el element and its manufacturing method - Google Patents

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信 北田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent leakage current from flowing via an organic compound layer between electrodes arranged with a spacing to each other in an organic EL element. <P>SOLUTION: In the organic EL element provided with the insulating substrate 10, a plurality of first electrodes 11 arranged with the spacing to each other on the substrate, the organic compound layers 12, 13 including at least a light-emitting layer formed in a state that these first electrodes 11 are covered from the above, and a second electrode 14 arranged so that it is intersected with and opposed against the first electrode 11 pinching these organic compound layer 12, 13, the organic compound layer 12, 13 are divided between the mutual plurality of first electrodes 11, and in this divided part, an insulating layer 15 is embedded in a state that end faces 12, 13 of the organic compound layer are not exposed. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、有機EL(エレクトロ・ルミネッセンス)素子およびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to an organic EL (electroluminescence) element and a manufacturing method thereof.

従来、例えば特許文献1および2に示されているように、絶縁性の透明基板と、この基板上に互いに間隔を置いて配設された複数の透明陽極と、この透明陽極を上から覆う状態に形成された、少なくとも発光層を含む有機化合物層と、この有機化合物層を間に挟んで、透明陽極と交差対向するように配置された金属陰極とを備えてなる有機EL素子が知られている。   Conventionally, as shown in Patent Documents 1 and 2, for example, an insulating transparent substrate, a plurality of transparent anodes disposed on the substrate at intervals, and a state in which the transparent anode is covered from above An organic EL element comprising an organic compound layer including at least a light-emitting layer and a metal cathode disposed so as to cross and face the transparent anode with the organic compound layer interposed therebetween is known. Yes.

この有機EL素子においては、透明陽極と金属陰極との間に電流が流されると、有機化合物層に含まれる発光層が発光し、発光光が透明陽極および透明基板を介して取り出される。つまり該有機EL素子では、透明陽極と金属陰極の交差部分を1つの発光部として、その発光部毎に発光、非発光を制御することができる。なおこのような有機EL素子は、波長安定性に優れる特性を有している。
特許第2911552号公報 特許第3016808号公報
In this organic EL element, when a current is passed between the transparent anode and the metal cathode, the light emitting layer included in the organic compound layer emits light, and the emitted light is extracted through the transparent anode and the transparent substrate. In other words, in the organic EL element, the intersection between the transparent anode and the metal cathode is used as one light emitting part, and light emission and non-light emission can be controlled for each light emitting part. Such an organic EL element has a characteristic that is excellent in wavelength stability.
Japanese Patent No. 2911552 Japanese Patent No. 3016808

上記の基本構成を有する、例えば特許文献1に示される有機EL素子においては、一般に金属陰極が走査電極、透明陽極が信号電極とされ、選択された金属電極と交差している複数の透明陽極がそれぞれ独自に駆動電流源に接続されるようになっており、駆動電流源に接続された透明陽極と金属陰極との間の発光部が発光する。   In an organic EL element having the above basic configuration, for example, disclosed in Patent Document 1, generally, a metal cathode is a scanning electrode, a transparent anode is a signal electrode, and a plurality of transparent anodes intersecting with a selected metal electrode are provided. Each is independently connected to a drive current source, and the light emitting portion between the transparent anode and the metal cathode connected to the drive current source emits light.

ここで、ある1つの透明陽極について考えると、それが駆動電流源に接続されたとき、隣接する透明陽極は駆動電流源に接続された状態も、また接続されない状態も取り得るものである。従来の有機EL素子においては、1つの透明陽極が駆動電流源に接続された際、隣接する透明陽極が駆動電流源に接続されているか否かによって、該1つの透明陽極から構成されている発光部の輝度が変動してしまう、という問題が認められている。この問題は、該1つの透明陽極とそれに対向する陰極との間に流すべき電流が、陽極間を延びるように形成されている有機化合物層を通って、隣接する透明陽極側に漏れ出てしまうことに起因している。このように漏れ出る電流(漏れ電流)の大きさは、駆動電流源に接続された陽極と隣接陽極との間の電位差に依存し、それら両陽極間の距離に反比例するので、発光部に流れる電流が隣接陽極の電位状態に応じて変わってしまい、それが輝度変動につながるのである。   Here, regarding a certain transparent anode, when it is connected to a drive current source, the adjacent transparent anode can be connected to the drive current source or not connected. In a conventional organic EL element, when one transparent anode is connected to a driving current source, light emission is formed from the one transparent anode depending on whether or not the adjacent transparent anode is connected to the driving current source. The problem that the brightness of the part fluctuates is recognized. This problem is that the current that should flow between the one transparent anode and the cathode facing it leaks to the adjacent transparent anode side through the organic compound layer formed so as to extend between the anodes. It is due to that. The magnitude of the leaked current (leakage current) depends on the potential difference between the anode connected to the drive current source and the adjacent anode, and is inversely proportional to the distance between the two anodes, so it flows to the light emitting section. The current changes according to the potential state of the adjacent anode, which leads to luminance fluctuation.

なお特許文献2には、発光部位の正孔輸送層と金属陰極とが近接した構成が示されており、そのような構成においては金属陰極を介して隣接陽極へ電流が漏れ出るので、その解決は困難となっている。   Patent Document 2 shows a configuration in which the hole transport layer at the light emitting site and the metal cathode are close to each other. In such a configuration, current leaks to the adjacent anode through the metal cathode. Has become difficult.

以上、有機化合物層を挟んで基板側に陽極が、それと反対側に陰極が形成されてなる有機EL素子における問題について説明したが、陰極と陽極とを上述の例とは反対に形成することも可能であり、そうした場合にも、同様の問題が起こり得る。   The problem in the organic EL device in which the anode is formed on the substrate side and the cathode is formed on the opposite side of the organic compound layer has been described above. However, the cathode and the anode may be formed opposite to the above example. It is possible and a similar problem can occur.

本発明は上記の事情に鑑みて、互いに間隔を置いて配設された電極間で、有機化合物層を介して漏れ電流が流れることを防止できる有機EL素子を提供することを目的とする。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide an organic EL element capable of preventing leakage current from flowing through an organic compound layer between electrodes arranged at intervals.

また本発明は、そのような有機EL素子を効率良く製造することができる方法を提供することを別の目的とするものである。   Another object of the present invention is to provide a method capable of efficiently producing such an organic EL device.

本発明による有機EL素子は、前述したように、
絶縁性の基板と、
この基板上に互いに間隔を置いて配設された複数の第1電極と、
これらの第1電極を上から覆う状態に形成された、少なくとも発光層を含む有機化合物層と、
この有機化合物層を間に挟んで、前記第1の電極と交差対向するように配置された第2電極とを備えてなる有機EL素子において、
有機化合物層が、前記複数の第1電極どうしの間において分断され、
この分断された部分に、有機化合物層の端面を露出させない状態にして絶縁層が埋め込まれていることを特徴とするものである。
The organic EL device according to the present invention, as described above,
An insulating substrate;
A plurality of first electrodes spaced apart from each other on the substrate;
An organic compound layer including at least a light-emitting layer formed to cover these first electrodes from above;
In the organic EL element comprising the second electrode disposed so as to cross and face the first electrode with the organic compound layer interposed therebetween,
An organic compound layer is divided between the plurality of first electrodes;
An insulating layer is embedded in the divided portion so that the end face of the organic compound layer is not exposed.

なお多くの場合、上記第1電極は透明陽極であり、第2電極は金属陰極である。   In many cases, the first electrode is a transparent anode, and the second electrode is a metal cathode.

他方、本発明による第1の有機EL素子の製造方法は、
上述した本発明による有機EL素子を製造するための方法であって、
前記基板上に互いに間隔を置いた状態で複数の第1電極を形成し、
これらの第1電極を上から覆う状態にして、該第1電極どうしの間で不連続となるパターンの有機化合物層を形成し、
この有機化合物層が形成されていない部分に、該有機化合物層の端面が露出しない状態にして絶縁層を埋め込み、
次いで前記第2電極を形成することを特徴とするものである。
On the other hand, the manufacturing method of the 1st organic EL element by this invention is:
A method for manufacturing the organic EL device according to the present invention described above,
Forming a plurality of first electrodes spaced apart from each other on the substrate;
In a state of covering these first electrodes from above, an organic compound layer having a discontinuous pattern between the first electrodes is formed,
In the portion where the organic compound layer is not formed, an insulating layer is embedded in a state where the end face of the organic compound layer is not exposed,
Next, the second electrode is formed.

なおこの第1の方法において、前記第1電極どうしの間で不連続となるパターンの有機化合物層は、例えばこの不連続とする部分にマスクを配置して、蒸着等によって有機化合物層を成膜することにより形成可能であり、また、インクジェット方式によって形成することも可能である。   In the first method, the organic compound layer having a discontinuous pattern between the first electrodes is formed by depositing a mask at the discontinuous portion and depositing the organic compound layer by vapor deposition or the like. It is possible to form by doing, and it is also possible to form by an inkjet system.

また、本発明による第2の有機EL素子の製造方法は、
同様に上記本発明による有機EL素子を製造するための方法であって、
絶縁性の基板上に互いに間隔を置いた状態で複数の第1電極を形成し、
これらの第1電極の上に、該第1電極を全て覆うように連続的に延びる有機化合物層を形成し、
この連続的に延びる有機化合物層の、前記第1電極どうしの間の部分をエッチングにより除去し、
この有機化合物層が除去された部分に、該有機化合物層の端面が露出しない状態にして絶縁層を埋め込み、
次いで前記第2電極を形成することを特徴とするものである。
Moreover, the manufacturing method of the 2nd organic EL element by this invention is as follows.
Similarly, a method for producing the organic EL device according to the present invention,
Forming a plurality of first electrodes on an insulating substrate spaced apart from each other;
On these first electrodes, an organic compound layer continuously extending so as to cover all of the first electrodes is formed,
Etching removes the portion of the continuously extending organic compound layer between the first electrodes,
In the part where the organic compound layer is removed, an insulating layer is embedded in a state where the end face of the organic compound layer is not exposed,
Next, the second electrode is formed.

なお上記のエッチングとしてより具体的には、レーザーエッチングや、フォトリソグラフィを適用したドライあるいはウェットエッチングを適用することが望ましい。   More specifically, it is desirable to apply laser etching or dry or wet etching using photolithography as the etching.

本発明による有機EL素子においては、有機化合物層が複数の第1電極どうしの間において分断され、この分断された部分に絶縁層が埋め込まれているので、隣接する第1電極どうしの間で有機化合物層を介して漏れ電流が流れることが防止される。また、この絶縁層は、有機化合物層の端面を露出させない状態にして埋め込まれているので、第2電極がこの有機化合物層の端面と導通して、該第2電極を介して漏れ電流が流れるようなこともなくなる。   In the organic EL device according to the present invention, the organic compound layer is divided between the plurality of first electrodes, and the insulating layer is embedded in the divided portions. Leakage current is prevented from flowing through the compound layer. In addition, since the insulating layer is embedded without exposing the end face of the organic compound layer, the second electrode is electrically connected to the end face of the organic compound layer, and a leakage current flows through the second electrode. There is no such thing.

そうであれば、発光させるべき発光部を構成している第1電極と第2電極との間に、本来発光に利用する電流の全てが流れるようになるので、その発光部の輝度低下を防止可能となる。   If so, since all of the current originally used for light emission flows between the first electrode and the second electrode constituting the light emitting section to emit light, the luminance reduction of the light emitting section is prevented. It becomes possible.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の第1の実施形態による有機EL素子の一部の概略断面形状を示すものであり、また図2はこの有機EL素子の概略斜視形状を示すものである。なお図2は、この有機EL素子を構成する各要素の組合せ関係を示すためのもので、各層の断面形状等は概略的に示してある。   FIG. 1 shows a schematic sectional shape of a part of the organic EL device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a schematic perspective shape of the organic EL device. Note that FIG. 2 is for showing the combination of the elements constituting the organic EL element, and the cross-sectional shape of each layer is schematically shown.

この有機EL素子は、透明ガラス基板10と、このガラス基板10の上に互いに間隔を置いて配設された複数の帯状の透明陽極(第1電極)11と、これらの透明陽極11を上から覆う状態に形成された正孔輸送層12と、この正孔輸送層12の上に形成された発光層13と、この発光層13および上記正孔輸送層12を間に挟んで上記透明陽極11と交差対向するように配置された複数の帯状の金属陰極(第2電極)14とを備えている。なお図2においては、正孔輸送層12および発光層13を一体的に図示してある。   This organic EL element includes a transparent glass substrate 10, a plurality of strip-like transparent anodes (first electrodes) 11 disposed on the glass substrate 10 at intervals, and these transparent anodes 11 from above. A hole transport layer 12 formed in a covering state, a light emitting layer 13 formed on the hole transport layer 12, and the transparent anode 11 with the light emitting layer 13 and the hole transport layer 12 interposed therebetween And a plurality of strip-shaped metal cathodes (second electrodes) 14 arranged so as to cross each other. In FIG. 2, the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are shown integrally.

有機化合物層である上記正孔輸送層12および発光層13は、複数の透明陽極11どうしの間において分断され、この分断された部分に、正孔輸送層12および発光層13の端面を露出させない状態にしてSiO等からなる絶縁層15が埋め込まれている。 The hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 which are organic compound layers are divided between the plurality of transparent anodes 11, and the end surfaces of the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are not exposed to the divided portions. An insulating layer 15 made of SiO 2 or the like is embedded in the state.

複数の金属陰極14は、互いに間隔を置いて、透明陽極11と直交する方向に配設されている。それにより、透明陽極11と金属陰極14との交差部分が2次元マトリクス状に並んだ状態となり、この交差部分毎に、透明陽極11と金属陰極14との間に正孔輸送層12および発光層13が配されてなる発光部が構成されている。このような構成において、透明陽極11と金属陰極14との間に所定の電流が流されると、上記発光部単位で発光層13が発光し、その発光光が透明陽極11およびガラス基板10を介して取り出される。   The plurality of metal cathodes 14 are arranged in a direction perpendicular to the transparent anode 11 with a space between each other. As a result, the intersecting portions of the transparent anode 11 and the metal cathode 14 are arranged in a two-dimensional matrix, and the hole transport layer 12 and the light emitting layer are disposed between the transparent anode 11 and the metal cathode 14 for each intersecting portion. A light-emitting portion is formed by arranging 13. In such a configuration, when a predetermined current flows between the transparent anode 11 and the metal cathode 14, the light emitting layer 13 emits light in units of the light emitting units, and the emitted light passes through the transparent anode 11 and the glass substrate 10. To be taken out.

透明陽極11は、400nm〜700nmの可視光の波長領域において、少なくとも50パーセント以上、好ましくは70パーセント以上の光透過率を有するものが好ましい。透明陽極11の材料としては、酸化錫、酸化錫インジウム(ITO)、酸化亜鉛インジウム等、透明電極材料として従来公知の化合物を適宜用いることができるが、その他、金や白金など仕事関数が大きい金属からなる薄膜を用いてもよい。また、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロールまたはこれらの誘導体などの有機化合物を用いることもできる。なお、沢田豊監修「透明導電膜の新展開」シーエムシー社刊(1999年)には、透明導電膜について詳細な記載があり、そこに示されているものを本発明に適用することも可能である。   The transparent anode 11 preferably has a light transmittance of at least 50 percent or more, preferably 70 percent or more, in the visible light wavelength region of 400 nm to 700 nm. As a material for the transparent anode 11, conventionally known compounds such as tin oxide, indium tin oxide (ITO), and zinc indium oxide can be appropriately used, but other metals having a high work function such as gold and platinum. You may use the thin film which consists of. In addition, organic compounds such as polyaniline, polythiophene, polypyrrole, or derivatives thereof can also be used. Supervised by Yutaka Sawada, “New Development of Transparent Conductive Film”, published by CMC Co., Ltd. (1999), there is a detailed description of the transparent conductive film, and what is shown there can be applied to the present invention. It is.

また本実施形態の有機EL素子は、有機化合物層として正孔輸送層12および発光層13を有するものであるが、その他に正孔注入層や電子注入層、電子輸送層等の層が適宜設けられてもよい。   The organic EL device of the present embodiment has a hole transport layer 12 and a light emitting layer 13 as organic compound layers, but other layers such as a hole injection layer, an electron injection layer, and an electron transport layer are provided as appropriate. May be.

金属陰極14は、仕事関数の低いLi、Kなどのアルカリ金属、Mg、Caなどのアルカリ土類金属、およびこれらの金属とAgやAlなどとの合金や混合物等の金属材料から形成されるのが好ましい。陰極における保存安定性と電子注入性とを両立させるために、上記材料で形成した電極を、仕事関数が大きく導電性の高いAg、Al、Auなどで更に被覆してもよい。なお、金属陰極14も透明陽極11と同様に、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法などの公知の方法で形成することができる。   The metal cathode 14 is made of an alkaline metal such as Li or K having a low work function, an alkaline earth metal such as Mg or Ca, and a metal material such as an alloy or a mixture of these metals with Ag or Al. Is preferred. In order to achieve both storage stability and electron injectability at the cathode, the electrode formed of the above material may be further coated with Ag, Al, Au, or the like having a high work function and high conductivity. Note that, similarly to the transparent anode 11, the metal cathode 14 can also be formed by a known method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, or an ion plating method.

次に図3を参照して、上記有機EL素子の製造方法について説明する。先ず同図(1)に示すように、ガラス基板10の上に互いに間隔を置いて複数の帯状の透明陽極11を形成する。そのような透明陽極11は、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等によって形成することができる。   Next, with reference to FIG. 3, the manufacturing method of the said organic EL element is demonstrated. First, as shown in FIG. 1A, a plurality of strip-shaped transparent anodes 11 are formed on a glass substrate 10 at intervals. Such a transparent anode 11 can be formed by, for example, a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or the like.

次に同図(2)、(3)に示すように、各透明陽極11を上から覆い、その左右側端面も完全に覆う状態にして、正孔輸送層12および発光層13を順次形成する。なおこのとき該正孔輸送層12および発光層13は、隣合う透明陽極11を覆うものどうしが連続することのないように、互いに分離したパターンに形成される。そのようなパターンの正孔輸送層12および発光層13は、例えば不連続とする部分にマスクを配置して成膜することにより形成することができる。あるいは、インクジェット方式で成膜することにより、正孔輸送層12および発光層13を上記パターンに形成することも可能である。   Next, as shown in FIGS. 2 (2) and (3), the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are sequentially formed so that each transparent anode 11 is covered from above and its left and right end faces are completely covered. . At this time, the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are formed in a pattern separated from each other so that the objects covering the adjacent transparent anodes 11 do not continue. The hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 having such a pattern can be formed, for example, by forming a film by disposing a mask in a discontinuous portion. Alternatively, the hole transport layer 12 and the light-emitting layer 13 can be formed in the above-described pattern by forming a film by an inkjet method.

次に同図(4)に示すように、正孔輸送層12および発光層13が形成されていない部分に、それらの層の端面が露出しない状態にして絶縁層15を埋め込む。次に同図(5)に示すように金属陰極14を形成すると、本実施形態の有機EL素子が完成する。   Next, as shown in FIG. 4 (4), an insulating layer 15 is embedded in a portion where the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are not formed in a state where the end faces of those layers are not exposed. Next, when the metal cathode 14 is formed as shown in FIG. 5 (5), the organic EL device of this embodiment is completed.

なお、正孔輸送層12および発光層13を最初から上記パターンに形成する代わりに、まず正孔輸送層12および発光層13を、複数の透明陽極11を全て覆って連続的に延びる状態に形成し、その後、透明陽極11どうしの間の部分の正孔輸送層12および発光層13をエッチングにより除去するようにしてもよい。そのエッチングとしては、レーザーエッチングや、フォトリソグラフィを適用したドライあるいはウェットエッチングを適用することができる。また、鋭利な針によって正孔輸送層12および発光層13を除去することも可能である。ただしそれらの中では、透明陽極11の上に残す正孔輸送層12および発光層13にダメージを与えないという点で、レーザーエッチングが最も好ましい。   Instead of forming the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 in the above pattern from the beginning, first, the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are formed so as to continuously extend over the plurality of transparent anodes 11. Then, the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 in the portion between the transparent anodes 11 may be removed by etching. As the etching, laser etching, dry or wet etching using photolithography can be applied. It is also possible to remove the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 with a sharp needle. However, among them, laser etching is most preferable in that it does not damage the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 left on the transparent anode 11.

本実施形態の有機EL素子においては、正孔輸送層12および発光層13が複数の透明陽極11どうしの間において分断され、この分断された部分に、正孔輸送層12および発光層13の端面を露出させない状態にして絶縁層15が埋め込まれているので、隣接する透明陽極11どうしの間で正孔輸送層12を介して漏れ電流が流れることが防止される。また、この絶縁層15は、正孔輸送層12の端面を露出させない状態にして埋め込まれているので、金属陰極14が正孔輸送層12の端面と導通して、該金属陰極14を介して漏れ電流が流れるようなこともなくなる。   In the organic EL device of the present embodiment, the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are divided between the plurality of transparent anodes 11, and the end surfaces of the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are divided into the divided portions. Since the insulating layer 15 is embedded in a state in which the exposed layer is not exposed, leakage current is prevented from flowing between the adjacent transparent anodes 11 via the hole transport layer 12. In addition, since the insulating layer 15 is embedded in such a manner that the end face of the hole transport layer 12 is not exposed, the metal cathode 14 is electrically connected to the end face of the hole transport layer 12, and the metal cathode 14 is interposed therebetween. Leakage current does not flow.

そうであれば、発光させるべき発光部を構成している透明陽極11と金属陰極14との間に、本来発光に利用する電流の全てが流れるようになるので、その発光部の輝度低下を防止可能となる。   If so, since all of the current originally used for light emission flows between the transparent anode 11 and the metal cathode 14 constituting the light emitting portion to emit light, the luminance reduction of the light emitting portion is prevented. It becomes possible.

次に、図4を参照して本発明の第2の実施形態による有機EL素子について説明する。なおこの図4において、図1中の要素と同等の要素には同番号を付し、それらについての説明は特に必要のない限り省略する。この図4に示す有機EL素子は、図1に示したものと比べると、基本的に、複数の透明陽極11どうしの間に絶縁層20が形成されている点が異なるものである。   Next, an organic EL device according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 4, the same elements as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted unless particularly required. The organic EL element shown in FIG. 4 is basically different from that shown in FIG. 1 in that an insulating layer 20 is formed between a plurality of transparent anodes 11.

この第2の実施形態の有機EL素子は、以下のような工程によって製造することができる。先ず、ガラス基板10の上に互いに間隔を置いて複数の帯状の透明陽極11を形成する。次に、各透明陽極11の端部を覆う状態にして帯状パターンの絶縁層20を形成する。この絶縁層20および絶縁層15は、無機材料、有機材料のいずれから形成されてもよい。そして帯状パターンの絶縁層20は、マスクを用いた真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法などの公知の方法で形成することができる。   The organic EL device of the second embodiment can be manufactured by the following steps. First, a plurality of strip-shaped transparent anodes 11 are formed on the glass substrate 10 at intervals. Next, a strip-shaped insulating layer 20 is formed so as to cover the end of each transparent anode 11. The insulating layer 20 and the insulating layer 15 may be formed from either an inorganic material or an organic material. The insulating layer 20 having a belt-like pattern can be formed by a known method such as a vacuum deposition method using a mask, a sputtering method, or an ion plating method.

次に、露出している各透明陽極11の上に位置し、そして絶縁層20の上の部分で互いに分離する状態にして正孔輸送層12および発光層13を形成する。そのような正孔輸送層12および発光層13も、マスクを用いた真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法などの公知の方法で形成することができる。   Next, the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are formed so as to be located on the exposed transparent anodes 11 and separated from each other at a portion above the insulating layer 20. Such a hole transport layer 12 and a light emitting layer 13 can also be formed by a known method such as a vacuum evaporation method using a mask, a sputtering method, or an ion plating method.

次に、正孔輸送層12および発光層13が形成されていない部分に、それらの層の端面が露出しない状態にして絶縁層15を埋め込み、次いで金属陰極14を形成すると、本実施形態の有機EL素子が完成する。   Next, when the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are not formed, the insulating layer 15 is embedded in a state where the end faces of those layers are not exposed, and then the metal cathode 14 is formed, the organic layer of this embodiment An EL element is completed.

この有機EL素子においても、正孔輸送層12および発光層13が複数の透明陽極11どうしの間において分断され、この分断された部分に、正孔輸送層12および発光層13の端面を露出させない状態にして絶縁層15が埋め込まれているので、基本的に第1の実施形態におけるのと同様の効果を得ることができる。   Also in this organic EL element, the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are divided between the plurality of transparent anodes 11, and the end faces of the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are not exposed to the divided portions. Since the insulating layer 15 is buried in the state, basically the same effect as in the first embodiment can be obtained.

なお、前述した第1実施形態の有機EL素子と、正孔輸送層12および発光層13を分断してそこに絶縁層15を形成することはせず、その他の点は該第1実施形態の有機EL素子と同様に形成した従来の有機EL素子とについて、漏れ電流の有無を比較検討した。比較検討は、1つの選択透明陽極11とそれに対向する金属陰極14との間の電圧を15Vに固定し、それに隣接する透明陽極11における同様の電圧を4通りに変化させたときの、選択透明陽極11からの発光の輝度(単位はcd/m)を測定して行った。その結果を下の表1に示す。

Figure 2005276667
Note that the organic EL element of the first embodiment described above, the hole transport layer 12 and the light emitting layer 13 are not divided and the insulating layer 15 is not formed thereon, and the other points are the same as those of the first embodiment. The conventional organic EL element formed in the same manner as the organic EL element was compared for the presence or absence of leakage current. In comparison, the voltage between one selective transparent anode 11 and the metal cathode 14 facing it is fixed at 15 V, and the same voltage at the transparent anode 11 adjacent to it is changed in four ways. The measurement was performed by measuring the luminance of light emitted from the anode 11 (unit: cd / m 2 ). The results are shown in Table 1 below.
Figure 2005276667

この表1に示される通り、従来例では隣接陽極の電圧を低くするにつれて、つまり選択陽極との電位差を大きくするにつれて発光輝度が低下している。これは、電位差が大きくなるにつれて漏れ電流が流れやすくなっていることを示している。それに対して本発明による有機EL素子では、上記電位差が変化しても発光輝度に顕著な変化が現れず(数値のバラツキは測定誤差範囲内である)、漏れ電流が生じていないことが明らかである。   As shown in Table 1, in the conventional example, the light emission luminance decreases as the voltage of the adjacent anode is lowered, that is, as the potential difference from the selected anode is increased. This indicates that leakage current tends to flow as the potential difference increases. On the other hand, in the organic EL device according to the present invention, even if the potential difference is changed, no significant change in the emission luminance appears (the numerical value variation is within the measurement error range), and it is clear that no leakage current occurs. is there.

本発明の第1の実施形態による有機EL素子を示す概略断面図1 is a schematic sectional view showing an organic EL device according to a first embodiment of the present invention. 上記有機EL素子の概略斜視図Schematic perspective view of the organic EL element 上記有機EL素子の製造方法を説明する概略図Schematic explaining the manufacturing method of the said organic EL element 本発明の第2の実施形態による有機EL素子を示す概略断面図Schematic sectional view showing an organic EL device according to a second embodiment of the present invention

符号の説明Explanation of symbols

10 ガラス基板
11 透明陽極
12 正孔輸送層
13 発光層
14 金属陰極
15、20 絶縁層
10 Glass substrate
11 Transparent anode
12 Hole transport layer
13 Light-emitting layer
14 Metal cathode
15, 20 Insulation layer

Claims (8)

絶縁性の基板と、
この基板上に互いに間隔を置いて配設された複数の第1電極と、
これらの第1電極を上から覆う状態に形成された、少なくとも発光層を含む有機化合物層と、
この有機化合物層を間に挟んで、前記第1の電極と交差対向するように配置された第2電極とを備えてなる有機EL素子において、
前記有機化合物層が、前記複数の第1電極どうしの間において分断され、
この分断された部分に、前記有機化合物層の端面を露出させない状態にして絶縁層が埋め込まれていることを特徴とする有機EL素子。
An insulating substrate;
A plurality of first electrodes spaced apart from each other on the substrate;
An organic compound layer including at least a light-emitting layer formed to cover these first electrodes from above;
In the organic EL element comprising the second electrode disposed so as to cross and face the first electrode with the organic compound layer interposed therebetween,
The organic compound layer is divided between the plurality of first electrodes;
An organic EL element, characterized in that an insulating layer is embedded in the divided portion so that the end face of the organic compound layer is not exposed.
前記第1電極が透明陽極であり、前記第2電極が金属陰極であることを特徴とする請求項1記載の有機EL素子。   2. The organic EL device according to claim 1, wherein the first electrode is a transparent anode and the second electrode is a metal cathode. 請求項1または2に記載の有機EL素子を製造する方法であって、
前記基板上に互いに間隔を置いた状態で複数の第1電極を形成し、
これらの第1電極を上から覆う状態にして、該第1電極どうしの間で不連続となるパターンの有機化合物層を形成し、
この有機化合物層が形成されていない部分に、該有機化合物層の端面が露出しない状態にして絶縁層を埋め込み、
次いで前記第2電極を形成することを特徴とする有機EL素子の製造方法。
A method for producing the organic EL device according to claim 1, comprising:
Forming a plurality of first electrodes spaced apart from each other on the substrate;
In a state of covering these first electrodes from above, an organic compound layer having a discontinuous pattern between the first electrodes is formed,
In the portion where the organic compound layer is not formed, an insulating layer is embedded in a state where the end face of the organic compound layer is not exposed,
Next, the second electrode is formed. A method for manufacturing an organic EL element.
前記第1電極どうしの間で不連続となるパターンの有機化合物層を、該不連続とする部分にマスクを配置して有機化合物層を成膜することにより形成することを特徴とする請求項3記載の有機EL素子の製造方法。   4. The organic compound layer having a discontinuous pattern between the first electrodes is formed by forming an organic compound layer by disposing a mask in the discontinuous portion. The manufacturing method of the organic EL element of description. 前記第1電極どうしの間で不連続となるパターンの有機化合物層を、インクジェット方式によって形成することを特徴とする請求項3記載の有機EL素子の製造方法。   4. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 3, wherein the organic compound layer having a pattern discontinuous between the first electrodes is formed by an ink jet method. 請求項1または2に記載の有機EL素子を製造する方法であって、
絶縁性の基板上に互いに間隔を置いた状態で複数の第1電極を形成し、
これらの第1電極の上に、該第1電極を全て覆うように連続的に延びる有機化合物層を形成し、
この連続的に延びる有機化合物層の、前記第1電極どうしの間の部分をエッチングにより除去し、
この有機化合物層が除去された部分に、該有機化合物層の端面が露出しない状態にして絶縁層を埋め込み、
次いで前記第2電極を形成することを特徴とする有機EL素子の製造方法。
A method for producing the organic EL device according to claim 1, comprising:
Forming a plurality of first electrodes on an insulating substrate spaced apart from each other;
On these first electrodes, an organic compound layer continuously extending so as to cover all of the first electrodes is formed,
Etching removes the portion of the continuously extending organic compound layer between the first electrodes,
In the part where the organic compound layer is removed, an insulating layer is embedded in a state where the end face of the organic compound layer is not exposed,
Next, the second electrode is formed. A method for manufacturing an organic EL element.
前記エッチングがレーザーエッチングであることを特徴とする請求項6記載の有機EL素子の製造方法。   The method of manufacturing an organic EL element according to claim 6, wherein the etching is laser etching. 前記エッチングが、フォトリソグラフィを適用したドライあるいはウェットエッチングであることを特徴とする請求項6記載の有機EL素子の製造方法。   7. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 6, wherein the etching is dry or wet etching using photolithography.
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