JP2005251630A - Sealing type display panel, sealing type display panel substrate, and manufacturing method of sealing type display panel - Google Patents

Sealing type display panel, sealing type display panel substrate, and manufacturing method of sealing type display panel Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To secure airtightness of a sealing part in which a display part is formed, and maintain superior display performances. <P>SOLUTION: In the sealing type display panel provided with the sealing part to seal the display part formed on a support substrate 11 from the open air and in which a lead wiring 12 drawn from the display part to an outside of the sealing part is wired on the support substrate 11, a flattening layer 13 to flatten a convexo-concave pattern of the lead wiring 12 is installed on the lead wire 12 corresponding to an adhering region of the sealing part. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、封止型表示パネル、封止型表示パネル基板、封止型表示パネルの形成方法に関するものである。   The present invention relates to a sealed display panel, a sealed display panel substrate, and a method for forming a sealed display panel.

基板上に表示部が形成される表示パネルとしては、液晶表示(LCD:Liquid Crystal Display)パネル、プラズマディスプレイパネル(PDP:Plasma Display Panel)、有機EL(electroluminescence)表示パネル等各種のものが開発されている。   Various types of display panels, such as liquid crystal display (LCD) panels, plasma display panels (PDP), and organic EL (electroluminescence) display panels, have been developed as display panels on a substrate. ing.

これらの表示パネルの中には、表示原理は異なるものの、表示部が外気から遮断された封止部内に形成されているという点で共通の構造を備えるものがある。例えば、LCDパネルであれば、基板間に液晶を保持するための封止部が形成されており、PDPであれば放電空間を形成するための封止部が形成されている。また、有機ELパネルは、有機EL素子の構成要素が外気(特に湿気)に曝されると表示性能の劣化が生じることから、この有機EL素子を外気から遮断するための封止部が形成されている。   Some of these display panels have a common structure in that the display portion is formed in a sealed portion that is shielded from the outside air, although the display principle is different. For example, in the case of an LCD panel, a sealing portion for holding liquid crystal is formed between the substrates, and in the case of a PDP, a sealing portion for forming a discharge space is formed. In addition, since the display performance of the organic EL panel is deteriorated when the components of the organic EL element are exposed to the outside air (particularly moisture), a sealing portion is formed to block the organic EL element from the outside air. ing.

このような表示部が封止部内に形成されている表示パネル(以下、これを封止型表示パネルという)においては、封止部内に形成された表示部の電極を封止部外に引き出すための引出配線が形成されており、この引出配線は、支持基板上で封止部を形成する接着領域を横切って封止部外の支持基板上に引き出される構造になっている。   In a display panel in which such a display portion is formed in the sealing portion (hereinafter referred to as a sealing display panel), the electrode of the display portion formed in the sealing portion is drawn out of the sealing portion. The lead-out wiring is formed so as to be drawn out on the support substrate outside the sealing portion across the adhesion region forming the sealing portion on the support substrate.

下記特許文献1には、図1に示すような有機ELパネルにおける引出配線の構造が示されている(図1(a)が平面図、同図(b)はI−I断面図、同図(c)はII−II断面図を示している。)。この有機ELパネルJは、ガラス基板J1上に有機EL素子からなる表示部J2が形成され、この表示部J2から引き出された引出配線J3がガラス基板J1の例えば一辺に向けて配線されている。そして、この引出配線J3を横切るようにして、表示部J2の周囲には接着領域J5が形成されており、この接着領域J5のうち、引出配線J3に横切られていない範囲に、ダミーパターンJdが形成されている。これによると、接着領域J5を形成する接着剤層J5の厚さを均一にして、全体に平坦にされた接着領域J5の上に封止部材J4が接着されるようになっている。なお、この例では、接着領域J5にはスペーサJ5が混入された接着剤が使用されている。 The following Patent Document 1 shows the structure of the lead-out wiring in the organic EL panel as shown in FIG. 1 (FIG. 1 (a) is a plan view, FIG. 1 (b) is a cross-sectional view taken along line I-I, FIG. (C) shows a II-II sectional view.) In the organic EL panel J, a display portion J2 made of an organic EL element is formed on a glass substrate J1, and a lead-out wiring J3 drawn out from the display portion J2 is wired toward, for example, one side of the glass substrate J1. An adhesive region J5 is formed around the display portion J2 so as to cross the lead wire J3, and the dummy pattern Jd is formed in a range not crossing the lead wire J3 in the bond region J5. Is formed. According to this, the uniform thickness of the adhesive layer J5 1 to form a bonding area J5, sealing member J4 is adapted to be adhered on the adhesive regions J5 that is flat throughout. In this example, adhesive is used that spacer J5 2 are mixed in the adhesion area J5.

特開2001−189190号公報JP 2001-189190 A

前述の従来例では、接着剤層J5の厚さを均一にして封止部材J4の傾きを防止することが可能になる。しかしながら、図1(c)に示すように、引出配線J3が接着領域J5を横切って引き出されている関係上、引出配線J3の凹凸パターンの上に接着領域J5を形成せざるを得ない。これは、従来例の有機ELパネルに限られることではなく、前述した各種の封止型表示パネルでも、同様に引出配線の凹凸パターンの上に接着領域を形成する構造が必要になっている。 In the conventional example described above, it is possible to prevent inclination of the sealing member J4 to a uniform thickness of the adhesive layer J5 1. However, as shown in FIG. 1C, because the lead-out wiring J3 is drawn across the adhesion region J5, the adhesion region J5 has to be formed on the concavo-convex pattern of the lead-out wiring J3. This is not limited to the conventional organic EL panel, and the above-described various sealing display panels also require a structure in which an adhesive region is formed on the concave / convex pattern of the lead wiring.

そして、このような引出配線の構造では、図2に示すような、気泡による気密性低下の問題が懸念されている。すなわち、引出配線J3の凹凸パターンの上に接着剤層J5を形成すると、パネル形成時の周辺圧力変化等の影響を受けて接着剤層J5に含まれる微細な気泡pが引出配線J3と支持基板J1との角部に集まる現象が生じる。このように引出配線J3と支持基板J1との角部に気泡pが集束されると、引出配線J3に沿った連続的な気泡の線が形成されることになり、引出配線J3が接着領域を横断していることから、この気泡の線が実質的に接着領域の幅を狭める状態を作ってしまう。 In such a lead wiring structure, there is a concern about the problem of airtightness deterioration due to bubbles as shown in FIG. That is, when forming the adhesive layer J5 1 on the uneven pattern of the lead wire J3, fine bubbles p contained in the adhesive layer J5 1 under the influence of the ambient pressure changes or the like at the time of panel formation the lead wiring J3 A phenomenon of gathering at the corner with the support substrate J1 occurs. When the bubbles p are thus focused on the corners of the lead-out wiring J3 and the support substrate J1, a continuous bubble line along the lead-out wiring J3 is formed, and the lead-out wiring J3 forms an adhesive region. Since they are traversing, this bubble line creates a condition that substantially narrows the width of the bonded area.

これによって、従来の引出配線構造を有する封止型表示パネルにおいては、特に封止部内外で圧力差がある場合などは、前述した気泡の影響で接着領域の幅が実質的に狭まったところで封止の破断が生じてしまい、封止部における有効な気密性が得られない状態になるという問題があった。   As a result, in a sealed display panel having a conventional lead-out wiring structure, particularly when there is a pressure difference between the inside and outside of the sealed portion, sealing is performed when the width of the adhesive region is substantially narrowed due to the above-described bubbles. There is a problem in that the breakage of the stop occurs, and effective airtightness in the sealing portion cannot be obtained.

特に、有機ELパネルにおいては、封止部の気密性が低下すると表示部を形成する有機EL素子の性能劣化が進行することになるので、パネル寿命や表示性能が低下するという問題があった。   In particular, in the organic EL panel, when the hermeticity of the sealing portion is lowered, the performance deterioration of the organic EL element forming the display portion is advanced, so that there is a problem that the panel life and the display performance are lowered.

本発明は、このような問題に対処することを課題の一例とするものである。すなわち、封止型表示パネルにおいて、表示部が形成される封止部の気密性を確保し、良好な表示性能の維持を図ることが本発明の目的である。   This invention makes it an example of a subject to cope with such a problem. That is, in the sealing type display panel, it is an object of the present invention to ensure the airtightness of the sealing portion where the display portion is formed and to maintain good display performance.

このような目的を達成するために、本発明は、以下の各独立請求項に係る構成を少なくとも具備するものである。   In order to achieve such an object, the present invention comprises at least the configurations according to the following independent claims.

[請求項1]支持基板上に形成された表示部を外気から遮断する封止部を備え、前記表示部から前記封止部外に引き出される引出配線が前記支持基板上に配線された封止型表示パネルにおいて、少なくとも前記封止部の接着領域に対応する前記引出配線上に、該引出配線の凹凸パターンを平坦化する平坦化層を設けたことを特徴とする封止型表示パネル。   [Claim 1] Sealing provided with a sealing portion for blocking a display portion formed on a support substrate from outside air, and a lead-out wiring led out of the sealing portion from the display portion is wired on the support substrate In the type display panel, a flattening layer for flattening the concavo-convex pattern of the lead-out wiring is provided on at least the lead-out wiring corresponding to the adhesion region of the sealing portion.

[請求項4]封止部によって封止される表示部を備えると共に、該表示部から前記封止部外に引き出される引出配線が配線された封止型表示パネル基板であって、少なくとも前記封止部の接着領域に対応する前記引出配線上に、該引出配線の凹凸パターンを平坦化する平坦化層を設けたことを特徴とする封止型表示パネル基板。   [Claim 4] A sealed display panel substrate comprising a display unit sealed by a sealing unit and wired with a lead-out line led out from the display unit to the outside of the sealing unit. A sealing type display panel substrate, wherein a flattening layer for flattening the concave-convex pattern of the lead-out wiring is provided on the lead-out wiring corresponding to the adhesion region of the stopper.

[請求項5]支持基板上に形成された表示部を外気から遮断する封止部を備え、前記表示部から前記封止部外に引き出される引出配線が前記支持基板上に配線された封止型表示パネルの形成方法において、前記支持基板上に前記引出配線を形成する工程と、前記表示部に形成される絶縁膜と同時に、少なくとも前記封止部の接着領域に対応する前記引出配線上に、該引出配線の凹凸パターンを平坦化する平坦化層を形成する工程とを有することを特徴とする封止型表示パネルの形成方法。   [Claim 5] A sealing device comprising a sealing portion that shields a display portion formed on a support substrate from outside air, and a lead-out wiring led out from the sealing portion from the display portion is wired on the support substrate. In the method for forming a mold-type display panel, at the same time as the step of forming the lead-out wiring on the support substrate and the insulating film formed on the display portion, at least on the lead-out wiring corresponding to the adhesion region of the sealing portion And a step of forming a flattening layer for flattening the concavo-convex pattern of the lead-out wiring.

以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図3は本発明の一実施形態に係る封止型表示パネルの構成を示す説明図である。この封止型表示パネル1は、支持基板11(封止型表示パネル基板10)上に形成された表示部1Aを外気から遮断する封止部を備え、表示部1Aから封止部外に引き出される引出配線12が支持基板11上に配線されたものを前提としている。ここで図示の例では、封止部は接着領域15を介して封止部材14を支持基板11に貼り合わせて形成しているが、これに限らず、支持基板11上に形成される表示部1Aを外気から遮断することができる構造であればよい。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration of a sealed display panel according to an embodiment of the present invention. The sealed display panel 1 includes a sealed portion that shields the display portion 1A formed on the support substrate 11 (sealed display panel substrate 10) from outside air, and is drawn out of the sealed portion from the display portion 1A. It is assumed that the extracted wiring 12 is wired on the support substrate 11. In the example shown here, the sealing portion is formed by bonding the sealing member 14 to the support substrate 11 via the adhesive region 15, but the display portion is not limited to this and is formed on the support substrate 11. Any structure that can block 1A from outside air may be used.

図4は、図1におけるA部の拡大断面を示したものである。図示のように、本発明の実施形態に係る封止型表示パネル1は、少なくとも前記封止部の接着領域15に対応する引出配線12上に、引出配線12の凹凸パターンを平坦化する平坦化層13を設けた構造になっている。すなわち、接着領域15に対応する引出配線12上には平坦化層13が形成され、その平坦化層13の上に接着領域15を形成する接着剤層15Aが形成され、その接着剤層15Aによって支持基板11と封止部材14との貼り合わせがなされている。   FIG. 4 shows an enlarged cross section of a portion A in FIG. As shown in the figure, the sealed display panel 1 according to the embodiment of the present invention is flattened so as to flatten the concave / convex pattern of the lead-out wiring 12 on at least the lead-out wiring 12 corresponding to the adhesion region 15 of the sealing portion. The layer 13 is provided. That is, the planarization layer 13 is formed on the lead-out wiring 12 corresponding to the adhesion region 15, and the adhesive layer 15A that forms the adhesion region 15 is formed on the planarization layer 13, and the adhesive layer 15A The support substrate 11 and the sealing member 14 are bonded together.

また、必要に応じて、平坦化層13の表面には研磨処理による被研磨表面13Aが形成され、その被研磨表面13Aの上に接着領域15の接着剤層15Aが形成されている。   If necessary, a surface 13A to be polished by a polishing process is formed on the surface of the planarizing layer 13, and an adhesive layer 15A of an adhesive region 15 is formed on the surface 13A to be polished.

したがって、前述の封止型表示パネル基板10に着目してその構成を示すと、封止部によって封止される表示部1Aを備えると共に、表示部1Aから封止部外に引き出される引出配線12が配線された基板であって、少なくとも前記封止部の接着領域15に対応する引出配線12上に、該引出配線12の凹凸パターンを平坦化する平坦化層13を設けたものである。   Therefore, when the configuration is shown by paying attention to the above-described sealing type display panel substrate 10, the display portion 1A sealed by the sealing portion is provided, and the lead-out wiring 12 drawn out of the sealing portion from the display portion 1A. Is a substrate on which is provided a flattening layer 13 for flattening the concavo-convex pattern of the lead-out wiring 12 on at least the lead-out wiring 12 corresponding to the adhesion region 15 of the sealing portion.

このような実施形態に係る封止型表示パネル1或いは封止型表示パネル基板10によると、平坦化層13の表面に接着剤層15Aによる接着領域15を形成するので、接着領域15内には引出配線12の凹凸パターンが入り込むことがない。したがって、接着剤層15Aに微細な気泡が存在したとしても、これが線状に集束するようなことはなく、接着領域15が形成された幅に応じた良好な気密性を確保することができる。   According to the sealed display panel 1 or the sealed display panel substrate 10 according to such an embodiment, the adhesive region 15A formed by the adhesive layer 15A is formed on the surface of the planarizing layer 13, so The concave / convex pattern of the lead-out wiring 12 does not enter. Therefore, even if fine bubbles are present in the adhesive layer 15A, they do not converge linearly, and good airtightness corresponding to the width in which the adhesive region 15 is formed can be ensured.

ここで、言うまでもないが、平坦化層13には気泡の生じない材料を選択し、しかも引出配線12を覆うものであるから当然に絶縁性を有する材料を選択する必要がある。また、その表面に接着剤層15Aを形成することを考えると、接着剤との接着性に優れた材料を選択することが望ましい。以上の観点からして、SiN,SiO等の絶縁性材料を適正な材料として挙げることができる。 Here, it goes without saying that it is necessary to select a material that does not generate bubbles for the planarizing layer 13 and to cover the lead-out wiring 12, so that an insulating material is naturally selected. Further, considering the formation of the adhesive layer 15A on the surface, it is desirable to select a material having excellent adhesiveness with the adhesive. From the above viewpoint, insulating materials such as SiN and SiO 2 can be cited as appropriate materials.

図5は、このような封止型表示パネルの形成方法を示す説明図である(以下の説明で示す封止型表示パネルにおける各部の符号は、図3又は図4に基づくものである。)。先ず、支持基板11に対して、洗浄、研磨、コーティング等の前処理を施す準備工程(S1)がなされ、この支持基板11に対して、表示部1Aにおける電極形成と引出配線12の形成(成膜及びパターニング)がなされる(S2)。引出配線12の形成は、表示部1Aの電極形成と同時に行うことができる。   FIG. 5 is an explanatory view showing a method for forming such a sealed display panel (the reference numerals of the respective parts in the sealed display panel shown in the following description are based on FIG. 3 or FIG. 4). . First, a preparatory step (S1) is performed on the support substrate 11 to perform pre-processing such as cleaning, polishing, and coating. Film and patterning) are performed (S2). The lead-out wiring 12 can be formed simultaneously with the electrode formation of the display portion 1A.

次に、電極及び引出配線12が形成された支持基板11に対して、表示部1Aにおける絶縁膜と前述した平坦化層13の形成(成膜及びパターニング)がなされる(S3)。ここでいう絶縁膜とは、表示部1Aにおける表示単位を区画する等の目的で形成され、表示部1A内で独立に配置されるべき電極間を絶縁する機能を有するものであって、各封止型パネルの種類に応じて様々な形態を有するものである。平坦化層13は、前述したように絶縁性を有する材料を選択する必要があるが、表示部1Aに形成される絶縁膜と同材料で、同時に形成することで、工程数を増やすことなく有効な平坦化層13を形成することができる。   Next, the insulating film in the display portion 1A and the above-described planarization layer 13 are formed (film formation and patterning) on the support substrate 11 on which the electrodes and the lead wirings 12 are formed (S3). The insulating film here is formed for the purpose of partitioning the display unit in the display unit 1A, etc., and has a function of insulating electrodes that should be arranged independently in the display unit 1A. It has various forms depending on the type of the stationary panel. As described above, it is necessary to select a material having an insulating property for the planarizing layer 13, but it is effective without increasing the number of steps by simultaneously forming the same material as the insulating film formed on the display portion 1 </ b> A. A smooth planarizing layer 13 can be formed.

その後は、表示部1Aの他要素を随時形成して(S4)、更にその後に表示部1Aを外気から遮断する封止部を形成する(S5)。封止部の形成は、前述したように平坦化層13等の上に接着領域15を形成して、支持基板11と封止部材14との貼り合わせによってなされる。   Thereafter, other elements of the display unit 1A are formed as needed (S4), and then a sealing unit for blocking the display unit 1A from outside air is formed (S5). As described above, the sealing portion is formed by bonding the support substrate 11 and the sealing member 14 by forming the adhesion region 15 on the planarizing layer 13 or the like.

このような封止型表示パネル1の形成方法によると、従来の封止型表示パネルの形成工程に特に工程追加を行うことなく、平坦化層13を形成することができ、良好な封止部の気密性を確保できる封止型表示パネル1を得ることができる。   According to such a method for forming the sealed display panel 1, the planarization layer 13 can be formed without any particular process addition to the conventional process for forming the sealed display panel. It is possible to obtain the sealed display panel 1 that can ensure the airtightness of the display.

以下、本発明の封止型表示パネルの具体的な実施例を、有機ELパネルを例にして説明する。しかしながら、本発明の実施形態としてはこれに限るものではなく、各種の封止型表示パネルが対象になり得る。   Hereinafter, specific examples of the sealed display panel of the present invention will be described using an organic EL panel as an example. However, the embodiment of the present invention is not limited to this, and various sealed display panels can be targeted.

図6及び図7は、本発明の実施例である有機ELパネルの構造を示す説明図である(図6は図7におけるA−A断面図を示しており、図7は図6におけるA−A断面図を示している。)。この有機ELパネル100は、複数の有機EL素子20によって前述した表示部を形成したものを示しているが、これに限らず単数の有機EL素子によって表示部が形成されるものであってもよい。また、ここでは、前述した封止部は、支持基板11に接着領域15を介して封止部材14を貼り合わせることによって形成している。 6 and 7 are explanatory views showing the structure of the organic EL panel which is an embodiment of the present invention (FIG. 6 shows a cross-sectional view taken along line A 2 -A 2 in FIG. 7, and FIG. 7 shows the structure in FIG. A 1 -A 1 sectional view is shown.) Although this organic EL panel 100 shows what formed the display part mentioned above by the some organic EL element 20, not only this but a display part may be formed by a single organic EL element. . Here, the above-described sealing portion is formed by bonding the sealing member 14 to the support substrate 11 via the adhesive region 15.

図に基づいて更に詳細に説明すると、有機ELパネル100の基本構成は、下部電極21と上部電極22との間に有機発光機能層を含む有機材料層23を挟持して支持基板11(封止型表示パネル基板10)上に複数の有機EL素子20を形成したものであり、この例では、支持基板11上にシリコン被覆層11aを形成し、その上に形成される下部電極21をITO等の透明電極からなる陽極に設定し、上部電極22をAl等の金属材料からなる陰極に設定して、支持基板11側から光を取り出すボトムエミッション方式を構成している。   The basic structure of the organic EL panel 100 will be described in more detail with reference to the drawings. An organic material layer 23 including an organic light emitting functional layer is sandwiched between a lower electrode 21 and an upper electrode 22 to support the substrate 11 (sealing). A plurality of organic EL elements 20 are formed on a type display panel substrate 10). In this example, a silicon coating layer 11a is formed on a support substrate 11, and a lower electrode 21 formed thereon is made of ITO or the like. The bottom electrode system is configured so that light is extracted from the support substrate 11 side by setting the upper electrode 22 as a cathode made of a metal material such as Al.

また、有機材料層23としては、正孔輸送層23A,発光層23B,電子輸送層23Cの3層構造の例を示している。そして、支持基板11と封止部材14とを接着領域15の接着剤層15Aを介して貼り合わせることによって封止空間Mを形成し、封止空間M内に有機EL素子20からなる表示部を形成している。   As the organic material layer 23, an example of a three-layer structure of a hole transport layer 23A, a light emitting layer 23B, and an electron transport layer 23C is shown. And the sealing space M is formed by bonding the support substrate 11 and the sealing member 14 through the adhesive layer 15 </ b> A of the bonding region 15, and the display unit including the organic EL element 20 is formed in the sealing space M. Forming.

有機EL素子20からなる表示部は、この例では、下部電極21を絶縁膜24で区画すると共に、上部電極22を陰極隔壁25によって絶縁区画しており、区画された下部電極21の下に各有機EL素子20による単位表示領域(20R,20G,20B)を形成している。また、封止空間Mを形成する封止部材14の内面には乾燥手段26が取り付けられて、湿気による有機EL素子20の劣化を防止している。   In this example, the display unit composed of the organic EL element 20 has the lower electrode 21 partitioned by an insulating film 24 and the upper electrode 22 insulated by a cathode partition wall 25. Unit display areas (20R, 20G, 20B) are formed by the organic EL element 20. Further, a drying means 26 is attached to the inner surface of the sealing member 14 that forms the sealing space M to prevent the deterioration of the organic EL element 20 due to moisture.

ここで、図6は陰極となる上部電極22の引出配線を示している。上部電極22の引出配線12には、下部電極21と同材料,同工程で形成される第2の配線層12bが下部電極21とは絶縁膜24で絶縁された状態でパターン形成されている。第2の配線層12bの引出部分には、銀パラジウム(AgPd)合金等を含む低抵抗配線を形成する第1の配線層12aが形成されて、第2の配線層12b,第1の電極層12aからなる引出配線配12が形成されている。そして、封止空間M内端部で上部電極22の端部22aが引出配線12に接続されている。 Here, FIG. 6 shows the lead-out wiring of the upper electrode 22 serving as the cathode. The lead-out wiring 12 1 of the upper electrode 22, the same material as the lower electrode 21, the second wiring layer 12 1 b formed in the same step as the lower electrode 21 is patterned in a state of being insulated by the insulating film 24 ing. The pulled-out portion of the second wiring layer 12 1 b, silver palladium (AgPd) is formed a first wiring layer 12 1 a which forms a low-resistance wiring comprising alloy, the second wiring layer 12 1 b The lead wiring arrangement 12 1 made of the first electrode layer 12 1 a is formed. The end portion 22a of the upper electrode 22 is connected to the lead wiring 12 1 in the sealing space M ends.

一方、図7は陽極となる下部電極21の引出配線を示している。下部電極21の引出配線12では、下部電極21を延出して封止空間M外に引き出すことによって引出配線12を形成している。 On the other hand, FIG. 7 shows the lead-out wiring of the lower electrode 21 serving as the anode. In the lead wirings 12 2 of the lower electrode 21, to form a lead wire 12 2 by drawing out sealing space M extending the lower electrode 21.

そして、本発明の実施例に係る有機ELパネル100においては、支持基板11と封止部材14との貼り合わせを行う接着領域15に対応する引出配線12,12上に、この引出配線12,12の凹凸パターンを平坦化する平坦化層13が形成されている。 In the organic EL panel 100 according to the embodiment of the present invention, the lead-out wiring 12 is formed on the lead-out wirings 12 1 and 12 2 corresponding to the adhesion region 15 where the support substrate 11 and the sealing member 14 are bonded. 1, 12 planarizing layer 13 for planarizing the uneven pattern 2 is formed.

このような本発明の実施例に係る有機ELパネル100によると、前述したように、平坦化層13の表面に接着剤層15Aによる接着領域15を形成するので、接着領域15内には引出配線12,12の凹凸パターンが入り込むことがない。したがって、接着剤層15Aに微細な気泡が存在したとしても、これが線状に集束するようなことはなく、接着領域15が形成された幅に応じた良好な気密性を確保することができる。そして、封止空間M内の気密性確保によって、有機EL素子20の性能劣化を有効に防止することができるので、有機ELパネルの長寿命化及び高性能化を得ることが可能になる。 According to the organic EL panel 100 according to the embodiment of the present invention, as described above, the adhesive region 15A formed by the adhesive layer 15A is formed on the surface of the planarizing layer 13, so that the extraction wiring is provided in the adhesive region 15. The uneven pattern of 12 1 , 12 2 does not enter. Therefore, even if fine bubbles are present in the adhesive layer 15A, they do not converge linearly, and good airtightness corresponding to the width in which the adhesive region 15 is formed can be ensured. And since the performance deterioration of the organic EL element 20 can be effectively prevented by ensuring the airtightness in the sealed space M, it is possible to obtain a long life and high performance of the organic EL panel.

図8は、本発明の実施例に係る有機ELパネル100の形成方法を説明する説明図である。先ず、前述したような支持基板準備工程(S11)がなされ、その支持基板11上に、ITO等の下部電極21及び引出配線12,12が形成される(S12)。必要に応じて、従来技術で示したダミーパターンを同時に形成することもできる。これらの形成は、構成材料をスパッタリング等の方法で薄膜として形成し、フォトリソグラフィ等によって所望のパターンにパターニングする。 FIG. 8 is an explanatory diagram illustrating a method for forming the organic EL panel 100 according to an embodiment of the present invention. First, the support substrate preparation step (S11) as described above is performed, and the lower electrode 21 such as ITO and the lead-out wirings 12 1 and 12 2 are formed on the support substrate 11 (S12). If necessary, the dummy pattern shown in the prior art can be formed at the same time. In these formations, the constituent material is formed as a thin film by a method such as sputtering, and is patterned into a desired pattern by photolithography or the like.

次に、下部電極21と引出配線12,12(必要に応じて、ダミーパターン)が形成された支持基板11上に、スピンコート法等の成膜方法で、SiN,SiO,ポリイミド等の絶縁材料の膜を所定の塗布厚となるように成膜して、絶縁膜24及び平坦化層13のパターニングを行う(S13)。この際のパターニングもフォトリソグラフィにより、露光マスクを用いて露光処理を行い、その後現像処理を行って所望のパターンを得ることができる。絶縁膜24は、下部電極21上に単位表示領域(20R,20G,20B)が開口し且つ電極間が絶縁されるような多数の井桁状パターンに形成され、平坦化層13は接着領域15に応じたパターンが形成される。また、必要に応じて、平坦化層13の表面に研磨処理が施された被研磨表面が形成される。 Next, SiN, SiO 2 , polyimide, or the like is formed on the support substrate 11 on which the lower electrode 21 and the lead wires 12 1 and 12 2 (dummy patterns as necessary) are formed by a film forming method such as a spin coat method. A film of the insulating material is formed to have a predetermined coating thickness, and the insulating film 24 and the planarizing layer 13 are patterned (S13). The patterning at this time can also be performed by photolithography using an exposure mask, followed by development processing to obtain a desired pattern. The insulating film 24 is formed in a number of grid patterns such that the unit display regions (20R, 20G, 20B) are opened on the lower electrode 21 and the electrodes are insulated, and the planarizing layer 13 is formed on the bonding region 15. A corresponding pattern is formed. In addition, a surface to be polished is formed on the surface of the planarizing layer 13 as necessary.

図6又は図7の例では陰極隔壁25を絶縁膜24上に形成しているが、これは以後の工程によっては省略することもできる。この陰極隔壁25は、隣り合う上部電極22の各ラインを電気的に絶縁するため、或いはシャドーマスクとして機能するため等の目的で形成されるものであり、好ましくは逆台形状の断面を有するように形成されるのが好ましい。そして、上部電極22を形成する際に別途シャドーマスク等でパターニングする場合には、特に陰極隔壁25を設けなくてもよい。   In the example of FIG. 6 or FIG. 7, the cathode partition 25 is formed on the insulating film 24, but this may be omitted depending on the subsequent steps. The cathode barrier 25 is formed for the purpose of electrically insulating each line of the adjacent upper electrode 22 or functioning as a shadow mask, and preferably has an inverted trapezoidal cross section. Is preferably formed. When the upper electrode 22 is formed, when the patterning is separately performed with a shadow mask or the like, the cathode partition wall 25 is not particularly required.

その次には、下部電極21上に有機材料層23を形成する(S14)。この有機材料層23は、スピンコーティング法,ディッピング法等の塗布法、或いはスクリーン印刷法,インクジェット法等の印刷法等のウエットプロセス、又は、蒸着法、レーザ転写法等のドライプロセスで形成することができる。   Next, an organic material layer 23 is formed on the lower electrode 21 (S14). The organic material layer 23 is formed by a wet process such as a coating method such as a spin coating method or a dipping method, a printing method such as a screen printing method or an ink jet method, or a dry process such as a vapor deposition method or a laser transfer method. Can do.

一例としては、正孔輸送層23A,発光層23B,電子輸送層23Cの各層をそれぞれの材料で蒸着にて順次積層する。この際に、発光層23Bの形成に際しては、成膜用マスクを使用し、複数の発光色に合わせて材料の塗り分けを行う。この塗り分けに際しては、RGB3色の発光を呈する各有機材料若しくは複数の有機材料を組み合わせたものを、RGBに該当する各単位表示領域に塗り分ける。一箇所の単位表示領域に対して2回以上同材料にて成膜することで、単位表示領域に未成膜部分が形成されるのを防ぐことができる。   As an example, the hole transport layer 23A, the light emitting layer 23B, and the electron transport layer 23C are sequentially stacked by vapor deposition using respective materials. At this time, when forming the light emitting layer 23B, a film formation mask is used, and materials are separately applied in accordance with a plurality of light emission colors. In this color separation, each organic display material or a combination of a plurality of organic materials that emit light of three colors of RGB is separately applied to each unit display area corresponding to RGB. By forming a film with the same material twice or more in one unit display area, it is possible to prevent an undeposited part from being formed in the unit display area.

そして、形成された有機材料層23上に上部電極22を形成する(S15)。上部電極22は下部電極21に直交するようにストライプ状に形成され、ストライプ状に形成されている下部電極21との交差部分に、有機EL素子20がマトリクス状に形成される。この上部電極22は、陰極としての金属薄膜を蒸着やスパッタリング等の方法で成膜することによって形成される。   Then, the upper electrode 22 is formed on the formed organic material layer 23 (S15). The upper electrode 22 is formed in a stripe shape so as to be orthogonal to the lower electrode 21, and the organic EL elements 20 are formed in a matrix at intersections with the lower electrode 21 formed in the stripe shape. The upper electrode 22 is formed by forming a metal thin film as a cathode by a method such as vapor deposition or sputtering.

一方、これと平行して、封止部材14に対しては、封止部材14の加工や乾燥部材26の装備等の準備工程が実行される(S21)。また、封止部材14における接着領域15に対応する箇所に接着剤層15Aが形成される。貼り合わせ前の接着剤層15Aの形成は、このように封止部材14側に形成してもよいし、支持基板11側に形成してもよい。また、その両側に形成してもよい。接着剤層15Aを形成する接着剤としては、例えば、紫外線硬化型のエポキシ樹脂製接着剤を用いることができ、その接着剤に1〜300μmの粒径を有するスペーサ(ガラスやプラスチックのスペーサビーズが好ましい)を適量混合(0.1〜0.5重量%程)して、前述したように支持基板11側又は封止部材14側の少なくとも一方に、ディスペンサ等を用いて塗布する。   On the other hand, in parallel with this, a preparation process such as processing of the sealing member 14 and equipment of the drying member 26 is performed on the sealing member 14 (S21). Further, an adhesive layer 15 </ b> A is formed at a location corresponding to the adhesion region 15 in the sealing member 14. The adhesive layer 15A before bonding may be formed on the sealing member 14 side as described above, or may be formed on the support substrate 11 side. Moreover, you may form in the both sides. As an adhesive for forming the adhesive layer 15A, for example, an ultraviolet curable epoxy resin adhesive can be used, and a spacer having a particle diameter of 1 to 300 μm (glass or plastic spacer beads are used as the adhesive). A preferable amount is mixed (about 0.1 to 0.5% by weight) and applied to at least one of the support substrate 11 side and the sealing member 14 side using a dispenser or the like as described above.

その後は、前述の工程を経た支持基板11と封止部材14とを、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下で貼り合わせ、接着剤として紫外線硬化型のエポキシ樹脂製接着剤を用いた場合には、その接着剤に紫外線を支持基板11側又は封止部材14側から照射し、これを硬化させる。このようにして、支持基板11と封止部材14との間に形成される封止空間M内に不活性ガスを封じ込めた状態で有機EL素子20を封止する(S16)。その後は、多数パネルを同時形成するものでは切り出し工程が施され、その後必要な検査工程(S17)を経て、製品化された有機ELパネル100を得る。   Thereafter, the support substrate 11 and the sealing member 14 that have undergone the above-described steps are bonded together under an inert gas atmosphere such as argon, and when an ultraviolet curable epoxy resin adhesive is used as an adhesive, The adhesive is irradiated with ultraviolet rays from the support substrate 11 side or the sealing member 14 side to be cured. Thus, the organic EL element 20 is sealed in a state where the inert gas is sealed in the sealing space M formed between the support substrate 11 and the sealing member 14 (S16). Thereafter, in the case where a large number of panels are formed simultaneously, a cutting process is performed, and then a necessary inspection process (S17) is performed to obtain a commercialized organic EL panel 100.

以下に、本発明の実施例に係る有機ELパネル100の細部について、更に具体的に説明する。   Below, the detail of the organic electroluminescent panel 100 which concerns on the Example of this invention is demonstrated more concretely.

a.支持基板;
有機ELパネル100の支持基板11としては、ガラス,プラスチック,石英,金属等を採用することができる。支持基板11側から光を取り出す方式(ボトムエミッション方式)としては、透明性を有する平板状,フィルム状のもので、材質としては、ガラス又はプラスチック等を用いることが好ましい。
a. Support substrate;
As the support substrate 11 of the organic EL panel 100, glass, plastic, quartz, metal, or the like can be employed. As a method for extracting light from the support substrate 11 side (bottom emission method), it is preferable to use a transparent flat plate or film, and the material is preferably glass or plastic.

b.電極;
下部電極21,上部電極22は、一方が陰極側、他方が陽極側に設定される。陽極側は陰極側より仕事関数の高い材料で構成され、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)等の金属膜やITO、IZO等の酸化金属膜等の透明導電膜が用いられる。逆に陰極側は陽極側より仕事関数の低い材料で構成され、アルカリ金属(Li,Na,K,Rb,Cs)、アルカリ土類金属(Be,Mg,Ca,Sr,Ba)、希土類金属等、仕事関数の低い金属、その化合物、又はそれらを含む合金、ドープされたポリアニリンやドープされたポリフェニレンビニレン等の非晶質半導体、Cr、NiO、Mn等の酸化物を使用できる。また、下部電極21,上部電極22ともに透明な材料により構成した場合には、光の放出側と反対の電極側に反射膜を設けた構成にすることもできる。
b. electrode;
One of the lower electrode 21 and the upper electrode 22 is set on the cathode side, and the other is set on the anode side. The anode side is made of a material having a higher work function than the cathode side, and is transparent such as a metal film such as chromium (Cr), molybdenum (Mo), nickel (Ni), platinum (Pt), or a metal oxide film such as ITO or IZO. A conductive film is used. Conversely, the cathode side is made of a material having a lower work function than the anode side, such as alkali metals (Li, Na, K, Rb, Cs), alkaline earth metals (Be, Mg, Ca, Sr, Ba), rare earth metals, etc. , Metal having a low work function, a compound thereof, or an alloy containing them, amorphous semiconductors such as doped polyaniline and doped polyphenylene vinylene, and oxides such as Cr 2 O 3 , NiO, and Mn 2 O 5 are used. it can. Further, when both the lower electrode 21 and the upper electrode 22 are made of a transparent material, a configuration in which a reflective film is provided on the electrode side opposite to the light emission side can also be adopted.

c.引出配線;
引出配線12,12は、好ましくは低抵抗金属材料、APC,Ag−Pd合金,Cr,Al等が良い。実施例では、金属酸化物であるITO、IZOにより下部電極と同時に第1の配線層12aを形成して、その上に、AgやAg合金、Al、Cr等の低抵抗金属からなる第2の配線層12bを形成している。各層の形成は、スパッタリング等の方法で薄膜として形成し、フォトリソグラフィ法によりパターニングする。Ag等の保護層としてCu、Cr、Ta等の耐酸化性の高い材料を第2の配線層12bの上に積層して3層構造にすることもできる。
c. Lead wiring;
The lead wires 12 1 and 12 2 are preferably made of a low-resistance metal material, APC, Ag—Pd alloy, Cr, Al, or the like. In the embodiment, the first wiring layer 12 1 a is formed simultaneously with the lower electrode by ITO and IZO which are metal oxides, and the first wiring layer 12 1 a formed thereon is made of a low resistance metal such as Ag, Ag alloy, Al, Cr or the like. Two wiring layers 12 1 b are formed. Each layer is formed as a thin film by a method such as sputtering and patterned by a photolithography method. As a protective layer such as Ag, a material having high oxidation resistance such as Cu, Cr, or Ta can be laminated on the second wiring layer 12 1 b to form a three-layer structure.

d.有機材料層;
有機材料層23は、少なくとも有機EL発光機能層を有する単層又は多層の有機化合物材料層からなるが、層構成はどのように形成されていても良い。一般には、図6又は図7に示すように、陽極側から陰極側に向けて、正孔輸送層23A、発光層23B、電子輸送層23Cを積層させたものを用いることができるが、発光層23B、正孔輸送層23A、電子輸送層23Cはそれぞれ1層だけでなく複数層積層して設けても良く、正孔輸送層23A、電子輸送層23Cについてはどちらかの層を省略しても、両方の層を省略しても構わない。また、正孔注入層、電子注入層等の有機材料層を用途に応じて挿入することも可能である。正孔輸送層23A、発光層23B、電子輸送層23Cは従来の使用されている材料(高分子材料、低分子材料を問わない)を適宜選択して採用できる。また、発光層23Bを形成する発光材料においては、1重項励起状態から基底状態に戻る際の発光(蛍光)と3重項励起状態から基底状態に戻る際の発光(りん光)のどちらを採用しても良い。
d. Organic material layer;
The organic material layer 23 includes a single-layer or multilayer organic compound material layer having at least an organic EL light emitting functional layer, but the layer configuration may be formed in any manner. In general, as shown in FIG. 6 or FIG. 7, a layer in which a hole transport layer 23A, a light emitting layer 23B, and an electron transport layer 23C are laminated from the anode side to the cathode side can be used. 23B, the hole transport layer 23A, and the electron transport layer 23C may be provided not only as one layer but also as a plurality of layers, and either one of the hole transport layer 23A and the electron transport layer 23C may be omitted. Both layers may be omitted. It is also possible to insert an organic material layer such as a hole injection layer or an electron injection layer depending on the application. For the hole transport layer 23A, the light emitting layer 23B, and the electron transport layer 23C, a conventionally used material (regardless of a polymer material or a low molecular material) can be appropriately selected and employed. In the light emitting material forming the light emitting layer 23B, either the light emission (fluorescence) when returning from the singlet excited state to the ground state or the light emission (phosphorescence) when returning from the triplet excited state to the ground state. It may be adopted.

e.封止部材;
封止部材14は、金属製、ガラス製、プラスチック製等を採用することができる。また、ガラス製の封止部材にプレス成形、エッチング、ブラスト処理等の加工によって封止凹部(一段掘り込み、二段掘り込みを問わない)を形成したもの、或いは、平板ガラスを使用し、ガラス(プラスチックでも良い)製のスペーサにより支持基板11と封止空間Mを形成するもの等が採用される。
e. Sealing member;
The sealing member 14 can be made of metal, glass, plastic, or the like. Further, a glass sealing member in which a sealing recess (regardless of one-stage digging or two-stage digging) is formed by processing such as press molding, etching, blasting, or flat glass is used. What forms the support substrate 11 and the sealing space M with a spacer made of plastic (or plastic) may be employed.

f.接着剤;
接着剤層15Aを形成する接着剤は、熱硬化型、化学硬化型(2液混合)、光(紫外線)硬化型等を使用することができ、材料としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリオレフィン等を用いることができる。特には、紫外線硬化型のエポキシ樹脂製接着剤の使用が好ましい。
f. adhesive;
As the adhesive for forming the adhesive layer 15A, a thermosetting type, a chemical curing type (two-component mixing), a light (ultraviolet) curing type, or the like can be used. As materials, acrylic resin, epoxy resin, polyester, Polyolefin or the like can be used. In particular, it is preferable to use an ultraviolet curable epoxy resin adhesive.

g.乾燥部材;
乾燥部材26は、ゼオライト,シリカゲル,カーボン,カーボンナノチューブ等の物理的乾燥剤、アルカリ金属酸化物,金属ハロゲン化物,過酸化塩素等の化学的乾燥剤、有機金属錯体をトルエン,キシレン,脂肪族有機溶剤等の石油系溶媒に溶解した乾燥剤、乾燥剤粒子を透明性のポリエチレン,ポリイソプレン,ポリビニルシンナエート等のバインダに分散させた乾燥剤等を採用することができる。
g. Drying member;
The drying member 26 includes a physical desiccant such as zeolite, silica gel, carbon, and carbon nanotube, a chemical desiccant such as alkali metal oxide, metal halide, and chlorine peroxide, and an organometallic complex such as toluene, xylene, and aliphatic organic. A desiccant dissolved in a petroleum solvent such as a solvent, a desiccant in which desiccant particles are dispersed in a binder such as transparent polyethylene, polyisoprene, and polyvinyl cinnaate can be employed.

h.パネルの各種方式;
本発明の実施例に係る有機ELパネル100は、前述したような、ストライプ状の下部,上部電極を選択駆動するパッシブマトリクス型の表示パネルに換えて、TFT(Thin Film Transistor)により画素電極を駆動するアクティブマトリクス型の表示パネルを形成することもできる。また、単色表示であっても、多色表示であってもよいが、多色表示パネルを形成するためには、塗り分け方式、白色や青色等の単色の有機EL素子10にカラーフィルタや蛍光材料による色変換層を組み合わせた方式(CF方式、CCM方式)、単色の発光機能層の発光エリアに電磁波を照射する等して複数色発光を実現する方式(フォトブリーチング方式)、2色以上のサブピクセルを縦に積層して一つのピクセルを形成した方式(SOLED(transparent Stacked OLED方式)等により、フルカラー有機ELパネル、又はマルチカラー有機ELパネルを形成することができる。また、本発明の実施形態に係る有機ELパネル1としては、パネル基板側から光を取り出すボトムエミッション方式にすることもできるし、或いは、パネル基板とは逆側から光を取り出すトップエミッション方式にすることもできる。
h. Various types of panels;
In the organic EL panel 100 according to the embodiment of the present invention, the pixel electrode is driven by a TFT (Thin Film Transistor) instead of the passive matrix display panel that selectively drives the lower and upper stripe-shaped electrodes as described above. An active matrix display panel can be formed. In addition, a single color display or a multicolor display may be used, but in order to form a multicolor display panel, a color filter or a fluorescent filter is applied to a single color organic EL element 10 such as a white color or a blue color. A method that combines color conversion layers by materials (CF method, CCM method), a method that realizes multi-color light emission by irradiating electromagnetic waves to the light emitting area of a monochromatic light emitting functional layer (photo bleaching method), two or more colors A full color organic EL panel or a multicolor organic EL panel can be formed by a method (SOLED (transparent stacked OLED method), etc.) in which subpixels are vertically stacked to form one pixel. As the organic EL panel 1 according to the embodiment, a bottom emission method in which light is extracted from the panel substrate side or light from the opposite side to the panel substrate can be used. It can also be a top emission type which emit.

このような実施形態又は実施例によると、表示部1Aが形成される封止部の気密性を確保し、良好な表示性能の維持を図ることができる。また、形成方法に関しては、特に工程を追加することがないので、製造コストをアップさせることなく高品質の表示パネルを得ることができる。特に、有機ELパネルに関しては、確実な封止部の気密性確保によって、良好な表示性能を長時間維持することが可能になる。また、封止部材が金属の場合には、引出配線を覆う絶縁材料からなる平坦化層によって引出配線と封止部材のショートを防ぐことも可能である。   According to such an embodiment or example, it is possible to secure the airtightness of the sealing portion where the display portion 1A is formed and to maintain good display performance. In addition, with respect to the formation method, since no process is added, a high-quality display panel can be obtained without increasing the manufacturing cost. In particular, regarding an organic EL panel, it is possible to maintain good display performance for a long time by ensuring the airtightness of the reliable sealing portion. Further, when the sealing member is made of metal, it is possible to prevent a short circuit between the lead-out wiring and the sealing member by a planarizing layer made of an insulating material that covers the lead-out wiring.

従来技術の説明図である。It is explanatory drawing of a prior art. 従来技術の問題点を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the problem of a prior art. 本発明の実施形態に係る封止型表示パネルを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the sealing type display panel which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る封止型表示パネルの要部を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the principal part of the sealing type display panel which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る封止型表示パネルの形成方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the formation method of the sealing type display panel which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施例に係る有機ELパネルを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the organic electroluminescent panel which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係る有機ELパネルを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the organic electroluminescent panel which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係る有機ELパネルの形成方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the formation method of the organic electroluminescent panel which concerns on the Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 封止型表示パネル
10 封止型表示パネル基板
11 支持基板
12,12,12 引出配線
13 平坦化層
13A 被研磨表面
14 封止部材
15 接着領域
15A 接着剤層
20 有機EL素子
21 下部電極
22 上部電極
23 有機材料層
24 絶縁膜
25 陰極隔壁
26 乾燥部材
M 封止空間
1 sealed display panel 10 sealed display panel substrate 11 supporting substrate 12, 12 1, 12 2 lead wirings 13 planarization layer 13A polished surface 14 sealing member 15 bonded region 15A adhesive layer 20 organic EL element 21 lower Electrode 22 Upper electrode 23 Organic material layer 24 Insulating film 25 Cathode partition 26 Drying member M Sealing space

Claims (6)

支持基板上に形成された表示部を外気から遮断する封止部を備え、前記表示部から前記封止部外に引き出される引出配線が前記支持基板上に配線された封止型表示パネルにおいて、
少なくとも前記封止部の接着領域に対応する前記引出配線上に、該引出配線の凹凸パターンを平坦化する平坦化層を設けたことを特徴とする封止型表示パネル。
In a sealed display panel comprising a sealing portion that shields the display portion formed on the support substrate from outside air, and a lead-out wiring led out from the sealing portion from the display portion is wired on the support substrate.
A sealing type display panel, wherein a flattening layer for flattening the concave-convex pattern of the lead-out wiring is provided on at least the lead-out wiring corresponding to the adhesion region of the sealing portion.
前記平坦化層は被研磨表面を有し、該被研磨表面上に前記接着領域が形成されることを特徴とする請求項1に記載された封止型表示パネル。   The sealed display panel according to claim 1, wherein the planarizing layer has a surface to be polished, and the adhesion region is formed on the surface to be polished. 前記表示部が単数又は複数の有機EL素子によって形成され、前記封止部は、前記支持基板上に前記接着領域を介して封止部材を貼り合わせることによって形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載された封止型表示パネル。   The display unit is formed of one or a plurality of organic EL elements, and the sealing unit is formed by bonding a sealing member on the support substrate via the adhesive region. The sealed display panel described in 1 or 2. 封止部によって封止される表示部を備えると共に、該表示部から前記封止部外に引き出される引出配線が配線された封止型表示パネル基板であって、
少なくとも前記封止部の接着領域に対応する前記引出配線上に、該引出配線の凹凸パターンを平坦化する平坦化層を設けたことを特徴とする封止型表示パネル基板。
A sealing type display panel substrate provided with a display portion sealed by a sealing portion and wired with a lead-out wiring led out from the sealing portion from the display portion,
A sealing type display panel substrate, wherein a flattening layer for flattening the concave-convex pattern of the lead-out wiring is provided on at least the lead-out wiring corresponding to the adhesion region of the sealing portion.
支持基板上に形成された表示部を外気から遮断する封止部を備え、前記表示部から前記封止部外に引き出される引出配線が前記支持基板上に配線された封止型表示パネルの形成方法において、
前記支持基板上に前記引出配線を形成する工程と、
前記表示部に形成される絶縁膜と同時に、少なくとも前記封止部の接着領域に対応する前記引出配線上に、該引出配線の凹凸パターンを平坦化する平坦化層を形成する工程とを有することを特徴とする封止型表示パネルの形成方法。
Forming a sealed display panel comprising a sealing portion that shields a display portion formed on a support substrate from outside air, and a lead-out wiring led out from the display portion to the outside of the sealing portion is wired on the support substrate In the method
Forming the lead wiring on the support substrate;
And a step of forming a flattening layer for flattening the concavo-convex pattern of the lead wiring on at least the lead wiring corresponding to the adhesion region of the sealing portion simultaneously with the insulating film formed on the display portion. A method for forming a sealed display panel.
前記平坦化層の表面を研磨する工程と、該平坦化層の被研磨表面上に前記接着領域を形成する工程とを更に有することを特徴とする請求項5に記載された封止型表示パネルの形成方法。   6. The sealed display panel according to claim 5, further comprising a step of polishing a surface of the planarizing layer and a step of forming the adhesion region on a surface to be polished of the planarizing layer. Forming method.
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