JP2005226565A - 真空ポンプ装置 - Google Patents

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JP2005226565A JP2004036628A JP2004036628A JP2005226565A JP 2005226565 A JP2005226565 A JP 2005226565A JP 2004036628 A JP2004036628 A JP 2004036628A JP 2004036628 A JP2004036628 A JP 2004036628A JP 2005226565 A JP2005226565 A JP 2005226565A
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ejector
tank
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valve
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Yusuke Shimizu
祐介 清水
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Abstract

【課題】 循環ポンプの停止時にエゼクタ内部で発生する水撃現象を防止することのできる真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】 エゼクタ1とタンク2と循環ポンプ3を循環路6で接続する。エゼクタ1の吸込室8に管路10を取り付ける。循環路6に大気吸入弁9を取り付ける。大気吸入弁9には入口11と出口12を設けて、循環ポンプ3が駆動している場合に大気吸引口16,17を閉口し、駆動していない場合に大気吸引口16,17を開口する。
循環ポンプ3の駆動が停止した場合、エゼクタ1内は真空状態であるために大気吸入弁9から大気を吸引することによって、エゼクタ1の内部で水撃現象を発生することがない。
【選択図】 図1

Description

本発明は、エゼクタとタンクと循環ポンプを組み合わせた真空ポンプ装置に関し、特に、循環ポンプの停止時にエゼクタ内部で発生する水撃現象、すなわち、液体がエゼクタ内部の壁面等に激しく衝突して衝撃や振動を発生する現象、を防止することのできる真空ポンプ装置に関する。
真空ポンプ装置は、大気圧以下の真空状態の流体を吸引することができるもので、タンク内の流体を循環ポンプでエゼクタに供給してやることによって、エゼクタで真空吸引力を発生して流体を吸引するものである。
このエゼクタとタンクと循環ポンプを組み合わせた真空ポンプ装置においては、循環ポンプの停止時にタンク内の液体がエゼクタ内へ逆流することによる水撃現象に伴う騒音と衝撃を発生する問題があった。
水撃現象は、循環ポンプでタンク内の液体をエゼクタへ供給して、エゼクタ内を真空状態に維持している時に、循環ポンプを停止した瞬間にエゼクタ内へ液体が逆流して発生するもので、液体がエゼクタ内部で激しく衝突することによる衝撃や振動を伴う。
特開平8−312600号公報
解決しようとする問題点は、循環ポンプの停止時にエゼクタ内部で発生する水撃現象を防止して振動や騒音を発生することのない真空ポンプ装置を提供することである。
本発明は、エゼクタとタンクと循環ポンプを循環路を介して連通して、タンク内の流体を循環ポンプの駆動によってエゼクタへ供給するものにおいて、循環ポンプの駆動流体が供給されている場合は閉弁し駆動流体が供給されていない場合は開弁する大気吸入弁を、循環路に取り付けたものである。
本発明の真空ポンプ装置は、循環ポンプから駆動流体が供給されている場合は閉弁し、一方、駆動流体が供給されていない場合は開弁する大気吸入弁を循環路に取り付けたことにより、この開弁した大気吸入弁からエゼクタ内へ大気が吸引されて、エゼクタ内部の真空状態が解除されることによって、液体のエゼクタ内部への逆流が防止され水撃現象を生じることがない。
本発明は、大気吸入弁を循環ポンプからエゼクタの間に取り付けることが好適である。
図1において、円筒状のタンク2に取り付けたエゼクタ1と、タンク2下部から管路4を介して接続した循環ポンプ3、及び、循環ポンプ3の上部吐出口とエゼクタ1の入口5とを連通する循環路6とで真空ポンプ装置を構成する。
エゼクタ1は、液体入口5と吸込室8とディフューザ部7とで構成する。ディフューザ部7はタンク2の内部に配置する。吸込室8の側面には、吸引すべき流体源と連通する管路10を接続する。管路10からは主に蒸気を含む気体と水等の液体との混合流体が流下してくる。
エゼクタ1の近傍の循環路6に大気吸入弁9を取り付ける。大気吸入弁9は、循環路6に入口11を接続し、出口12をエゼクタ1の吸込室8側と接続する。大気吸入弁9の断面構成図を図2に示す。大気吸入弁9は、入口11側に配置した断面コ字状のピストン弁13と、このピストン弁13を入口11方向へ付勢するコイルバネ14と、大気吸入弁9のケーシング15に設けた大気吸引口16,17とで構成する。ピストン弁13の上端には貫通孔18を設けて、入口11と出口12の間を連通させる。
循環ポンプ3が駆動されて駆動流体が循環路6から大気吸入弁9へ供給されると、ピストン弁13がコイルバネ14を圧縮しながら下動することによって、大気吸引口16,17を閉口して大気の吸引を停止する。
一方、循環ポンプ3の駆動が停止され大気吸入弁9への流体の供給が停止されると、図2に示すように圧縮していたコイルバネ14の弾性力によってピストン弁13が上方へ移動して大気吸引口16,17を開口することにより、エゼクタ1内へ大気が流入し、内部の真空状態が解除され、タンク2内の液体のエゼクタ1内部への逆流が防止され水撃現象を生じることがない。
タンク2の上部には不凝縮気体排出及びオーバーフロー管22を接続する。タンク2の下部にはタンク2内の液体排出管23を接続する。
循環ポンプ3を駆動してタンク2内の液体をエゼクタ1へ供給すると、吸込室8で吸引力を生じて管路10から蒸気を含む流体を吸引して、両方の流体は混合されながらディフューザ7内を流下してタンク2内に溜まる。
駆動していた循環ポンプ3を停止した場合、吸込室8内とディフューザ7内及び大気吸入弁9内部は真空状態であるために、大気吸入弁9を通して大気が吸引されて大気圧状態となる。このように大気をエゼクタ1内に吸引することによって、タンク2内の液体がディフューザ7の下端開口から逆流してエゼクタ1内で衝撃的な水撃現象を生じることを防止する。
大気吸入弁から大気を吸入して真空状態を解除することによって、循環ポンプの停止時にエゼクタ内部で発生する水撃現象を防止することができる。
本発明の真空ポンプ装置の実施例を示す構成図。 本発明の真空ポンプ装置に用いる大気吸入弁の断面構成図。
符号の説明
1 エゼクタ
2 タンク
3 循環ポンプ
6 循環路
7 ディフューザ
8 吸込室
9 大気吸入弁
11 入口
12 出口
13 ピストン弁
14 コイルバネ
16,17 大気吸引口

Claims (1)

  1. エゼクタとタンクと循環ポンプを循環路を介して連通して、タンク内の流体を循環ポンプの駆動によってエゼクタへ供給するものにおいて、循環ポンプの駆動流体が供給されている場合は閉弁し駆動流体が供給されていない場合は開弁する大気吸入弁を、循環路に取り付けたことを特徴とする真空ポンプ装置。
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