JP2005246256A - Ozone thermal decomposition apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ozone thermal decomposition apparatus capable of reducing a consumption energy required for the ozone thermal decomposition of ozone-containing gas. <P>SOLUTION: The apparatus is provided with: a thermal exchange part 14; a heating part 15; a packed part 11 which is packed with silica gel 25; a heater 21 which heats the heating part 15 and holds the packed part 11 at a constant temperature; and a communication pipe 18 which is communicated with the packed part 11 and penetrates through the thermal exchange part 14. Therein, the ozone-containing gas derived from the thermal exchange part 14 to the heating part 15 is heated at a constant temperature in the range of 100°C to 350°C by the heater 21, is allowed to pass through the packed part 11 which is held at a constant temperature in the range of 100°C to 350°C, thereby ozone is thermally decomposed and, at the same time, the ozone-containing gas in the thermal exchange part 14 is preheated by ozone-removed gas passing through the communication pipe 18. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、オゾン含有気体中のオゾンを熱分解するオゾン熱分解装置に関する。   The present invention relates to an ozone pyrolysis apparatus that thermally decomposes ozone in an ozone-containing gas.

近年、上下水道の殺菌、廃水処理、加工食品や医療器具の殺菌や洗浄、脱臭等に広くオゾン含有気体、即ちオゾンガスが多く使用される。ここで、オゾンガスは、高濃度のものはその強い酸化力によって生体にも種々の作用をし、視力障害を起こしたり呼吸器に刺激症状があらわれる原因となることがある。そこで、水に溶け込まなかったり、反応しなかった余剰のオゾンを酸素に分解して排出する必要がある。   In recent years, ozone-containing gas, that is, ozone gas, is widely used for sterilization of water and sewage, wastewater treatment, sterilization and cleaning of processed foods and medical instruments, deodorization, and the like. Here, ozone gas having a high concentration may have various effects on the living body due to its strong oxidizing power, which may cause visual impairment or cause irritation in the respiratory tract. Therefore, it is necessary to decompose and discharge excess ozone that has not dissolved in water or reacted, into oxygen.

従来のオゾン処理には熱分解装置が広く使用されている。この種の熱分解装置としては、例えば、図3に示すようにヒータ配線がセラミック内に埋設された円筒状のセラミックヒータ101と、このセラミックヒータ101の外周を囲うように設けられたステンレススチール材からなる有底円筒状のケース体102とを備え、そのケース本体102を貫通してセラミックヒータ101の中心部にガス注入管103を挿入し、ケース本体102にガス吐出口104を設ける。そして、ガス注入管103から注入されたオゾンガスは、セラミックヒータ101の中心部の環状の空間と、セラミックヒータ101の外周とケース本体102とによって形成される環状の空隙とを通過してガス吐出口104から排出される間にオゾンガスがセラミックヒータ101によって500℃程度に加熱されてオゾンが熱分解するオゾン分解用セラミックヒータユニット100が知られている(例えば、特許文献1参照)。   Thermal decomposition apparatuses are widely used for conventional ozone treatment. As this type of thermal decomposition apparatus, for example, as shown in FIG. 3, a cylindrical ceramic heater 101 in which heater wiring is embedded in ceramic, and a stainless steel material provided so as to surround the outer periphery of the ceramic heater 101 A bottomed cylindrical case body 102 is provided, and a gas injection pipe 103 is inserted into the center portion of the ceramic heater 101 through the case main body 102, and a gas discharge port 104 is provided in the case main body 102. The ozone gas injected from the gas injection pipe 103 passes through an annular space in the center of the ceramic heater 101 and an annular gap formed by the outer periphery of the ceramic heater 101 and the case body 102, and is a gas discharge port. There is known a ceramic heater unit 100 for ozonolysis in which ozone gas is heated to about 500 ° C. by a ceramic heater 101 while being discharged from 104 to thermally decompose ozone (see, for example, Patent Document 1).

また、図4に示すように被処理水が貯留されたオゾン接触槽111から排出されたオゾンガスを熱分解装置112に供給するオゾンガス供給路113に除湿部114を設け、オゾンガス供給路113からのオゾンガスを熱処理装置112で500℃程度に加熱してオゾンを分解し、その分解後の高温ガスを湿潤状態の除湿部114に供給して吸着材を再生させる排オゾンガス処理装置が知られている(例えば、特許文献2参照)。   Further, as shown in FIG. 4, a dehumidifying portion 114 is provided in an ozone gas supply path 113 that supplies ozone gas discharged from an ozone contact tank 111 in which treated water is stored to the thermal decomposition apparatus 112, and ozone gas from the ozone gas supply path 113 is provided. There is known an exhaust ozone gas treatment device that decomposes ozone by heating to about 500 ° C. in a heat treatment device 112 and supplies the high-temperature gas after the decomposition to a dehumidifying part 114 in a wet state to regenerate the adsorbent (for example, , See Patent Document 2).

特開平10−180037号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-180037 特開2001−190930号公報JP 2001-190930 A

上記特許文献1に開示されたオゾン分解用セラミックヒータユニット100によると、オゾンガスはセラミックからなるセラミックヒータ101の表面に沿って流れ、オゾンガスがヒータ配線に接触することなくヒータ配線の腐食が阻止されて耐久性が向上する。   According to the ceramic heater unit for ozone decomposition 100 disclosed in Patent Document 1, ozone gas flows along the surface of the ceramic heater 101 made of ceramic, and corrosion of the heater wiring is prevented without the ozone gas contacting the heater wiring. Durability is improved.

しかし、オゾンガスをセラミックヒータ101によって500℃程度の高温に加熱して熱分解することから、その加熱に多大な電気エネルギを消費することが懸念される。また、500℃程度の高温に加熱されるセラミックヒータ101を保持する部材等周辺部材の耐熱性も要求される。   However, since ozone gas is heated to a high temperature of about 500 ° C. by the ceramic heater 101 and thermally decomposed, there is a concern that a great amount of electric energy is consumed for the heating. Further, heat resistance of peripheral members such as a member that holds the ceramic heater 101 heated to a high temperature of about 500 ° C. is also required.

また、特許文献2に開示される排オゾンガス処理装置によると、熱分解装置112へオゾンガスを供給するオゾンガス供給路113に除湿部114を設けると共に、熱分解装置112から排出される分解後の高温ガスを除湿部114に供給して吸着材を再生することで、熱分解装置112に供給されるオゾンガスを予め除湿して熱分解装置112でオゾンを分解するために要する消費エネルギを抑制することができる。   Further, according to the exhaust ozone gas treatment device disclosed in Patent Document 2, a dehumidifying portion 114 is provided in the ozone gas supply passage 113 for supplying ozone gas to the thermal decomposition device 112, and the decomposed high-temperature gas discharged from the thermal decomposition device 112 Is supplied to the dehumidifying unit 114 to regenerate the adsorbent, so that the energy consumption required for dehumidifying the ozone gas supplied to the thermal decomposition apparatus 112 in advance and decomposing ozone by the thermal decomposition apparatus 112 can be suppressed. .

しかし、熱分解装置112で500℃程度の高温に加熱してオゾンを熱分解することから、その熱分解に多大の電気エネルギを要することが懸念されと共に、耐熱性も要求される。   However, since ozone is thermally decomposed by being heated to a high temperature of about 500 ° C. by the thermal decomposition apparatus 112, there is a concern that a large amount of electric energy is required for the thermal decomposition, and heat resistance is also required.

ここで、本発明者等は、鋭意研究及び実験の結果、シリカゲル、ゼオライト、多孔質ガラス、多孔質セラミック或いは多孔質金属焼結体の存在下においてオゾンを熱分解することで、その熱分解における加熱温度を低減できることを見いだした。   Here, as a result of diligent research and experiments, the present inventors have thermally decomposed ozone in the presence of silica gel, zeolite, porous glass, porous ceramic or porous metal sintered body, It has been found that the heating temperature can be reduced.

従って、かかる点に鑑みなされた本発明の目的は、オゾン含有気体のオゾン熱分解に要する加熱温度の低減を図ると共に、消費エネルギの低減が得られるオゾン熱分解装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention made in view of such points is to provide an ozone pyrolysis apparatus that can reduce the heating temperature required for the ozone pyrolysis of an ozone-containing gas and can reduce the consumption energy.

上記目的を達成する請求項1に記載のオゾン熱分解装置の発明は、オゾン含有気体中のオゾンを熱分解するオゾン熱分解装置において、オゾン含有気体入口に連通する熱交換部と、該熱交換部に連通する加熱部と、該加熱部に連通しかつ粒状のシリカゲル、ゼオライト、多孔質ガラス、多孔質セラミック或いは多孔質金属結晶体のいずれかが充填された充填部と、上記加熱部を100℃〜350℃の範囲の一定温度に加熱すると共に充填部を100℃〜350℃の範囲の一定温度に保持する加熱手段と、一端が上記充填部に連通し上記熱交換部内を貫通して他端がオゾン除去済気体出口に連通する連通管とを備え、上記オゾン含有気体入口から上記熱交換部を介して加熱部に供給されたオゾン含有気体を上記加熱手段によって100℃〜350℃の範囲の一定温度に加熱し、該加熱されたオゾン含有気体が100℃〜350℃の範囲の一定温度に保持された上記該充填部を通過することによってオゾンが熱分解し、オゾン除去済気体が上記連通管を介してオゾン除去済気体出口から排出されると共に、連通管を流通するオゾン除去済気体によって熱交換部内のオゾン含有気体を加熱することを特徴とする。   The invention of the ozone pyrolysis device according to claim 1, which achieves the above object, is an ozone pyrolysis device for thermally decomposing ozone in an ozone-containing gas, and a heat exchange section communicating with an ozone-containing gas inlet, and the heat exchange A heating part communicating with the heating part, a filling part communicating with the heating part and filled with granular silica gel, zeolite, porous glass, porous ceramic or porous metal crystal, and the heating part 100 Heating means for heating to a constant temperature in the range of ℃ to 350 ℃ and holding the filling part at a constant temperature in the range of 100 ℃ to 350 ℃, and one end communicating with the filling part and penetrating through the heat exchange part A communication pipe whose end communicates with the ozone-removed gas outlet, and the ozone-containing gas supplied from the ozone-containing gas inlet to the heating unit through the heat exchange unit is heated to 100 ° C. to 35 ° C. by the heating means. Heated to a constant temperature in the range of ° C., the ozone is thermally decomposed by passing through the filling part where the heated ozone-containing gas is held at a constant temperature in the range of 100 ° C. to 350 ° C. The gas is discharged from the ozone-removed gas outlet through the communication pipe, and the ozone-containing gas in the heat exchange section is heated by the ozone-removed gas flowing through the communication pipe.

請求項2に記載の発明は、請求項1のオゾン熱分解装置において、上記熱交換部内を迷路状に区画すると共に上記連通管と結合するバッフルプレートを有することを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the ozone pyrolysis apparatus according to the first aspect of the present invention, the heat exchange section is partitioned into a labyrinth and has a baffle plate coupled to the communication pipe.

請求項3に記載の発明は、請求項1または2のオゾン熱分解装置において、上記オゾン含有気体入口が設けられた容器内に上記充填部が設けられ、該充填部によって上記容器内を上記熱交換部と加熱部に区画したことを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the ozone pyrolysis apparatus according to the first or second aspect, the filling portion is provided in a container provided with the ozone-containing gas inlet, and the inside of the container is heated by the filling portion. It is characterized by partitioning into an exchange part and a heating part.

請求項4に記載の発明は、請求項1〜3のいずれかのオゾン熱分解装置において、上記熱交換部に隣接して上記連通管の他端に連通すると共に上記オゾン除去済気体出口が設けられた貯留タンクが配置されたことを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the ozone pyrolysis apparatus according to any one of the first to third aspects, the ozone-removed gas outlet is provided in communication with the other end of the communication pipe adjacent to the heat exchange section. The storage tank is arranged.

請求項1の発明によると、オゾン含有気体入口から熱交換部に注入されたオゾン含有気体を連通管を流通するオゾン除去済気体によって予め加熱し、この予め加熱されたオゾン含有気体を加熱部によって100℃〜350℃の範囲の一定温度に加熱し、この加熱されたオゾン含有気体を粒状のシリカゲル、ゼオライト、多孔質ガラス、多孔質セラミック或いは多孔質金属結晶体のいずれかが充填されて100℃〜350℃の範囲の一定温度に保持された充填内を通過させ、この充填部内を通過する間にオゾンを熱分解熱することから、従来のオゾン熱分解に500℃程度の温度を要したのに比べオゾン熱分解に要する温度を極めて低く設定でき、オゾン熱分解に要する消費エネルギの大幅な削減ができる。   According to invention of Claim 1, the ozone containing gas inject | poured into the heat exchange part from the ozone containing gas inlet_port | entrance is pre-heated by the ozone removal completed gas which distribute | circulates a communicating pipe, This pre-heated ozone containing gas is made into a heating part. It is heated to a constant temperature in the range of 100 ° C. to 350 ° C., and the heated ozone-containing gas is filled with granular silica gel, zeolite, porous glass, porous ceramic, or porous metal crystal and is heated to 100 ° C. Because the ozone is thermally decomposed while passing through the filling maintained at a constant temperature in the range of ˜350 ° C., the temperature of about 500 ° C. was required for conventional ozone pyrolysis. Compared to the above, the temperature required for ozone pyrolysis can be set very low, and the energy consumption required for ozone pyrolysis can be greatly reduced.

請求項2の発明によると、連通路に結合すると共に熱交換部内を迷路状に区画するバッフルプレートを配置することによって伝熱面積が確保でき、かつ熱交換部内におけるオゾン含有気体の滞留時間が確保できてオゾン含有気体の予熱が良好に行える。   According to the second aspect of the present invention, the heat transfer area can be secured by arranging the baffle plate that is coupled to the communication path and divides the heat exchange part into a labyrinth, and the residence time of the ozone-containing gas in the heat exchange part is secured. The ozone-containing gas can be preheated well.

請求項3の発明によると、単一の容器内を充填部によって熱交換部と加熱部に区画する簡単な構成によって充填部、熱交換部及び加熱部が形成できる。   According to invention of Claim 3, a filling part, a heat exchange part, and a heating part can be formed by the simple structure which partitions the inside of a single container into a heat exchange part and a heating part by a filling part.

請求項4の発明によると、熱交換部に隣接してオゾン除去済気体を貯留する貯留タンクを配置することによって、貯留タンク内に貯留された高温のオゾン除去済気体によっても熱交換部内のオゾン含有気体を予熱することができる。   According to the invention of claim 4, by arranging a storage tank for storing the ozone-removed gas adjacent to the heat exchange part, the ozone in the heat exchange part is also obtained by the high temperature ozone-removed gas stored in the storage tank. The contained gas can be preheated.

以下、図1及び図2を参照してオゾン熱分解装置の実施の形態を説明する。   Hereinafter, an embodiment of the ozone pyrolysis apparatus will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

図1は、オゾン熱分解装置1の概略を示す断面図である。オゾン熱分解装置1は、オゾン含有気体、即ちオゾンガスに対して優れた対腐食性を有するステンレススチール材からなる上下方向に連続する筒状の筒部3と、この筒部3の上方及び下方の開口部をそれぞれ密閉する上面部4及び底面部5とによって形成された上下方向に長い中空状の容器2を有している。筒部3の側面下部にオゾン含有気体入口7を有する導管6が連通している。また、底面部5の下方に有底筒状の貯留タンク8が連続形成され、貯留タンク8の側面にオゾン除去済気体出口9が連通している。   FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an ozone pyrolysis apparatus 1. The ozone pyrolysis apparatus 1 includes a cylindrical cylindrical portion 3 made of a stainless steel material having an anticorrosive property superior to ozone-containing gas, that is, ozone gas, and a cylindrical cylindrical portion 3 that is continuous above and below the cylindrical portion 3. It has the hollow container 2 long in the up-down direction formed by the upper surface part 4 and the bottom surface part 5 which seal each opening. A conduit 6 having an ozone-containing gas inlet 7 communicates with the lower part of the side surface of the cylindrical portion 3. A bottomed cylindrical storage tank 8 is continuously formed below the bottom surface portion 5, and an ozone-removed gas outlet 9 communicates with the side surface of the storage tank 8.

容器2内の上部に側部12及び底部13によって形成された有底筒状の充填部11が設けられている。この充填部11によって容器2内を下方の熱交換部14と上方の加熱部15に区画すると共に、充填部11の側部12と容器2の筒部3とによって熱交換部14と加熱部15とを連通する連通路16を形成している。即ち、単一の容器2内を充填部11によって熱交換部14と加熱部15に区画する簡単な構成によって充填部11、熱交換部14及び加熱部15が容器2内に形成できる。   A bottomed cylindrical filling portion 11 formed by the side portion 12 and the bottom portion 13 is provided in the upper portion of the container 2. The inside of the container 2 is partitioned into a lower heat exchange part 14 and an upper heating part 15 by the filling part 11, and the heat exchange part 14 and the heating part 15 are constituted by the side part 12 of the filling part 11 and the cylindrical part 3 of the container 2. Is formed. That is, the filling part 11, the heat exchange part 14, and the heating part 15 can be formed in the container 2 by a simple configuration in which the inside of the single container 2 is partitioned into the heat exchange part 14 and the heating part 15 by the filling part 11.

容器2の筒部3及び底面部5と充填部11の底部13によって形成された中空状の熱交換部14内は、オゾン含有気体入口7から熱交換部14内に注入されたオゾンガスを熱交換部14内に滞留する時間を確保するために水平方向の延在する複数のバッフルプレート17によって迷路状に区画されている。   The hollow heat exchange part 14 formed by the cylindrical part 3 and the bottom part 5 of the container 2 and the bottom part 13 of the filling part 11 exchanges ozone gas injected from the ozone-containing gas inlet 7 into the heat exchange part 14. In order to secure the time for staying in the portion 14, it is partitioned in a maze shape by a plurality of baffle plates 17 extending in the horizontal direction.

充填部11の底部13と底面部5の間には一端が充填部11内に連通し他端が底面部5を介して貯留タンク8に連通する複数の連通管18が熱交換部14内を貫通して設けられている。この充填部11の底部13と底面部5との間に掛け渡された複数の連通管18は、それぞれのバッフルプレート17を貫通するすると共に伝熱可能に結合されている。バッフルプレート17及び連通管18は、オゾンガスに対して優れた対腐食性を有すると共に伝熱性に優れたステンレススチール材によって形成されている。   A plurality of communication pipes 18 having one end communicating with the filling portion 11 and the other end communicating with the storage tank 8 via the bottom portion 5 are provided between the bottom portion 13 and the bottom surface portion 5 of the filling portion 11. It is provided through. A plurality of communication pipes 18 spanned between the bottom portion 13 and the bottom surface portion 5 of the filling portion 11 penetrate the respective baffle plates 17 and are coupled to be able to transfer heat. The baffle plate 17 and the communication pipe 18 are formed of a stainless steel material having excellent corrosion resistance against ozone gas and excellent heat conductivity.

充填部11の上方に形成された加熱部15内に、加熱手段となる赤外線ヒータ等の加熱用ヒータ21が配設されている。なお22は加熱用ヒータ21の端子ボックスである。更に、充填部11の温度を検知する温度検知手段として熱電対23が配設されている。熱電対23は上面部4を貫通して温度検知部となる先端23aが充填部11内に設定されている。   A heating heater 21 such as an infrared heater serving as a heating means is disposed in a heating unit 15 formed above the filling unit 11. Reference numeral 22 denotes a terminal box of the heater 21 for heating. Further, a thermocouple 23 is provided as a temperature detecting means for detecting the temperature of the filling portion 11. In the thermocouple 23, a tip 23 a that penetrates the upper surface portion 4 and serves as a temperature detection portion is set in the filling portion 11.

この熱電対23による温度検知に基づいて図示しない制御手段によって加熱用ヒータ21の出力を制御して予め設定された温度に加熱部15を加熱すると共に充填部11の温度を一定に保持する。即ち、本実施の形態では熱電対23による温度検知に基づいて加熱用ヒータ21の出力を制御して加熱部15の温度を100℃〜350℃の範囲の一定温度に加熱すると共に、充填部11を100℃〜350℃の範囲の一定温度に保持する。   Based on temperature detection by the thermocouple 23, the output of the heater 21 is controlled by a control means (not shown) to heat the heating unit 15 to a preset temperature and keep the temperature of the filling unit 11 constant. That is, in the present embodiment, the output of the heater 21 is controlled based on temperature detection by the thermocouple 23 to heat the temperature of the heating unit 15 to a constant temperature in the range of 100 ° C. to 350 ° C., and the filling unit 11. Is kept at a constant temperature in the range of 100 ° C to 350 ° C.

充填部11内の下部範囲には、微細かつ多数の空孔を有する多孔質で大きな表面積が確保できる粒状、例えば径が3mm〜4mmのシリカゲル25が充填されている。   The lower range in the filling part 11 is filled with fine particles having a large number of pores and having a large surface area, for example, silica gel 25 having a diameter of 3 mm to 4 mm.

図1に矢印で示すように、オゾンガスをオゾン含有気体入口7から導管6を介して容器2に形成された熱交換部14の下部に連続注入する。熱交換部14の下部に注入されたオゾンガスは、各バッフルプレート17に沿って誘導されて蛇行つつ緩やかに熱交換部14内を上昇し、連通路16から加熱部15に供給される。   As indicated by arrows in FIG. 1, ozone gas is continuously injected from the ozone-containing gas inlet 7 into the lower part of the heat exchange unit 14 formed in the container 2 through the conduit 6. The ozone gas injected into the lower part of the heat exchanging unit 14 is guided along each baffle plate 17 and gently rises in the heat exchanging unit 14 while meandering, and is supplied to the heating unit 15 from the communication path 16.

加熱部15に供給されたオゾンガスは、加熱用ヒータ21によって例えば100℃〜350℃の範囲に加熱される。加熱されたオゾンガスは、加熱部15に連続形成されてシリカゲル25が充填された充填部11内を通過し、連通管18に送られる。この時、充填部11を通過するオゾンガスは、シリカゲル25の存在下で加熱用ヒータ21によって100℃〜350℃の範囲の一定温度に保持され、オゾンが酸素に熱分解されてオゾン除去済気体となり、連通管18を経由して貯留タンク8に送られ、貯留タンク8で冷却してからオゾン除去済気体出口9を介して大気中に放出される。   The ozone gas supplied to the heating unit 15 is heated to, for example, a range of 100 ° C. to 350 ° C. by the heater 21 for heating. The heated ozone gas is continuously formed in the heating unit 15, passes through the filling unit 11 filled with the silica gel 25, and is sent to the communication pipe 18. At this time, the ozone gas passing through the filling portion 11 is maintained at a constant temperature in the range of 100 ° C. to 350 ° C. by the heater 21 in the presence of the silica gel 25, and the ozone is thermally decomposed into oxygen to become an ozone-removed gas. Then, it is sent to the storage tank 8 through the communication pipe 18, cooled in the storage tank 8, and then released into the atmosphere through the ozone-removed gas outlet 9.

ここで、100℃〜350℃に加熱保持され、充填部11を通過してオゾンが熱分解された高温のオゾン除去済気体は、熱交換部14に配設された連通管18内を流通する間に連通管18を加熱すると共に、連通管18と結合する各バッフルプレート17を加熱する。一方、オゾン含有気体入口7から熱交換部14の下部に連続注入されたオゾンガスは、十分な熱伝達面積が確保された各バッフルプレート17に沿って誘導されて緩やかに熱交換部14内を上昇しつつ連通管18及びバッフルプレート17によって加熱される。更に、熱交換部14に隣接して配置された貯留タンク8内に滞留する高温のオゾン除去済気体によって底面部5を介して熱交換部14内のオゾンガスを加熱する。   Here, the high-temperature ozone-removed gas that has been heated and held at 100 ° C. to 350 ° C. and has been subjected to thermal decomposition of ozone through the filling portion 11 circulates in the communication pipe 18 disposed in the heat exchange portion 14. The communication pipe 18 is heated in between, and each baffle plate 17 coupled to the communication pipe 18 is heated. On the other hand, the ozone gas continuously injected from the ozone-containing gas inlet 7 to the lower part of the heat exchanging section 14 is guided along each baffle plate 17 in which a sufficient heat transfer area is secured, and gently rises in the heat exchanging section 14. However, it is heated by the communication pipe 18 and the baffle plate 17. Further, the ozone gas in the heat exchange unit 14 is heated through the bottom surface part 5 by the hot ozone-removed gas that stays in the storage tank 8 disposed adjacent to the heat exchange unit 14.

このようにして加熱部15を介して充填部11に供給されるオゾンガスを、予め熱交換部14において加熱することによって、加熱用ヒータ21によってオゾンガスを加熱するのに要する電気エネルギの消費を抑制することができると共に、効率的なオゾンの熱分解が行われる。   In this way, the ozone gas supplied to the filling unit 11 via the heating unit 15 is heated in advance in the heat exchanging unit 14, thereby suppressing the consumption of electrical energy required to heat the ozone gas by the heating heater 21. And efficient ozone pyrolysis.

また、シリカゲル25に代えて充填部11内に、微細かつ多数の空孔を有する多孔質で大きな表面積が確保できる粒状のゼオライトを充填することもできる。   Further, in place of the silica gel 25, the filling portion 11 may be filled with a fine zeolite having a large number of pores and a granular zeolite capable of ensuring a large surface area.

図2は、このように構成されたオゾン熱分解装置1におけるオゾン分解能力を示す一次反応常数を、充填部11にシリカゲル25を充填したケース1と、充填部14にゼオライトを充填したケース2と、充填部11に充填物を充填しない空の状態のケース3に対して取得した実験結果を示すものである。   FIG. 2 shows the primary reaction constant indicating the ozonolysis capability in the ozone pyrolysis apparatus 1 configured as described above, the case 1 in which the filling part 11 is filled with silica gel 25, and the case 2 in which the filling part 14 is filled with zeolite. The experimental result acquired with respect to the case 3 of the empty state which does not fill the filling part 11 with a filler is shown.

ここで、一次反応速度常数は、処理対象のオゾンガスのオゾン含有気体入口7における入口オゾン濃度とオゾン除去済気体出口9におけるオゾン除去済気体の出口オゾン濃度の比の自然対数をオゾンガス含有気体入口7からオゾン除去済気体出口9までの気体滞留時間で除した値であり、一般に濃度に比例した速度で進行する化学反応速度を表すために用いられる指標である。   Here, the primary reaction rate constant is the natural logarithm of the ratio of the inlet ozone concentration at the ozone containing gas inlet 7 of the ozone gas to be treated and the outlet ozone concentration of the ozone removed gas outlet 9 at the ozone removed gas outlet 9. This is a value divided by the gas residence time from the ozone-removed gas outlet 9 to the ozone-removed gas outlet 9, and is an index used to express a chemical reaction rate that generally proceeds at a rate proportional to the concentration.

図2によれば、充填部11にシリカゲルを充填したケース1は、充填部11に充填物を充填しないケース3に対して5倍以上の一次反応速度常数を有し、充填部11にゼオライトを充填したケース2では、更にシリカゲルを充填したケース1以上の一次反応速度常数を有することが確認できる。更に、従来オゾンの熱分解には500℃程度の高温が必要であったのに対し、100℃〜350℃の温度範囲で実用的なオゾン熱分解が可能であることが確認できる。   According to FIG. 2, the case 1 in which the packing part 11 is filled with silica gel has a primary reaction rate constant that is 5 times or more that of the case 3 in which the packing part 11 is not filled with a filler. It can be confirmed that the case 2 filled has a primary reaction rate constant that is equal to or higher than that of the case 1 filled with silica gel. Furthermore, it has been confirmed that practical ozone pyrolysis is possible in a temperature range of 100 ° C. to 350 ° C., whereas conventional pyrolysis of ozone requires a high temperature of about 500 ° C.

また、例えば、図1に示すオゾン熱分解装置1によって、流量3Nm/minで供給される温度50℃のオゾンガスを5kWの加熱用ヒータ21で275℃まで加熱してオゾンを熱分解すると、仮に熱交換部14がなければオゾンガスを275℃まで昇温のために15kW程度の電気エネルギが必要であるが、約10mの伝熱面積を有する連通管18及びバッフルプレート17を介して熱回収して予めオゾンガスを加熱することによって加熱用ヒータ21による消費エネルギが3分の1程度に削減することができる。 Further, for example, when the ozone pyrolysis apparatus 1 shown in FIG. 1 heats ozone gas at a temperature of 50 ° C. supplied at a flow rate of 3 Nm 3 / min to 275 ° C. with a heater 21 of 5 kW, the ozone is pyrolyzed. If there is no heat exchanging part 14, about 15 kW of electrical energy is required to raise the ozone gas to 275 ° C., but heat is recovered through the communication pipe 18 and the baffle plate 17 having a heat transfer area of about 10 m 2. By previously heating the ozone gas, the energy consumed by the heater 21 can be reduced to about one third.

従って、本実施の形態によると、加熱部15によってオゾンガスを100℃〜350℃の範囲の一定温度に加熱し、この加熱されたオゾンガスをシリカゲル或いはゼオライトが充填され100℃〜350℃の温度範囲に保温された充填11内を通過させ、この充填部11内を通過する間にオゾンを熱分解熱することから、従来のオゾン熱分解に500℃程度の温度が必要であったのに比べオゾン熱分解に要する温度を極めて低く設定でき、オゾン熱分解に要する電気エネルギの大幅な削減が得られ、消費エネルギの低減が達成できる。また、オゾン熱分解に要する温度の低下に伴って容器2等のオゾン分解装置1に使用される構成部材の耐久性が向上する。   Therefore, according to the present embodiment, the heating unit 15 heats the ozone gas to a constant temperature in the range of 100 ° C. to 350 ° C., and the heated ozone gas is filled with silica gel or zeolite in the temperature range of 100 ° C. to 350 ° C. Since the ozone is thermally decomposed and heated while passing through the heat-filled filling 11 and passing through the filling portion 11, the ozone heat is higher than that required for the conventional ozone pyrolysis at a temperature of about 500 ° C. The temperature required for the decomposition can be set extremely low, the electric energy required for the ozone pyrolysis can be greatly reduced, and the energy consumption can be reduced. Moreover, durability of the structural member used for the ozonolysis apparatus 1 such as the container 2 is improved as the temperature required for the ozone pyrolysis decreases.

特に、予め充填部11を通過してオゾンが熱分解された高温のオゾン除去済気体を熱交換部14に配設された連通管18内を流通させて、連通管18及び熱交換部14内におけるオゾンガスの流路を迷路状に形成してオゾンガスの滞留時間を確保するバッフルプレート17を介して加熱することによってオゾンガスの予熱が良好に行われ、加熱用ヒータ21によってオゾンガスを加熱するのに要する消費エネルギを抑制することができると共に、充填部11における効率的なオゾンの熱分解が行われる。   In particular, a high-temperature ozone-removed gas that has been passed through the filling section 11 and has been subjected to thermal decomposition of ozone is circulated through the communication pipe 18 disposed in the heat exchange section 14, so that the inside of the communication pipe 18 and the heat exchange section 14. The ozone gas flow path is formed into a labyrinth to heat the ozone gas through the baffle plate 17 that secures the residence time of the ozone gas, so that the ozone gas is preheated satisfactorily and is required for heating the ozone gas by the heater 21 for heating. Consumption energy can be suppressed, and efficient thermal decomposition of ozone in the filling unit 11 is performed.

また、オゾン熱分解装置1が、中空状の容器2内をシリカゲル25やゼオライトが充填された充填部11によって熱交換部14と加熱部15に区画し、加熱部15内に加熱用ヒータ21を配置し、かつ熱交換部14内に連通管18を配置する簡単な構造であり、設備コストの低減が期待できる。   Further, the ozone pyrolysis apparatus 1 divides the inside of the hollow container 2 into a heat exchanging unit 14 and a heating unit 15 by a filling unit 11 filled with silica gel 25 or zeolite, and a heating heater 21 is provided in the heating unit 15. The arrangement is simple, and the communication pipe 18 is arranged in the heat exchanging section 14, and a reduction in equipment cost can be expected.

なお、充填11内に充填する充填物としては、シリカゲルやゼオライトに代えて多孔質ガラス、多孔質セラミック或いは多孔質金属焼結体を使用することによっても、100℃〜350℃の温度範囲で実用的なオゾン熱分解が可能である。   In addition, as a filling material to be filled in the filling 11, a porous glass, a porous ceramic, or a porous metal sintered body is used instead of silica gel or zeolite, and it is practically used in a temperature range of 100 ° C. to 350 ° C. Ozone thermal decomposition is possible.

これら、シリカゲル、ゼオライト、多孔質ガラス、多孔質セラミック、多孔質金属焼結体等は人体に影響する毒性がなく、長期間の使用により劣化した際の交換に際しは、毒性の伴わない産業廃棄物として処理することができ、その処分にあたっては環境に影響するここが極めて少ないものである。   These silica gels, zeolites, porous glass, porous ceramics, porous metal sintered bodies, etc. have no toxicity that affects the human body, and are non-toxic industrial wastes when they are replaced after long-term use. This process has very little impact on the environment.

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上記実施の形態では温度検出手段として熱電対を用いたが、サーミスタを使用することのできる。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the invention. For example, in the above embodiment, a thermocouple is used as the temperature detecting means, but a thermistor can be used.

本発明の第実施の形態に係わるオゾン熱分解装置の概略を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the outline of the ozone pyrolysis apparatus concerning the 1st Embodiment of this invention. 一次反応速度常数の比較説明図である。It is comparison explanatory drawing of a primary reaction rate constant. 従来の排オゾンガス処理装置の説明図である。It is explanatory drawing of the conventional waste ozone gas processing apparatus. 従来のオゾン分解用セラミックヒータユニットの説明図である。It is explanatory drawing of the conventional ceramic heater unit for ozonolysis.

符号の説明Explanation of symbols

1 オゾン熱分解装置
2 容器
6 導管
7 オゾン含有気体入口
8 貯留タンク
9 オゾン除去済気体出口
11 充填部
14 熱交換部
15 加熱部
16 連通路
17 バッフルプレート
18 連通管
21 加熱用ヒータ(加熱手段)
25 シリカゲル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ozone pyrolysis apparatus 2 Container 6 Conduit 7 Ozone containing gas inlet 8 Storage tank 9 Ozone-removed gas outlet 11 Filling part 14 Heat exchange part 15 Heating part 16 Communication path 17 Baffle plate 18 Communication pipe 21 Heating heater (heating means)
25 Silica gel

Claims (4)

オゾン含有気体中のオゾンを熱分解するオゾン熱分解装置において、
オゾン含有気体入口に連通する熱交換部と、
該熱交換部に連通する加熱部と、
該加熱部に連通しかつ粒状のシリカゲル、ゼオライト、多孔質ガラス、多孔質セラミック或いは多孔質金属結晶体のいずれかが充填された充填部と、
上記加熱部を100℃〜350℃の範囲の一定温度に加熱すると共に充填部を100℃〜350℃の範囲の一定温度に保持する加熱手段と、
一端が上記充填部に連通し上記熱交換部内を貫通して他端がオゾン除去済気体出口に連通する連通管とを備え、
上記オゾン含有気体入口から上記熱交換部を介して加熱部に供給されたオゾン含有気体を上記加熱手段によって100℃〜350℃の範囲の一定温度に加熱し、該加熱されたオゾン含有気体が100℃〜350℃の範囲の一定温度に保持された上記該充填部を通過することによってオゾンが熱分解し、オゾン除去済気体が上記連通管を介してオゾン除去済気体出口から排出されると共に、連通管を流通するオゾン除去済気体によって熱交換部内のオゾン含有気体を加熱することを特徴とするオゾン熱分解装置。
In an ozone pyrolysis device that thermally decomposes ozone in an ozone-containing gas,
A heat exchange section communicating with the ozone-containing gas inlet;
A heating unit communicating with the heat exchange unit;
A packed portion communicating with the heated portion and filled with any of granular silica gel, zeolite, porous glass, porous ceramic or porous metal crystal;
Heating means for heating the heating unit to a constant temperature in the range of 100 ° C. to 350 ° C. and holding the filling unit at a constant temperature in the range of 100 ° C. to 350 ° C .;
A communication pipe having one end communicating with the filling section and penetrating through the heat exchange section and the other end communicating with the ozone-removed gas outlet;
The ozone-containing gas supplied from the ozone-containing gas inlet to the heating unit via the heat exchange unit is heated to a constant temperature in the range of 100 ° C. to 350 ° C. by the heating means, and the heated ozone-containing gas is 100 The ozone is thermally decomposed by passing through the filling portion maintained at a constant temperature in the range of ℃ to 350 ℃, and the ozone-removed gas is discharged from the ozone-removed gas outlet through the communication pipe, An ozone pyrolysis apparatus, wherein the ozone-containing gas in the heat exchange section is heated by the ozone-removed gas flowing through the communication pipe.
上記熱交換部内を迷路状に区画すると共に上記連通管と結合するバッフルプレートを有することを特徴とする請求項1に記載のオゾン熱分解装置。   2. The ozone pyrolysis apparatus according to claim 1, further comprising a baffle plate that divides the inside of the heat exchange section into a labyrinth and is coupled to the communication pipe. 上記オゾン含有気体入口が設けられた容器内に上記充填部が設けられ、該充填部によって上記容器内を上記熱交換部と加熱部に区画したことを特徴とする請求項1または2に記載のオゾン熱分解装置。   The said filling part is provided in the container in which the said ozone containing gas inlet was provided, The inside of the said container was divided into the said heat exchange part and a heating part by this filling part, The Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. Ozone pyrolysis device. 上記熱交換部に隣接して上記連通管の他端に連通すると共に上記オゾン除去済気体出口が設けられた貯留タンクが配置されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のオゾン熱分解装置。   4. The storage tank according to claim 1, wherein a storage tank is disposed adjacent to the heat exchange section and communicated with the other end of the communication pipe and provided with the ozone-removed gas outlet. Ozone pyrolysis device.
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