JP2005235993A - 基板割断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光Lを少なくとも4本のビームLeに分割して、それぞれ個別にシリコン基板10の内部に集光させ、内部亀裂12を発生させる。基板表面11にはケガキによる線状加工部である表面加工痕11aが設けられており、基板表面11に対する各ビームLeの入射位置を表面加工痕11aの両側に設けることで各ビームLeが表面加工痕11aによってケラレるのを防ぎ、エネルギーロスを回避する。外力によってシリコン基板10を素子チップに分割する割断工程では、表面加工痕11aに応力が集中して表面加工痕11aと内部亀裂12cが連結することで、基板表面11は確実に割断予定線Cに沿って分断されるため、精密な割断を行うことができる。
【選択図】図7
Description
図4に示すように、シリコン基板10はまず、割断までの工程で素子が分離するのを防止するためのテープマウントを行う。テープマウントは、ダイシングフレームMが貼り付けられた、粘着性を有するダイシングテープTをシリコン基板10の裏面に貼り付けることによりなる。
前述のようにシリコン基板10の表面に形成される樹脂層であるノズル層3は硬化時に熱収縮を起こすため、シリコン基板10の全体が図5の(a)に示すように変形している。このように変形した状態で、後述のレーザ照射を行うと基板表面11で局部的に入射角度が異なり、精度よく加工することが出来ない。したがって予めこの変形を矯正しておく必要がある。そこで、図5の(b)に示すように、ダイシングテープTの側からシリコン基板10を吸着ステージDにて吸引することで、シリコン基板10を平坦化し変形を矯正する。
続いてシリコン基板10の各ロジック素子部10aの割断を精度よく行うために、基板表面11において割断予定線Cに亀裂の伝播を誘導する表面加工痕11aを形成する。すなわち、割断予定線Cに沿って表面加工痕11aを形成することで、外力による割断の際に応力集中が起こり、割れが表面加工痕11aへ誘導される。または表面加工痕11aが起点となり割れが内部に進行する。従って、ロジック回路等を破壊するような不必要な割れを生じることがない。
図7の(a)に示す加工装置50を用いて図2に示した各内部亀裂12を形成する。この加工装置50は、光源51と、光源光学系51aと、顕微鏡対物レンズ52a、ミラー52b等を有する集光光学系52と、Xステージ53a、Yステージ53b、微動調整ステージ53c等を有する自動ステージ53と、AF光学系54と、ワークWであるシリコン基板10のオリエンテーションフラット10b(図1参照)によるアライメントを行う図示しないアライメント光学系とを備えており、光源51としてはパルスYAGレーザの基本波(1064nm)を用いる。パルス幅は40ns前後で、10〜100KHzの周波数である。
(2)各ビームLeの大きさ、間隔の可変範囲は基板表面11にダメージを与えない範囲であること。
(2)図15に示すように、長方形の形状の異形チップを加工する場合は、まずその長辺側の割断予定線C1 を第一割断方向として内部亀裂12を加工し、その次に第二割断方向として短辺側の割断予定線C2 に沿った内部亀裂12を加工する。
各割断予定線Cごとに表面加工痕11aおよび複数の内部亀裂12a、12b、12cを形成したシリコン基板10は、少なくとも表面加工痕11aと表面直下の内部亀裂12cとは連結しておらず、従って、レーザ加工後のシリコン基板10の個々のロジック素子部10aは割断されていない。この状態のシリコン基板10を素子に割断する手順は以下のように行う。
割断工程にて表面加工痕11aと内部亀裂12による亀裂が連結するとともに亀裂は裏面側へも到達し、シリコン基板10は各素子チップに分離される。しかし、偶発的に完全分離が成されていない場合は再割断する必要がある。再割断の方法としては例えば図20に示した機構を用いて割断が成されていないロジック素子部10aのみ個別に応力を加え完全に割断する。
割断工程およびリペア工程にて分離された素子チップであるロジック素子部10aは、図20に示すように吸着コレット65およびピックアップピン66によって搬出され、個別に収納される。この際エキスパンダーなどにより素子の間隙を広げてピックアップしてもよい。また、ピックアップの際に発生する微小な粉塵を吸引除去してもよい。
2 酸化膜
2a 溝
3 ノズル層
4 液体供給口
10 シリコン基板
10a ロジック素子部
11 基板表面
11a 表面加工痕
12、12a、12b、12c、 内部亀裂
40 工具
50 加工装置
51 光源
51a 光源光学系
52 集光光学系
53 自動ステージ
54 AF光学系
55 ビーム拡大系
56 ビームシフト系
57 光束分割系
57a、57b 四角錐
57c、57d、57e フライアイレンズ
57f 単レンズ
58 ビーム整形系
59 分割集光光学系
Claims (3)
- 基板を複数の素子チップに分離するための基板割断方法であって、
基板の割断予定線に応力を集中させるための線状加工部を基板表面に形成する表面加工工程と、
少なくとも4本のレーザビームをそれぞれ基板表面の異なる位置に入射させ、基板内部の同一集光点で各レーザビームを個別に集光させて内部亀裂を発生させる工程と、
基板内部の同一集光点で内部亀裂を発生する少なくとも4本のレーザビームからなるビーム群を基板の割断予定線に沿って相対移動させることで亀裂群を形成する工程と、
基板に外力を与えることによって、基板内部の亀裂群と基板表面の線状加工部とを連結させる工程と、を有することを特徴とする基板割断方法。 - 表面加工工程の後に亀裂群を形成する工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の基板割断方法。
- 亀裂群を形成する工程の後に表面加工工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の基板割断方法。
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