JP2005206051A - Carrying device - Google Patents

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Toyoji Terada
豊治 寺田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a carrying device which has a simple mechanism and a carrying control, can facilitate phasing of a pinion tooth before a rack engages with the pinion, and can smoothly move without giving shock to a carrying cart. <P>SOLUTION: The carrying cart 7 is equipped with the rack 6 which is engaged with a plurality of pinions 5. The pinion 5 is respectively connected with a driving shaft 8 from a line shaft 4 connected to a motor 2 through an orthogonal gear 3, and a clutch 1 is interposed in the driving shaft 8. The pinion 5 is driven/nondriven by engaging/disengaging of the clutch 1, and the carrying cart 7 moves by the repetition. The phase of the pinion 5 tooth which the rack 6 of the carrying cart 7 engages next, can be adjusted by a slit plate 13 fixed to the driving shaft 8 and an optical fiber sensor 14 disposed in the vicinity of the slit plate 13. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

ラックとピニオンギヤによって搬送台車を移動させる搬送装置に関する。   The present invention relates to a transfer device that moves a transfer carriage using a rack and a pinion gear.

例えば、Ｐ−ＣＶＤ装置等で使用される基板の搬送や、液晶パネル製造工程等で使用される搬送装置には、特許文献１等に記載されているものがある。   For example, there is a transport apparatus used in a P-CVD apparatus or the like, a transport apparatus used in a liquid crystal panel manufacturing process, or the like described in Patent Document 1 or the like.

それは、複数のピニオンが配置され、そのピニオンに噛み合うラックを持った搬送台車が配置されており、前記各ピニオン軸の反ラック側にそれぞれステッピングモータが連結され、そのステッピングモータにはそれぞれモータ駆動装置がつながれ、さらに各モータ駆動装置にはパルス発振器がつながれ、パルス発振器とモータ駆動装置が同期駆動手段となっているものであり、処理行程に応じたパターンのパルスがパルス発振器から発信され、それを受けて各モータ駆動装置は各ステッピングモータを駆動するので、ステッピングモータは同期的に回転しピニオンが回って搬送台車が所定のパターンで移動、停止する。   A plurality of pinions are arranged, and a transport carriage having a rack that meshes with the pinions is arranged, and a stepping motor is connected to each of the pinion shafts on the opposite side of the rack. In addition, a pulse oscillator is connected to each motor drive device, and the pulse oscillator and the motor drive device are synchronous drive means, and a pulse of a pattern corresponding to the processing process is transmitted from the pulse oscillator. In response, each motor drive device drives each stepping motor, so that the stepping motor rotates synchronously, the pinion rotates, and the transport carriage moves and stops in a predetermined pattern.

しかし、上記従来の搬送装置には次のような問題点があった。
（１）ピニオン駆動系統の構成部品点数が多く、多額の製造コストがかかると共に、それらの保守においても多大な労力を必要とする。
（２）電気的制御部分が多いので、制御方法が複雑となり基板搬送装置の割には大掛かりな制御システムが必要となる。
（３）さらに、ラックがピニオンへ乗り移るとき円滑に噛み合うように、乗り移る前にピニオンの歯の位相を調整しておく必要があるが、各ピニオンにはステッピングモータとモータ駆動装置がつながれているので調整が不可能であり、乗り移り時の搬送台車に衝撃が生じることがある
特開平９−２９１３６０号公報 However, the conventional conveying device has the following problems.
(1) The number of component parts of the pinion drive system is large, and a large amount of manufacturing cost is required, and a great deal of labor is required for the maintenance thereof.
(2) Since there are many electrical control portions, the control method is complicated, and a large control system is required for the substrate transfer apparatus.
(3) Furthermore, it is necessary to adjust the phase of the teeth of the pinion before changing so that the rack can be smoothly engaged when transferring to the pinion, but each pinion is connected to a stepping motor and a motor drive device. Adjustment is not possible, and there may be an impact on the transport cart during transfer
Japanese Patent Laid-Open No. 9-291360

本発明の目的は、機構及び搬送制御が簡単で、かつ、ラックのピニオンへの乗り移り前のピニオンの歯の位相調整が容易にでき、搬送台車に衝撃のないスムーズな乗り移りができる搬送装置を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a transport device that is simple in mechanism and transport control, can easily adjust the phase of the pinion teeth before the rack is transferred to the pinion, and can smoothly transfer without impact on the transport carriage. There is to do.

本発明は、移動方向に向かってラックを備えた搬送台車を、そのラックに噛み合うように複数配置されたピニオンをモータで駆動することによって移動させる搬送装置であって、前記モータに前記ピニオンをラインシャフトを介してそれぞれ連結し、前記ラインシャフトと前記各ピニオンの間にクラッチを介在したことを特徴としており、具体的には、前記搬送台車のラックに二つのピニオンが噛み合う間隔にピニオンを複数配置し、ピニオンは前記ラインシャフトから駆動軸でそれぞれ連結され、その駆動軸上にクラッチを介在し、ラインシャフトからの駆動をクラッチの入切によってピニオンに伝達、非伝達し、それを順次繰り返すことによって搬送台車を移動させる。   The present invention is a transport device for moving a transport cart provided with a rack in a moving direction by driving a plurality of pinions arranged so as to mesh with the rack, and the pinion is lined to the motor. Each of the pinions is connected via a shaft, and a clutch is interposed between the line shaft and each pinion. Specifically, a plurality of pinions are arranged at intervals between two pinions engaged with the rack of the transport carriage. The pinion is connected to the drive shaft from the line shaft, and a clutch is interposed on the drive shaft. The drive from the line shaft is transmitted to the pinion by turning on and off the clutch, and is transmitted to the pinion, and then repeatedly. Move the transport cart.

そして、前記搬送台車のラックがそのラックを駆動しているピニオンの次のピニオンに乗り移る際、ラックとそのラックが乗り移るピニオンとの歯が円滑に噛み合うように、事前にピニオンの歯の山又は谷が鉛直方向に位置するようピニオンの歯の位相を調整しておくようにしている。   Then, when the rack of the transport carriage is transferred to the next pinion of the pinion driving the rack, the teeth or valleys of the pinion teeth are preliminarily arranged so that the teeth of the rack and the pinion to which the rack is transferred are smoothly engaged. The phase of the pinion teeth is adjusted so that is positioned in the vertical direction.

また、前記ピニオンの歯の位相調整を、ピニオンの歯数と同数かつ同ピッチのスリットを有するスリット板をピニオンの歯の山又は谷と前記スリットとが同位相になるように前記ピニオンの駆動軸に固着してそのスリット板に透過光を照射し、前記スリットのいずれかが鉛直方向の位置にあるとき、その鉛直方向の位置にあるスリット又はそれとは別のスリットからの透過光を光ファイバセンサで検知することによって行うことができる。   In addition, the phase adjustment of the pinion teeth is performed by using a slit plate having slits of the same number and the same pitch as the number of teeth of the pinion so that the crests or valleys of the pinion teeth and the slits are in phase. When one of the slits is in a vertical position, the transmitted light from the slit in the vertical position or another slit is transmitted to the optical fiber sensor. This can be done by detecting with.

本発明によれば、モータの出力軸に連結されたラインシャフトを介してクラッチを介在した駆動軸によって複数のピニオンをクラッチの入切りで駆動、非駆動して搬送台車を移動させる構成であるので、構成部品点数が少なく製造コストが削減でき、保守も容易にできる。また、電気的制御も単純で簡単な制御システムでよい。   According to the present invention, the plurality of pinions are driven by turning on and off the clutch by the drive shaft having the clutch interposed via the line shaft connected to the output shaft of the motor, and the transport carriage is moved by non-drive. The number of component parts is small, manufacturing costs can be reduced, and maintenance is easy. Further, the electrical control may be a simple and simple control system.

さらに、ラックが乗り移るピニオンの歯の位相を事前に調整しておけるので、ラックのピニオンへの乗り移り時それぞれの歯が円滑に噛み合う。その結果、搬送台車は衝撃もなくスムーズに移動できる。   Further, since the phase of the pinion teeth to which the rack is transferred can be adjusted in advance, the respective teeth mesh smoothly when the rack is transferred to the pinion. As a result, the transport carriage can move smoothly without impact.

図１は本発明の搬送装置の一実施例を示す側面図で、図２は図１におけるＡ−Ａ矢
視図であり、搬送台車７はレール１１上を車輪１０を介して矢印の方向に移動するようになっている。 FIG. 1 is a side view showing an embodiment of the conveying apparatus of the present invention. FIG. 2 is a view taken along the line AA in FIG. It is supposed to move.

搬送台車７の底裏部には移動方向に向かってラック６が備わり、そのラック６に噛み合うようにピニオン５が複数配置されるのであるが、このピニオン５は１台の搬送台車７のラック６の前方と後方の２カ所に噛み合う間隔で搬送台車７の所定の移動距離分配置されている。   A rack 6 is provided in the bottom back portion of the transport carriage 7 in the moving direction, and a plurality of pinions 5 are arranged so as to mesh with the rack 6. The pinion 5 is a rack 6 of one transport carriage 7. The transport carriage 7 is arranged for a predetermined movement distance at an interval that meshes with the two front and rear positions.

搬送台車７の横手側にはモータ２が設置され、モータ２の出力軸にはレール１１と並行にラインシャフト４が連結されている。このラインシャフト４から各ピニオン５への駆動は、ラインシャフト４上に設けられた公知の直交ギア３を介してレール１１に交差する方向に駆動軸８によって行われる。   The motor 2 is installed on the lateral side of the transport carriage 7, and the line shaft 4 is connected to the output shaft of the motor 2 in parallel with the rail 11. The drive from the line shaft 4 to each pinion 5 is performed by the drive shaft 8 in a direction crossing the rail 11 via a known orthogonal gear 3 provided on the line shaft 4.

各駆動軸８にはクラッチ１が取り付けられており、その入切によってピニオン５への駆動が伝達、非伝達される。このクラッチ１には、ソレノイドによって入切動作する公知の電磁クラッチを用いることができる。また、クラッチ１とピニオン５の間には、図３に示されるような円盤状でその周囲から放射状にピニオン５の歯数と同数かつ同ピッチでスリット１３ａが切られたスリット板１３が、ピニオン５の歯５ａの山又は谷とスリット１３ａとが同位相になるように各駆動軸８に固着されている。なお、このスリット１３ａを角孔、丸孔又は長孔等に換えることもできる。   A clutch 1 is attached to each drive shaft 8, and the drive to the pinion 5 is transmitted and not transmitted by turning on and off. As this clutch 1, a known electromagnetic clutch that is turned on and off by a solenoid can be used. Further, between the clutch 1 and the pinion 5, a slit plate 13 having a disc shape as shown in FIG. 3 in which slits 13a are radially cut from the periphery thereof at the same number and pitch as the number of teeth of the pinion 5 is provided. The crests or troughs of the 5 teeth 5a and the slits 13a are fixed to the drive shafts 8 so as to have the same phase. The slit 13a can be replaced with a square hole, a round hole, a long hole, or the like.

クラッチ１とスリット板１３間には、スリット板１３の反クラッチ１側に光源を有し、そこから照射してスリット１３ａからの透過光の入光を検知するようにスイッチ切換えされた光ファイバセンサ１４が配置されており、クラッチ１と電気的につながれている。   Between the clutch 1 and the slit plate 13, there is a light source on the side opposite to the clutch plate 1 of the slit plate 13, and an optical fiber sensor that is switched to detect light incident from there through the slit 13a. 14 is arranged and is electrically connected to the clutch 1.

また、レール１１近傍にも光源を有する光ファイバセンサ１２が配置されている。この光ファイバセンサ１２は、前記光源が搬送台車７を光ファイバセンサ１２の本体とで挟む位置から透過光を照射してその透過光が搬送台車７の移動によって遮光されることを検知するようにスイッチ切換えされてクラッチ１と電気的につながれている。なお、搬送台車７の前部後部にはそれぞれ光ファイバセンサ１２に対応する位置に透過光を遮光する遮光板（図示なし）が設けられている。   An optical fiber sensor 12 having a light source is also disposed near the rail 11. The optical fiber sensor 12 detects that the light source irradiates transmitted light from a position where the conveyance carriage 7 is sandwiched between the optical fiber sensor 12 and the transmitted light is blocked by the movement of the conveyance carriage 7. The switch is switched and the clutch 1 is electrically connected. A light shielding plate (not shown) that shields transmitted light is provided at a position corresponding to the optical fiber sensor 12 at the front and rear portions of the transport carriage 7.

以上のような構成による本発明の搬送装置の作用は次のようである（図２参照）。まず初期動作として、搬送台車７のラック６がクラッチ１ａ、１ｂのゾーンのピニオン５に噛み合った状態で、ラック６が次に乗り移るゾーンのクラッチ１ｃのみが入りの状態でモータ２をＯＮして起動させる。（他のクラッチ１は全て切りの状態）。   The operation of the conveying apparatus of the present invention having the above configuration is as follows (see FIG. 2). First, as an initial operation, with the rack 6 of the transport carriage 7 engaged with the pinion 5 of the zone of the clutches 1a and 1b, the motor 2 is turned on and started in the state where only the clutch 1c of the zone to which the rack 6 is transferred next is engaged. Let (All other clutches 1 are disengaged).

すると、駆動軸８が回転すると共にクラッチ１ｃでつながれたピニオン５及びスリット板１３が回転する。このとき、このスリット板１３のスリット１３ａのいずれかが鉛直方向の位置にきた時点で光ファイバセンサ１４がその鉛直方向の位置にきたスリット１３ａ又はそれとは別のスリット１３ａからの透過光の入光を検知することによってクラッチ１ｃが切れるように制御され前記スリット１３ａが鉛直方向の位置でスリット板１３が停止する。   Then, the drive shaft 8 rotates and the pinion 5 and the slit plate 13 connected by the clutch 1c rotate. At this time, when any one of the slits 13a of the slit plate 13 reaches the vertical position, the optical fiber sensor 14 enters the light from the slit 13a at the vertical position or another slit 13a. Is detected so that the clutch 1c is disengaged, and the slit plate 13 stops at the position where the slit 13a is in the vertical direction.

つまり、前述したようにスリット１３ａとピニオン５の歯５ａの山又は谷とは同位相に位置しているのでピニオン５の歯５ａの山又は谷のいずれかが鉛直方向に位置することになる。このことは、ラックとピニオンの特性からピニオンの歯の山又は谷が鉛直方向で待機することにより、ラックのピニオンへの乗り移り時双方の歯の噛み合いが円滑になるので衝撃がなくスムーズな乗り移りができるのである。   That is, since the slit 13a and the peak or valley of the tooth 5a of the pinion 5 are located in the same phase as described above, either the peak or valley of the tooth 5a of the pinion 5 is positioned in the vertical direction. This is because, due to the characteristics of the rack and pinion, the crests or valleys of the pinion teeth stand in the vertical direction, and the meshing of both teeth becomes smooth when transferring to the rack pinion, so there is no impact and smooth transfer is possible. It can be done.

なお、前述した光ファイバセンサ１４の配置は、いずれかのスリット１３ａが鉛直方向にあるときに別のスリット１３ａからの透過光の入光を検知できる位置としておく。   The arrangement of the optical fiber sensor 14 described above is set at a position where the incident light of the transmitted light from another slit 13a can be detected when any of the slits 13a is in the vertical direction.

この時点でモータ２は回転中であり、クラッチ１は全て切られている。次に、所定の搬送速度となるようにモータ２の回転速度を設定し、搬送台車７のラック６にピニオン５が噛み合っているゾーンのクラッチ１ａ、１ｂを入りにする。すると、このゾーンのピニオンが駆動され搬送台車７が矢印の方向に移動して行く。   At this time, the motor 2 is rotating and the clutch 1 is all disengaged. Next, the rotational speed of the motor 2 is set so as to achieve a predetermined transport speed, and the clutches 1a and 1b in the zone where the pinion 5 is engaged with the rack 6 of the transport carriage 7 are engaged. Then, the pinion of this zone is driven and the transport carriage 7 moves in the direction of the arrow.

次に、搬送台車７がクラッチ１ｃのゾーンまで移動してラック６がピニオン５に乗り移る。このとき、このピニオン５は歯５ａの山又は谷が鉛直方向で待機しているのでラック６とピニオン５の歯が円滑に噛み合って乗り移ることができる。そのため、搬送台車７は衝撃がなくスムーズに移動することができる。   Next, the transport carriage 7 moves to the zone of the clutch 1c, and the rack 6 transfers to the pinion 5. At this time, since the peaks or valleys of the teeth 5a of the pinion 5 are waiting in the vertical direction, the teeth of the rack 6 and the pinion 5 can be smoothly meshed and transferred. Therefore, the transport carriage 7 can move smoothly without impact.

そして、クラッチ１ｃのゾーンにおいて、搬送台車７前部の前記遮光板（図示なし）によって、光ファイバセンサ１２の光源からの透過光が遮光されると、それを光ファイバセンサ１２が検知してクラッチ１ｃが入りとなってピニオン５が駆動されると共に、次にラック６が乗り移るゾーン（クラッチ１ｄ部）のピニオン５の歯５ａの位相を前述のようにスリット板１３を用いて調整するように制御される。   Then, in the zone of the clutch 1c, when the light transmitted from the light source of the optical fiber sensor 12 is shielded by the light shielding plate (not shown) at the front part of the transport carriage 7, the optical fiber sensor 12 detects this and detects the clutch. 1c enters and the pinion 5 is driven, and the phase of the teeth 5a of the pinion 5 in the zone (clutch 1d portion) where the rack 6 next moves is adjusted using the slit plate 13 as described above. Is done.

また、搬送台車７がクラッチ１ｃのゾーンに移動するとき、クラッチ１ａ、１ｂのゾーンにおいて搬送台車７後部の前記遮光板（図示なし）によって、光ファイバセンサ１２の光源からの透過光が遮光されると、それを光ファイバセンサ１２が検知してクラッチ１ａ、１ｂが切れるように制御され、そのゾーンのピニオン５が非駆動となる。   When the transport carriage 7 moves to the zone of the clutch 1c, transmitted light from the light source of the optical fiber sensor 12 is shielded by the light shielding plate (not shown) at the rear of the transport carriage 7 in the zones of the clutches 1a and 1b. Then, the optical fiber sensor 12 detects this and the clutches 1a and 1b are controlled to be disengaged, and the pinion 5 in the zone is not driven.

モータ２は連続回転されており、クラッチ１ｃのゾーンのピニオン５の駆動により搬送台車７は移動を続け、次にクラッチ１ｄのゾーンでラック６がピニオン５に乗り移る。
このときもピニオン５の歯５ａは前述した位相の調整により既に山又は谷が鉛直方向にあるので、ラック６とピニオン５の歯が円滑に噛み合って乗り移ることができ、搬送台車は衝撃がなくスムーズに移動することができる。 The motor 2 is continuously rotated, and the transport carriage 7 continues to move by driving the pinion 5 in the zone of the clutch 1c, and then the rack 6 moves onto the pinion 5 in the zone of the clutch 1d.
At this time, the teeth 5a of the pinion 5 already have the peaks or valleys in the vertical direction by the above-described phase adjustment, so that the teeth of the rack 6 and the pinion 5 can be smoothly meshed and transferred, and the transport carriage is smooth and free of impact. Can be moved to.

そして、クラッチ１ｄのゾーンにおいて、搬送台車７前部の前記遮光板（図示なし）によって、光ファイバセンサ１２の光源からの透過光が遮光されると、それを光ファイバセンサ１２が検知してクラッチ１ｄが入りとなってピニオン５が駆動されると共に、次にラック６が乗り移るゾーン（以降図示なし）のピニオンの歯の位相を前述のようにスリット板１３を用いて調整するように制御される。   Then, in the zone of the clutch 1d, when the light transmitted from the light source of the optical fiber sensor 12 is shielded by the light shielding plate (not shown) at the front of the transport carriage 7, the optical fiber sensor 12 detects this and detects the clutch. 1d enters and the pinion 5 is driven, and the phase of the teeth of the pinion in the zone (hereinafter not shown) to which the rack 6 changes next is controlled using the slit plate 13 as described above. .

また、搬送台車７がクラッチ１ｄのゾーンに移動するとき、クラッチ１ｃのゾーンにおいて搬送台車７後部の前記遮光板（図示なし）によって、光ファイバセンサ１２の光源からの透過光が遮光されると、それを光ファイバセンサ１２が検知してクラッチ１ｃが切れるように制御され、そのゾーンのピニオン５が非駆動となる。   Further, when the transport carriage 7 moves to the zone of the clutch 1d, when the transmitted light from the light source of the optical fiber sensor 12 is shielded by the light shielding plate (not shown) at the rear of the transport carriage 7 in the zone of the clutch 1c, This is detected by the optical fiber sensor 12 and controlled so that the clutch 1c is disengaged, and the pinion 5 in that zone is not driven.

このように、ワークの処理行程範囲を前述したピニオン５の歯５ａの位相調整及びクラッチ１の入切りの繰り返しによって搬送台車７は移動して行き、処理工程後搬送台車７は所定の停止位置まで移動してモータ２がＯＦＦされる。   Thus, the conveyance carriage 7 moves by repeating the phase adjustment of the teeth 5a of the pinion 5 and the on / off of the clutch 1 in the processing stroke range of the workpiece, and the conveyance carriage 7 reaches the predetermined stop position after the processing step. It moves and the motor 2 is turned off.

なお、図４に示されるように処理工程の各ゾーンで異なる搬送速度での処理が必要な場合には、モータ２を各ゾーン毎に設けて各ゾーンでの搬送速度を制御するようにできる。   As shown in FIG. 4, when processing at different transport speeds is required in each zone of the processing step, a motor 2 can be provided for each zone to control the transport speed in each zone.

本発明の搬送装置の一実施例を示す側面図である。It is a side view which shows one Example of the conveying apparatus of this invention. 図１におけるＡ−Ａ矢視図（平面）である。It is an AA arrow line view (plane) in FIG. 図２におけるＢ−Ｂ矢視図である。It is a BB arrow line view in FIG. 本発明の搬送装置の別の実施例を示す平面図である。It is a top view which shows another Example of the conveying apparatus of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ クラッチ
２ モータ
３ 直交ギアボックス
４ ラインシャフト
５ ピニオン
６ ラック
７ 搬送台車
８ 駆動軸
１２、１４ 光ファイバセンサ
１３． スリット板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Clutch 2 Motor 3 Orthogonal gear box 4 Line shaft 5 Pinion 6 Rack 7 Carriage truck 8 Drive shaft 12, 14 Optical fiber sensor 13. Slit plate

Claims (4)

移動方向に向かってラックを備えた搬送台車を、そのラックに噛み合うように複数配置されたピニオンをモータで駆動することによって移動させる搬送装置であって、前記モータに前記ピニオンをラインシャフトを介してそれぞれ連結し、前記ラインシャフトと前記各ピニオンの間にクラッチを介在してなることを特徴とする搬送装置。 A transport device for moving a transport cart provided with a rack in a moving direction by driving a plurality of pinions arranged to mesh with the rack with a motor, the pinion being moved to the motor via a line shaft Each of the conveying devices is connected to each other, and a clutch is interposed between the line shaft and each pinion. 前記搬送台車のラックに二つのピニオンが噛み合う間隔にピニオンを複数配置し、ピニオンは前記ラインシャフトから駆動軸でそれぞれ連結され、その駆動軸上にクラッチを介在し、ラインシャフトからの駆動をクラッチの入切によってピニオンに伝達、非伝達し、それを順次繰り返すことによって搬送台車を移動させて行くことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。 A plurality of pinions are arranged at intervals where two pinions mesh with the rack of the transport carriage, and the pinions are connected to the drive shaft from the line shaft, respectively, and a clutch is interposed on the drive shaft, and the drive from the line shaft is connected to the clutch. 2. The transfer apparatus according to claim 1, wherein the transfer carriage is moved to and from the pinion by turning on and off, and the transfer carriage is moved by sequentially repeating the transfer. 前記搬送台車のラックがそのラックを駆動しているピニオンの次のピニオンに乗り移る際、ラックとそのラックが乗り移るピニオンとの歯が円滑に噛み合うように事前に、ピニオンの歯の山又は谷が鉛直方向に位置するようピニオンの歯の位相を調整しておくことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。 When the rack of the transport carriage moves to the next pinion of the pinion driving the rack, the peak or valley of the pinion teeth is vertical so that the teeth of the rack and the pinion to which the rack moves smoothly mesh. The conveying device according to claim 2, wherein the phase of the pinion teeth is adjusted so as to be positioned in the direction. 前記ピニオンの歯の位相調整を、ピニオンの歯数と同数かつ同ピッチのスリットを有するスリット板をピニオンの歯の山又は谷と前記スリットとが同位相になるように前記ピニオンの駆動軸に固着してそのスリット板に透過光を照射し、前記スリットのいずれかが鉛直方向の位置にあるとき、その鉛直方向の位置にあるスリット又はそれとは別のスリットからの透過光を光ファイバセンサで検知することによって行うことを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。 The phase adjustment of the pinion teeth is fixed to the drive shaft of the pinion so that the crest or valley of the pinion teeth and the slit are in phase with the slit plate having the same number of teeth as the number of teeth of the pinion and the same pitch. Then, the slit plate is irradiated with transmitted light, and when any of the slits is in the vertical position, the transmitted light from the slit in the vertical position or another slit is detected by the optical fiber sensor. The conveying device according to claim 3, wherein the conveying device is performed.
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