JP2005228993A - 太陽電池用シリコン系薄膜評価方法および太陽電池製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の太陽電池用シリコン系薄膜評価方法は、赤外光を透過しないソーダガラス等の透明ガラス基板5上に製膜された太陽電池に用いられるアモルファスシリコン薄膜3に対して赤外光10を照射して、アモルファスシリコン系薄膜3で反射された反射波の吸収スペクトル17を分析することによってアモルファスシリコン薄膜3の光劣化率を推定することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
太陽電池の光電変換層として採用されているアモルファスシリコン薄膜等のシリコン系薄膜についても、シリコンウエハ上にシリコン系薄膜を製膜して、同様の分析が行われている。
本発明の太陽電池用シリコン系薄膜評価方法によれば、赤外光に対する透過率が小さい基板上に製膜された太陽電池用シリコン系薄膜に対して赤外光を照射して、前記シリコン系薄膜で反射された反射波のスペクトルを分析することによって前記シリコン系薄膜の膜質を評価することを特徴とする。
シリコン系薄膜としては、例えば、水素化アモルファスシリコン薄膜や微結晶シリコン薄膜が挙げられる。
全反射減衰法(Attenuated Total Reflection)によれば、より精度良く反射波の吸収スペクトルを得ることができる。
特に、光劣化計測は加速法を用いても数時間を要するのに対して、本発明によれば、極めて短時間で光劣化を推定することができる。
以上より、1000cm−1における値(吸収率)と2000cm−1及び/又は2090cm−1における値(吸収率)との積は、単位膜厚あたりのSiH又はSiH2の存在量すなわちSiH又はSiH2の密度を意味する。SiH又はSiH2の密度が光劣化率に影響を及ぼすことは上記文献にも示されている通りであるから、光劣化率の推定がより精細に行われることになる。
特に、透明ガラス基板上に製膜されたシリコン系薄膜を全反射減衰法によって計測することで、簡便にSiH又はSiH2の密度が算出できる点で大きな利点を有する。
反射波を用いることにより、赤外光を殆ど透過しない基板上に製膜されたシリコン系薄膜の膜質を評価できるので、太陽電池製造工程に本発明の評価方法を組み込むことができる。したがって、全数検査が可能となり、歩留まりが向上する。
反射波のスペクトル分析を行って膜質を評価することとしたので、赤外光を殆ど透過しない基板上に製膜されたシリコン系薄膜の膜質を評価できる。したがって、太陽電池製造工程に本発明の太陽電池用シリコン薄膜評価装置を組み込むことができる。
特に、透明ガラス基板上に製膜されたシリコン系薄膜を全反射減衰法によって計測することで、簡便にSiH又はSiH2の密度が算出できる。
図1には、太陽電池製造工程に設けられたアモルファスシリコン薄膜評価装置(太陽電池用シリコン薄膜評価装置)1の模式図が示されている。
このアモルファスシリコン薄膜評価装置1は、フーリエ変換赤外分光光度計(Fourier Transform Infrared Spectroscopy;FT-IR)に全反射減衰法(Attenuated Total Reflection;以下「ATR法」という。)を適用したものである。
アモルファスシリコン薄膜(シリコン系薄膜)3は、図示しない前工程において、ソーダガラス等の透明ガラス基板5上に、プラズマCVD装置によって製膜されている。このアモルファスシリコン薄膜は、製膜時にシランに対して水素を付加して得られるものであり、厳密には水素化アモルファスシリコン薄膜である。ただし、以下の説明において、簡便のため、水素化アモルファスシリコン薄膜を単に「アモルファスシリコン薄膜」ということにする。
なお、透明ガラス基板5とアモルファスシリコン薄膜3との間には、ITO(Indium Tin Oxide)、酸化亜鉛、酸化錫等の透明導電膜(TCO:Transparent
Conductive Oxide)が設けられている。
ATR結晶7には、赤外光源9からの赤外光10が入射するようになっている。
干渉計11を出た干渉波は、ATR結晶7に入射する。
アモルファスシリコン薄膜3および透明ガラス基板5を浸透した後の赤外光は、ATR結晶7内で全反射を繰り返し、ATR結晶7から出射される。
赤外光検出器13に入射した反射光は、増幅された後、演算器15においてフーリエ変換が行われ、反射光の吸収スペクトル17が得られる。
図2には、演算器15において得られた吸収スペクトル17が示されている。同図において、縦軸は吸収率、横軸は波数(cm−1)となっている。同図(a)は、吸収率が0〜0.025、波数が500〜4000cm−1について示されており、同図(b)は、(a)の一部を拡大したものであり、吸収率が0〜0.0050、波数が1800〜2300cm−1について示されている。
アモルファスシリコン薄膜3内に存在するSiHおよびSiH2の吸収波数は、それぞれ、2000cm−1、2090cm−1となっている。したがって、これらの波数における吸収率から、SiHに対するSiH2の存在比すなわちSiH2/SiHが得られる。
一方、SiH2/SiHは、太陽電池の光劣化に影響を及ぼすことが知られている(例えば、Japan Journal Applied Physics, Vol.35(1996), pp.26-33)。よって、このSiH2/SiHを膜質評価部19において算出することにより、光劣化の程度を予測する。
なお、各波数における吸収率を用いる場合、その波数に対応する値を用いても良いし、その波数周辺の値を積分したものを用いてもよい。
同図には、実際に計測されたSiH2/SiHの光劣化率がプロットされている。これは、AM=1.5、1000mW/cm2、電池膜温度48℃にて1000時間の光照射を模擬し、AM=1.5、5000mW/cm2、電池膜温度30℃にて2時間の光照射を行い計測された値である。
そして、これら計測値を1次式で近似した光劣化率推定線が点線で示されている。
膜質評価部19は、この光劣化率推定線を用いて光劣化率を推定し、アモルファスシリコン薄膜3の膜質を評価する。
まず、上述したように、吸収スペクトル17から、2000cm−1及び2090cm−1における吸収率を得る。
そして、膜質評価部19において、SiH2/SiHを算出する。このSiH2/SiHの値に基づいて、図3のグラフにおける光劣化率推定線を参照して光劣化率を推定する。
そして、膜質評価部19は、光劣化率が例えば20%といった所定値を超えるアモルファスシリコン薄膜3を不良品と判断し、光劣化率が20%以下のものを正常と判断する。
1000cm−1は、アモルファスシリコン薄膜3の下方に位置する透明ガラス基板5に特有の吸収波数である。したがって、1000cm−1における吸収率が大きいということは、より多くのエバネッセント波がアモルファスシリコン薄膜3を通過して透明ガラス基板5にまで浸透していることを意味する。つまり、アモルファスシリコン薄膜3の膜厚が小さいほどエバネッセント波は透明ガラス基板5に深く浸透することを意味する。よって、1000cm−1における吸収率の逆数がアモルファスシリコン薄膜3の膜厚に比例することになる。
以上より、1000cm−1における吸収率と2090cm−1における吸収率との積は、単位膜厚あたりのSiH2の存在量すなわちSiH2の密度を意味する。SiH2の密度が光劣化率に影響を及ぼすことは上記文献にも示されている通りであるから、光劣化率の予測がより精細に行われることになる。
特に、透明ガラス基板5上に製膜されたアモルファスシリコン薄膜3をATR法によって計測することで、透明ガラス基板5との関係で簡便にSiH2の密度が算出できる点で大きな利点を有する。
赤外光を透過しない透明ガラス基板5上に製膜されたアモルファスシリコン薄膜3であっても、赤外光をアモルファスシリコン薄膜3で反射させて得られる反射スペクトルを分析することとしたので、膜質の評価が可能となる。
特に、光劣化計測は加速法を用いても数時間を要するのに対して、本実施形態によれば、極めて短時間で光劣化を推定することができる。
また、アモルファスシリコン薄膜が製膜される基板としては、透明ガラス基板に限定されるものではなく、例えば金属基板であってもよい。
第1実施形態では、ATR法を用いてアモルファスシリコン薄膜の膜質を評価したが、ATR結晶を用いずに赤外光を薄膜に直接照射して反射させる反射法を用いて反射率を測定することによって膜質を評価することもできる。
図5(a)には、反射法によって測定された反射率が波数に対して示されている。同図の右下には、吸収がない場合の反射率予測が点線で示されている。
図5(b)には、図5(a)の反射率と吸収がない場合の反射率予測とから得られる消衰係数が波数に対して示されている。
図5(b)に示されたグラフから、2000cm−1及び2090cm−1における消衰係数を得て、SiHおよびSiH2の値を算出することができる。
このように、本実施形態における反射法によれば、第1実施形態のようにATR結晶7を用いる必要がないので、簡便に膜質評価を行うことができる。
3 アモルファスシリコン薄膜
5 透明ガラス基板
9 赤外光源
13 赤外光検出器
17 吸収スペクトル
19 膜質評価部
Claims (6)
- 赤外光に対する透過率が小さい基板上に製膜された太陽電池用シリコン系薄膜に対して赤外光を照射して、
前記シリコン系薄膜で反射された反射波のスペクトルを分析することによって前記シリコン系薄膜の膜質を評価することを特徴とする太陽電池用シリコン系薄膜評価方法。 - 全反射減衰法によって前記反射波のスペクトルを得ることを特徴とする請求項1記載の太陽電池用シリコン系薄膜評価方法。
- 前記反射波のスペクトルの2000cm−1及び/又は2090cm−1における値に基づいて前記シリコン系薄膜の光劣化を推定することを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池用シリコン系薄膜評価方法。
- 前記基板は、透明ガラス基板とされ、
前記反射波のスペクトルの1000cm−1における値と2090cm−1及び/又は2090cm−1における値とに基づいて前記シリコン系薄膜の光劣化を推定することを特徴とする請求項2に記載の太陽電池用シリコン系薄膜評価方法。 - 請求項1〜4のいずれかに記載された太陽電池用シリコン系薄膜評価方法を用いて太陽電池を製造することを特徴とする太陽電池製造方法。
- 赤外光に対する透過率が小さい基板上に製膜された太陽電池用シリコン系薄膜に対して赤外光を照射する赤外光源と、
前記シリコン系薄膜で反射された反射波のスペクトル分析を行う演算器と、
該演算器の出力結果に基づいて前記シリコン系薄膜の膜質を評価する膜質評価部と、
を備えていることを特徴とする太陽電池用シリコン系薄膜評価装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004037408A JP2005228993A (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | 太陽電池用シリコン系薄膜評価方法および太陽電池製造方法 |
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JP2004037408A Ceased JP2005228993A (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | 太陽電池用シリコン系薄膜評価方法および太陽電池製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011174853A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 水素含有率取得装置および水素含有率取得方法 |
JP2012053001A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Seishin Shoji Kk | 測定装置および測定方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0783824A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-31 | Sony Corp | 減衰全反射による解析方法及びその装置 |
-
2004
- 2004-02-13 JP JP2004037408A patent/JP2005228993A/ja not_active Ceased
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