JP2005222998A - 電子基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】負電荷酸素原子を用いたレジスト剥離工程を有する電子基板の製造方法であって、該工程において負電荷酸素原子に印加する外部印加電圧(E)と電子基板に対する負電荷酸素原子の照射角度が関係式(I
):0.01≦E・sinθ≦80〔Eは外部印
加電圧(V)、θは照射角度(°)を示す〕を満たす電子基板の製造方法。
【選択図】なし
Description
0.01≦E・sinθ≦80 (I)
〔Eは外部印加電圧(V)、θは照射角度(°)を示す〕
を満たす電子基板の製造方法に関する。
0.01≦E・sinθ≦80 (I)
〔Eは外部印加電圧(V)、θは照射角度(°)を示す〕
を満たすことに一つの大きな特徴がある。
本発明の電子基板の製造方法は、負電荷酸素原子を用いたレジスト剥離工程を有する。
本発明における外部印加電圧とは、負電荷酸素原子が放出される側(すなわち固体電解質表面の電圧の高い側)の電極と外部電極との間の電圧を指す。また、外部印加電圧の制御し易さの観点から、固体電解質と電子基板との間にアース又は外部中間電極を設けることができる。この場合は、外部印加電圧とは、アース箇所又は外部中間電極と外部電極との間の電圧を指す。外部印加電圧は、関係式(I)を満たせば、特に制限はないが、絶縁膜の損傷低減の観点から、好ましくは0.01〜80V、より好ましくは0.01〜60V、さらに好ましくは0.01〜30V、さらに好ましくは0.01〜10V、さらに好ましくは0.01〜5Vである。また、電子基板表面上の変質レジストを効率よく酸化除去する観点からは、好ましくは0.01〜80V、より好ましくは1〜80V、さらに好ましくは5〜80V、さらに好ましくは15〜80V、さらに好ましくは40〜80Vである。
シリコンウェハ上に銅、バリア膜にBlack Diamond膜、表2記載の絶縁膜及びストッパー膜としてプラズマTEOS酸化膜を順次積層し、更にビィアホールを形成したウェハのホール内にポジ型レジスト系の埋め込み材を埋め込み、乾燥後、次にそのウェハ上にポリビニルフェノール樹脂系のポジ型レジストを塗布、乾燥してレジスト膜を形成した後、トレンチパターンを転写し、これをマスクとして、前記積層済みのレジスト、ストッパー膜、絶縁膜、埋め込み材を順次フッ素系を主体とするガスでエッチング除去し、引き続いて窒化珪素膜をエッチング除去し、ビィアトレンチパターンを有するアッシングを受けていない洗浄評価用ウェハを作製した。
◎:完全に剥離する。
○:ほとんど剥離する。
×:剥離できない。
◎:膜厚減少量が5nm未満(表面荒れほとんどなし)
○:膜厚減少量が5nm以上10nm未満(表面荒れ一部あり)
×:膜厚減少量が10nm以上(表面荒れあり)
TMAH:テトラメチルアンモニウムヒドロキシド
H2 O2 : 過酸化水素(旭電化工業(株)製、アデカスーパーEL)
NH4F:フッ化アンモニウム
DMAc:N,N-ジメチルアセトアミド
FSG:Fluorinated Silica Glass
Aurora2.4 :ASM International 社製
ポーラスBlack Diamond : Applied Materials社製
Orion2.2:Trikon Technologies 社製
2 酸素ガス供給源
3 高温炉
4 電極
5 酸素ガス導入方向
6 固体電解質
7 電圧印加手段
8 負電荷酸素発生部
9 アース(又は外部中間電極)
10 負電荷酸素原子照射方向
11 負電荷酸素原子の照射角度(θ)
12 電子基板
13 外部電極
14 外部印加電圧(E)(アース又は外部中間電極を設けた場合)
14’外部印加電圧(E)(アース又は外部中間電極を設けない場合)
15 四重極質量分析計(又はガスクロマトグラフィー質量分析計)
16 負電荷酸素原子の製造チャンバー
Claims (5)
- 負電荷酸素原子を用いたレジスト剥離工程を有する電子基板の製造方法であって、該工程において負電荷酸素原子に印加する外部印加電圧(E)と電子基板に対する負電荷酸素原子の照射角度が関係式(I):
0.01≦E・sinθ≦80 (I)
〔Eは外部印加電圧(V)、θは照射角度(°)を示す〕
を満たす電子基板の製造方法。 - 電圧をかけた固体電解質に酸素を供給することで負電荷酸素原子を発生させ、かつ外部印加電圧を制御しながら固体電解質と外部電極との間に設置した電子基板に該負電荷酸素原子を作用させる請求項1記載の電子基板の製造方法。
- 外部印加電圧が固体電解質と電子基板との間に設けたアース又は外部中間電極と外部電極との間の電圧である請求項1又は2記載の電子基板の製造方法。
- レジスト剥離工程において、さらに剥離剤組成物を用いる請求項1〜3いずれか記載の電子基板の製造方法。
- 電子基板が絶縁膜を有する半導体基板である請求項1〜4いずれか記載の電子基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004026785A JP2005222998A (ja) | 2004-02-03 | 2004-02-03 | 電子基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004026785A JP2005222998A (ja) | 2004-02-03 | 2004-02-03 | 電子基板の製造方法 |
Publications (1)
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JP2005222998A true JP2005222998A (ja) | 2005-08-18 |
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ID=34998423
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JP2004026785A Pending JP2005222998A (ja) | 2004-02-03 | 2004-02-03 | 電子基板の製造方法 |
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JP (1) | JP2005222998A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003050037A1 (fr) * | 2001-12-11 | 2003-06-19 | Japan Science And Technology Agency | Atomes d'oxygene a charge negative, leur procede de production, et leur appareil de production |
-
2004
- 2004-02-03 JP JP2004026785A patent/JP2005222998A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2003050037A1 (fr) * | 2001-12-11 | 2003-06-19 | Japan Science And Technology Agency | Atomes d'oxygene a charge negative, leur procede de production, et leur appareil de production |
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