JP2005236158A - Laminated coil component, method for manufacturing the same, and structure for mounting the same - Google Patents

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友秀 岩崎
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small laminated coil component which can be easily mounted on a circuit board and be easily connected thereto by wire bonding. <P>SOLUTION: The laminated coil component includes a ceramic element body 3 of a nearly rectangular shape having a coil conductor 4 built therein and made of laminated ceramic green sheets, and upper and lower surface electrodes 6 and 8 formed on the upper and lower surface of the ceramic element body 3 and electrically connected to the coil conductor 4. The thickness T of the element body is smaller than the length L and the width W thereof. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は積層コイル部品、及び積層コイル部品の製造方法、並びに積層コイル部品の実装構造に関し、より詳しくはセラミック素体の表面に外部電極が形成された積層インダクタ、積層インピーダなどのチップ型の積層コイル部品、及び該積層型コイル部品の製造方法、並びに積層コイル部品の実装構造に関する。   The present invention relates to a multilayer coil component, a method of manufacturing a multilayer coil component, and a mounting structure of the multilayer coil component, and more specifically, a chip-type multilayer such as a multilayer inductor or multilayer impedance in which external electrodes are formed on the surface of a ceramic body. The present invention relates to a coil component, a manufacturing method of the multilayer coil component, and a mounting structure of the multilayer coil component.

従来より、絶縁基板上に形成された配線パターンにチップ型電子部品とセラミック多層基板等のボンディング型電子部品を実装し、ボンディング型電子部品とチップ型電子部品とを直接ワイヤボンディング接続しようとした集積回路の製造方法が知られている(特許文献1)。   Conventionally, the integration of chip-type electronic components and ceramic multilayer boards and other bonding-type electronic components mounted on a wiring pattern formed on an insulating substrate and wire bonding connection between the bonding-type electronic components and the chip-type electronic components. A circuit manufacturing method is known (Patent Document 1).

特許文献1は、図10に示すように、絶縁基板101上に形成された配線パターン102上にはんだ103を介してチップ型電子部品104を実装し、該チップ型電子部品104の一方の外部電極105の側面105aとボンディング型の電子部品107の電極108とをワイヤ109でボンディング接続している。   In Patent Document 1, as shown in FIG. 10, a chip-type electronic component 104 is mounted on a wiring pattern 102 formed on an insulating substrate 101 via a solder 103, and one external electrode of the chip-type electronic component 104 is mounted. A side surface 105 a of 105 and an electrode 108 of a bonding-type electronic component 107 are bonded to each other with a wire 109.

特開平9−36515号公報JP-A-9-36515

しかしながら、特許文献1のような従来のチップ型電子部品104では、通常、外部電極105、106はディップ法で塗布形成されているため、外部電極105の側面105aや端面105bは表面が粗く、平滑面を形成するのが困難であり、このため図11に示すようにワイヤ109をボンディング接続しても接合強度が弱く、安定性を欠くという問題点があった。特に小型のチップ型電子部品104(例えば、長さL1.0mm、幅W0.5mm、厚み0.5mm以下)では側面105aの面積が小さく、平滑性を有する部分の領域も小さくなることから、強固で安定したボンディング接続を行なうのは困難であるという問題点があった。   However, in the conventional chip-type electronic component 104 as disclosed in Patent Document 1, since the external electrodes 105 and 106 are usually applied and formed by the dipping method, the side surface 105a and the end surface 105b of the external electrode 105 are rough and smooth. It is difficult to form a surface, and as a result, there is a problem that even if the wire 109 is bonded and connected as shown in FIG. In particular, in the small chip-type electronic component 104 (for example, length L 1.0 mm, width W 0.5 mm, thickness 0.5 mm or less), the area of the side surface 105a is small, and the area of the smooth portion is also small. Therefore, there is a problem that it is difficult to perform a stable bonding connection.

また、特許文献1のように外部電極105、106をはんだ103で回路基板101の配線パターン102上に実装し、一方の外部電極105の側面部105aをワイヤ109でボンディング接続する場合、通常のはんだ実装のようにセルフアライメントしないため位置精度を高めた実装が必要となり、そのためにはチップ型電子部品104を直立させた状態で実装する方が好ましいと考えられる。   Further, when external electrodes 105 and 106 are mounted on the wiring pattern 102 of the circuit board 101 with solder 103 as in Patent Document 1, and the side surface portion 105a of one external electrode 105 is bonded and connected with a wire 109, ordinary solder is used. Since self-alignment is not performed as in the case of mounting, it is necessary to mount with higher positional accuracy. For this purpose, it is considered preferable to mount the chip-type electronic component 104 in an upright state.

しかしながら、従来のチップ型電子部品104は、図12に示すように、通常、長さLが厚みTよりも寸法的に大きいため、チップ型電子部品104を回路基板101の配線パターン102に直立させて実装しようとした場合、チップ型電子部品104が傾いた状態で実装されてしまったり、転倒し易く、このため回路基板に所望の実装を行なうことが容易ではない。しかも、この場合も上述と同様、外部電極105の平滑性を有する部分の領域が小さいため、ワイヤ109を強固にボンディング接続するのが困難であるという問題点があった。   However, as shown in FIG. 12, the conventional chip-type electronic component 104 usually has a length L larger than the thickness T in dimension, so that the chip-type electronic component 104 is made upright on the wiring pattern 102 of the circuit board 101. When trying to mount in this way, the chip-type electronic component 104 is mounted in a tilted state or is likely to fall down, so that it is not easy to perform desired mounting on the circuit board. In addition, in this case as well, there is a problem that it is difficult to firmly connect the wire 109 because the area of the smooth portion of the external electrode 105 is small.

本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、小型であっても容易に回路基板に実装することができ、かつ容易にワイヤボンディング接続することができる積層コイル部品、及び製品歩留まりの向上を図ることができる積層コイル部品の製造方法、並びに積層コイル部品の実装構造を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and can be easily mounted on a circuit board even if it is small in size, and can be easily bonded by wire bonding, and the product yield. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a laminated coil component that can be improved, and a mounting structure for the laminated coil component.

上記目的を達成するために本発明に係る積層コイル部品は、コイル導体が内蔵されると共にセラミックグリーンシートが積層されてなる略直方体状のセラミック素体と、前記セラミック素体の表面に形成されると共に前記コイル導体と電気的に接続された外部電極とを備えた積層コイル部品において、前記外部電極が、前記セラミックグリーンシートの積層方向の上面に形成された上面電極と、前記積層方向の下面に形成された下面電極とからなると共に、前記積層方向の寸法が、該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように形成されていることを特徴としている。   In order to achieve the above object, a laminated coil component according to the present invention is formed on a surface of a substantially rectangular parallelepiped ceramic body in which a coil conductor is built and ceramic green sheets are laminated, and the surface of the ceramic body. In addition, in the laminated coil component comprising the external electrode electrically connected to the coil conductor, the external electrode is formed on the upper surface electrode in the laminating direction of the ceramic green sheet and on the lower surface in the laminating direction. The bottom surface electrode is formed, and the dimension in the laminating direction is smaller than the dimension in two directions orthogonal to the laminating direction.

また、本発明の積層コイル部品は、前記上面電極と下面電極とは異なる形状に形成されていることを特徴としている。   In the multilayer coil component of the present invention, the upper surface electrode and the lower surface electrode are formed in different shapes.

また、本発明の積層コイル部品は、前記上面電極と前記コイル導体とは、前記上面電極の周縁部近傍で電気的に接続されていることを特徴としている。   The laminated coil component of the present invention is characterized in that the upper surface electrode and the coil conductor are electrically connected in the vicinity of a peripheral edge portion of the upper surface electrode.

また、本発明の積層コイル部品は、前記外部電極を構成する前記上面電極及び前記下面電極のうち、少なくとも前記上面電極が、導電性シートで形成されていることを特徴としている。   The multilayer coil component of the present invention is characterized in that at least the upper surface electrode of the upper surface electrode and the lower surface electrode constituting the external electrode is formed of a conductive sheet.

また、本発明に係る積層コイル部品の製造方法は、表面にコイルパターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層方向の寸法が該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように積層し、略直方体状の積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成するセラミック素体形成工程と、導電性ペーストを使用して前記セラミック素体の上面に印刷処理を施し上面電極を形成する上面電極形成工程と、前記セラミック素体にディッピング処理を施し下面電極を形成する下面電極形成工程とを含むことを特徴としている。   Further, in the method for manufacturing a laminated coil component according to the present invention, the ceramic green sheets having a coil pattern formed on the surface are laminated so that the dimension in the laminating direction is smaller than the dimension in two directions orthogonal to the laminating direction, A laminate forming step for forming a substantially rectangular parallelepiped laminate, a ceramic element forming step for forming a ceramic element by subjecting the laminate to a firing process, and an upper surface of the ceramic element using a conductive paste And an upper surface electrode forming step of forming a lower surface electrode by subjecting the ceramic body to a dipping process.

また、本発明に係る積層コイル部品の製造方法は、表面にコイルパターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層方向の寸法が該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように積層し、さらに印刷処理により上面電極が予め形成されたセラミックグリーンシートを積層して略直方体状の積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成するセラミック素体形成工程と、前記セラミック素体にディッピング処理を施し下面電極を形成する下面電極形成工程とを含むことを特徴としている。   Further, in the method for manufacturing a laminated coil component according to the present invention, the ceramic green sheets having a coil pattern formed on the surface are laminated so that the dimension in the laminating direction is smaller than the dimension in two directions orthogonal to the laminating direction, Furthermore, a laminated body forming step of forming a substantially rectangular parallelepiped laminated body by laminating ceramic green sheets whose upper surface electrodes are previously formed by a printing process, and a ceramic element for forming a ceramic body by subjecting the laminated body to a firing process And a lower surface electrode forming step of forming a lower surface electrode by subjecting the ceramic body to dipping.

さらに、本発明に係る積層コイル部品の製造方法は、表面にコイルパターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層方向の寸法が該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように積層し、さらに印刷処理により上面電極が予め形成されたセラミックグリーンシートを積層して略直方体状の積層体を形成する積層体形成工程と、導電性ペーストを使用して前記積層体の下面に印刷処理を施し下面電極を形成する下面電極形成工程と、前記上面電極及び下面電極が形成された前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成するセラミック素体形成工程とを含むことを特徴としている。   Furthermore, in the method for manufacturing a laminated coil component according to the present invention, the ceramic green sheets having a coil pattern formed on the surface are laminated so that the dimension in the lamination direction is smaller than the dimension in two directions perpendicular to the lamination direction, Furthermore, a laminate forming step of forming a substantially rectangular parallelepiped laminate by laminating ceramic green sheets whose upper surface electrodes are previously formed by a printing process, and performing a printing process on the lower surface of the laminate using a conductive paste. It includes a lower surface electrode forming step for forming a lower surface electrode, and a ceramic body forming step for forming a ceramic body by subjecting the laminate on which the upper surface electrode and the lower surface electrode are formed to a firing process.

また、本発明に係る積層コイル部品の製造方法は、表面にコイルパターンを形成されたセラミックグリーンシートを積層方向の寸法が該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように積層し、略直方体形状の積層体を形成する積層体形成工程と、導電性ペーストを使用して前記積層体の上下面に印刷処理を施し上面電極及び下面電極を形成する電極形成工程と、前記上面電極及び下面電極が形成された前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成するセラミック素体形成工程とを含むことを特徴としている。   Further, in the method for manufacturing a laminated coil component according to the present invention, the ceramic green sheets having a coil pattern formed on the surface are laminated so that the dimension in the lamination direction is smaller than the dimension in two directions orthogonal to the lamination direction, A laminate forming step of forming a substantially rectangular parallelepiped laminate, an electrode forming step of forming a top electrode and a bottom electrode by performing a printing process on the top and bottom surfaces of the laminate using a conductive paste, and the top electrode and And a ceramic body forming step of forming a ceramic body by subjecting the laminated body on which the lower surface electrode is formed to a firing process.

また、本発明に係る積層コイル部品の実装構造は、前記積層コイル部品を使用した積層コイル部品の実装構造であって、前記積層型コイル部品の下面電極が回路基板と電気的に接続されるように該回路基板上に実装されると共に、前記積層型コイル部品の上面電極がボンディングワイヤに接続可能とされていることを特徴としている。   The multilayer coil component mounting structure according to the present invention is a multilayer coil component mounting structure using the multilayer coil component, and the lower surface electrode of the multilayer coil component is electrically connected to the circuit board. And mounted on the circuit board, and the upper surface electrode of the multilayer coil component is connectable to a bonding wire.

上記積層コイル部品によれば、コイル導体と電気的に接続された外部電極が、セラミックグリーンシートの積層方向の上面に形成された上面電極と、前記積層方向の下面に形成された下面電極とからなると共に、前記積層方向の寸法が、該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように形成されているので、傾斜や転倒することもなく下面電極を回路基板に安定的に実装することができ、また、上面電極をワイヤボンディングしても、上面電極の平面部が広いので、ワイヤを安定的かつ強固にボンディング接続することが可能となる。   According to the laminated coil component described above, the external electrode electrically connected to the coil conductor includes an upper surface electrode formed on the upper surface in the laminating direction of the ceramic green sheet and a lower surface electrode formed on the lower surface in the laminating direction. In addition, since the dimension in the stacking direction is formed to be smaller than the dimension in two directions orthogonal to the stacking direction, the lower surface electrode is stably mounted on the circuit board without being inclined or overturned. In addition, even when the upper surface electrode is wire-bonded, the plane portion of the upper surface electrode is wide, and therefore, the wire can be bonded and connected stably and firmly.

また、本発明の積層コイル部品は、前記上面電極及び下面電極とは異なる形状に形成されているので、上面電極と下面電極とを容易に識別することができ、実装操作の容易化を図ることができる。   In addition, since the laminated coil component of the present invention is formed in a shape different from that of the upper surface electrode and the lower surface electrode, the upper surface electrode and the lower surface electrode can be easily identified, and the mounting operation is facilitated. Can do.

また、ワイヤボンディングは、通常、上面電極の中央部に目標を定めて行なう一方で、コイル導体と上面電極との接続部位ではボンディング接続が困難な面があるが、前記上面電極と前記コイル導体とを、前記上面電極の周縁部近傍で電気的に接続するので、コイル導体と上面電極との接続部位と、上面電極とワイヤとの接続部位とが重なるのを回避することができ、ボンディング接続を容易に行うことが可能となる。   In addition, while wire bonding is usually performed by setting a target at the center of the upper surface electrode, there is a surface where bonding connection is difficult at the connection portion between the coil conductor and the upper surface electrode. Is electrically connected in the vicinity of the peripheral edge of the upper surface electrode, so that the connection portion between the coil conductor and the upper surface electrode and the connection portion between the upper surface electrode and the wire can be avoided and bonding connection can be avoided. It can be easily performed.

また、本発明の積層コイル部品は、前記外部電極を構成する前記上面電極及び前記下面電極のうち、少なくとも前記上面電極が、導電性シートで形成されているので、上面電極は平滑性に優れたものとなり、接合強度の強いボンディング接続が可能な積層コイル部品を容易に得ることができる。   In the multilayer coil component of the present invention, at least the upper surface electrode of the upper surface electrode and the lower surface electrode constituting the external electrode is formed of a conductive sheet, so that the upper surface electrode has excellent smoothness. Therefore, it is possible to easily obtain a laminated coil component capable of bonding connection with high bonding strength.

また、本発明に係る積層コイル部品の製造方法は、表面にコイルパターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層方向の寸法が該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように積層し、略直方体状の積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成するセラミック素体形成工程と、導電性ペーストを使用して前記セラミック素体の上面に印刷処理を施して上面電極を形成する上面電極形成工程と、前記セラミック素体にディッピング処理を施して下面電極を形成する下面電極形成工程とを含むので、上面電極は印刷処理によって形成されることとなり、したがって平滑な上面電極上にもワイヤボンディングすることが可能となり、接合強度の強いボンディング接続が可能な積層コイル部品を容易に製造することができる。   Further, in the method for manufacturing a laminated coil component according to the present invention, the ceramic green sheets having a coil pattern formed on the surface are laminated so that the dimension in the laminating direction is smaller than the dimension in two directions orthogonal to the laminating direction, A laminate forming step for forming a substantially rectangular parallelepiped laminate, a ceramic element forming step for forming a ceramic element by subjecting the laminate to a firing process, and an upper surface of the ceramic element using a conductive paste The upper surface electrode is formed by the printing process since the upper surface electrode forming process for forming the upper surface electrode by performing a printing process and the lower surface electrode forming process for performing the dipping process on the ceramic body to form the lower surface electrode is included. Therefore, it is possible to perform wire bonding even on a smooth top electrode, and a laminated coil capable of bonding connection with high bonding strength. It can be easily manufactured parts.

また、セラミック素体の上面に印刷処理を施して上面電極を形成する代わりに、表面にコイルパターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層し、その上に予め印刷処理により上面電極が形成されたセラミックグリーンシートを積層し、これにより略直方体状の積層体を形成するようにしても、平滑な上面電極上にもワイヤボンディングすることが可能となり、接合強度の強いボンディング接続が可能な積層コイル部品を容易に製造することができる。   Also, instead of forming the upper surface electrode by printing on the upper surface of the ceramic body, a ceramic green sheet having a coil pattern formed on the surface is laminated, and the ceramic on which the upper surface electrode has been previously formed by the printing process. Even if green sheets are laminated to form a substantially rectangular parallelepiped laminate, wire bonding can be performed on a smooth upper electrode, and a laminated coil component capable of bonding connection with high bonding strength can be obtained. It can be manufactured easily.

また、本発明の積層コイル部品の製造方法は、表面にコイルパターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層方向の寸法が該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように積層し、さらに印刷処理により上面電極が形成されたセラミックグリーンシートを積層して略直方体状の積層体を形成する積層体形成工程と、導電性ペーストを使用して前記積層体の下面に印刷処理を施し下面電極を形成する下面電極形成工程と、前記上面電極及び下面電極が形成された前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成するセラミック素体形成工程とを含むので、上面電極及び下面電極のいずれもが印刷処理して形成され、したがって平滑な上面電極上にワイヤボンディングすることが可能となり、接合強度の強いボンディング接続が可能な積層コイル部品を容易に製造することができ、また焼成処理前に下面電極を印刷形成しているので、焼成後にディッピング処理を行なう必要がなくなり、生産性の向上を図ることが可能となる。   The method for manufacturing a laminated coil component according to the present invention comprises laminating ceramic green sheets having a coil pattern formed on the surface so that the dimension in the laminating direction is smaller than the dimension in two directions perpendicular to the laminating direction, A laminate forming step of forming a substantially rectangular parallelepiped laminate by laminating ceramic green sheets on which an upper surface electrode is formed by a printing process, and a lower surface electrode by performing a printing process on the lower surface of the laminate using a conductive paste And forming a ceramic body by subjecting the laminate on which the upper surface electrode and the lower surface electrode are formed to a ceramic body, so that the upper surface electrode and the lower surface electrode are formed. Both are formed by printing, so wire bonding can be performed on the smooth top electrode, and bonding with high bonding strength is possible. Can be manufactured easily, and the bottom electrode is printed before firing, so there is no need to perform dipping after firing, and productivity can be improved. Become.

また、本発明に係る積層コイル部品の実装構造は、前記積層コイル部品を使用した積層コイル部品の実装構造であって、前記積層型コイル部品の下面電極が回路基板と電気的に接続されるように該回路基板上に実装されると共に、前記積層型コイル部品の上面電極がボンディングワイヤに接続されるので、傾斜したり転倒することなく積層コイル部品を回路基板上に実装することができ、また広い平面領域を有する上面電極にワイヤボンディング実装を行なうことにより、強力な接合強度を有するボンディング実装が可能な信頼性の優れた実装構造を実現することができる。   The multilayer coil component mounting structure according to the present invention is a multilayer coil component mounting structure using the multilayer coil component, and the lower surface electrode of the multilayer coil component is electrically connected to the circuit board. Since the upper surface electrode of the multilayer coil component is connected to the bonding wire, the multilayer coil component can be mounted on the circuit substrate without being inclined or overturned. By performing wire bonding mounting on the upper surface electrode having a wide plane area, it is possible to realize a highly reliable mounting structure capable of bonding mounting having strong bonding strength.

次に本発明の実施の形態を図面に基づき詳説する。   Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は本発明に係る積層コイル部品としての積層インダクタの一実施の形態を示す斜視図であって、該積層インダクタ1は回路基板2上に実装されている。   FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a multilayer inductor as a multilayer coil component according to the present invention. The multilayer inductor 1 is mounted on a circuit board 2.

積層インダクタ1は、略直方体状に形成されたフェライト素体3(セラミック素体)と、該フェライト素体3の厚み方向にコイル状に内蔵されたコイル導体4と、前記フェライト素体3の上面に形成されると共にAuからなるワイヤ5とボンディング接続された上面電極6と、前記フェライト素体3の下面に形成されると共に回路基板2上の配線パターン7に電気的に接続された下面電極8とを備え、前記上面電極6と前記下面電極8とで外部電極を構成している。   The multilayer inductor 1 includes a ferrite element body 3 (ceramic element body) formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, a coil conductor 4 incorporated in a coil shape in the thickness direction of the ferrite element body 3, and an upper surface of the ferrite element body 3. And a lower electrode 8 formed on the lower surface of the ferrite element body 3 and electrically connected to the wiring pattern 7 on the circuit board 2. The upper electrode 6 and the lower electrode 8 constitute an external electrode.

上記フェライト素体3は、磁性体シート(セラミックグリーンシート)の積層体に焼成処理を施して形成されるが、前記積層インダクタ1は、磁性体シートの積層方向の寸法である厚みTが、該積層方向と直交する2方向の寸法、すなわち長さL、幅Wよりも小さくなるように形成されている。   The ferrite body 3 is formed by subjecting a laminated body of magnetic sheets (ceramic green sheets) to a firing process. The laminated inductor 1 has a thickness T, which is a dimension in the laminating direction of the magnetic sheets, It is formed to be smaller than the dimensions in two directions orthogonal to the stacking direction, that is, the length L and the width W.

このように厚みTが長さL及び幅Wよりも小さくなるように形成されているので、重心位置が下面に近くなり、積層インダクタ1を安定的に静置させることができる。したがって小型の積層インダクタ1を回路基板2に実装する場合であっても、傾斜して実装されたり転倒することがなく、下面電極8を配線パターン7上に容易に実装することができる。また、略直方体状のフェライト素体3の上面に上面電極6が形成されているので、上面電極6の平面部は広く、平面領域を十分に確保することができ、ワイヤ5による強固で安定したボンディング接続が可能となる。   Thus, since the thickness T is formed so as to be smaller than the length L and the width W, the position of the center of gravity is close to the lower surface, and the multilayer inductor 1 can be stably placed. Therefore, even when the small multilayer inductor 1 is mounted on the circuit board 2, the lower surface electrode 8 can be easily mounted on the wiring pattern 7 without being inclined or falling down. Further, since the upper surface electrode 6 is formed on the upper surface of the substantially rectangular parallelepiped ferrite element body 3, the planar portion of the upper surface electrode 6 is wide and a sufficient planar area can be secured, and the wire 5 is strong and stable. Bonding connection is possible.

次に、上記積層インダクタの製造方法を詳述する。   Next, a method for manufacturing the multilayer inductor will be described in detail.

まず、セラミック素原料として、Fe、NiO、CuO、ZnO等のフェライト素原料を所定量秤量し、該フェライト素原料を水と共にボールミルに投入し、十分に拡散混合した後、乾燥させ、フェライト原料を作製する。次いで、このフェライト原料を所定温度で所定時間仮焼処理を施し、固相反応を生じさせて仮焼物を得る。次いでこの仮焼物を水と共にボールミルに投入して解砕し、十分に撹拌してスラリー化し、その後乾燥させ、これにより、フェライト粉末を得る。 First, as a ceramic raw material, a predetermined amount of ferrite raw material such as Fe 2 O 3 , NiO, CuO, ZnO is weighed, the ferrite raw material is put into a ball mill together with water, sufficiently mixed by diffusion, and then dried. A ferrite raw material is prepared. Next, the ferrite raw material is calcined at a predetermined temperature for a predetermined time to cause a solid-phase reaction to obtain a calcined product. Next, this calcined product is thrown into a ball mill together with water and pulverized, sufficiently stirred to make a slurry, and then dried to obtain a ferrite powder.

次にフェライト粉末にポリビニルブチラール樹脂等のバインダ樹脂及びエタノールやトルエン等の有機溶剤を加えて混練し、フェライトスラリーを作製し、次いでドクターブレード法等を使用して成形加工を施し、所定膜厚(例えば、50μm)の磁性体シートを作製する。   Next, a ferrite resin and a binder resin such as polyvinyl butyral resin and an organic solvent such as ethanol and toluene are added and kneaded to prepare a ferrite slurry, and then subjected to a molding process using a doctor blade method or the like to obtain a predetermined film thickness ( For example, a magnetic sheet of 50 μm) is produced.

次に、図2に示すように、上述のようして作製された磁性体シート9a〜9jを用意する。そして、レーザ加工機を使用し、磁性体シート9a、9jの中央部にコイル導体引出用のビアホール10a、10jを穿設し、磁性体シート9b〜9iにはコイルパターンの一端部に相当する位置にビアホール10b〜10iを穿設する。   Next, as shown in FIG. 2, magnetic sheets 9a to 9j prepared as described above are prepared. Then, using a laser processing machine, via holes 10a and 10j for drawing out coil conductors are formed in the central portions of the magnetic sheets 9a and 9j, and the magnetic sheets 9b to 9i have positions corresponding to one end portions of the coil patterns. Via holes 10b to 10i are drilled.

次に、Ag等の導電性材料を主成分とした導電性ペーストを使用し、略コ字状(3/4ターン)のコイルパターン11c〜11hをスクリーン印刷法により磁性体シート9c〜9h上に形成する。また、コイルパターン11c、11hがビアホール10a、10jと電気的に接続可能となるようにスクリーン印刷法により磁性体シート9b、9i上に接続パターン11b、11iを形成し、さらに、ビアホール10a、10jに上記導電性ペーストを充填する。   Next, a conductive paste mainly composed of a conductive material such as Ag is used, and approximately U-shaped (3/4 turn) coil patterns 11c to 11h are formed on the magnetic sheets 9c to 9h by screen printing. Form. Further, the connection patterns 11b and 11i are formed on the magnetic sheets 9b and 9i by screen printing so that the coil patterns 11c and 11h can be electrically connected to the via holes 10a and 10j. The conductive paste is filled.

次に、上記磁性体シート9a〜9jを積層し、加圧・圧着して積層体を作製する。   Next, the magnetic sheets 9a to 9j are laminated and pressed and pressure bonded to produce a laminated body.

次に、この積層体を厚みTが長さL及び幅Wよりも小さくなるような所定寸法に切断した後、大気中、例えば温度500℃に加熱してバインダ樹脂を燃焼除去し、その後、例えば温度900℃で所定時間焼成処理を行ない、これによりセラミック焼結体を作製する。   Next, the laminate is cut into predetermined dimensions such that the thickness T is smaller than the length L and the width W, and then heated in the atmosphere, for example, at a temperature of 500 ° C. to burn and remove the binder resin. A firing process is performed at a temperature of 900 ° C. for a predetermined time, thereby producing a ceramic sintered body.

次にこのセラミック焼結体にバレル研磨を施してコーナー部をR(アール)状としてフェライト素体3を得た後、該フェライト素体3の上面にスクリーン印刷を施し、ビアホール10aを覆うように所定形状の印刷塗膜を形成し、さらにディップ法によりフェライト素体3の下面全領域に導電性ペーストを塗布し、その後所定温度(例えば、850℃)で焼成処理を行ない、上面電極6及び下面電極8、すなわち外部電極を形成し、これにより積層インダクタ1が製造される。   Next, this ceramic sintered body is subjected to barrel polishing to obtain a ferrite element body 3 with a corner portion having an R shape, and then screen printing is performed on the upper surface of the ferrite element body 3 so as to cover the via hole 10a. A printed coating film having a predetermined shape is formed, and further, a conductive paste is applied to the entire lower surface area of the ferrite element body 3 by a dipping method. Thereafter, a firing process is performed at a predetermined temperature (for example, 850 ° C.). An electrode 8, that is, an external electrode is formed, whereby the multilayer inductor 1 is manufactured.

このように形成された積層インダクタ1は、厚みTが長さL及び幅Wよりも小さいので、下面電極8をはんだ材や導電性接着剤を介して回路基板1上の配線基板7上に容易に実装することができ、また上面電極6は印刷処理して形成されているため、上面電極6はワイヤボンディング実装に好適な平滑性の優れたものとなり、接合強度の良好なワイヤボンディングが可能な積層コイル部品を得ることができる。   Since the multilayer inductor 1 formed in this way has a thickness T smaller than the length L and the width W, the lower surface electrode 8 can be easily placed on the wiring board 7 on the circuit board 1 via a solder material or a conductive adhesive. Since the upper surface electrode 6 is formed by printing, the upper surface electrode 6 has excellent smoothness suitable for wire bonding mounting, and wire bonding with good bonding strength is possible. A laminated coil component can be obtained.

尚、上記実施の形態では、フェライト素体3の上面にスクリーン印刷を施して上面電極6を形成しているが、予め磁性体シート9aにスクリーン印刷を施して上面電極を形成しておき、上面電極が形成された磁性体シートを含む各磁性体シート9a〜9jを積層し、その後加圧・圧着して積層体を作製し、この積層体に焼成処理を施してセラミック焼結体を得るようにしてもよい。   In the above embodiment, the upper surface electrode 6 is formed by screen printing on the upper surface of the ferrite body 3. However, the upper surface electrode is formed by performing screen printing on the magnetic material sheet 9 a in advance. Each of the magnetic sheets 9a to 9j including the magnetic sheet on which the electrodes are formed is laminated, and thereafter, a laminated body is produced by pressing and pressure bonding, and a fired treatment is performed on the laminated body to obtain a ceramic sintered body. It may be.

また、上面電極6及び下面電極8の表面には必要に応じ、電解めっき法或いは無電解めっき法を使用してNi、SnやAu等のめっき皮膜を形成するのも好ましい。   Moreover, it is also preferable to form a plating film of Ni, Sn, Au or the like on the surfaces of the upper surface electrode 6 and the lower surface electrode 8 by using an electrolytic plating method or an electroless plating method as necessary.

図3は積層コイル部品としての積層インダクタの第2の実施の形態を模式的に示した断面図であって、本第2の実施の形態は、コイル導体12が内蔵されたフェライト素体13の上面及び下面に銀、銀合金、金等からなる導電性シートで形成された上面電極14及び下面電極15が設けられており、厚みTが長さL及び幅Wよりも小さく形成されている。   FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a second embodiment of a multilayer inductor as a multilayer coil component. In the second embodiment, the ferrite element body 13 in which the coil conductor 12 is incorporated is shown. An upper surface electrode 14 and a lower surface electrode 15 formed of a conductive sheet made of silver, a silver alloy, gold, or the like are provided on the upper surface and the lower surface, and the thickness T is smaller than the length L and the width W.

本第2の実施の形態の積層インダクタは以下のようにして製造される。   The multilayer inductor according to the second embodiment is manufactured as follows.

すなわち、図4に示すように、第1の実施の形態と同様の方法で製造された磁性体シート16a〜16iを用意する。   That is, as shown in FIG. 4, magnetic sheets 16a to 16i manufactured by the same method as in the first embodiment are prepared.

そして、レーザ加工機を使用し、磁性体シート16a、16iの所定位置にはコイル導体引出用のビアホール17a、17iを穿設し、また、磁性体シート16b〜16hにはコイルパターンの一端部に相当する位置にビアホール17b〜17iを穿設する。   Then, using a laser processing machine, via holes 17a and 17i for extracting coil conductors are formed in predetermined positions of the magnetic sheets 16a and 16i, and the magnetic sheets 16b to 16h are provided at one end of the coil pattern. Via holes 17b to 17i are formed at corresponding positions.

次に、Ag等の導電性材料を主成分とした導電性ペーストを使用し、略L字状(1/2ターン)のコイルパターン18b〜18hをスクリーン印刷法により磁性体シート16b〜16h上に形成し、またビアホール17a、17iに上記導電性ペーストを充填する。   Next, a conductive paste mainly composed of a conductive material such as Ag is used, and substantially L-shaped (1/2 turns) coil patterns 18b to 18h are formed on the magnetic sheets 16b to 16h by screen printing. The via holes 17a and 17i are filled with the conductive paste.

次に、離形処理がなされたフィルム上に導電性シート20を載置し、該導電性シート20上に上記磁性体シート16a〜16i及び導電性シート19を順次積層して圧着し、その後フィルムを剥離し、これにより積層体を得る。   Next, the conductive sheet 20 is placed on the film that has been subjected to the release treatment, and the magnetic sheets 16a to 16i and the conductive sheet 19 are sequentially laminated and pressure-bonded on the conductive sheet 20, and then the film Is peeled off to obtain a laminate.

次に、この積層体を厚みTが長さL及び幅Wよりも小さくなるような所定寸法に切断した後、大気中、例えば温度500℃に加熱してバインダ樹脂を燃焼除去し、その後、例えば温度900℃で所定時間焼成処理を行ない、本第2の実施の形態の積層インダクタが製造される。   Next, the laminate is cut into predetermined dimensions such that the thickness T is smaller than the length L and the width W, and then heated in the atmosphere, for example, at a temperature of 500 ° C. to burn and remove the binder resin. A firing process is performed at a temperature of 900 ° C. for a predetermined time to manufacture the multilayer inductor according to the second embodiment.

本第2の実施の形態でも、第1の実施の形態と同様、厚みTが長さL及び幅Wよりも小さくなるように形成されているので、重心位置が下面に近くなり、積層インダクタを安定的に静置させることができる。したがって小型の積層インダクタを回路基板に実装する場合であっても、傾斜したり転倒することなく下面電極15を回路基板の配線パターン上に容易に実装することができる。また、略直方体状のフェライト素体13の上面に導電性シートからなる上面電極14が形成されているので、上面電極14の平滑性は良好であり、斯かる平滑性の良好な上面電極14上にワイヤボンディングを行なうことができるので、接合強度の優れたボンディング接続が可能となる。   Also in the second embodiment, as in the first embodiment, since the thickness T is formed to be smaller than the length L and the width W, the position of the center of gravity is close to the lower surface, and the multilayer inductor is It can be allowed to stand stably. Therefore, even when a small multilayer inductor is mounted on a circuit board, the lower surface electrode 15 can be easily mounted on the wiring pattern of the circuit board without tilting or overturning. Further, since the upper surface electrode 14 made of a conductive sheet is formed on the upper surface of the substantially rectangular parallelepiped ferrite element body 13, the upper surface electrode 14 has good smoothness, and on the upper surface electrode 14 having such good smoothness. Since wire bonding can be performed, bonding connection with excellent bonding strength is possible.

しかも、本第2の実施の形態ではビアホール17aが磁性体シート16aの中央部ではなく周縁部に形成されているので、ワイヤボンディング実装に好都合である。すなわち、上面電極14とコイル導体12の接続部位ではボンディング接続がし難いとされているが、本第2の実施の形態では上面電極14の周縁部でコイル導体12と上面電極14とが電気的に接続するようになっているので、ボンディング接続を容易に行なうことができる。   Moreover, in the second embodiment, the via hole 17a is formed not on the central portion but on the peripheral portion of the magnetic sheet 16a, which is convenient for wire bonding mounting. That is, although it is considered that bonding connection is difficult at the connection portion of the upper surface electrode 14 and the coil conductor 12, in the second embodiment, the coil conductor 12 and the upper surface electrode 14 are electrically connected to each other at the peripheral portion of the upper surface electrode 14. Therefore, the bonding connection can be easily performed.

また、本発明の第3の実施の形態として、積層インダクタの上面電極及び下面電極の双方を、スクリーン印刷により形成するのも好ましい。   Further, as the third embodiment of the present invention, it is preferable that both the upper surface electrode and the lower surface electrode of the multilayer inductor are formed by screen printing.

図5は本第3の実施の形態における磁性体シートの層構造を示す分解斜視図である。   FIG. 5 is an exploded perspective view showing the layer structure of the magnetic sheet according to the third embodiment.

以下、第3の実施の形態の製造方法を詳述する。   Hereinafter, the manufacturing method of the third embodiment will be described in detail.

まず、第1の実施の形態と同様の方法で製造された磁性体シート21a〜21gを用意する。   First, magnetic sheets 21a to 21g manufactured by the same method as in the first embodiment are prepared.

そして、レーザ加工機を使用し、磁性体シート21a〜21gの所定位置にビアホールを穿設する。   And using a laser processing machine, a via hole is drilled in the predetermined position of the magnetic material sheets 21a-21g.

次に、Ag等の導電性材料を主成分とした導電性ペーストを使用し、磁性体シート21aの上面にスクリーン印刷を施し、上面電極22aを形成する。さらに、上記導電性ペーストを使用し、例えば、この図5に示すように、磁性体シート21c〜21fにスクリーン印刷を施し、略コ字状(3/4ターン)のコイルパターン22c〜22fを形成する。また、コイルパターン22c、22fが磁性体シート21a、21gのビアホールと電気的に接続可能となるように、磁性体シート21b、21gにスクリーン印刷を施して接続パターン22b、22gを形成する。   Next, a conductive paste mainly composed of a conductive material such as Ag is used, and screen printing is performed on the upper surface of the magnetic sheet 21a to form the upper surface electrode 22a. Further, using the conductive paste, for example, as shown in FIG. 5, the magnetic sheets 21c to 21f are screen-printed to form substantially U-shaped (3/4 turn) coil patterns 22c to 22f. To do. Further, the magnetic sheets 21b and 21g are screen-printed to form the connection patterns 22b and 22g so that the coil patterns 22c and 22f can be electrically connected to the via holes of the magnetic sheets 21a and 21g.

次に、上記磁性体シート21a〜21gを積層し、加圧・圧着し、図6に示すような積層体23を作製する。   Next, the magnetic material sheets 21a to 21g are laminated, and pressed and pressure bonded to produce a laminated body 23 as shown in FIG.

次いで、この積層体23を反転した後、導電性ペーストを使用してスクリーン印刷を施し、図7に示すように、ビアホールを覆うような形態で下面電極22hを形成する。   Next, after the laminate 23 is inverted, screen printing is performed using a conductive paste, and as shown in FIG. 7, the lower surface electrode 22h is formed so as to cover the via hole.

次に、この積層体23を、厚みTが長さL及び幅Wよりも小さくなるように、破線で示す切断線24に沿って切断し、次いで大気中、例えば温度500℃に加熱してバインダ樹脂を燃焼除去し、その後、例えば温度900℃で所定時間焼成処理を行なってセラミック焼結体を作製し、この後表面研磨を行い、これにより積層インダクタが作製される。   Next, the laminated body 23 is cut along a cutting line 24 indicated by a broken line so that the thickness T becomes smaller than the length L and the width W, and then heated in the atmosphere, for example, at a temperature of 500 ° C. The resin is burned and removed, and then a ceramic sintered body is produced by performing a firing process at a temperature of, for example, 900 ° C. for a predetermined time. Thereafter, surface polishing is performed, thereby producing a multilayer inductor.

このように本第3の実施の形態では、上面電極及び下面電極のいずれもがスクリーン印刷により形成されているため、平滑な上面電極上にワイヤボンディングすることが可能となり、接合強度の強いボンディング接続が可能な積層コイル部品を容易に製造することができる。また積層体23の切断前に下面電極22hを印刷形成しているので、セラミック焼結体である積層インダクタに対しディッピング処理を行なう必要もなく、生産性の向上を図ることが可能となる。   As described above, in the third embodiment, since both the upper surface electrode and the lower surface electrode are formed by screen printing, it is possible to perform wire bonding on the smooth upper surface electrode, and a bonding connection with high bonding strength. It is possible to easily manufacture a laminated coil component that can be In addition, since the lower surface electrode 22h is formed by printing before cutting the multilayer body 23, it is not necessary to perform a dipping process on the multilayer inductor, which is a ceramic sintered body, and productivity can be improved.

本第3の実施の形態では、上面電極22aは予め磁性体シート21aに印刷されているが、積層体を形成した後に上面電極及び下面電極をスクリーン印刷で形成するようにしてもよい。   In the third embodiment, the upper surface electrode 22a is preliminarily printed on the magnetic sheet 21a. However, the upper surface electrode and the lower surface electrode may be formed by screen printing after the laminate is formed.

尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で変更可能なことはいうまでもない。上記第1の実施の形態では、コイル導体引出用の磁性体シート9aにはビアホール10aのみが形成されているが、図8に示すように、磁性体シート9aの表面にビアホール10aを覆うように任意形状のランドパターン25をスクリーン印刷するのも好ましい。   Needless to say, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be changed without departing from the scope of the invention. In the first embodiment, only the via hole 10a is formed in the magnetic sheet 9a for extracting the coil conductor. However, as shown in FIG. 8, the surface of the magnetic sheet 9a is covered with the via hole 10a. It is also preferable to screen print the land pattern 25 having an arbitrary shape.

さらに、図9(a)〜(c)に示すように、上面電極6と下面電極8との識別が容易にできるように、上面電極6の電極パターンを円形状6a、正方形状6b、或るいは長方形状6cとし、また、ワイヤボンディングを容易に行なうべく、ビアホール位置26a〜26cを前記上面電極の電極パターン6a〜6cの周縁部に設けるようにしてもよい。   Further, as shown in FIGS. 9A to 9C, the electrode pattern of the upper surface electrode 6 is circular 6a, square 6b, or so that the upper surface electrode 6 and the lower surface electrode 8 can be easily distinguished. May have a rectangular shape 6c, and via hole positions 26a to 26c may be provided at the peripheral edge portions of the electrode patterns 6a to 6c of the upper surface electrode for easy wire bonding.

また、上記第1の実施の形態では、上面電極を印刷処理で形成し、上記第2の実施の形態では、上面電極を導電性シートで形成しているが、本発明では、セラミック素体の一端面に上面電極を形成しているので、上面電極の平面領域は広く、したがって、平面領域を十分に確保することが可能であるため、上面電極もディッピング処理して形成してもよい。また、この場合も上面電極に適宜めっき処理を行なって金属皮膜を形成することにより、より平滑な上面電極を容易に得ることができる。   Further, in the first embodiment, the upper surface electrode is formed by a printing process, and in the second embodiment, the upper surface electrode is formed by a conductive sheet. Since the upper surface electrode is formed on the one end surface, the planar area of the upper surface electrode is wide. Therefore, since the planar area can be sufficiently secured, the upper surface electrode may also be formed by dipping. Also in this case, a smoother upper surface electrode can be easily obtained by appropriately plating the upper surface electrode to form a metal film.

また、上記実施の形態ではセラミック材料としてZn−Ni−Cu系フェライト材料を使用したが、その他のセラミック材料、例えば、SiOやAlを主成分とした低誘電体(例えば、比誘電率30以下)の非磁性体粉を使用してもよい。 In the above embodiment, a Zn—Ni—Cu ferrite material is used as the ceramic material. However, other ceramic materials, for example, low dielectrics (eg, relative dielectrics) mainly composed of SiO 2 or Al 2 O 3 are used. Nonmagnetic powder having a rate of 30 or less) may be used.

また、上記実施の形態では、積層コイル部品として積層インダクタについて説明したが積層インピーダ等の他の積層コイル部品にも同様に適用できるのはいうまでもない。   In the above embodiment, the multilayer inductor has been described as the multilayer coil component. However, it goes without saying that the present invention can be similarly applied to other multilayer coil components such as a multilayer impedancer.

次に、本発明の実施例を具体的に説明する。   Next, examples of the present invention will be specifically described.

まず、Fe、NiO、CuO、及びZnOを、Feが49.0wt%、NiOが9.6wt%、CuOが10.4wt%、ZnOが31.0wt%となるように秤量し、該秤量物を水と共にボールミルに投入し、充分に拡散混合してスラリー化し、次いでスプレー式乾燥機で乾燥処理を行ない、フェライト原料粉末を作製した。 First, Fe 2 O 3 , NiO, CuO, and ZnO are weighed so that Fe 2 O 3 is 49.0 wt%, NiO is 9.6 wt%, CuO is 10.4 wt%, and ZnO is 31.0 wt%. Then, the weighed product was put into a ball mill together with water, sufficiently diffused and mixed to form a slurry, and then dried by a spray dryer to produce a ferrite raw material powder.

次に、このフェライト原料粉末を820℃で1時間仮焼し、固相反応を生じさせてフェライトを合成した。そして、この合成されたフェライトを水と共にボールミルに入れて解砕し、充分に撹拌してスラリー化し、スプレー式乾燥機で乾燥処理を行ない、フェライト粉末を作製した。   Next, this ferrite raw material powder was calcined at 820 ° C. for 1 hour to cause a solid phase reaction to synthesize ferrite. Then, this synthesized ferrite was put into a ball mill together with water and pulverized, sufficiently stirred to form a slurry, and dried with a spray dryer to produce a ferrite powder.

次に、フェライト粉末にバインダ樹脂としてのポリビニルブチラール樹脂及び有機溶剤としてのトルエン及びエタノールを加えて混練し、フェライトスラリーを作製した。そしてドクターブレード法を使用し、前記フェライトスラリーを剥離性のプラスチックフィルム上に膜状に塗布し、乾燥させて厚みが50μmの磁性体シートを作製した。   Next, a polyvinyl butyral resin as a binder resin and toluene and ethanol as organic solvents were added to the ferrite powder and kneaded to prepare a ferrite slurry. And using the doctor blade method, the said ferrite slurry was apply | coated to the film form on the peelable plastic film, it was made to dry, and the magnetic body sheet | seat with a thickness of 50 micrometers was produced.

次に、このようにして作製された磁性体シートを複数枚用意し、コイル導体を形成するための第1の貫通孔及び外部電極と電気的接続を可能とするための第2の貫通孔をレーザ加工機を使用して形成した。   Next, a plurality of magnetic sheets prepared as described above are prepared, and a first through hole for forming a coil conductor and a second through hole for enabling electrical connection with an external electrode are provided. It was formed using a laser processing machine.

次に、Agを主成分とした導電性ペーストを使用し、第1の貫通孔が形成された複数枚の磁性体シート上に略コ字状の導体パターンをコイル導体の形成が可能となるように印刷形成し、また第2の貫通孔にも導電性ペーストを充填した。   Next, a conductive paste mainly composed of Ag is used, and a substantially U-shaped conductor pattern can be formed as a coil conductor on a plurality of magnetic sheets on which the first through holes are formed. The second through hole was filled with a conductive paste.

次に、導体パターンが形成された磁性体シートを適宜積層した後、第2の貫通孔に導電性ペーストが充填された磁性体シートで挟持し、上下方向から1.2×10Paの圧力で圧着し、積層体を作製した。 Next, after the magnetic sheets on which the conductor pattern is formed are appropriately laminated, the second through holes are sandwiched between the magnetic sheets filled with the conductive paste, and the pressure is 1.2 × 10 7 Pa from the vertical direction. The laminate was produced by pressure bonding.

次に、焼成後の寸法が、長さL:1.0mm、幅W:1.0mm、厚みT:0.5mm又は0.75mmとなるように前記積層体を切断し、大気中、温度500℃で加熱し、バインダ樹脂を燃焼除去し、次いで温度900℃で焼成し、セラミック焼結体を作製した。   Next, the laminate was cut so that the dimensions after firing were a length L: 1.0 mm, a width W: 1.0 mm, and a thickness T: 0.5 mm or 0.75 mm. It was heated at 0 ° C. to burn and remove the binder resin, and then fired at a temperature of 900 ° C. to produce a ceramic sintered body.

次に、セラミック焼結体をバレル研磨して、コーナー部をR(アール)状に形成し、フェライト素体とした後、フェライト素体の上面及び下面にAgを主成分とした導電性ペーストをディップ法で塗布し、その後、温度850℃で焼付け処理を行ない、外部電極(上面電極及び下面電極)を形成した。   Next, the ceramic sintered body is barrel-polished to form a corner portion in an R (R) shape to form a ferrite body, and then a conductive paste mainly composed of Ag is formed on the upper and lower surfaces of the ferrite body. Application was performed by a dip method, and then baking was performed at a temperature of 850 ° C. to form external electrodes (upper surface electrode and lower surface electrode).

そしてその後、電解めっき法を使用し、電解Niめっき液及び電解Auめっき液に順次浸漬し、外部電極の表面に膜厚0.8μmのNi皮膜及び膜厚0.6μmのAu皮膜を施し、実施例1及び2の試料(積層インダクタ)を作製した。   Then, using an electrolytic plating method, it is immersed in an electrolytic Ni plating solution and an electrolytic Au plating solution in order, and a 0.8 μm thick Ni film and a 0.6 μm thick Au film are applied to the surface of the external electrode. Samples of Examples 1 and 2 (multilayer inductors) were produced.

また、比較例として焼成後の外形寸法が、長さL:1.0mm、幅W:1.0mm、厚みT:1.00mm、1.25mm、又は1.50mmとなるように、上述と同様の方法・手順で比較例1〜3の試料(積層インダクタ)を作製した。   Further, as a comparative example, the outer dimensions after firing are the same as described above so that the length L is 1.0 mm, the width W is 1.0 mm, and the thickness T is 1.00 mm, 1.25 mm, or 1.50 mm. Samples (multilayer inductors) of Comparative Examples 1 to 3 were produced by the method and procedure described above.

次に、実施例及び比較例の試料各30個を、Au−Snはんだリボン(Sn20%)を使用し、窒素雰囲気下、温度300〜350℃で1分間熱処理を行ない、これにより下面電極をアルミナ製回路基板のランド部に実装し、装着状態を目視判断し、転倒した試料を不良品として不良品発生率を算出した。   Next, 30 samples of each of the examples and comparative examples were subjected to heat treatment for 1 minute at a temperature of 300 to 350 ° C. in a nitrogen atmosphere using an Au—Sn solder ribbon (Sn 20%). The product was mounted on a land portion of a circuit board, the mounting state was visually judged, and the occurrence rate of defective products was calculated with the fallen sample as a defective product.

次いで、回路基板に実装された試料について、ワイヤボンディング実装機(九州松下電器社製、SW27U−H)を使用し、下記の条件で上面電極にワイヤボンディングを施した。   Next, for the sample mounted on the circuit board, a wire bonding mounter (manufactured by Kyushu Matsushita Electric Co., Ltd., SW27U-H) was used, and wire bonding was performed on the upper surface electrode under the following conditions.

〔ワイヤボンンディング条件〕
超音波発振周波数:60KHz
荷重:784mN
温度:100℃
処理時間:80ms
ワイヤ径:25μm(純度99.9%のAu)
キャピラリ:ガイザー社製1572N−15−437GM
次に、ボールシェア試験機(デイジ社製、ボンドテスタ4000)を使用して米国ASTM規格(F1269―89)に準拠したボールシェア試験を行ない、接合強度を測定し、接合強度が70MPa未満の試料を不良品とし、不良品発生率を算出した。
[Wire bonding conditions]
Ultrasonic oscillation frequency: 60KHz
Load: 784mN
Temperature: 100 ° C
Processing time: 80ms
Wire diameter: 25 μm (Au with a purity of 99.9%)
Capillary: 1572N-15-437GM manufactured by Geyser
Next, using a ball shear tester (manufactured by Daisy Corp., Bond Tester 4000), a ball shear test in accordance with the US ASTM standard (F1269-89) is performed to measure the bonding strength, and a sample having a bonding strength of less than 70 MPa is measured. The defective product occurrence rate was calculated as a defective product.

表1はAn−Snはんだ実装及びワイヤボンディング実装における不良品発生率を示している。

Figure 2005236158
この表1から明らかなように比較例1〜3は、厚みTが長さL(=1.0mm)及び幅W(=1.0mm)と同等以上であるため、重心位置が高くなり、Au−Snはんだ実装を行なおうとしても転倒する試料が生じ、不良品発生率が比較例1で5%、比較例2で10%、比較例3で30%であった。 Table 1 shows the defective product occurrence rate in An-Sn solder mounting and wire bonding mounting.
Figure 2005236158
As apparent from Table 1, in Comparative Examples 1 to 3, since the thickness T is equal to or greater than the length L (= 1.0 mm) and the width W (= 1.0 mm), the position of the center of gravity is increased. -Even if it tried to mount Sn solder, the sample which falls was produced, and the defective product generation rate was 5% in the comparative example 1, 10% in the comparative example 2, and 30% in the comparative example 3.

また、ワイヤボンディング実装においても、比較例1は立方体形状であるため接合強度70MPa以上で実装することができたが、比較例2及び3ではアルミナ基板上に傾いた状態で実装されたものがあるため、ボンディング接続しても接合強度が低下する場合があり、不良品発生率が比較例2で10%、比較例3で20%となった。   Also, in wire bonding mounting, Comparative Example 1 has a cubic shape, so that it could be mounted with a bonding strength of 70 MPa or more. However, in Comparative Examples 2 and 3, there were those mounted in an inclined state on an alumina substrate. For this reason, even if the bonding connection is made, the bonding strength may be reduced, and the defective product generation rate is 10% in Comparative Example 2 and 20% in Comparative Example 3.

これに対し実施例1及び2は、厚みTが長さLや幅Wよりも寸法的に小さいので、安定した状態でAu−Snはんだ実装及びワイヤボンディング実装を行なうことができ、不良品が発生することはなかった。   On the other hand, in Examples 1 and 2, since the thickness T is smaller than the length L and the width W, Au-Sn solder mounting and wire bonding mounting can be performed in a stable state, and defective products are generated. I never did.

〔実施例1〕と同様の方法・手順で、長さL:1.0mm、幅W:1.0mm、厚みT:0.5mm、0.75mm、1.00mm、1.25mm、1.50mmの実施例11、12及び比較例11〜13の試料を作製した。   In the same manner and procedure as in Example 1, length L: 1.0 mm, width W: 1.0 mm, thickness T: 0.5 mm, 0.75 mm, 1.00 mm, 1.25 mm, 1.50 mm Samples of Examples 11 and 12 and Comparative Examples 11 to 13 were prepared.

次いで、各実施例及び比較例30個について、導電性接着剤として日立化成社製EN−4390を使用し、温度150℃で1時間熱処理して該導電性接着剤を硬化させ、これにより下面電極をアルミナ製回路基板に実装し、〔実施例1〕と同様、装着状態を評価し、不良品発生率を算出した。   Next, for each example and 30 comparative examples, EN-4390 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. was used as the conductive adhesive, and the conductive adhesive was cured by heat treatment at a temperature of 150 ° C. for 1 hour. Was mounted on an alumina circuit board, and in the same manner as in [Example 1], the mounting state was evaluated, and the defective product occurrence rate was calculated.

また、〔実施例1〕と同様のワイヤボンディング条件で上面電極にワイヤボンディング実装を施し、ボールシェア試験を行ない、接合強度を測定し、不良品発生率を算出した。   Further, wire bonding mounting was performed on the upper electrode under the same wire bonding conditions as in [Example 1], a ball shear test was performed, the bonding strength was measured, and the defective product occurrence rate was calculated.

表2は導電性接着剤実装及びワイヤボンディング実装における不良品発生率を示している。

Figure 2005236158
この表2から明らかなように比較例11〜13は、厚みTが長さL(=1.0mm)及び幅W(=1.0mm)と同等以上であるため、重心位置が高くなり、また導電性接着剤実装時に位置ずれが生じ易く、不良品発生率が比較例11で10%、比較例12で20%、比較例13で50%となった。また、ワイヤボンディング実装においても、導電性接着剤実装の実装状態が不安定な試料もあることから、不良品発生率は比較例11で5%、比較例12で20%、比較例13で40%となった。 Table 2 shows the defective product generation rate in the conductive adhesive mounting and the wire bonding mounting.
Figure 2005236158
As is apparent from Table 2, in Comparative Examples 11 to 13, the thickness T is equal to or greater than the length L (= 1.0 mm) and the width W (= 1.0 mm), so that the center of gravity position is increased. Misalignment was likely to occur when the conductive adhesive was mounted, and the defective product generation rate was 10% in Comparative Example 11, 20% in Comparative Example 12, and 50% in Comparative Example 13. Also, in wire bonding mounting, there are samples in which the mounting state of the conductive adhesive mounting is unstable, so the defective product occurrence rate is 5% in Comparative Example 11, 20% in Comparative Example 12, and 40 in Comparative Example 13. %.

これに対し実施例11及び12は、厚みTが長さLや幅Wよりも寸法的に小さいので、安定した状態で導電性接着剤実装及びワイヤボンディング実装を行なうことができ、不良品の発生することはなかった。   On the other hand, in Examples 11 and 12, since the thickness T is dimensionally smaller than the length L and the width W, conductive adhesive mounting and wire bonding mounting can be performed in a stable state, and defective products are generated. I never did.

〔実施例1〕と同様の方法・手順で、長さL:0.5mm、幅W:0.5mm、厚みT:0.25mmの実施例21の試料を作製した。また同様に長さL:0.5mm、幅W:0.5mm、厚みT:0.50mm、1.25mmの比較例21、22の試料を作製した。   A sample of Example 21 having a length L: 0.5 mm, a width W: 0.5 mm, and a thickness T: 0.25 mm was produced in the same manner and procedure as in [Example 1]. Similarly, samples of Comparative Examples 21 and 22 having a length L of 0.5 mm, a width W of 0.5 mm, and a thickness T of 0.50 mm and 1.25 mm were produced.

次いで、各実施例及び比較例30個について、〔実施例1〕と同様、Au−Snはんだリボンを使用し、下面電極をアルミナ製回路基板に実装し、上面電極にワイヤボンディング実装を施し、ボールシェア試験を行なった。   Next, for each example and 30 comparative examples, as in [Example 1], an Au-Sn solder ribbon was used, the lower electrode was mounted on an alumina circuit board, the upper electrode was wire-bonded, and the ball A share test was conducted.

表3はAu−Snはんだ実装及びワイヤボンディング実装における不良品発生率を示している。

Figure 2005236158
この表3から明らかなように比較例21、22は、厚みTが長さL(=0.5mm)及び幅W(=0.5mm)と同等以上であるため、重心位置が高く、不良品発生率が比較例21で2%、比較例22で5%であった。また、ワイヤボンディング実装においても、はんだ実装の実装状態が不安定な試料もあることから接合強度が低下し、不良品発生率は比較例21で10%、比較例22で20%となった。 Table 3 shows the defective product occurrence rate in Au-Sn solder mounting and wire bonding mounting.
Figure 2005236158
As is apparent from Table 3, in Comparative Examples 21 and 22, the thickness T is equal to or greater than the length L (= 0.5 mm) and the width W (= 0.5 mm). The incidence was 2% in Comparative Example 21 and 5% in Comparative Example 22. Also, in wire bonding mounting, there is a sample in which the mounting state of solder mounting is unstable, so that the bonding strength is reduced, and the defective product occurrence rate is 10% in Comparative Example 21 and 20% in Comparative Example 22.

これに対し実施例21は、〔実施例1〕の実施例1及び2と同様、厚みTが長さLや幅Wよりも寸法的に小さいので、安定した状態でAu−Snはんだ実装及びワイヤボンディング実装を行なうことができ、不良品が発生することはなかった。   On the other hand, Example 21 is similar to Examples 1 and 2 in [Example 1], because the thickness T is dimensionally smaller than the length L and the width W, so that Au—Sn solder mounting and wire are stable. Bonding mounting could be performed, and no defective product was generated.

本発明に係る積層コイル部品としての積層インダクタの一実施の形態(第1の実施の形態)の実装状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the mounting state of one Embodiment (1st Embodiment) of the multilayer inductor as a multilayer coil component which concerns on this invention. 前記積層インダクタを構成する磁性体シートの層構造を説明するための分解斜視図である。It is a disassembled perspective view for demonstrating the layer structure of the magnetic material sheet which comprises the said multilayer inductor. 積層インダクタの第2の実施の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 2nd Embodiment of a multilayer inductor. 第2の実施の形態の積層インダクタを構成する磁性体シートの層構造を説明するための分解斜視図である。It is a disassembled perspective view for demonstrating the layer structure of the magnetic material sheet which comprises the laminated inductor of 2nd Embodiment. 第3の実施の形態の積層インダクタを構成する磁性体シートの層構造を説明するための分解斜視図であるIt is a disassembled perspective view for demonstrating the layer structure of the magnetic material sheet which comprises the multilayer inductor of 3rd Embodiment. 第3の実施の形態の磁性体シートを積層した状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which laminated | stacked the magnetic material sheet of 3rd Embodiment. 第3の実施の形態の積層体の下面電極をスクリーン印刷した状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which screen-printed the lower surface electrode of the laminated body of 3rd Embodiment. ビアホールが形成された最上層の磁性体シートの他の実施の形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows other embodiment of the magnetic material sheet of the uppermost layer in which the via hole was formed. 上面電極とビアホール位置との関係を示す他の実施の形態の斜視図である。It is a perspective view of other embodiment which shows the relationship between an upper surface electrode and a via-hole position. 回路基板上に実装されたチップ型電子部品の従来例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the prior art example of the chip-type electronic component mounted on the circuit board. 特許文献1の課題を説明するための図である。10 is a diagram for explaining the problem of Patent Document 1. FIG. 特許文献1の他の課題を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other subject of patent document 1. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

4 コイル導体
3 フェライト素体(セラミック素体)
6 上面電極
8 下面電極
9 磁性体シート(セラミックグリーンシート)
12 コイル導体
13 フェライト素体(セラミック素体)
14 上面電極
15 下面電極
16 磁性体シート(セラミックグリーンシート)
19 導電性シート
20 導電性シート
21 磁性体シート(セラミックグリーンシート)
22a 上面電極
22h 下面電極
23 積層体
4 Coil conductor 3 Ferrite body (ceramic body)
6 Upper electrode 8 Lower electrode 9 Magnetic sheet (ceramic green sheet)
12 Coil conductor 13 Ferrite body (ceramic body)
14 Upper electrode 15 Lower electrode 16 Magnetic sheet (ceramic green sheet)
19 Conductive Sheet 20 Conductive Sheet 21 Magnetic Sheet (Ceramic Green Sheet)
22a Upper electrode 22h Lower electrode 23 Laminate

Claims (9)

コイル導体が内蔵されると共にセラミックグリーンシートが積層されてなる略直方体状のセラミック素体と、前記セラミック素体の表面に形成されると共に前記コイル導体と電気的に接続された外部電極とを備えた積層コイル部品において、
前記外部電極が、前記セラミックグリーンシートの積層方向の上面に形成された上面電極と、前記積層方向の下面に形成された下面電極とからなると共に、前記積層方向の寸法が、該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように形成されていることを特徴とする積層コイル部品。
A substantially rectangular parallelepiped ceramic body in which a coil conductor is incorporated and ceramic green sheets are laminated, and an external electrode formed on the surface of the ceramic body and electrically connected to the coil conductor Laminated coil parts
The external electrode includes an upper surface electrode formed on an upper surface in the stacking direction of the ceramic green sheets and a lower surface electrode formed on a lower surface in the stacking direction, and the dimension in the stacking direction is orthogonal to the stacking direction. A laminated coil component, wherein the laminated coil component is formed to be smaller than a dimension in two directions.
前記上面電極と下面電極とは異なる形状に形成されていることを特徴とする請求項1記載の積層コイル部品。   The multilayer coil component according to claim 1, wherein the upper surface electrode and the lower surface electrode are formed in different shapes. 前記上面電極と前記コイル導体とは、前記上面電極の周縁部近傍で電気的に接続されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の積層コイル部品。   The multilayer coil component according to claim 1 or 2, wherein the upper surface electrode and the coil conductor are electrically connected in the vicinity of a peripheral edge portion of the upper surface electrode. 前記外部電極を構成する上面電極及び下面電極のうち、少なくとも上面電極が、導電性シートで形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の積層コイル部品。   The multilayer coil component according to any one of claims 1 to 3, wherein at least an upper surface electrode of the upper surface electrode and the lower surface electrode constituting the external electrode is formed of a conductive sheet. 表面にコイルパターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層方向の寸法が該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように積層し、略直方体状の積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成するセラミック素体形成工程と、導電性ペーストを使用して前記セラミック素体の上面に印刷処理を施し上面電極を形成する上面電極形成工程と、前記セラミック素体にディッピング処理を施し下面電極を形成する下面電極形成工程とを含むことを特徴とする積層コイル部品の製造方法。   A laminated body forming step of laminating a ceramic green sheet having a coil pattern formed on a surface thereof so that a dimension in a laminating direction is smaller than a dimension in two directions orthogonal to the laminating direction to form a substantially rectangular parallelepiped laminated body; A ceramic body forming step of forming a ceramic body by subjecting the laminate to a firing process; and a top electrode forming step of forming a top electrode by performing a printing process on the top surface of the ceramic body using a conductive paste. And a lower surface electrode forming step of forming a lower surface electrode by subjecting the ceramic body to a dipping process. 表面にコイルパターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層方向の寸法が該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように積層し、さらに印刷処理により上面電極が予め形成されたセラミックグリーンシートを積層して略直方体状の積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成するセラミック素体形成工程と、前記セラミック素体にディッピング処理を施し下面電極を形成する下面電極形成工程とを含むことを特徴とする積層コイル部品の製造方法。   A ceramic green sheet having a coil pattern formed on its surface is laminated so that the dimension in the laminating direction is smaller than the dimension in two directions perpendicular to the laminating direction, and the upper surface electrode is formed in advance by a printing process A laminated body forming step of forming a substantially rectangular parallelepiped laminated body, a ceramic body forming step of firing the laminated body to form a ceramic body, and a dipping treatment of the ceramic body A method of manufacturing a laminated coil component, comprising: a lower surface electrode forming step of forming a lower surface electrode. 表面にコイルパターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層方向の寸法が該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように積層し、さらに上面電極が形成されたセラミックグリーンシートを積層して略直方体状の積層体を形成する積層体形成工程と、導電性ペーストを使用して前記積層体の下面に印刷処理を施し下面電極を形成する下面電極形成工程と、前記上面電極及び下面電極が形成された前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成するセラミック素体形成工程とを含むことを特徴とする積層コイル部品の製造方法。   A ceramic green sheet having a coil pattern formed on the surface is laminated so that the dimension in the laminating direction is smaller than the dimension in two directions orthogonal to the laminating direction, and further the ceramic green sheet having the upper electrode formed thereon is laminated. A laminate forming step for forming a substantially rectangular parallelepiped laminate, a bottom electrode forming step for forming a bottom electrode by performing a printing process on the bottom surface of the laminate using a conductive paste, and the top electrode and the bottom electrode. A method of manufacturing a laminated coil component, comprising: a ceramic body forming step of forming a ceramic body by subjecting the formed laminated body to a firing process. 表面にコイルパターンを形成されたセラミックグリーンシートを積層方向の寸法が該積層方向と直交する2方向の寸法よりも小さくなるように積層し、略直方体形状の積層体を形成する積層体形成工程と、導電性ペーストを使用して前記積層体の上下面に印刷処理を施し上面電極及び下面電極を形成する電極形成工程と、前記上面電極及び下面電極が形成された前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成するセラミック素体形成工程とを含むことを特徴とする積層コイル部品の製造方法。   A laminated body forming step in which a ceramic green sheet having a coil pattern formed on a surface thereof is laminated so that a dimension in a laminating direction is smaller than a dimension in two directions perpendicular to the laminating direction to form a substantially rectangular parallelepiped shaped laminated body; An electrode forming step of forming a top electrode and a bottom electrode by performing a printing process on the top and bottom surfaces of the laminate using a conductive paste; and a firing process for the laminate on which the top electrode and the bottom electrode are formed. And a ceramic body forming process for forming the ceramic body. 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の積層コイル部品を使用した積層コイル部品の実装構造であって、
前記積層型コイル部品の下面電極が回路基板と電気的に接続されるように該回路基板上に実装されると共に、前記積層型コイル部品の上面電極がボンディングワイヤに接続されていることを特徴とする積層コイル部品の実装構造。
A multilayer coil component mounting structure using the multilayer coil component according to any one of claims 1 to 3,
It is mounted on the circuit board so that the lower surface electrode of the multilayer coil component is electrically connected to the circuit board, and the upper surface electrode of the multilayer coil component is connected to a bonding wire. Mounting structure for laminated coil parts.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2022507980A (en) * 2018-11-26 2022-01-18 ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッド High aspect ratio electroplating structure and anisotropic electroplating

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