JP2005214865A - スリット幅測定装置及びスリット幅測定方法及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】 被測定対象物に設けられたスリット部の内部におけるスリット幅を適宜の位置において容易かつ精度良く測定する。
【解決手段】 一対の構成部材２０ａ，２０ｂをスリット幅が増大するように互いに離間させた状態で、一対の変位計１２ａ，１２ｂにより、各スリット面２６ａ，２６ｂ同士の間の距離と各合わせ面２７ａ，２７ｂ同士の間の距離とを検出する。各スリット面２６ａ，２６ｂ同士の間の距離と各合わせ面２７ａ，２７ｂ同士の間の距離とに基づき、一対の構成部材２０ａ，２０ｂをそれらの合わせ面２７ａ，２７ｂ同士が互いに密着するように結合させることによってスリット面２６ａ，２６ｂ間に画成されるスリット部２１のスリット幅を算出する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、スリット幅測定装置及びスリット幅測定方法及びプログラムに関する。

従来、例えば図１１に示すように、相対的に移動する被塗布物の表面に塗布液を塗布する際に使用される塗布工具１は、内部に塗布液の液溜めとされるマニホールド２を備え、このマニホールド２に通じる塗布幅方向に伸びたスリット３から塗布液が吐出されることで、塗布ヘッドの塗布表面１Ａ上を相対的に移動する被塗布物の表面に塗布液を連続的に塗布するものであって（例えば特許文献１参照）、特に長尺の被塗布物に対して均一な塗布厚さの塗布面を形成するために、塗布液が吐出されるスリット３のスリット幅は精度良く形成される必要がある。
これに伴い、例えば塗布幅方向に伸びるスリット３の長さ（例えば、数ｍ等）に比べ、相対的に小さいスリット幅（例えば、数１０〜数１００μｍ等）を有するスリット３に対して、スリット幅を精度良く測定する必要があり、従来、塗布工具１のスリット３のスリット幅測定では、例えば図１１に示すように、隙間ゲージ５を用いて測定を行う方法が知られている。
特開昭６２−２４１５７４号公報

しかしながら、上記従来技術の一例に係る隙間ゲージ５によるスリット幅測定では、スリット３の開口端つまりスリット３のエッジ部３ａにおけるスリット幅のみが測定可能であり、スリット３の内部つまり深さ方向の適宜の位置におけるスリット幅の測定が困難であるという問題があった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、被測定対象物に設けられたスリット部の内部におけるスリット幅を適宜の位置において容易かつ精度良く測定することが可能なスリット幅測定装置及びスリット幅測定方法及びプログラムを提供することを目的とする。

上記課題を解決して係る目的を達成するために、請求項１に記載の本発明のスリット幅測定装置は、スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定するスリット幅測定装置であって、前記一対の構成部材を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態で、各前記スリット面あるいは各前記合わせ面に対して対向配置され、これらの対向配置された各面との間の距離を検出する一対の変位計と、前記変位計と前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させる移動手段と、前記移動手段の作動時に各前記スリット面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出手段と、前記移動手段の作動時に各前記合わせ面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出手段と、前記スリット面間距離算出手段から出力される算出値と前記合わせ面間距離算出手段から出力される算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出手段とを備えることを特徴としている。

また、請求項２に記載の本発明のスリット幅測定装置は、スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定するスリット幅測定装置であって、光源と、複数の入射光の干渉を測定可能な受光手段と、光源から出射される出射光を分岐してなる第１分岐光を前記受光手段へ入射させる第１分岐手段と、前記出射光を分岐してなる第２分岐光を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態の前記一対の構成部材における各前記スリット面あるいは各前記合わせ面にて反射させた後に前記受光手段へ入射させる第２分岐手段とを具備する干渉計と、前記干渉計と前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させる移動手段と、前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記スリット面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出手段と、前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記合わせ面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出手段と、前記スリット面間距離算出手段から出力される算出値と前記合わせ面間距離算出手段から出力される算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出手段とを備えることを特徴としている。

また、請求項３に記載の本発明のスリット幅測定方法は、スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定するスリット幅測定方法であって、前記一対の構成部材を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態で、各前記スリット面あるいは各前記合わせ面に対して対向配置され、これらの対向配置された各面との間の距離を検出する一対の変位計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に各前記スリット面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出ステップと、前記一対の変位計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に各前記合わせ面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出ステップと、前記スリット面間距離算出ステップでの算出値と前記合わせ面間距離算出ステップでの算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出ステップとを備えることを特徴としている。

また、請求項４に記載の本発明のスリット幅測定方法は、スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定するスリット幅測定方法であって、光源と、複数の入射光の干渉を測定可能な受光手段と、光源から出射される出射光を分岐してなる第１分岐光を前記受光手段へ入射させる第１分岐手段と、前記出射光を分岐してなる第２分岐光を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態の前記一対の構成部材における各前記スリット面あるいは各前記合わせ面にて反射させた後に前記受光手段へ入射させる第２分岐手段とを具備する干渉計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記スリット面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出ステップと、前記干渉計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記合わせ面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出ステップと、前記スリット面間距離算出ステップでの算出値と前記合わせ面間距離算出ステップでの算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出ステップとを備えることを特徴としている。

また、請求項５に記載の本発明のプログラムは、コンピュータを、スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定する手段として機能させるためのプログラムであって、前記一対の構成部材を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態で、各前記スリット面あるいは各前記合わせ面に対して対向配置され、これらの対向配置された各面との間の距離を検出する一対の変位計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に各前記スリット面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出手段と、前記一対の変位計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に各前記合わせ面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出手段と、前記スリット面間距離算出手段から出力される算出値と前記合わせ面間距離算出手段から出力される算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出手段として機能させることを特徴としている。

また、請求項６に記載の本発明のプログラムは、コンピュータを、スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定する手段として機能させるためのプログラムであって、光源と、複数の入射光の干渉を測定可能な受光手段と、光源から出射される出射光を分岐してなる第１分岐光を前記受光手段へ入射させる第１分岐手段と、前記出射光を分岐してなる第２分岐光を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態の前記一対の構成部材における各前記スリット面あるいは各前記合わせ面にて反射させた後に前記受光手段へ入射させる第２分岐手段とを具備する干渉計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記スリット面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出手段と、前記干渉計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記合わせ面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出手段と、前記スリット面間距離算出手段から出力される算出値と前記合わせ面間距離算出手段から出力される算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出手段として機能させることを特徴としている。

請求項１，３，５に記載の本発明によれば、例えば塗布工具に設けられたスリット部のように、一対の構成部材が結合されることによって画成されるスリット部のスリット幅を測定するのに際し、一対の構成部材をスリット幅が増大するように互いに離間させた状態で、これら一対の構成部材同士の間に配置される一対の変位計によって、各スリット面同士の間の距離と各合わせ面同士の間の距離とを検出することにより、変位計と構成部材との相対移動における運動の真直度誤差、つまり変位計と構成部材との相対位置の変化にともなう誤差を相殺して、適宜の位置において各スリット面同士の間の距離及び各合わせ面同士の間の距離を算出することができる。
そして、一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させたときには、各合わせ面同士の間の距離がゼロになるとすると、一対の構成部材を互いに離間させた状態で算出された各スリット面同士の間の距離から同じく一対の構成部材を互いに離間させた状態で算出された各合わせ面同士の間の距離を減算することにより、一対の構成部材を結合させることによってスリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を適宜の位置で容易かつ精度良く算出することができる。

請求項２，４，６に記載の本発明によれば、各スリット面同士の間の距離あるいは各合わせ面同士の間の距離が変化すると、出射光から分岐されてなる第１分岐光の光路は不変であるが、出射光から分岐され、各スリット面あるいは各合わせ面にて反射される第２分岐光の光路は変化するため、相対移動に係る運動の真直度誤差の有無に関わらず、第１分岐光と第２分岐光との干渉の変化に基づき、適宜の位置において各スリット面同士の間の距離及び各合わせ面同士の間の距離を算出することができる。
そして、一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させたときには、各合わせ面同士の間の距離がゼロになるとすると、一対の構成部材を互いに離間させた状態で算出された各スリット面同士の間の距離から同じく一対の構成部材を互いに離間させた状態で算出された各合わせ面同士の間の距離を減算することにより、一対の構成部材を結合させることによってスリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を適宜の位置で容易かつ精度良く算出することができる。

以下、本発明のスリット幅測定装置及びスリット幅測定方法及びプログラムの一実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
本実施形態によるスリット幅測定装置１０は、被測定対象物に設けられたスリット部のスリット幅を測定可能なものであって、例えば相対的に移動する被塗布物の表面に塗布液を塗布する際に使用される塗布工具２０に設けられたスリット部２１のスリット幅を測定するものとされている。

塗布工具２０は、図１（ａ）に示すように、内部に塗布液の液溜めとされるマニホールド２２を備え、このマニホールド２２に通じる塗布幅方向に伸びたスリット部２１から塗布液が吐出されることで、塗布ヘッド２３の塗布表面２３Ａ上を相対的に移動する被塗布物の表面に塗布液を連続的に塗布するものであって、特に長尺の被塗布物に対して均一な塗布厚さの塗布面を形成するために、塗布液が吐出されるスリット部２１のスリット幅（例えば、数１０〜数１００μｍ等）は、塗布幅方向に伸びるスリット部２１の長さ（例えば、数ｍ等）に比べて、相対的に小さく形成されている。

また、塗布工具２０は、図１（ｂ）に示すように、スリット部２１の幅方向（Ｚ方向）において、いわばスリット幅を増大させるようにして、一対の構成部材２０，２０（一方の構成部材２０ａ，他方の構成部材２０ｂ）に分割可能とされている。
一対の構成部材２０ａ，２０ｂのそれぞれは、スリット面２６（一方のスリット面２６ａ，他方のスリット面２６ｂ）と合わせ面２７（一方の合わせ面２７ａ，他方の合わせ面２７ｂ）とを有する側面２５（一方の側面２５ａ，他方の側面２５ｂ）を備えており、これら一対の構成部材２０ａ，２０ｂをそれらの側面２５ａ，２５ｂにおける合わせ面２７ａ，２７ｂ同士が互いに密着するように結合させることによって、側面２５ａ，２５ｂにおけるスリット面２６ａ，２６ｂ同士の間にスリット部２１が画成されている。

スリット幅測定装置１０は、図２に示すように、レーザ変位計等をなす一対の変位計１２，１２（第１変位計１２ａ，第２変位計１２ｂ）と、各変位計１２ａ，１２ｂから出力される変位データを処理する処理装置１３と、制御装置１４と、制御装置１４により制御され、塗布工具２０（一対の構成部材２０ａ，２０ｂ）と各変位計１２ａ，１２ｂとを相対移動させる駆動装置１５とを備えて構成されている。
そして、塗布工具２０は、図２及び図３に示すように、一対の構成部材２０ａ，２０ｂをスリット幅が増大するようにスリット部２１の幅方向（Ｚ方向）に所定の距離だけ互いに離間させた状態で、駆動装置１５によりスリット部２１が伸びる方向に平行な方向（Ｘ方向）及びスリット部２１の深さ方向、つまりＸ方向及びＺ方向に直交する方向（Ｙ方向）に移動可能とされたテーブル１６上に載置されている。

また、テーブル１６上においてスリット部２１の幅方向（Ｚ方向）に互いに離間させられた一対の構成部材２０ａ，２０ｂの側面２５ａ，２５ｂ間に変位計固定部材１７が配置されており、この変位計固定部材１７には、手動によりＺ方向等に、位置調節可能な各手動ステージ１８ａ，１８ｂのいずれかを介して、Ｘ方向の所定位置においてＺ方向に沿って配置されるように、レーザ変位計等をなす各変位計１２ａ，１２ｂが接続されている。

一方の構成部材２０ａにおける側面２５ａに対して対向配置されるように第１の手動ステージ１８ａに固定された第１変位計１２ａは、一方の側面２５ａにおけるスリット面２６ａに対して対向配置されているときには、このスリット面２６ａとの間の距離ｍ_１１（ｘ，ｙ）を検出し、一方の側面２５ａにおける合わせ面２７ａに対して対向配置されているときには、この合わせ面２７ａとの間の距離ｍ_１０（ｘ，ｙ）を検出するようにされ、また、他方の構成部材２０ｂにおける側面２５ｂに対して対向配置されるように第２の手動ステージ１８ｂに固定された第２変位計１２ｂは、他方の側面２５ｂにおけるスリット面２６ｂに対して対向配置されているときには、このスリット面２６ｂとの間の距離ｍ_２１（ｘ，ｙ）を検出し、他方の側面２５ｂにおける合わせ面２７ｂに対して対向配置されているときには、この合わせ面２７ｂとの間の距離ｍ_２０（ｘ，ｙ）を検出するようにされている。

そして、各変位計１２ａ，１２ｂにより得られた距離ｍ_１０（ｘ，ｙ），ｍ_１１（ｘ，ｙ），ｍ_２０（ｘ，ｙ），ｍ_２１（ｘ，ｙ）のデータ（変位データ）は処理装置１３へ出力されている。
処理装置１３は、例えば、第１変位計１２ａ，第２変位計１２ｂから出力される変位データを取得する第１データ取得部３１ａ，第２データ取得部３２ｂと、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させる前の状態において各スリット面２６ａ，２６ｂ同士の間の距離（スリット面間距離）を算出するスリット面間距離算出部３２と、同じく一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させる前の状態において各合わせ面２７ａ，２７ｂ同士の間の距離（合わせ面間距離）を算出する合わせ面間距離算出部３３と、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させた後の状態の各スリット面２６ａ，２６ｂ同士の間の距離、つまり一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させることによって画成されるスリット部２１のスリット幅を算出するスリット幅算出部３４とを備えている。

各変位データ取得部３１ａ，３１ｂは、各変位計１２ａ，１２ｂから出力される変位データを取得し、記憶部（図示略）に格納する。
スリット面間距離算出部３２は、各スリット面２６ａ，２６ｂにおけるＸＹ平面内での適宜の位置（ｘ，ｙ）において、第１変位計１２ａから出力される距離ｍ_１１（ｘ，ｙ）と、第２変位計１２ｂから出力される距離ｍ_２１（ｘ，ｙ）とに基づき、塗布工具２０の一対の構成部材２０ａ，２０ｂが駆動装置１５によりＸ方向に移動させられる際に、変位計固定部材１７と各スリット面２６ａ，２６ｂとのＺ方向における相対位置が変動することに起因してスリット面間距離の算出結果に対して生じる誤差、つまり駆動装置１５の駆動に係るＺ方向運動の真直度誤差ｅ（ｘ，ｙ）を補正した後のスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）を算出する。
そして、算出したスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）をスリット幅算出部３４へ出力する。

合わせ面間距離算出部３３は、各合わせ面２７ａ，２７ｂにおけるＸＹ平面内での適宜の位置（ｘ，ｙ）において、第１変位計１２ａから出力される距離ｍ_１０（ｘ，ｙ）と、第２変位計１２ｂから出力される距離ｍ_２０（ｘ，ｙ）とに基づき、塗布工具２０の一対の構成部材２０ａ，２０ｂが駆動装置１５によりＸ方向に移動させられる際に、変位計固定部材１７と各合わせ面２７ａ，２７ｂとのＺ方向における相対位置が変動することに起因して合わせ面間距離の算出結果に対して生じる誤差、つまり駆動装置１５に駆動に係るＺ方向運動の真直度誤差ｅ（ｘ，ｙ）を補正した後の合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）を算出する。
そして、算出した合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）をスリット幅算出部３４へ出力する。

スリット幅算出部３４は、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させる前の状態においてスリット面間距離算出部３２から出力されるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）と、同じく一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させる前の状態において合わせ面間距離算出部３３から出力される合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）とに基づき、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させることによって画成されるスリット部２１のスリット幅Ｗ（ｘ，ｙ）を算出する。

制御装置１４は、各変位計１２ａ，１２ｂ及び駆動装置１５の動作を制御しており、例えば図３に示すように、塗布工具２０が載置されるテーブル１６を駆動装置１５によりＸ方向またはＹ方向に移動させることで、各変位計１２ａ，１２ｂが塗布工具２０を構成する一対の構成部材２０ａ，２０ｂの側面２５ａ，２５ｂ（スリット面２６ａ，２６ｂ及び合わせ面２７ａ，２７ｂ）を長さ方向または深さ方向に走査するように設定する。
すなわち、これらの走査時にはスリット部２１の長さ方向（Ｘ方向）または深さ方向（Ｙ方向）に亘って、各側面２５ａ，２５ｂ（各スリット面２６ａ，２６ｂ及び各合わせ面２７ａ，２７ｂ）との間の距離を測定するように各変位計１２ａ，１２ｂを制御し、得られる変位データを処理装置１３へ出力させる。そして、移動後あるいは移動中の所定時点におけるＸ方向の変位（Ｘ方向距離）またはＹ方向の変位（Ｙ方向距離）の情報を処理装置１３へ出力する。

本実施形態によるスリット幅測定装置１０は上記構成を備えており、以下に、このスリット幅測定装置１０によってスリット幅を測定する処理について説明する。
まず、Ｚ方向に互いに離間させられた状態でテーブル１６上に載置された一対の構成部材２０ａ，２０ｂに対し、第１変位計１２ａ及び第２変位計１２ｂと一対の構成部材２０ａ，２０ｂとの相対位置をＸＹ平面内における所定位置（ｘ，ｙ）、例えば各変位計１２ａ，１２ｂが一対の構成部材２０ａ，２０ｂの各側面２５ａ，２５ｂにおける各合わせ面２７ａ，２７ｂに対して対向配置されるような所定位置（ｘ，ｙ）に設定する。

次に、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを駆動装置１５によりＸ方向に移動させ、これら一対の構成部材２０ａ，２０ｂの各側面２５ａ，２５ｂにおける各合わせ面２７ａ，２７ｂに対して対向配置された各変位計１２ａ，１２ｂにより、各合わせ面２７ａ，２７ｂとの間の距離ｍ_１０（ｘ，ｙ），ｍ_２０（ｘ，ｙ）の検出を開始する。

次に、第１変位計１２ａから出力される距離ｍ_１０（ｘ，ｙ）と、第２変位計１２ｂから出力される距離ｍ_２０（ｘ，ｙ）とに基づき、一対の構成部材２０ａ，２０ｂが駆動装置１５によりＸ方向に移動させられる際に、変位計固定部材１７と各合わせ面２７ａ，２７ｂとのＺ方向における相対位置が変動することに起因して合わせ面間距離の算出結果に対して生じる誤差、つまり、駆動装置１５の駆動に係るＺ方向の真直度誤差ｅ（ｘ，ｙ）を補正した後の合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）を算出する。

次に、適宜のＹ方向位置（例えば２カ所以上）でのＸ方向における合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）の測定終了が指示されているか否かを判定し、測定終了が指示されていなければ、第１変位計１２ａ及び第２変位計１２ｂと一対の構成部材２０ａ，２０ｂとの相対位置を、各変位計１２ａ，１２ｂが各合わせ面２７ａ，２７ｂに対して対向配置されたままとなるように、Ｙ方向に所定位置だけ変更し、上記工程により合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）の測定を再び繰り返す。

また、測定終了が指示されていれば、第１変位計１２ａ及び第２変位計１２ｂと一対の構成部材２０ａ，２０ｂとの相対位置を、各変位計１２ａ，１２ｂが各スリット面２６ａ，２６ｂに対して対向配置されるように、Ｙ方向に所定位置だけ変更し、スリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）の測定を開始する。

スリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）の測定も、上記の合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）の測定と同様に行われるものであり、まず、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを駆動装置１５によりＸ方向に移動させ、これら一対の構成部材２０ａ，２０ｂの各側面２５ａ，２５ｂにおける各スリット面２６ａ，２６ｂに対して対向配置された各変位計１２ａ，１２ｂにより、各スリット面２６ａ，２６ｂとの間の距離ｍ_１１（ｘ，ｙ），ｍ_２１（ｘ，ｙ）の検出を開始する。

次に、第１変位計１２ａから出力される距離ｍ_１１（ｘ，ｙ）と、第２変位計１２ｂから出力される距離距離ｍ_２１（ｘ，ｙ）とに基づき、一対の構成部材２０ａ，２０ｂが駆動装置１５によりＸ方向に移動させられる際に、変位計固定部材１７と各合わせ面２７ａ，２７ｂとのＺ方向における相対位置が変動することに起因してスリット面間距離の算出結果に対して生じる誤差、つまり、駆動装置１５の駆動に係るＺ方向の真直度誤差ｅ（ｘ，ｙ）を補正した後のスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）を算出する。

次に、適宜のＹ方向位置（例えば２カ所以上）でのＸ方向におけるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）の測定終了が指示されているか否かを判定し、測定終了が指示されていなければ、第１変位計１２ａ及び第２変位計１２ｂと一対の構成部材２０ａ，２０ｂとの相対位置を、各変位計１２ａ，１２ｂが各スリット面２６ａ，２６ｂに対して対向配置されたままとなるように、Ｙ方向に所定位置だけ変更し、上記工程によりスリット面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）の測定を再び繰り返す。

また、測定終了が指示されていれば、適宜のＹ方向位置でのＸ方向において算出された合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）と、適宜のＹ方向位置でのＸ方向において算出されたスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）とに基づき、一対の構成部材２０ａ，２０ｂをそれらの合わせ面２７ａ，２７ｂ同士が互いに密着するように結合させることによってそれらのスリット面２６ａ，２６ｂ同士の間に画成されるスリット部２１のスリット幅Ｗ（ｘ，ｙ）を適宜の位置において算出し、一連の処理を終了する。

ここで、このような適宜の位置におけるスリット幅Ｗ（ｘ，ｙ）の算出は、一対の構成部材２０ａ，２０ｂをそれらの合わせ面２７ａ，２７ｂが互いに密着するように結合させたときには、合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）がゼロになるとして、一対の構成部材２０ａ、２０ｂがＺ方向に互いに離間させられた状態で算出されたスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）から、同じく一対の構成部材２０ａ，２０ｂがＺ方向に互いに離間させられた状態で算出された合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）を減算することによって求められる。

以下、このようなスリット幅測定方法を用いて、図４〜図７に示すような４つのケースの塗布工具２０のスリット幅を測定する方法を説明する。
まず、ケース１として、図４（ａ）に示すように、Ｙ方向（スリット部２１の深さ方向）から見たときに、各スリット面２６ａ，２６ｂの形状がｆ_Ｌ１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ），ｆ_Ｒ１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）、各合わせ面２７ａ，２７ｂの形状が直線状であり、駆動装置１５に駆動に係るＺ方向運動の真直度誤差がある場合のモデルを考える。なお、真直度誤差は、合わせ面測定時はｅ（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）、スリット面測定時はｅ（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）で表す。

一方の合わせ面２７ａに対して対向配置された状態の第１変位計１２ａから出力される一方の合わせ面２７ａとの間の距離ｍ_１０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（１）、他方の合わせ面２７ｂに対して対向配置された状態の第２変位計１２ｂから出力される他方の合わせ面２７ｂとの間の距離ｍ_２０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（２）で置くことができ、また、一方のスリット面２６ａに対して対向配置された状態の第１変位計１２ａから出力される一方のスリット面２６ａとの間の距離ｍ_１１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（３）、他方のスリット面２６ｂに対して対向配置された状態の第２変位計１２ｂから出力される他方のスリット面２６ｂとの間の距離ｍ_２１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（４）と置くことができる。

上記数式（１）と数式（２）とを加算することによって得られる合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（５）となって、合わせ面測定時における駆動装置１５に駆動に係るＺ方向運動の真直度誤差ｅ（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）を取り除いた合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）を求めることができ、また、上記数式（３）と数式（４）とを加算することによって得られるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（６）となって、スリット面測定時における駆動装置１５の駆動に係るＺ方向運動の真直度誤差ｅ（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）を取り除いたスリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）を求めることができる。

ここで、図４（ｂ）に示すように、一対の構成部材２０ａ，２０ｂをそれらの合わせ面２７ａ，２７ｂが互いに密着するように結合させることによってスリット面２６ａ，２６ｂ同士の間にスリット部２１を画成させたときには、合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）を示す上記数式（５）がゼロになるとすると、スリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）が合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）の分だけ小さくなる。
このスリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）から合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）を減算したものが、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させたときに画成されるスリット部２１のスリット幅Ｗ（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）となって以下の数式（７）で表すことができる。

次に、ケース２として、図５（ａ）に示すように、テーブル１６上に一対の構成部材２０ａ，２０ｂを設置してＹ方向から見たときに、他方の構成部材２０ｂにＺ方向の傾斜成分αがある場合のモデルを考える（ケース２〜４では、簡略化のため駆動装置１５に駆動に係るＺ方向運動の真直度誤差を省略して考える）。

一方の合わせ面２７ａに対して対向配置された状態の第１変位計１２ａから出力される一方の合わせ面２７ａとの間の距離ｍ_１０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（８）、他方の合わせ面２７ｂに対して対向配置された状態の第２変位計１２ｂから出力される他方の合わせ面２７ｂとの間の距離ｍ_２０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（９）で置くことができ、また、一方のスリット面２６ａに対して対向配置された状態の第１変位計１２ａから出力される一方のスリット面２６ａとの間の距離ｍ_１１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（１０）、他方のスリット面２６ｂに対して対向配置された状態の第２変位計１２ｂから出力される他方のスリット面２６ｂとの間の距離ｍ_２１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（１１）と置くことができる。

上記数式（８）と数式（９）とを加算することによって得られる合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（１２）となり、また、上記数式（１０）と数式（１１）とを加算することによって得られるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（１３）となる。

ここで、図５（ｂ）に示すように、一対の構成部材２０ａ，２０ｂをそれらの合わせ面２７ａ，２７ｂが互いに密着するように結合させることによってスリット面２６ａ，２６ｂ同士の間にスリット部２１を画成させたときには、合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）を示す上記数式（１２）がゼロになるとすると、スリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）が合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）の分だけ小さくなる。
このスリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）から合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）を減算したものが、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させたときに画成されるスリット部２１のスリット幅Ｗ（ｘ_ｉ，ｘ_ｋ）となって以下の数式（１４）で表すことができ、傾斜成分αが消え、このスリット幅Ｗ（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）を求めることができる。

次に、ケース３として、図６（ａ）に示すように、Ｙ方向から見たときに、各スリット面２６ａ，２６ｂの形状がｆ_Ｌ１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ），ｆ_Ｒ１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）であるだけではなく、各合わせ面２７ａ，２７ｂに任意の形状ｆ_Ｌ０（ｘ_ｉ），ｆ_Ｒ０（ｘ_ｉ）がある場合のモデルを考える。

一方の合わせ面２７ａに対して対向配置された状態の第１変位計１２ａから出力される一方の合わせ面２７ａとの間の距離ｍ_１０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（１５）、他方の合わせ面２７ｂに対して対向配置された状態の第２変位計１２ｂから出力される他方の合わせ面２７ｂとの間の距離ｍ_２０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（１６）で置くことができ、また、一方のスリット面２６ａに対して対向配置された状態の第１変位計１２ａから出力される一方のスリット面２６ａとの間の距離ｍ_１１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（１７）、他方のスリット面２６ｂに対して対向配置された状態の第２変位計１２ｂから出力される他方のスリット面２６ｂとの間の距離ｍ_２１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（１８）と置くことができる。

上記数式（１５）と数式（１６）とを加算することによって得られる合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（１９）となり、また、上記数式（１７）と数式（１８）とを加算することによって得られるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（２０）となる。

ここで、図６（ｂ）に示すように、一対の構成部材２０ａ，２０ｂをそれらの合わせ面２７ａ，２７ｂが互いに密着するように結合させることによってスリット面２６ａ，２６ｂ同士の間にスリット部２１を画成させたときには、合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）を示す上記数式（１９）がゼロになるとすると、スリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）が合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）の分だけ小さくなる。
このスリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）から合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）を減算したものが、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させたときに画成されるスリット部２１のスリット幅Ｗ（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）となって以下の数式（２１）で表すことができる。

次に、ケース４として、図７に示すように、Ｘ方向から見たときに、各スリット面２６ａ，２６ｂの形状がｆ_Ｌ１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ），ｆ_Ｒ１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）であるだけではなく、各合わせ面２７ａ，２７ｂにＹ方向の傾斜成分β，γがある場合のモデルを考える（β，γは、塗布工具２０設置時の傾斜成分と、各合わせ面２７ａ，２７ｂの形状の一次成分によるものを含んだ値である）。

一方の合わせ面２７ａに対して対向配置された状態の第１変位計１２ａから出力される一方の合わせ面２７ａとの間の距離ｍ_１０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（２２）、他方の合わせ面２７ｂに対して対向配置された状態の第２変位計１２ｂから出力される他方の合わせ面２７ｂとの間の距離ｍ_２０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（２３）で置くことができ、また、一方のスリット面２６ａに対して対向配置された状態の第１変位計１２ａから出力される一方のスリット面２６ａとの間の距離ｍ_１１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（２４）、他方のスリット面２６ｂに対して対向配置された状態の第２変位計１２ｂから出力される他方のスリット面２６ｂとの間の距離ｍ_２１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（２５）と置くことができる。

上記数式（２２）と数式（２３）とを加算することによって得られる合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（２６）となり、また、上記数式（２４）と数式（２５）とを加算することによって得られるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（２７）となる。

ここで、一対の構成部材２０ａ，２０ｂをそれらの合わせ面２７ａ，２７ｂが互いに密着するように結合させることによってスリット面２６ａ，２６ｂ同士の間にスリット部２１を画成させたときには、合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）を示す上記数式（２６）がゼロになるとすると、スリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）から各合わせ面２７ａ，２７ｂの傾斜成分（β＋γ）の影響を取り除く必要がある。
傾斜成分（β＋γ）の値は、各合わせ面２７ａ，２７ｂにおける任意の位置ｙ_ｉとｙ_ｉ＋ｎでの測定結果から以下の数式（２８）として求めることができる。

よって、合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）とスリット面間距離Δｍ_１（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）とから傾斜成分を除いた結果をΔｍ_０’（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ），Δｍ_１’（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）とすると、Δｍ_０’（ｘ_ｉ，ｙ_ｊ）は以下の数式（２９）、Δｍ_１’（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）とは以下の数式（３０）となり、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させたときに画成されるスリット部２１のスリット幅Ｗ（ｘ_ｉ，ｙ_ｋ）は以下の数式（３１）で表すことができる。

以上説明したように、本実施形態によるスリット幅測定装置１０及びスリット幅測定方法によれば、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを互いに離間させた状態で、駆動装置１５により塗布工具２０を各変位計１２ａ，１２ｂに対してＸ方向またはＹ方向に相対移動させるだけで、駆動装置１５の駆動に係るＺ方向運動の真直度誤差ｅを補正した後の、Ｘ方向またはＹ方向におけるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）及び合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）を適宜に位置において算出することができる。
そして、一対の構成部材２０ａ，２０ｂをそれらの合わせ面２７ａ，２７ｂ同士が互いに密着するように結合させたときには、各合わせ面２７ａ，２７ｂ同士の間の距離がゼロになるとすると、上記真直度誤差ｅを補正した後のスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）から合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）を減算することにより、一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させた後にスリット面２６ａ，２６ｂ同士の間に画成されるスリット部２１の適宜の位置でのスリット幅Ｗ（ｘ，ｙ）を適宜の位置で容易かつ精度良く算出することができる。

ここで、本実施形態によるスリット幅測定装置１０及びスリット幅測定方法によって、試験用塗布工具２０の一対の構成部材２０ａ，２０ｂを互いに離間させた状態で求めたスリット面間距離及び合わせ面間距離の結果を図８（ａ）に示し、この図８（ａ）の結果に基づいて求めた一対の構成部材２０ａ，２０ｂを結合させた後のスリット幅の結果を図８（ｂ）に示す。なお、変位計の平均回２０４８回であり、試験用塗布工具２０の高さは５０ｍｍ、スリット幅（設計値）は８０μｍである。

なお、上述した本実施形態においては、駆動装置１５によって塗布工具２０を移動させるとしたが、これに限定されず、各変位計１２ａ，１２ｂをＸ方向及びＹ方向に移動させてもよい。

なお、上述した本実施形態においては、適宜のＹ方向位置でのＸ方向におけるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）及び合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）だけを算出し、適宜のＸ方向位置でのＹ方向におけるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）及び合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）を算出していないが、これは一対の構成部材２０ａ，２０ｂのＸ方向での長さに対してＹ方向での長さが十分に小さく、Ｘ方向におけるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）及び合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）の変化量に対してＹ方向におけるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）及び合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）の変化量は小さいためである。
もちろん、適宜のＸ方向位置でのＹ方向におけるスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）及び合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）をも算出するようにしてもよい。

なお、上述した本実施形態においては、一対の変位計１２ａ，１２ｂによってスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）と合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）とを検出することにより、スリット幅Ｗ（ｘ，ｙ）を算出するだけの構成となっているが、例えば、第１変位計１２ａ及び第２変位計１２ｂに対してＸ方向に所定距離だけ離間した位置に、一方の側面２５ａ（一方のスリット面２６ａ，一方の合わせ面２７ａ）との間の距離を検出する第３変位計を設けたり、第１変位計１２ａに対してＹ方向に所定距離だけ離間した位置に、一方の側面２５ａ（一方のスリット面２６ａ，一方の合わせ面２７ａ）との間の距離を検出する第４変位計を設けたりするようにすれば、例えば、スリット面２６ａ，２６ｂ及び合わせ面２７ａ，２７ｂについてのＸ方向及びＹ方向での真直度や平面度などを算出することも可能となる。

なお、上述した本実施形態においては、第１変位計１２ａと第２変位計１２ｂとから出力される変位データに基づき、スリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）及び合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）を測定するとしたが、これに限定されず、例えば図９及び図１０に示すように、単一の差動干渉計等によりスリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）及び合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）を測定してもよい。

以下に、本実施形態の変形例に係るスリット幅測定装置４０及びスリット幅測定方法について説明する。
この変形例によるスリット幅測定装置４０は、例えば図９及び図１０に示すように、テーブル１６上に載置された、光源４１と、ビームスプリッタ４２と、第１反射鏡４３と、受光部４４と、偏光ビームスプリッタ４５と、第１〜第３の１／４波長板４６ａ，４６ｂ，４６ｃと、第２反射鏡４７とを備えて構成され、例えばＸ方向に沿って、順次、光源４１と、ビームスプリッタ４２と、偏光ビームスプリッタ４５と、第２反射鏡４７とが配置され、さらに、Ｚ方向においてビームスプリッタ４２を両側から挟み込むようにして第１反射鏡４３と、受光部４４とが配置されている。

ここで、受光部４４（受光手段）は、光源４１から出射され、第１反射鏡４３にて反射された第１反射光Ｌ１と、第２反射鏡４７にて反射された第２反射光Ｌ２との干渉を検出し、この光路差に応じた検出結果を処理装置１３等を出力する。そして、処理装置１３では、検出された干渉に基づき、スリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）及び合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）が算出される。

例えば図９に示すように、第１反射光Ｌ１（第１分岐光）は、光源４１からＸ方向に出射されたレーザ光のうち、ビームスプリッタ４２によってＺ方向に取り出され、第１反射鏡４３にて反射された後に、受光部４４へ入射されるものである。
一方、第２反射光Ｌ２（第２分岐光）は、例えば図１０に示すように、光源４１からＸ方向に出射され、ビームスプリッタ４２を通過した後に、偏光ビームスプリッタ４５によってＺ方向に取り出され、第１の１／４波長板４６ａを介して塗布工具２０の一方の構成部材２０ａのスリット面２６ａあるいは合わせ面２７ａにて反射された後に、第２の１／４波長板４６ｂを介して塗布工具２０の他方の構成部材２０ｂのスリット面２６ｂあるいは合わせ面２７ｂにて反射された後に、偏光ビームスプリッタ４５によってＸ方向に取り出され、第３の１／４波長板４６ｃを介して第２反射鏡４７にてＸ方向に光源４１へ向かって反射された後に、ビームスプリッタ４２によってＺ方向に取り出され、受光部４４へ入射されるものである。

ここで、スリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）あるいは合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）が変化しても、第１反射光Ｌ１の光路は不変であるが、第２反射光Ｌ２の光路は変化するため、受光部４４にて検出される第１反射光Ｌ１と第２反射光Ｌ２との干渉の変化に応じて、スリット面間距離Δｍ_１（ｘ，ｙ）及び合わせ面間距離Δｍ_０（ｘ，ｙ）が算出される。

なお、本発明の一実施形態によるスリット幅測定方法を実現するスリット幅測定装置１０，４０は、専用のハードウェアにより実現されるものであっても良く、また、メモリおよびＣＰＵを備えて構成され、スリット幅測定装置１０，４０の処理装置１３および制御装置１４の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現するものであっても良い。

また、上述した本発明に係るスリット幅測定方法を実現するためのプログラムをコンピュータ読みとり可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより結晶形状の測定を行っても良い。なお、ここで言うコンピュータシステムとはＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものであっても良い。

また、コンピュータ読みとり可能な記録媒体とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことを言う。さらに、コンピュータ読みとり可能な記録媒体とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記憶されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。

本実施形態によるスリット幅測定装置の測定対象物である塗布工具を示す斜視図である。 本実施形態によるスリット幅測定装置を示す構成図である。 図２に示すスリット幅測定装置において、塗布工具の移動方向を示す斜視図である。 本実施形態によるスリット幅測定方法を説明するための概略図である。 本実施形態によるスリット幅測定方法を説明するための概略図である。 本実施形態によるスリット幅測定方法を説明するための概略図である。 本実施形態によるスリット幅測定方法を説明するための概略図である。 本実施形態によるスリット幅測定装置で塗布工具のスリット幅を測定した結果の一例を示す図である。 本実施形態の変形例によるスリット幅測定装置における第１反射光Ｌ１の光路を示す図である。 本実施形態の変形例によるスリット幅測定装置における第２反射光Ｌ２の光路を示す図である。 従来技術の一例によるスロットダイの溝部の溝幅測定におけるスロットダイと隙間ゲージとの配置状態を示す断面図である。

符号の説明

１０，４０ スリット幅測定装置
１２ａ 第１変位計（変位計）
１２ｂ 第２変位計（変位計）
１３ 処理装置
１４ 制御装置
１５ 駆動装置（移動手段）
２０ 塗布工具
２０ａ 一方の構成部材
２０ｂ 他方の構成部材
２１ スリット部
２５ａ 一方の側面
２５ｂ 他方の側面
２６ａ 一方のスリット面
２６ｂ 他方のスリット面
２７ａ 一方の合わせ面
２７ｂ 他方の合わせ面
３２ スリット面間距離算出部（スリット面間距離算出手段）
３３ 合わせ面間距離算出部（合わせ面間距離算出手段）
３４ スリット幅算出部（スリット幅算出手段）
４１ 光源
４２ ビームスプリッタ（第１分岐手段、第２分岐手段）
４３ 第１反射鏡（第１分岐手段）
４４ 受光部（受光手段）
４５ 偏光ビームスプリッタ（第２分岐手段）
４６ａ 第１の１／４波長板（第２分岐手段）
４６ｂ 第２の１／４波長板（第２分岐手段）
４６ｃ 第３の１／４波長板（第２分岐手段）
４７ 第２反射鏡（第２分岐手段）

Claims (6)

1. スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定するスリット幅測定装置であって、
   前記一対の構成部材を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態で、各前記スリット面あるいは各前記合わせ面に対して対向配置され、これらの対向配置された各面との間の距離を検出する一対の変位計と、
   前記変位計と前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させる移動手段と、
   前記移動手段の作動時に各前記スリット面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出手段と、
   前記移動手段の作動時に各前記合わせ面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出手段と、
   前記スリット面間距離算出手段から出力される算出値と前記合わせ面間距離算出手段から出力される算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出手段と
   を備えることを特徴とするスリット幅測定装置。
2. スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定するスリット幅測定装置であって、
   光源と、複数の入射光の干渉を測定可能な受光手段と、光源から出射される出射光を分岐してなる第１分岐光を前記受光手段へ入射させる第１分岐手段と、前記出射光を分岐してなる第２分岐光を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態の前記一対の構成部材における各前記スリット面あるいは各前記合わせ面にて反射させた後に前記受光手段へ入射させる第２分岐手段とを具備する干渉計と、
   前記干渉計と前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させる移動手段と、
   前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記スリット面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出手段と、
   前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記合わせ面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出手段と、
   前記スリット面間距離算出手段から出力される算出値と前記合わせ面間距離算出手段から出力される算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出手段と
   を備えることを特徴とするスリット幅測定装置。
3. スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定するスリット幅測定方法であって、
   前記一対の構成部材を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態で、各前記スリット面あるいは各前記合わせ面に対して対向配置され、これらの対向配置された各面との間の距離を検出する一対の変位計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に各前記スリット面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出ステップと、
   前記一対の変位計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に各前記合わせ面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出ステップと、
   前記スリット面間距離算出ステップでの算出値と前記合わせ面間距離算出ステップでの算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出ステップと
   を備えることを特徴とするスリット幅測定方法。
4. スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定するスリット幅測定方法であって、
   光源と、複数の入射光の干渉を測定可能な受光手段と、光源から出射される出射光を分岐してなる第１分岐光を前記受光手段へ入射させる第１分岐手段と、前記出射光を分岐してなる第２分岐光を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態の前記一対の構成部材における各前記スリット面あるいは各前記合わせ面にて反射させた後に前記受光手段へ入射させる第２分岐手段とを具備する干渉計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記スリット面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出ステップと、
   前記干渉計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記合わせ面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出ステップと、
   前記スリット面間距離算出ステップでの算出値と前記合わせ面間距離算出ステップでの算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出ステップと
   を備えることを特徴とするスリット幅測定方法。
5. コンピュータを、スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定する手段として機能させるためのプログラムであって、
   前記一対の構成部材を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態で、各前記スリット面あるいは各前記合わせ面に対して対向配置され、これらの対向配置された各面との間の距離を検出する一対の変位計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に各前記スリット面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出手段と、
   前記一対の変位計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に各前記合わせ面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出手段と、
   前記スリット面間距離算出手段から出力される算出値と前記合わせ面間距離算出手段から出力される算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出手段と
   して機能させることを特徴とするプログラム。
6. コンピュータを、スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定する手段として機能させるためのプログラムであって、
   光源と、複数の入射光の干渉を測定可能な受光手段と、光源から出射される出射光を分岐してなる第１分岐光を前記受光手段へ入射させる第１分岐手段と、前記出射光を分岐してなる第２分岐光を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態の前記一対の構成部材における各前記スリット面あるいは各前記合わせ面にて反射させた後に前記受光手段へ入射させる第２分岐手段とを具備する干渉計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記スリット面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出手段と、
   前記干渉計と、前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させ、前記移動手段の作動時に前記第２分岐光を各前記合わせ面にて反射させた前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出手段と、
   前記スリット面間距離算出手段から出力される算出値と前記合わせ面間距離算出手段から出力される算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出手段と
   して機能させることを特徴とするプログラム。
   

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