JP2005208299A - 導波路型光部品の製造方法、導波路型光部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マッハ・ツェンダ干渉計10の製造方法において、紫外光18を直線偏光とし、直線偏光の電界の向きがコア部13における光の伝搬方向と平行となるように、紫外光18をコア部13に照射し、コア部13に光の伝搬方向と平行な方向に複屈折を生じさせるか、または、紫外光18を直線偏光とし、直線偏光の電界の向きとコア部13における光の伝搬方向とのなす角度が45°未満となるように、紫外光18をコア部13に照射し、コア部13に光の伝搬方向とのなす角度が45°未満の方向に複屈折を生じさせて、マッハ・ツェンダ干渉計10の光学特性を制御する。
【選択図】 図1
Description
このような問題に対処するため、光回路作製工程中で導波路中に導入された複屈折を補償するために後工程で特性調整を行うことが多く行われている。
図10は、一般的な紫外光を光導波路に照射した場合、コア部に生じる複屈折を示す概略図である。
図10中、符号100は光導波路、101は基板、102はクラッド層、103はコア部、104は光導波路100に照射される紫外光の偏波成分、105は紫外光の照射により、コア部に生じる複屈折をそれぞれ示す。
例えば、図10のx軸方向およびz軸方向の偏波成分を有する紫外光104を、y軸方向から光導波路100のコア部103に照射すると、このコア部103には、光導波路100のコア部103における光の伝搬方向に平行な方向(z軸方向)の成分、および、コア部103における光の伝搬方向と垂直な方向(x軸方向)の成分を有する複屈折105が生じる。
z偏波106を、図11のy軸方向から光導波路100に照射すると、コア部103には、z軸方向に複屈折107が生じる。この複屈折107は、光導波路100を伝搬するx偏波とy偏波(図11のy軸方向に電界を持つ光)の両方に垂直な向きとなる。この複屈折107はx偏波とy偏波の両方に対して等価に作用するから、コア部103に生じる実効屈折率の変化は、光導波路100を伝搬する光に対して複屈折性を示さない。その結果、光導波路100に複屈折は生じない。
x偏波108を、図12のy軸方向から光導波路100に照射すると、コア部103には、x軸方向に複屈折109が生じる。この複屈折109により、光導波路100を伝搬するx偏波に対する実効屈折率の上昇量が、光導波路100を伝搬するy偏波に対する実効屈折率の上昇量よりも大きくなる。そのため、x偏波に対する実効屈折率の変化量とy偏波に対する実効屈折率の変化量に差が生じる。その結果、光導波路100に複屈折が生じる。
図10に示す光導波路100と同様に、図13のx軸方向およびz軸方向の偏波成分を有する紫外光114を、y軸方向からマッハ・ツェンダ干渉計110の第一の遅延アーム部116に照射すると、この第一の遅延アーム部116には、z軸方向およびx軸方向に配向性を持った複屈折115が生じ、第一の遅延アーム部116を伝搬する光のx偏波に対する屈折率とy偏波に対する屈折率に差が生じる。その結果、第一の遅延アーム部の光路長がx偏波とy偏波に対して異なるものとなり、マッハ・ツェンダ干渉計における干渉条件がx偏波とy偏波で異なるものとなる。このため、マッハ・ツェンダ干渉計におけるx偏波とy偏波の分岐比に差が生じ、マッハ・ツェンダ干渉計110の挿入損失に偏波依存性(Polarization−Dependent Loss、PDL)が発生する。光部品が用いられる光伝送システムや光測定システムにおいて、PDLは伝送品質を劣化させる原因となるため、光部品にPDLが発生するのは好ましくない。つまり、マッハ・ツェンダ干渉計110の光学特性を制御する目的でなされた紫外光の照射により、光導波路の偏波特性(特にPDL)を劣化させてしまうという問題がある。
図1中、符号10はマッハ・ツェンダ干渉計、11は基板、12はクラッド層、13はコア部をそれぞれ示している。
この第一の方法では、まず、導波路型光部品のマッハ・ツェンダ干渉計10を作製する。
基板11として石英板を用い、この石英板の一方の面に化学気相合成法(CVD)により、純粋石英を堆積して下部クラッド層(図示略)を形成する。
上部クラッド層、コア層および下部クラッド層が設けられた基板11全体を加熱した後、徐々に冷却することにより、上部クラッド層、コア層および下部クラッド層の堆積時に、石英ガラス中に生じる欠陥を除去すると共に、石英ガラス中の残留応力を除去する。
また、コア部13のクラッド層12に対する比屈折率差(Δ)が1.0%となるように、コア部13を構成するゲルマニウム添加石英ガラスにおける酸化ゲルマニウム(GeO2)の添加量を調整する。
また、紫外光源としては、KrFエキシマレーザ(発振波長248nm)、ArFエキシマレーザ(発振波長193nm)やXeFエキシマレーザ(発振波長351nm)、Xeエキシマランプ(発振波長172nm)、KrClエキシマランプ(発振波長253nm)、I2エキシマランプ(発振波長341nm)などを用い、これらからの出力光(無偏光)を偏光子に通して得た直線偏光を、コア部13における光の伝搬方向と平行となるように、コア部13に照射してもよい。
L・Δn=mλ (1)
Pcross =cos22πm (2)
Pthrough=sin22πm (3)
ここで、図2に示すクロスポートとスルーポートとの出力比から算出された位相シフト量を図3に示す。
Δn=mλ/L (4)
上述のような実効屈折率の変化量Δnの測定を、導波路型光部を伝搬する光のx偏波、y偏波それぞれに対して行うことにより、紫外光を照射することによってコア部に生じる各偏波に対する実効屈折率の上昇量、および、複屈折(x偏波に対する実効屈折率の変化量とy偏波に対する実効屈折率の変化量の差)を算出することができる。
上述の第一の方法は、導波路型光部品のコア部に生じる複屈折を最小化する紫外光の照射方法を用いたが、この第二の方法は、少なくとも全偏光、無偏光などを導波路型光部品のコア部に照射した場合よりも、コア部に生じる複屈折が小さくなる紫外光の照射方法を用いる。
図7中、符号31は導波路型光部品のコア部、32は無偏光または全偏光からなる紫外光、33はコア部に生じる複屈折をそれぞれ示す。
図8中、符号41は導波路型光部品のコア部、42は直線偏波からなる紫外光、43はコア部に生じる複屈折をそれぞれ示す。
図9中、符号51は導波路型光部品のコア部、52は直線偏波からなる紫外光、53はコア部に生じる複屈折をそれぞれ示す。
この第三の方法では、部分偏光からなる紫外光を用い、この部分偏光のうち最も強度の高い偏光成分の電界の向きが、コア部における光の伝搬方向と平行または略平行となるように、紫外光をコア部に照射することにより、コア部における光の伝搬方向と平行な方向(上述のz軸方向)の複屈折が、コア部における光の伝搬方向と垂直な方向(上述のx軸方向)の複屈折よりも大きくなるようにすることができる。
Claims (6)
- コア部と、該コア部の周囲に配されたクラッド層とを少なくとも備えた導波路型光部品に紫外光を照射して、前記導波路型光部品の光学特性を制御する工程を有する導波路型光部品の製造方法において、
前記紫外光を直線偏光とし、該直線偏光の電界の向きが前記コア部における光の伝搬方向と平行となるように、前記紫外光を前記コア部の少なくとも一部に照射し、前記コア部の少なくとも一部に光の伝搬方向と平行な方向に複屈折を生じさせて、前記導波路型光部品の光学特性を制御することを特徴とする導波路型光部品の製造方法。 - コア部と、該コア部の周囲に配されたクラッド層とを少なくとも備えた導波路型光部品に紫外光を照射して、前記導波路型光部品の光学特性を制御する工程を有する導波路型光部品の製造方法において、
前記紫外光を直線偏光とし、該直線偏光の電界の向きと前記コア部における光の伝搬方向とのなす角度が45°未満となるように、前記紫外光を前記コア部の少なくとも一部に照射し、前記コア部の少なくとも一部に光の伝搬方向とのなす角度が45°未満の方向に複屈折を生じさせて、前記導波路型光部品の光学特性を制御することを特徴とする導波路型光部品の製造方法。 - コア部と、該コア部の周囲に配されたクラッド層とを少なくとも備えた導波路型光部品に紫外光を照射して、前記導波路型光部品の光学特性を制御する工程を有する導波路型光部品の製造方法において、
前記紫外光を部分偏光とし、該部分偏光のうち最も強度の高い偏光成分の電界の向きが前記コア部における光の伝搬方向と平行または略平行となるように、前記紫外光を前記コア部の少なくとも一部に照射し、前記コア部の少なくとも一部における光の伝搬方向と平行な方向の複屈折が、前記コア部における光の伝搬方向と垂直な方向の複屈折よりも大きくなるように、前記コア部の少なくとも一部に複屈折を生じさせて、前記導波路型光部品の光学特性を制御することを特徴とする導波路型光部品の製造方法。 - コア部と、該コア部の周囲に配されたクラッド層とを少なくとも備えた導波路型光部品の光学特性が制御されてなる導波路型光部品であって、
前記コア部の少なくとも一部は、光の伝搬方向と平行な方向に複屈折を有することを特徴とする導波路型光部品。 - コア部と、該コア部の周囲に配されたクラッド層とを少なくとも備えた導波路型光部品の光学特性が制御されてなる導波路型光部品であって、
前記コア部の少なくとも一部は、光の伝搬方向とのなす角度が45°未満の方向に複屈折を有することを特徴とする導波路型光部品。 - コア部と、該コア部の周囲に配されたクラッド層とを少なくとも備えた導波路型光部品の光学特性が制御されてなる導波路型光部品であって、
前記コア部の少なくとも一部は、光の伝搬方向と平行な方向の複屈折および光の伝搬方向と垂直な方向の複屈折を有し、前記光の伝搬方向と平行な方向の複屈折が、前記光の伝搬方向と垂直な方向の複屈折よりも大きくなっていることを特徴とする導波路型光部品。
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JP2004014274A JP2005208299A (ja) | 2004-01-22 | 2004-01-22 | 導波路型光部品の製造方法、導波路型光部品 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018519732A (ja) * | 2015-05-29 | 2018-07-19 | オクラロ テクノロジー リミテッド | 光マルチキャリア送信のためのインタリーバ伝達関数の電子的補償 |
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2004
- 2004-01-22 JP JP2004014274A patent/JP2005208299A/ja active Pending
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