JP2005253152A - 磁性体構造 - Google Patents

Abstract

【解決課題】 モータやスライダに適用される磁性体構造において、コイルの配列構造を簡単に形成可能にした構造を提供する。
【解決課題】 一枚の基板上に複数の電磁コイルを形成し、この基板の一対を互いに対面させ、この間に交互に異極に着磁された磁性要素を複数備えた磁性体を配置させ、前記電磁コイルを交互に異極に励磁する励磁信号を供給して、前記磁性要素と前記電磁コイル間の吸引−反発によって前記磁性体を連続的に運動させるようにした。特に、両方の基板を対面させた際に、一方の電磁コイルと他方の電磁コイルとが重ならずに位相ずれを持つように、前記基板に電磁コイルのパターンが形成されている。
【選択図】 図１１

Description

本発明は、磁極を発生するコイルを線状に並べ、コイルを交互に着磁する周波数を持った励磁信号を供給して、永久磁石や強磁性体からなるロータを回転させ、或いはスライダを移動させる各種モータに係わる磁性体構造に関するものである。本発明は、駆動体としての電気自動車、電動カート、電動車椅子等や、その他電動玩具、電動飛行機、小型電動機器、ＭＥＭＳに利用することができる。

交流などの周波数信号によって駆動されるＡＣモータには、大きく分けるとシンクロナス（同期）モータとインダクション（誘導）モータの２種類がある。シンクロナスモータは、ロータに永久磁石や鉄などの強磁性体の積層コアを使い、電源周波数によって決まる回転磁界の速さと同じ回転速度で回転するモータである。

ロータの違いによって永久磁石を使ったマグネット型とコイルが巻いてある巻線型、鉄などの強磁性体を使ったリアクタンス形がある。このうちマグネット型は、ロータの永久磁石がステータの回転磁界に引かれて回転する。一方、インダクションモータは、導線がカゴのような形のロータに、電磁誘導作用によって別の磁界を発生させることで回転するモータである。

このようなモータの中には、回転しないで直線状に動いたり、平面を自由に動けるモータも存在する。この種のモータは、広くリニアモータと呼ばれ、磁極を発生するコイルを直線状に並べ、流す電流を順次切替えることで、その上に載った永久磁石や強磁性体を移動させている。直線状に配置されたコイル列はステータであって、ロータは平たくなってその上を滑動するのでスライダに相当する。

前記マグネット型のシンクロナスモータとして、例えば、特開平８−５１７４５号公報（特許文献１）に記載された小型同期モータが存在する。この小型同期モータは、特許文献１の図１に示されるように、励磁コイル７を巻回したステータコア６と、内部にマグネット１を内蔵し周面にＮＳ極が等間隔に配列されたロータコア２を有するロータ３とを備えた構成を持っている。

しかしながら、従来の技術で説明したモータは、発生トルクに比較して重量が嵩み、発生トルクを大きくしようとすると大型化してしまうという課題があった。そこで、この出願の発明者は、ＰＣＴ/ ＪＰ０３／１４６６７において、第１の磁性体と第２の磁性体と、この磁性体間に配置され、前記第１及び第２の磁性体に対して所定方向に相対的に移動可能な第３の磁性体と、を備え、前記第１の磁性体及び第２の磁性体のそれぞれは、交互に異極に励磁可能な複数の電磁コイルを順番に配置してなる構成を備えており、前記第３の磁性体は、交互に異極に着磁された永久磁石を順番に配置してなる構成を備えており、前記第１の磁性体と前記第２の磁性体は、第１の磁性体の電磁コイルと第２の磁性体の電磁コイルとが互いに配列ピッチ差を持つように配置された構成を備えてなる磁性体構造を提案した。この磁性体構造によれば、各磁性体の電磁コイルを常時励磁する所定の周波数を電磁コイルに供給し、しかも第１の磁性体に供給される励磁信号の位相と第２の磁性体に供給される励磁信号の位相とをずれるようにすることにより、電磁コイルと永久磁石間の反発−吸引の切り替えによって永久磁石が連続的に回転できるようになる。
特開平８−５１７４５号公報

既述の磁性体構造は例えば多層基板を利用すれば基板上に実現できる。すなわち、基板の表面に複数の電磁コイルのパターンを形成し、多層配線を利用して電磁コイル同士を直列又は並列に連結することができる。電磁コイルが基板に形成されるピッチを互いにずらした基板を２種類作成し、これを向き合うように配置し、この間に永久磁石を配置することによって、既述の磁性体構造を実現することができる。

しかしながら、この方法では、基板を２種類製造しなければならないという課題がある。このため、設計や製造上の負荷が生じ、コストやメンテナンスの分野でも負担が増す。本発明は、モータやスライダに適用される磁性体構造において、コイルの配列構造を簡単に形成可能にした磁性体構造を提供することを目的とするものである。

そこで本発明は、一枚の基板上に複数の電磁コイルを形成し、この基板の一対を互いに対面させ、この間に交互に異極に着磁された磁性要素を複数備えた磁性体を配置させ、前記電磁コイルを交互に異極に励磁する励磁信号を供給して、前記磁性要素と前記電磁コイル間の吸引−反発によって前記磁性体を連続的に運動させるようにして、既述の課題を解決するようにした。

例えば、両方の基板を対面させた際に、一方の電磁コイルと他方の電磁コイルとが重ならずに位相ずれを持つように、前記基板に電磁コイルのパターンが形成されてなることにより、１種類の基板のみから既述の磁性体構造に必要な第１及び第２の磁性体からなる組を実現することができる。

本発明の好適な形態では、前記基板が多層基板からなり、複数の電磁コイルが基板を介して直列又は並列に連結してなる。前記複数の電磁コイルが駆動回路から出力される励磁信号によって常時励磁されてなる。前記基板には前記磁性体の位置センサを備え、基板の一対を対面させると一方の位置センサと他方の基板の位置センサとが重ならずに位相ずれを持つように当該位置センサが前記基板に形成されてなる。前記位置センサがホール効果を利用したホール素子である。前記位置センサの出力が直接前記電磁コイルに供給されるか、又は位置センサの出力に基づいて形成された励磁信号が当該電磁コイルに供給されるように構成された。前記複数の電磁コイルが前記基板の中心線に対して非対称に形成されてなる。前記センサが前記基板の中心線に対して非対称に形成されてなる。

図１乃至図４は、本発明に係わる磁性体構造の模式図と動作原理を示したものである。この磁性体構造は、第１の磁性体（Ａ相コイル）１０及び第２の磁性体（Ｂ相コイル）１２の間に永久磁石又は強磁性体からなる第３の磁性体１４を介在した構成を備えている。これら磁性体は環状（円弧状、円状）或いは直線状のいずれに構成されても良い。磁性体が環状に形成された場合は、第３の磁性体又は第１・第２磁性体のいずれかがロータとして機能し、磁性体構造がリニアに形成された場合には、いずれかがスライダとなる。

第１の磁性体１０は、交互に異極に励磁可能なコイル１６が、所定間隔、好適には、均等間隔を介して順番に配列された構成を備えている。この第１の磁性体の等価回路図を図５に示す。図１−図４によれば、後述のとおり、２相の励磁コイルには、始動回転中（２π）中常時全コイルを既述した極性で励磁させている。したがって、ロータやスライダ等の被駆動手段を高トルクで回転・駆動することが可能となる。

図５（１）に示すように、複数の電磁コイル１６（磁性単位）が等間隔に直列に接続されている。符号１８Ａはこの磁気コイルに周波数パルス信号を印加する励磁回路のブロックである。この励磁回路から電磁コイル１６にコイルを励磁させるための励磁信号を流したとき、隣接するコイル間で交互に磁極の向きが変わるように、各コイルが励磁されるように予め設定されている。図５（２）に示すように、電磁コイル１６が並列に接続されていても良い。

この励磁回路１８Ａから第１の磁性体１０の電磁コイル１６に、供給される励磁電流の極性の方向を所定の周期で交互に切り替えるための周波数を持った信号を印加すると、図１乃至図４に示すように、第３磁性体１４の側の極性がＮ極→Ｓ極→Ｎ極と交互に変化する磁気パターンが形成される。周波数パルス信号が逆極性になると、第１磁性体の第３磁性体側の極性がＳ極→Ｎ極→Ｓ極と交互に変化する磁気パターンが発生する。この結果、第１の磁性体１０に現れる励磁パターンは周期的に変化する。

第２の磁性体１２の構造は、第１磁性体１０と同様であるが、第２磁性体の電磁コイル１８は第１磁性体の電磁コイル１６に対して位置的にずれて配列されている、即ち電磁コイルが位相差を持って配置されている点が異なる。すなわち、特許請求の範囲に記載されているように、第１磁性体のコイルの配列ピッチと第２磁性体のコイルの配列ピッチとが所定のピッチ差（角度差）を持つように設定されている。このピッチ差は、永久磁石（第３の磁性体）１４がコイル１６,１８に対して励磁電流の周波数の１周期（２π）に対応して動く距離、すなわち、片側相のＮ極＋Ｓ極の一対数をＭとするとπ／（２・M）＝π／（２・３）＝３０°に対応する距離が好適である。

次に第３磁性体１４について説明する。図１乃至図４に示されるように、この第３磁性体１４は、第１の磁性体及び第２の磁性体の間に配置されており、交互に逆の極性を持った複数の永久磁石２０（黒く塗り潰されている。）が線状（直線或いは円弧状）に、所定間隔、好適には均等間隔を介して配列されている。円弧状とは、完全な円、楕円など閉じられたループの他、不特定環状構造や、半円、扇型をも包含する。

第１の磁性体１０と第２の磁性体１２とは等距離を介して配置されており、第１の磁性体と第２の磁性体との中心位置に第３の磁性体１４が配置されている。第３の磁性体において個々の永久磁石の配列ピッチは、殆ど第１磁性体１０及び第２磁性体１２における磁気コイルの配列ピッチと同じである。

次に第１磁性体１０と第２磁性体１２との間に既述の第３磁性体１４が配置された磁気体構造の動作を、図１乃至図４を利用して説明する。既述の励磁回路（図５の１８である。後に説明する。）によって、ある瞬間において第１磁性体及び第２磁性体の電磁コイル１６,１８には、図１の（１）に示すような励磁パターンが発生する。

この時、第１磁性体１０の第３磁性体１４側に臨む表面の各コイル１６には、→Ｓ→Ｎ→Ｓ→Ｎ→Ｓ→のパターンで磁極が生じ、第２磁性体１２の第３磁性体１４側に臨む表面のコイル１８には、→Ｎ→Ｓ→Ｎ→Ｓ→Ｎ→のパターンで磁極が生じる。ここで、図中実線で表示される矢印は引力を示し、一点鎖線で表示される矢印は反力を示す。

次の瞬間、（２）に示すように、第１の磁性体に駆動回路１８（図５）を介して印加されるパルス波の極性が反転すると、（１）の第１の磁性体１０のコイル１６に発生する磁極と第３の磁性体１４の表面の永久磁石２０の磁極との間に反発力が発生し、一方、第２の磁性体１２のコイル１８に発生している磁極と第３の磁性体１４の永久磁石の表面の磁極との間に引力が発生しているために、（１）乃至（５）に示すように、第３の磁性体は、図示右方向に順次移動する。

第２の磁性体１２のコイル１８に、第１の磁性体の励磁電流とは位相がずれたパルス波が印加されており、（６）乃至（８）に示すように、第２の磁性体１２のコイル１８の磁極と第３の磁性体１４の永久磁石２０の表面の磁極とが反発して第３の磁性体１４をさらに右方向に移動させる。（１）乃至（８）は永久磁石がπに対応する距離を移動した場合を示しており、（９）乃至（１６）が残りのπに対応する距離を移動した場合、すなわち、（１）乃至（１６）で電磁コイル１６,１８に供給される周波数信号の１周期分（２π）に相当する距離を第３の磁性体が第１・第２磁性体に対して相対的に移動する。

このように、第１の磁性体（Ａ相）と第２の磁性体（Ｂ相）とに互いに位相が異なる周波数信号をそれぞれ供給することにより、第３の磁性体１４をリニアにスライドさせることができるか、或いは第３の磁性体１４をロータとして回転させることができる。

第１の磁性体、第２の磁性体、及び第３の磁性体を円弧状にすると、図１に示す磁気構造は回転モータを構成するものとなり、これら磁性体を直線状に形成すると、この磁気構造はリニアモータを構成するものとなる。ケース、ロータ等の永久磁石と電磁コイルを除く部分は、導体で形成することもできるが、非磁性体である樹脂、アルミニウム、マグネシウム等の軽量体から形成することがより好ましく、こうすることにより軽量であり、かつ磁気回路が開放された、磁気効率に優れたモータ等の回転駆動体を実現できる。

この磁気構造によれば、第３の磁性体には第１の磁性体及び第２の磁性体から磁力を受けて動くことができるために、第３の磁性体を動かす際のトルクが大きくなり、トルク／重量バランスが優れたものになるので、高トルクで駆動可能な小型軽量モータを提供することが可能となる。

図６は第１の磁性体の電磁コイル（Ａ相電磁コイル）１６、及び第２の磁性体の電磁コイル（Ｂ相電磁コイル）１８に励磁電流を印加するための励磁回路１８Ａの一例を示すブロック図である。

この励磁回路は、Ａ相電磁コイル１６及びＢ相電磁コイル１８にそれぞれ制御されたパルス周波数信号を供給するように構成されている。符号３０は水晶発振器であり、符号３１はこの発振周波数信号をＭ分周して基準パルス信号を発生させるためのＭ−ＰＬＬ回路３１である。

符号３４は第３の磁性体（この場合はロータ）１４の回転速度に対応した位置検出信号を発生するセンサである。このセンサとしてはホールセンサ（磁気センサ）、光学式のものが好適に選択できる。符合３４Ａは、Ａ相電磁コイルのドライバ回路に検出信号を供給するためのＡ相側センサであり、符号３４Ｂは、Ｂ相電磁コイルのドライバ回路に検出信号を供給するためのＢ相側センサである。

このセンサ３４Ａ，Ｂからの検出信号はそれぞれ、第１・第２の磁性体に励磁電流を供給するためのドライバ３２に出力されている。符号３３はＣＰＵであり、Ｍ―ＰＬＬ回路３１及びドライバ３２に所定の制御信号を出力する。

図７は、ドライバ部の詳細構成を示すブロック図である。このドライバ部は、Ａ相側極性切替部３２Ａと、Ｂ相側極性切替部３２Ｂと、Ａ相側位相補正部３２Ｃと、Ｂ相側位相補正部３２Ｅと、Ａ相バッファ３２Ｇと、Ｂ相バッファ３２Ｈと、Ｄ−ＰＬＬ回路３２Ｉと、正転／逆転切替部３２Jと、を備えて構成されている。

このドライバ３２には、水晶発振器の発振周波数をＭ分周した基本波３１が入力される。この基本波は、Ａ相コイル（第１磁性体）用の極性切替部３２Ａによって極性が切り替えられ、Ａ相コイル用位相補正部３２Ｃに入力される。また、この基本波３１は、Ｂ相コイル（第２磁性体）用位相切替部３２Ｂによって位相が制御され、Ｂ相コイル用位相補正部３２Ｅに出力される。

ＣＰＵ３３の制御信号は、ロータ又はスライダの正転（前進）／逆転（後進）の切替部３２Ｊに出力され、切替部３２ＪはＣＰＵ３３による制御の下、正転／逆転に合わせて、前記Ａ、Ｂ相極性切替部３２Ａ，３２Ｂを制御する。

Ａ相センサ３４Ａからの出力は、Ａ相コイル用位相補正部３２Ｃに出力され、Ｂ相センサ３４Ｂからの出力は、Ｂ相コイル用位相補正部３２Ｅに出力される。また、Ａ相極性切替部３２Ａから出力された、極性が切り替えられた基本波がＡ相位相補正部３２Ｃに出力され、Ｂ相極性切替部からの基本波がＢ相位相補正部３２Ｅに出力される。なお、基本波がさらにＤ−ＰＬＬ回路３２Ｉにおいて位相ロック後分周率（Ｄ）でてい倍された周波数信号がＡ相位相補正部３２ＣとＢ相位相補正部３２Ｅにそれぞれ入力される。

前記ＣＰＵ３３は、図示しない運転入力手段からの入力情報に基づき、第３の磁性体であるロータの回転速度、又は、スライダの速度を制御するために、既述のＭ分周率を所定のメモリから読み出してこの読み出し値（Ｍ）によって基本波の周波数を変化させる。また、後述するが、Ｄ−ＰＬＬの分周率（Ｄ）についても同様である。これら分周率はロータの回転速度、スライダの移動速度等磁性体の動作特性の値に応じて変化するが、この変化特性がメモリテーブルの形式で所定のメモリ領域に予め設定記憶されている。

Ａ相位相補正部３２ＣとＢ相位相補正部３２Ｅは、第３の磁性体であるロータやスライダを回転又は直進させるために、Ａ相コイルとＢ相コイルのそれぞれに互いに適切に位相差を持たせた励磁用周波数信号を出力するために、Ａ相用励磁周波数信号とＢ相用励磁周波数信号の位相をそれぞれ既述のセンサ３４Ａ、３４Ｂの信号に同期させるようにして補正する。

Ａ相バッファ部３２Ｇは、Ａ相コイルに位相補正された周波数信号を供給するための回路手段であり、Ｂ相バッファ部３２Ｈは、Ｂ相コイルに位相補正された周波数信号を供給するための回路手段である。

図８は、既述の磁性体構造の概要を示したものであり、（１）はロータ（第３磁性体）の概略平面図、（２）はＡ相電磁コイル（第１磁性体）、（３）はＢ相電磁コイルを示したものである。図８に付された符号は、既述の図において対応する構成部分と同じものである。

この磁性体構造は、ステータに相当する一対のＡ相磁性体１０とＢ相磁性体１２を備え、そしてロータを構成する既述の第３の磁性体１４とを備え、Ａ相磁性体とＢ相磁性体との間にロータ１４が軸３７を中心に回転自在に配置されている。ロータには６つの永久磁石が円周方向に均等に設けられ、そして永久磁石の極性は交互に反対になるようになっており、ステータには６つの電磁コイルが円周方向に均等に設けられている。Ａ相磁性体１０とＢ相磁性体１２の電磁コイル同士１６,１８は（２）及び（３）に示すような位相差を持つ様にこれら二つの磁性体同士が向き合って置かれ、これらの間にロータ１４が配置される。

Ａ相センサ３４ＡとＢ相センサ３４Ｂとが、特定の距離Ｔ(π／６に相当する位相差)を介してそれぞれの磁性体に対して置かれている。Ａ相センサ３４ＡとＢ相センサ３４Ｂと設置位置の位相差は、Ａ相コイル１６に供給される周波数信号とＢ相コイル１８に供給される周波数信号とに所定の位相差を設けるために設けられている。図９に示すように、各相センサが回転するロータの永久磁石から放出される磁束の強度を連続的に検出して、永久磁石の回転位置を検出し、これを電磁コイルへの励磁信号出力に反映される。

図１０は、ドライバ３２において成されるコイル励磁用周波数信号のための信号処理に係わる波形図を示すものである。以下の説明においては、必要に応じて図８を参照すると良い。（１）は基本周波数波形であり、（２）はＡ相センサ３４Ａからの信号、（３）はＢ相センサ３４Ｂからの信号である。既述のとおり、Ａ相センサとＢ相センサとは特定の位相差を持つようにして設置されている（図８参照）。

前記Ａ相位相補正部３２Ｃは公知のＰＬＬ制御を実行して、Ａ相センサの出力波形（２）の位相と基本波（１）の位相とを同期させ、（４）のようなＡ相コイル１６を励磁するためのパルス波をＡ相コイル用バッファ回路３２Ｇに出力する。

バッファ回路は周波数を持った入力パルスによって、Ａ相コイルに励磁電流を通電するための、このバッファ回路にあるトランジスタをＰＷＭ制御する。Ｂ相位相補正部３２Ｅの動作も同じである。（５）はＢ相位相補正部３２ＥからＢ相電磁コイル用バッファ回路３２Ｈに出力される駆動波形である。（４）と（５）を比較して分かるように、Ａ相コイル１６へ供給される励磁信号とＢ相コイル１８へ供給される励磁信号とは互いに位相が異なる。

既述のような第１磁生体及び第２磁性体の実例として、複数の電磁コイルを多層基板に形成したものがある。図１１は４つ電磁コイル（Ａ相コイルとなる場合は１６であり、Ｂ相コイルとなる場合は１８である。）が中心点１１０を中心に円周方向に均等に基板１１１上に形成されている様子を示している。電磁コイルの形成はエッチング技術を利用してパターン形成することが簡単である。複数の電磁コイルは中心軸１１２を介して非対称に形成されている。すなわち、図１２に示すように、電磁コイル１６又は１８となるべきコイルパターンが中心軸１１２から２２．５°図示時計方向にずれて形成されている。図１１に示すように、センサー３５Ａ，３５Ｂと成るパターンも中心軸１１２から同様にずれて形成されている。図１１に示す基板と同じ基板同士を互いに対面させて組み合わせると、図１３に示すように、既述のＡ相コイルとＢ相コイルとの組み合わせ体が実現できる。すなわち、ひとつの基板Ａの電磁コイル１６と他の基板Ｂの電磁コイル１８とが重ならないで、位相差（２２．５°の２倍）が出るように基板の組み合わせが実現できる。基板自体は、二つの同一基板を対面させて整合させるだけでこのような位相差を持ってＡ相コイルとＢ相コイルの対面構造及びＡ相センサとＢ相センサの対面構造が実現できるように矩形とした。図１３はＡ相コイル・センサとＢ相コイル・センサとの組み合わせを一方の基板から透視させたものである。各電磁コイルは多層配線技術によって互いに図５に示すように直列又は並列に接続されている。

図１４はコイルパターンが基板上に６個形成されている状態を示している。この実施形態においては、図１５に示すように基板の中心線に対してπ／（２・４）＝３０°で３０°／２＝１５°ずれてコイルパターンが形成されている。

この基板同士を対面させて配置することによって、Ａ相コイルとＢ相コイルの組み合わせ体が構成され、そのときの両相間での電磁コイルのずれは１５°の２倍となる。

以上のように図１１や図１４に示すコイルパターンを持った１種類の基板を作成し、同じ基板を向き合わせて配置するだけで、二つの電磁コイル列が電磁コイルの配列ピッチの点で位相差を持って対面する構造を実現できる。

なお、既述の実施形態の変形として、各センサの出力を直接電磁コイルに供給するようにしても良い。既述の位相差の数値は好適な例であり、これに限定されるものではない。

本発明に係わる磁性体構造の模式図と動作原理を示したものである。 図１に続く動作原理を示したものである。 図２に続く動作原理を示したものである。 図３に続く動作原理を示したものである。 電磁コイルの接続状態を示す等価回路図である。 電磁コイルに励磁電流を印加するための励磁回路の一例を示すブロック図である。 励磁回路のドライバ部の詳細構成を示すブロック図である。 磁性体構造を説明するもので、(1)はロータの概略平面図、（２）はＡ相電磁コイル（第１磁性体）、（３）はＢ相電磁コイル（第２磁性体）を示したものである。 永久磁石を備えたロータに対する各相コイル駆動用センサの位置関係を示す模式図。 ドライバにおいて成されるコイル励磁用周波数信号のための信号処理に係わる波形図である。 基板に形成された電磁コイルパターンとセンサパターンを示すための基板の平面図である。 図１１のパターンを持った基板における、中心線からコイルパターンの配置位相ずれを説明するための簡略平面図である。 図１１の基板同士を対面させた状態で、一方の基板から透視した電磁コイルの配列パターンを示すための基板の平面図である。 電磁コイルパターン数を図１１の４個に代えて、６個とした場合における基板平面図である。 図１３の基板同士を対面させた状態で、一方の基板から透視した電磁コイルの配列パターンを示すための基板の平面図である。

Claims (9)

1. 一枚の基板上に複数の電磁コイルを形成し、この基板の一対を互いに対面させ、この間に交互に異極に着磁された磁性要素を複数備えた磁性体を配置させ、前記電磁コイルを交互に異極に励磁する励磁信号を供給して、前記磁性要素と前記電磁コイル間の吸引−反発によって前記磁性体を連続的に運動させるようにした磁性体構造。
2. 両方の基板を対面させた際に、一方の電磁コイルと他方の電磁コイルとが重ならずに位相ずれを持つように、前記基板に電磁コイルのパターンが形成されてなる請求項１記載の磁性体構造。
3. 前記基板が多層基板からなり、複数の電磁コイルが基板を介して直列又は並列に連結してなる請求項１又は２記載の磁性体構造。
4. 前記複数の電磁コイルが駆動回路から出力される励磁信号によって常時励磁されてなる請求項１記載の磁性体構造。
5. 前記基板には前記磁性体の位置センサを備え、基板の一対を対面させると一方の位置センサと他方の基板の位置センサとが重ならずに位相ずれを持つように当該位置センサが前記基板に形成されてなる請求項２記載の磁性体構造。
6. 前記位置センサがホール効果を利用したホール素子である請求項５記載の磁性体構造。
7. 前記位置センサの出力が直接前記電磁コイルに供給されるか、又は位置センサの出力に基づいて形成された励磁信号が当該電磁コイルに供給されるように構成された請求項５又は６記載の磁性体構造。
8. 前記複数の電磁コイルが前記基板の中心線に対して非対称に形成されてなる請求項１乃至７のいずれか１項記載の磁性体構造。
9. 前記センサが前記基板の中心線に対して非対称に形成されてなる請求項５乃至７のいずれか１項記載の磁性体構造。
   
   

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