JP2005250354A - Electrophoresis display device and its manufacturing method - Google Patents

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JP2005250354A JP2004064106A JP2004064106A JP2005250354A JP 2005250354 A JP2005250354 A JP 2005250354A JP 2004064106 A JP2004064106 A JP 2004064106A JP 2004064106 A JP2004064106 A JP 2004064106A JP 2005250354 A JP2005250354 A JP 2005250354A
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励 長谷川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for easily manufacturing an electrophoresis display device having superior reliability and display characteristics and an electrophoresis display device manufactured by using the same method. <P>SOLUTION: Disclosed is the electrophoresis display device equipped with 1st and 2nd substrates arranged opposite each other, partition walls provided between those substrates to surround small areas in a lattice shape, insulating liquid provided between the 1st and 2nd substrates, a plurality of charged particles dispersed in the insulating liquid, a 1st electrode provided corresponding to respective pixels, a 2nd electrode provided on the 1st or 2nd substrate corresponding to the respective pixels, and a driving means of applying a voltage to the 1st and 2nd electrodes, the partition walls having a 1st structure having holes in at least portions of two opposite sides and sectioning the respective small areas and a 2nd structure provided closing the holes. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電気泳動表示装置およびその製造方法に関する。   The present invention relates to an electrophoretic display device and a method for manufacturing the same.

近年、情報携帯端末が急速に発展し、低消費電力、軽量、薄型の表示装置のニーズが高
まってきている。現状では、情報携帯端末のディスプレイとして反射型液晶表示装置が広
く用いられている。しかし、反射型液晶表示装置は偏光板を使用するため光の利用効率が
低く、使用環境によっては十分な明るさが得られず、表示の視認性が悪い場合がある。
In recent years, portable information terminals have been rapidly developed, and the need for low power consumption, light weight, and thin display devices is increasing. At present, reflection type liquid crystal display devices are widely used as displays of portable information terminals. However, since the reflective liquid crystal display device uses a polarizing plate, the light use efficiency is low, and sufficient brightness cannot be obtained depending on the use environment, and the display visibility may be poor.

偏光板を使用せずに明るい反射型ディスプレイが得られる方式として、電気泳動表示装
置が知られている。この装置は、透明電極を形成した一対の基板の間に、分散液を挟んだ
構造を持っている。分散液は、帯電した粒子(帯電粒子)と、色素を溶解することで着色
した絶縁性液体等からなる。透明電極を介して分散液に電圧を印加すると、電荷を有する
帯電粒子はその電荷とは逆の極性の電極へ移動する。観測者側の電極に帯電粒子が集まる
と、帯電粒子の色が表示される。一方、観測者側と反対の電極に帯電粒子が集まると、絶
縁性液体の色を観測者は視認することになる。すなわち、帯電粒子と絶縁性液体の色の差
によって表示が行われる。
An electrophoretic display device is known as a method for obtaining a bright reflective display without using a polarizing plate. This apparatus has a structure in which a dispersion liquid is sandwiched between a pair of substrates on which transparent electrodes are formed. The dispersion liquid is composed of charged particles (charged particles), an insulating liquid colored by dissolving a pigment, and the like. When a voltage is applied to the dispersion through the transparent electrode, charged particles having a charge move to an electrode having a polarity opposite to that of the charge. When charged particles gather on the observer side electrode, the color of the charged particles is displayed. On the other hand, when charged particles gather on the electrode opposite to the observer side, the observer visually recognizes the color of the insulating liquid. That is, the display is performed by the difference in color between the charged particles and the insulating liquid.

電気泳動表示装置において、画素の周辺部などに隔壁を設けて分散液を小区域に分割す
ることは、画素間の粒子の移動防止に有効である。つまり、各々の画素(小区域)の周辺
部に隔壁を形成すれば、隣り合った画素間での分散液の対流による帯電粒子の移動がなく
なり、保持性に優れた表示装置を作ることができるのである。しかし、隔壁を設けると、
分散液の層を基板間に形成する際、液晶表示装置でよく行われているような注入法、すな
わち基板の端に注入口を設けてそこから毛細管現象を利用して分散液を注入する方法が困
難となる。隔壁を有する電気泳動表示装置に分散液を封入する方法としては、以下の方法
が提案されている。
In the electrophoretic display device, it is effective to prevent the movement of particles between pixels by providing partition walls around the pixels to divide the dispersion into small areas. In other words, if a partition wall is formed in the periphery of each pixel (small area), there is no movement of charged particles due to convection of the dispersion liquid between adjacent pixels, and a display device with excellent retention can be made. It is. However, when a partition is provided,
When forming a dispersion layer between substrates, an injection method that is often used in liquid crystal display devices, that is, a method of injecting a dispersion liquid by using a capillary phenomenon from an injection port provided at the edge of the substrate. It becomes difficult. The following methods have been proposed as a method for enclosing the dispersion in the electrophoretic display device having the partition walls.

1つは、各画素周辺部に隔壁(土手部)を設け、吐出装置を用いて種々の色の分散液を
各々の画素に入れることで、多色表示を可能にする方法である(例えば、特許文献1参照
)。この吐出装置とはインクジェット・プリンターに用いられるインクジェット装置と同
様のもので、分散液を隔壁で隔てられた各画素に入れることができる。しかしながら、こ
のインクジェット装置を用いる方法では、分散液の吐出工程に長時間を要するという問題
がある。例えば、100万画素の電気泳動表示装置に10本のノズルをもつインクジェッ
ト装置で分散液を吐出するには、所望の画素上へのノズルの位置を合わせ、分散液の吐出
、ノズルの移動という操作を10万回も繰り返す必要がある。したがって、量産性が低い
One is a method that enables multicolor display by providing a partition wall (bank portion) around each pixel and putting a dispersion liquid of various colors into each pixel using an ejection device (for example, Patent Document 1). This discharge device is the same as the ink jet device used in the ink jet printer, and the dispersion liquid can be put into each pixel separated by a partition wall. However, this method using an ink jet apparatus has a problem that it takes a long time to discharge the dispersion. For example, in order to discharge a dispersion liquid with an inkjet apparatus having 10 nozzles on an electrophoretic display device with 1 million pixels, operations of aligning the nozzles on the desired pixels, discharging the dispersion liquid, and moving the nozzles are performed. Must be repeated 100,000 times. Therefore, mass productivity is low.

また、隔壁上に接着層を用いて流路を形成し、液体分散媒を注入する方法もある(例え
ば、特許文献2参照)。この方法では、比較的短時間で注入を行うことができると考えら
れる。しかしながら、この接着層は注入時には未硬化であるため、接着層の材料が絶縁性
液体(液体分散媒)に溶出したり、接着層に含まれるイオン性不純物が絶縁性液体中に溶
出したりする恐れがある。このような溶出が起こると、絶縁性液体の電気抵抗が低下し、
焼き付きやコントラスト低下などの表示不良を起こす。また、隔壁の幅は100μm程度
とかなり狭いため、高い精度で隔壁上に接着層を印刷する必要がある。そして、万一接着
層の印刷位置がずれると、隔壁の上面以外の部分に接着層が付いてしまい表示不良となる
ので、信頼性を確保するためには、隔壁の幅を100μmより狭くすることは困難と思わ
れる。
特開2001−235771公報(第3−4頁、第1図) 特開2002−148663公報(第3−7頁、第4図)
There is also a method of forming a flow path using an adhesive layer on a partition wall and injecting a liquid dispersion medium (see, for example, Patent Document 2). In this method, it is considered that injection can be performed in a relatively short time. However, since this adhesive layer is uncured at the time of injection, the material of the adhesive layer elutes into the insulating liquid (liquid dispersion medium), or ionic impurities contained in the adhesive layer elute into the insulating liquid. There is a fear. When such elution occurs, the electrical resistance of the insulating liquid decreases,
It causes display defects such as burn-in and reduced contrast. Further, since the width of the partition walls is as narrow as about 100 μm, it is necessary to print an adhesive layer on the partition walls with high accuracy. If the printing position of the adhesive layer is shifted, an adhesive layer is attached to a portion other than the upper surface of the partition wall, resulting in a display failure. To ensure reliability, the width of the partition wall should be narrower than 100 μm. Seems to be difficult.
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-235771 (page 3-4, FIG. 1) JP 2002-148663 A (page 3-7, FIG. 4)

上述したように、従来は、優れた信頼性や表示特性を有する電気泳動表示装置を簡易に
製造することが出来なかった。
As described above, conventionally, an electrophoretic display device having excellent reliability and display characteristics cannot be easily manufactured.

本発明は、この問題に鑑み、優れた信頼性や表示特性を有する電気泳動表示装置を簡易
に製造する方法と、その方法を用いて製造された電気泳動表示装置を提供することを目的
とする。
In view of this problem, an object of the present invention is to provide a method for easily manufacturing an electrophoretic display device having excellent reliability and display characteristics, and an electrophoretic display device manufactured using the method. .

そこで、本発明は、互いに対向して配置される第1基板及び第2基板と、第1基板と第
2基板との間で各小区域を格子状に囲むよう設けられる隔壁と、第1基板と第2基板との
間に設けられる絶縁性液体と、絶縁性液体中に分散される複数の帯電粒子と、第1基板若
しくは第2基板上に、各画素に対応して設けられる第1電極と、第1基板若しくは第2基
板上に、各画素に対応して設けられる第2電極と、第1電極及び第2電極に電圧を印加す
る駆動手段とを具備し、隔壁は、対向する二辺夫々の少なくとも一部に設けられる孔を有
し各小区域を区分する第1構造体と、孔を塞ぐよう設けられる第2構造体とを有すること
を特徴とする電気泳動表示装置を提供する。
Accordingly, the present invention provides a first substrate and a second substrate that are arranged to face each other, a partition wall that is provided so as to surround each small area in a lattice shape between the first substrate and the second substrate, and a first substrate. An insulating liquid provided between the first substrate and the second substrate, a plurality of charged particles dispersed in the insulating liquid, and a first electrode provided on the first substrate or the second substrate corresponding to each pixel. And a second electrode provided in correspondence with each pixel on the first substrate or the second substrate, and a driving means for applying a voltage to the first electrode and the second electrode, and the partition walls are opposed to each other. There is provided an electrophoretic display device comprising a first structure body having a hole provided in at least a part of each side and dividing each small area, and a second structure body provided to close the hole. .

本発明においては、小区域は1つ若しくは複数の画素で構成されても良い。   In the present invention, the small area may be composed of one or a plurality of pixels.

また本発明においては、第1構造体は第1基板に接着され、第2構造体は第2基板に接
着されていても良い。
In the present invention, the first structure may be bonded to the first substrate, and the second structure may be bonded to the second substrate.

また本発明においては、第1構造体が小区域を囲むように形成され、孔は対向する二辺
夫々の一部に設けられても良い。
In the present invention, the first structure may be formed so as to surround the small area, and the hole may be provided in a part of each of the two opposite sides.

また本発明においては、孔は対向する二辺夫々の中央に設けられても良い。   In the present invention, the hole may be provided at the center of each of the two opposite sides.

また本発明においては、孔は対向する二辺夫々の中央以外に互い違いになるよう設けら
れても良い。
Moreover, in this invention, a hole may be provided so that it may become alternate other than the center of each two sides which oppose.

また本発明においては、第2基板上に設けられる、第1色を呈する第1フィルタと第1
色とは異なる第2色を呈する第2フィルタと第1色とも第2色とも異なる第3色を呈する
第3フィルタとを含むカラーフィルタをさらに具備し、第2構造体は第1フィルタと第2
フィルタと第3フィルタを積層した積層体を含んでも良い。
In the present invention, the first filter having the first color provided on the second substrate and the first filter
A color filter including a second filter exhibiting a second color different from the color and a third filter exhibiting a third color different from both the first color and the second color; and the second structure includes the first filter and the first filter. 2
A laminated body in which the filter and the third filter are laminated may be included.

また本発明は、第1基板若しくは第2基板の一方の主面上に、各画素に対応して設けら
れる第1電極を形成する工程と、第1基板若しくは第2基板の前記一方の主面上に、各画
素に対応して設けられる第2電極を形成する工程と、第1基板の、一方の主面上に、格子
の対向する二辺夫々の少なくとも一部に設けられる孔を有し各小区域を区分する第1構造
体を形成する工程と、第2基板の、一方の主面上の孔に対応する領域に、孔以上の大きさ
の第2構造体を形成する工程と、第1構造体と第2構造体とで孔を塞がないよう、第1基
板及び第2基板の一方の主面同士を対向させて貼り合わせる工程と、絶縁性液体中に複数
の帯電粒子を分散させた分散液を、孔を通じて第1基板と第2基板との間に注入する工程
と、分散液を注入した第1基板と第2基板の少なくとも一方を基板面内で移動させ、第1
構造体と第2構造体とで孔を塞ぐ工程とを具備することを特徴とする電気泳動表示装置の
製造方法を提供する。
According to another aspect of the invention, there is provided a step of forming a first electrode provided corresponding to each pixel on one main surface of the first substrate or the second substrate, and the one main surface of the first substrate or the second substrate. And a step of forming a second electrode provided corresponding to each pixel, and a hole provided on at least a part of each of two opposite sides of the lattice on one main surface of the first substrate. Forming a first structure that divides each small area; forming a second structure having a size larger than the hole in a region corresponding to the hole on one main surface of the second substrate; A step of bonding one main surface of the first substrate and the second substrate facing each other so as not to block the hole between the first structure and the second structure, and a plurality of charged particles in the insulating liquid A step of injecting the dispersed dispersion between the first substrate and the second substrate through the holes, and the first substrate into which the dispersion is injected At least one of the second substrate is moved in the substrate surface, first
There is provided a method of manufacturing an electrophoretic display device comprising a step of closing a hole with a structure and a second structure.

本発明においては、小区域は1つ若しくは複数の画素で構成されても良い。   In the present invention, the small area may be composed of one or a plurality of pixels.

また本発明においては、第1構造体が小区域を囲むように形成され、孔は対向する二辺
夫々の一部に設けられても良い。
In the present invention, the first structure may be formed so as to surround the small area, and the hole may be provided in a part of each of the two opposite sides.

また本発明においては、孔は対向する二辺夫々の中央に設けられても良い。   In the present invention, the hole may be provided at the center of each of the two opposite sides.

また本発明においては、孔は対向する二辺夫々の中央以外に互い違いになるよう設けら
れても良い。
Moreover, in this invention, a hole may be provided so that it may become alternate other than the center of each two sides which oppose.

本発明によれば、優れた信頼性や表示特性を有する電気泳動表示装置を簡易に製造する
方法と、その方法を用いて製造された電気泳動表示装置を提供することが出来る。
According to the present invention, it is possible to provide a method for easily manufacturing an electrophoretic display device having excellent reliability and display characteristics, and an electrophoretic display device manufactured using the method.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る電気泳動表示装置について詳細に
説明する。
Hereinafter, an electrophoretic display device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
まず、本発明の第1の実施形態に係る電気泳動表示装置を図1及び図2を用いて説明す
る。図1(a)は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図1(b)
は本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図、図2(a)、(b)は夫々図1(a)a
−a´間の断面図、図1(b)b−b´間の断面図である。
(First embodiment)
First, an electrophoretic display device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1A is a plan view showing an electrophoretic display device in the manufacturing process of the present embodiment, and FIG.
Is a plan view showing the electrophoretic display device of the present embodiment, and FIGS. 2A and 2B are FIGS.
It is sectional drawing between -a 'and sectional drawing between FIG.1 (b) bb'.

図1では、便宜的に4つの画素を抽出して平面図としており、この図の中央の一点鎖線
は画素の境界部を示す。すなわち、1つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線までと
なる。図2では、図中の中央の一点鎖線が画素の境界部を示し、1つの画素は図の端の点
線から、この一点鎖線までとなる。
In FIG. 1, for convenience, four pixels are extracted and shown as a plan view, and a one-dot chain line in the center of the figure indicates a boundary portion of the pixels. That is, one pixel extends from the dotted line at the end of the figure to this alternate long and short dash line. In FIG. 2, the one-dot chain line in the center in the drawing indicates the boundary portion of the pixel, and one pixel extends from the dotted line at the end of the drawing to the one-dot chain line.

図2(b)に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置は、第1基板3と第2基板4
とが対向して配置され、第1基板3と第2基板4との間には、各画素(各小区域)を囲む
ように隔壁10が設けられる。隔壁10は、第1基板3上に形成された第1構造体1と、
第2基板4上に形成された第2構造体2からなり、第1構造体1と第2構造体2とで各画
素を格子状に囲んでいる。また、第1基板3上には隔壁10で囲まれた内部の領域、つま
り画素に対応する領域に設けられる画素電極(第1電極)5が形成され、第2基板4上に
は隔壁10に対応する領域に設けられる対向電極(第2電極)6が設けられる。画素電極
5は、第1基板3上に形成されたTFT素子23に接続されており、対向電極6は駆動(
電圧印加)回路(図示せず)に接続されている。これらの電極5、6表面には、表面コー
ト層9が形成されている。そして、これらの電極が形成された第1基板3、第2基板4、
及び隔壁10の間に、帯電粒子7を分散した絶縁性液体8からなる分散液11が配置され
る。
As shown in FIG. 2B, the electrophoretic display device of this embodiment includes a first substrate 3 and a second substrate 4.
And a partition wall 10 is provided between the first substrate 3 and the second substrate 4 so as to surround each pixel (each small area). The partition wall 10 includes a first structure 1 formed on the first substrate 3;
The second structure 2 is formed on the second substrate 4, and the first structure 1 and the second structure 2 surround each pixel in a lattice shape. Further, a pixel electrode (first electrode) 5 provided in an inner region surrounded by the partition 10, that is, a region corresponding to the pixel is formed on the first substrate 3, and the partition 10 is formed on the second substrate 4. A counter electrode (second electrode) 6 provided in a corresponding region is provided. The pixel electrode 5 is connected to the TFT element 23 formed on the first substrate 3, and the counter electrode 6 is driven (
A voltage application circuit (not shown) is connected. A surface coat layer 9 is formed on the surfaces of these electrodes 5 and 6. And the 1st board | substrate 3 with which these electrodes were formed, the 2nd board | substrate 4,
Between the partition walls 10, a dispersion liquid 11 made of an insulating liquid 8 in which the charged particles 7 are dispersed is disposed.

そして、図1(b)に示すように、第1構造体1と第2構造体2とは、夫々第1基板3
と第2基板4の双方に接触している。格子の4つの角を含むほぼ全体を形成する第1構造
体1の対向する二辺夫々の中央に孔31があり、孔31より大きい第2構造体2で、この
孔31を塞いでいる。そして、図1(a)に示すように、分散液11を注入する際にはこ
の孔31を塞がずに流路として用い、分散液11注入後にこの孔31を塞ぐものである。
Then, as shown in FIG. 1B, the first structure 1 and the second structure 2 are respectively composed of the first substrate 3 and the first substrate 3.
And the second substrate 4 are in contact with each other. There is a hole 31 at the center of each of the two opposite sides of the first structure 1 that forms almost the whole including the four corners of the lattice, and the hole 31 is closed by the second structure 2 that is larger than the hole 31. As shown in FIG. 1A, when the dispersion 11 is injected, the hole 31 is used as a flow path without closing, and the hole 31 is closed after the dispersion 11 is injected.

次に、以下の特性の部材を使用した場合について本実施形態の電気泳動表示装置の表示
原理を説明する。帯電粒子7は黒色で、正に帯電している。帯電粒子7を分散させている
絶縁性液体8としては、透明の液体を使用している。第1基板3および第2基板4にはガ
ラスなどの透明基板を使用し、第1電極5および第2電極6にはITO(Indium
tin oxide)などの透明電極を用いている。第2基板4の外側には白色の板(図
示せず)を置いており、第1基板3側を観測面としている。隔壁1、2材料は透明のもの
を使用している。図2(b)では左の画素が白表示、右の画素が黒表示を行っている。
Next, the display principle of the electrophoretic display device of the present embodiment will be described in the case where members having the following characteristics are used. The charged particles 7 are black and are positively charged. A transparent liquid is used as the insulating liquid 8 in which the charged particles 7 are dispersed. Transparent substrates such as glass are used for the first substrate 3 and the second substrate 4, and ITO (Indium) is used for the first electrode 5 and the second electrode 6.
A transparent electrode such as tin oxide) is used. A white plate (not shown) is placed outside the second substrate 4 and the first substrate 3 side is used as an observation surface. The partition walls 1 and 2 are made of a transparent material. In FIG. 2B, the left pixel performs white display and the right pixel performs black display.

図2(b)の左側の画素に示すように、第2電極6を基準電位(ゼロボルト)とし、第
1電極5に正極性の電圧を印加すると、帯電粒子7は第2電極6近傍へ移動する。この電
気泳動表示装置を第1基板3側から見ると、第1電極5、第1基板3、第2基板4はいず
れも透明であるため、第2基板4の外側に置いた白色の板の色を視認することになり、白
表示となる。
2B, when the second electrode 6 is set to the reference potential (zero volts) and a positive voltage is applied to the first electrode 5, the charged particles 7 move to the vicinity of the second electrode 6. To do. When the electrophoretic display device is viewed from the first substrate 3 side, the first electrode 5, the first substrate 3, and the second substrate 4 are all transparent, so that a white plate placed outside the second substrate 4 is used. The color is visually recognized and white display is obtained.

図2(b)の右側の画素に示すように、第2電極6を基準電位(ゼロボルト)とし、第
1電極5に負極性の電圧を印加すると、帯電粒子7は第1電極5近傍へ移動する。この電
気泳動表示装置を第1基板3側から見ると、第1電極5と第1基板3は透明であり、帯電
粒子7の黒色を視認することになり、黒表示となる。
As shown in the pixel on the right side of FIG. 2B, when the second electrode 6 is set to the reference potential (zero volts) and a negative voltage is applied to the first electrode 5, the charged particles 7 move to the vicinity of the first electrode 5. To do. When this electrophoretic display device is viewed from the first substrate 3 side, the first electrode 5 and the first substrate 3 are transparent, and the black color of the charged particles 7 is visually recognized, resulting in black display.

この例では帯電粒子7が黒色の場合を説明したが、帯電粒子7がシアン、マゼンダ、イ
エロー、紫、灰色などの着色をした光吸収性の粒子であってもよい。また、絶縁性液体8
を透明の液体の場合を説明したが、白濁あるいは着色した液体を用い、第2基板4の外側
に置いた白色の板を省いてもよい。これとは逆に、帯電粒子7が白など光散乱性の粒子で
、絶縁性液体8が黒色、シアン、マゼンダ、イエロー、紫、灰色などの着色をした光吸収
性であってもよい。
In this example, the case where the charged particles 7 are black has been described. However, the charged particles 7 may be light-absorbing particles colored such as cyan, magenta, yellow, purple, and gray. Insulating liquid 8
However, the white plate placed outside the second substrate 4 may be omitted by using a cloudy or colored liquid. On the contrary, the charged particles 7 may be light-scattering particles such as white, and the insulating liquid 8 may be light-absorbing colored black, cyan, magenta, yellow, purple, gray, or the like.

画素の周辺部に隔壁を設けないと、隣接する画素の電場の影響や対流の影響で、帯電粒
子7が隣の画素へ移動してしまうことがある。また、隔壁を設けずに電気泳動表示装置の
基板面を垂直にして置いておくと、帯電粒子7の比重が絶縁性液体8の比重より大きい場
合には、重力の影響で帯電粒子7が電気泳動表示装置の下側に沈降してしまう。本実施形
態の場合は、画素の周辺部に隔壁10を設けたため、この問題は生じない。すなわち、本
実施形態の電気泳動表示装置を長時間駆動しても、あるいは長時間立てて保管しても、各
画素は隔壁で囲まれていることから、それぞれの画素における帯電粒子7の濃度には変化
がなく、表示ムラは生じず、優れた表示特性を有する。
If no partition wall is provided in the periphery of the pixel, the charged particles 7 may move to the adjacent pixel due to the influence of the electric field or convection of the adjacent pixel. Further, if the substrate surface of the electrophoretic display device is placed vertically without providing the partition wall, when the specific gravity of the charged particles 7 is larger than the specific gravity of the insulating liquid 8, the charged particles 7 are electrically It settles to the lower side of the electrophoretic display device. In the case of the present embodiment, this problem does not occur because the partition 10 is provided in the periphery of the pixel. That is, even if the electrophoretic display device of the present embodiment is driven for a long time or stored for a long time, each pixel is surrounded by the partition wall, so that the concentration of the charged particles 7 in each pixel is adjusted. There is no change, display unevenness does not occur, and it has excellent display characteristics.

次に、本実施形態に係る電気泳動表示装置の製造方法を図1、図3及び図4を用いて説
明する。図3は、本実施形態の電気泳動表示装置の製造工程を示す断面図であり、2つの
画素を抽出して説明している。また、図4は、本実施形態に係る電気泳動表示装置を示す
平面図であり、(a)が第1基板側からみた図、(b)が第2基板側から見た図である。
Next, a method for manufacturing the electrophoretic display device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the manufacturing process of the electrophoretic display device of this embodiment, and two pixels are extracted and described. 4A and 4B are plan views showing the electrophoretic display device according to this embodiment, where FIG. 4A is a diagram viewed from the first substrate side, and FIG. 4B is a diagram viewed from the second substrate side.

まず、第1基板3上にTFT素子23、信号線21、ゲート線22、補助容量線(図示
せず)、第1電極5を常法により形成する。TFT素子23のゲート電極(図示せず)は
ゲート線22に、ソース電極(図示せず)は信号線21に、ドレイン電極(図示せず)は
第1電極5に接続し、第1電極5は、信号線21とゲート線22とで囲まれた画素領域に
形成する。第2基板4上には、信号線21やゲート線22に対応する領域に格子状となる
よう、第2電極6を常法により形成する。これらの電極上には、有機膜からなる表面コー
ト層9を形成する。この表面コート層9は、電極5、6表面に帯電粒子7が吸着すること
を防ぎ、電極5、6の凹凸を平坦化する機能を有する。なお、使用する分散液11によっ
ては、表面コート層9を省略しても本発明の効果を得ることができる。
First, the TFT element 23, the signal line 21, the gate line 22, the auxiliary capacitance line (not shown), and the first electrode 5 are formed on the first substrate 3 by a conventional method. The TFT element 23 has a gate electrode (not shown) connected to the gate line 22, a source electrode (not shown) connected to the signal line 21, a drain electrode (not shown) connected to the first electrode 5, and the first electrode 5. Are formed in a pixel region surrounded by the signal line 21 and the gate line 22. On the second substrate 4, the second electrode 6 is formed by a conventional method so as to form a lattice pattern in regions corresponding to the signal lines 21 and the gate lines 22. A surface coat layer 9 made of an organic film is formed on these electrodes. The surface coat layer 9 has a function of preventing the charged particles 7 from adsorbing on the surfaces of the electrodes 5 and 6 and flattening the unevenness of the electrodes 5 and 6. Depending on the dispersion 11 used, the effect of the present invention can be obtained even if the surface coat layer 9 is omitted.

図3(a)に示すように、第1基板3の主面上に第1構造体1を、図3(b)に示すよ
うに、第2基板4の主面上に第2構造体2をフォトリソグラフィー工程により形成する。
このとき、第1構造体1は、画素を囲む格子の4つの角を含む、ほぼ全体を形成しており
、格子の対向する二辺夫々の中央に孔31が開いた形状とする。そして、孔31は、対向
する二辺の一方の側で大きな開口を有する第1開口部32と、他方の側で第1開口部32
より小さい開口を有する第2開口部33の2段階となっている。また、第2構造体2は、
上述した対向する二辺に対応する領域に、第1開口部32より小さく第2開口部33より
も大きい幅を有する柱状の形状とする。
As shown in FIG. 3A, the first structure 1 is formed on the main surface of the first substrate 3, and the second structure 2 is formed on the main surface of the second substrate 4 as shown in FIG. Are formed by a photolithography process.
At this time, the first structure 1 forms substantially the whole including the four corners of the lattice surrounding the pixel, and has a shape in which a hole 31 is opened at the center of each of two opposite sides of the lattice. The hole 31 includes a first opening 32 having a large opening on one side of the two opposite sides, and a first opening 32 on the other side.
There are two stages of the second opening 33 having a smaller opening. The second structure 2 is
The region corresponding to the two opposite sides described above is formed in a columnar shape having a width smaller than the first opening 32 and larger than the second opening 33.

図3(c)に示すように、第1基板3の第1構造体1を形成した側の主面と第2基板4
の第2構造体2を形成した側の主面とを対向して貼り合わせる。このとき、第1構造体1
と第2構造体2とが接触しないようにして、後の工程で注入する分散液11の流路を確保
する。基板3、4の周辺部には、注入口および排気口を除いて接着層(図示せず)を塗布
しておいてもよい。この場合、周辺部には注入口や排気口部分以外には孔31を設けない
ことにより隔壁10が壁となり、後の工程で画素内に接着剤が接触した分散液が注入され
ることを防ぐことが出来る。
As shown in FIG. 3C, the main surface of the first substrate 3 on the side where the first structure 1 is formed and the second substrate 4.
The main surface on the side where the second structure 2 is formed is bonded to face to face. At this time, the first structure 1
And the second structure 2 are not in contact with each other, and a flow path for the dispersion 11 to be injected in a later step is secured. An adhesive layer (not shown) may be applied to the peripheral portions of the substrates 3 and 4 except for the injection port and the exhaust port. In this case, the partition wall 10 becomes a wall by not providing the hole 31 in the peripheral portion except the injection port and the exhaust port portion, thereby preventing the dispersion liquid in contact with the adhesive from being injected into the pixel in a later process. I can do it.

図3(d)に示すように、第1基板3と第2基板4の間に、絶縁性液体8中に帯電粒子
7を分散させた分散液11を注入する。注入方向は、孔31の形成されない二辺に平行な
方向とする。図3(d)の矢印は、第1構造体1と第2構造体2の隙間を分散液11が浸
入していく様子を示している。基板3、4周辺部に設けた注入口に分散液11を接触させ
ることで、分散液11が毛細管現象により基板3、4間に注入される。分散液11が進入
する前に基板3、4間に存在した空気は、分散液11によって押し出され、自然に排気口
より排出される。不揮発性の絶縁性液体8を用いて注入を真空下で行う場合は、この排出
口は不要となる。
As shown in FIG. 3D, a dispersion liquid 11 in which charged particles 7 are dispersed in an insulating liquid 8 is injected between the first substrate 3 and the second substrate 4. The injection direction is a direction parallel to two sides where the hole 31 is not formed. The arrow in FIG. 3D shows how the dispersion liquid 11 enters the gap between the first structure 1 and the second structure 2. By bringing the dispersion liquid 11 into contact with the inlets provided in the peripheral portions of the substrates 3 and 4, the dispersion liquid 11 is injected between the substrates 3 and 4 by capillary action. The air existing between the substrates 3 and 4 before the dispersion 11 enters is pushed out by the dispersion 11 and is naturally discharged from the exhaust port. When the non-volatile insulating liquid 8 is used for injection under vacuum, this outlet is not necessary.

図3(e)に示すように、第1基板3と第2基板4の少なくとも一方を基板面内方向で
移動し、図1(b)に示すように、第1構造体1の孔31を第2構造体2で塞ぐように第
1構造体1と第2構造体2を接触させる。第2構造体2の幅は第1開口部32よりは小さ
いものの第2開口部33よりは大きいため、第1構造体1に接触して止まる。その後、基
板3、4の周辺部に塗布した接着層を硬化させる。また、注入口と排気口を接着剤で封じ
、分散液11を基板3、4間に密閉する。接着層を事前に塗布していない場合は、接着剤
を周辺部に塗布し、その後硬化させる。最後に電圧印加回路(不図示)を接続し、電気泳
動表示装置が完成する。
As shown in FIG. 3 (e), at least one of the first substrate 3 and the second substrate 4 is moved in the in-plane direction of the substrate, and as shown in FIG. 1 (b), the holes 31 of the first structure 1 are formed. The first structure 1 and the second structure 2 are brought into contact with each other so as to be closed with the second structure 2. Since the width of the second structure 2 is smaller than the first opening 32 but larger than the second opening 33, the second structure 2 comes into contact with the first structure 1 and stops. Thereafter, the adhesive layer applied to the peripheral portions of the substrates 3 and 4 is cured. Further, the injection port and the exhaust port are sealed with an adhesive, and the dispersion 11 is sealed between the substrates 3 and 4. When the adhesive layer is not applied in advance, the adhesive is applied to the peripheral portion and then cured. Finally, a voltage application circuit (not shown) is connected to complete the electrophoretic display device.

本実施形態の方法により電気泳動表示装置を製造すれば、画素周辺部に隔壁10を有す
る電気泳動表示装置であっても容易に分散液11を画素内に注入できる。また、基板3、
4周辺部に設けられた接着層と分散液11の間には隔壁10が存在するため、接着層と分
散液11はほとんど接しない。そのため、接着層の成分が分散液11に溶け出すことがな
く、高抵抗のまま分散液11を隔壁10内に封入することができる。その結果、焼き付き
不良のない信頼性の高い電気泳動表示装置を得ることができる。
If the electrophoretic display device is manufactured by the method of the present embodiment, the dispersion liquid 11 can be easily injected into the pixel even in the electrophoretic display device having the partition wall 10 in the peripheral portion of the pixel. In addition, the substrate 3,
4 Since the partition wall 10 exists between the adhesive layer provided in the peripheral portion and the dispersion 11, the adhesive layer and the dispersion 11 hardly contact each other. Therefore, the component of the adhesive layer does not dissolve in the dispersion liquid 11, and the dispersion liquid 11 can be enclosed in the partition wall 10 with high resistance. As a result, a highly reliable electrophoretic display device free from burn-in defects can be obtained.

また、第1構造体1と第2構造体2とを本実施形態で示したような形状とする場合、図
5の分散液11の注入時における、第1構造体1の第1開口部32側の端と第2構造体2
の第1開口部32側の面との距離をL1、同じく第1構造体1の第2開口部33側の端と
第2構造体2の第2開口部33側の面との距離をL2とすると、L1とL2の少なくとも
一方は、約5μm以上であることが好ましい。約5μm以上とすることにより、注入時に
気泡が混入し難いことから表示特性が向上可能であり、また注入時間を短くすることが出
来る。また、図5に示すように、分散液11の注入時における、第1構造体1の孔31の
形成されない二辺のうちの一方と第2構造体2との距離をd1、この二辺のうちの他方と
第2構造体2との距離をd2とすると、d1とd2少なくとも一方は、約5μm以上であ
ることが好ましい。約5μm以上とすることにより、注入時に気泡の混入し難いことから
表示特性が向上可能であり、また注入時間を短くすることが出来る。さらに、開口部を塞
ぐために、W1>W3>W2である必要がある。また、W2を約15μm以上とすること
により、注入時に気泡が混入し難いことから表示特性が向上可能である。
Further, when the first structure 1 and the second structure 2 are shaped as shown in the present embodiment, the first opening 32 of the first structure 1 when the dispersion liquid 11 in FIG. 5 is injected. Side end and second structure 2
L1 is the distance from the first opening 32 side surface, and L2 is the distance between the second opening 33 side end of the first structure 1 and the second opening 33 side surface of the second structure 2. Then, it is preferable that at least one of L1 and L2 is about 5 μm or more. By setting the thickness to about 5 μm or more, bubbles can hardly be mixed at the time of injection, so that the display characteristics can be improved and the injection time can be shortened. In addition, as shown in FIG. 5, when the dispersion liquid 11 is injected, the distance between one of the two sides where the hole 31 of the first structure 1 is not formed and the second structure 2 is d1, When the distance between the other of the two and the second structure 2 is d2, it is preferable that at least one of d1 and d2 is about 5 μm or more. By setting the thickness to about 5 μm or more, bubbles can hardly be mixed at the time of injection, so that the display characteristics can be improved and the injection time can be shortened. Furthermore, W1>W3> W2 needs to be satisfied in order to close the opening. In addition, by setting W2 to about 15 μm or more, bubbles can hardly be mixed at the time of injection, so that display characteristics can be improved.

第1構造体1や第2構造体2を構成する材料として感光性材料を用いると、容易に隔壁
10を形成することができる。特に、化学増幅型感光性エポキシ樹脂は、高アスペクト比
の形状が得られるため、第1基板3と第2基板4の距離が広い場合でも、幅の狭い隔壁1
0を形成できる。
When a photosensitive material is used as a material constituting the first structure 1 and the second structure 2, the partition wall 10 can be easily formed. In particular, since the chemically amplified photosensitive epoxy resin has a high aspect ratio shape, the narrow partition wall 1 even when the distance between the first substrate 3 and the second substrate 4 is large.
0 can be formed.

高さ数十μm以上の隔壁10を感光性樹脂で形成する場合、露光時には数十μm以上の
深さで光が樹脂の中に進入しなければならない。そのため、隔壁10に用いる感光性樹脂
は透明性(光透過性)の高い材料が好ましい。したがって、完成した隔壁10は透明ある
いは半透明のものとなる。この場合、隔壁10部分では、第1電極5と第2電極6との間
の電場強度にかかわらず常に光が透過状態となり、コントラストを低下させる。この隔壁
10部分での光抜けを防ぐには、隔壁10部分に光遮光層を設ければよい。この遮光層は
クロム薄膜をフォトリソグラフィープロセスでパターニングすることで形成してもよいし
、TFT(薄膜トランジスター)23などのスイッチング素子、あるいはスイッチング素
子に電気的に接続された配線、あるいは画素の補助容量を形成するための補助容量線を遮
光層として利用してもいい。こうすることによって、遮光層を形成する工程を省くことが
できる。
When the partition 10 having a height of several tens of μm or more is formed of a photosensitive resin, light must enter the resin at a depth of several tens of μm or more during exposure. Therefore, the photosensitive resin used for the partition 10 is preferably a material having high transparency (light transmittance). Therefore, the completed partition 10 is transparent or translucent. In this case, in the partition wall 10 portion, light is always transmitted regardless of the electric field strength between the first electrode 5 and the second electrode 6, and the contrast is lowered. In order to prevent light leakage at the partition 10 portion, a light shielding layer may be provided at the partition 10 portion. The light shielding layer may be formed by patterning a chromium thin film by a photolithography process, a switching element such as a TFT (thin film transistor) 23, a wiring electrically connected to the switching element, or an auxiliary capacitor of the pixel. A storage capacitor line for forming the electrode may be used as a light shielding layer. By doing so, the step of forming the light shielding layer can be omitted.

また、第1構造体1および第2構造体2が、それぞれ第1基板3および第2基板4と接
着されている部分の幅は1μm以上が好ましい。この幅が1μm未満だと、第1基板3と
第2基板4とを基板面内でずらして第1構造体1と第2構造体2とを押し当てたときに、
基板3、4から第1構造体1あるいは第2構造体2が取れてしまう(もげてしまう)こと
がある。
The width of the portion where the first structure 1 and the second structure 2 are bonded to the first substrate 3 and the second substrate 4 is preferably 1 μm or more. If this width is less than 1 μm, the first substrate 3 and the second substrate 4 are shifted in the substrate plane and the first structure 1 and the second structure 2 are pressed against each other.
In some cases, the first structure 1 or the second structure 2 may be removed from the substrates 3 and 4.

また、本実施形態では第2基板4上に格子状の対向電極6を設け、その上に第1構造体
1と第2構造体2とで格子状となる隔壁10を設けているが、これに限られるものではな
く、画素の中央部に対向電極6を設けるなど、隔壁10と対向電極6のパターンが同一で
なくてもよい。隔壁10と対向電極6のパターンが同一でない場合は、画素電極5と対向
電極6の面積の比を5:1から50:1程度とすることが好ましい。本実施形態のように
画素周辺部に対向電極6がある方が、画素の中央部に対向電極6を設ける場合より、帯電
粒子7の移動がより低電圧で行えるため好ましい。
In this embodiment, the counter electrode 6 in the form of a lattice is provided on the second substrate 4, and the partition wall 10 that is in the form of a lattice is provided on the first structure 1 and the second structure 2. The pattern of the partition wall 10 and the counter electrode 6 may not be the same, such as providing the counter electrode 6 in the center of the pixel. When the pattern of the partition wall 10 and the counter electrode 6 is not the same, the area ratio of the pixel electrode 5 and the counter electrode 6 is preferably about 5: 1 to 50: 1. It is preferable that the counter electrode 6 is provided at the periphery of the pixel as in the present embodiment, because the charged particles 7 can be moved at a lower voltage than when the counter electrode 6 is provided at the center of the pixel.

帯電粒子7の平均粒径は、0.05μm以上かつ5μm以下程度であると、安定した分
散状態が得られるため好ましい。
The average particle diameter of the charged particles 7 is preferably about 0.05 μm or more and 5 μm or less because a stable dispersion state can be obtained.

隔壁10によって分割される小区域は、本実施形態では画素単位としたが、画素単位で
はなく9画素単位などより大きな単位であってもよい。
The small area divided by the partition wall 10 is a pixel unit in this embodiment, but may be a larger unit such as 9 pixel units instead of a pixel unit.

(第1の実施形態(第1の変形例))
次に、第1の実施形態に係る第1の変形例について説明する。本変形例では、第1の実
施形態と同様の部分については説明を省略する。
(First embodiment (first modification))
Next, a first modification according to the first embodiment will be described. In this modification, description of the same parts as those in the first embodiment will be omitted.

図6の断面図に示すように、本変形例の電気泳動表示装置は、透明電極からなる対向電
極41の形状を隔壁10の形状に合わせた格子状とはせずに一面に一様に形成し、絶縁性
液体8を透明とはせずに白色不透明として第1基板3側を観測面とする点が、第1の実施
形態とは異なる。
As shown in the cross-sectional view of FIG. 6, the electrophoretic display device of this modification is formed uniformly on one surface without forming the shape of the counter electrode 41 made of a transparent electrode into a lattice shape matching the shape of the partition wall 10. However, the first embodiment differs from the first embodiment in that the insulating liquid 8 is not transparent but white opaque and the first substrate 3 side is the observation surface.

また、第1の実施形態と同様に駆動を行い、図面の下側を観測面とすると、左側の画素
は白表示となり、右側の画素は黒表示となる点は第1の実施形態と同様であるが、左側の
画素では白色不透明の絶縁性液体が視認されることにより白表示となる点が異なる。
Similarly to the first embodiment, driving is performed in the same manner as in the first embodiment, and the lower side of the drawing is the observation plane, the left pixel is white and the right pixel is black. However, the pixel on the left side is different in that a white display is obtained when a white opaque insulating liquid is visually recognized.

本変形例においても、隔壁10は第1の実施形態と同様な構造とする。つまり、第1基
板3上の第1構造体1と、第2基板4上の第2構造体2からなり、分散液11注入後は第
1構造体1と第2構造体2とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、格子の4つの
角を含むほぼ全体を形成する第1構造体1の対向する二辺夫々の中央に孔31があり、孔
31より大きい第2構造体2で、この孔31を塞いでいる。そして、分散液11を注入す
る際にはこの孔31を塞がずに流路として用い、分散液11注入後にこの孔31を塞ぐ。
このような構成とすることにより、第1の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことか
ら優れた表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を
得ることが出来る。
Also in this modification, the partition 10 has the same structure as that of the first embodiment. In other words, each pixel includes the first structure 1 on the first substrate 3 and the second structure 2 on the second substrate 4, and after the dispersion liquid 11 is injected, each pixel in the first structure 1 and the second structure 2. Is enclosed in a grid pattern. This lattice has a hole 31 in the center of each of the two opposite sides of the first structure 1 that forms almost the entire structure including the four corners of the lattice. It is blocking. When the dispersion 11 is injected, the hole 31 is used as a flow path without closing, and the hole 31 is closed after the dispersion 11 is injected.
By adopting such a configuration, as in the first embodiment, it is possible to obtain excellent display characteristics since display unevenness is unlikely to occur, and to obtain an effect of high reliability since it is difficult to cause image sticking defects. I can do it.

(第1の実施形態(第2の変形例))
次に、第1の実施形態に係る第2の変形例について説明する。本変形例では、第1の実
施形態と同様の部分については説明を省略する。
(First Embodiment (Second Modification))
Next, a second modification according to the first embodiment will be described. In this modification, description of the same parts as those in the first embodiment will be omitted.

図7の断面図に示すように、本変形例の電気泳動表示装置は、第1基板上に画素電極を
第2基板上に対向電極を形成した構成とはせずに、第1基板1上に画素電極として用いる
第1電極42と第1電極42よりも面積の小さい第2電極43とを形成した構成とする点
が第1の実施形態とは異なる。第2電極43は、画素の端部を横切って1行もしくは1列
の画素で共通とされたストライプ状とすれば良い。また、第1電極42は第2電極43以
外の部分で画素全体に広がった形状とし、TFT23に接続される。第2電極43をTF
Tに接続し、第1電極42を共通電極としても良い。また、第2電極43は、隣接する画
素で共通とされた格子状としても良い。
As shown in the cross-sectional view of FIG. 7, the electrophoretic display device of the present modified example does not have the configuration in which the pixel electrode is formed on the first substrate and the counter electrode is formed on the second substrate. The second embodiment is different from the first embodiment in that a first electrode 42 used as a pixel electrode and a second electrode 43 having a smaller area than the first electrode 42 are formed. The second electrode 43 may be formed in a stripe shape common to the pixels in one row or column across the edge of the pixel. Further, the first electrode 42 has a shape that extends to the entire pixel at a portion other than the second electrode 43 and is connected to the TFT 23. The second electrode 43 is TF
The first electrode 42 may be a common electrode connected to T. Further, the second electrode 43 may have a lattice shape common to adjacent pixels.

本変形例においても、隔壁10は第1の実施形態と同様な構造とする。つまり、第1基
板3上の第1構造体1と、第2基板4上の第2構造体2からなり、分散液11注入後は第
1構造体1と第2構造体2とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、格子の4つの
角を含むほぼ全体を形成する第1構造体1の対向する二辺夫々の中央に孔31があり、孔
31より大きい第2構造体2で、この孔31を塞いでいる。そして、分散液11を注入す
る際にはこの孔31を塞がずに流路として用い、分散液11注入後にこの孔31を塞ぐ。
このような構成とすることにより、第1の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことか
ら優れた表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を
得ることが出来る。
Also in this modification, the partition 10 has the same structure as that of the first embodiment. In other words, each pixel includes the first structure 1 on the first substrate 3 and the second structure 2 on the second substrate 4, and after the dispersion liquid 11 is injected, each pixel in the first structure 1 and the second structure 2. Is enclosed in a grid pattern. This lattice has a hole 31 in the center of each of the two opposite sides of the first structure 1 that forms almost the entire structure including the four corners of the lattice. It is blocking. When the dispersion 11 is injected, the hole 31 is used as a flow path without closing, and the hole 31 is closed after the dispersion 11 is injected.
By adopting such a configuration, as in the first embodiment, it is possible to obtain excellent display characteristics since display unevenness is unlikely to occur, and to obtain an effect of high reliability since it is difficult to cause image sticking defects. I can do it.

また、上述した第1の変形例及び第2の変形例は、次に示す第2の実施形態以降の実施
形態に適用することも可能である。
The first and second modifications described above can also be applied to the second and subsequent embodiments described below.

(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態に係る電気泳動表示装置を図8を用いて説明する。本実
施形態については、第1の実施形態と異なる点についてのみ説明し、同様の部分について
は説明を省略する。
(Second Embodiment)
Next, an electrophoretic display device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the present embodiment, only differences from the first embodiment will be described, and description of similar parts will be omitted.

図8(a)は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図8(b)は
本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図である。図8では、便宜的に4つの画素を抽
出して平面図としており、この図の中央の一点鎖線は画素の境界部を示す。すなわち、1
つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線までとなる。
FIG. 8A is a plan view showing the electrophoretic display device in the manufacturing process of the present embodiment, and FIG. 8B is a plan view showing the electrophoretic display device of the present embodiment. In FIG. 8, for convenience, four pixels are extracted and used as a plan view, and a one-dot chain line in the center of the drawing indicates a boundary portion of the pixels. That is, 1
One pixel extends from the dotted line at the end of the figure to this alternate long and short dash line.

本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、隔壁が第1基板上の第1構造体1と
第2基板上の第2構造体2とからなり、分散液注入後(図8(b))は第1構造体1と第
2構造体2とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、格子の4つの角を含むほぼ全
体を形成する第1構造体1の対向する二辺夫々の中央に孔51があり、孔51より大きい
第2構造体2で、この孔51を塞いでいる。そして、分散液を注入する際(図8(a))
にはこの孔51を塞がずに流路として用い、分散液注入後にこの孔51を塞ぐ。
Also in the present embodiment, as in the first embodiment, the partition wall includes the first structure 1 on the first substrate and the second structure 2 on the second substrate, and after the dispersion liquid injection (FIG. 8 ( In b)), the first structure 1 and the second structure 2 surround each pixel in a grid pattern. This lattice has a hole 51 in the center of each of the two opposite sides of the first structure 1 that forms almost the entire structure including the four corners of the lattice. It is blocking. Then, when the dispersion liquid is injected (FIG. 8A)
Is used as a flow path without closing the hole 51, and the hole 51 is closed after the dispersion is injected.

しかしながら本実施形態では、孔51の大きさを、第1の実施形態のように2段階にせ
ず、第2構造体2よりは小さい形状としている点が第1の実施形態と異なる。
However, this embodiment is different from the first embodiment in that the size of the hole 51 is not set in two stages as in the first embodiment, and is smaller than the second structure 2.

本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことから優れた
表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を得ること
が出来る。また、本実施形態では、第2構造体2が出っ張っており、出っ張りのある格子
となっている。そのため、第2構造体2が出っ張っていない第1の実施形態は、画素電極
の面積を大きくすることができ、より好ましい。なお、W4を15μm以上とすることに
より、注入時に気泡の混入し難いことから表示特性が向上可能である。
Also in this embodiment, as in the first embodiment, it is possible to obtain excellent display characteristics because display unevenness is unlikely to occur, and it is possible to obtain an effect that reliability is high because burn-in defects are unlikely to occur. Moreover, in this embodiment, the 2nd structure 2 protrudes and becomes a lattice with a protrusion. Therefore, the first embodiment in which the second structure 2 does not protrude is more preferable because the area of the pixel electrode can be increased. In addition, by setting W4 to 15 μm or more, it is difficult for bubbles to be mixed at the time of injection, so that display characteristics can be improved.

(第3の実施形態)
次に、本発明の第3の実施形態に係る電気泳動表示装置を図9を用いて説明する。本実
施形態については、第1の実施形態と異なる点についてのみ説明し、同様の部分について
は説明を省略する。
(Third embodiment)
Next, an electrophoretic display device according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the present embodiment, only differences from the first embodiment will be described, and description of similar parts will be omitted.

図9(a)は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図9(b)は
本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図である。図9では、便宜的に4つの画素を抽
出して平面図としており、この図の中央の一点鎖線は画素の境界部を示す。すなわち、1
つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線までとなる。
FIG. 9A is a plan view showing the electrophoretic display device in the manufacturing process of the present embodiment, and FIG. 9B is a plan view showing the electrophoretic display device of the present embodiment. In FIG. 9, for convenience, four pixels are extracted and used as a plan view, and a one-dot chain line in the center of the figure indicates a boundary portion of the pixels. That is, 1
One pixel extends from the dotted line at the end of the figure to this alternate long and short dash line.

本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、隔壁が第1基板上の第1構造体1と
第2基板上の第2構造体2とからなり、分散液注入後(図9(b))は第1構造体1と第
2構造体2とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、格子の4つの角を含むほぼ全
体を形成する第1構造体1の対向する二辺夫々に第1の孔52、第2の孔53があり、孔
52、53より大きい第2構造体2で、この孔52、53を塞いでいる。そして、分散液
を注入する際(図9(a))にはこの孔52、53を塞がずに流路として用い、分散液注
入後にこの孔52、53を塞ぐ。
Also in this embodiment, as in the first embodiment, the partition wall is composed of the first structure 1 on the first substrate and the second structure 2 on the second substrate, and after the dispersion liquid injection (FIG. 9 ( In b)), the first structure 1 and the second structure 2 surround each pixel in a grid pattern. This lattice has a first hole 52 and a second hole 53 on each of two opposite sides of the first structure 1 that forms almost the whole including the four corners of the lattice, and a second larger than the holes 52 and 53. The structure 2 closes the holes 52 and 53. When the dispersion liquid is injected (FIG. 9A), the holes 52 and 53 are not closed and used as a flow path, and the holes 52 and 53 are closed after the dispersion liquid is injected.

本実施形態では、孔52、53の位置を、第1構造体1の対向する二辺夫々の中央とす
るのではなく、中央以外に互い違いにしている点が第1、第2の実施形態とは異なる。こ
のとき、第1の孔52と第2の孔53とは、対向する二辺の中央から夫々等距離となるよ
う設けることが好ましい。等距離とすることにより、注入時の分散液の流れが偏ることな
く、気泡の発生を防止することができるという効果を得ることが出来る。また、第1の孔
52と第2の孔53とは、第2構造体2で塞ぐことが出来るよう、第2構造体2よりも小
さいことが必要であるが、これらは、同じ大きさであることが好ましい。同じ大きさとす
ることにより、注入時の分散液の流れが偏ることなく、気泡の発生を防止することができ
るという効果を得ることが出来る。
In the present embodiment, the positions of the holes 52 and 53 are not the center of the two opposite sides of the first structure 1, but are different from those of the first and second embodiments except for the center. Is different. At this time, the first hole 52 and the second hole 53 are preferably provided so as to be equidistant from the centers of the two opposing sides. By setting the distances to be equal, it is possible to obtain the effect that bubbles can be prevented from being generated without unevenly flowing the dispersion during injection. In addition, the first hole 52 and the second hole 53 need to be smaller than the second structure 2 so that they can be closed by the second structure 2, but they have the same size. Preferably there is. By making it the same magnitude | size, the effect that generation | occurrence | production of a bubble can be prevented can be acquired, without the flow of the dispersion liquid at the time of injection | pouring biasing.

本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことから優れた
表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を得ること
が出来る。
Also in this embodiment, as in the first embodiment, it is possible to obtain excellent display characteristics because display unevenness is unlikely to occur, and it is possible to obtain an effect that reliability is high because burn-in defects are unlikely to occur.

(第4の実施形態)
次に、本発明の第4の実施形態に係る電気泳動表示装置を図10を用いて説明する。本
実施形態については、第1の実施形態と異なる点についてのみ説明し、同様の部分につい
ては説明を省略する。
(Fourth embodiment)
Next, an electrophoretic display device according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the present embodiment, only differences from the first embodiment will be described, and description of similar parts will be omitted.

図10(a)は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図10(b
)は本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図である。図10では、便宜的に4つの画
素を抽出して平面図としており、この図の中央の一点鎖線は画素の境界部を示す。すなわ
ち、1つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線までとなる。
FIG. 10A is a plan view showing the electrophoretic display device in the manufacturing process of this embodiment, and FIG.
) Is a plan view showing the electrophoretic display device of the present embodiment. In FIG. 10, for convenience, four pixels are extracted and used as a plan view, and a one-dot chain line in the center of this figure indicates a boundary portion of the pixels. That is, one pixel extends from the dotted line at the end of the figure to this alternate long and short dash line.

本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、隔壁が第1基板上の第1構造体1と
第2基板上の第2構造体61とからなり、分散液注入後(図10(b))は第1構造体1
と第2構造体61とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、格子の4つの角を含む
ほぼ全体を形成する第1構造体1の対向する二辺夫々に孔51があり、第2構造体61で
、この孔51を塞いでいる。そして、分散液を注入する際(図10(a))にはこの孔5
1を塞がずに流路として用い、分散液注入後にこの孔51を塞ぐ。
Also in the present embodiment, as in the first embodiment, the partition wall includes the first structure 1 on the first substrate and the second structure 61 on the second substrate, and after the dispersion liquid injection (FIG. 10 ( b)) is the first structure 1
And the second structure 61 surround each pixel in a grid pattern. This lattice has holes 51 on each of the two opposite sides of the first structure 1 that forms almost the entire structure including the four corners of the lattice, and the second structure 61 closes the holes 51. When the dispersion liquid is injected (FIG. 10A), the holes 5
1 is used as a flow path without blocking, and the hole 51 is closed after the dispersion is injected.

また本実施形態では、孔51の大きさを、第1の実施形態のように2段階にしない点が
第2の実施形態と同様である。しかしながら、第2構造体61の大きさを孔51と全く同
じとして、分散液の注入後はこの孔51を塞いで完全な格子状としている点が、第1、第
2の実施形態とは異なる。つまり、上述の実施形態では、分散液の注入後、第2構造体が
孔の一方から孔とその周辺を覆うのに対し、本実施形態では、第2構造体61が孔51に
嵌め込まれている。
In the present embodiment, the size of the hole 51 is the same as that of the second embodiment in that the size of the hole 51 is not set in two stages as in the first embodiment. However, the second structure 61 is different from the first and second embodiments in that the size of the second structure 61 is exactly the same as that of the hole 51 and the hole 51 is closed after injection of the dispersion to form a complete lattice. . That is, in the above-described embodiment, after the dispersion liquid is injected, the second structure covers the hole and its periphery from one of the holes, whereas in the present embodiment, the second structure 61 is fitted in the hole 51. Yes.

本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことから優れた
表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を得ること
が出来る。また、隔壁により規定される画素が完全な四角になるため、ON−OFF時の
帯電粒子の移動がスムーズとなり、第1の実施形態より応答時間が短くなるという効果を
得ることも出来る。ただし、本実施形態では、分散液の注入後、第1構造体1の孔51を
第2構造体61で塞ぐ際、両基板がずれていると孔51を塞ぐことが出来ない。したがっ
て、上述した第1、第2及び第3の実施形態の方が合せマージンを取る事ができるため、
製造が容易であるといえる。
Also in this embodiment, as in the first embodiment, it is possible to obtain excellent display characteristics because display unevenness is unlikely to occur, and it is possible to obtain an effect that reliability is high because burn-in defects are unlikely to occur. In addition, since the pixels defined by the partition walls are perfectly square, the movement of the charged particles during ON-OFF becomes smooth, and an effect that the response time is shorter than that of the first embodiment can be obtained. However, in this embodiment, when the holes 51 of the first structure 1 are closed with the second structure 61 after the dispersion liquid is injected, the holes 51 cannot be closed if the two substrates are displaced. Therefore, the first, second, and third embodiments described above can take an alignment margin.
It can be said that manufacture is easy.

(第5の実施形態)
次に、本発明の第5の実施形態に係る電気泳動表示装置を図11を用いて説明する。本
実施形態については、第1の実施形態と異なる点についてのみ説明し、同様の部分につい
ては説明を省略する。
(Fifth embodiment)
Next, an electrophoretic display device according to a fifth embodiment of the invention will be described with reference to FIG. In the present embodiment, only differences from the first embodiment will be described, and description of similar parts will be omitted.

図11(a)は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図11(b
)は本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図である。図11では、便宜的に4つの画
素を抽出して平面図としており、この図の中央の一点鎖線は画素の境界部を示す。すなわ
ち、1つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線までとなる。
FIG. 11A is a plan view showing an electrophoretic display device in the manufacturing process of the present embodiment, and FIG.
) Is a plan view showing the electrophoretic display device of the present embodiment. In FIG. 11, for convenience, four pixels are extracted and used as a plan view, and a one-dot chain line in the center of the figure indicates a boundary portion of the pixels. That is, one pixel extends from the dotted line at the end of the figure to this alternate long and short dash line.

本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、隔壁が第1基板上の第1構造体62
と第2基板上の第2構造体63とからなり、分散液注入後(図11(b))は第1構造体
62と第2構造体63とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、第1構造体62の
対向する二辺夫々に孔54、55があり、第2構造体63で、この孔54、55を塞いで
いる。そして、分散液を注入する際(図11(a))にはこの孔54、55を塞がずに流
路として用い、分散液注入後にこの孔54、55を塞ぐ。
Also in the present embodiment, as in the first embodiment, the partition walls are the first structures 62 on the first substrate.
And the second structure 63 on the second substrate. After the dispersion liquid is injected (FIG. 11B), the first structure 62 and the second structure 63 surround each pixel in a grid pattern. The lattice has holes 54 and 55 on the two opposite sides of the first structure 62, and the second structure 63 closes the holes 54 and 55. When the dispersion liquid is injected (FIG. 11A), the holes 54 and 55 are used as flow paths without closing them, and the holes 54 and 55 are closed after the dispersion liquid is injected.

また本実施形態では、孔54、55の大きさを、第1の実施形態のように2段階にしな
い点が第2の実施形態と同様である。しかしながら、第1構造体62は格子の4つの角を
囲む形状としない点が第1、第2の実施形態とは異なる。つまり、第1構造体62は、格
子の対向する二辺と、もう一対の対向する二辺の中心部分を担い、第2構造体63が、も
う一対の対向する二辺の両端部を担うのである。従って、第1構造体62だけでは、対向
する二辺夫々の両端部に、第3の孔54、第4の孔55の2つの孔が形成され、この孔5
4、55より大きい2つの部材からなる第2構造体63でこれらの孔54、55を塞いで
いるのである。
Further, in this embodiment, the size of the holes 54 and 55 is the same as that of the second embodiment in that the size of the holes 54 and 55 is not set in two stages as in the first embodiment. However, the first structure 62 is different from the first and second embodiments in that it does not have a shape surrounding the four corners of the lattice. That is, the first structure 62 bears two opposite sides of the lattice and the center part of another pair of opposite sides, and the second structure 63 bears both ends of the other pair of opposite sides. is there. Therefore, in the first structure 62 alone, two holes of the third hole 54 and the fourth hole 55 are formed at both ends of the two opposite sides, and the hole 5
These holes 54 and 55 are closed by the second structure 63 composed of two members larger than 4 and 55.

本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことから優れた
表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を得ること
が出来る。ただし、本実施形態では、第1構造体62の形成された第1基板と、第2構造
体63の形成された第2基板とを貼り合わせる際、両基板がずれていると第1構造体62
と第2構造体63を組合せた孔54、55が形成できない。したがって、上述した第1、
第2及び第3の実施形態の方が合せマージンを取る事ができるため、製造が容易であると
いえる。
Also in this embodiment, as in the first embodiment, it is possible to obtain excellent display characteristics because display unevenness is unlikely to occur, and it is possible to obtain an effect that reliability is high because burn-in defects are unlikely to occur. However, in the present embodiment, when the first substrate on which the first structure body 62 is formed and the second substrate on which the second structure body 63 is formed are bonded together, the first structure body may be out of alignment. 62
And the holes 54 and 55 which combined the 2nd structure 63 cannot be formed. Therefore, the first mentioned above,
It can be said that the second and third embodiments are easier to manufacture because a margin can be taken.

(第6の実施形態)
次に、本発明の第5の実施形態に係る電気泳動表示装置を図12、図13及び図14を
用いて説明する。本実施形態については、第1の実施形態と異なる点についてのみ説明し
、同様の部分については説明を省略する。
(Sixth embodiment)
Next, an electrophoretic display device according to a fifth embodiment of the invention will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, only differences from the first embodiment will be described, and description of similar parts will be omitted.

図12(a)は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図12(b
)は本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図、図13(a)、(b)は夫々図12(
a)c−c´間の断面図、図12(b)d−d´間の断面図である。また、図14は、図
12(b)を左側から見た断面図である。
FIG. 12A is a plan view showing an electrophoretic display device in the manufacturing process of this embodiment, and FIG.
) Is a plan view showing the electrophoretic display device of the present embodiment, and FIGS. 13A and 13B are views of FIG.
It is sectional drawing between a) cc 'and FIG.12 (b) Sectional drawing between dd'. FIG. 14 is a cross-sectional view of FIG. 12B viewed from the left side.

図12では、便宜的に4つの画素を抽出して平面図としており、この図の中央の一点鎖
線は画素の境界部を示す。すなわち、1つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線まで
となる。図13、図14では、図中の中央の一点鎖線が画素の境界部を示し、1つの画素
は図の端の点線から、この一点鎖線までとなる。
In FIG. 12, for convenience, four pixels are extracted and shown as a plan view, and a one-dot chain line in the center of the figure indicates a boundary portion of the pixels. That is, one pixel extends from the dotted line at the end of the figure to this alternate long and short dash line. In FIG. 13 and FIG. 14, the one-dot chain line in the center in the figure indicates the boundary portion of the pixel, and one pixel extends from the dotted line at the end of the figure to this one-dot chain line.

本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、隔壁が第1基板上の第1構造体71
と第2基板上の第2構造体72、73、74とからなり、分散液注入後(図12(b))
は第1構造体71と第2構造体72、73、74とで各画素を格子状に囲んでいる。この
格子は、格子の4つの角を含むほぼ全体を形成する第1構造体71の対向する二辺夫々に
孔31があり、孔31より大きい第2構造体72、73、74で、この孔31を塞いでい
る。そして、分散液を注入する際(図12(a))にはこの孔31を塞がずに流路として
用い、分散液注入後にこの孔31を塞ぐ。
Also in the present embodiment, as in the first embodiment, the partition walls are the first structures 71 on the first substrate.
And the second structures 72, 73, 74 on the second substrate, and after the dispersion is injected (FIG. 12B)
The first structure 71 and the second structures 72, 73, 74 surround each pixel in a grid pattern. This lattice has holes 31 on each of the two opposite sides of the first structure 71 that forms almost the entire structure including the four corners of the lattice. The second structures 72, 73, and 74 are larger than the holes 31. 31 is blocked. When the dispersion liquid is injected (FIG. 12A), the hole 31 is used as a flow path without closing, and the hole 31 is closed after the dispersion liquid is injected.

また本実施形態では、孔31の大きさを、第1の実施形態のように2段階にせず、第2
構造体72、73、74よりは小さい形状としている点が第2の実施形態と同様である。
しかしながら、第2基板4に形成された第2構造体72、73、74が夫々、赤のカラー
フィルタ層72、緑のカラーフィルタ層73、青のカラーフィルタ層74を所定箇所に積
層して形成したものであり第1基板3に達しない構成である点、従って、第1基板3に形
成された第1構造体71の孔31が第1基板3にまで達する深い孔でない点が第1、第2
の実施形態とは異なる。
In the present embodiment, the size of the hole 31 is not set in two stages as in the first embodiment, and the second
The point which is made smaller than the structures 72, 73, 74 is the same as that of the second embodiment.
However, the second structures 72, 73, 74 formed on the second substrate 4 are formed by laminating a red color filter layer 72, a green color filter layer 73, and a blue color filter layer 74 at predetermined positions, respectively. First, the point that the structure does not reach the first substrate 3, and therefore the point that the hole 31 of the first structure 71 formed in the first substrate 3 is not a deep hole reaching the first substrate 3 is the first, Second
This is different from the embodiment.

次に、本実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を、第1の実施形態とは異なる点のみ
説明する。つまり、第1構造体71の形成方法および第2構造体とカラーフィルタとを兼
ねる赤のカラーフィルタ層72、緑のカラーフィルタ層73、青のカラーフィルタ層74
の形成方法を説明する。
Next, the manufacturing method of the electrophoretic display device according to the present embodiment will be described only with respect to differences from the first embodiment. That is, the formation method of the first structure 71 and the red color filter layer 72, the green color filter layer 73, and the blue color filter layer 74 that double as the second structure and the color filter.
A method for forming the film will be described.

第1構造体71は、第1基板3の主面上に2回のフォトリソグラフィー工程を行うこと
によって形成する。1回目は、第1構造体71の一部、つまり孔31の底辺を形成する高
さまでを一様に形成し、2回目で、孔31の部分以外に、孔31の側辺が出来るよう形成
し、第1構造体71が完成する。第2構造体10は、赤のカラーフィルタ層72、緑のカ
ラーフィルタ層73、青のカラーフィルタ層74をフォトリソグラフィー工程によって形
成する際、各々のカラーフィルタ層を所定の領域に積層させて形成した。
The first structure 71 is formed by performing photolithography processes twice on the main surface of the first substrate 3. In the first time, a part of the first structure 71, that is, the height that forms the bottom side of the hole 31 is formed uniformly, and in the second time, the side of the hole 31 is formed in addition to the hole 31 part. Thus, the first structure 71 is completed. The second structure 10 is formed by laminating each color filter layer in a predetermined region when the red color filter layer 72, the green color filter layer 73, and the blue color filter layer 74 are formed by a photolithography process. did.

本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことから優れた
表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を得ること
が出来る。また、本実施形態ではカラーフィルタの形成工程と第2構造体の形成工程を兼
ねることから第2構造体形成のためのリソグラフィ工程を省略できるという効果を得るこ
とも出来る。さらに、本実施形態の第1構造体と第2構造体とは、基板面に垂直な方向で
もオーバーラップしていることから、分散液の膨張や収縮により両基板間の距離が変化し
ても、隔壁として機能することが出来る。
Also in this embodiment, as in the first embodiment, it is possible to obtain excellent display characteristics because display unevenness is unlikely to occur, and it is possible to obtain an effect that reliability is high because burn-in defects are unlikely to occur. Further, in the present embodiment, since the color filter forming process and the second structure forming process are combined, it is possible to obtain an effect that the lithography process for forming the second structure can be omitted. Furthermore, since the first structure and the second structure of the present embodiment overlap in the direction perpendicular to the substrate surface, even if the distance between the two substrates changes due to the expansion or contraction of the dispersion liquid. It can function as a partition wall.

以下、各実施形態に関する実施例を説明する。   Examples relating to each embodiment will be described below.

(実施例1)
図1、図2、図3、図4および図5に示すような第1の実施形態に関する実施例1の電
気泳動表示装置について説明する。なお、1画素毎の周りを隔壁で囲むものとし、1画素
のサイズは縦125μm、横125μmとし、L1=10μm、L2=100μm、d1
=45μm、d2=45μm、W1=30μm、W2=20μm、W3=25μmとした
(Example 1)
An electrophoretic display device of Example 1 relating to the first embodiment as shown in FIGS. 1, 2, 3, 4 and 5 will be described. It should be noted that the periphery of each pixel is surrounded by a partition wall, and the size of each pixel is 125 μm in length and 125 μm in width, L1 = 10 μm, L2 = 100 μm, d1
= 45 μm, d2 = 45 μm, W1 = 30 μm, W2 = 20 μm, W3 = 25 μm.

まず、厚さ約0.7mmの無アルカリガラス基板からなる第1基板3上にTFT素子2
3、信号線21、ゲート線22、補助容量線(図示せず)を常法により形成した。次に、
ITOからなる第1電極5を形成した。なお、第1電極5とTFT素子23のドレイン電
極、信号線21とTFT素子23のソース電極、ゲート線22とTFT素子23のゲート
電極は夫々電気的に接続されている。次に、厚さ約0.7mmの無アルカリガラス基板か
らなる第2基板4上にITOからなる第2電極6を形成した。その後、この第1電極5お
よび第2電極6上にポリイミド溶液をスピンコートし、ホットプレート上で加熱すること
で厚さ50nmの表面コート層9を形成した。
First, a TFT element 2 is formed on a first substrate 3 made of an alkali-free glass substrate having a thickness of about 0.7 mm.
3. A signal line 21, a gate line 22, and an auxiliary capacitance line (not shown) were formed by a conventional method. next,
A first electrode 5 made of ITO was formed. The first electrode 5 and the drain electrode of the TFT element 23, the signal line 21 and the source electrode of the TFT element 23, and the gate line 22 and the gate electrode of the TFT element 23 are electrically connected. Next, the second electrode 6 made of ITO was formed on the second substrate 4 made of an alkali-free glass substrate having a thickness of about 0.7 mm. Thereafter, a polyimide solution was spin-coated on the first electrode 5 and the second electrode 6 and heated on a hot plate to form a surface coat layer 9 having a thickness of 50 nm.

この第1基板3および第2基板4上に、化学増幅型感光性エポキシ樹脂(ネガ型)をス
ピンナーを用いて30μmの厚さに塗布した。95℃のホットプレートでプリベークした
後、フォトマスクを介して露光した。これを95℃のホットプレートでベークした後、有
機溶媒中に浸漬することで現像し、高さ30μmの第1構造体1及び第2構造体2を夫々
形成した。その後、180℃のホットプレート上でポストベークし、十分に化学増幅型感
光性エポキシ樹脂を硬化させた。この工程によって、化学増幅型感光性エポキシ樹脂の硬
化物からなる隔壁10(第1構造体1および第2構造体2)を形成した。なお、図1(a
)に示すように、第1構造体1は、画素を囲む格子の4つの角を含む、ほぼ全体を形成し
て格子の対向する二辺夫々の中央に孔31が開いた形状であり、孔31は対向する二辺の
一方の側で大きな開口を有する第1開口部32と、他方の側で第1開口部32より小さい
開口を有する第2開口部33の2段階となっている。また、第2構造体2は、上述した対
向する二辺に対応する領域に、第1開口部32より小さく第2開口部33よりも大きい幅
を有する柱状の形状とする。
A chemically amplified photosensitive epoxy resin (negative type) was applied on the first substrate 3 and the second substrate 4 to a thickness of 30 μm using a spinner. After pre-baking with a hot plate at 95 ° C., exposure was performed through a photomask. This was baked on a hot plate at 95 ° C. and then developed by immersing in an organic solvent to form a first structure 1 and a second structure 2 each having a height of 30 μm. Thereafter, post-baking was performed on a hot plate at 180 ° C. to sufficiently cure the chemically amplified photosensitive epoxy resin. By this step, the partition walls 10 (first structure 1 and second structure 2) made of a cured product of the chemically amplified photosensitive epoxy resin were formed. Note that FIG.
), The first structure 1 has a shape in which a hole 31 is formed in the center of each of two opposite sides of the lattice, forming substantially the whole, including the four corners of the lattice surrounding the pixel. Reference numeral 31 denotes two stages, a first opening 32 having a large opening on one side of two opposite sides and a second opening 33 having an opening smaller than the first opening 32 on the other side. The second structure 2 has a columnar shape having a width smaller than the first opening 32 and larger than the second opening 33 in the region corresponding to the two opposite sides described above.

次に、第2基板4の周辺部に注入口および排気口を除いて、直径30μmの円筒形のガ
ラスロッドを混ぜた室温硬化型2液性エポキシ接着剤をディスペンサーを用いて塗布した
。その後、第1基板3の主面上と第2基板4の主面上が対向するように、第1基板3の上
に第2基板4をのせ、前記接着剤を介して貼り合わせた。このとき、図1(a)に示すよ
うに、第1構造体1と第2構造体2の間には空間があり、注入の際の流路が確保されてい
る。
Next, a room temperature curable two-component epoxy adhesive mixed with a cylindrical glass rod having a diameter of 30 μm was applied to the peripheral portion of the second substrate 4 using a dispenser except for the inlet and the exhaust port. Thereafter, the second substrate 4 was placed on the first substrate 3 so that the main surface of the first substrate 3 and the main surface of the second substrate 4 were opposed to each other, and bonded together with the adhesive. At this time, as shown to Fig.1 (a), there exists space between the 1st structure 1 and the 2nd structure 2, and the flow path in the case of injection | pouring is ensured.

この接着剤が硬化する前に、注入口に分散液11を滴下した。毛細管現象により基板間
に分散液11が注入され、すべての画素に分散液11を満たすことができた。その後、第
1基板3を固定したまま第2基板4を軽く押しながらずらし、図1(b)に示すように、
第1構造体1の孔31を第2構造体2で塞ぐように第1構造体1と第2構造体2を接触さ
せた。この状態で第1基板3と第2基板4を約30分間固定し、室温硬化型2液性エポキ
シ接着剤を硬化させた。次に、注入口と排気口を接着剤で封じ、分散液11を基板間に密
閉した。
Before the adhesive was cured, the dispersion 11 was dropped into the inlet. The dispersion liquid 11 was injected between the substrates by capillary action, and all the pixels could be filled with the dispersion liquid 11. After that, while the first substrate 3 is fixed, the second substrate 4 is lightly pushed and shifted, as shown in FIG.
The 1st structure 1 and the 2nd structure 2 were made to contact so that the hole 31 of the 1st structure 1 might be plugged up with the 2nd structure 2. In this state, the first substrate 3 and the second substrate 4 were fixed for about 30 minutes, and the room temperature curing type two-component epoxy adhesive was cured. Next, the inlet and the outlet were sealed with an adhesive, and the dispersion 11 was sealed between the substrates.

分散液11には、絶縁性液体8としてシリコーンオイルを、帯電粒子7として表面にポ
リスチレンをコートしたカーボン粒子を使用した。この場合、絶縁性液体8は透明であり
、帯電粒子7は黒色であった。第2基板4の第2電極6を形成した面とは反対の面には、
光沢紙(不図示)を貼り付け、白色を呈する反射板とした。最後に電圧印加回路(不図示
)を接続し、電気泳動表示装置を完成させた。なお、第1構造体1と第2構造体2の高さ
をともに30μmとしたので、完成した電気泳動表示装置の基板間の距離も30μmとな
った。なお、第1構造体1と第2構造体2の高さを同じにすることで、基板間のGapを
高精度に制御することができた。
In the dispersion 11, silicone oil was used as the insulating liquid 8, and carbon particles whose surfaces were coated with polystyrene were used as the charged particles 7. In this case, the insulating liquid 8 was transparent and the charged particles 7 were black. On the surface opposite to the surface on which the second electrode 6 of the second substrate 4 is formed,
Glossy paper (not shown) was pasted to make a white reflecting plate. Finally, a voltage application circuit (not shown) was connected to complete the electrophoretic display device. Since the heights of the first structure 1 and the second structure 2 are both 30 μm, the distance between the substrates of the completed electrophoretic display device is also 30 μm. Note that the gap between the substrates could be controlled with high accuracy by making the first structure 1 and the second structure 2 the same height.

この電気泳動表示装置を駆動したところ、コントラスト8:1で、白表示時に反射率5
0%という優れた表示特性が得られた。また、焼き付き等の表示不良はなく、長時間駆動
してもコントラストの低下は見られなかった。また、本実施例では、約5分間で分散液1
1の注入を完了することができ、本実施例の注入方法が簡便で量産性に優れていることが
裏付けられた。
When this electrophoretic display device was driven, the contrast was 8: 1 and the reflectance was 5 for white display.
An excellent display characteristic of 0% was obtained. Further, there was no display defect such as burn-in, and no reduction in contrast was observed even when driven for a long time. Further, in this example, the dispersion 1 can be obtained in about 5 minutes.
1 was completed, and it was proved that the injection method of this example was simple and excellent in mass productivity.

(実施例2)
図6に示すような、第1の実施形態の第1の変形例に関する実施例2について説明する
。本実施例では、実施例1と同様な部分については説明を省略する。
(Example 2)
Example 2 relating to the first modification of the first embodiment as shown in FIG. 6 will be described. In the present embodiment, the description of the same parts as those in the first embodiment will be omitted.

本実施例では、第2電極41を第2基板4上の一面に形成し、白色の帯電粒子7と、黒
色を呈する絶縁性液体8を用いた以外は、実施例1と同様にして電気泳動表示装置を作製
した。第2電極41としてはITOを用い、帯電粒子7としては白色の酸化チタン粒子(
平均粒径は0.3μm)を、絶縁性液体8としてはジメチルシリコンに黒色の色素(スー
ダンブラック)を溶かしたものを用いた。その結果、実施例1と同様の効果を得ることが
できた。
In this example, electrophoresis is performed in the same manner as in Example 1 except that the second electrode 41 is formed on one surface of the second substrate 4 and the white charged particles 7 and the black insulating liquid 8 are used. A display device was produced. ITO is used as the second electrode 41, and white titanium oxide particles (
The average particle diameter was 0.3 μm), and the insulating liquid 8 was a dimethyl silicon solution in which a black pigment (Sudan Black) was dissolved. As a result, the same effect as in Example 1 could be obtained.

(実施例3)
図7に示すような、第1の実施形態の第2の変形例に関する実施例3について説明する
。本実施例では、実施例1と同様な部分については説明を省略する。
(Example 3)
Example 3 relating to the second modification of the first embodiment as shown in FIG. 7 will be described. In the present embodiment, the description of the same parts as those in the first embodiment will be omitted.

本実施例では、第1電極42と第2電極43の双方を第1基板3上に形成した以外は実
施例1と同様にして電気泳動表示装置を作製した。第1電極42、第2電極43はITO
で作製し、第1電極42と第2電極43の比は10:1とした。その結果、実施例1と同
様の効果を得ることができた。
In this example, an electrophoretic display device was produced in the same manner as in Example 1 except that both the first electrode 42 and the second electrode 43 were formed on the first substrate 3. The first electrode 42 and the second electrode 43 are ITO
The ratio of the first electrode 42 to the second electrode 43 was 10: 1. As a result, the same effect as in Example 1 could be obtained.

(実施例4)
図8に示すような、第2の実施形態に関する実施例4について説明する。本実施例では
、実施例1と同様な部分については説明を省略する。
Example 4
Example 4 relating to the second embodiment as shown in FIG. 8 will be described. In the present embodiment, the description of the same parts as those in the first embodiment will be omitted.

本実施例では、孔51の大きさを、実施例1のように2段階にせず、第2構造体2より
は小さい形状とした以外は実施例1と同様にして電気泳動表示装置を作製した。1画素の
サイズは縦125μm、横125μmとし、L1=15μm、L2=100μm、d1=
45μm、d2=45μm、W4=20μm、W3=25μmとした。その結果、実施例
1と同様の効果を得ることができた。
In this example, the electrophoretic display device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the size of the hole 51 was not made two steps as in Example 1 and was smaller than that of the second structure 2. . The size of one pixel is 125 μm in length and 125 μm in width, L1 = 15 μm, L2 = 100 μm, d1 =
45 μm, d2 = 45 μm, W4 = 20 μm, and W3 = 25 μm. As a result, the same effect as in Example 1 could be obtained.

(実施例5)
図9に示すような、第3の実施形態に関する実施例5について説明する。本実施例では
、実施例4と同様な部分については説明を省略する。
(Example 5)
Example 5 relating to the third embodiment as shown in FIG. 9 will be described. In the present embodiment, the description of the same parts as those in the fourth embodiment will be omitted.

本実施例では、孔52、53の位置を、第1構造体1の対向する二辺夫々の中央とする
のではなく、中央以外に互い違いにした以外は実施例4と同様にして電気泳動表示装置を
作製した。1画素のサイズは縦125μm、横125μmとし、L1=15μm、L2=
100μm、d1=80μm、d2=10μm、W4=20μm、W3=25μmとした
。その結果、実施例4と同様の効果を得ることができた。
In the present embodiment, the positions of the holes 52 and 53 are not set at the centers of the two opposing sides of the first structure 1, but are changed to other than the center in the same manner as in the fourth embodiment. A device was made. The size of one pixel is 125 μm in length and 125 μm in width, L1 = 15 μm, L2 =
100 μm, d1 = 80 μm, d2 = 10 μm, W4 = 20 μm, and W3 = 25 μm. As a result, the same effect as in Example 4 could be obtained.

(実施例6)
図10に示すような、第4の実施形態に関する実施例6について説明する。本実施例で
は、実施例4と同様な部分については説明を省略する。
(Example 6)
Example 6 relating to the fourth embodiment as shown in FIG. 10 will be described. In the present embodiment, the description of the same parts as those in the fourth embodiment will be omitted.

本実施例では、第2構造体61の大きさを孔51と全く同じとして、分散液の注入後は
この孔51を塞いで完全な格子状とした以外は実施例4と同様にして電気泳動表示装置を
作製した。1画素のサイズは縦125μm、横125μmとし、L1=15μm、L2=
70μm、d1=42.5μm、d2=42.5μm、W4=W3=20μmとした。そ
の結果、実施例4と同様の効果を得ることができた。ただし、この実施例では、孔51の
幅と第2構造体61の幅が等しくなるように、精度よく第1構造体1および第2構造体6
1を作製する必要がある。
In this example, the size of the second structure 61 is exactly the same as that of the hole 51, and electrophoresis is performed in the same manner as in Example 4 except that after the dispersion liquid is injected, the hole 51 is closed to form a complete lattice. A display device was produced. The size of one pixel is 125 μm in length and 125 μm in width, L1 = 15 μm, L2 =
70 μm, d1 = 42.5 μm, d2 = 42.5 μm, and W4 = W3 = 20 μm. As a result, the same effect as in Example 4 could be obtained. However, in this embodiment, the first structure 1 and the second structure 6 are accurately obtained so that the width of the hole 51 is equal to the width of the second structure 61.
1 must be produced.

(実施例7)
図11に示すような、第5の実施形態に関する実施例7について説明する。本実施例で
は、実施例4と同様な部分については説明を省略する。
(Example 7)
Example 7 relating to the fifth embodiment as shown in FIG. 11 will be described. In the present embodiment, the description of the same parts as those in the fourth embodiment will be omitted.

本実施例では、第1構造体62は、格子の対向する二辺と、もう一対の対向する二辺の
中心部分を担い、第2構造体63が、もう一対の対向する二辺の両端部を担うよう形成し
た以外は実施例4と同様にして電気泳動表示装置を作製した。1画素のサイズは縦125
μm、横125μmとし、d3=45μm、L3=30μm、L4=80μm、W5=W
6=40μmとした。その結果、実施例4と同様の効果を得ることができた。ただし、こ
の実施例では、図11の上下方向にずれがある、若しくは第1構造体62と第2構造体6
3とが精度良く作製されないと、第1構造体62と第2構造体63とを貼り合わせること
が出来ないため、精度が要求される。
In the present embodiment, the first structure 62 bears the two opposite sides of the lattice and the center part of the other two opposite sides, and the second structure 63 has both ends of the other opposite two sides. An electrophoretic display device was produced in the same manner as in Example 4 except that the electrophoretic display device was formed. The size of one pixel is vertical 125
μm, width 125 μm, d3 = 45 μm, L3 = 30 μm, L4 = 80 μm, W5 = W
6 = 40 μm. As a result, the same effect as in Example 4 could be obtained. However, in this embodiment, there is a shift in the vertical direction of FIG. 11, or the first structure 62 and the second structure 6.
3 is not manufactured with high accuracy, the first structure 62 and the second structure 63 cannot be bonded to each other, so that accuracy is required.

(実施例8)
図12、図13及び図14に示すような、第6の実施形態に関する実施例8について説
明する。本実施例では、実施例4と同様な部分については説明を省略する。
(Example 8)
Example 8 relating to the sixth embodiment as shown in FIGS. 12, 13 and 14 will be described. In the present embodiment, the description of the same parts as those in the fourth embodiment will be omitted.

本実施例では、第2基板4に形成された第2構造体72、73、74が夫々、赤のカラ
ーフィルタ層72、緑のカラーフィルタ層73、青のカラーフィルタ層74を所定箇所に
積層して形成したものであり第1基板3に達しない構成である点、従って、第1基板3に
形成された第1構造体71の孔31が第1基板3にまで達する深い孔でない点以外は実施
例4と同様にして電気泳動表示装置を作製した。1画素のサイズは縦125μm、横12
5μmとし、L1=20μm、L2=90μm、d1=45μm、d2=45μm、W4
=20μm、W3=25μmとした。また、第1構造体71の第1基板3(表面コート層
9)表面からの高さをT1、第2構造体72、73、74の第2基板4(表面コート層9
)表面からの高さをT2として、T1=27μm、T2=4.5μmとした。
In this embodiment, the second structures 72, 73, and 74 formed on the second substrate 4 are respectively laminated with a red color filter layer 72, a green color filter layer 73, and a blue color filter layer 74 at predetermined positions. In other words, the hole 31 of the first structure 71 formed in the first substrate 3 is not a deep hole reaching the first substrate 3. Produced an electrophoretic display device in the same manner as in Example 4. The size of one pixel is 125 μm vertically and 12 horizontally
5 μm, L1 = 20 μm, L2 = 90 μm, d1 = 45 μm, d2 = 45 μm, W4
= 20 μm, W3 = 25 μm. The height of the first structure 71 from the surface of the first substrate 3 (surface coat layer 9) is T1, and the second substrate 4 (surface coat layer 9) of the second structures 72, 73, 74
) The height from the surface was T2, and T1 = 27 μm and T2 = 4.5 μm.

本実施例の電気泳動表示装置の製造方法を、実施例4とは異なる点のみ説明する。つま
り、第1構造体71の形成方法および第2構造体とカラーフィルタとを兼ねる赤のカラー
フィルタ層72、緑のカラーフィルタ層73、青のカラーフィルタ層74の形成方法を説
明する。
The method of manufacturing the electrophoretic display device according to the present embodiment will be described only with respect to differences from the fourth embodiment. That is, a method for forming the first structure 71 and a method for forming the red color filter layer 72, the green color filter layer 73, and the blue color filter layer 74 that also serve as the second structure and the color filter will be described.

第1電極5を形成した第1基板3の上に、化学増幅型感光性エポキシ樹脂(ネガ型)を
スピンナーを用いて27μmの厚さに塗布した。95℃のホットプレートでプリベークし
た後、フォトマスクを介して露光した。これを95℃のホットプレートでベークした後、
有機溶媒中に浸漬することで現像し、高さ27μmの第1構造体1の開口部より下の部分
(T1の高さまで)を形成した。この上に、化学増幅型感光性エポキシ樹脂(ネガ型)を
スピンナーを用いて3μmの厚さに塗布した。95℃のホットプレートでプリベークした
後、フォトマスクを介して露光した。これを95℃のホットプレートでベークした後、有
機溶媒中に浸漬することで現像し、先程形成した高さ27μmの構造体上に、開口部を除
いて高さ3μmの構造体を積層した。その後、180℃のホットプレート上でポストベー
クし、十分に化学増幅型感光性エポキシ樹脂を硬化させた。これにより、開口部を有する
第1構造体71を形成した。
On the first substrate 3 on which the first electrode 5 was formed, a chemically amplified photosensitive epoxy resin (negative type) was applied to a thickness of 27 μm using a spinner. After pre-baking with a hot plate at 95 ° C., exposure was performed through a photomask. After baking this on a hot plate at 95 ° C,
Development was performed by immersing in an organic solvent to form a portion (up to the height of T1) below the opening of the first structure 1 having a height of 27 μm. On top of this, a chemically amplified photosensitive epoxy resin (negative type) was applied to a thickness of 3 μm using a spinner. After pre-baking with a hot plate at 95 ° C., exposure was performed through a photomask. This was baked on a hot plate at 95 ° C. and then developed by immersing it in an organic solvent, and a structure having a height of 3 μm was laminated on the structure having a height of 27 μm formed previously except for the opening. Thereafter, post-baking was performed on a hot plate at 180 ° C. to sufficiently cure the chemically amplified photosensitive epoxy resin. Thereby, the first structure 71 having an opening was formed.

第2基板4の上に赤色の顔料を含む感光性アクリル樹脂をスピンナーを用いて2μmの
厚さに塗布した。80℃のホットプレートでプリベークした後、フォトマスクを介して露
光した。これを有機アルカリ水溶液中に浸漬することで現像し、厚さ2μmの赤のカラー
フィルタ層72と、第2構造体の一部を形成した。この上に、緑色の顔料を含む感光性ア
クリル樹脂をスピンナーを用いて2μmの厚さに塗布した。80℃のホットプレートでプ
リベークした後、フォトマスクを介して露光した。これを有機アルカリ水溶液中に浸漬す
ることで現像し、厚さ2μmの緑のカラーフィルタ層73と、第2構造体の一部を形成し
た。この第2構造体の一部は、赤のカラーフィルタ材料で形成した第2構造体の一部の上
に形成されている。この上に青色の顔料を含む感光性アクリル樹脂をスピンナーを用いて
2μmの厚さに塗布した。80℃のホットプレートでプリベークした後、フォトマスクを
介して露光した。これを有機アルカリ水溶液中に浸漬することで現像し、厚さ2μmの青
のカラーフィルタ層73と、第2構造体の一部を形成した。この第2構造体の一部は、赤
及び緑のカラーフィルタ材料で形成した第2構造体の一部の上に形成されており、これら
3色のカラーフィルタ材料で第2構造体が構成されている。なお、赤、緑、青のカラーフ
ィルタ層を重ねることによって、第2構造体の高さは4.5μmとなった。
A photosensitive acrylic resin containing a red pigment was applied on the second substrate 4 to a thickness of 2 μm using a spinner. After pre-baking with a hot plate at 80 ° C., exposure was performed through a photomask. This was developed by immersing it in an organic alkali aqueous solution to form a red color filter layer 72 having a thickness of 2 μm and a part of the second structure. On top of this, a photosensitive acrylic resin containing a green pigment was applied to a thickness of 2 μm using a spinner. After pre-baking with a hot plate at 80 ° C., exposure was performed through a photomask. This was developed by immersing it in an organic alkali aqueous solution to form a green color filter layer 73 having a thickness of 2 μm and a part of the second structure. A part of the second structure is formed on a part of the second structure formed of a red color filter material. A photosensitive acrylic resin containing a blue pigment was applied on this to a thickness of 2 μm using a spinner. After pre-baking with a hot plate at 80 ° C., exposure was performed through a photomask. This was developed by immersing it in an organic alkaline aqueous solution to form a blue color filter layer 73 having a thickness of 2 μm and a part of the second structure. A part of the second structure is formed on a part of the second structure formed of red and green color filter materials, and the second structure is constituted by these three color filter materials. ing. Note that the height of the second structural body was 4.5 μm by overlapping the red, green, and blue color filter layers.

この電気泳動表示装置を駆動したところ、コントラスト8:1で、白表示時に反射率5
0%という優れた表示特性が得られた。また、焼き付き等の表示不良はなく、長時間駆動
してもコントラストの低下は起こらなかった。また、本実施例では、約10分間で分散液
の注入を完了することができ、本実施例の注入方法が簡便で量産性に優れていることが裏
付けられた。
When this electrophoretic display device was driven, the contrast was 8: 1 and the reflectance was 5 for white display.
An excellent display characteristic of 0% was obtained. Further, there was no display defect such as burn-in, and the contrast did not decrease even when driven for a long time. In addition, in this example, the injection of the dispersion liquid could be completed in about 10 minutes, and it was proved that the injection method of this example was simple and excellent in mass productivity.

また、本実施例ではカラーフィルタ部材を積層させることで第2構造体を作製したため
、第2構造体形成のためのフォトリソグラフィー工程を省略できた。また、本実施例の第
1構造体および第2構造体は基板面と垂直方向でオーバーラップしているため、分散液の
膨張や収縮により基板間の距離が変化しても、隔壁として機能することができる。
Further, in this example, since the second structure was produced by laminating the color filter members, the photolithography process for forming the second structure could be omitted. In addition, since the first structure body and the second structure body of this embodiment overlap in the direction perpendicular to the substrate surface, the first structure body and the second structure function as a partition even if the distance between the substrates changes due to the expansion or contraction of the dispersion liquid. be able to.

本発明の第1の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、(a)は分散液を注入する前、(b)は分散液を注入した後を示す。It is a top view of the electrophoretic display device concerning a 1st embodiment of the present invention, and (a) shows before injecting dispersion liquid, and (b) shows after injecting dispersion liquid. 本発明の第1の実施形態に係る電気泳動表示装置の断面図であり、(a)は図1(a)のa−a´間の断面図、(b)は図1(b)のb−b´間の断面図である。It is sectional drawing of the electrophoretic display device which concerns on the 1st Embodiment of this invention, (a) is sectional drawing between aa 'of Fig.1 (a), (b) is b of FIG.1 (b). It is sectional drawing between -b '. (a)、(b)、(c)、(d)、(e)とも、本発明の第1の実施形態に係る電気泳動表示装置の製造工程を示す断面図である。(A), (b), (c), (d), (e) is a sectional view showing a manufacturing process of the electrophoretic display device according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態に係る電気泳動表示装置を示す平面図であり、(a)が第1基板側からみた図、(b)が第2基板側から見た図である。It is a top view which shows the electrophoretic display device which concerns on the 1st Embodiment of this invention, (a) is the figure seen from the 1st board | substrate side, (b) is the figure seen from the 2nd board | substrate side. 分散液を注入する際の第1構造体と第2構造体との間の距離を説明する平面図である。It is a top view explaining the distance between the 1st structure and the 2nd structure at the time of pouring a dispersion. 本発明の第1の実施形態の第1の変形例に係る電気泳動表示装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electrophoretic display device which concerns on the 1st modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態の第2の変形例に係る電気泳動表示装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electrophoretic display device which concerns on the 2nd modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、(a)は分散液を注入する前、(b)は分散液を注入した後を示す。It is a top view of the electrophoretic display device which concerns on the 2nd Embodiment of this invention, (a) is before inject | pouring a dispersion liquid, (b) shows after inject | pouring a dispersion liquid. 本発明の第3の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、(a)は分散液を注入する前、(b)は分散液を注入した後を示す。It is a top view of the electrophoretic display device which concerns on the 3rd Embodiment of this invention, (a) is before injecting a dispersion liquid, (b) shows after inject | pouring a dispersion liquid. 本発明の第4の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、(a)は分散液を注入する前、(b)は分散液を注入した後を示す。It is a top view of the electrophoretic display device which concerns on the 4th Embodiment of this invention, (a) is before inject | pouring a dispersion liquid, (b) shows after inject | pouring a dispersion liquid. 本発明の第5の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、(a)は分散液を注入する前、(b)は分散液を注入した後を示す。It is a top view of the electrophoretic display device which concerns on the 5th Embodiment of this invention, (a) is before injecting a dispersion liquid, (b) shows after inject | pouring a dispersion liquid. 本発明の第6の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、(a)は分散液を注入する前、(b)は分散液を注入した後を示す。It is a top view of the electrophoretic display device which concerns on the 6th Embodiment of this invention, (a) is before inject | pouring a dispersion liquid, (b) shows after inject | pouring a dispersion liquid. 本発明の第6の実施形態に係る電気泳動表示装置の断面図であり、(a)は図12(a)のc−c´間の断面図、(d)は図12(b)のd−d´間の断面図である。It is sectional drawing of the electrophoretic display device which concerns on the 6th Embodiment of this invention, (a) is sectional drawing between cc 'of Fig.12 (a), (d) is d of FIG.12 (b). It is sectional drawing between -d '. 本発明の第6の実施形態に係る電気泳動表示装置の断面図であり、図12(b)の左側から見た断面図である。It is sectional drawing of the electrophoretic display device which concerns on the 6th Embodiment of this invention, and is sectional drawing seen from the left side of FIG.12 (b).

符号の説明Explanation of symbols

1,62,71…第1構造体
2,61,63…第2構造体
3…第1基板
4…第2基板
5,42…第1電極
6,41,43…第2電極
7…帯電粒子
8…絶縁性液体
9…表面コート層
10…隔壁
11…分散液
21…信号線
22…ゲート線
23…TFT素子
31,51…孔
32…第1開口部
33…第2開口部
52…第1の孔
53…第2の孔
54…第3の孔
55…第4の孔
72…赤のカラーフィルタ層
73…緑のカラーフィルタ層
74…青のカラーフィルタ層

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,62,71 ... 1st structure 2,61,63 ... 2nd structure 3 ... 1st board | substrate 4 ... 2nd board | substrate 5,42 ... 1st electrode 6,41,43 ... 2nd electrode 7 ... charged particle 8 ... Insulating liquid 9 ... Surface coat layer 10 ... Partition wall 11 ... Dispersion liquid 21 ... Signal line 22 ... Gate line 23 ... TFT elements 31, 51 ... Hole 32 ... First opening 33 ... Second opening 52 ... First Hole 53 ... second hole 54 ... third hole 55 ... fourth hole 72 ... red color filter layer 73 ... green color filter layer 74 ... blue color filter layer

Claims (12)

互いに対向して配置される第1基板及び第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間で各小区域を格子状に囲むよう設けられる隔壁と、
前記第1基板と前記第2基板との間に設けられる絶縁性液体と、
前記絶縁性液体中に分散される複数の帯電粒子と、
前記第1基板若しくは前記第2基板上に、各画素に対応して設けられる第1電極と、
前記第1基板若しくは前記第2基板上に、前記各画素に対応して設けられる第2電極と

前記第1電極及び前記第2電極に電圧を印加する駆動手段とを具備し、
前記隔壁は、対向する二辺夫々の少なくとも一部に設けられる孔を有し前記各小区域を
区分する第1構造体と、前記孔を塞ぐよう設けられる第2構造体とを有する
ことを特徴とする電気泳動表示装置。
A first substrate and a second substrate disposed opposite to each other;
A partition provided to surround each small area in a lattice shape between the first substrate and the second substrate;
An insulating liquid provided between the first substrate and the second substrate;
A plurality of charged particles dispersed in the insulating liquid;
A first electrode provided corresponding to each pixel on the first substrate or the second substrate;
A second electrode provided corresponding to each pixel on the first substrate or the second substrate;
Driving means for applying a voltage to the first electrode and the second electrode;
The partition has a first structure that has holes provided in at least a part of each of two opposing sides, and a second structure that is provided so as to close the holes. An electrophoretic display device.
前記小区域は1つ若しくは複数の前記画素で構成されることを特徴とする請求項1記載の
電気泳動表示装置。
The electrophoretic display device according to claim 1, wherein the small area includes one or a plurality of the pixels.
前記第1構造体は前記第1基板に接着され、前記第2構造体は前記第2基板に接着されて
いることを特徴とする請求項1記載の電気泳動表示装置。
The electrophoretic display device according to claim 1, wherein the first structure is bonded to the first substrate, and the second structure is bonded to the second substrate.
前記第1構造体が前記小区域を囲むように形成され、前記孔は前記対向する二辺夫々の一
部に設けられることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電気泳動表示装
置。
4. The electricity according to claim 1, wherein the first structure is formed so as to surround the small area, and the hole is provided in a part of each of the two opposite sides. Electrophoretic display device.
前記孔は前記対向する二辺夫々の中央に設けられることを特徴とする請求項4記載の電気
泳動表示装置。
The electrophoretic display device according to claim 4, wherein the hole is provided at a center of each of the two opposite sides.
前記孔は前記対向する二辺夫々の中央以外に互い違いになるよう設けられることを特徴と
する請求項4記載の電気泳動表示装置。
The electrophoretic display device according to claim 4, wherein the holes are provided in a manner other than the center of the two opposite sides.
前記第2基板上に設けられる、第1色を呈する第1フィルタと前記第1色とは異なる第2
色を呈する第2フィルタと前記第1色とも前記第2色とも異なる第3色を呈する第3フィ
ルタとを含むカラーフィルタをさらに具備し、
前記第2構造体は前記第1フィルタと前記第2フィルタと前記第3フィルタを積層した
積層体を含む
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電気泳動表示装置。
A first filter having a first color and a second color different from the first color are provided on the second substrate.
A color filter including a second filter exhibiting a color and a third filter exhibiting a third color different from both the first color and the second color;
The electrophoretic display device according to any one of claims 1 to 3, wherein the second structure includes a stacked body in which the first filter, the second filter, and the third filter are stacked.
第1基板若しくは第2基板の一方の主面上に、各画素に対応して設けられる第1電極を形
成する工程と、
前記第1基板若しくは前記第2基板の前記一方の主面上に、前記各画素に対応して設け
られる第2電極を形成する工程と、
前記第1基板の、前記一方の主面上に、格子の対向する二辺夫々の少なくとも一部に設
けられる孔を有し各小区域を区分する第1構造体を形成する工程と、
前記第2基板の、前記一方の主面上の前記孔に対応する領域に、前記孔以上の大きさの
第2構造体を形成する工程と、
前記第1構造体と前記第2構造体とで前記孔を塞がないよう、前記第1基板及び前記第
2基板の前記一方の主面同士を対向させて貼り合わせる工程と、
絶縁性液体中に複数の帯電粒子を分散させた分散液を、前記孔を通じて前記第1基板と
前記第2基板との間に注入する工程と、
前記分散液を注入した前記第1基板と前記第2基板の少なくとも一方を基板面内で移動
させ、前記第1構造体と前記第2構造体とで前記孔を塞ぐ工程と
を具備することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
Forming a first electrode provided corresponding to each pixel on one main surface of the first substrate or the second substrate;
Forming a second electrode provided corresponding to each pixel on the one main surface of the first substrate or the second substrate;
Forming a first structure that has holes provided in at least a part of each of two opposite sides of the lattice on the one main surface of the first substrate, and that partitions each small area;
Forming a second structure larger than the hole in a region corresponding to the hole on the one main surface of the second substrate;
Attaching the one main surface of the first substrate and the second substrate to face each other so as not to block the hole between the first structure and the second structure;
Injecting a dispersion in which a plurality of charged particles are dispersed in an insulating liquid between the first substrate and the second substrate through the holes;
Moving at least one of the first substrate and the second substrate into which the dispersion liquid has been injected within the substrate surface, and closing the holes with the first structure and the second structure. A method for manufacturing an electrophoretic display device.
前記小区域は1つ若しくは複数の前記画素で構成されることを特徴とする請求項8記載の
電気泳動表示装置の製造方法。
The method of manufacturing an electrophoretic display device according to claim 8, wherein the small area includes one or a plurality of the pixels.
前記第1構造体が前記小区域を囲むように形成され、前記孔は前記対向する二辺夫々の一
部に設けられることを特徴とする請求項8若しくは9に記載の電気泳動表示装置の製造方
法。
10. The electrophoretic display device according to claim 8, wherein the first structure is formed so as to surround the small area, and the hole is provided in a part of each of the two opposite sides. Method.
前記孔は前記対向する二辺夫々の中央に設けられることを特徴とする請求項10記載の電気泳動表示装置の製造方法。 The method of manufacturing an electrophoretic display device according to claim 10, wherein the hole is provided at a center of each of the two opposing sides. 前記孔は前記対向する二辺夫々の中央以外に互い違いになるよう設けられることを特徴と
する請求項10記載の電気泳動表示装置の製造方法。

The method of manufacturing an electrophoretic display device according to claim 10, wherein the holes are provided to be staggered except for the centers of the two opposite sides.

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